1 ICS 13 040 40 Z 60 DBxx 广 东 省 地 方 标 准 DB XX/XXX- 20XX 电 子 设 备 制 造 业 挥 发 性 有 机 化 合 物 排 放 标 准 Emission standard of volatile organic compounds of electronic manufacturing ( 征 求 意 见 稿 ) 201X-XX-XX 发 布 201X-XX-XX 实 施 广 东 省 环 境 保 护 厅 广 东 省 质 量 技 术 监 督 局 发 布

目 次 前 言... II 1. 适 用 范 围... 1 2. 规 范 性 引 用 文 件... 1 3. 术 语 和 定 义... 1 4 污 染 源 界 定 与 时 段 划 分... 4 4.1 污 染 源 界 定... 4 4.2 时 段 划 分... 4 5 污 染 物 排 放 控 制 要 求... 4 5.1 排 气 筒 挥 发 性 有 机 污 染 物 排 放 限 值... 4 5.2 无 组 织 排 放 监 控 点 挥 发 性 有 机 污 染 物 浓 度 限 值... 5 5.3 排 气 筒 高 度 与 排 放 速 率 要 求... 5 6 污 染 物 监 测 要 求... 5 6.1 布 点... 5 6.2 采 样 分 析... 5 6.3 监 测 工 况 要 求... 6 7 实 施 与 监 督... 6 附 录 A( 规 范 性 附 录 ) 控 制 VOCS 排 放 的 生 产 工 艺 和 管 理 要 求... 7 附 录 B( 资 料 性 附 录 ) 电 子 专 用 材 料 涵 盖 的 产 品 范 围... 8 附 录 C( 资 料 性 附 录 ) 等 效 排 气 筒 有 关 参 数 计 算... 9 附 录 D( 规 范 性 附 录 )VOCS 监 测 方 法... 10 I

前 言 为 贯 彻 中 华 人 民 共 和 国 环 境 保 护 法 和 中 华 人 民 共 和 国 大 气 污 染 防 治 法 等 法 律 法 规, 加 强 广 东 省 挥 发 性 有 机 物 (Volatile Organic Compounds, 简 称 VOCs) 污 染 排 放 控 制, 改 善 区 域 大 气 环 境 质 量, 促 进 电 子 设 备 制 造 业 工 艺 和 污 染 治 理 技 术 的 进 步, 制 定 本 标 准 本 标 准 规 定 了 电 子 设 备 制 造 业 工 艺 过 程 挥 发 性 有 机 物 排 放 浓 度 限 值 及 排 放 速 率 无 组 织 排 放 监 控 点 浓 度 限 值 监 测 要 求 电 子 设 备 制 造 业 控 制 VOCs 排 放 的 生 产 工 艺 和 管 理 要 求 本 标 准 为 首 次 发 布 本 标 准 依 据 GB/T 1.1-2009 规 则 进 行 起 草 本 标 准 为 全 文 强 制 自 本 标 准 各 时 段 排 放 限 值 实 施 之 日 起, 替 代 广 东 省 地 方 标 准 大 气 污 染 物 排 放 限 值 (DB44/27-2001) 中 相 应 的 内 容 本 标 准 是 对 广 东 省 电 子 设 备 制 造 业 挥 发 性 有 机 物 排 放 控 制 的 基 本 要 求 依 法 批 复 的 环 境 影 响 评 价 文 件 相 关 规 定 严 于 本 标 准 的, 从 其 规 定 本 标 准 与 国 家 相 关 污 染 物 排 放 标 准 互 为 补 充 本 标 准 发 布 后, 新 发 布 的 国 家 污 染 物 排 放 标 准 与 本 标 准 适 用 范 围 重 叠, 且 重 叠 部 分 严 于 本 标 准 的, 或 者 针 对 重 叠 部 分 新 增 控 制 项 目 的, 执 行 新 的 国 家 标 准 本 标 准 由 广 东 省 环 境 保 护 厅 组 织 制 订 本 标 准 主 要 起 草 单 位 : 广 东 省 环 境 监 测 中 心 华 南 理 工 大 学 本 标 准 主 要 协 助 单 位 : 深 圳 市 环 境 监 测 中 心 站 东 莞 市 环 境 监 测 中 心 站 本 标 准 主 要 起 草 人 : 叶 代 启 张 远 东 蔡 瑜 瑄 何 梦 林 侯 瑞 光 张 旭 东 曾 艳 华 林 志 凌 肖 景 方 吴 曾 陈 扬 达 梁 小 明 本 标 准 由 广 东 省 人 民 政 府 201 X 年 X 月 X 日 批 准 本 标 准 由 广 东 省 环 境 保 护 厅 解 释 1

