V 2.1.0 2

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V 2.1.0 2

目 录 目 录...2 如 何 与 我 们 联 系... 4 开 箱 检 查...5 注 意 事 项...6 保 修...7 第 一 章 概 述...8 一 概 述... 8 二 主 要 功 能... 8 三 技 术 指 标...10 四 环 境 要 求...12 第 二 章 面 板 说 明... 13 一 LCD 屏 说 明...13 二 按 键 说 明...15 第 三 章 仪 器 操 作 说 明... 17 一 开 机...17 二 操 作 说 明...18 第 四 章 软 件 操 作 说 明... 38 一 概 述...38 3

二 操 作 说 明...39 附 录 1... 42 附 录 2... 44 4

如 何 与 我 们 联 系 通 讯 地 址 : 常 州 市 同 惠 电 子 有 限 公 司 江 苏 省 常 州 市 新 北 区 天 山 路 3 号 电 话 :0086-85132222, 85113342, 85109592 传 真 :0519-85109972 或 访 问 我 们 的 网 站 :www.tonghui.com.cn www.tonghui.cn 及 发 送 邮 件 到 :sales@tonghui.com.cn 5

开 箱 检 查 检 查 产 品 的 外 观 是 否 有 破 损 刮 伤 等 包 装 箱 的 内 容 如 下 所 述 如 果 内 容 不 符 或 者 仪 器 有 损 坏, 请 与 本 公 司 或 最 近 的 销 售 服 务 处 联 系 附 件 : TH26028 DC 电 源 适 配 器 1 TH26611 四 探 针 探 头 电 缆 1 LH-200H7C 8.4V 可 充 电 电 池 ( 机 内 ) 1 Mini-USB 通 讯 电 缆 1 使 用 说 明 书 1 6

注 意 事 项 本 仪 器 只 能 在 室 内 使 用 更 换 电 池, 切 换 电 池 或 DC 电 源 适 配 器 时 必.. 须 将 仪 器 电 源 关 闭 充 电 时 有 可 能 对 测 量 有 影 响 使 用 单 节 充 电 电 池 供 电 电 池 电 压 小 于 6V 时, 仪 器 将 不 能 正 常 工 作 建 议 使 用 AC-DC 12V 外 接 电 源 适 配 器 供 电 为 了 确 保 测 量 准 确 度, 更 换 测 试 夹 具 后 建 议 重 新 进 行 清 零 操 作 仪 表 中 有 要 求 输 入 密 码 的 保 留 功 能 选 项, 普 通 用 户 不 允 许 使 用 7

保 修 仪 器 自 发 货 之 日 起 保 修 期 为 两 年 在 保 修 期 内 本 公 司 根 据 情 况 选 择 对 故 障 仪 器 进 行 维 修 或 更 换 保 修 仪 器 必 须 发 送 到 本 公 司 或 由 本 公 司 指 定 的 维 修 点 进 行 维 修 下 列 情 况 不 在 保 修 范 围 : 使 用 者 操 作 或 维 护 不 当 ; 使 用 用 户 自 己 提 供 的 软 件 或 接 口 ; 未 经 许 可 对 仪 器 进 行 修 改 ; 使 用 环 境 不 符 合 要 求 造 成 仪 器 损 坏 8

第 一 章 概 述 感 谢 您 购 买 我 公 司 的 产 品! 为 了 更 好 地 使 用 仪 器, 获 得 仪 器 最 佳 测 试 性 能, 建 议 在 使 用 本 仪 器 前 详 细 阅 读 本 说 明 书 一 概 述 TH2661 型 四 探 针 测 试 仪, 是 低 功 耗 手 持 式 仪 器, 专 用 于 测 试 硅 等 半 导 体 材 料 的 方 块 电 阻 ( 薄 层 电 阻 ) 及 电 阻 率, 适 用 于 半 导 体 和 太 阳 能 等 半 导 体 材 料 的 测 试 要 求, 也 可 对 分 立 电 阻 器 件 进 行 测 量 二 主 要 功 能 1. 测 量 的 参 数 : 电 阻, 电 阻 率 和 方 阻 2. 测 量 范 围 电 阻 0.1Ω ~ 200kΩ 电 阻 率 0.01Ω cm ~ 100kΩ cm 方 阻 0. 1Ω/ ~ 1MΩ/ 9

3. 恒 流 源 量 程 低 到 高 依 次 :100nA,100nA,1uA,10uA,100uA, 1mA,3.3mA 方 向 : 正 向, 反 向, 正 反 向 4. 显 示 方 式 : 直 读 直 接 读 数 显 示 ; 绝 对 偏 差 显 示 ; % 百 分 比 偏 差 显 示 5. 自 动 量 程 功 能 AUTO AUTO 仪 器 会 根 据 输 入 测 量 信 号 及 电 压 量 程, 选 择 最 佳 电 流 量 程 6. ZERO 短 路 清 零 功 能 测 量 前 短 路 清 零 7. 分 选 功 能 : 仪 器 提 供 分 选 功 能 HI PASS LO 8. 数 据 保 持 将 测 试 数 据 结 果 保 持 在 屏 幕 上 9. 数 据 保 存 功 能 可 保 存 100 个 数 据 于 内 部 存 储 单 元 中 10. 讯 响 模 式 讯 响 模 式 可 以 设 定 为 :ON 或 OFF 10

