Contents 精密 XY 平台 AX 結構與特長 P.2 高精度平台的精度評價方法與系統... P.3 一軸平台 XY 平台重量及精度表... P.5 一軸平台標準規格... P.7 XY 平台標準規格... P.9 一軸平台帶伸縮防塵套... P.11 XY 平台帶伸縮防塵套..

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1 精密XY平台 可對應各種用途 高精度 多種型號 AX/DX/EX CATALOG No.124-7T

2 Contents 精密 XY 平台 AX 結構與特長 P.2 高精度平台的精度評價方法與系統... P.3 一軸平台 XY 平台重量及精度表... P.5 一軸平台標準規格... P.7 XY 平台標準規格... P.9 一軸平台帶伸縮防塵套... P.11 XY 平台帶伸縮防塵套... P.13 馬達規格 P.15 XY 平台 DX 結構與特長 P.19 XY 平台 EX 結構與特長 P.21 1

3 精密 XY 平台 AX 驅動馬達 LM 導軌 SR 型 精密滾珠螺桿 DIF(BIF) 型 AX 型結構圖 結構與特長 高精度精密 XY 平台 AX 型使用經過精密研磨的剖面高度低的 LM 導軌 SR 型, 通過多重限制結構取得高精度引導 長期保持高精度引導部分使用具有高度可信性的 LM 導軌, 能夠長期保持精度 並且送進螺桿使用精密滾珠螺桿, 能夠無空隙地正確定位 組合型 不是使用歷來專用中座的 XY 組合, 而是通過一軸平台的組合可以自由地選擇 可以根據用途選擇平台精度 AX 型工作台可以相應各種用途選擇 3 種工作台精度 多種型號作為標準產品備有 50mm 到 500mm 的型號 並且還備有伸縮防塵套型 也對應特殊規格, 請向 THK 詢問 2

4 高精度平台的精度評價方法與系統 1. 反復定位精度 3. 無效 返回 無效 送進螺桿送進 負荷位移 ( 含彈性位移 ) 負載 的最大差的 1/2 在任意一點從相同方向反復進行 7 次定位, 測量停止位置, 求所得最大差的 1/2 原則上在移動距離的中央以及兩端的各個位置上進行測量, 以所得值之中最大的為測量值, 在最大差的 1/2 上加 ± 符號表示 對工作台施加推力, 以稍微活動時千分錶的值為基準, 在該狀態下不靠送進裝置, 從相同方向對工作台施加負載, 以其後解放時的基準與返回之間的差為測量值 在動作的中央及兩端的各個位置進行該測量, 以所得值中最大的值為測量值 2. 定位精度 4. 行走真直度 A ( 誤差 ) 基準位置 實際移動的距離 - 指令值的移動距離 指令值 移動距離 以有效為標準長度, 以絕對值表示從基準位置的實際移動距離與指令值之間最大誤差 在工作台上面中央部分放置直尺, 將固定在安裝了平台的檢查用工作台上的千分錶對準已找出中心的直尺使之兩端為零, 測量工作台移動距離的全部區域, 以移動距離內所得值的最大差為測量值 3

5 5. 平行度 A 其它評價方法 7. 行走真直度 B 在安裝了平台的檢查用工作台上放置直尺, 使固定在平台上的 千分錶對準已找出中心的直尺使之兩端為零, 測量工作台移動 距離的全部區域, 以移動距離內所得值的最大差為測量值 8. 直角度 B 將千分錶固定在安裝了平台的檢查用工作台上, 使千分錶處在 平台上面中央的位置, 在移動距離的全部區域內測量平台, 以 移動距離內所得值的最大差為測量值 直角尺 在安裝了平台的檢查用工作台上以某一移動方向為基準放置已 找出中心的直尺, 使固定在平台上的千分錶與直角尺的基準移 動軸成直角, 以該軸的移動距離內所得值的最大差為測量值 6. 直角度 A 精密定位工作台精度評價系統 直角尺 印表機 電腦 直角尺 雷射測量器 驅動器 控制器 馬達 馬達 驅動器 以某一移動方向為基準將直角尺固定在平台上, 使千分錶與基 準移動軸成直角, 以該軸的移動距離內所得值的最大差為測量 值 按照 JIS 規格規定的評價項目制定了檢查規格項目 4

