纳米直线直线无比紧凑的先进直线工作台系列直线纳米直线为采用磁动方式的截面高度极低的直线工作台可动工作台的导向部采用小型直线导轨设备领域评价颇高的直线导轨或交叉滚子直线导轨通过搭配直线和高分解能线性实现了高精度定位通过采用高性能钕磁石可获得大推力虽然是极小型也可实现高速高响应性

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虞达解
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1 ( V H XZ XZH) Ⅱ-9 Ⅱ-

纳米直线直线无比紧凑的先进直线工作台系列直线纳米直线为采用磁动方式的截面高度极低的直线工作台

通过采用高性能钕磁石可获得大推力虽然是极小型也可实现高速高响应性定位此外采用无可动电线的划时代驱动方式机

. 7 7 最大可搬质量 kg.. 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 mm/s 7 7 重复定位精度 μm ±.. 7 ±.

X轴主要产品规格精度单位 mm 最大推力 N 额定推力 N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 mm/s

直线导轨设备直线导轨(滚珠型) 交叉滚子直线导轨(圆柱滚子型) 定位精度无效运动工作台运动的平行度 A 工作台运动的平行度 B

通过电流量进行的加速度控制和线性的反无效行程内置润滑部件内置 C-Lube 自润滑部件 (V V H除外) 工作台底座的材质碳素钢

. ±. 纳米直线的动作原理磁轭(动子) 纳米直线采用在动子中配置磁铁和线性用光栅尺在定子中配置空心线圈和线性用读取头的紧凑型结构

2 纳米直线直线无比紧凑的先进直线工作台系列直线纳米直线为采用磁动方式的截面高度极低的直线工作台可动工作台的导向部采用小型直线导轨设备领域评价颇高的直线导轨或交叉滚子直线导轨通过搭配直线和高分解能线性实现了高精度定位通过采用高性能钕磁石可获得大推力虽然是极小型也可实现高速高响应性定位此外采用无可动电线的划时代驱动方式机械接触部分只有直线导轨设备因此可实现高洁净度纳米直线规格一览表标准型 V V 型号及大小尺寸 V V V V V V 截面形状 N N 最大可搬质量 kg.. 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 mm/s 7 7 重复定位精度 μm ±.. 7 ±. ±... 7 ±. 高精度型 H H H ±. ±.. 7. ±. 拾取&定位单元 XZ 高推力拾取&定位单元 XZH XZ 9XZH 9. X轴主要产品规格精度单位 mm 最大推力 N 额定推力 N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 mm/s 重复定位精度 μm ±. ±.. 7 ±. 驱动直线重复定位精度 ±.~. 直线导轨设备直线导轨(滚珠型) 交叉滚子直线导轨(圆柱滚子型) 定位精度无效运动工作台运动的平行度 A 工作台运动的平行度 B 姿势精度的作用力(弗莱明左手定律) 通过将线圈电流切换到与磁通朝向相应的方向可获得单向直线度连续推力使动子持续进行直线运动通过电流量进行的加速度控制和线性的反无效行程内置润滑部件内置 C-Lube 自润滑部件 (V V H除外) 工作台底座的材质碳素钢传感器标配 Ⅱ- Z轴 X轴 Z轴 7 7 自冷风冷自冷风冷 () 截面形状 () 9. 型号及大小尺寸 ± ±.. ±. 纳米直线的动作原理磁轭(动子) 纳米直线采用在动子中配置磁铁和线性用光栅尺在定子中配置空心线圈和线性用读取头的紧凑型结构如右图所示通过磁铁和线圈轭铁始终作用在垂直方向上的磁通以及通过线圈电流在线圈周围产生的旋转磁通使线圈承受水平方向工作台的移动方向磁铁(动子) 线圈(定子) 磁通线圈轭铁馈进行移动和正确定位 Ⅱ- 最大推力额定推力

纳米直线 V [ 标准型 ] V 直线工作台在工作台导向部使用小型直线导轨设备的直线导轨 L, 通过减少零件数量, 重新设计零件形状, 实现了卓越的性价比系列中最小尺寸的 V 的断面高度仅定子线圈动子磁铁可动工作台通过刚体结合并列配置的台 V, 用台专用驱动双轴并列运行器驱动, 可获得大推力和稳定的姿势精度 X 工作台

SSCNETⅢ 的驱动器, 实现了省配线, 平滑高速高精度的动作直线导轨 L 线性用光栅尺移动方向专用驱动器高位控制器底座线性用读取头 X 工作台 Points 彻底追求小型化尤其是系列中最小尺寸的 V, 断面高度仅 mm, 实现了工作台宽度 mm 全长 mm 即使超小型将多个工作台层叠配置, 所占空间也不会增大,

适用于立轴规格通过装入专用的弹簧式平衡机构, 可防止可动工作台在电源切断等时掉落充分发挥 V 的低断面紧凑特性, 可构建多连型拾取 & 定位机构等多连型拾取 & 定位机构 ( 示意图 ) 弹簧式平衡机构 X 轴 ( 行程长度 mm) 可动工作台弹簧备有支持运动网络 EtherCAT 的驱动器以及支持运动网络支持 SSCNETⅢ

3 纳米直线 V [ 标准型 ] V 直线工作台在工作台导向部使用小型直线导轨设备的直线导轨 L, 通过减少零件数量, 重新设计零件形状, 实现了卓越的性价比系列中最小尺寸的 V 的断面高度仅定子线圈动子磁铁可动工作台通过刚体结合并列配置的台 V, 用台专用驱动双轴并列运行器驱动, 可获得大推力和稳定的姿势精度 X 工作台双轴并列运行的特长双轴驱动可获得大推力通过左右工作台的驱动, 可将工作台延时和框体扭曲控制到最小程度由于工作台延时和框体扭曲被控制在最小程度, 因此可确保高定位精度与双轴同步控制系统相比较, 可降低成本 mm, 实现工作台宽度 mm 全长 mm 使精密定位工作台进一步小型化另备有支持运动网络 EtherCAT 的驱动器及支持 SSCNETⅢ 的驱动器, 实现了省配线, 平滑高速高精度的动作直线导轨 L 线性用光栅尺移动方向专用驱动器高位控制器底座线性用读取头 X 工作台 Points 彻底追求小型化尤其是系列中最小尺寸的 V, 断面高度仅 mm, 实现了工作台宽度 mm 全长 mm 即使超小型将多个工作台层叠配置, 所占空间也不会增大, 有助于定位机构的进一步小型化备注 : 需要双轴并列运行时, 请向咨询电线 (X 工作台用 ) 电线 (X 工作台用 ) 电线 XY 双轴组合规格直接组合台 V, 无需特别的安装板, 即可轻松构建低断面的 XY 工作台型号及大小尺寸 V V V V V V V 截面形状 (mm) Y 轴 ( 行程长度 mm) 适用于立轴规格通过装入专用的弹簧式平衡机构, 可防止可动工作台在电源切断等时掉落充分发挥 V 的低断面紧凑特性, 可构建多连型拾取 & 定位机构等多连型拾取 & 定位机构 ( 示意图 ) 弹簧式平衡机构 X 轴 ( 行程长度 mm) 可动工作台弹簧备有支持运动网络 EtherCAT 的驱动器以及支持运动网络支持 SSCNETⅢ 的驱动器, 省配线可构建高级系统控制器专用驱动器专用驱动器纳米直线 V 纳米直线 V 专用驱动器备注 : 立轴规格为单独对应品需要根据用户的使用条件选择弹簧, 因此请向咨询备注 :EtherCAT 是由德国 Beckhoff Automation GmbH 公司授权的专利技术, 也是注册商标 SSCNETⅢ 是三菱 ( 株 ) 开发的伺服系统控制用运动网络通信纳米直线 V Ⅱ- Ⅱ-

