0 光 学 精 密 工 程 第 7 卷 犆 犺 犪 狉 犪 犮 狋 犲 狉 犻 狕 犪 狋 犻 狅 狀 狅 犳 犪 犮 狋 狌 犪 狋 狅 狉 狅 犳 犺 犪 犾 犳 犮 狅 犪 狋 犲 犱 犿 犲 狋 犪 犾 狆 犻 犲 狕 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 犻 犮 犳 犻 犫 犲 狉 BIAN Yi

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1 第 7 卷 2009 年 月 第 期 光 学 精 密 工 程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.7 No. Jan.2009 智 能 材 料 与 结 构 技 术 专 题 文 章 导 读 裘 进 浩 南 京 航 空 航 天 大 学 智 能 材 料 与 结 构 研 究 所 智 能 材 料 与 结 构 技 术 是 将 传 感 器 驱 动 器 控 制 器 等 与 基 体 结 构 材 料 相 集 成 来 实 现 结 构 的 健 康 监 测 振 动 与 噪 声 控 制 流 场 控 制 自 适 应 结 构 等 功 能 的 新 型 技 术 智 能 材 料 与 结 构 的 研 究 起 源 于 航 空 航 天 领 域, 目 前 其 应 用 已 经 拓 展 到 土 木 建 筑 交 通 船 舶 等 多 个 方 向 智 能 材 料 与 结 构 技 术 融 合 了 多 个 学 科 的 最 新 进 展, 其 发 展 和 应 用 意 味 着 工 程 结 构 功 能 的 增 强 结 构 使 用 效 率 的 提 高 和 结 构 形 式 的 优 化, 以 及 结 构 维 护 成 本 的 降 低, 是 有 希 望 取 得 突 破 性 和 革 命 性 进 展 的 重 要 前 沿 技 术, 已 被 列 入 国 家 中 长 期 科 学 和 技 术 发 展 规 划 中 的 重 点 发 展 领 域 另 外, 智 能 材 料 与 结 构 技 术 的 发 展 能 够 带 动 一 系 列 相 关 行 业 尤 其 是 航 空 航 天 工 业 的 进 步, 是 新 一 代 航 空 航 天 飞 行 器 的 关 键 技 术 世 界 各 国 均 对 智 能 材 料 与 结 构 的 研 究 给 予 了 高 度 的 重 视 与 关 注 高 性 能 功 能 材 料 及 器 件 是 实 现 智 能 结 构 的 基 础, 开 发 高 性 能 的 功 能 材 料 与 器 件 对 于 提 高 智 能 结 构 的 性 能, 促 进 智 能 结 构 的 发 展 具 有 非 常 重 要 的 研 究 意 义, 而 要 真 正 实 现 智 能 结 构 的 工 程 应 用, 还 必 须 进 行 典 型 智 能 结 构 系 统 的 集 成 方 法 及 功 能 实 现 研 究 南 京 航 空 航 天 大 学 智 能 材 料 与 结 构 研 究 所 功 能 材 料 器 件 及 应 用 课 题 组 对 智 能 材 料 与 结 构 的 关 键 技 术 展 开 了 深 入 系 统 的 研 究 主 要 研 究 方 向 包 括 : 高 性 能 压 电 材 料 及 器 件 ( 主 要 包 括 无 铅 压 电 材 料 功 能 梯 度 压 电 驱 动 器 压 电 纤 维 等 ); 智 能 材 料 与 结 构 的 应 用 ( 主 要 包 括 结 构 的 振 动 噪 声 控 制 智 能 结 构 的 流 场 控 制 结 构 的 健 康 监 测 自 适 应 结 构 等 ) 本 专 题 是 在 国 家 863 计 划 国 家 自 然 科 学 基 金 教 育 部 重 大 培 育 项 目 资 助 下 在 智 能 材 料 与 结 构 领 域 工 作 的 总 结 : 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 一 文, 建 立 了 悬 臂 梁 结 构 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 这 种 新 型 压 电 弯 曲 驱 动 器 的 理 论 模 型, 推 导 了 自 由 端 位 移 夹 持 力 和 弯 曲 共 振 频 率 的 解 析 表 达 式, 分 析 了 金 属 芯 性 能 和 半 径 对 这 3 个 参 数 的 影 响 结 果 表 明, 这 种 驱 动 器 有 较 大 的 端 部 位 移 较 小 的 夹 持 力 较 低 的 弯 曲 共 振 频 率 功 能 梯 度 压 电 驱 动 器 的 结 构 设 计 制 备 与 功 能 验 证 一 文, 提 出 了 一 种 新 型 的 功 能 梯 度 驱 动 器, 设 计 并 制 备 了 该 驱 动 器, 建 立 了 理 论 模 型, 并 对 驱 动 器 的 性 能 进 行 了 测 试 实 验 结 果 表 明, 新 型 的 功 能 梯 度 压 电 驱 动 器 内 部 应 力 集 中 得 到 缓 解 基 于 TMS320F282 的 悬 臂 梁 振 动 半 主 动 控 制 一 文, 采 用 一 种 基 于 同 步 开 关 阻 尼 技 术 的 半 主 动 振 动 控 制 新 方 法, 克 服 了 传 统 主 动 控 制 要 求 输 入 功 率 大 与 被 动 控 制 鲁 棒 性 差 的 缺 点, 基 于 TMS320F282 处 理 器, 成 功 实 现 了 悬 臂 梁 结 构 的 振 动 控 制, 使 悬 臂 梁 一 阶 振 动 模 态 减 小 5.7dB K0.5Na0.5NbO3 无 铅 压 电 陶 瓷 的 烧 结 特 性 一 文, 采 用 水 热 法 合 成 了 无 铅 压 电 陶 瓷 (K 狓 Na- 狓 )NbO3(KNN) 的 粉 体, 与 传 统 固 相 合 成 法 相 比, 水 热 合 成 的 粉 体 有 更 好 的 烧 结 性 实 验 结 果 表 明,K 的 添 加 会 降 低 陶 瓷 的 烧 结 性, 陶 瓷 的 密 度 对 烧 结 温 度 非 常 敏 感 文 章 编 号 