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3 M99TC XY MX1 2μm MC 2μm PCBCCD SMD (1000mm) 3μm

4 2 M99TC XY 2μm 0.5μm 1.5μm XY 200 mm x 200 mm 300 mm x 300 mm 4μm 1μm 4μm MC 1500mm MX1

5 M99TC MS2.5mHIWIN KK ZMS AOI MCAOI MSZCCD 1μm 1.5% 1300mm 1450mm, MC 2m AOI 534mm 534mm^2 MS27MS13, PC, IPC 40mm200ms1.5m

6 4 M99TC (1.3 K u ) (rms)(rpm)(m/s) = / a = v / t () X XZ Nm = kgm 2 /s 2 K m (1.3 K m ) () () X XY %(duty cycle) K f (1.3 K f ) F = I x K f (1.3 F c ) 100%(duty cycle) (1.3 I c ) 80

7 M99TC F a R T max (1.3 T) I p (1.3 I p ) HIWIN MSI p MC I p F p ()()

8 6 M99TC F a I c F c F p I p I p K f K v F = I x K f U g = K v x v K m R P v ( ) I p P v I c P v K m : P v = F / K m 2 P vp I p P c I c T () ()

9 M99TC MX1E-C MX1-S MX1-SC MX1E-T X-Y

10 8 M99TC MX1E-C MC X-Y 4,000 mm 14 MX1-S MS X-Y 4,000 mm 19 MX1-SC MSC 4,000 mm 26 MX1E-T 28

11 M99TC X-Y MX 34 40

12 10 M99TC HIWIN

13 M99TC (+) (86) RS232 10V () CEU

14 12 M99TC (1) (2) (3) [mm/300mm] 1MS500VAC MCMT500VAC 2period 40m(500mm) 3HIWIN [mm/300mm] [mm/300mm] MX1E-C MC ±0.001 ±0.005 ±0.005 ± MX1-S MS ±0.001 ±0.005 ±0.005 ± MX1-SC MSC ±0.001 ±0.005 ±0.005 ± MX1E-T MT ±0.001 ±0.005 ±0.005 ±

15 M99TC MX1 S G E - C - Sxx Cxx Txx- SCx- A 40 μm1vpp B 20 μm1vpp D-1mm1Vpp E-TT1μm G TT1μm () PNP 2 - NPN () 0 - () A - B () 1-15x x30 C X-Y MX2 S23 S G E - C - Sxx Cxx Txx- SCx- Sxx Cxx Txx- SCx- A - 40 μm1vpp B - 20 μm1vpp D-1mm1Vpp E-TT1μm G TT1μm () PNP 2 - NPN() 0 - () A - B () C MG2 A S13 S G A - C - Sxx Cxx Txx- SCx- Sxx Cxx Txx- SCx- A - 40 μm1vpp B - 20 μm1vpp D-1mm1Vpp E-TT1μm G TT1μm () PNP 2 - NPN() 0 - () A - B () C -

16 14 M99TC MX1E-C MX1E-C X-Y MX1E-C4,000mm 100m/s 2 5m/s 4,000 mm : (129) D 1 (70) C 1 30 (81) F max. (143) E 1 1 CDEF MX1E-C xxxx=(1) Fc(2) [N] Fp(2) [N] A B(3) MX1E-CB5-1-xxxx-G200 MC B MX1E-CB6-1-xxxx-G200 MC B MX1E-CB7-1-xxxx-G200 MC B MX1E-CB8-1-xxxx-G200 MC B MX1E-CB5-1-xxxx-G2A0 MC B (105) MX1E-CB6-1-xxxx-G2A0 MC B (105) MX1E-CB7-1-xxxx-G2A0 MC B (105) MX1E-CB8-1-xxxx-G2A0 MC B (105) 1HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] mm,B( ) B A

17 M99TC MX1E() MX1E-CB5-1-xxxx-G200 +Direction Effective Stroke (22) 1 N (1) mm300mm M6x1.0Px12DP Nx150(1) x2 - Ø6H7 THRU (74) 2x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP (89) 178 MX1E-CB6-1-xxxx-G200 +Direction 1 N (1) Effective Stroke 35 2x70= M6x1.0Px12DP 2x2 - Ø6H7 THRU x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 80 (74) 36.5 (22) 105 (89) mm300mm Nx150(1) -30