纳米直线 H [ 高精度型 ] XZ [ 拾取 & 定位单元 ] C-Lube 自润滑直线导轨 L H 是将圆柱滚子型的内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部, 通过 μm 以下的定位精度和行走直线度, 实现高刚性和顺畅动作 ( 无作用于空气静压轴承的脉动 ) 动子磁铁线性用读取头可动工作台 XZ 是工作台导向部使用小型直线导轨设备的 C-Lube 自润滑直线导轨 L,X

4 纳米直线 H [ 高精度型 ] XZ [ 拾取 & 定位单元 ] C-Lube 自润滑直线导轨 L H 是将圆柱滚子型的内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部, 通过 μm 以下的定位精度和行走直线度, 实现高刚性和顺畅动作 ( 无作用于空气静压轴承的脉动 ) 动子磁铁线性用读取头可动工作台 XZ 是工作台导向部使用小型直线导轨设备的 C-Lube 自润滑直线导轨 L,X 轴的可动工作台和 Z 轴的底座采用一体化设计, 实现了厚度仅 mm 的超薄型直线驱动的拾取 & 定线性用读取头线性用光栅尺的高精度直线工作台位单元通过输入定位程序, 可自由选择不同的运转模式, 底座还可根据工件轻松变更行程定子线圈动子磁铁底座可动工作台内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨线性用光栅尺定子线圈 Points Points 姿势精度高通过组合高精度加工的零部件和齿条 & 齿轮内置型交叉滚子直线导轨, 实现了秒以下的姿势精度因移动引起的姿势变化极少, 位置的再现性优异姿势精度秒姿势精度 : 秒以内俯仰摇摆采用直线驱动构造无可比拟的拾取 & 定位单元两个高节拍定位轴上均配置有光学式线性, 可实现精密的高节拍定位位置 mm 速度稳定性高通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨无芯动磁铁型直线高性能伺服驱动器, 进一步提高了速度稳定性速度 mm/s. mm/s 速度稳定性 ( 测量频率 :,Hz):±% 以下时间 s 通过使 X 轴的可动工作台与 Z 轴的基座一体超薄型省空间化, 实现了厚度仅 mm 的超薄化可在宽度 mm 的空间内并排设置台, 有助于节省空间和提高效率样品日元硬币除去电线后的尺寸行走精度高通过对构件进行高精度加工和组装, 实现了直线度 μm 以下的高行走精度直线度误差 μm 行走直线度 :μm 以下可使用驱动器的监视功能, 通过计算机进运行监视功能行轨道的验证位置 mm Ⅱ- Ⅱ-

5 纳米直线 XZH是工作台导向部使用小型直线导轨设备的C-Lube [高推力拾取&定位单元] 底座 X 轴工作台通过在两个轴上均配置光学式线性以进行全闭环控整定时间 ms 周期次数次/分钟制实现了高分解能和高响应性测量条件 C-Lube 自润滑直线导轨 L 自润滑直线导轨L X轴和Z轴采用紧凑一体化设计是采用实际推力 X轴.N 装载质量 g 行程 X轴mm 加减速时间 X轴ms 定子线圈直线驱动的高推力拾取&定位单元采用通过连杆机构动子磁铁 Z 轴工作台驱动可动工作台的方式同时实现了直线的高推力及可速定位动部的轻量化缩短了动作周期通过输入定位程序可自 Z轴 mm Z轴 9ms X轴实际速度 X轴定位完成信号 Z轴实际速度 Z轴定位完成信号实现高由选择不同的运转模式还可根据工件轻松变更行程 Z轴.7N 速度 mm/s XZH 高分解能高响应性连杆导向装置 (C-Lube 自润滑直线导轨 L) 可动工作台 Points 风冷采用将发热线圈集中在定子上的构造方便冷却和向安装 9XZH温度(环境温度 ) 底座散热通过指定风冷选装件可进一步缩短动作周期高推力高节拍通过将X轴和Z轴的配置无强制风冷有强制风冷(NL/min) 于平面上利用连杆机构驱流路动可动工作台的方式同时实现了直线的高推力及实际推力可动部的轻量化大幅缩短 X轴了动作周期 Z轴 X 轴可动部 Z 轴可动部 X 轴无可动部电线简洁虽然是多轴单元但可动部采用无电线的动磁铁方式因此配线处理简便可实现高洁净度 Z 轴连杆导向装置 (C-Lube 自润滑直线导轨 L) 可动工作台 Ⅱ- 7 时间 ms 底座温度线性用读取头线性用光栅尺运行监视功能与 XZ相同可使用驱动器的监视功能通过计算机进行轨道的验证 Ⅱ-