电 子 设 备 制 造 业 挥 发 性 有 机 化 合 物 排 放 标 准 1. 适 用 范 围 本 标 准 规 定 了 广 东 省 辖 区 内 电 子 设 备 制 造 业 的 挥 发 性 有 机 物 (VOCs) 排 放 控 制 要 求, 包 括 污 染 源 界 定 与 时 段 划 分 污 染 物 排 放 控 制 要 求 污 染 物 监 测 要 求 实 施 与 监 督 本 标 准 适 用 于 现 有 电 子 设 备 制 造 业 ( 包 括 电 子 专 用 材 料 电 子 元 件 印 刷 电 路 板 半 导 体 器 件 显 示 器 件 及 光 电 子 器 件 电 子 终 端 产 品 等 电 子 工 业 企 业 ), 以 及 新 建 改 建 扩 建 项 目 的 环 境 影 响 评 价 设 计 竣 工 验 收 及 其 建 成 后 污 染 源 的 VOCs 排 放 控 制 2. 规 范 性 引 用 文 件 本 标 准 内 容 引 用 了 下 列 文 件 或 其 中 的 条 款 凡 是 注 日 期 的 引 用 文 件, 仅 注 日 期 的 版 本 适 用 于 本 标 准 凡 是 不 注 日 期 的 引 用 文 件, 其 最 新 版 本 ( 包 括 所 有 的 修 改 单 ) 适 用 于 本 文 件 GB 16297 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 GB/T 16157 固 定 污 染 源 排 气 中 颗 粒 物 测 定 与 气 态 污 染 物 采 样 方 法 HJ 759 环 境 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 罐 采 样 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 644 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 吸 附 管 采 样 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 732 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 采 样 气 袋 法 HJ 734 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 固 相 吸 附 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ/T 38 固 定 污 染 源 排 气 中 非 甲 烷 总 烃 的 测 定 气 相 色 谱 法 HJ 583 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 固 体 吸 附 热 脱 附 - 气 相 色 谱 法 HJ 584 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 活 性 炭 吸 附 / 二 硫 化 碳 解 吸 - 气 相 色 谱 法 HJ/T 1 气 体 参 数 测 量 和 采 样 的 固 定 位 装 置 HJ/T 55 大 气 污 染 物 无 组 织 排 放 监 测 技 术 导 则 HJ/T 75 固 定 污 染 源 烟 气 排 放 连 续 监 测 技 术 规 范 ( 试 行 ) HJ/T 373 固 定 污 染 源 监 测 质 量 保 证 与 质 量 控 制 技 术 规 范 ( 试 行 ) HJ/T 397 固 定 源 废 气 监 测 技 术 规 范 污 染 源 自 动 监 控 管 理 办 法 ( 国 家 环 境 保 护 总 局 令 第 28 号 ) 环 境 监 测 管 理 办 法 ( 国 家 环 境 保 护 总 局 令 第 39 号 ) 3. 术 语 和 定 义 下 列 术 语 和 定 义 适 用 于 本 标 准 3.1 电 子 专 用 材 料 special electronic materials 在 半 导 体 集 成 电 路 各 种 电 子 元 器 件 ( 包 括 有 源 及 无 源 元 器 件 激 光 器 件 光 通 讯 器 件 发 光 二 极 管 器 件 液 晶 显 示 器 件 等 电 子 基 础 产 品 ) 制 造 中 所 采 用 的 特 殊 材 料 本 标 准 中 电 子 专 用 材 料 涵 盖 的 产 品 范 围 包 括 半 导 体 材 料 覆 铜 板 电 子 铜 箔 光 电 子 材 料 压 电 晶 体 材 料 电 子 专 用 精 细 化 工 与 高 分 子 材 料 等, 但 不 包 括 真 空 电 子 材 料 磁 性 材 料 电 子 焊 接 1

材 料 和 电 子 陶 瓷 材 料 具 体 产 品 范 围 见 附 录 B 3.2 电 子 元 件 electrical unit 电 子 电 路 中 具 有 某 种 独 立 功 能 的 单 元, 可 对 电 路 中 电 压 和 电 流 进 行 控 制 变 换 和 传 输 等 一 般 包 括 : 电 阻 器 电 容 器 电 子 变 压 器 电 感 器 压 电 晶 体 电 子 敏 感 元 器 件 与 传 感 器 电 接 插 元 件 控 制 继 电 器 微 特 电 机 与 组 件 电 声 器 件 等 产 品 3.3 印 制 电 路 板 printed circuit board(pcb) 在 绝 缘 基 材 上, 按 预 定 设 计 形 成 印 制 元 件 印 制 线 路 或 两 者 结 合 的 导 电 图 形 的 印 制 电 路 或 印 制 线 路 成 品 板 印 制 电 路 板 包 括 刚 性 板 与 挠 性 板, 它 们 又 有 单 面 印 制 电 路 板 双 面 印 制 电 路 板 多 层 印 制 电 路 板, 以 及 刚 挠 结 合 印 制 电 路 板 和 高 密 度 互 连 印 制 电 路 板 等 高 密 度 互 连 印 制 电 路 板, 简 称 HDI 板 3.4 半 导 体 器 件 semiconductor device 利 用 半 导 体 材 料 的 特 殊 电 特 性 制 造, 以 实 现 特 定 功 能 的 电 子 器 件 包 括 分 立 器 件 和 集 成 电 路 两 大 类 产 品 3.5 光 电 子 器 件 photoelectron component 利 用 半 导 体 光 - 电 子 ( 或 电 - 光 子 ) 转 换 效 应 制 成 的 各 种 功 能 器 件 如 半 导 体 光 电 器 件 中 的 光 电 转 换 器 光 电 探 测 器 等 ; 激 光 器 件 中 的 气 体 激 光 器 件 半 导 体 激 光 器 件 固 体 激 光 器 件 静 电 感 应 器 件 等 ; 光 通 信 电 路 及 其 他 器 件 ; 半 导 体 照 明 器 件 等 3.6 显 示 器 件 display device 基 于 电 子 手 段 呈 现 信 息 供 视 觉 感 受 的 器 件 包 括 薄 膜 晶 体 管 液 晶 显 示 器 件 (TN/STN-LCD TFT-LCD) 场 发 射 显 示 器 件 (FED) 真 空 荧 光 显 示 器 件 (VFD) 有 机 发 光 二 极 管 显 示 器 件 (OLED) 等 离 子 显 示 器 件 (PDP) 发 光 二 极 管 显 示 器 件 (LED) 曲 面 显 示 器 件 以 及 柔 性 显 示 器 件 等 3.7 电 子 终 端 产 品 electron terminals products 以 采 用 印 制 电 路 板 (PCB) 组 装 工 艺 技 术 为 基 础 装 配 的 具 有 独 立 应 用 功 能 的 电 子 信 息 产 品 如 通 信 设 备 雷 达 设 备 广 播 电 视 设 备 电 子 计 算 机 视 听 设 备 电 子 测 量 仪 器 等 3.8 清 洗 过 程 cleaning process 为 去 除 电 子 元 件 及 组 件 的 污 染 物, 用 清 洗 剂 对 其 进 行 清 理 漂 洗 的 过 程 3.9 2