三 技 术 指 标 测 试 参 数 V,,ρ,R 测 试 电 流 100nA,1uA,10uA,100uA 1mA 3.3mA 三 种 方 向 R 测 量 最 大 误 差 0.5% 0.8% 1% 电 流 方 向 正 向 (FWD) 反 向 (REV) 正 反 向 (FWD REV 精 确 ) 显 示 位 数 5 位 测 量 范 围 V 2 220mV 0. 1Ω/ ~ 1MΩ/ ρ 0.01Ω cm ~ 100kΩ cm R 0.1Ω ~ 200kΩ 量 程 控 制 自 动 / 保 持 直 读 : 直 接 读 数 值 ; 显 示 方 式 : 绝 对 偏 差 ; %: 百 分 比 偏 差 清 零 短 路 测 试 速 度 约 3 次 / 秒 输 入 端 四 端 分 选 判 别 三 档 :HI PASS LO 11

( ρ) 测 量 不 确 定 度 在 整 个 量 程 范 围 内, 测 量 不 确 定 度 5% 分 百 分 比 -9999% - 99999% 选 V 0.0001mV 99999mV 预 置 标 称 0.0001Ω/ 99999MΩ/ 0.01Ω cm - 99999kΩ cm 范 值 围 R 0.1Ω - 99999MΩ 讯 响 设 置 ON, OFF 电 源 9V 电 池 或 DC12V 100mA 电 源 适 配 器 自 动 关 机 约 6V 功 耗 工 作 状 态 :<35 ma ( 典 型 ) 关 机 :<1uA 自 动 关 机 5,10,20,30 分 钟 ( 电 池 供 电 ) 重 量 约 400g( 含 电 池 ) 外 形 尺 寸 40mm( 高 ) x 95mm( 宽 ) x 200mm( 长 ) 表 1-1 技 术 指 标 12

四 环 境 要 求 1. 请 不 要 在 如 下 环 境 中 使 用 仪 器, 它 们 任 何 一 种 都 会 直 接 影 响 测 量 精 度 或 损 坏 仪 器 : (1) 请 勿 将 仪 器 放 在 多 灰 尘 多 振 动 日 光 直 射 有 腐 蚀 气 体 下 使 用 (2) 尽 管 仪 器 针 对 电 源 交 流 噪 音 进 行 了 特 殊 处 理, 但 仍 尽 可 能 放 置 在 噪 音 小 的 环 境 使 用 如 实 无 法 避 免, 请 务 必 为 本 仪 器 的 电 源 适 配 器 加 电 源 滤 波 器 2. TH2661 必 须 在 下 列 环 境 条 件 下 工 作 : 温 度 :0 C ~ 40 C 23 C 为 标 准 测 试 温 度 温 度 过 高 或 过 低 都 将 会 稍 微 影 响 测 量 结 果 湿 度 : 90% RH( 在 40 C 时 ) 3. 仪 器 存 贮 环 境 温 度 : -25 C ~ 50 C, 长 时 间 不 用, 应 包 装 保 存 好 13

第 二 章 面 板 说 明 一 LCD 屏 说 明 图 2-1 LCD 屏 14

标 说 明 标 号 说 明 号 1 电 量 指 示 12 偏 差 或 百 分 比 2 USB 指 示 13 保 持 读 数 3 讯 响 指 示 14 最 大 值 最 小 值 平 均 值 标 准 偏 差 4 电 流 方 向 指 示 15 主 参 数 值 5 分 选 指 示 16 对 内 存 操 作 指 示 6 参 考 值 指 示 17 存 储 读 数 7 电 流 指 示 I 或 样 品 厚 度 指 示 T 18 主 参 数 指 示 8 电 流 量 程 指 示 19 自 动 电 流 量 程 9 厚 度 单 位 mm 20 第 二 功 能 指 示 10 电 流 单 位 21 菜 单 指 示 11 主 参 数 值 单 位 22 适 配 器 供 电 指 示 表 2-1 LCD 屏 说 明 15

二 按 键 说 明 REF AUTO MENU POWER 1 2 3 4 PARA INC DIR ESC STORE HOLD ENTER DISPLAY SHIFT 8 STBY 7 DEC 6 ZERO 5 图 2-2 按 键 约 定 : 键 盘 功 能 约 定 第 一 功 能 示 例 : PARA 第 二 功 能 示 例 : REF 第 三 功 能 示 例 : ESC 序 号 按 键 功 能 SHIFT+ 功 能 16

按 键 1 POWER 电 源 开 关 2 PARA 参 数 REF 当 前 值 为 参 考 3 INC 电 流 量 程 加 AUTO 量 程 自 动 / 保 持 4 DIR 电 流 源 方 向 MENU 菜 单 5 ZERO 短 路 清 零 DISPLAY 显 示 模 式 6 DEC 电 流 量 程 减 HOLD 读 数 保 持 7 STBY 无 电 流 输 出 STORE 存 储 数 据 8 SHIFT 第 二 功 能 表 2-2 按 键 描 述 第 三 功 能 键 : ESC,,,, 和 ENTER 在 菜 单 设 置 和 数 据 设 置 中 使 用, 详 见 第 三 章 的 相 关 章 节 17