6 公称型号 V 的公称型号的排列例 7 V / L SC 公称型号 H 的公称型号的排列例 H / R 型号 Ⅱ-9 页大小尺寸 Ⅱ-9 页行程长度 Ⅱ-9 页线性分解能 Ⅱ-9 页护罩 Ⅱ-9 页电线引出方向 Ⅱ-9 页 7 传感器的指定 Ⅱ-9 页规格编号 Ⅱ-9 页公称型号和规格的说明 7 型号大小尺寸行程长度线性分解能护罩电线引出方向传感器的指定规格编号 V : 纳米直线 V : 宽度尺寸 mm : 宽度尺寸 mm : 宽度尺寸 mm :mm( 适用于 V) :mm( 适用于 V) :mm( 适用于 V V) :mm( 适用于 V V) :mm( 适用于 V) :.μm F :.μm 选择高速规格 ( 适用于 V V)F 时, 需要构建使用了专用驱动器 ADVA 的系统 :.μm 无标记 : 无护罩 D : 带护罩 ( 适用于 V) L : 左向 R : 右向从图所示的电线引出方向选择 ( 将设置在下侧时的引出方向 ) 无标记 : 无传感器 SC : 带传感器 ( 限位原点前 ) 传感器支架适用于 V V 纳米直线 V 及 V 备有支持 ADVA 和 SSCNETⅢ 的 MR-J-B 的两种专用驱动器, 使用 MR-J-B 时, 必须选择 SC : 规格编号规格编号仅限型号 Ⅱ- 页大小尺寸 Ⅱ- 页行程长度 Ⅱ- 页线性分解能 Ⅱ- 页电线引出方向 Ⅱ- 页公称型号和规格的说明型号大小尺寸行程长度线性分解能电线引出方向 H : 纳米直线 H : 宽度尺寸 mm :mm :mm :.μm :.μm L : 左向 R : 右向从图所示的引出方向选择 ( 将设置在下侧时的引出方向 ) L: 左向 R: 右向图 H 的电线引出方向 Ⅱ-9 L: 左向 R: 右向图 V 的电线引出方向 Ⅱ-

7 公称型号 XZ XZH 的公称型号排列例型号 Ⅱ- 页大小尺寸 Ⅱ- 页 X 轴行程长度 Ⅱ- 页 9 XZH / CA 诸特性表 V 的规格性能型号及大小尺寸 V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N.. 最大可搬质量 kg. 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 mm/s 7 7 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg.( 带护罩.).( 带护罩.) 总质量 ( ) kg.9( 带护罩.9).( 带护罩.9) 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 Z 轴行程长度 Ⅱ- 页线性分解能 Ⅱ- 页冷却规格 Ⅱ- 页公称型号和规格的说明型号大小尺寸 XZ : 纳米直线 XZ XZH : 纳米直线 XZH 高推力型 :Z 轴宽度尺寸 mm( 适用于 XZ) 9 :Z 轴宽度尺寸 9mm( 适用于 XZH) 表 V 的规格性能型号及大小尺寸 V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 7 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 mm/s 7 7 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg.7.7 总质量 ( ) kg.. 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 X 轴行程长度 :mm( 适用于 XZH) :mm( 适用于 XZ) Z 轴行程长度线性分解能冷却规格 :mm :.μm F :.μm 高速规格 :.μm 无标记 : 自冷 CA : 风冷 ( 适用于 XZH) 表 V 的规格性能型号及大小尺寸 V V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 mm/s 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg...7 总质量 ( ) kg... 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 Ⅱ- Ⅱ-

8 诸特性表 H 的规格性能表 XZ XZH 的规格性能型号及大小尺寸型号及大小尺寸 H XZ H 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 mm/s 9 9 定位精度 ( ) μm 重复定位精度 ( ) μm ±. 运动平行度 A μm 姿势精度 ( ) 秒垂直直线度水平直线度 μm 可动部质量 kg.7.9 总质量 ( ) kg. 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 环境及产品主体的温度为时的值 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 表示俯仰及摇摆 ( ) 不含电线质量 9XZH X 轴 Z 轴 X 轴 Z 轴最大推力 ( ) N 7 额定推力 ( ) N. 自冷 : 风冷 ( ) : 最大可搬质量 kg.. 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 mm/s 重复定位精度 ( ) μm ±. ±. 可动部质量 kg.( )... 总质量 ( ) kg.. 工作环境温度湿度 ~ ~% RH( 不结露 ) V 的推力特性推力 N 推力 N.... 工作台的移动速度 mm/s 图 V 的推力特性 V V 工作台的移动速度 mm/s 图 V 的推力特性额定推力 N 额定推力 N 环境温度 V V 环境温度图 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件时图 7 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件时动态可搬质量 kg 备注动态可搬质量 kg 备注.... 加速度 m/s V 加速度 m/s V V 图 V 的动态可搬质量根据工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值 V 图 V 的动态可搬质量根据工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 空气流量为 NL/min 时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 含 Z 轴的可动部质量 ( ) 不含电线质量推力 N V V V 额定推力 N 动态可搬质量 kg. V V V. 工作台的移动速度 mm/s 环境温度加速度 m/s 图 9 V 的推力特性图 V 的额定推力特性图 V 的动态可搬质量备注安装于金属制配合部件时备注根据工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值 Ⅱ- Ⅱ-

9 诸特性 H 的推力特性传感器规格表 V/SC V/SC 的传感器时序图 H 推力 N H 额定推力 N A A 环境温度原点原点前传感器 B B 原点原点前传感器工作台的移动速度 mm/s 图 H 的推力特性备注安装于金属制配合部件时图 H 的额定推力特性 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 C (D) (E) C (D) (D) C (E) C (D) + 方向限位 - 方向限位机械止动器 V/LSC 时 V/RSC 时 XZ XZH 的推力特性单位 mm 型号及大小尺寸 A B( ) C( ) D( ) E( ) 9XZH XZ 轴通用 9XZH ( 风冷 ) XZ 轴通用 9XZH( 自冷 ) XZ 轴通用 V /SC. V /SC. 7 V /SC. V /SC. 7 V/SC 7. 推力 N XZ X 轴额定推力 N XZ X 轴注 ( ) 各数值为大致标准, 并非保证值需要详细尺寸时, 请向咨询备注关于各传感器规格, 请参照综合解说的传感器规格项 XZ Z 轴 XZ Z 轴 V XZ XZH 未内置传感器工作台的移动速度 mm/s 图 XZ XZH 的推力特性环境温度图 XZ XZH 的额定推力特性使用了驱动器 ADVA 的系统构成及 V 的系统构成的原点复位, 通过外部输入来进行原点复位动作在可动工作台接触机械止动器后反向, 并在原点位置停止但 V V 可通过辅助标记 (/SC) 安装限位传感器及原点前传感器, 因此也可利用各传感器进行原点复位在使用了驱动器 ADVA 的系统构成中, 通过驱动器的软限位功能进行 ± 方向限位的检测可通过驱动器的参数设定行程范围此外, 软限位功能仅在位置控制模式下有效, 其前提条件是已完成原点复位速度控制模式推力控制模式时, 请设置外部传感器备注安装于金属制配合部件时 Ⅱ- Ⅱ-