X(2009) 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 边 义 祥, 裘 进 浩, 王 鑫 伟, 季 宏 丽, 朱 孔 军 ( 南 京 航 空 航 天 大 学 智 能 材 料 与 结 构 研 究 所, 江 苏 南 京 2006) 摘 要 : 建 立 了 悬 臂 梁 结 构 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 新 型 压 电 弯 曲 驱 动 器 的 理 论 模 型 根 据 第 一 类 压 电 方 程, 推 导 出 自 由 端 位 移 夹 持 力 和 弯 曲 共 振 频 率 的 解 析 表 达 式, 分 析 了 金 属 芯 性 能 和 半 径 对 这 3 个 参 数 的 影 响, 并 把 理 论 计 算 结 果 和 有 限 元 分 析 结 果 进 行 了 比 较 实 验 结 果 表 明, 悬 臂 梁 结 构 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 弯 曲 驱 动 器 的 自 由 端 位 移 可 达 589μm, 夹 持 力 可 达 427μN, 一 阶 弯 曲 共 振 频 率 为 28 Hz, 有 限 元 分 析 结 果 和 理 论 值 基 本 吻 合, 说 明 这 种 驱 动 器 有 较 大 的 端 部 位 移 较 小 的 夹 持 力 和 较 低 的 弯 曲 共 振 频 率 关 键 词 : 半 电 极 ; 金 属 芯 ; 压 电 纤 维 ; 弯 曲 驱 动 器 中 图 分 类 号 :TM282;TN384 文 献 标 识 码 :A 收 稿 日 期 : ; 修 订 日 期 : 基 金 项 目 : 国 家 863 高 技 术 研 究 发 展 计 划 资 助 项 目 (No.2007AA03Z04)

2 0 光 学 精 密 工 程 第 7 卷 犆 犺 犪 狉 犪 犮 狋 犲 狉 犻 狕 犪 狋 犻 狅 狀 狅 犳 犪 犮 狋 狌 犪 狋 狅 狉 狅 犳 犺 犪 犾 犳 犮 狅 犪 狋 犲 犱 犿 犲 狋 犪 犾 狆 犻 犲 狕 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 犻 犮 犳 犻 犫 犲 狉 BIAN Yi xiang,qiujin hao,wang Xin wei,jihong li,zhu Kong jun ( 犓 犲 狔 犔 犪 犫 狅 狉 犪 狋 狅 狉 狔 狅 犳 犛 犿 犪 狉 狋 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊 犪 狀 犱 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊, 犖 犪 狀 犼 犻 狀 犵 犝 狀 犻 狏 犲 狉 狊 犻 狋 狔 狅 犳 犃 犲 狉 狅 狀 犪 狌 狋 犻 犮 狊 犪 狀 犱 犃 狊 狋 狉 狅 狀 犪 狌 狋 犻 犮 狊, 犖 犪 狀 犼 犻 狀 犵 2006, 犆 犺 犻 狀 犪 ) 犃 犫 狊 狋 狉 犪 犮 狋 :ThemechanicalmodeofanHalfcoated MetalcorePiezoelectricFiber(HMPF)actuatoris established.accordingtotheconstitutivepiezoelectricequations,theanalyticalexpressionsofthetip deflection,blockingforceandthenaturalfrequenciesarederived.theefectofthe metalcoreon thosepropertiesofhmpfactuatorisinvestigatedbasedonthenumericalresultsoftheequationsand FEM.TheexperimentalresultsindicatethatthemaximumtipdeflectionofcantileveredHMPF,max imumblockingforceandthefirstresonancefrequencyare589μm,427μnand28 Hz,respectively, FEMresultsarecoincidentwiththeoreticalvaluesonthewhole.Theresultsshowthattheactuator cangiveabigdeflection,asmalblockforce,andalowresonancefrequency. 犓 犲 狔 狑 狅 狉 犱 狊 :halfcoated;metalcore;piezoelectricfiber;bendingactuator 引 言 压 电 材 料 是 一 种 应 用 广 泛 的 功 能 材 料, 具 有 直 接 的 机 电 转 换 功 能, 既 可 以 用 作 传 感 器, 也 可 以 [] 用 作 驱 动 器 用 于 复 合 材 料 的 结 构 健 康 监 测 和 振 动 控 制 时, 压 电 材 料 通 常 被 埋 入 到 基 体 结 构 中, 这 就 要 求 压 电 材 料 能 尽 量 减 少 对 基 体 结 构 性 能 的 [2] 影 响 然 而 传 统 的 压 电 材 料 多 为 片 状 或 块 状 结 构, 很 难 满 足 上 述 要 求 因 此, 纤 维 状 压 电 器 件 获 得 了 广 泛 的 关 注 和 研 究 美 国 的 MIT 和 NASA 先 后 制 作 了 压 电 纤 维 复 合 材 料 AFC 和 MFC [3 4], 其 中 的 压 电 纤 维 排 列 在 聚 合 物 中 AFC 和 MFC 虽 然 能 获 得 较 大 的 应 变, 但 由 于 电 场 损 失 较 大, 需 [2] 要 较 高 的 电 压, 且 体 积 较 大, 很 难 埋 入 到 基 体 结 构 中 [5] [6] 