刻 蚀 过 程 etching process 对 电 子 元 件 及 组 件 衬 底 表 面 进 行 选 择 性 腐 蚀 或 剥 离 的 过 程 3.10 表 面 涂 装 surface coating 为 保 护 或 装 饰 电 子 元 件 及 组 件, 在 其 表 面 覆 以 连 续 膜 层 的 过 程 3.11 烘 干 室 drying room 加 热 烘 烤 使 电 子 元 件 及 组 件 表 面 涂 料 产 生 聚 合 干 燥 或 固 化 的 场 所 3.12 3.13 挥 发 性 有 机 物 volatile organic compounds 参 与 大 气 光 化 学 反 应 的 有 机 化 合 物, 或 者 根 据 规 定 的 方 法 测 量 或 核 算 确 定 的 有 机 化 合 物 苯 系 物 benzene homologues 指 苯 甲 苯 二 甲 苯 ( 对 - 二 甲 苯 间 - 二 甲 苯 邻 - 二 甲 苯 ) 三 甲 苯 (1,3,5- 三 甲 苯 1,2,4- 三 甲 苯 1,2,3- 三 甲 苯 ) 乙 苯 及 苯 乙 烯 合 计 3.14 标 准 状 态 standard state 温 度 为 273.15 K, 压 力 为 101325 Pa 时 的 状 态 本 标 准 规 定 的 各 项 标 准 值, 均 以 标 准 状 态 下 的 干 空 气 为 基 准 [GB 16297-1996, 定 义 3.1] 3.15 最 高 允 许 排 放 浓 度 maximum acceptable emission concentration 经 处 理 后 排 气 筒 中 污 染 物 任 何 1 h 浓 度 不 得 超 过 的 限 值 ; 或 指 无 处 理 设 施 排 气 筒 中 污 染 物 任 何 1 h 浓 度 平 均 值 不 得 超 过 的 限 值 [GB 16297-1996, 定 义 3.2] 3.16 3.17 3.18 最 高 允 许 排 放 速 率 maximum acceptable emission rate 一 定 高 度 的 排 气 筒 任 何 1 h 排 放 污 染 物 的 质 量 不 得 超 过 的 限 值 [GB 16297-1996, 定 义 3.3] 无 组 织 排 放 fugitive emission 不 经 排 气 筒 的 无 规 则 排 放 车 间 边 界 浓 度 concentration of workshop boundary 3

企 业 生 产 储 存 装 卸 等 车 间 排 风 口 或 门 口 以 外, 企 业 厂 界 以 内 的 VOCs 浓 度 3.19 无 组 织 排 放 监 控 点 浓 度 限 值 concentration limit at fugitive emission reference point 标 准 状 态 下, 监 控 点 的 大 气 污 染 物 浓 度 在 任 何 1 h 的 平 均 值 不 得 超 过 的 值 3.20 排 气 筒 高 度 emission pipe height 自 排 气 筒 ( 或 其 主 体 建 筑 构 造 ) 所 在 的 地 平 面 至 排 气 筒 出 口 处 的 高 度 [GB 16297-1996, 定 义 3.10] 4 污 染 源 界 定 与 时 段 划 分 4.1 污 染 源 界 定 现 有 项 目 是 指 本 标 准 实 施 之 日 前 环 境 影 响 评 价 文 件 已 获 批 准 的 建 设 项 目 ; 新 建 项 目 是 指 自 本 标 准 实 施 之 日 起 环 境 影 响 评 价 文 件 通 过 审 批 的 新 建 改 建 扩 建 项 目 4.2 时 段 划 分 现 有 项 目 实 施 之 日 起 至 2018 年 6 月 30 日 止 执 行 第 Ⅰ 时 段 限 值, 自 2018 年 7 月 1 日 起 执 行 第 Ⅱ 时 段 限 值 ; 新 建 项 目 自 本 标 准 实 施 之 日 起 执 行 第 Ⅱ 时 段 限 值 ; 排 放 限 值 技 术 与 管 理 规 定 未 划 分 时 段 的, 则 自 本 标 准 实 施 之 日 起 执 行 第 Ⅱ 时 段 限 值 5 污 染 物 排 放 控 制 要 求 5.1 排 气 筒 挥 发 性 有 机 污 染 物 排 放 限 值 清 洗 刻 蚀 表 面 涂 装 烘 干 室 排 气 应 安 装 废 气 净 化 装 置 进 行 处 理, 排 气 筒 排 放 的 VOCs 排 放 限 值 应 符 合 表 1 规 定 表 1 排 气 筒 挥 发 性 有 机 污 染 物 排 放 限 值 污 染 物 最 高 允 许 排 放 浓 度 (mg/m 3 ) 最 高 允 许 排 放 速 率 (kg/h) Ⅰ 时 段 Ⅱ 时 段 Ⅰ 时 段 Ⅱ 时 段 苯 1 1 0.15 0.10 甲 苯 10 5 0.30 0.20 二 甲 苯 20 10 0.80 0.60 苯 系 物 30 15 1.00 0.60 VOCs 60 40 2.00 1.20 4