10 传感器规格系统构成 V 的系统构成纳米直线 V 备有专用的驱动器, 系统构成如表 7 中所示驱动器的规格请参照 Ⅱ- 页的驱动器规格一项订购时, 请通过表 7 所示公称型号另行指定表 7 V 的系统构成数据编辑软件驱动器计算机连接电缆计算机原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 (7) (7) H/ L 时 (7) (7) H/ R 时原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 PLC 开关传感器等纳米直线 V DCV No. 名称公称型号纳米直线 V V 驱动器 NCR-DCEDB-D-S 原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 (7) H/ L 时 (7) 图 H 的传感器时序图 (7) H/ R 时 (7) 原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器转接线 (m( )) 转接线 (.m( )) TAET-AM TAEU-EC 请用户自备计算机连接电缆 USB 电缆 A 插头 - 迷你 B 插头数据编辑软件 NCR-XCR-S 输入输出信号用连接器 TAEU9-CN( ) 电源线连接线 DCV 电源请用户自备注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 输入输出信号用连接器 TAEU9-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -A-( 护罩 ) 的组合备注. 标准系统构成中的原点复位使用驱动器的原点复位功能 ( 限位取反方式 ) 需要将从接口输出的限位信号输入到驱动器中. 无原点前传感器输出. 关于各传感器规格, 请参照综合解说的传感器规格项 Ⅱ-7 Ⅱ-

11 R 系统构成 V V XZ XZH 的系统构成作为专用驱动器, 纳米直线 V V XZ XZH 备有 ADVA 和 MR-J 两个系列, 系统构成因所使用的驱动器而异 ADVA 备有脉冲串规格和高速网络 EtherCAT 规格两种,MR-J 仅限高速网络 SSCNETⅢ 规格驱动器和工作台的对应型号如表中所示表 9 中列出了 ADVA 的公称型号排列, 表中列出了工作台与适用 MR-J 的公称型号驱动器的规格请参照 Ⅱ-~Ⅱ- 页的驱动器规格一项表纳米直线 V XZ XZH 与适用驱动器的公称型号驱动器的种类 ADVA MR-J 备注 MR-J 仅适用于带传感器规格 /SC 适用的纳米直线型号 V V XZ XZH V V 设定软件为了使纳米直线 V V XZ XZH 动作, 需要进行驱动器参数的初始设定通过设定软件进行驱动器的参数设定还可用于调整增益和确认运转状况驱动器主体不附带设定软件计算机连接电缆这些可由多台驱动器共用, 但至少需要套请根据用户的条件另行订购或准备支持运动网络支持运动网络 EtherCAT 的驱动器和支持 SSCNET Ⅲ 的驱动器规格齐全运动网络不受脉冲串指令的脉冲频率制约, 不受模拟量指令 ( 电压指令 ) 的干扰, 不受电缆长度引起的电压降温度变化的影响, 可实现装置的高性能化高精度化另外, 还可节省配线, 轻松构建多个工作台的同步系统表 9 ADVA 的公称型号专用驱动器 ADVA NL EC / V 型号控制器专用驱动器纳米直线 V 电流电压 NL RML 指令方式无标记 EC 单相 / 三相 V 单相 V 脉冲串指令 EtherCAT 适用的纳米直线型号 V V V V V V V V V V XZ-X XZ 的 X 轴 XZ-Z XZ 的 Z 轴 9XZH 9XZH 的 X 轴 Z 轴通用专用驱动器纳米直线 V 纳米直线 V 表 V 与适用的 MR-J 的公称型号工作台的公称型号 V V V V V 备注 MR-J-B 仅适用于带传感器规格 /SC 驱动器的公称型号 MR-J-B-MBU7 MR-J-B-MBU7 MR-J-B-MBU7 MR-J-B-MBU7 MR-J-B-MBU77 型号 EtherCAT SSCNET Ⅲ 特征德国 Beckhoff 开发的可进行实时控制基于 Ethenet 的开放式网络通信通过高速通信和高精度节点间同步, 实现装置的高性能化高精度化另外, 还可使用市售 Ethernet 电缆, 适用于多种配线形态三菱 ( 株 ) 开发的伺服系统控制用运动网络通信采用光纤电缆, 抗干扰性比以往的 SSCNET 有所提高表使用了驱动器 ADVA 的 V 的系统构成驱动器 ACSERVO ADV Series 设定软件计算机 PLC 开关传感器等纳米直线 V No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) 计算机连接电缆 (m) 设定软件 TAEV-AM TAEV-EC USB mini B 电缆请用户自备 ProDriveNext 计划通过 web 网站提供 I/O 连接器 TAER-CN( ) 电源线 I/O 连接器连接电缆传感器转接线注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) I/O 连接器 TAER-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合请用户自备表使用了驱动器 ADVA EC 的 V 的系统构成驱动器 ACSERVO ADV Series ET ET 设定软件计算机 PLC 开关传感器等其他支持 EtherCAT 的设备 PLC 开关传感器等纳米直线 V No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) 计算机连接电缆 (m) 设定软件 TAEV-AM TAEV-EC USB mini B 电缆请用户自备 ProDriveNext 计划通过 web 网站提供 I/O 连接器 TAEV-CN( ) Ethernet 电缆电源线 I/O 连接器连接电缆传感器转接线注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) I/O 连接器 TAEV-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -A-( 护罩 ) 的组合请用户自备 Ⅱ-9 Ⅱ-