最 近, 裘 进 浩 等 和 H.Sato 等 先 后 用 挤 压 法 和 水 热 法 成 功 地 制 作 出 含 金 属 芯 压 电 纤 维 MPF(MetalcorePiezoelectricFiber) 在 MPF 中, 金 属 芯 位 于 中 心 位 置, 外 面 环 绕 着 压 电 陶 瓷 ; 金 属 芯 可 以 用 作 一 个 电 极, 喷 镀 在 压 电 陶 瓷 表 面 的 一 层 金 属 作 为 另 一 个 电 极 单 根 MPF 既 可 以 用 作 传 感 器, 也 可 以 用 作 驱 动 器 G.Sebald 等 研 究 了 MPF 的 纵 向 振 动 压 电 常 数 介 电 常 数 和 [7 8] 杨 氏 模 量,K.Takagi 等 还 进 行 了 MPF 应 用 [9 0] 方 面 的 研 究 上 述 研 究 几 乎 都 是 关 于 表 面 全 覆 盖 电 极 的 MPF 当 MPF 只 有 一 半 的 表 面 喷 镀 金 属 层 时, 称 为 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 HMPF(Halfcoa ted Metalcore Piezoelectric Fiber) 极 化 后, HMPF 中 只 有 表 面 覆 盖 金 属 层 的 压 电 陶 瓷 部 分 被 极 化, 具 有 压 电 性 电 极 外 加 电 压 后, 极 化 部 分 由 于 压 电 效 应 将 沿 长 度 方 向 产 生 伸 缩 变 形 ; 没 有 极 化 的 压 电 陶 瓷 部 分 和 金 属 芯 由 于 没 有 压 电 效 应, 将 抵 制 这 种 变 形, 结 果 就 使 HMPF 产 生 弯 曲 变 形 在 很 多 情 况 下, 例 如 气 流 传 感 弯 曲 驱 动 等 方 面,HMPF 更 能 发 挥 重 要 的 作 用 本 文 作 者 之 一 的 裘 进 浩 首 次 在 世 界 上 成 功 制 作 出 了 HMPF [] HMPF 作 为 一 种 新 的 压 电 驱 动 器, 需 要 对 其 驱 动 特 性 进 行 深 入 的 研 究 和 分 析, 以 便 进 一 步 优 化 设 计, 更 好 地 发 挥 其 驱 动 性 能 本 文 从 理 论 上 研 究 了 悬 臂 梁 结 构 HMPF 驱 动 器 的 3 个 重 要 特 性, 即 自 由 端 位 移 夹 持 力 和 弯 曲 共 振 频 率, 建 立 了 理 论 模 型, 并 用 理 论 计 算 和 有 限 元 方 法 分 析 了 金 属 芯 对 这 3 个 特 性 的 影 响 最 后, 用 实 验 对 理 论 结 果 进 行 了 验 证

3 第 期 边 义 祥, 等 : 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 2 HMPF 弯 曲 驱 动 器 的 理 论 模 型 2. 压 电 方 程 HMPF 的 几 何 形 状 和 横 截 面 分 别 如 图 和 图 2 由 于 是 圆 柱 形 状, 为 了 研 究 方 便, 采 用 圆 柱 坐 标 系 一 般 的 压 电 方 程 直 角 坐 标 系 和 圆 柱 坐 标 系 的 对 应 关 系 为 : 对 应 狕,2 对 应 θ,3 对 应 狉 图 HMPF 的 几 何 形 状 及 其 坐 标 系 Fig. GeometryandcoordinatesystemofHMPF 图 2 HMPF 的 横 截 面 和 极 化 方 向 Fig.2 CrosssectionandpolarizationofHMPF 如 图 2 所 示,HMPF 的 上 半 部 分 陶 瓷 表 面 覆 盖 了 金 属 层, 金 属 层 作 为 一 个 电 极, 金 属 芯 作 为 另 一 个 电 极 外 加 电 压 时, 压 电 陶 瓷 内 部 的 电 场 分 布 比 较 复 杂 为 了 研 究 方 便, 可 以 认 为 表 面 覆 盖 电 极 的 上 半 部 分 压 电 陶 瓷 其 电 场 沿 径 向 分 布 极 化 后, 具 有 压 电 效 应, 其 极 化 方 向 也 认 为 是 沿 径 向 分 布 ; 表 面 没 有 覆 盖 电 极 的 下 半 部 分 压 电 陶 瓷 没 有 电 场 分 布, 没 有 被 极 化, 不 具 有 压 电 效 应 由 于 陶 瓷 表 面 的 金 属 层 很 薄, 在 下 面 的 研 究 中, 其 影 响 不 予 考 虑 当 HMPF 用 作 悬 臂 梁 结 构 时, 如 图 3, 假 设 压 电 陶 瓷 部 分 在 径 向 可 以 自 由 伸 缩 与 长 度 相 比,HMPF 的 半 径 很 小, 故 圆 周 方 向 的 应 力 也 可 图 3 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF Fig.3 HMPFofcantileverbeam 以 忽 略 把 应 力 和 电 场 的 边 界 条 件 代 入 第 一 类 压 电 方 程 中, 由 于 狉 取 负 值, 极 化 部 分 的 应 变 和 电 位 移 分 别 为 : p 犛 = 狊 p 犜 - 犱 3 狉, () p p 犜 - 犇 3= 犱 3 犜 -ε 33 狉. (2) 式 中 : 犛 犻 犼 是 应 变, 犜 犻 犼 是 应 力, 犇 犻 是 电 位 移, 犻 是 电 犜 场 强 度, 狊 犻 犼 是 弹 性 柔 顺 系 数, 犱 犻 犼 是 压 电 常 数,ε 犻 犼 是 介 电 常 数, 上 标 p 表 示 压 电 陶 瓷 极 化 部 分 而 在 金 属 芯 和 压 电 陶 瓷 非 极 化 部 分 的 应 力 应 变 关 系 为 : 犛 m m = 狊 m 犜, (3) 犛 n n = 狊 犜, (4) 上 标 m 和 n 表 示 金 属 芯 和 压 电 陶 瓷 非 极 化 部 分 2.2 自 由 端 位 移 在 HMPF 的 金 属 芯 和 外 电 极 上 外 加 电 压 后, 由 于 压 电 