5.2 无 组 织 排 放 监 控 点 挥 发 性 有 机 污 染 物 浓 度 限 值 企 业 无 组 织 排 放 监 控 点 ( 厂 界 和 车 间 边 界 ) 挥 发 性 有 机 污 染 物 浓 度 限 值 应 符 合 表 2 的 规 定 车 间 边 界 仅 限 于 车 间 外 厂 区 边 界 范 围 内, 若 出 现 厂 界 与 车 间 边 界 重 合 情 况, 无 组 织 排 放 监 控 点 浓 度 限 值 执 行 车 间 边 界 标 准 表 2 无 组 织 排 放 监 控 点 挥 发 性 有 机 污 染 物 浓 度 限 值 单 位 :mg/m 3 污 染 物 项 目 厂 界 无 组 织 浓 度 限 值 车 间 边 界 无 组 织 浓 度 限 值 苯 0.10 0.40 甲 苯 1.00 2.40 二 甲 苯 0.50 1.20 苯 系 物 1.50 3.00 VOCs 2.00 4.00 5.3 排 气 筒 高 度 与 排 放 速 率 要 求 5.3.1 企 业 排 气 筒 高 度 不 应 低 于 15m 不 能 达 到 该 要 求 的 排 气 筒, 应 按 表 1 所 列 排 放 速 率 限 值 的 50% 执 行 5.3.2 排 气 筒 高 度 除 须 遵 守 5.3.1 的 要 求 外, 企 业 排 气 筒 高 度 应 高 出 周 围 200 m 半 径 范 围 的 最 高 建 筑 3 m 以 上, 不 能 达 到 该 要 求 的 排 气 筒, 应 按 表 1 所 列 排 放 速 率 限 值 的 50% 执 行 5.3.3 同 时 无 法 满 足 以 上 两 项 要 求 的 排 气 筒, 应 按 表 1 所 列 排 放 速 率 限 值 的 50% 执 行 5.3.4 若 某 排 气 筒 高 度 高 于 15m, 其 排 放 速 率 同 样 执 行 表 1 的 最 高 允 许 排 放 速 率 5.3.5 企 业 内 有 多 根 排 放 含 VOCs 废 气 的 排 气 筒 时, 两 根 排 放 相 同 污 染 物 ( 不 论 其 是 否 由 同 一 生 产 工 艺 过 程 产 生 ) 的 排 气 筒, 若 其 距 离 小 于 其 几 何 高 度 之 和, 应 合 并 视 为 一 根 等 效 排 气 筒 若 有 三 根 以 上 的 近 距 离 排 气 筒, 且 排 放 同 一 种 污 染 物 时, 应 以 前 两 根 的 等 效 排 气 筒, 依 次 与 第 三 四 根 排 气 筒 取 等 效 值 等 效 排 气 筒 的 有 关 参 数 计 算 方 法 参 见 附 录 C 6 污 染 物 监 测 要 求 6.1 布 点 6.1.1 生 产 设 施 排 气 筒 VOCS 监 测 的 采 样 点 数 目 及 采 样 点 位 置 的 设 置 应 按 照 GB/T 16157 HJ/T 397 执 行 6.1.2 厂 界 无 组 织 排 放 监 控 点 的 数 目 及 点 位 设 置 应 按 照 HJ/T 55 执 行 ; 车 间 边 界 无 组 织 监 控 点 设 置 在 车 间 排 风 口 或 门 口 下 风 向 外 1 米, 距 离 地 面 1.5 米 以 上 位 置 处, 监 控 点 的 数 量 不 少 于 3 个, 并 选 取 浓 度 最 大 值 无 组 织 排 放 监 测 与 排 气 筒 VOCs 监 测 同 时 进 行 6.2 采 样 分 析 5

6.2.1 生 产 设 施 排 气 筒 应 设 置 按 照 环 境 监 测 管 理 规 定 和 技 术 规 范 的 要 求 设 计 建 设 维 护 的 永 久 性 采 样 口, 安 装 符 合 HJ/T 1 要 求 的 气 体 参 数 测 量 和 采 样 的 固 定 位 装 置, 并 满 足 GB/T 16157 规 定 的 采 样 条 件 6.2.2 排 气 筒 中 VOCs 采 样 按 GB/T 16157 HJ/T 397 HJ732 HJ734 以 及 国 家 环 境 保 护 部 的 有 关 规 定 执 行, 具 体 污 染 物 的 采 样 还 应 根 据 该 污 染 物 的 监 测 方 法 执 行 6.2.3 排 气 筒 中 VOCs 浓 度 值 是 指 任 何 1 h 浓 度 平 均 值, 以 任 何 连 续 1 h 的 采 样 获 得 的 平 均 值 ; 或 在 任 何 1 h 以 等 时 间 间 隔 采 集 3 个 以 上 样 品, 并 计 算 平 均 值 6.2.4 无 组 织 排 放 监 控 点 和 参 照 点 的 采 样, 一 般 采 用 连 续 1 h 采 样 获 得 的 浓 度 值 6.2.5 对 于 排 气 筒 间 歇 性 排 放 且 排 放 时 间 小 于 1 h, 则 应 在 排 放 时 段 内 实 行 连 续 监 测, 或 以 等 时 间 间 隔 采 集 3 个 以 上 样 品 并 计 平 均 值 ; 若 排 气 筒 间 断 性 排 放 大 于 1 h, 则 应 在 排 放 时 段 内 按 6.2.3 的 要 求 采 样 ; 当 进 行 污 染 事 故 排 放 监 测 时, 按 需 要 设 置 的 采 样 时 间 和 频 率, 不 受 上 述 要 求 限 制 6.2.6 建 设 项 目 环 境 保 护 设 施 竣 工 验 收 监 测 的 采 样 时 间 和 频 率 工 况 按 国 家 相 关 规 定 执 行 6.2.7 VOCs 的 分 析 测 定 按 照 表 3 规 定 执 行 表 3 挥 发 性 有 机 物 监 测 方 法 项 目 方 法 名 称 标 准 编 号 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 采 样 气 袋 法 HJ732 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 固 相 吸 附 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 734 苯 甲 苯 二 甲 苯 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 固 体 吸 附 / 热 脱 附 - 气 相 色 谱 法 HJ 583 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 活 性 炭 吸 附 / 二 硫 化 碳 解 吸 - 气 相 色 谱 法 HJ 584 环 境 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 吸 附 管 采 样 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 644 环 境 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 罐 采 样 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 759 苯 系 物 VOCs 气 相 色 谱 法 附 录 D a a: 测 定 方 法 标 准 暂 参 考 所 列 方 法, 待 国 家 发 布 相 应 的 方 法 标 准 并 实 施 后, 停 止 使 用 6.3 监 测 工 况 要 求 6.3.1 采 样 期 间 的 工 况 应 与 日 常 实 际 运 行 工 况 相 同, 对 于 建 设 项 目 环 境 保 护 设 施 竣 工 验 收 监 测 或 限 期 治 理 后 的 监 测, 采 样 期 间 的 工 况 不 应 低 于 设 计 工 况 的 75% 对 于 监 督 性 监 测, 不 受 工 况 和 生 产 负 荷 限 制 6.3.2 生 产 设 施 应 采 用 合 理 的 通 风 措 施, 不 得 故 意 稀 释 排 放 在 国 家 未 规 定 单 位 产 品 基 准 排 气 量 之 前, 暂 以 实 测 浓 度 作 为 判 定 是 否 达 标 的 依 据 7 实 施 与 监 督 7.1 本 标 准 由 县 级 以 上 人 民 政 府 环 境 保 护 行 政 主 管 部 门 负 责 监 督 实 施 6