12 ACSERVO ACSERVO 系统构成表使用了驱动器 MR-J-B 的 V 的系统构成 ( 支持 SSCNETⅢ) 驱动器单相或三相 ACV (/Hz) 设定软件纳米直线 V 计算机 No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) 计算机连接电缆 (m) TAEU-AM TAEU-EC MR-JUSBCBLM 设定软件 MRZJW-SETUP 输入输出连接用接口 MR-CCN( ) 电源线 ( ) SSCNETⅢ 连接电缆传感器转接线注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 输入输出连接用连接器 MR-CCN 是住友 M( 株 ) 制 -VE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合 ( ) 为三菱 ( 株 ) 产 SSCNETⅢ 对应的运动控制器定位单元 DCV 电源表 XZ XZH 的系统构成 DCV 电源支持 SSCNETⅢ 运动控制器定位单元 X 轴驱动器 ADV Series Z 轴驱动器 ADV Series PLC 开关传感器等设定软件计算机请用户自备 H 的系统构成纳米直线 H 备有专用的驱动器, 系统构成如表中所示驱动器的规格请参照 Ⅱ- 页的驱动器规格一项订购时, 请通过表所示公称型号另行指定表 H 的系统构成 VC TB r s TB J J R S (T) B J B U CN V W DBK DBC ACV (/Hz) 驱动器 CN 接口数据编辑软件计算机 PLC 开关传感器等 DCV 电源 ( ) 纳米直线 H No. 名称公称型号纳米直线 H H 驱动器 NCR-DDAAA-D-T 转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) TAET-AM TAET9-EC 请用户自备计算机连接电缆 USB 电缆 A 插头 -B 插头数据编辑软件 NCR-XCM-S 连接器套件 TAEU-CN( ) 电源线 I/O 连接器连接电缆注 ( ) 请用户另行准备 DCV 电源 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 连接器套件 TAEU-CN 为 I/O 连接器和传感器用连接器的套件 ( 压接配线完成 (mm)) I/O 连接器是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合传感器用连接器是泰科电子日本合同会社制 7-( 触点 ) 和 77-( 轴承座 ) 的组合请用户自备纳米直线 XZ XZH 数据编辑软件为了使纳米直线 H 动作, 需要进行驱动器参数的初始设定通过数据编辑软件进行驱动器的参数设定驱动器主体不附带数据编辑软件计算机连接电缆这些可由多台驱动器共用, 但至少需要套请根据用户的条件另行订购 No. 名称数量公称型号纳米直线 XZ XZH XZ 9XZH X 轴用驱动器 ADVA-NL/XZ-X ADVA-NL/9XZH Z 轴用驱动器 ADVA-NL/XZ-Z ADVA-NL/9XZH 转接线 (m)( ) TAEV-AM 转接线 (m)( ) TAEV-EC 计算机连接电缆 (m) USB mini B 电缆 ( 请用户自备 ) 设定软件 ProDriveNext( 计划通过 web 网站提供 ) I/O 连接器 TAER-CN( ) 电源线 - - I/O 连接器连接电缆 - 注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) I/O 连接器 TAER-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合请用户自备 Ⅱ- Ⅱ-

13 驱动器规格 V 用驱动器 NCR 的规格 V V XZ XZH 用驱动器 ADVA 的规格低电压 (DCV) 规格, 尺寸为.mm 的紧凑设计为装置的小型化省空间化做贡献通过设定惯量粘性摩擦这两种参数并控制前馈扭矩, 可缩短整定时间 PC 编辑软件除了参数编辑功能以外, 还具备 ch 实时示波器功能远程运行功能共振频率测量功能等, 可轻松进行机械的诊断直线的启动和调整 7.. 除了以往的脉冲串指令输入, 还支持高速运动网络 EtherCAT 可通过智能端子进行个输入端子及个输出端子模拟输入 ~±V 的控制通过高控制性能缩短了整定时间, 进一步提高了生产效率通过设定软件的参数设定监视显示运行跟踪和自动调谐功能等, 可轻松诊断机械, 启动和调整直线 φ (7) (.) () 表. 驱动器规格 ( 脉冲串指令规格 ) 表驱动器的规格输入电电气规格公称型号 NCR-DCEDB-D-S 电压规格源连续 :DCV ±%(min..v~max..v) 瞬时 :DC.V~ DCV( 扭矩保证范围外 ) 方式主电源控制回路电源分离型电流规格 DC.A( 额定输出时 ) 连续输出电流.A(rms) 最大输出电流.A(rms) 载波频率 khz 输入输出信号输入点输出点 (DC~V 光电耦合隔离 ) 通信 USB.