6 一軸平台 XY 平台重量及精度表 一軸平台 公稱型號 有效 全 搭載重量 平台總重量 (mm) (mm) (mm) (mm) 不包括馬達 伸縮防塵套 精度等級 反復定位精度 (mm) XY 平台 公稱型號 有效 全 搭載重量 平台總重量 (mm) (mm) (mm) (mm) 不包括馬達 伸縮防塵套 精度等級 反復定位精度 (mm) 5

7 定位精度 (mm) 無效 (mm) 行走真直度 A 上下 左右 (mm) 平行度 A (mm) 滾珠螺桿導程標準品使用 5mm 馬達解析度步進馬達 :500P/r ( 全步 ) 1000P/r ( 半步 )AC 伺服馬達 :2048P/r 注 ) AC 伺服馬達解析度可以通過驅動器部分電子齒輪的功能進行變更 但是, 不能進行 4 倍增 (8192P/r) 以上的設置 定位精度 (mm) 無效 (mm) 行走真直度 A 上下 左右 (mm) 平行度 A (mm) 直角度 A (mm) 平台公稱型號的構成舉例 一軸平台 馬達種類 特殊規格 A: 帶步進馬達 ( 山洋電氣 ( 株 ) 製 ) 驅動器 ( 無電纜 ) B: 帶 AC 伺服馬達 (( 株 ) 安川電機製 ) 驅動器 ( 無電纜 ) S: 安裝指定馬達 驅動器 平台精度 P.6 P.5 P.4 (250mm) 型號 XY 平台 馬達種類 特殊規格 A: 帶步進馬達 ( 山洋電氣 ( 株 ) 製 ) 驅動器 ( 無電纜 ) B: 帶 AC 伺服馬達 (( 株 ) 安川電機製 ) 驅動器 ( 無電纜 ) S: 安裝指定馬達 驅動器 平台精度 P.6 P.5 P.4 Y 下軸 (300mm) X 上軸 (250mm) 特殊規格內容 E: 上工作台等追加加工 J: 帶伸縮防塵套護罩 特殊規格內容 E: 上工作台等追加加工 J: 帶伸縮防塵套護罩 型號 6

8 一軸平台標準規格 4-M8 開口 SR15V Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 BIF1205 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 帶伸縮防塵套外形尺寸圖參照第 11 頁 3. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 公稱型號 有效 全長 全高 基座尺寸 上工作台尺寸 L 7

9 Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 4-M10 開口 DIF1605 DIF2005(A40 以上 ) SR25W SR30W (A40 以上 ) EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 帶伸縮防塵套外形尺寸圖參照第 12 頁 3. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 單位 :mm 基座安裝孔尺寸 馬達托座尺寸 其它的外形尺寸 B3 G F N 個 Z 個 d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 h A B 8

10 XY 平台標準規格 BIF1205 Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 SR15W 4-M8 開口 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 SR15V 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 帶伸縮防塵套外形尺寸圖參照第 13 頁 3. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 公稱型號 有效全長全高基座尺寸上工作台尺寸 A B SX SY LX LY LX LY M LX1 LY1 W W1 W2 B1 B2 T 9

11 DIF1605 DIF2005(AX4040 以上 ) SR25W SR30W (AX4040 以上 ) 4-M10 開口 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 帶伸縮防塵套外形尺寸圖參照第 14 頁 3. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 基座安裝孔尺寸馬達托座尺寸其它的外形尺寸 LX3 LY3 H1 H2 LX2 LY2 B3 G F N 個 Z 個 d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 M4 h A B 單位 :mm 10