效 应, 极 化 部 分 将 产 生 伸 缩 变 形, 整 个 纤 维 将 产 生 轴 向 伸 缩 变 形 和 弯 曲 变 形 与 长 度 相 比,HMPF 的 直 径 很 小, 可 以 认 为 弯 曲 时 HMPF 各 部 分 的 曲 率 相 同 ; 且 由 于 是 对 称 结 构, 弯 曲 时 可 以 认 为 中 性 层 位 于 极 化 区 和 非 极 化 区 的 分 界 面, 则 HMPF 中 总 应 变 是 轴 向 正 应 变 和 弯 曲 应 变 之 和 : 狉 sinθ 犛 = ρ + 犛 0, (5) 式 中 : 狉 是 到 HMPF 中 心 的 距 离,θ 是 到 分 界 面 的 角 度, 犛 0 是 轴 向 正 应 变 把 式 (5) 代 入 式 (), 且 犞 狉 = 狉 ln 化 部 分 的 应 力 p 犜 = 狊 ( 狉 sinθ ρ + 犞 犛 0+ 犱 3 狉 ln c m c m, 得 到 极 ). (6) 把 式 (5) 代 入 到 式 (3) 和 式 (4), 可 以 得 到 金 属

4 2 光 学 精 密 工 程 第 7 卷 芯 部 分 和 压 电 陶 瓷 非 极 化 部 分 的 应 力 犜 m = 狉 sinθ 狊 ρ + 犛 0, (7) n 犜 = 狉 sinθ 狊 ρ + 犛 0. (8) 由 式 (6) (7) 和 (8) 的 轴 向 正 应 力 对 面 积 积 分 并 相 加, 得 到 HMPF 各 部 分 的 合 力 c 犉 = m 0 2π 0 m π 0 ( 犞 犛 0 + 犱 3 狊 狉 ln c m ) 狉 d 狉 dθ+ c 犛 0 狉 d 狉 dθ+ 狊 m 2π 犛 0 狉 d 狉 dθ. (9) π 狊 只 有 外 加 电 压 时,HMPF 所 受 的 外 力 为 0, 由 式 (9) 解 得 正 应 变 为 : 狊 m 犱 3( m- c) 犞 犛 0= ( 狊 m c+ 狊 m- 狊 m m )ln c m. (0) 但 是 与 弯 曲 应 变 相 比 正 应 变 很 小, 所 以 在 下 面 的 分 析 中 不 予 考 虑 由 式 (6) (7) 和 (8) 的 弯 曲 应 力 对 面 积 积 分 并 相 加, 得 到 HMPF 各 部 分 的 弯 矩 总 和 c 犕 = m π 0 m 0 2π 0 狉 狉 sinθ( sinθ 狊 ρ + 犞 犱 3 狉 ln c m ) 狉 d 狉 dθ+ 狉 sinθ 狉 sinθ 狉 d 狉 dθ+ 狊 ρ c m 2π 狉 sinθ 狉 sinθ 狉 d 狉 dθ. () π 狊 ρ 只 有 在 外 加 电 压 时,HMPF 所 受 的 外 加 弯 矩 为 0, 由 式 () 解 得 曲 率 为 2 2 ρ = 4 狊 m 犱 3( m- c) 犞 π( 狊 m c+ 狊 m- 狊 m m )ln c m, (2) 由 ρ = n 犳 ( 狕 ) 可 以 得 到 HMPF 的 挠 曲 线 方 程, 把 狕 = 犔 代 入 方 程 中, 得 到 自 由 端 横 向 位 移 狊 m 犱 3( m- c) 犔 δ= π( 狊 m c+ 狊 m- 狊 m m )ln( 犞. c/ m) (3) 由 式 (3) 分 析, 悬 臂 梁 结 构 HMPF 的 端 部 位 移 与 其 长 度 的 平 方 和 所 加 电 压 成 正 比 为 了 研 究 金 属 芯 对 自 由 端 位 移 的 影 响, 采 用 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析 的 方 法 进 行 研 究 在 HMPF 的 制 作 过 程 中, 要 经 过 高 温 煅 烧, 所 以 选 用 的 金 属 芯 材 料 必 须 能 够 耐 高 温 经 比 较, 选 用 铂 金 (Platinum,Pt) 或 钨 (Wolfram,W) 作 为 金 属 芯 材 料 设 所 选 HMPF 长 度 为 25 mm, 材 料 性 能 如 表 表 犎 犕 犘 犉 的 材 料 性 能 Tab. Propertiesofmaterialsusedinsimulation 材 料 PNN-PZT Pt W 狊 ( 0-2 m 2 /N) 20.6 犱 3( 0-2 C/N) -2 狊 m( 0-2 m 2 /N) ρ m (0 3 kg/m 3 ) ρ c (0 3 kg/m 3 ) 8.0 保 持 电 场 强 度 不 变 时, 以 电 压 00V, 压 电 陶 瓷 外 部 半 径 25μm, 金 属 芯 半 径 25μm 为 基 准, 规 范 化 电 场 强 度 : 犞 Γ= ln( c/ m) 也 为 定 值 设 犅 = m/ c, 式 (3) 写 为 (4) δ= 2 2 狊 m 犱 3 犔 犅 2-2 π c 狊 m+ 狊 犅 4 - 狊 m 犅 4Γ. (5) 把 几 何 尺 寸 和 材 料 性 能 参 数 代 入 到 上 式 中, 可 以 得 到 HMPF 端 部 位 移 的 理 论 值 为 了 验 证 理 论 计 算 结 果, 运 用 ANSYS 软 件, 对 HMPF 外 加 电 场 后 的 端 部 位 移 进 行 有 限 元 分 析 建 模 时 采 用 智 能 划 分 网 格 的 方 法, 陶 瓷 部 分 沿 半 径 方 向 划 分 为 5 格 定 义 压 电 陶 瓷 的 单 元 类 型 为 SOLD98 边 界 约 束 条 件 : 一 端 全 约 束, 一 端 自 由 在 内 外 电 极 上 施 加 电 压, 并 把 有 限 元 的 位 移 结 果 和 理 论 计 算 的 结 果 在 图 4 中 做 了 比 较 图 4 外 加 电 场 强 度 不 变 时 HMPF 的 端 部 位 移 Fig.4 TipdeflectionofHMPFasthefixedexternal electricfield 由 于 在 有 限 元 建 模 中, 压 电 系 数 犱 矩 阵 中, 犱 3 使 用 了 表 的 数 值, 而 犱 33 值 为 0, 其 条 件 和 理 论 计 算 的 条 件 基 本 相 同, 因 此, 理 论 值 和 有 限 元 分 析 值 基 本 吻 合 由 图 4 分 析 可 知 HMPF 驱 动 器 的 位 移 较 大, 可 达 百 微 米 级 当 HMPF 的 长 度 半 径 和 电 场 强