18 16 M99TC MX1E-CB7-1-xxxx-G200 +Direction 1 N (1) Effective Stroke 15 3x70= M6x1.0Px12DP 2x2 - Ø6H7 THRU x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 80 (74) 36.5 (22) 105 (89) mm300mm Nx150(1) -30 MX1E-CB8-1-xxxx-G200 +Direction 1 N (1) Effective stroke 35 3x70= M6x1.0Px10DP x2 - Ø6H7 THRU 80 (74) 2x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 36.5 (22) 105 (89) mm300mm Nx150(1) -30

19 M99TC MX1E-C () MX1E-CB5-1-xxxx-G2A0 +Direction Effective Stroke H (22) 1 N H (1) M6x1.0Px12DP x2 - Ø6H7 THRU (88) 2x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP (89) mm300mm Nx150(1) -30 MX1E-CB6-1-xxxx-G2A0 +Direction 1 N H (1) mm300mm Effective Stroke 35 2x70= M6x1.0Px12DP x2 - Ø6H7 THRU H (88) 2x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 36.5 (22) 105 (89) Nx150(1) -30

20 18 M99TC MX1E-CB7-1-xxxx-G2A0 +Direction 1 N H (1) Effective Stroke 15 3x70= M6x1.0Px12DP x2 - Ø6H7 THRU H (88) 2x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 36.5 (22) 105 (89) mm300mm Nx150(1) -30 MX1E-CB8-1-xxxx-G2A0 +Direction 1 N H (1) mm300mm Effective Stroke 35 3x70= M6x1.0Px10DP Nx150(1) -30 2x2 - Ø6H7 THRU x(N+1) - Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP H (88) 36.5 (22) 105 (89) 178

21 M99TC MX1-S MX1-S X-Y MX1-S 4,000mm 50m/s 2 4m/s 4,000 mm : (117)D1 (70)C1 30 (85)F max. (143)E1 1 CDEF MX1-S xxxx= (1) Fc(2) [N] Fp(2) [N] A B(3) MX1-S23-1-xxxx-G200 MS MX1-S27-1-xxxx-G200 MS MX1-S37-1-xxxx-G200 MS MX1-S37-1-xxxx-G200 MS MX1-S47-1-xxxx-G200 MS MX1-S47-1-xxxx-G200 MS MX1-S57-1-xxxx-G200 MS MX1-S57-1-xxxx-G200 MS MX1-S67-1-xxxx-G200 MS MX1-S67-1-xxxx-G200 MS MX1-S23-1-xxxx-G2A0 MS (111) MX1-S27-1-xxxx-G2A0 MS (111) MX1-S37-1-xxxx-G2A0 MS (116) MX1-S37-1-xxxx-G2A0 MS (116) MX1-S47-1-xxxx-G2A0 MS (116) MX1-S47-1-xxxx-G2A0 MS (116) MX1-S57-1-xxxx-G2A0 MS (121) MX1-S57-1-xxxx-G2A0 MS (121) MX1-S67-1-xxxx-G2A0 MS (121) MX1-S67-1-xxxx-G2A0 MS (121) 1HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] mm,B( ) B A

22 20 M99TC MX1 () MX1-S23-1-xxxx-G200 1 N (1) x2-Ø6H7 THRU + Direction x70= Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 6-M6x1Px12DP 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP (80) 42.5 (22) 93 (89) mm300mm Nx150(1) MX1-S27-1-xxxx-G200 1 N (1) x2-Ø6H7 THRU + Direction x70= Effective Stroke 8-M6x1Px12DP 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP (80) 42.5 (22) 93 (89) mm300mm Nx150(1) 15-30

23 M99TC MX1-S37-1-xxxx-G200MX1-S37-1-xxxx-G200 1 N (1) x2-Ø6H7 THRU + Direction 280 3x70= Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP (80) 43.5 (22) 115 (89) mm300mm 75 1 Nx150(1) MX1-S47-1-xxxx-G200MX1-S47-1-xxxx-G200 1 N (1) Direction x70= x2-Ø6H7 THRU Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP (80) 43.5 (22) (89) 1100mm300mm 75 1 Nx150(1)

24 22 M99TC MX1-S57-1-xxxx-G200MX1-S57-1-xxxx-G200 1 N (1) Direction x70=210 2x2-Ø6H7 THRU Effective Stroke 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP (85) 43.5 (22) (89) 1100mm300mm 75 1 Nx150(1) MX1-S67-1-xxxx-G200MX1-S67-1-xxxx-G200 1 N (1) mm300mm Direction x70=210 2x2-Ø6H7 THRU Effective Stroke 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP (85) 43.5 (22) (89) 75 1 Nx150(1)