附 录 A ( 规 范 性 附 录 ) 控 制 VOCs 排 放 的 生 产 工 艺 和 管 理 要 求 A.1 涂 料 粘 胶 剂 有 机 溶 剂 等 原 辅 材 料 宜 储 存 在 密 封 容 器 中 有 机 溶 剂 转 移 及 设 备 清 洗 过 程 中, 应 尽 可 能 减 少 VOCs 排 放 废 弃 的 涂 料 桶 有 机 溶 剂 容 器 桶 或 胶 水 桶 在 移 交 专 门 的 回 收 处 理 机 构 前, 应 封 盖 存 储 A.2 槽 车 和 储 罐 之 间 溶 剂 转 移 过 程 中 应 该 设 置 蒸 汽 平 衡 系 统 或 者 废 气 收 集 处 理 等 其 他 等 效 措 施 储 罐 存 储 的 原 辅 物 料 必 须 密 闭 管 道 输 送 至 生 产 装 置 A.3 产 生 VOCs 废 气 的 工 艺 线 应 尽 可 能 设 置 于 密 闭 工 作 间 内, 集 中 排 风 并 导 入 VOCs 控 制 设 备 进 行 处 理, 达 标 排 放 ; 无 法 设 置 密 闭 工 作 间 的 生 产 线,VOCs 排 放 工 段 应 设 置 集 气 罩 排 风 管 道 组 成 的 排 气 系 统, 使 产 生 的 VOCs 导 入 VOCs 控 制 设 备, 达 标 排 放 A.4 生 产 工 艺 与 装 备 要 求 资 源 能 源 利 用 指 标 污 染 物 产 生 指 标 ( 末 端 处 理 前 ) 废 物 回 收 利 用 指 标 和 环 境 管 理 要 求 达 到 行 业 清 洁 生 产 相 关 要 求 A.5 利 用 排 气 筒 排 放 VOCs 的 污 染 源, 企 业 应 定 期 监 测, 监 测 要 求 按 相 关 的 监 测 规 范 执 行 A.6 密 闭 排 气 系 统 污 染 控 制 设 备 应 与 工 艺 设 施 同 步 运 转 废 气 收 集 装 置 和 治 理 装 置 必 须 按 照 规 范 参 数 条 件 运 行 A.7 企 业 经 营 者 应 记 录 企 业 环 保 台 账, 包 括 企 业 使 用 的 含 VOCs 原 料 名 称 厂 家 品 牌 型 号 VOCs 含 量 购 入 量 使 用 量 和 库 存 量,VOCs 治 理 设 施 运 行 风 量 时 间 等 主 要 操 作 参 数 以 及 设 备 排 空 清 洗 频 率 等 企 业 VOCs 产 生 源 头 到 末 端 治 理 的 相 关 信 息 7

附 录 B ( 资 料 性 附 录 ) 电 子 专 用 材 料 涵 盖 的 产 品 范 围 本 标 准 中 电 子 专 用 材 料 涵 盖 的 产 品 如 下 : B.1 半 导 体 材 料 : 包 括 单 晶 硅 棒 ( 片 ) 单 晶 锗 砷 化 镓 等 ; B.2 覆 铜 板 : 包 括 刚 性 覆 铜 板 挠 性 覆 铜 板 金 属 基 覆 铜 板 印 制 电 路 用 粘 结 片 等 ; B.3 电 子 铜 箔 : 包 括 印 制 电 路 用 电 解 铜 箔 压 延 铜 箔 合 金 箔 等 ; B.4 光 电 子 材 料 : 包 括 LCD LED OLED 非 线 性 晶 体 等 所 用 的 材 料 等 ; B.5 压 电 晶 体 材 料 : 包 括 石 英 晶 棒 及 晶 片 铌 酸 锂 晶 棒 及 晶 片 钽 酸 锂 晶 棒 及 晶 片 频 率 片 等 ; B.6 电 子 专 用 精 细 化 工 与 高 分 子 材 料 : 包 括 电 子 导 电 浆 料 等 8

附 录 C ( 资 料 性 附 录 ) 等 效 排 气 筒 有 关 参 数 计 算 C.1 当 排 气 筒 1 和 排 气 筒 2 排 放 同 一 种 污 染 物, 其 距 离 小 于 该 两 个 排 气 筒 的 高 度 之 和 时, 应 以 一 个 等 效 排 气 筒 代 表 该 两 个 排 气 筒 C.2 等 效 排 气 筒 的 有 关 参 数 计 算 方 法 如 下 C.2.1 等 效 排 气 筒 VOCs 排 放 速 率, 按 式 (C1) 计 算 : 式 中 :Q 等 效 排 气 筒 VOCs 排 放 速 率,kg/h; Q Q1 Q2 (C1) Q 1,Q 2 排 气 筒 1 和 排 气 筒 2 的 VOCs 排 放 速 率,kg/h C.2.2 等 效 排 气 筒 高 度 按 式 (C2) 计 算 : 式 中 :h 等 效 排 气 筒 高 度,m; C.2.3 h 1,h 2 排 气 筒 1 和 排 气 筒 2 的 高 度,m 等 效 排 气 筒 的 位 置 1 2 2 h ( h1 h2 ) (C2) 2 等 效 排 气 筒 的 位 置, 应 位 于 排 气 筒 1 和 排 气 筒 2 的 连 线 上, 若 以 排 气 筒 1 为 原 点, 则 等 效 排 气 筒 距 原 点 的 距 离 按 式 (C3) 计 算 : x a( Q Q ) / Q aq / Q (C3) 式 中 :x 等 效 排 气 筒 距 排 气 筒 1 的 距 离,m; a 排 气 筒 1 至 排 气 筒 2 的 距 离,m; Q Q 1 Q 2 同 C.2.1 1 2 9

