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2 -2-2 p / p /64

3 -2-2 p. -69,70, N Si80 nm200 nm Pd Zr Cu 100 nm 100 nm 100 nm 336T g +10) 424 T g +40) 429 T g +40) 10 s 30 s 60 s 3030 MPa 30 MPa 3030 MPa 80 nm 43/ p. -66 Si u.) Intens sity (a. Cu Zr Pd Cu-K 44/64

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5 -2-2 p nm 50 nm 90 nmsem 100 nm 40 nm 90 nm 90 nmafm 90 nm40 nm Pd 47/ p. -74 N Si60 60 nm30 30 nm30 30 nm Pd 609 KT g +10 K)10 s60 MPa 20 nm 48/64

6 -2-2 p m m SEM 20 nm 100 nm 10 m 20 nm SEM SEM 49/ p. -77, nm 27 nm 60 nm 21 nm 6 nm 110 nm 50 nm 50 nm 170 nm27 nm 110 nm6 nm 50/64

7 -2-2 p. -79,80 CMP 14 nm 100 nm CMPCo/Pd10 nm EDSCo/Pd 51/ p Tbit/in 2 52/64

8 -2-2 p. -91 ) 53/ p nm 33nm/25msec +6kOe -1kOe (1) (2) (3) 54/64

9 -2-2 p (AFM) 86 (AFM) nm (MFM) 200nm 0 (1/10) (MFM) 30 nm S 50 N N R=50 nm S N S N N S 200 nm S S N AFM 10 nm MFM nm (SI-MF40) N N 30 nm S 55/ p koe 500 emu/cc 16 nm 33 nm 16 nm 33 nm 1. FeZrCuPd FeZrCu Pd nm 30 nm nmsio 2 /Si 600Gbit/in 2 FIB+25 nm DLC /Al 2 O 3 1Tbit/in 2 4. Co/Pd20 koe 56/64

10 57/64 p /64

11 p koe 1. Co/Pd 500 emu/cc 2. () 9 nm 18 nm 9 nm 18 nm FIB + AFM or 59/64 p /64

12 61/64 p /64

13 p. -1 (Intermag 2008 GA-01(Se) AE-05(Sh) DA-06(Se) GA-06(Ca) 63/64 p. - 64/64

14 1/49 2/49

15 3/49 p mm 1609:1 1.4 mnm Zr Cu Ni SK 0 8(Reference1) Ni-MG (hr.) 313!! /49

16 p mm 0.9 9mm 1.5 mm 0.6 mm 0. 3 mm /49 6/49

17 p MPa 5 % 0.3 mm 2 μm 1650 MPa 10 % 0.3 mm 1 μm 0.9 mm 0.9 mm 21 ( RIMCOF 7/49 8/49

18 -1 9/49-1 p Zr, Al, Ni, Cu,,, 0.3 mm1 μm 1 μm 04mR 0.4 y 10/49

19 0.3 mm -1 p μmr y 0.4 μmr y 0.4 μmr y 11/49-1 p /49

20 -1 p Zr Ti-Zr-Cu-Pd-Nb 13/49-1 p ZrZr 55 Al 10 Ni 5 Cu 30 2 mm 125 m/min. R n 0. 2 mm μm (XRD) TEM SEM 14/49

21 -1 p /N /N /mmin /mmin m/min.3 m/min. 3 m/min. 15/49 Cr-K 10 μm -1 p T S T 1 μm ZrZ BMG Hollow-cone dark field image (1 st halo ring) 2mm 2mm FIB BMG 500 nm FIB 1 ZrTEM 16/49

22 -1 p / m, Ry /m / m 50 μm /m 17/49-1 p TiCN DLC DLC TiN / μm / μm Rn / μm /49

23 -1 p T S T 19/49 F 0.1 m80 m -1 p mwc-4mass%co SEM 30 m 20 m 30 m 20 m FIB 150 m 20/49

24 / / -1 p Y-Z 1 μm X 180 m/min. 1 μm60 mm mn -250 ~250 N 21/49-1 p T 1 m 1 m / m Zr / m Zr 0.2μmR y 0.2μmR y μmRR y 0.5μmR y / m Zr / m Zr Zr 0.6μmR y 0.2μmR y 0.5μmR y 0.2μmR y 22/49

25 -1 p Zr Cu Ni Ti Zr 65 Al 7.5 Ni 10 Cu 7.5 Pd 10 1) Zr 65 Al 7.5 Ni 10 Cu 12.5 Ag 5 1) Cu 50 Zr 50 2) Cu 60 Ti 10 Zr 30 3) Ni 60 Pd 30 P 20 4) Ti 41.5 Zr 2.5 Hf 5 Cu 42.5 Ni 7.5 Si 1 5) (Ti 40 Zr 10 Cu 36 Pd 14 ) 0.99 Ta 1 6) Zr 65 Al 75 Ni 10 Cu 12 5 Pd 5 1) Cu 50 Zr 50 2) Ni 60 Pd 30 P 20 4) Ti 41.5 Zr 2.5 Hf 5 Cu 42.5 Ni 7.5 Si 1 7) Zr 65 Al 7.5 Ni 10 Cu 7.5 Pd 10 Glass+nano-Q Q.C.(30 nm) d c = 4 mm (cast) f = 1800 MPa (comp.) f = 2.2 % (comp.) Cu 50 Zr 50 Glass+nano-C C.(10 nm) d c = 1 mm (cast) f = 2100 MPa (comp.) f = 50 % (comp.) Ni 60 Pd 30 P 20 Glass+MRO (2 nm) d c = 16 mm (cast) f = 1780 MPa (comp.) f = 7.6 % (comp.) Ti 41.5 Zr 2.5 Hf 5 Cu 42.5 Ni 7.5 Si 1 Glass+nano-C C. (10 nm) d c = 5 mm (cast) f = 2080 MPa (comp.) f = 4.5 % (comp.) 1) A. Inoue et al., Scripta Mater., 44(2001) ) A. Inoue et al., Philo. Mag. Lett., 85(2005) ) Y. Chen et al., Mater. Trans., 43(2002) ) Y.Q Zeng et al., Mater. Trans., 47(2006) ) C.L. Ma et al., Mater. Trans., 45(2004) ) F.X. Qin et al., Mater. Trans., 48(2007) ) M. Ishimaru et al., Philo. Mag. Lett., 85(2005) /49-1 p Ti-Zr-Cu-Pd-NbXRD Ti-Zr-Cu-Pd-NbHR-TEM TEM Ti-Zr-Cu-Pd-Nb 24/49

