FPS3010 皮米精度激光干涉仪 attocube 公司的皮米精度激光干涉仪充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要, 其紧凑的设计和稳 定性科研在极端环境中使用, 在极大的位移测量范围内, 达到 25pm 的位移分辨率和 10MHz 的采样速 率, 应用范围遍及闭环扫描器校准, 样品或模块位移,

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1 FPS Sensor Systems 皮米精度激光干涉仪 皮米精度 3 路激光探头具备环境补偿单元紧凑设计, 极高稳定性 FPS Sensor Systems 将带给您前所未有的激光干涉测量感受, 详情请咨询 attocube 大中华区总代理 Quantum Design 中国子公司 1

2 FPS3010 皮米精度激光干涉仪 attocube 公司的皮米精度激光干涉仪充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要, 其紧凑的设计和稳 定性科研在极端环境中使用, 在极大的位移测量范围内, 达到 25pm 的位移分辨率和 10MHz 的采样速 率, 应用范围遍及闭环扫描器校准, 样品或模块位移, 加工业, 精密制造等领域 皮米精度激光干涉仪主要特点 : > 测量精度高, 分辨率达 1 pm > 测量速度快, 采样带宽 10 MHz > 样品移动最大速度 :2 m/s > 光纤式激光探头尺寸小, 灵活性高 > 最小激光探头 : 直径 1.2 mm > 具备环境补偿单元 > 集成软件, 操作简单 > 工作距离 :0-3 m > 具备德国计量院认证证书 > 激光探头兼容超高真空与极低温环境 > 激光探头可跟据客户要求进行定制 2

3 FPS3010 皮米精度激光干涉仪概述 德国 attocube 公司作为纳米科学领域年轻的仪器供应商, 以其掌握的纳米精度定位专利成果和强大的技术实力, 研制开发了皮米精度位移激光干涉仪, 推出市场以来深受用户赞誉 皮米精度激光干涉仪 : 相比于市场上现有产品, 在测量精度 测量速度与便携性方面具有巨大优越性 光纤式激光探头具有灵活小巧的特点, 使得设备调节步骤变得显著的简洁 因而, 设备甚至可以在受限制的空间范围内进行实验 光纤式激光探头还可以在极端环境中使用, 例如在超高真空, 极低温 ( 液氦温度下 ), 强辐射等环境 FPS3010 皮米精度激光干涉仪工作原理 FPS 是基于激光干涉原理测量距离变化, 下图 b 为干涉示意图 出射激光在激光探头处部分反射激光会 与样品处反射激光发生干涉效应, 因而产生干涉环 特定干涉环强度与样品位置变化有周期性关系 ( 下图 a), 最强光强的周期为四分之一激光波长 从而, 根据该关系可以精确测定样品移动距离 a b 3

4 激光探头 attocube提供多样化的激光探头(下图 设计紧凑小尺寸的探头适用于实验空间受限制的情形 尺 寸 大 的 探 头 易 于 角 度 调 整 还 有 专 门 设 计 适 用 于 测 量 高 速 运 动 样 品 的 探 头 指 得 指 出 attocube可以根据客户特殊实验需求定制激光探头 样品材料 FPS激光干涉仪适用于各种样品以及不同材料的样品 通常 平面镜被用来贴在样品上来增加反 射 如果不使用反射镜而使用激光干涉仪直接测量 根据样品材料 铝 铜 金 银 玻璃等材 质 的不同反射率 顺利发生激光干涉的角度范围是从0.1度-几度 4

5 激光探头技术参数 FPS 激光干涉仪可提供不同型号探头 ( 探头尺寸, 光斑大小不同 ) 探头直径范围 :1.2mm 22mm 典型准直激光光斑:1.6mm, 典型聚焦激光光斑 :70 m 最低工作温度 :10mK, 可选探头 :1E-10mBar 超高真空适用, 10MGy 强辐射环境适用 attocube 可提供定制激光探头 5

6 FPS 应用案例 FPS 激光干涉仪检测纳米精度位移台 误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失 光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率 FPS 激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器 作为纳米精度位移台供应商的德国 attocube 公司, 对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务 例如, 左图上,ECS3030 型号的线性位移台可在真空中进行位移 ECS3030 位移台的行程是 20mm 技术参数要求的是可重复精度小于 50nm 利用 FPS3010 激光干涉仪对位移台上样品进行测量, 位移台被程序控制来回往复移动 1mm, 在 20mm 的行程内在多个不同地点进行来回往复移动 测量结果如左图中与下所示 通过分析, 左图中的数据提取的偏差值是 13.2nm, 左图下数据的直方图显示标准差是 13nm 因此, 位移台的可重复性技术指标是合格的 通过使用 FPS3010 激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台 ECS3030 的全自动测量 这已经是德国 公司对于位移台的质量检测手段 这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产 出的质量检测 6