第 三 章 仪 器 操 作 说 明 一 开 机 1. 按 POWER 键 启 动 仪 器 2. LCD 屏 显 示 仪 器 版 本 号 3. 延 时 后 进 入 测 试 状 态 1 2 3 4 5 6 10 9 7 8 图 3-1 测 试 状 态 测 量 显 示 描 述 : 1. 电 池 供 电 2. 讯 响 ON 3. 电 流 方 向 4. 分 选 指 示 5. 电 流 指 示 :I 6. 电 流 值 显 示 7. 主 参 数 单 位 8. 主 参 数 显 示 9. 主 参 数 指 示 :V 10. 适 配 器 供 电 18

二 操 作 说 明 TH2661 开 机 后, 电 流 探 针 无 电 流 流 过, 所 处 状 态 为 STBY 1. 第 一 功 能 操 作 : a) 参 数 设 定 按 PARA 键 将 循 环 选 择 以 下 参 数 :V,R, 和 ρ V : 探 头 中 间 两 探 针 间 的 电 压 差 : 硅 片 等 半 导 体 材 料 的 方 块 电 阻 ρ : 厚 片 或 薄 片 样 品 的 电 阻 率 R : 探 针 中 间 两 探 针 之 间 的 电 压 差 与 流 过 样 品 电 流 的 比 值, 也 可 去 掉 探 头, 将 分 立 电 阻 插 在 仪 器 测 试 端 子, 测 量 电 阻 其 对 应 的 计 算 公 式 分 别 如 下 : 电 阻 测 量 R: V R 公 式 (1) I 其 中 :V 为 被 测 电 压 值,I 为 电 流 输 出 值 19

方 阻 测 量 : TH2661 说 明 书 当 样 片 厚 度 小 于 0.5 倍 探 针 间 距 时, 如 扩 散 层, 通 常 测 量 其 方 块 电 阻, 计 算 公 式 如 下 : R S V 4. 5324 公 式 (2) I 其 中 :V 为 被 测 电 压 值,I 为 电 流 输 出 值 电 阻 率 测 量 ρ: 电 阻 率 与 样 品 的 厚 度 有 关 系, 所 以 在 测 试 样 品 电 阻 率 时, 一 定 要 在 菜 单 中 对 样 品 的 厚 度 进 行 设 置 对 于 样 品 厚 度 大 于 等 于 3.5s 时, 计 算 公 式 如 下 : V 2 s 公 式 (3) I 其 中 :V 为 被 测 电 压 值,I 为 电 流 输 出 值,s 为 探 针 间 距, 为 常 数 3.1415926 对 于 样 品 厚 度 小 于 3.5s 时, 计 算 公 式 如 下 : V t 2 s G( ) 公 式 (4) I s 其 中 :V 为 被 测 电 压 值,I 为 电 流 输 出 值,s 为 探 针 间 距, 为 常 t 数 3.1415926, G( ) 为 样 品 厚 度 修 正 参 数, 所 对 应 的 厚 度 值 为 s 0.01s~3.49s, 见 附 录 1 20

注 意 : 测 量 电 阻 率 时, 必 须 在 菜 单 中 对 样 品 厚 度 (thic) 进 行 设 置 对 于 棒 状 或 块 状 的 样 品 ( 其 样 品 厚 度 3.5s 时 ), 请 一 定 要 在 菜 单 中 设 置 样 品 的 厚 度 大 于 3.5s, 此 时 屏 幕 显 示 的 数 据 采 用 的 计 算 公 式 为 公 式 (3) 对 于 薄 片 样 品 ( 样 品 厚 度 <3.5s), 在 菜 单 中 设 置 好 与 样 品 对 应 的 厚 度 后, 屏 幕 所 显 示 的 数 据 为 已 经 厚 度 修 正 了 的 数 据, 即 已 将 厚 度 修 正 参 数 t G( ) 纳 入 计 算, 此 时 屏 幕 显 示 的 数 据 采 用 的 计 算 公 式 为 公 式 (4) s t 在 测 量 薄 片 样 品 ( 样 品 厚 度 <3.5s) 的 电 阻 率 时, 如 不 想 把 参 数 G( ) s 纳 入 计 算, 可 通 过 菜 单 设 置 样 品 的 厚 度 大 于 3.5s, 则 屏 幕 显 示 数 据 所 采 用 t 的 计 算 公 式 为 公 式 (3), 即 未 将 G( ) 纳 入 计 算 s 图 3-2 电 阻 率 测 试 状 态 21

说 明 : 对 于 扩 散 层, 薄 片 等 样 品 ( 样 品 厚 度 0.5S), 可 测 量 方 阻 ; 对 于 棒 状 和 块 状 样 品 ( 样 品 厚 度 3.5S), 测 量 电 阻 率 ; 对 于 薄 片 样 品, 测 量 电 阻 率 ( 样 品 厚 度 <3.5S), 需 要 对 测 量 结 果 进 行 厚 度 校 准, 本 仪 器 值 提 供 样 品 厚 度 值 0.01s~3.49s 的 修 正 系 数 S 为 探 针 间 距, 有 1.0mm,1.27mm, 1.59mm 三 个 选 择 项 关 于 样 品 厚 度 设 置 和 探 针 间 距 设 置, 详 见 第 四 章 单 位 说 明 : V mv Ω/ kω/ MΩ/ ρ Ω cm kω cm R k 表 3-1 单 位 b) 电 流 设 定 电 流 量 程 设 定 该 功 能 由 INC 和 DEC 构 成 : INC DEC 键 改 变 量 程 电 流, 如 果 之 前 量 程 为 自 动 模 式, 改 变 电 流 量 程 后 则 进 入 量 程 手 动 模 式 量 程 保 持 时, 测 试 元 件 大 小 超 出 量 程 测 量 范 围, 或 22