(Full Speed) :ch RS-A 串行通信 :ch 功ADVA-RML ADVA-NL 基公称型号本规格保护结构 ( ) 开放型 IP 最大额定电流.Arms 最大瞬时电流.Arms 电源设备容量.kVA 输入电源 ( 主回路 ) 单相 / 三相 ~V +/-% /Hz ±% 单相 ~V+/-% /Hz ±% 输入电源 ( 控制回路 ) 单相 ~V+/-% /Hz ±% 控制方式线间正弦波调制 PWM 方式控制模式适用的线性光栅尺位置控制 / 速度控制 / 推力控制 A B Z 信号 ( 线性驱动器输出 : 相当于 AMC 或 AMLS) 推荐的 :LIE 系列 (JENA 公司制 ) 格伺服性能提高功能速度增益切换 : 点 ( 正常低速 GSEL 切换 ) 扭矩指令滤波器前馈 ( 速度惯量粘性摩擦 ) 陷波滤波器点主功能速度控制 / 脉冲串运转扭矩限制自我诊断正反转切换外部脉冲串指令各方向脉冲 / 方向 + 进给脉冲 /9 位相差脉冲切换线性驱动器 : MHz( 倍时 MHz) 脉冲串运转相序切换电子齿轮 ( 脉冲串指令比 ) 指令平均化功能运转模式内部脉冲串指令微动定位 7 点原点复位加减速点 S 型加减速 ( 使用指令平均化功能 ) 速度控制运行模拟指令电压增益切换内部速度指令 7 点加减速时间 :~9.999sec 扭矩限制参数设定点 ( 正反单独 ) 能规控制输入信号 ( 点 ) 控制输出信号 ( 点 ) 监视功能起动伺服 ON 扭矩限制速度增益选择复位模式选择指令选择指令脉冲输入禁止指令方向取反紧急停止内部脉冲起动原点 LS 原点标记正向超程反向超程请求当前位置数据输出正向微动反向微动请求警报代码输出禁止指令数据改写准备就绪警报偏差范围 A/B 制动解除速度归零标记输出紧急停止中原点复位完成通过点状态显示用 LED 确认状态 PWR( 绿 ) RDY( 绿 ) RUN( 绿 ) ALM( 红 ) 通过选装的专用编辑软件可监视以下 : 各种状态显示警报显示通过示波器功能进行的状态显示等异常磁极检测异常过速过载欠电压过电压过电流异常偏差异常 DSP 境环境湿度 9%RH 以下 ( 不结露 ) 保存 :%RH 以下 ( 不结露 ) 环境温度异常过热保护环~ 保存 :-~ 保护功能耐振动性.G(~Hz) 不得有共振耐冲击 G 质量.kg 线性光栅尺脉冲输出 Mpps( 倍后 )[Mpps( 原信号 )] 输速度指令 / 限制输入模拟输入 :~±V/ 最高速度 ( 可设定增益 ) 推力指令 / 限制输入模拟输入 :~±V/ 最大推力 ( 可设定增益 ) 位置指令输入线性驱动器信号 :Mpps 以下 ( 倍后, 非隔离输入 ) Mpps ( 倍后, 隔离输入 ) 相位差相脉冲输入正转 / 反转方向脉冲输入指令脉冲 + 符号输入从 ~ 中任选其一可使用电子齿轮功能接点输入信号利用智能端子, 通过参数对个输入端子进行功能选择 (DC/V 接点信号 / 开路集电极信号输入内部 DCV 有供电 ) 伺服 ON/ 警报复位 / 控制模式切换 / 推力限制 / 禁止正转驱动 / 禁止反转驱动 /7 多段速 ~/ 速度比例控制 /9 速度零钳位 /AT 原点限位开关 /AK 原点复位 /AL 允许脉冲串输入 /AM 清除偏差计数 /AN 正转信号 /AO 反转信号 / AP 增益切换 /AQ 积分钳位 /AR 电子齿轮切换 /AS 外部跳闸 ( 温度传感器 (Temp. 信号 ))/BT 推力偏差 / 紧急停止中入输出相关功主回路电压 (PN 电压 )/ 模拟输入值 (AI~)/ 输出推力限制 / 正侧推力限制 / 负侧推力限制内部功作环接点输出信号信号监视输出监视输出利用智能端子, 通过参数对个输出端子进行功能选择 ( 开路集电极信号输出 : 漏型输出 ) 伺服准备完毕 / 警报 / 定位完成 / 速度到达 / 零速检测 / 制动解除 /7 伺服 ON 响应 / 推力限制中 / 9 过载预告 /AT 磁极位置推定完成 /AK 速度限制中 /AL 原点复位完成 /AMDB 状态 /ANFOT 信号监视 /AOROT 信号监视 / AP 驱动禁止中 /AQ 脉冲串输入允许响应 /AR 紧急停止中 A B 相信号输出 : 线性驱动器信号输出 ( 可设定输出分频比 ) Z 相信号输出 : 线性驱动器 / 开路集电极信号输出 ch ~±V 利用参数从以下功能中选择速度检测值 / 推力指令值 / 速度检测值 / 速度偏差 / 位置偏差 / 电流值 / 指令脉冲频率 / 再生制动使用率 / 电子热敏累计值 / 能动态制动器 ( ) 内置 ( 可设定动作条件 ) 内置操作器位数字显示器键按钮 / 拨动开关 (Modbus 通信的设定 ) 外部操作器可连接 Windows XP/Vista(bit) 计算机 (USB. FULL SPEED) 再生制动回路内置 ( 但不带制动电阻 ) 保护功能过电流过载制动电阻器过负载主回路过电压存储器异常主回路欠电压 CT 异常 CPU 异常外部跳闸 ( 温度异常 ) 伺服 ON 时检测到接地短路控制回路欠电压伺服放大器温度异常驱动禁止异常功率模块异常安全回路异常紧急切断异常匹配错误请求重新接通电源磁极位置推定异常未执行磁极位置推定位置偏差异常速度偏差异常过速异常瞬时停电主回路电源异常驱动范围异常工境耐振动 ( ).9m/s (.G)~Hz 环境温度 / 保存温度 () ~ /-~7 环境湿度 ~9%RH( 不结露 ) 工作场所海拔 m 以下室内 ( 无腐蚀性气体灰尘的场所 ) 质量.7kg 注 ( ) 保护方式依据 JEM ( ) 请将动态制动器用于紧急停止 ( ) 保存温度为运输中的温度 ( ) 依据 IS C-- : Ⅱ- Ⅱ-