5 第 期 边 义 祥, 等 : 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 3 度 不 变 时, 随 着 金 属 芯 半 径 的 增 大, 端 部 位 移 不 断 减 小 当 金 属 芯 和 HMPF 的 半 径 比 达 到 时, HMPF 变 成 纯 金 属 纤 维, 此 时, 没 有 压 电 效 应, 端 部 也 不 再 有 位 移 产 生 在 HMPF 的 长 度 外 径 和 半 径 比 相 同 的 情 况 下, 由 于 铂 金 的 弹 性 模 量 比 钨 小, 随 着 半 径 比 的 增 大, 含 铂 金 芯 的 HMPF 端 部 位 移 的 下 降 幅 度 比 含 钨 芯 的 HMPF 平 缓 因 此, 当 需 要 HMPF 有 比 较 高 的 机 械 强 度 时, 应 选 钨 作 金 属 芯 ; 当 需 要 有 比 较 高 的 端 部 位 移 时, 应 选 铂 金 作 金 属 芯 (3) 变 为 有 些 情 况 下, 要 求 外 加 的 电 压 不 变, 此 时, 式 δ= 2 2 狊 m 犱 3 犔 犞 2 π c 犅 2 - ( 狊 m+ 狊 犅 4 - 狊 m 犅 4 )ln 犅. (6) 此 时, 仍 然 保 持 HMPF 的 长 度 外 部 半 径 不 变, 经 过 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析,HMPF 的 自 由 端 位 移 如 图 5 所 示 图 5 外 加 电 压 不 变 时 HMPF 的 自 由 端 位 移 Fig.5 TipdeflectionofHMPFasthefixedexternal voltage 由 图 5 可 知, 随 着 半 径 比 的 增 加,HMPF 的 端 部 位 移 有 一 个 最 大 值, 含 铂 金 芯 的 HMPF 在 半 径 比 为 0.6 时 达 到 最 大 值, 而 含 钨 芯 的 HMPF 在 半 径 比 为 0.48 时 达 到 最 大 值 因 此, 在 设 计 HMPF 时, 为 了 得 到 最 大 的 端 部 位 移, 可 以 设 计 相 应 的 半 径 比 而 且, 由 于 铂 金 的 弹 性 模 量 比 钨 小, 在 相 同 的 条 件 下, 可 以 得 到 比 较 大 的 端 部 位 移 另 外, 可 以 看 到, 随 着 半 径 比 趋 近 于, 其 端 部 位 移 并 不 趋 近 于 0 这 是 由 于 随 着 半 径 比 的 增 加, 在 电 压 不 变 的 情 况 下, 其 电 场 强 度 快 速 增 大 而 导 致 的 结 果 在 实 际 使 用 中, 电 场 强 度 太 大 时, 压 电 陶 瓷 容 易 被 击 穿 因 此, 其 电 场 强 度 是 受 限 制 的, 不 能 象 理 论 上 一 样 无 限 增 大 2.3 犎 犕 犘 犉 的 夹 持 力 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF 受 到 外 加 电 压 产 生 弯 曲 变 形 时, 要 保 持 自 由 端 的 位 置 不 变, 需 要 在 自 由 端 外 加 与 变 形 方 向 相 反 的 力, 通 常 称 之 为 夹 持 力 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF 弯 曲 时, 设 整 个 HMPF 的 曲 率 相 同, 则 整 个 HMPF 受 到 的 弯 矩 犕 是 金 属 芯 和 压 电 陶 瓷 部 分 受 到 的 弯 矩 之 和, 由 此, 解 得 曲 率 为 : ρ = 4 犕 狊 狊 m π( 狊 m c- 狊 m m+ 狊 m ), ( 7) 再 由 ρ = 犕 得 HMPF 的 等 效 抗 弯 刚 度 犐 : 犐 4 狊 狊 m = 犐 π( 狊 m c- 狊 m m+ 狊 m ). (8) 如 果 要 在 悬 臂 梁 的 自 由 端 得 到 位 移 δ, 必 须 施 加 垂 直 力 犉 : 犉 = 3δ 犐 3 犔, ( 9) 把 式 (3) 代 入 式 (9) 中, 得 到 施 加 电 压 犞 后, HMPF 的 夹 持 力 为 犉 = 犱 3( m- c) 犞, (20) 2狊 犔 ln( c/ m) 注 意 到 夹 持 力 与 金 属 芯 的 弹 性 模 量 没 有 关 系, 与 HMPF 的 长 度 成 反 比, 与 所 加 电 压 成 正 比 为 了 研 究 金 属 芯 对 夹 持 力 的 影 响, 同 样 采 用 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析 的 方 法 进 行 研 究 当 外 加 电 场 强 度 不 变 时, 式 (20) 可 以 写 成 犉 = 3 2 犱 3 c ( 犅 2 -) Γ, (2) 2狊 犔 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析 的 结 果 如 图 6 所 示 可 见,HMPF 驱 动 器 的 夹 持 力 比 较 小, 只 有 几 百 微 图 6 外 加 电 场 强 度 不 变 时 HMPF 的 夹 持 力 Fig.6 BlockingforceofHMPFasthefixedexternal electricfield