12 一軸平台帶伸縮防塵套 4-M8 開口 SR15V Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 BIF1205 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 伸縮防塵套 ( 氯丁橡膠 ) 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 公稱型號 有效 全長 全高 基座尺寸 上工作台尺寸 基座安裝孔尺寸 L S A B M L1 W W1 W2 B1 B2 T B3 G F N 個 11

13 Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 4-M10 開口 DIF1605 DIF2005(A40 以上 ) SR25W SR30W(A40 以上 ) EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 蛇管 ( 氯丁橡膠 ) 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 馬達托座尺寸 其它的外形尺寸 單位 :mm L3 H1 H2 L2 J2 Z 個 d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 h A B JW J1 A B J3 12

14 XY 平台帶伸縮防塵套 BIF1205 SR15W Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 4-M8 開口 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 伸縮防塵套 ( 氯丁橡膠 ) EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 SR15V 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 公稱型號 有效全長全高基座尺寸上工作台尺寸基座安裝孔尺寸 A B SX SY LX LY LX LY M LX1 LY1 W W1 W2 B1 B2 T B3 G F N 個 13

15 伸縮防塵套 ( 氯丁橡膠 ) SR25W SR30W(AX4040 以上 ) DIF1605 DIF2005(AX4040 以上 ) 4-M10 開口 EE-SX670 ( 歐姆龍 ) 原點用 1 Z-ød1 開口 ød2 孔深 d3 EE-SX671 ( 歐姆龍 )OT 用 2 近原點用 1 馬達托座尺寸 其它的外形尺寸 LX3 LY3 H1 H2 LX2 LY2 J2 注 ) 1. 伺服馬達規格不帶原點用感測器 2. 下表的 A B 表示 A: 使用步進馬達 B: 使用 AC 伺服馬達時的尺寸 單位 :mm Z 個 d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 M4 M5 h A B JW J1 A B J3 14

16 馬達規格 作為標準,AX 型可以安裝步進馬達和伺服馬達 5 相步進馬達表步進馬達規格 項目 基本規格功能輸出入信號馬達重量 0.6kg 1.1kg 環境工作台公稱型號 A05 A10 A15 AX0505 AX0510 AX0515 AX1010 AX1015 AX1515 A20 A25 A30 A40 A50 AX2020 AX2025 AX2030 AX2525 AX2530 AX3030 AX4040 AX4050 AX5050 馬達型號 103H [ 山洋電氣 ( 株 ) 製 ] 103H [ 山洋電氣 ( 株 ) 製 ] 靜止轉矩 N m N m 轉動慣量 (GD 2 /4) 180g cm 2 423g cm 2 外部連接方式 端子台 輸入電源 單相 AC100/115V+10-15% 50/60Hz 電源電流 4A 使用周圍溫度 0 ~+ 50 保存溫度 -20 ~-70 使用周圍濕度 35 ~ 85% RH( 不凝水 ) 保存濕度 10 ~ 90% RH( 不凝水 ) 耐振動 以 4.9m/s 2 頻率範圍 10 ~ 55Hz X. Y. Z 各方向 2H 進行試驗 耐衝擊 根據 NDS-C-0110 規格 項區分 C 無異常 絕緣耐壓 向電源輸入端子 - 框體間加壓 AC1500V1 分鐘無異常 絕緣電阻 在電源輸入端子 - 框體間使用 DC500V 兆歐表在以上 10MΩ 重量 0.8kg 保護功能 PM 驅動器過熱 選擇功能 電流自動下降 勵磁模式 脈衝輸入方式 運轉電流 低振動 LED 顯示 電源監視器 相原點監視器 脈衝監視器 警報監視器 指令脈衝輸入信號 光電耦合器輸入方式 輸入電阻 330Ω 輸入信號電壓 H 級 :4.0~5.5V L 級 :0~0.5V 最大輸入頻率 100kpulse/s 功率下降輸入信號 光電耦合器輸入方式 輸入電阻 330Ω 輸入信號電壓 H 級 :4.0 ~5.5V L 級 :0 ~ 0.5V 警報輸入信號 繼電器接點輸出 ( 常開 ) 接點容量 :DC24V 1A 以下, 或者 AC120V 0.5A 以下 驅動器型號 PMM-BA 輸入線路及規格 輸入信號線路 輸出線路及規格 警報輸出線路 輸入信號 光電耦合器 繼電器 輸入信號規格 約 15mA * 脈衝負載 50% 以下 約 15mA 接點形式 接點容量 常開 DC24V 1A 或者 120V 0.5A 15