入输出相关功驱动器规格表. 驱动器规格 (EtherCAT 规格 ) 公称型号 ADVA-RMLEC ADVA-NLEC 最大额定电流.Arms 最大瞬时电流.Arms 基本电源设备容量.

:mm/s 定位完成宽度 :±μm 移动距离 :mm 加减速时间 :ms 位置控制 / 速度控制 / 能伺服准备完成 / 警报 / 定位完成 / 速度到达 / 零速检测 / 制动解除 /7 伺服 ON 回应 / 推力限制中 / 接点输出信号 9 过负荷预告 /AT 警报代码 ~7/AK 磁极位置推定完成 //AL 接近信号输出 /AM 速度限制中 /AN 原点复位完成 /AODB 状态 /

偏差计数清除 / 控制模式增益切换 /9 积分钳位 /AT 清除 /AK 外部跳闸 ( 温度传感器 (Temp.

位数字显示器拨动开关 (EtherCAT 的节点地址设定 ) 外部操作器可连接 Windows XP/Vista(bit) 计算机 (USB.

14 入输出相关功驱动器规格表. 驱动器规格 (EtherCAT 规格 ) 公称型号 ADVA-RMLEC ADVA-NLEC 最大额定电流.Arms 最大瞬时电流.Arms 基本电源设备容量.kVA 规输入电源 ( 主回路 ) 单相 / 三相 ~V +/-% /Hz ±% 格单相 ~V+/-% /Hz ±% 输入电源 ( 控制回路 ) 单相 ~V+/-% /Hz ±% 控制方式线间正弦波调制 PWM 方式自动调谐功能通过使用 ADVA 用设定软件的自动调谐功能, 即使不熟练的人员也能轻松进行高精度的增益调整条件主体 :V/R+ADVA-NL/V 装载质量 :g 速度 :mm/s 定位完成宽度 :±μm 移动距离 :mm 加减速时间 :ms 位置控制 / 速度控制 / 能伺服准备完成 / 警报 / 定位完成 / 速度到达 / 零速检测 / 制动解除 /7 伺服 ON 回应 / 推力限制中 / 接点输出信号 9 过负荷预告 /AT 警报代码 ~7/AK 磁极位置推定完成 //AL 接近信号输出 /AM 速度限制中 /AN 原点复位完成 /AODB 状态 / APFOT 信号监视 /AQROT 信号监视 /AR 驱动禁止中 /AS 紧急停止中模拟推力限制模拟输入 :~±V/ 最高速度 ( 可设定增益 ) 利用智能端子, 通过参数对个输入端子进行功能选择接点输入信号推力控制输(DC/V 接点信号 / 开路集电极信号输入内部 DCV 有供电 ) 推力限制 / 禁止正转驱动 / 禁止反转驱动 / 速度比例控制 / 速度零钳位 / 原点限位开关 /7 偏差计数清除 / 控制模式增益切换 /9 积分钳位 /AT 清除 /AK 外部跳闸 ( 温度传感器 (Temp. 信号 ))/AL 探针 /AM 探针 /AN 紧急停止利用智能端子, 通过参数对个输出端子进行功能选择 ( 开路集电极信号输出 : 漏型输出 ) ch ~±V 利用参数从以下功能中选择监视输出速度检测值 / 推力指令值 / 速度检测值 / 速度偏差 / 位置偏差 / 电流值 / 再生制动使用率 / 电子热敏累计值 / 调谐前实际速度相比指令速度慢, 整定时间约为 ms 内置操作器位数字显示器拨动开关 (EtherCAT 的节点地址设定 ) 外部操作器可连接 Windows XP/Vista(bit) 计算机 (USB. FULL SPEED) 再生制动回路内置动态制动器 ( ) 内置 ( 可设定动作条件 ) 主回路电压 (PN 电压 )/ 模拟输入值 (AI~)/ 输出推力限制 / 正侧推力限制 / 负侧推力限制内部功作环保护功能过电流过载制动电阻器过载主回路过电压存储器异常主回路欠电压 CT 异常 CPU 异常外部跳闸 ( 温度异常 ) 伺服 ON 时检测到接地短路瞬时停电控制回路欠电压伺服放大器温度异常主回路电源异常禁止驱动异常功率模块异常安全回路异常紧急切断异常匹配错误请求重新接通电源网络通信异常 DC 同步异常磁极位置推定异常未执行磁极位置推定位置偏差异常速度偏差异常过速异常驱动范围异常欠电压显示工境耐振动 ( ).9m/s (.G)~Hz 环境温度 / 保存温度 () ~ /-~7 环境湿度 ~9%RH( 不结露 ) 工作场所海拔 m 以下室内 ( 无腐蚀性气体灰尘的场所 ) 质量.7kg 注 ( ) 请将动态制动器用于紧急停止 ( ) 保存温度为运输中的温度 ( ) 依据 IS C-- : 指令速度实际速度调谐条件只需从下拉菜单中选择简单的调整条件设定软件调谐后实际速度与指令速度基本一致, 整定时间约为 ms 进行驱动器参数的设定查看变更打印和保存可实时监视运行状态及输出状态以图形显示速度电流等辅助试运转和增益调谐表 7 设定软件运行环境条件计算机 OS DOS/V 计算机 CPU :Pentium.G 以上硬盘剩余容量 :GB 字节以上显示器分辨率 : 推荐 7 以上 Windows Vista Windows XP SP 备注 Windows 是 Microsoft Corporation 在美国及其他国家的注册商标图 7 运行跟踪功能图自动调谐 Ⅱ- Ⅱ-

15 驱动器规格 V V 用驱动器 MR-J 的规格 H 用驱动器 NCR 的规格支持 SSCNETⅢ( 高速串行总线 ) 以光通信方式实现高速高精度化通过高级振动抑制控制自适应滤波器 Ⅱ 鲁棒干扰补偿功能等调整功能, 实现了机械的高性能化利用设定软件 (MR Configurator) 的参数设定监视显示机器分析仪等功能, 可轻松进行机械的诊断直线的启动和调整驱动器与定位单元一体化, 实现了系统的省配线小型化通过数字控制, 实现了无漂移消除调整偏差人机界面内容充实等可靠性和使用便利性可通过模式选择进行简易定位运行脉冲串运行, 适用用途广泛可进行扭矩控制速度控制通过正式的软件伺服, 可实现与机械刚性相匹配的控制, 如直线 /S 字特性加减速前馈扭矩指令滤波器停止时及低速时增益切换干扰补偿控制等可通过串行通信与触摸面板高位控制器等外围设备连接可通过 USB.(Full speed) 连接专用的编辑软件 9 VC (7). 表驱动器的规格主回路电源控制回路电源接口用电源控制方式动态制动器保护功能结构环境质量电压频率容许电压波动容许频率波动电压频率容许电压波动容许频率波动输入公称型号 MR-J-B-MBU 单相 / 三相 AC~V /Hz 单相 / 三相 AC7~V ±% 以内单相 AC~V /Hz 单相 AC7~V ±% 以内 W DCV±%( 必要电流容量 :ma) 正弦波 PWM 控制电流控制方式内置过电流断路再生过电压断路过载断路 ( 电子热 ) 伺服过热保护检测器异常保护再生异常保护欠电压和瞬时停电保护过速保护误差过大保护自冷开放 (IP) 环境温度 ~ ( 不冻结 ) 保存 :-~ ( 不冻结 ) 环境湿度 9%RH 以下 ( 不结露 ) 保存 :9%RH 以下 ( 不结露 ) 环境室内 ( 不暴露于直射阳光下 ), 无腐蚀性气体易燃性气体油雾灰尘海拔海拔 m 以下振动.9m/s 以下.kg 表 9 驱动器的规格基本规公称型号 NCR-DDAAA-D-T 格输入电源 ( 主回路 & 控制回路 ) 单相 AC~V( 容许电压波动 AC9~V) /Hz±% 最大额定电流.Arms 最大瞬时电流.Arms 电源设备容量.kVA 控制方式相正弦波 PWM 方式控制模式位置 ( 位置控制数据 / 脉冲串 ) 输入输出功能部功能作环指令输入接点输入信号接点输出信号反馈脉冲输出反馈脉冲输入监视输出保护功能通信功能脉冲串指令支持线性驱动方式最高输入频率如下所述 9 相位差脉冲 Mpps( 倍后为 Mpps) 方向单独脉冲 Mpps 方向 + 进给脉冲 Mpps 速度控制运行模拟速度指令内部速度指令 ( 点 ) 扭矩控制运转模拟扭矩指令内部扭矩指令 ( 点 ) 简易定位运行手动模式 / 原点复位模式 / 简易定位模式种定位模式 [ 基本输入信号点 ( 初始值 )] 伺服 ON 复位禁止指令脉冲输入模式选择模式选择起动速度选择扭矩选择 < 以下信号分配远程控制或输入信号后使用 > 紧急停止比例控制指定地址速度超调清除偏差扭矩限制正向超程反向超程等 [ 基本输出信号点 ( 初始值 )] 伺服就绪警报警告定位完成 < 以下信号可分配远程控制或输出信号 > 扭矩限制中零速速度运行模式中扭矩运行模式中简易定位模式中脉冲串运行模式中标记等 9 相位差脉冲串输出 ( 可分频输出 A/B 相个信号的最高输出频率倍后为 Mpps) 9 相位差脉冲串输入 (A/B 相个信号的最高输入频率倍后为 Mpps) 模拟监视 : 点 ( 可监视通过参数从各种动作状态中选择的点 ) 可通过支持 USB IPM 异常过电压欠电压过速过载再生电阻过载偏差溢出通信异常数据异常的专用编辑软件进行各种监视内CPU 异常异常自动磁极检测异常绝对值型异常等可通过串行通信 (RS-A) 进行各种数据的收发可通过 USB.(Full speed) 连接专用编辑软件工境耐振动性.G ~Hz 工作环境温度 / 保存温度 ~ /-~ 工作环境湿度 %RH 以下 ( 不结露 ) 工作场所海拔 m 以下室内 ( 无腐蚀性气体灰尘的场所 ) 质量.kg Ⅱ-7 Ⅱ-

