100 100nm 8 nm 8 130 130-100 100nm nm 6 147 147 135 135 6 103 103 54 54 9 45 45 7 100 100nm 8 nm 8 IC IC
5 60 60 40 40 3500 3500 5 1600 1600mm mm X/Y/Z X/Y/Z 2200/400/400 2200/400/400mm mm 15 15m/min m/min 10000 10000r/min r/min
EPA EPA EPA EPA IEC IEC IEC61784 IEC61784-2 EPA EPA 680 680
6.3 6.3 16 400
: :
1 CAD 2 ERP 3 4 MES 5 6 ASP
1 CAD CAD
2 ERP ERP ERP PDM CRM PDM ERP SCM CRM SCM ERP ERP ERP CRM
3
4 MES MES 5000 MES 41%
5
6 ASP 22 863 ASP 7000 20
1 2 3 4 5 6
1 4.5 4.5 1.6 1.6 1.2 1.2m 10000 10000 / 0.01 0.01mm mm
重点成果 机器人技术主题 2 攻克了新型高速五轴加工技术及设备 济南二机床集团与无锡市锡泵制造有限公司研制了新 型高速五轴龙门铣床 设计研制了五轴头 掌握了铣头内 油雾润滑冷却 横梁预应力反变形控制等关键技术 已应 用于南水北调大型水泵叶片型面的加工 工作台尺寸2000 4000 mm 主轴最高转速10000rpm 定 位精度和重复定位达到0.045mm和0.015mm 新型高速五轴龙门铣床
3 1.55 63 32
4 10KV 220KV B
5
6 2004 4 18 7.9km km 10 19 19
7 10
MEMS
1 MEMS MEMS MEMS MEMS
MEMS 2 MEMS MEMS
MEMS 3 MEMS
MEMS 4 MEMS
DBMS DBMS
1 6 1 2