17 步進馬達用驅動器 外部連接圖 CW 輸入 CCW 輸入功率下降輸入警報輸出 黑紅橙黃藍 AC100/115V 輸入 框架接地輸出 (FG) 注 1) 使用電線 PMM-BA mm 2 以上 0.2mm 2 以上 ( 屏蔽線 ) 驅動器 外形尺寸圖 顯示用 LED 選擇功能用開關 RUN STP VA ( 接線用螺絲 M3 L6) ( 安裝孔 ) 驅動裝置內請使用長度在 7mm 以下的螺絲 其它詳細的規格 尺寸等請參照山洋電氣 ( 株 ) 的 5 相步進馬達 PMM-BA

18 裝功能 伺服馬達驅動器規格組項目 工作台公稱型號 A05 A10 A15 AX0505 AX0510 AX0515 AX1010 AX1015 AX1515 表伺服馬達規格 A20 A25 A30 AX2020 AX2025 AX2030 AX2525 AX2530 AX3030 A40 A50 AX4040 AX4050 AX5050 馬達型號 SGMP-01B312 [ 安川電機 ( 株 ) 製 ] SGMP-02B312 [ 安川電機 ( 株 ) 製 ] SGMP-03B312 [ 安川電機 ( 株 ) 製 ] 額定輸出 [W] 額定扭力 [N-m] 瞬間最大扭力 [N-m] 額定轉速 [rpm] 最高轉速 [rpm] 轉子慣量 (GD 2 /4)[kg cm 2 ] 項目 馬達馬達重量 [kg] 通用合規格基驅動器型號 SGDA-01BPP SGDA-02BPP SGDA-03BPP 馬達容量 W 額定 最高轉速 3000/4500min -1 連續輸出電流 A[rms] 最大輸出電流 A[rms] 容許負載慣量 JL [kg cm 2 ] 使用周圍條件本規格性能輸指令脈衝出入信號內脈衝)輸位置(PG工作台公稱型號 輸入電源單相 AC 100 ~ 115V+10 ~-15% 50/60Hz *2 控制方式單相全波整流 IGBT-PWM 方式 ( 正弦波驅動 ) 反饋 增量編碼器 2048P/R 使用溫度 0 ~ +55 *1 保存溫度 -20 ~ +85 使用 保存濕度 90% 以下 ( 不凝水 ) 耐震動 耐衝擊 0.5/2G 結構書形 ( 安裝基礎支架 ) 概略重量 [kg] 偏壓設置 0 ~ 450r/min( 設置解析度 1r/min) 前饋補償 0 ~ 100%( 設置解析度 1%) 定位完畢幅度設置 輸入種類 0 ~ 250 指令單位指令單位 : 移動負載的位置數據的最小單位 符號 + 脈衝列 (SIGN + PULSE 信號 ) 90 相位差 2 相脈衝 (A 相 + B 相 ) CCW 脈衝 + CW 脈衝 輸入脈衝形態線路驅動器 (+5V 級 ) 輸入脈衝頻率最大 450kpps( 線路驅動器 ) 控制信號清除信號 ( 輸入脈衝形態與指令脈衝相同 ) 輸出形態 分頻比 A50 A10 A15 AX0505 AX0510 AX0515 AX1010 AX1015 AX1515 伺服馬達 A20 A25 A30 AX2020 AX2025 AX2030 AX2525 AX2530 AX3030 A 相 B 相 C 相線路驅動器輸出 No/N N = 2048 *3 No 將 16 ~ N 的值設置為用戶定數 A40 A50 AX4040 AX4050 AX5050 序列輸入信號 序列輸出信號 DB 功能 防止過度運轉 保護功能 顯示 其它 出伺服 ON 禁止正轉驅動(P-OT) 禁止逆轉驅動(N-OT) 警報復位 P 動作 電流限制正在檢測電流限制 伺服警報 定位完畢信號及警報代碼 (3 比特 ) 制動器連鎖內裝在電源關閉時 發生伺服警報時 過運轉時啟動的自動 DB P-OT N-OT 動作時 DB 停止或者減速時過電壓 過電流 過負載 過速度 防止超出控制範圍 原點異常 偏差過大 PG 異常 CPU 異常本體上有警報 電源的各 LTD 逆轉連接 JOG 運轉 電子齒輪 自動調諧 *1: 周圍溫度請在該範圍內使用 裝在箱內時, 箱內的溫度也不能超出該值 *2: 不能使用超出 115V+10% (127V) 的電源電壓 有超出的因素時, 需要進行降壓轉變 *3:N 是編碼器脈衝數 17