超 出 仪 器 显 示 范 围 也 将 显 示 过 载 标 志 -----, 建 议 减 小 电 流 量 程, 直 至 电 压 读 数 在 一 个 合 理 的 显 示 范 围 内 电 流 方 向 设 定 该 功 能 由 二 个 按 键 构 成 :DIR 和 STBY DIR 键 可 对 电 流 源 的 电 流 流 出 方 向 进 行 切 换, 正 向, 反 向 或 正 反 向 STBY 键 使 电 流 源 电 流 输 出 端 无 电 流 流 过 注 意 : 1. 在 切 换 电 流 量 程 时, 建 议 将 电 流 输 出 调 至 零 ( 即 STBY), 以 免 造 成 电 流 对 样 品 的 冲 击 2. 在 选 择 电 流 时, 对 某 些 样 品, 为 避 免 电 流 通 过 样 品 时 产 生 焦 耳 热 和 少 子 注 入 的 影 响, 应 当 适 当 减 小 测 量 电 流, 若 流 过 样 品 材 料 的 电 流 太 大, 导 致 样 品 发 热, 从 而 影 响 测 量 3. 调 换 被 测 样 品 时, 建 议 使 电 流 源 的 输 出 电 流 为 零 说 明 : 1. 电 流 正 反 方 向 是 指 流 过 样 品 电 流 的 方 向 反 复 的 在 正 方 向 或 反 方 向 间 切 换 它 的 测 试 过 程 如 下 : 使 电 流 源 流 过 样 品 电 流 为 正, 读 测 量 数 据 一, 切 换 电 流 源 方 向, 使 流 过 样 品 电 流 为 反 方 向, 读 23

测 量 数 据 二, 测 量 数 据 一 和 二 的 电 压 数 据 为 相 反, 两 者 相 减 除 2, 然 后 多 次 执 行 以 上 过 程 求 平 均 这 样 的 好 处 就 是 能 消 除 测 试 线 和 AD 转 换 时 的 非 线 性 误 差, 测 量 结 果 更 准 确 2. 在 测 量 薄 层 样 品 时, 有 电 流 流 过 的 探 针 针 尖 在 接 触 样 品 表 面 和 离 开 样 品 表 面 时 会 打 火, 使 用 STBY 按 键 避 免 探 针 针 尖 与 样 品 表 面 打 火 24

c) 短 路 清 零 将 测 试 四 端 进 行 短 路 后, 按 ZERO 键 进 入 清 零 功 能 屏 幕 显 示 如 图 4-2 图 3-3 清 零 界 面 注 意 : 清 零 功 能 是 为 了 保 证 仪 器 的 准 确 度 而 进 行 的 必 要 操 作, 它 可 有 效 清 除 测 试 夹 具 测 试 线 及 仪 器 内 部 的 杂 散 电 容 电 感 及 寄 生 电 阻 电 抗 对 测 试 的 影 响 对 于 测 试 线 的 更 换 或 环 境 温 湿 度 变 化 时, 务 必 进 行 清 零 校 准 短 路 清 零 (ZERO) 时, 如 果 夹 具 没 有 很 好 的 短 路 连 接, 则 屏 幕 会 出 现 ERROR 错 误 信 息, 内 部 程 序 默 认 最 大 短 路 阻 抗 为 200 毫 欧 25

2. 第 二 功 能 的 操 作 TH2661 说 明 书 a) 参 考 功 能 REF REF 功 能 将 当 前 测 量 结 果 作 为 标 称 参 考 值 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 REF 键,REF 在 屏 幕 上 点 亮 后 熄 灭, 当 前 显 示 数 值 作 为 标 称 值 Xstd b) 自 动 量 程 AUTO AUTO 功 能 在 电 流 量 程 自 动 和 保 持 间 切 换 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 AUTO 按 钮 选 择 自 动 电 流 量 程 c) 显 示 方 式 DISPLAY 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 DISPLAY 按 钮 选 择 : 直 读 绝 对 偏 差 ( ) 百 分 比 偏 差 ( %) 显 示 注 意 : 1. 绝 对 偏 差 ( ) 显 示 方 式 ( X x: 被 测 值 X std: 标 称 值 ) 26