附 录 D ( 规 范 性 附 录 ) VOCs 监 测 方 法 注 意 : 本 方 法 并 未 指 出 所 有 可 能 的 安 全 问 题 使 用 者 有 责 任 采 取 适 当 的 安 全 防 护 措 施, 并 保 证 符 合 国 家 有 关 法 规 规 定 的 条 件 D.1 适 用 范 围 本 附 录 规 定 了 企 业 有 组 织 排 放 废 气 中 VOCs 的 监 测 方 法 无 组 织 监 控 点 的 VOCs 监 测 也 可 参 照 本 附 录 中 的 相 关 方 法 执 行 D.2 方 法 概 述 D.2.1 相 关 的 标 准 和 依 据 采 样 方 法 参 考 : 1) 美 国 EPA Mehtod TO-17. 2) GB/T 16157 固 定 源 排 气 中 颗 粒 物 测 定 与 气 态 污 染 物 采 样 方 法 污 染 物 测 定 分 析 方 法 参 考 : 3) 民 用 建 筑 工 程 室 内 环 境 污 染 控 制 规 范 (2010 年 修 订 ) 的 附 录 E: 室 内 空 气 中 总 挥 发 性 有 机 化 合 物 (TVOC) 的 测 定 D.2.2 方 法 的 选 择 D.2.2.1 本 标 准 的 总 VOCs 浓 度 是 指 所 有 VOCs 浓 度 的 算 术 和 可 以 选 择 以 下 一 种 方 式 实 施 监 测 : 1) 采 用 一 种 监 测 方 法 测 定 所 有 预 期 的 有 机 物 ; 2) 采 用 多 种 特 定 监 测 方 法 分 别 测 定 所 有 的 预 期 的 有 机 物 D.2.2.2 应 选 用 表 D.1 所 列 的 监 测 方 法 或 其 它 经 国 家 环 保 部 批 准 适 用 于 本 标 准 的 方 法 D.2.2.3 所 有 的 方 法 应 均 符 合 本 附 录 D.3 的 基 本 要 求 表 D.1 VOCs 的 测 定 方 法 项 目 方 法 名 称 标 准 编 号 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 采 样 气 袋 法 HJ732 固 定 污 染 源 废 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 固 相 吸 附 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 734 苯 甲 苯 二 甲 苯 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 固 体 吸 附 / 热 脱 附 - 气 相 色 谱 法 HJ 583 环 境 空 气 苯 系 物 的 测 定 活 性 炭 吸 附 / 二 硫 化 碳 解 吸 - 气 相 色 谱 法 HJ 584 环 境 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 吸 附 管 采 样 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 644 环 境 空 气 挥 发 性 有 机 物 的 测 定 罐 采 样 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 HJ 759 苯 系 物 VOCs 气 相 色 谱 法 附 录 D a a: 测 定 方 法 标 准 暂 参 考 所 列 方 法, 待 国 家 发 布 相 应 的 方 法 标 准 并 实 施 后, 停 止 使 用 D.2.3 预 期 有 机 物 的 调 查 本 行 业 有 机 废 气 的 具 体 组 成 与 原 材 料 配 方 有 关 监 测 时, 首 先 通 过 调 查 包 括 公 司 名 称 原 材 料 中 间 体 产 品 副 产 品 生 产 工 艺 排 气 筒 采 样 孔 位 置 总 有 机 碳 排 放 浓 度 等 情 况, 及 行 业 排 放 标 准 所 列 的 常 见 有 机 污 染 物, 分 析 有 机 废 气 的 组 成 类 别 浓 度 范 围 并 列 出 预 期 的 有 机 物 预 期 的 有 机 物 应 占 所 有 VOCs 总 量 的 80% 以 上 电 子 工 业 排 放 废 气 中 的 常 见 有 机 物 参 见 表 D.2 10

本 标 准 中 测 定 方 法 适 用 于 排 气 中 的 有 机 物 成 分 已 知 的 情 况, 如 可 能 存 在 未 知 的 有 机 物, 应 进 行 必 要 的 预 监 测, 可 采 用 固 相 吸 附 - 热 脱 附 / 气 相 色 谱 - 质 谱 法 分 析, 也 可 采 用 采 样 罐 采 样 气 相 色 谱 - 质 谱 法 分 析 等, 预 监 测 确 定 各 固 定 污 染 源 废 气 中 挥 发 性 有 机 物 的 组 分 表 D.2 电 子 工 业 工 艺 过 程 排 放 废 气 中 常 见 VOCs 物 种 工 艺 环 节 常 见 有 机 污 染 物 清 洗 过 程 刻 蚀 过 程 表 面 涂 装 烘 干 等 苯 甲 苯 二 甲 苯 三 甲 苯 四 甲 苯 乙 苯 丁 烷 环 己 烷 庚 烷 乙 酸 甲 酯 乙 酸 乙 酯 乙 酸 丁 酯 丙 烯 酸 乙 酯 丙 烯 酸 丁 酯 异 丙 醇 丁 醇 2- 甲 基 - 1- 丙 醇 丙 酮 2- 丁 酮 环 己 酮 甲 基 戊 酮 甲 基 异 丁 酮 甲 醛 乙 醛 丙 烯 醛 丙 醛 丁 烯 醛 甲 基 丙 烯 醛 正 丁 醛 苯 甲 醛 戊 醛 间 甲 基 苯 甲 醛 和 乙 醛 二 甲 醚 等 D.3 基 本 要 求 D.3.1 测 定 范 围 方 法 的 测 定 范 围 是 由 多 方 面 决 定 的, 如 采 样 体 积 吸 附 剂 浓 缩 样 品 稀 释 检 测 器 的 灵 敏 度 等 有 组 织 排 放 监 测 每 种 有 机 物 的 方 法 检 出 限 不 宜 高 于 0.01mg/m 3, 无 组 织 参 照 有 组 织 排 放 下 限 值 D.3.2 采 样 D.3.2.1 采 样 应 符 合 GB/T 16157 的 规 定, 具 体 污 染 物 的 采 样 还 应 根 据 该 污 染 物 的 监 测 方 法 执 行 D.3.2.2 监 测 采 样 时, 收 集 废 气 至 排 气 筒 的 所 有 生 产 线 应 在 正 常 稳 定 生 产 状 态 D.3.2.3 如 采 用 不 同 于 方 法 规 定 的 采 样 方 式, 如 改 变 吸 附 剂, 应 做 论 证 并 符 合 质 量 控 制 / 质 量 保 证 的 要 求 D.3.2.4 注 意 事 项 a) 部 分 废 气 的 温 度 较 高, 应 考 虑 温 度 对 采 样 及 监 测 的 影 响 若 排 气 筒 烟 气 温 度 较 高, 需 在 采 样 管 前 接 一 段 冷 凝 管 b) 部 分 废 气 的 湿 度 较 高, 应 考 虑 湿 度 对 采 样 及 监 测 的 影 响 若 排 气 筒 烟 气 含 水 率 较 高, 需 在 采 样 管 前 接 干 燥 装 置, 如 冰 水 浴 小 型 撞 击 式 水 分 收 集 器 或 半 导 体 制 冷 除 湿 装 置 等 c) 使 用 固 体 吸 附 采 样 方 法, 采 样 前 应 估 计 污 染 物 的 浓 度 和 采 样 体 积, 不 得 超 过 吸 附 管 的 穿 透 量 和 穿 透 体 积 ( 样 气 的 湿 度 超 过 2~3%, 吸 附 管 的 吸 附 量 将 急 剧 下 降 ) D.3.3 分 析 采 用 色 谱 分 析 方 法 时, 为 得 到 更 佳 的 结 果, 可 以 不 限 于 某 种 方 法 的 具 体 要 求 而 选 择 下 属 的 技 术 偏 离, 但 所 有 偏 离 必 须 符 合 质 量 控 制 / 质 量 保 证 的 要 求 a) 选 择 不 同 的 溶 剂 或 稀 释 比 例 ; b) 选 择 不 同 的 色 谱 柱 ; c) 选 择 不 同 的 色 谱 分 析 条 件 D.3.4 质 量 保 证 和 控 制 D.3.4.1 应 按 方 法 规 定 的 要 求 执 行 质 量 保 证 和 质 量 控 制 措 施 D.3.4.2 实 际 操 作 偏 离 方 法 规 定 要 求 的, 必 须 符 合 方 法 的 基 本 原 则 要 求 方 法 没 有 具 体 规 定 的, 应 参 考 GB/T 16157 和 本 附 录 D.4.6 的 要 求 执 行 D.4 VOCs 监 测 方 法 11