19 伺服馬達驅動器 外形尺寸圖 概算重量 0.9kg (MTG.PITCH) ( 安裝螺距 ) MTG.HOLES 2-ø6 孔 (OPERATOR) 17LE (D2BC) (DDK Ltd.) (MTG.PITCH) 149( 安裝螺距 ) 8 個端子 (M4 安裝螺絲 ) TERMINAL M4 SCREWS (1CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) (2CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) 概算重量 1.2kg (MTG.PITCH) ( 安裝螺距 ) MTG.HOLES 2-ø6 孔 (OPERATOR) 17LE (D2BC) (DDK Ltd.) (MTG.PITCH) 149( 安裝螺距 ) 8 個端子 (M4 安裝螺絲 ) TERMINAL M4 SCREWS (1CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) (2CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) 概算重量 1.5kg (MTG.PITCH) ( 安裝螺距 ) MTG.HOLES 2-ø6 孔 (OPERATOR) 17LE (D2BC) (DDK Ltd.) (MTG.PITCH) 149( 安裝螺距 ) 8 個端子 (M4 安裝螺絲 ) TERMINAL M4 SCREWS (1CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) (2CN) A2JL (Sumitomo 3M Limited) 其它的詳細規格 尺寸等請參照 ( 株 ) 安川電機的 AC 伺服驅動 Σ 系列 18

20 XY 平台 DX 結構與特長 中空結構引導部分使用交叉 LM 導軌 CSR 型, 在 CSR 型滑塊的外側安置驅動滾珠螺桿, 形成中央方孔的結構, 可以從上面或者下面測量 加工工作台上的工件, 可用於各種用途 無中座 XY 平台在中空上工作台和中空基座之間, 在高剛性中空框架的四邊佈置了交叉 LM 導軌 CSR 型, 因此實現了高剛性 低高度的結構 高精度定位機構 採用了在 LM 塊單體上設置了經過高精度加工的直角線性引導部分的交叉 LM 導軌 CSR 型, 因此實現了高精度的 XY 結構 各軸的引導中心與送進滾珠螺桿的驅動中心佈置在幾乎同一線上的理想結構, 因此送進時姿勢變化少, 可以進行高精度的定位 並且, 可以容易地將線性標尺安裝在滾珠螺桿的反側, 因此可以進行更高精度的閉合線路控制 也對應特殊規格, 請向 THK 詢問 規格 單位 :mm 公稱型號 有效 全 反復定位精度 定位精度 背隙 行走真直度 A 上下 左右 平行度 A 直角度 A 滾珠螺桿導程 搭載重量 [ kg ] 平台總重量 [ kg ] 感測器型號 [ 歐姆龍 ( 株 )] 19