6 4 光 学 精 密 工 程 第 7 卷 牛 随 着 半 径 比 的 增 大, 夹 持 力 相 应 减 小, 当 半 径 比 为 时, 夹 持 力 为 0 如 果 所 加 电 压 不 变, 均 为 00 V, 则 HMPF 夹 持 力 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析 结 果 如 图 7 所 示 图 8 HMPF 的 一 阶 弯 曲 共 振 频 率 Fig.8 ThefirstmodalnaturalfrequencyofHMPF 图 7 外 加 电 压 不 变 时 HMPF 的 夹 持 力 Fig.7 BlockingforceofHMPFasthefixedexternal voltage 可 以 看 出, 随 着 半 径 比 的 增 加, 相 应 的 夹 持 力 也 逐 渐 增 大 原 因 如 前 文 所 述, 是 由 于 电 场 强 度 也 很 快 增 大 在 保 证 HMPF 工 作 安 全 不 被 击 穿 的 前 提 下, 当 外 加 电 压 不 变 时, 为 了 得 到 大 的 夹 持 力 可 以 适 当 地 增 加 半 径 比 2.4 弯 曲 共 振 频 率 率 [2] 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF 的 弯 曲 振 动 共 振 频 犳 犻 = ( λ 犻 犔 ) 2 犐 4. (22) 2π 槡 ρ 犃 犔 设 金 属 芯 的 密 度 为 ρ, 压 电 陶 瓷 的 密 度 为 m ρ c, 整 个 HMPF 的 等 效 密 度 为 ρ H 则 2 m+ρ ρ c 2 2 ( c- m ), (23) H=ρm 2 c 把 式 (8) (23) 和 犅 = m/ c 代 入 (23) 后, 得 犳 犻 = ( λ 犻 犔 ) 2 2 c 狊 m- 狊 m 犅 狊 犅 2π 4 狊 狊 m 犔 4 ρ m 犅 2 +ρ c- ρ c 2 槡 犅, ( 24) 由 式 (24) 可 以 看 出,HMPF 的 弯 曲 共 振 频 率 与 长 度 平 方 成 反 比, 与 外 径 成 正 比 以 HMPF 的 第 一 阶 弯 曲 共 振 频 率 为 例, 把 HMPF 的 几 何 尺 寸 和 参 数 代 入 式 (24) 中 ( 其 中 犔 =50 mm) 进 行 理 论 计 算, 并 和 有 限 元 分 析 的 结 果 相 比 较, 如 图 8 所 示 由 图 8 可 知,HMPF 的 弯 曲 共 振 频 率 很 低, 只 有 几 十 赫 兹 铂 金 和 钨 的 密 度 基 本 相 同, 但 是, 钨 的 弹 性 模 量 高 于 铂 金, 所 以, 含 钨 芯 的 HMPF 的 共 振 频 率 要 高 于 含 铂 金 芯 的 HMPF 含 钨 芯 的 HMPF 在 半 径 比 为 0.4 处 取 得 共 振 频 率 最 小 值, 而 含 铂 金 芯 的 HMPF 在 半 径 比 0.6 处 取 得 共 振 频 率 最 小 值 设 计 时 可 以 根 据 情 况 选 用 合 适 的 金 属 芯 和 半 径 比 3 实 验 研 究 为 了 验 证 前 面 建 立 的 理 论 模 型, 本 文 进 行 实 验 研 究 为 了 测 试 HMPF 的 驱 动 位 移 和 夹 持 力, 建 立 了 如 图 9 所 示 的 实 验 系 统 把 HMPF 的 一 端 粘 接 在 工 作 台 上, 另 一 端 自 由, 形 成 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF 在 HMPF 的 金 属 芯 和 外 层 电 极 上 施 加 电 压, 用 光 纤 位 移 传 感 器 测 量 自 由 端 的 横 向 位 移, 用 微 力 传 感 器 测 量 自 由 端 的 夹 持 力 所 用 的 HMPF 长 度 为 45 mm, 其 余 材 料 性 能 如 表 所 示 图 9 位 移 和 夹 持 力 实 验 Fig.9 Measurementsfortipdeflectionand block forceofhmpf HMPF 的 自 由 端 位 移 和 夹 持 力 的 理 论 值 和 实 验 测 量 值 分 别 如 图 0 和 图 所 示 由 图 可 知, 随 着 外 加 电 压 的 增 大, 悬 臂 梁 结 构 的 HMPF 的 自 由 端 位 移 和 夹 持 力 基 本 成 线 性 增 大 位 移 较

7 第 期 边 义 祥, 等 : 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 5 图 2 弯 曲 共 振 实 验 图 0 HMPF 的 端 部 位 移 测 量 值 Fig.0 MeasuredtipdeflectionofHMPF Fig.2 TransversevibrationofHMPF 图 HMPF 的 端 部 夹 持 力 测 量 值 Fig. MeasuredblockingforceofHMPF 大, 可 达 到 589 μm, 而 夹 持 力 只 有 427 μn HMPF 的 端 部 位 移 和 夹 持 力 的 理 论 值 和 测 量 值 都 存 在 误 差 主 要 原 因 是, 理 论 计 算 采 用 的 压 电 陶 瓷 的 性 能 参 数 是 表 中 的 参 数, 而 HMPF 由 于 制 作 工 艺 复 杂, 其 性 能 参 数 很 难 达 到 理 论 值, 所 以 位 移 和 夹 持 力 的 实 测 值 要 小 于 理 论 值 为 了 测 量 HMPF 的 弯 曲 共 振 频 率, 建 立 了 如 图 2 所 示 的 实 验 系 统 把 长 度 为 57.5mm 的 HMPF 粘 接 在 激 振 器 的 激 振 头 上, 电 极 通 过 电 荷 放 大 器 连 接 到 dspace 卡 上 ; 计 算 机 通 过 dspace 卡 采 集 电 荷 信 号, 并 控 制 激 振 器 进 行 扫 频 激 振 实 验 结 果 如 图 3 所 示 把 HMPF 的 几 何 尺 寸 和 材 料 参 数 代 入 公 式, 得 一 阶 弯 曲 共 振 频 率 为 Hz, 而 扫 频 激 振 得 到 HMPF 的 弯 曲 共 振 频 率 为 28 Hz, 和 理 论 值 基 本 相 同 