16 运行模式示例 XZ 的拾取 & 定位运行模式示例 V 纳米直线拾取 & 定位运行模式的典型示例如下所示表使用条件使用条件装载质量 g X 轴移动量 mm Z 轴移动量 mm P P 中的静止时间 s.9 个周期时间 s. X 轴实际推力 N.9 Z 轴实际推力 N. -M 深度 ( ) -M深度 ( ) () () -M 用孔 -M 用孔.. () ( 原点位置 ) 电线引出方向 R: 右向 () 9 (/ ( 行程长度原点位置 ) ) (/ 行程长度电线引出方向 ) R: 右向 9 (/ 行程长度 (.) ) ( 机械止动器间 ) (/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) V -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) () () -M 用孔 -M 用孔.. V/D () ( 原点位置 ) 电线引出方向 R: 右向 () 9(/ ( 行程长度原点位置 ) ) 9(/ 行程长度电线引出方向 ) R: 右向 (.) 7( 机械止动器间 ) 9(/ 行程长度 ) 9(/ 行程长度 ) (.) 7( 机械止动器间 ) g mm 以上垂直移动 P mm P mm -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) (9) (9) -M 用孔. -M 用孔速度 mm/s X 轴. Z 轴 - +mm -mm... +mm -mm...9 时间 s 时间 s V/D () 7( 原点位置 ) 电线引出方向 R: 右向 (). 7( 原点位置 ) (/ 行程长度 ) (/ 行程长度电线引出方向 ) R: 右向. (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) (.) -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) (9) (9) ( 机械止动器间 ) M 用孔. -M 用孔从 P 向 P 移动静止时间从 P 向 P 移动静止时间备注速度模式图为程序模式, 不代表实际的动作 () 9( 原点位置 ) 电线引出方向 R: 右向 (). 9(/ 9( 行程长度原点位置 ) ) 9(/ 行程长度电线引出方向 ) R: 右向. 9(/ 行程长度 (.) ) 7( 机械止动器间 ) 9(/ 行程长度 ) (.) 7( 机械止动器间 ) 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓 Ⅱ-9 Ⅱ-

17 V 纳米直线 V 限位. (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) () () (.) ( 机械止动器间 ) 7.. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () 限位 (.). (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) () ( 机械止动器间 ) 9.. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () () V 限位 () -M 用孔 (.). (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) () () () -M 用孔. 7 ( 机械止动器间 ) 7. 电线引出方向 R: 右向. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () 电线引出方向 R: 右向 V 限位 () -M 用孔. (.) ( 机械止动器间 ). (/ 行程长度 ) 9 ( 原点位置 ) () (). 电线引出方向 R: 右向. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓备注尺寸图中的虚线部分表示带传感器的规格 /SC (). -M 用孔电线引出方向 R: 右向 V 限位 (.) 7( 机械止动器间 ) (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ) 7( 原点位置 ) -M 深度 ( ). () () () () -M 用孔 7. 电线引出方向 R: 右向注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓备注. 尺寸图中的虚线部分表示带传感器的规格 /SC. 在组合了 V 的 XY 双轴规格的工作台中,V 为上轴的规格, 由组装后出厂 Ⅱ- Ⅱ-

18 H 纳米直线 XZ 7( 机械止动器位置 ). (/ 行程长度 )... -M 深度 ( ) 7( 机械止动器位置 ). (/ 行程长度 ) 7 () () () -M 9 7 () -M 用孔 -M 用孔电线引出方向 R: 右向 () -M 深度 ( ) ( 原点位置 ). 77 接口 ( 原点位置 ) 77. 机械止动器 Z 轴有效行程 -M 深度安装到 mmdin 导轨上 (EN) 7 机械止动器 X 轴有效行程.... H XZH 空气接头安装口 M 深度 ( 风冷选装件 ). 7( 机械止动器位置 ) 7( 机械止动器位置 ). 9. (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ). -M 深度 ( ) 7 () 9 () () -M 用孔 -M 用孔. 9 7 电线引出方向 R: 右向空气接头安装口 M 深度 () 铭牌 () (). 77. ( 风冷选装件 ) 7 -M 通孔 9 9. ( 风冷选装件 ) ( 原点位置 ) 9 机械止动器 X 轴有效行程 7. ( 原点位置 ) 机械止动器 Z 轴有效行程接口 -M 深度 7 安装到 mmdin 导轨上 (EN) 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓. 7.. 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓 Ⅱ- Ⅱ-

额定规格 / 性能单相标准认证 UL CSA. NO. EN-- 额定规格输入环境温度项目电压电平额定电压使用电压范围输入电流型号动作电压复位电压 - B ma 以下 DC~V DC.~V DC.V 以下 DC.V 以上 - BL ma 以下输出项目 * 根据环境温度的不同而不同详情请

额定规格 / 性能单相标准认证 UL CSA. NO. EN-- 额定规格输入环境温度项目电压电平额定电压使用电压范围输入电流型号动作电压复位电压 - B ma 以下 DC~V DC.~V DC.V 以下 DC.V 以上 - BL ma 以下输出项目 * 根据环境温度的不同而不同详情请加热器用固态继电器单相 CSM_-Single-phase_DS_C 带纤细型散热器的一体式小型 SSR 备有无过零触发型号, 用途广泛符合 RoHS 标准包含无过零触发型号, 产品线齐全输出回路的抗浪涌电压性能进一步提高根据本公司的试验条件小型纤细形状除了 DIN 导轨安装, 还可进行螺钉安装获取 UL CSA EN 标准 TÜV 认证请参见共通注意事项种类关于标准认证机型的最新信息,