21 外形尺寸圖 4-MJ 開口 ( 吊掛螺栓用 ) 2 C-d 開口 滾珠螺桿馬達滾珠螺桿 馬達 Z-Me 孔深 f Y 2 Y 2 X 2 X 2 感測器 感測器 注 ) 標記的尺寸只表示 DX5555 的尺寸 單位 :mm 公稱型號 有效 平台高度尺寸 中空尺寸 基座尺寸 上工作台尺寸 基座安裝孔尺寸 公稱型號 上工作台安裝孔尺寸 其它尺寸 注 ) 型號末尾的記號表示基座 工作台的材質 F: 鐵 A: 鋁注 ) 馬達請安裝指定的馬達 20

22 XY 平台 EX 結構與特長 簡單的 XY 結構因為在引導部分使用交叉 LM 導軌 CSR 型, 不像歷來的 XY 平台那樣使用中座, 是結構簡單的 XY 平台 優異的高速應答性通過使用交叉 LM 導軌 CSR 型, 取消了中間中座, 同時還採用固定 2 軸馬達的特殊結構, 最大限度地減輕了動作部分的重量, 控制 X Y 各軸的慣性力, 實現了優異的高速應答性 [ 馬達軸換算負載 GD 2 ] EX0505:X 軸 0.103kg cm 2 Y 軸 0.109kg cm 2 高剛性 XY 平台 因為在 XY 引導部分使用交叉 LM 導軌 CSR 型, 在徑向剛性與使用交叉滾柱導軌的平台相比, 剛性高 無空隙的連結機構 X 軸的驅動部採用 LM 導軌與驅動用滾珠螺桿結合起來, 在一軸上使用省空間 高剛性 高精度的 LM 導軌促動器 KR 型, 與上工作台之間的連接使用 LM 導軌 HSR 型施加恰當的預壓, 形成無空隙的結構 也對應特殊規格, 請向 THK 詢問 EX0808:X 軸 0.115kg cm 2 Y 軸 0.121kg cm 2 注 ) 不包括聯軸節及搭載負荷的 GD 2 21

23 外形尺寸圖 6-M10 開口 8-M6 深 10 單位 :mm 公稱型號 有效 (mm) 基座尺寸 全長 上工作台尺寸 上工作台安裝孔尺寸 基座安裝孔尺寸 規格 單位 :mm 公稱型號 有效 全 反復定位精度 定位精度 無效 行走真直度 A 上下 左右 平行度 A 直角度 A 滾珠螺桿導向 搭載重量 [ kg ] 感測器型號 [ 歐姆龍 ( 株 )] 公稱型號的構成 特殊規格馬達記號 A: 無馬達 ( 標準 ) B: 帶馬達 驅動器 0505:50 50mm 0808:75 75mm 公稱型號注 ) 馬達記號為 B 時, 需要選擇低慣性的馬達, 所以請詢問 22

24 精密 XY 平台 AX, DX, EX 使用注意事項 為了安全使用請務必遵守以下事項 平台的設置 請使用基座安裝孔進行設置 設置場所請不要設置在以下場所 周圍溫度超出 0 ~ 40 的範圍, 周圍濕度在 85% 以上, 產生凝水, 產生腐蝕性氣體和可燃性氣體的場所 有鐵粉等具有介質性粉體 塵埃 油霧 切削液 水分 鹽分及有機溶劑飛濺的場所 陽光 輻射熱直接照到的場所 發生強電場 強磁場的場所 會傳到振動或衝擊的場所 安全注意事項請在作業前仔細閱讀 JIS 規格 產業用操作機器人 - 安全性 (JIS B8433) 及厚生勞動省的 勞動安全衛生規則, 並遵守 LM GUIDE 是 THK 株式會社的註冊商標 會有本產品目錄記載的圖 照片與實際產品不同的情況 會因改良而不經預告變更外觀 規格等, 所以採用時請事先詢問 我們以嚴謹的態度製作產品目錄, 對於因錯字 漏字等產生的損害概不負責, 請了解 關於本公司產品 技術的出口及以出口為目的的銷售, 以遵守外國匯兌和外國貿易法以及其它法令為基本方針 並且, 關於單件出口本公司產品, 請事先洽商 禁止擅自轉載

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