D.4.1 原 理 用 吸 附 管 采 集 气 体 样 品, 通 过 热 脱 附 法 将 吸 附 的 气 体 注 入 气 相 色 谱 仪 进 行 定 性 定 量 分 析 本 方 法 不 能 检 测 高 分 子 量 的 聚 合 物 在 分 析 之 前 会 聚 合 的 物 质 以 及 在 排 气 筒 和 仪 器 条 件 下 蒸 汽 压 过 低 的 物 质 可 根 据 实 际 情 况 选 用 一 种 采 样 方 法, 用 气 相 色 谱 分 离 定 性, 并 用 相 应 的 检 测 器 定 量, 如 :FID,ECD 或 MSD 等 D.4.2 试 剂 和 材 料 D.4.2.1 标 准 气 体 或 液 体 有 机 化 合 物 : 作 为 标 准 的 有 机 物 试 剂, 应 为 色 谱 纯, 如 果 为 分 析 纯, 需 经 纯 化 处 理, 以 保 证 色 谱 分 析 无 杂 峰 D.4.2.2 萃 取 溶 剂 : 色 谱 纯 D.4.2.3 气 体 : 载 气 高 纯 空 气 氢 气 干 燥 无 烃 空 气 D.4.3 仪 器 D.4.3.1 热 解 析 装 置 : 能 对 吸 附 管 进 行 热 解 析, 解 吸 温 度 载 气 流 速 可 调 D.4.3.2 气 相 色 谱 仪 D.4.3.3 色 谱 柱 : 根 据 待 分 析 物 质 选 用 合 适 色 谱 柱 D.4.3.4 气 体 采 样 器 : 流 量 0~0.5L/min D.4.3.5 连 接 管 : 聚 四 氟 乙 烯 材 料 胶 管, 用 于 采 样 气 体 管 路 的 连 接 D.4.3.6 吸 附 管 : 不 锈 钢 管 或 玻 璃 管, 内 装 填 吸 附 剂 见 GB/T 16157 中 9.3.5 D.4.3.7 转 子 流 量 计 : 用 于 控 制 采 样 时 通 过 气 体 采 样 器 的 气 流 流 量 D.4.3.8 流 量 校 正 器 : 用 于 校 准 采 样 器 和 转 子 流 量 计 的 流 量 D.4.4 吸 附 管 采 样 D.4.4.1 采 样 准 备 D.4.4.1.1 采 样 前, 用 流 量 校 正 器 校 正 气 体 采 样 器 的 流 量, 在 采 样 期 间, 用 转 子 流 量 计 控 制 通 过 采 样 器 的 流 速, 使 其 保 持 恒 定 D.4.4.1.2 吸 附 管 使 用 前 应 通 氮 气 加 热 净 化 至 无 杂 质 峰 D.4.4.2 样 品 采 集 有 组 织 和 无 组 织 排 放 监 控 点 的 采 样 分 别 依 照 6 污 染 物 监 测 要 求 中 的 6.1.1 和 6.1.2 部 分 若 现 场 大 气 中 含 有 较 多 颗 粒 物, 可 在 采 样 管 前 连 接 过 滤 头 记 录 采 样 时 间 采 样 流 量 温 度 和 大 气 压 D.4.4.3 现 场 空 白 样 品 的 采 集 将 净 化 后 的 采 样 管 运 输 到 采 样 现 场, 取 下 聚 四 氟 乙 烯 帽 后 立 即 重 新 密 封, 不 参 与 样 品 采 集, 并 同 已 采 集 样 品 的 采 样 管 一 同 存 放 每 次 采 集 样 品, 都 应 采 集 至 少 一 个 现 场 空 白 样 品 D.4.5 吸 附 管 样 品 的 分 析 D.4.5.1 色 谱 柱 的 选 择 根 据 预 计 排 放 的 有 机 物 ( 种 类 浓 度 ), 选 择 一 条 能 提 供 分 离 良 好 的 出 峰 较 快 的 色 谱 柱 D.4.5.2 色 谱 操 作 条 件 的 建 立 根 据 标 准 试 验 确 定 分 析 的 最 优 条 件, 即 能 使 预 计 分 析 的 物 质 有 良 好 的 分 离 效 果 且 最 短 的 分 析 时 间 D.4.5.3 标 准 曲 线 的 建 立 使 用 与 有 机 物 相 应 的 气 体 标 准 或 液 体 标 准, 选 择 合 适 的 浓 度, 每 种 有 机 物 至 少 使 用 5 个 不 同 标 准 度 点, 并 各 标 准 样 品 配 制 好 用 微 量 进 样 器 分 别 取 适 量 的 标 准 物 质 到 样 品 管 的 顶 端, 用 100 ml /min 的 流 量 通 载 气 5 min, 迅 速 取 下 样 品 管, 用 聚 四 氟 乙 烯 帽 将 样 品 管 两 端 密 封, 为 标 准 系 列 用 热 解 吸 气 相 色 谱 法 分 析 吸 附 管 标 准 系 列, 各 组 分 的 含 量 (μg) 为 横 坐 标, 峰 面 积 为 纵 坐 标, 绘 制 标 准 曲 线 12