图 3-4 绝 对 偏 差 ( ) 显 示 X x X std 2. 百 分 比 偏 差 ( %) 显 示 方 式 ( X x: 被 测 值 X std: 标 称 值 ) 图 3-5 百 分 比 偏 差 ( %) 显 示 X x X std % 100 % X std 说 明 : 标 称 数 值 Xstd 的 设 置 方 法 : 1. 通 过 REF 键 操 作, 将 当 前 数 值 作 为 标 称 数 值 Xstd 2. 在 菜 单 MENU 的 分 选 中, 设 置 标 称 值 STD 27

d) 数 据 保 持 HOLD HOLD 键 在 使 能 和 取 消 屏 幕 数 据 保 持 间 切 换 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 HOLD 键 选 择 屏 幕 数 据 保 持, 屏 幕 上 HOLD 点 亮 ; 或 从 屏 幕 数 据 保 持 切 换 为 取 消 屏 幕 数 据 保 持, 屏 幕 上 HOLD 熄 灭 e) 存 储 读 数 与 序 号 STORE 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 STORE 按 钮, 屏 幕 上 STORE 点 亮, 屏 幕 右 上 角 的 序 号 在 跳 动 按 ENTER 键, 进 入 序 号 设 定, 序 号 的 末 字 符 在 跳 动 按 选 择 数 据 位, 按 改 变 数 值 大 小, 对 序 号 的 大 小 进 行 设 定 图 3-4 存 储 读 数 显 示 28

按 ESC 返 回 测 试 界 面 TH2661 说 明 书 按 ENTER 确 认 并 保 存 数 据, 返 回 测 试 界 面 注 意 : 1. 存 储 的 读 数 包 括 : 探 头 中 间 两 探 针 的 电 压 差 流 过 样 品 的 电 流 及 存 储 数 据 所 对 应 的 序 号 2. 无 论 是 电 压 测 量, 方 阻 测 量, 电 阻 率 测 量, 还 是 电 阻 测 量, 其 存 储 的 数 据 都 为 : 四 探 针 探 头 的 中 间 两 探 针 电 压 差 样 品 流 过 电 流 及 序 号 29

3. 菜 单 功 能 的 操 作 TH2661 说 明 书 a) 查 看 与 删 除 存 储 读 数 1. 查 看 存 储 读 数 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键 进 入 菜 单, DATA 在 屏 幕 上 闪 烁 按 ENTER 键 进 入, 存 储 读 数 出 现 在 屏 幕 上, 其 对 应 存 储 读 数 的 序 号 闪 烁 图 3-5 查 看 存 储 读 数 显 示 按 依 次 查 看 存 储 的 数 据 以 及 最 大 值 MAX, 最 小 值 MIN, 平 均 值 AVR 和 标 准 偏 差 值 STD, 右 上 角 闪 烁 的 数 据 为 存 储 数 据 对 应 的 序 号, 在 查 看 存 储 数 据 的 同 时, 可 按 键 在 电 流 值 或 序 号 间 进 行 切 换 按 ENTER 键 进 入 序 号 修 改, 序 号 的 末 字 符 在 跳 动 30

按 选 择 数 据 位, 按 改 变 数 值 大 小, 对 序 号 的 大 小 进 行 设 定 按 ENTER 确 认 并 保 存 数 据, 返 回 菜 单 主 界 面 按 ESC 返 回 菜 单 主 界 面 2. 删 除 存 储 读 数 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键 进 入 菜 单, 通 过 键 或 键 选 择 删 除 存 储 读 数 功 能 DEL 按 ENTER 键 进 入, 屏 幕 上 ONE 在 跳 动, 通 过 来 选 择 删 除 读 数 的 类 型, 有 ONE,ALL 两 种 类 型 ALL 代 表 一 次 删 除 RAM 中 所 有 存 储 的 读 数,ONE 代 表 一 次 删 除 RAM 中 某 一 个 数 据 按 ENTER 键 进 入 确 认 删 除 菜 单 若 选 择 删 除 类 型 为 ONE, 则 存 储 的 数 据 出 现 在 屏 幕 上, 右 上 角 跳 动 的 数 据 为 该 存 储 数 据 对 应 的 序 号, 可 通 过 键 选 择 RAM 中 的 数 据, 按 键 方 式 有 2 种 : 分 为 短 按 键 和 长 按 键, 短 按 键 时, 以 步 进 为 一 选 择 数 据, 长 按 键 时 则 以 步 进 为 十 选 择 数 据, 按 ENTER 键 确 认 删 除 当 前 数 据 在 通 过 选 择 RAM 中 的 数 据 的 同 时, 可 通 过 键 切 换 来 查 看 当 前 数 据 对 应 的 电 流 值 或 序 号 31

若 选 择 删 除 类 型 为 ALL, 则 删 除 存 储 器 中 的 所 有 数 据, 删 除 完 后, 屏 幕 出 现 NONE, 并 返 回 到 主 菜 单 b) 设 置 分 选 约 定 : ESC,,,, 和 ENTER 键 按 键 主 菜 单 输 入 界 面 选 择 上 一 个 菜 单 向 左 移 动 数 位 选 择 下 一 个 菜 单 向 右 移 动 数 位 StD 里 改 变 参 数 数 字 +1/ 右 移 小 数 单 位 StD 里 改 变 参 数 数 字 -1/ 左 移 小 数 单 位 ENTER 进 入 子 菜 单 确 认 ESC 退 回 测 试 状 态 返 回 主 菜 单 表 3-3 分 选 设 置 中 的 按 键 约 定 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键 进 入 菜 单, 通 过 键 或 键 选 择 分 选 功 能 TOL, 右 上 角 显 示 当 前 TOL 分 选 状 态 按 ENTER 键 进 入,LO 在 屏 幕 上 闪 烁,LO 值 也 同 时 显 示 在 屏 幕 上 按 或 选 择 副 显 示 区 域 分 选 参 数 : LO: 下 限 32