7 FPS激光干涉仪组建高精度X射线显微镜 同步辐射中心具有广泛的应用领域 生物科技 蛋白质结构 医学研究 微生物 工程研 究 裂纹的变化观测 先进材料 纳米结构测 量 等 以上应用需要高精度去驱动聚焦镜 样 品 光学狭缝等物品 左图上 这样的机械结 构需要减少热漂移与定位误差 德国attocube公司的FPS3010激光干涉仪具备皮 米精度分辨率 激光探头可在真空环境中使用 是同步辐射研究的良好选择 在现有激光探头 中 标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射 环境中使用 最大10MGy) 美 国 布 鲁 克 海 文实 验 室E. Nazaretski等 人 结合 FPS激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线 扫描成像显微镜 左图中 通过FPS激光干涉 仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具 科学 家实现了0.5nm的步进扫描 左图下 并且 在真空环境中 系统的热漂移达到了 2nm/h 综上所述 高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像 是实现硬X射线区域光学研究的有力 工具 该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实 E. Nazaretski, et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22,

8 FPS 激光干涉仪无损探测轴承误差 旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一 如果是高速旋转的转子, 甚至 1 纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差 因此, 纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题 一个主要的难题是 : 如何减小运动误差? 为了减小误差, 首先需要测量误差 德国 attocube 公司的 FPS 激光干涉仪可以提供一个无损, 紧凑并且一插即用的解决方案 通常的线性位移测量需要一个平整的表面, 而旋转运动的时候, 遇到的是一个曲面 ( 右图上 ) attocube 测量的是一个直径为 10mm 的电动转子 由于 FPS 距离测量存在较大的容忍角度, 激光探头很容易完成了校准并开始进行测量 转子转速为 2160 转每秒, 两个激光探头对转子的运动误差进行了测量 右图下显示的为测量结果, 红色实线为平均位置, 而虚线显示了误差为 5 微米的两个圆环 黑色实现为实际测量数据 德国 attocube 公司的 FPS3010 使用界面友好, 可提供亚纳米级别的运动误差校正方案 即使是新用户, 对于 FPS 激光干涉仪的使用也会很快熟悉 Review of scientific instruments, 84, (2013) 8

9 FPS激光干涉仪校正极低温非线性扫描 通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应 但是当在极低 温环境 4K或更低 中 压电陶瓷本身的性能发生变化 会产生下图右中的非线性扫描现象 通过德国attocube公司的FPS激光干涉仪 可以在极低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运 动进行实时检测 高速扫描 结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制 可解决低温下非线 性扫描问题 国内外部分客户 排名不分先后 attocube公司产品以其稳定的性能 极高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认 可和肯定 attocube公司的产品在国内也得到了同步辐射 计量科学 低温 真空等研究领域著 名科学家和研究组的欢迎... 9

10 FPS激光干涉仪主要技术参数 干涉仪 激光通道 1个 或 3个 可升级 工作距离 0-3 米 探测精度 1 皮米 最大样品速率 2 米/秒 采样带宽 10 MHz 测量稳定性 纳米 2 σ) 长度测量 工作距离 20mm) 同步辐射 探测模式 探测模式 位移变化 振动频率 远程控制 USB2.0 Ethernet 输出电信号 USB Ethernet, AquadB, HSSL 初始化 全自动 精密仪器 控制器 尺寸 cm3 重量 1.9 Kg 电源 V 50-60Hz 功率 最大100瓦 半导体工业 工作激光 激光种类 DFB 激光 (Class 1) 激光功率 150 微瓦 激光波长 1530纳米 显微镜 10

11 FPS3010 具备德国国家计量院认证证书 德国国家计量院 (PTB) 对 FPS3010 激光干涉仪的精度进行了认证 ( 下图 ) FPS 激光干涉仪的精度最终被认定为 0.14ppm, 也就是 1 mm 的长度测量中不确定性为 0.14 nm 德国计量院的认证使得 FPS 激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准, 使得 FPS 更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具 11

12 By Scientist For Scientist Quantum Design 中国子公司提醒您 : 此中文资料仅供大中华区 ( 中国大陆 台湾 ) 用户参考, 一切技术信息以 attocube 公司的英文详细资料为准, 如需获得更详细的产品资料, 请登录 Quantum Design 中国子公司的网站直接查询 或致电中国子公司北京 上海和广州办公室, 欢迎垂询! Quantum Design 中国子公司 北京办公室 Quantum Design 中国子公司 上海办公室 Quantum Design 中国子公司 广州办公室 北京市朝阳区霄云路 36 号国航大厦 室电话 : /78/79/80 传真 : 邮箱 :info@qd-china.com 网站 : 上海市静安区威海路 511 号上海国际集团大厦 1405 室电话 : 传真 : 邮箱 :info@qd-china.com 网站 : 中国广州市天河区珠江新城华强路 2 号富力盈丰大厦 1216 室电话 : 传真 : 邮箱 :info@qd-china.com 网站 : 12

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