图 3 HMPF 的 扫 频 激 振 输 出 电 荷 Fig.3 ElectricchargeofHMP withtransversevi bration 4 结 论 为 了 深 入 研 究 HMPF 新 型 压 电 驱 动 器 的 驱 动 特 性, 建 立 了 悬 臂 梁 结 构 HMPF 弯 曲 驱 动 器 的 理 论 模 型, 并 推 导 出 自 由 端 位 移 夹 持 力 和 弯 曲 共 振 频 率 的 解 析 表 达 式 分 析 了 HMPF 的 几 何 尺 寸 对 其 驱 动 性 能 的 影 响 ; 并 用 理 论 计 算 和 有 限 元 分 析 的 方 法 详 细 研 究 了 金 属 芯 对 HMPF 的 自 由 端 位 移 夹 持 力 和 弯 曲 共 振 频 率 的 影 响 实 验 结 果 表 明,HMPF 驱 动 器 位 移 较 大, 最 大 可 达 589μm, 夹 持 力 较 小, 最 大 只 有 427μN; 弯 曲 共 振 频 率 很 低, 一 阶 固 有 共 振 频 率 只 有 28 Hz; 有 限 元 分 析 的 结 果 和 理 论 值 基 本 吻 合 该 模 型 为 HMPF 新 型 压 电 驱 动 器 的 优 化 设 计 和 进 一 步 研 究 打 下 了 很 好 的 理 论 基 础

8 6 光 学 精 密 工 程 第 7 卷 参 考 文 献 : [] TANIJ,TAKAGIT,QIUJ.Inteligentmaterial systems:application offunctional materials [J]. 犃 狆 犾 犻 犲 犱 犕 犲 犮 犺 犪 狀 犻 犮 狊 犲 狏 犻 犲 狑 狊,998,5(8): [2] SATO H,NAGAMINE M.Mechanicalproperties of metal core piezoelectricfiber [C]. 犘 狉 狅 犮. 狅 犳 犛 犘 犐, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊 2005: 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犐 狀 狋 犲 犵 狉 犪 狋 犲 犱 犛 狔 狊 狋 犲 犿 狊, 犅 犲 犾 犻 狀 犵 犺 犪 犿, 犠 犃,2005: [3] HAGOOD N,BENT A.Developmentofpiezoelec tricfibercompositeforstructuralactuation [C]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊, 犃 犐 犃 狊 34 狋 犺 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊, 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犪 犾 犇 狔 狀 犪 犿 犻 犮 狊, 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 犆 狅 狀 犳 犲 狉 犲 狀 犮 犲, 犔 犪 犑 狅 犾 犪, 犆 犃, 犝 犛 犃 : 犃 犐 犃,993: [4] HIGH J, WILKEI W. 犕 犲 狋 犺 狅 犱 狅 犳 犳 犪 犫 狉 犻 犮 犪 狋 犻 狀 犵 犖 犃 犛 犃 狊 狋 犪 狀 犱 犪 狉 犱 犿 犪 犮 狉 狅 犳 犻 犫 犲 狉 犮 狅 犿 狆 狅 狊 犻 狋 犲 狆 犻 犲 狕 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 犻 犮 犪 犮 狋 狌 犪 狋 狅 狉 狊 [R].Virginia,USA:NASA,2003. [5] QIUJ,YAMADA N,TANIJ, 犲 狋 犪 犾..Fabrication ofpiezoelectricfiberswithmetalcore[c]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊 狅 犳 犛 犘 犐 狊 0 狋 犺 犐 狀 狋 犲 狉 狀 犪 狋 犻 狅 狀 犪 犾 犛 狔 犿 狆 狅 狊 犻 狌 犿 狅 狀 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊, 犃 犮 狋 犻 狏 犲 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊 : 犅 犲 犺 犪 狏 犻 狅 狉 犪 狀 犱 犕 犲 犮 犺 犪 狀 犻 犮 狊, 犛 犪 狀 犇 犻 犲 犵 狅, 犆 犃, 犝 犛 犃 : 犛 犘 犐,2003: [6] SATO H,SEKIYAT,NAGAMINE M.Designof themetal corepiezoelectricfiber[c]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊 狅 犳 犛 犘 犐, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犐 狀 狋 犲 犵 狉 犪 狋 犲 犱 犛 狔 狊 狋 犲 犿 狊, 犅 犲 犾 犻 狀 犵 犺 犪 犿, [7] SEBALD G,QIUJ,GUYOMAR D, 犲 狋 犪 犾..Mod eling and Characterization of Piezoelectric Fibers with MetalCore.[J]. 犑 犪 狆 犪 狀 犲 狊 犲 犑 狅 狌 狉 狀 犪 犾 狅 犳 犃 狆 狆 犾 犻 犲 犱 犘 犺 狔 狊 犻 犮 狊,2005,44(8): [8] SEBALD G,QIUJ,GUYOMAR D.Modelingthe lateralresonance modeofpiezoelectricfibers with metalcore[j]. 