HI: 上 限 StD: 标 称 值 按 ESC 取 消 分 选 设 定, 返 回 主 菜 单 按 ENTER 选 定 分 选 参 数 参 数 第 一 位 闪 烁, 开 始 输 入 数 据 图 3-8 分 选 设 置 界 面 按 选 择 数 据 位 或 小 数 点 按 改 变 符 号 数 值 大 小 小 数 点 位 置 按 ESC 返 回 主 菜 单 按 ENTER 确 认 并 保 存 数 据, 返 回 主 菜 单 选 择 标 称 值 参 数 设 定 33

图 3-9 标 称 值 设 定 界 面 按 选 择 数 据 位, 小 数 点 或 单 位 按 改 变 符 号 数 值 大 小 小 数 点 位 置 和 单 位 按 ESC 返 回 主 菜 单 按 ENTER 确 认 并 保 存 数 据, 返 回 主 菜 单 分 选 % LO LOW % HI HIGH LO % HI PASS 结 束 图 3-10 分 选 流 程 图 34

c) 探 头 探 针 间 距 设 置 : 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键 进 入 菜 单, 通 过 键 或 键 选 择 探 针 间 距 PITCH, 右 上 角 显 示 当 前 的 探 针 间 距, 如 想 改 变 当 前 探 针 间 距 值, 请 执 行 下 列 操 作 : 按 ENTER 键 进 入 探 头 探 针 间 距 设 定, 当 前 探 针 间 距 在 屏 幕 右 上 角 上 闪 烁 按 键 或 键 选 择 探 针 间 距 设 定 :1.00mm,1.27mm, 1.59mm 三 个 选 项 按 ENTER 键 确 认, 返 回 主 菜 单 d) 样 品 厚 度 设 置 : 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键 进 入 菜 单, 通 过 键 或 键 选 择 样 品 厚 度 thic, 右 上 角 显 示 当 前 的 样 品 厚 度 设 定 值, 如 果 想 改 变 当 前 值, 请 执 行 下 列 操 作 : 按 ENTER 键 进 入 样 品 厚 度 设 定, 上 次 设 置 的 样 品 厚 度 在 屏 幕 上 闪 烁 按 选 择 数 据 位 或 小 数 点 按 改 变 符 号 数 值 大 小 小 数 点 位 置 按 ESC 返 回 主 菜 单 35

按 ENTER 确 认 并 保 存 数 据, 返 回 主 菜 单 图 3-11 样 品 厚 度 设 定 界 面 e) 其 它 功 能 菜 单 设 置 : 1. 自 动 关 机 设 置 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键, 通 过 选 择 APO, 右 上 角 显 示 当 前 关 机 时 间 的 设 定, 如 想 改 变 当 前 设 定, 请 执 行 下 列 操 作 : 按 ENTER 键 进 入 自 动 关 机 时 间 设 定, 当 前 时 间 在 屏 幕 上 右 上 角 闪 烁 按 选 择 时 间 设 定 :5,10,20,30,OFF 五 个 选 项 按 ENTER 键 确 认 当 前 时 间 设 定, 返 回 主 菜 单 36

2. 波 特 率 的 设 定 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键, 通 过 选 择 选 择 BAUD 按 ENTER 键 进 入 波 特 率 设 定, 当 前 波 特 率 在 屏 幕 上 闪 烁 按 选 择 波 特 率 设 定 :9600,19200,38400 按 ENTER 键 确 认 波 特 率 设 定, 返 回 主 菜 单 3. 讯 响 设 置 按 SHIFT 键 选 择 第 二 功 能, 屏 幕 上 SHIFT 点 亮 按 MENU 键, 通 过 选 择 ALERT, 右 上 角 显 示 讯 响 状 态, 如 想 改 变 当 前 设 置, 请 执 行 下 列 操 作 : 按 ENTER 键 进 入 讯 响 设 置, ON 或 OFF 在 屏 幕 右 上 角 闪 烁 按 键 选 择 ON 或 OFF 按 ENTER 键 设 定 讯 响, 返 回 主 菜 单 注 意 : 在 外 接 电 源 适 配 器 供 电 时, 自 动 关 机 功 能 是 关 闭 的 按 选 择 校 正 功 能 CAL 按 ENTER 键 进 入 校 正 功 能, 该 功 能 要 求 输 入 密 码, 为 保 留 功 能, 不 对 一 般 用 户 开 放 37

3. 电 池 充 电 : TH2661 说 明 书 注 意 : 由 于 电 量 不 足, 仪 表 将 不 会 启 动, 此 时 请 外 接 电 源 充 电 电 量 标 志 闪 烁 时 表 示 正 在 充 电, 充 电 完 毕 停 止 闪 烁 充 电 时 对 测 量 有 一 定 干 扰 充 电 电 池 必 须 使 用 超 霸, 次 世 代 或 其 它 同 规 格 8.4V 型 号, 建 议 使 用 GP 20R8H 或 者 LH-200H7C 本 仪 器 自 带 充 电 保 护 功 能, 最 长 充 电 时 间 3 小 时 一 般 2~3 小 时 充 电 完 毕, 可 供 仪 器 连 续 使 用 5~6 小 时 4. 清 洁 请 使 用 柔 软 的 布 或 棉 花 蘸 少 许 清 水 进 行 清 洗, 不 可 使 用 溶 剂 例 如 : 汽 油 酒 精 等 或 芳 香 类 碳 氢 化 合 物 擦 洗 仪 器 38