D.4.5.4 测 定 样 品 及 现 场 空 白, 按 标 准 系 列 相 同 的 热 解 吸 气 相 色 谱 分 析 方 法 进 行 分 析, 以 保 留 时 间 定 性 峰 面 定 量 D.4.5.5 计 算 D.4.5.5.1 按 式 (D 1 ) 计 算 标 准 状 态 下 某 种 挥 发 性 有 机 物 的 浓 度 式 中 : C i = m i m o V nd (D 1 ) Ci 标 准 状 态 下 某 种 挥 发 性 有 机 物 的 浓 度,mg/m 3 ; m i 样 品 管 中 i 组 分 的 量,μg; m 0 未 采 样 管 ( 空 白 管 ) 中 i 组 分 的 量,μg; Vnd 标 准 状 态 下 采 样 体 积,L; D.4.5.5.2 应 按 式 (D 2 ) 计 算 所 采 样 品 中 总 VOCs 的 浓 度 : i=n C 总 VOC = i=1 C i (D 2 ) 式 中 : C 总 VOC 标 准 状 态 下 所 采 样 品 的 总 VOCs 的 浓 度,mg/m 3 注 :1 对 未 识 别 峰, 可 以 甲 苯 计 2 当 与 挥 发 性 有 机 化 合 物 有 相 同 或 几 乎 相 同 的 保 留 时 间 的 组 分 干 扰 测 定 时, 宜 通 过 选 择 适 当 的 气 相 色 谱 柱, 或 通 过 更 严 格 地 选 择 吸 收 管 和 调 节 分 析 系 统 的 条 件, 将 干 扰 减 到 最 低 D.4.6 质 量 控 制 和 质 量 保 证 D.4.6.1 回 收 率 实 验 在 预 测 和 识 别 所 有 相 关 的 污 染 物 后, 应 就 相 关 的 污 染 物 对 采 样 系 统 做 适 当 回 收 试 验 按 照 吸 附 管 采 样 法, 在 采 样 现 场 进 行 回 收 研 究 使 用 两 套 完 全 相 同 的 采 样 装 置, 一 套 加 标, 另 一 套 不 加 标 在 排 气 管 中 或 者 无 组 织 监 控 点 并 列 两 采 样 管, 采 样 管 应 放 在 同 一 断 面 上, 相 距 2.5Dm 采 样 前 在 加 标 装 置 的 吸 附 管 中 加 入 所 有 预 计 的 化 合 物 ( 气 态 或 液 态 ) 加 标 量 应 是 不 加 标 装 置 收 集 量 的 40%~60% 左 右 两 套 装 置 同 时 采 集 管 道 气 体, 使 用 相 同 的 仪 器 和 方 法 分 析 两 套 装 置 采 集 的 吸 附 管 样 品 按 式 (D 3 ) 计 算 每 一 加 标 物 质 的 平 均 回 收 率 (R): D.4.6.2 式 中 : R 平 均 回 收 率 R = (t u) V s S t 加 标 样 品 测 定 得 浓 度,mg/m 3 u 未 加 标 样 品 测 定 的 浓 度,mg/m 3 Vs 加 标 样 品 的 采 样 体 积,L S 加 标 物 质 的 质 量,μg i=n 100% i=1 C i (D 3 ) 回 收 率 的 可 接 受 范 围 为 60%<R<120% 如 果 R 值 达 不 到 要 求, 本 采 样 技 术 不 适 用 吸 附 管 采 样 法 的 其 它 要 求 13

D.4.6.2.1 可 将 两 支 吸 附 管 串 联 测 试 其 吸 附 效 率, 若 后 支 吸 附 管 的 测 定 结 果 超 过 总 量 ( 两 支 管 之 和 ) 的 10%, 则 认 为 已 经 穿 透 D.4.6.2.2 采 样 器 或 流 量 计 应 按 规 定 校 准 采 样 后 流 量 变 化 大 于 5%, 但 不 大 于 10%, 应 进 行 修 正 ; 流 量 变 化 大 于 10%, 应 重 新 采 样 D.4.6.3 方 法 的 性 能 指 标 本 方 法 精 密 度 : 平 行 样 偏 差 不 大 于 10% 本 方 法 准 确 度 : 误 差 不 大 于 ±10% D.4.6.4 干 扰 和 消 除 D.4.6.4.1 定 期 分 析 无 烃 空 气 或 氮 气 的 空 白 实 验 以 保 证 分 析 系 统 没 有 被 污 染 D.4.6.4.2 高 浓 度 和 低 浓 度 的 样 品 或 标 准 物 质 交 替 分 析 时 可 能 出 现 交 叉 污 染, 最 好 的 解 决 办 法 是 在 分 析 不 同 类 型 样 品 时 彻 底 地 清 洗 GC 进 样 器 D.4.6.4.3 当 废 气 中 含 水 蒸 汽 较 高 时, 可 在 吸 附 采 样 管 前 加 一 个 冰 水 浴 小 型 撞 击 式 水 分 收 集 器 或 半 导 体 制 冷 除 湿 装 置 水 分 收 集 器 中 的 水 应 同 时 用 HJ639 分 析, 含 量 计 入 到 样 品 中 D.4.6.4.4 每 个 样 品 的 气 相 色 谱 分 析 时 间 必 须 足 够 长, 以 保 证 所 有 峰 都 能 洗 脱 14