犑 狅 狌 狉 狀 犪 犾 狅 犳 犘 犺 狔 狊 犻 犮 狊 犇 : 犃 狆 犾 犻 犲 犱 犘 犺 狔 狊 犻 犮 狊,2005,38: [9] TAKAGIK,SATO H,SAIGO M.Robustvibra tioncontrolofthe metal coreassistedpiezoelectric fiberembeddedincfrpcomposite[c]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊 狅 犳 犛 犘 犐, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犐 狀 狋 犲 犵 狉 犪 狋 犲 犱 犛 狔 狊 狋 犲 犿 狊, 犅 犲 犾 犻 狀 犵 犺 犪 犿, 犠 犃,2004: [0] TAKAGIK,SATO H,SAIGO M.Damagede tectionandgain scheduledcontrolofcfrpsmart boardmountingthemetalcoreassistedpiezoelec tricfiber[c]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊 狅 犳 犛 犘 犐, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊, 犛 犿 犪 狉 狋 犛 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊 犪 狀 犱 犐 狀 狋 犲 犵 狉 犪 狋 犲 犱 犛 狔 狊 狋 犲 犿 狊, 犅 犲 犾 犻 狀 犵 犺 犪 犿, 犠 犃,2005: [] QIU J,PARK M,HOSHID, 犲 狋 犪 犾..There searchofthedevelopmentoftheairflowsensoru singthepiezoelectricfiberwithptcore[c]. 犘 狉 狅 犮 犲 犱 犻 狀 犵 狊 狅 犳 3 狋 犺 犮 狅 狀 犳 犲 狉 犲 狀 犮 犲 狅 狀 犾 犲 犮 狋 狉 狅 犿 犪 犵 狀 犲 狋 犻 犮 犘 犺 犲 狀 狅 犿 犲 狀 犪 犪 狀 犱 犇 狔 狀 犪 犿 犻 犮 狊, 犛 犲 狀 犱 犪 犻. 犑 犘 : 犃 犕 狅 犳 犑 犪 狆 犪 狀,2004: (inJapanese) [2] DAVID V. 犃 狆 犾 犻 犲 犱 犕 犲 犮 犺 犪 狀 犻 犮 犪 犾 犞 犻 犫 狉 犪 狋 犻 狅 狀 狊 [M]. New York:McGraw Hil,Inc,98: 犠 犃,2004: 作 者 简 介 : 通 讯 作 者 : 边 义 祥 (973-), 江 苏 沭 阳 人, 博 士 研 究 生, 主 要 从 事 智 能 材 料 与 结 构 的 研 究 E mail:bianyiqiang@63.com 裘 进 浩 (963-), 浙 江 嵊 州 人, 工 学 博 士, 博 士 生 导 师, 主 要 从 事 智 能 材 料 振 动 控 制 能 量 回 收 等 方 面 的 研 究 E mail:qiu@nuaa.edu.cn

9 第 期 边 义 祥, 等 : 半 电 极 含 金 属 芯 压 电 纤 维 的 驱 动 性 能 7 王 鑫 伟 (948-), 男, 江 苏 苏 州 人, 工 学 博 士, 博 士 生 导 师, 主 要 从 事 工 程 问 题 的 力 学 建 模 与 计 算 机 仿 真 复 合 材 料 力 学 智 能 材 料 结 构 等 方 面 的 研 究 E 季 宏 丽 (983-), 女, 江 苏 射 阳 人, 博 士 研 究 生, 主 要 从 事 智 能 材 料 与 结 构 的 研 究 E mail:jhl_83@63.com mail:wangx@nuaa.edu.cn 朱 孔 军 (97-), 男, 山 东 临 沂 人, 工 学 博 士, 主 要 从 事 智 能 材 料 方 面 的 研 究 E mail:kjzhu@nuaa.edu.cn 下 期 预 告 入 射 角 度 变 化 对 角 锥 棱 镜 测 量 精 度 的 影 响 刘 万 里, 欧 阳 健 飞, 曲 兴 华, 闫 勇 刚 2 (. 天 津 大 学 精 密 测 试 技 术 及 仪 器 国 家 重 点 实 验 室, 天 津 ; 2. 河 南 理 工 大 学 精 密 工 程 研 究 所, 河 南 焦 作 ) 为 了 掌 握 角 锥 棱 镜 用 在 激 光 跟 踪 仪 中 光 束 入 射 角 度 变 化 对 其 测 量 精 度 的 影 响 规 律, 详 细 分 析 了 角 锥 棱 镜 的 工 作 原 理 和 反 射 特 性, 计 算 出 了 角 锥 棱 镜 在 不 同 入 射 角 下 的 实 际 有 效 反 射 面 积, 并 建 立 了 角 锥 棱 镜 有 效 反 射 面 积 随 光 束 入 射 角 度 变 化 的 理 论 公 式, 进 而 得 到 角 锥 棱 镜 测 量 精 度 随 光 束 入 射 角 度 变 化 的 规 律 实 验 结 果 表 明 : 角 锥 棱 镜 测 量 精 度 随 入 射 角 增 大 而 减 小, 在 最 大 允 许 入 射 角 处 发 生 突 变 在 最 大 允 许 入 射 角 ±35.26 时 其 测 量 误 差 达 到 0.050mm; 而 在 ±20 范 围 内 时 其 测 量 精 度 优 于 0.00mm, 且 入 射 角 度 在 ±5 范 围 内 其 测 量 精 度 最 高, 稳 定 性 最 好 所 得 结 论 证 明 了 当 角 锥 棱 镜 在 入 射 角 度 为 ± 20 范 围 内 工 作 时 能 满 足 了 激 光 跟 踪 仪 的 测 量 精 度 要 求, 这 对 角 锥 棱 镜 设 计 和 实 际 测 量 工 作 具 有 指 导 意 义

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