第 四 章 软 件 操 作 说 明 一 概 述 TH2661 可 通 过 上 位 机 软 件 来 对 仪 器 进 行 操 作, 可 替 代 键 盘 来 对 仪 器 进 行 操 作, 可 将 测 量 数 据 保 存 到 EXCELL 中, 软 件 界 面 如 下 : 图 4-1 软 件 界 面 39

二 操 作 说 明 当 软 件 在 PC 机 上 打 开 后, 需 正 确 的 设 置 波 特 率, 须 使 软 件 的 波 特 率 与 仪 表 的 波 特 率 一 致, 仪 表 的 波 特 率 通 过 菜 单 进 行 设 置, 软 件 的 波 特 率 通 过 BAUD 的 下 拉 框 选 择 1. 软 件 打 开 与 关 闭 (START&STOP) 按 START 键, 软 件 开 始 运 行, 软 件 对 仪 器 进 行 复 位, 然 后 反 复 的 读 仪 表 的 测 量 数 值, 进 行 显 示 ; 按 STOP 键 可 停 止 软 件 的 运 行 2. 测 量 结 果 (DISPLAY) 测 量 结 果 分 为 三 个 部 分, 测 量 读 数 显 示 值, 电 流 量 程 和 电 流 方 向 3. 基 本 参 数 设 置 (BASE SETTING) 基 本 参 数 设 置 : 测 量 功 能 设 置 (FUNC), 电 流 量 程 设 置 (CURR), 电 流 方 向 设 置 (DIR), 读 数 保 持 (HOLD), 参 数 的 设 置 可 通 过 其 对 应 的 下 拉 框 进 行 选 择. 4. 参 考 值 设 置 (REF SETTING) 参 考 值 设 置 : 显 示 方 式 设 置 (DISP), 读 数 参 考 值 (REF), 可 通 过 下 拉 框 对 DISP 进 行 显 示 方 式 的 选 择, 在 参 考 值 (REF) 40

框, 直 接 输 入 你 向 设 置 的 参 考 值, 即 Xstd 5. 发 送 设 置 (SEND SETTING) 基 本 参 数 (BASE SETTING) 和 参 考 值 参 数 (REF SETTING) 选 择 好 后, 按 SEND SETTING 键, 可 将 设 置 的 参 数 一 次 发 送 给 仪 器, 仪 器 对 发 送 的 命 令 进 行 解 析 后, 执 行 相 应 的 操 作 其 发 送 命 令 的 格 式 符 合 SCPI 的 命 令 格 式, 如 :FUNC:VOLT;:DIR:FWD;:CURR:10;:HOLD:OFF;:DISP:DI RECT;:REF 0.2 其 解 析 如 下, 测 量 功 能 为 电 压 测 量 VOLT, 电 流 方 向 为 正 方 向 FWD, 电 流 量 程 为 10mA, 读 数 保 持 功 能 关 闭 HOLD OFF, 显 示 方 式 为 直 接 显 示 DIRECT, 读 数 参 考 值 Xstd 为 0.2V 6. 当 前 读 数 作 为 参 考 值 (REF TRIG) 仪 器 处 于 测 量 状 态 时, 可 通 过 REF TRIG 键, 将 当 前 测 量 值 回 读 到 参 考 值 (REF) 框, 即 把 当 前 测 量 值 作 为 参 考 值 输 入, 按 SEND SETTING 键 后,PC 机 把 当 前 值 发 送 给 仪 器, 作 为 读 数 参 考 值 X std 7. 存 储 测 量 值 到 EXCELL(SAVE DATA) 仪 器 在 测 量 状 态 时, 可 通 过 按 SAVE DATA 键, 将 当 前 测 量 值 保 存 到 EXCELL 表 格 中, 当 前 显 示 方 式 可 以 是 直 接 显 41

示 (OFF), 绝 对 偏 差 显 示 (ABS), 百 分 比 显 示 (PERC), 保 存 的 数 据 包 括 : 测 量 读 数, 当 前 电 流 量 程, 电 流 方 向 存 储 测 量 值 时, SAVE DATA 键 的 指 示 灯 会 变 绿 色, 再 次 按 SAVE DATA 键, 可 停 止 存 储 数 据, 指 示 灯 变 暗 8. 仪 器 内 存 中 数 据 传 输 到 EXCELL(MEM DATA) 在 上 位 机 软 件 运 行 后, 可 通 过 MEM DATA 键, 将 仪 器 内 存 中 的 数 据 传 输 到 EXCELL 表 格 中, 数 据 为 : 数 据 值, 对 应 的 电 流 量 程 值, 该 数 据 值 对 应 的 序 号, 当 数 据 传 输 完 毕 后, MEM DATA 键 上 的 绿 色 指 示 灯 会 变 暗 42