25 M99TC MX1-S() MX1-S23-1-xxxx-G2A0 1 N H (1) x2-Ø6H7 THRU + Direction x70= Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 6-M6x1Px12DP 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP H (80) 42.5 (22) 93 (89) mm300mm Nx150(1) MX1-S27-1-xxxx-G2A0 1 N H (1) mm300mm Direction 280 Effective Stroke x70=210 H x2-Ø6H7 THRU 8-M6x1Px12DP 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP Nx150(1) (80) (89) 178 (22)

26 24 M99TC MX1-S37-1-xxxx-G2A0MX1-S37-1-xxxx-G2A0 1 N H (1) x2-Ø6H7 THRU + Direction 280 3x70= Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP H (80) 43.5 (22) (89) 1100mm300mm 75 1 Nx150(1) MX1-S47-1-xxxx-G2A0MX1-S47-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 N H (1) mm300mm x2-Ø6H7 THRU 280 3x70= Effective Stroke 4-Ø9H7x2.1DP,M6x1Px12DP 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP H (80) 43.5 (22) (89) 75 1 Nx150(1)

27 M99TC MX1-S57-1-xxxx-G2A0MX1-S57-1-xxxx-G2A0 1 N H (1) Direction x70=210 2x2-Ø6H7 THRU Effective Stroke 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP H (85) 43.5 (22) (89) 1100mm300mm Nx150(1) MX1-S67-1-xxxx-G2A0MX1-S67-1-xxxx-G2A0 1 N H (1) mm300mm Direction x70=210 2x2-Ø6H7 THRU Effective Stroke 8-M8x1.25Px16DP 2x(N+1)-Ø9 THRU,Ø14x10DP H (85) 43.5 (22) (89) 75 1 Nx150(1)

28 26 M99TC MX1-SC MX1-SC 4000 mm 50 m/s 2 4 m/s : * CD MX1-SC () xxxx= F c [N]] F p [N] v max [m/s] a max [m/s 2 ] A MX1-SC7-1-xxxx-G2A0 MSC * MX1-SC7-1-xxxx-G2A0 MSC Fc = 100% F P = (1) 56 * B

29 M99TC MX1-SC MSC7 MSC7 Stroke MX1-SC7MX1-SC N

30 28 M99TC MX1E-T MX1E-T X-Y 50m/s 2 5m/s 1,470 mm : (87.4)C1 (70)C1 30 (85.4)F max. (105)E1 1 CDEF MX1E-T xxxx= (1) 1HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] 71 Fc(2) [N] Fp(2) [N] A MX1E-TA2-1-xxxx-G2A0 MTA MX1E-TA3-1-xxxx-G2A0 MTA MX1E-TA4-1-xxxx-G2A0 MTA MX1E-TB2-1-xxxx-G2A0 MTB MX1E-TB3-1-xxxx-G2A0 MTB MX1E-TB4-1-xxxx-G2A0 MTB MX1E-TC2-1-xxxx-G2A0 MTC MX1E-TC3-1-xxxx-G2A0 MTC MX1E-TC4-1-xxxx-G2A0 MTC B B A

31 M99TC MX1E-TA2-1-xxxx-G2A0 1 2 N Direction Effective Stroke 4-M5x0.8Px10DP 2x(N+1)-M5x0.8Px10DP 78 (77.4) (69) 102 (21.5) 10 1 Nx MX1E-TA3-1-xxxx-G2A0 1 2 N Direction 130 Effective Stroke 15 2x50=100 6-M5x0.8Px10DP 2x(N+1)-M5x0.8Px10DP 78 (77.4) 11 (21.5) 80 (69) Nx

32 30 M99TC MX1E-TA4-1-xxxx-G2A0 1 2 N Direction x50=150 Effective Stroke 2x4-M5x00.8Px10DP 2x(N+1)-M5x0.8Px10DP 78 (77.4) 11 (21.5) 80 (69) Nx MX1E-TB2-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N Effective Stroke 4-M5x0.8Px10DP 2x(N+1)-M6x1Px12DP 88 (87.4) 15 (21.5) 106 (70) Nx

33 M99TC MX1E-TB3-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N x60=120 Effective Stroke 6-M5x0.8Px10DP (21.5) x(N+1)-M6x1Px12DP (87.4) 106 (70) Nx MX1E-TB4-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N x60=180 Effective Stroke 8-M5x0.8Px10DP (21.5) x(N+1)-M6x1Px12DP (87.4) 106 (70) Nx