26 -1 p / m, Ry /m m/min T / m /m Zr Zr Ti Ti 25/49-1 p Zr-Al-Ni-PdXRD DSC HR-TEM 26/49

27 -1 p Zr 1650 MPa 5% 2. Zr 0.6 mry0.2 mry0.5 m Ry0.2 mry 3. Ti-Zr-Cu-Pd-NbZr-Al-Ni-PdTi 2000 MPa 2% Zr1690 MPa8.5% 0.3 mm 2 m 27/49 28/49

28 -2 29/49-2 p /49

29 -2 p. -123,128 2 m 31/49-2 p /49

30 -2 p /49-2 p NIKON NEXIV VMR-1515TZ (CNC Video Measuring System) 2 2 m 2 2 m 2 m ~ ~ ~ /49

31 -2 p mm 50 nm 5KN 125 mm/sec 500 W 500 L 1540 H V 600 W 35/49-2 p mm 10 36/49

32 -2 p /49-2 p /49

33 -2 p /49-2 p /49

34 -2 p mm 0.9 mm 1.5 mm 1.5 mm 0.9 mm 41/49-2 p /49

35 -2 p MPa 5% 0.3 mm 1. Zr mm 2 m 2. 2 m mm1 6:1 43/49 44/49

36 p /49 p. -121, MPa 10% 0.3 mm 1 1 m (Pd) mry mm 46/49

37 p /49 48/49

38 p /49

39 1/46 2/46

40 3/46 p. - FFC/F FPC (m mm) FFCFlexible Flat Cable FPCFlexible Print Circuit /46

41 p Cu-Be 1200 MPa3040 %IACS *IACS100 Cu-Be 5/46 6/46

42 p MPa 30 %IACS 0.1 mm 10 mm 1500 MPa 60 %IACS 0.05 mm 50 mm 22 ( RIMCOF 1/2 7/46 8/46

43 /46 Cu-Zr-Ag-Al Zr-Al-Ni-Cu Ni-Nb-Ti-Zr-Cu-Co -1 p , Cu/Cu () / / SPS H20 / 10/46

44 -1 p mm 15 mm 16 mm, 5 mm, 0.5 mm 2 mm, 4 mm 11/46-1 p Cu (P Pas) T g : 446 t HP : 300 s T HP : T : () T HP : t x : 1150 s Tg: s Cu-MG Cu-MGTTT 12/46

45 -1 p Cu Cu Cu Cu Cu 100m pure Cu 100m Cu purecu CuMG+50wt% 1207 MPa 1331 MPa 8 % IACS 22 % IACS purecu CuMG+50wt%Cu(EC) 756 MPa 1050 MPa 33 % IACS 53 % IACS 13/46-1 p Cu + 50wt%CuEC Cu + 40wt%Cu EC Cu + 30wt%Cu EC Cu + 50wt% Cu + 50wt% Ni + 50wt%Cu EC Ni + 50wt% Ni + 50wt% wt% 1200 MPa) 14/46

46 -1 p tress (M MPa) (GPa) 0.2 % (MPa) Pure Cu (EC) HP Pure Cu (AT) HP Cu-MG *ECAT S Pure Cu (EC) Cu + 50 wt%cu(ec) Strain (%) 0.1% *EC 15/46-1 p (a) (b) : 400 t (()) : 0.5 ~ 1800 mm/sec : 10 16/46

47 -1 p :OD-E 17/46-1 p CuK : Cu 100m sity / arbitra ary unit Inten No.5 No.5 No.4 No.4 No.3 100m 100m No / degree 18/46

48 -1 p S-S 19/46-1 p Zr55CuAlNi 45:55 40:60 45:55 40:60 40:60 410(T g -10) min (T g +20) mm/min MG Cu 20/46

49 -1 p No. (Zr55:Cu) MPa (%IACS MPa % GPa 1 45: : : (T g +20) 4 40: : /46-1 p mm 160mm 125mm 200mm 25t 0.2~2.0m/ /46

50 -1 p /46-1 p Zr-Al-Ni-CuCu-Zr- Ag-AlNi-Nb-Ti-Zr-Co-Cu Cu Cu 1200 MPa 30 %IACS 0.1 1mm 10 mm 2. ZrCu 1202 MPa30 %IACS 24/46

51 25/ /46

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