附 录 1 样 品 厚 度 t 为 0.01s~3.49s,t 为 样 品 厚 度 ( 单 位 为 mm),s 为 探 针 间 距 ( 单 位 为 mm) t/s 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.00 0.10 0.20 0.30 0.40 0.50 0.60 0.70 0.80 0.90 1.00 1.10 1.20 1.30 0.000 0.0072 0.0144 0.0216 0.0289 0.0361 0.0433 0.0505 0.0577 0.0649 0.0721 0.0794 0.0866 0.0938 0.1010 0.1082 0.1154 0.1226 0.1298 0.1371 0.1443 0.1515 0.1587 0.1659 0.1731 0.1803 0.1875 0.1948 0.2020 0.2092 0.2164 0.2236 0.2308 0.2380 0.2452 0.2524 0.2596 0.2668 0.2740 0.2812 0.2884 0.2956 0.3027 0.3099 0.3171 0.3242 0.3313 0.3385 0.3456 0.3526 0.3597 0.3668 0.3738 0.3808 0.3878 0.3948 0.4018 0.4087 0.4156 0.4224 0.4293 0.4361 0.4429 0.4496 0.4563 0.4630 0.4696 0.4762 0.4827 0.4892 0.4957 0.5021 0.5085 0.5148 0.5210 0.5273 0.5334 0.5396 0.5456 0.5516 0.5576 0.5635 0.5694 0.5751 0.5809 0.5866 0.5922 0.5978 0.6033 0.6087 0.6141 0.6194 0.6247 0.6299 0.6351 0.6402 0.6452 0.6501 0.6551 0.6599 0.6647 0.6694 0.6741 0.6787 0.6833 0.6877 0.6922 0.6965 0.7009 0.7051 0.7093 0.7134 0.7175 0.7215 0.7255 0.7294 0.7333 0.7371 0.7408 0.7445 0.7482 0.7518 0.7553 0.7589 0.7622 0.7656 0.7689 0.7122 0.7754 0.7786 0.7817 0.7848 0.7879 0.7908 0.7938 0.7967 0.7996 0.8024 0.8052 0.8079 43

1.40 1.50 1.60 1.70 1.80 1.90 2.00 2.10 2.20 2.30 2.40 2.50 2.60 2.70 2.80 2.90 3.00 3.10 3.20 3.30 3.40 0.8106 0.8132 0.8158 0.8184 0.8209 0.8234 0.8258 0.8282 0.8306 0.8329 0.8352 0.8375 0.8397 0.8419 0.8441 0.8462 0.8483 0.8503 0.8524 0.8544 0.8563 0.8382 0.8601 0.8620 0.8639 0.8657 0.8675 0.8692 0.8709 0.8726 0.8743 0.8760 0.8776 0.8792 0.8808 0.8823 0.8838 0.8853 0.8868 0.8883 0.8897 0.8911 0.8925 0.8939 0.8952 0.8965 0.8978 0.8991 0.9004 0.9016 0.9029 0.9041 0.9053 0.9064 0.9076 0.9087 0.9099 0.9110 0.9121 0.9131 0.9142 0.9152 0.9162 0.9172 0.9182 0.9192 0.9202 0.9211 0.9221 0.9230 0.9239 0.9248 0.9257 0.9266 0.9274 0.9283 0.9291 0.9299 0.9307 0.9315 0.9323 0.9331 0.9338 0.9346 0.9353 0.9361 0.9368 0.9375 0.9382 0.9389 0.9396 0.9402 0.9409 0.9415 0.9422 0.9428 0.9435 0.9441 0.9447 0.9453 0.9459 0.9465 0.9470 0.9476 0.9482 0.9487 0.9493 0.9498 0.9503 0.9509 0.9514 0.9519 0.9524 0.9529 0.9534 0.9538 0.9543 0.9548 0.9553 0.9557 0.9562 0.9566 0.9571 0.9575 0.9579 0.9583 0.9588 0.9592 0.9596 0.9600 0.9604 0.9608 0.9612 0.9616 0.9619 0.9623 0.9627 0.9630 0.9634 0.9637 0.9641 0.9644 0.9648 0.9652 0.9655 0.9658 0.9661 0.9664 0.9667 0.9671 0.9674 0.9677 0.9680 0.9683 0.9686 0.9689 0.9692 0.9694 0.9697 0.9700 0.9703 0.9705 0.9708 0.9711 0.9713 0.9716 0.9718 0.9721 0.9724 0.9726 0.9728 0.9731 0.9733 0.9736 0.9738 0.9740 0.9742 0.9745 0.9747 0.9749 0.9751 0.9753 0.9756 0.9758 0.9760 0.9762 0.9764 0.9766 0.9768 0.9770 0.9772 0.9774 0.9776 0.9778 0.9779 0.9781 0.9783 0.9785 0.9787 0.9788 0.9790 0.9792 0.9794 0.9795 0.9797 0.9799 0.9800 0.9802 0.9803 0.9805 44

附 录 2 仪 表 使 用 到 的 字 符 串 : CLEAR 短 路 扫 描 完 毕 data 查 看 存 储 读 数 tol 分 选 设 定 empty 内 存 数 据 为 空 P1~ 档 上 限 del 删 除 存 储 读 数 P1_ 档 下 限 one 删 除 内 存 中 一 个 数 据 Std 标 称 值 ALL 删 除 内 存 中 所 有 数 据 PASS 通 过 NONE 内 存 数 据 删 除 完 毕 HI 高 pitch 设 置 探 针 间 距 LO 低 thic 设 置 样 品 厚 度 APO 自 动 关 机 baud 设 置 波 特 率 CAL 厂 家 校 正 AlErt 讯 响 PSD 密 码 ON 开 Off 关 第 二 版 2013-7 45