34 32 M99TC MX1E-TC2-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N x70=140 Effective Stroke 6-M6x1.0Px12DP 2x(N+1)-M8x1.25Px16DP 109 (108.4) (66) 168 (23) 1 Nx MX1E-TC3-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N x70=140 Effective Stroke 6-M6x1.0Px12DP 109 (108.4) 2x(N+1)-M8x1.25Px16DP (66) 168 (23) 1 Nx

35 M99TC MX1E-TC4-1-xxxx-G2A0 + Direction 1 2 N x70=210 Effective Stroke 8-M6x1.0Px12DP 2x(N+1)-M8x1.25Px16DP 109 (108.4) (66) 168 (23) 1 Nx

36 34 M99TC XY MX1XY MX1XY MX1E-CXY MX1-SXY MX2E-CB5CB8 XY MX2E-CB5CB8 XY xxxx (1) yyyy (1) F C (2) [N] F P (2) [N] [arc-sec] (3) MX2E-CB5CB8-xxx-yyy-G20 XMCB YMCB X HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] 58 3period 40m(500mm)

37 M99TC MX2E-CB5CB8-xxx-yyy-G20XY Y-Axis +Direction Y : mm X-Axis +Direction X 4-M6x1.0Px10DP X X/2 1/2 Effective 1/2 Stroke 1/2 Effective Stroke (148) Y/2 1/2 Effective 1/2 Stroke /2 Effective Stroke X Y Max Max Nx150(1) 15 Y-30 (45.4) Y 2x2-Ø6H7 THRU 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP MX2E-CB5CB8-xxx-yyy-G20XY 1 2 N X Y XY X Y X Y (1) x100mm300mm

38 36 M99TC MX2E-CB5CB8-xxx-yyy-G2AXY Y-Axis +Direction : mm Y X-Axis +Direction X 4-M6x1.0Px10DP X X/2 1/2 Effective Stroke 1/2 Effective 1/2 Stroke (148) 2 Y/2 1/2 Effective 1/2 Stroke /2 Effective Stroke X Y Max Max Nx150(1) 15 Y-30 (45.4) Y 2x2-Ø6H7 THRU 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP MX2E-CB5CB8-xxx-yyy-G2AXY 1 2 N X Y XY X Y X Y (1) x100mm300mm

39 M99TC MX2-S23S27 XY MX2-S23S27 XY xxxx (1) yyyy (1) F C (2) [N] F P (2) [N] [arc-sec] (3) MX2-S23S27-xxx-yyy-G20 XMS YMS X HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] 52 3period 40m(500mm)

40 38 M99TC MX2-S23S27-xxx-yyy-G20XY Y-Axis +Direction Y : mm X-Axis +Direction (148) 6-M6x1.0Px12DP X X/2 1/2 Effective 1/2 Stroke 1/2 Effective 1/2 Stroke X Y/2 1/2 Effective 1/2 Stroke 1/2 Effective 1/2 Stroke X Y Max. 15 Max (30.4) 75 2x2-Ø6H7 THRU 75 1 Nx150(1) 15 Y-30 Y 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP MX2-S23S27-xxx-yyy-G20XY 1 2 N X Y XY X Y X Y (1) x100mm300mm

41 M99TC MX2-S23S27-xxx-yyy-G2AXY Y-Axis +Direction Y : mm X-Axis +Direction 6-M6x1.0Px12DP X X/2 1/2 Effective 1/2 Stroke 1/2 Effective 1/2 Stroke 93 (148) X 2 Y/ /2 Effective 1/2 Stroke 1/2 Effective 1/2 Stroke 11 X Y Max. 15 Max (30.4) 75 2x2-Ø6H7 THRU 75 1 Nx150(1) 15 Y-30 Y MX2-S23S27-xxx-yyy-G2AXY 2x(N+1)-Ø6.5 THRU,Ø11x8.5DP 1 2 N X Y XY X Y X Y (1) x100mm300mm

42 40 M99TC MG2A MG2A-CMG2A-S MG2A-CB6CC8 MG2A-CB6CC8-xxx-yyy-G2 xxxx (1) yyyy (1) F C (2) [N] F P (2) [N] (3) [arc-sec] MG2A-CB6CC8-xxx-yyy-G2 X():CB Y():CC (4) 5 1HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] 58 3period 40m 4

43 M99TC MG2A-CB6CC8-xxx-yyy-G2 X-Axis + Direction : mm 1/2 Effective 1/2 stroke Y-Axis + Direction 15 max /2 Effective 1/2 stroke max /2 1/2 Effective stroke x70= /2 1/2 Effective stroke 6-M6x1Px12DP Ø6H7x10DP W3 2xW W1 150 W (W2) (77) Nx200 (1) 2x(N+1)-Ø11 THRU, Ø18x12DP 3x(N+1)-M6x1Px12DP MG2A-CB6CC8-xxx-yyy-G2 X () (1) W W1 W2 W3 X (1) 1 N Y () X XY

44 42 M99TC MG2A-S13S27 MG2A-S13S27-xxx-yyy-G2 xxxx (1) yyyy (1) F C (2) [N] F P (2) [N] (3) [arc-sec] MG2A-S13S27-xxx-yyy-G2 X():S Y():S (4) 5 1HIWINMIKRO 2F C =100% F P =[1] 52 3period 40m 4

45 M99TC MG2A-S13S27-xxx-yyy-G2 X-Axis + Direction : mm 1/2 Effective 1/2 stroke 280 Y-Axis + Direction 15 max /2 Effective 1/2 stroke max /21/2 Effective stroke 200 1/2 1/2 Effective stroke 30 2x70=140 6-M6x1Px12DP Ø6H7x10DP W3 2xW W1 150 W (W2) (77) Nx200 (1) 2x(N+1)-Ø11 THRU, Ø18x12DP 3x(N+1)-M6x1Px12DP MG2A-S13S27-xxx-yyy-G2 X () (1) W W1 W2 W3 X (1) 1 N Y () X XY

46 44 M99TC

47 M99TC MSP MDX 49

48 46 M99TC X-Y 3.1 MSP MSP X-Y 1000x1000 mm MDX (49) bar 24V I/O PCI4P PC (846.1) 1 RS-232 MACR20A 2 MACP20B: NEMA 5-15P, V MACP20F: CEE(7)VII, V MACP20G: 3 (MACD20D) 4 ()(MACK20H) 5 ()(MACK20M) 6 (PCI4P-TB) 7 (MACE20C)

49 M99TC MSP ( X f 3.1 X s3.2 ) Stator MSP Air connection Ø 1/4 (Ø 6 mm) Cable chain MSPX1 Forcer Forcer MSPX2 MSPx2 D-Sub 15 pin D-Sub 25 pin Y X 3.1 MSP MSPX1 MSPX2 T m N R s mm () R p mm (300mm) A c mm ±0.015 ±0.015 () V m/s kg f mm W f mm H f mm P a kg/cm F a l/min M f kg A f x B f mm x mm 146 x x 140

50 48 M99TC MSPP1 ~ P6 P1 P2 P3 P4 P5 P6 s x W s mm 350 x x x x x x 850 () MSPX1 mm 190 x x x x x x 660 MSPX2 mm 270 x x x x x 525 H s mm kg A s x B s mm 165 x x x x 576 ( ) x x MSP F-V DC bus= 300Vdc MSPX2 Velocity (m/s) (N) 80 (m/s)60 MSPX Force (N) MSPX 11 P1 1 P1 2 P2 P3 P4 P5 P6

51 M99TC MDX MDXMSP I/O MDX 3.3 MDX V AC (MDX1) (MDX2) Hz VA 50/ () A 3 () : RS Baud8 data bits2 stop bits I/O DXIO : 8 : HOME RESET 6 : IN-POSITIONAARMSVON DXIO16(): 1616 Pulse STEP/DIR μm/pulse 1 kg 13.3 C 50 C 0~80 % 0~95

52 50 M99TC

53 M99TC MS MSC MC MCA, MCB, MCC MCD, MCE MCF MF MT 70

54 52 M99TC MS HIWIN MS () () MS67 MS57 MS47 MS MS MS MS MS23 MS MS MS13 MS23 MS17 MS27 MS27 MS37 MS37 MS47 MS47 MS57 MS57 MS67 MS67 F c N I c A (rms) (1s) F p N (1s) I p A (rms) K f N/A (rms) F a N T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W PTC SNM120 In Series DC bus V 500 M f kg M s kg/m W s mm / N s mm 128mm/N=1, 192mm/N=2, 320mm/N=4 A s mm H mm %

55 M99TC MS F-V ( DC bus voltage = 300 VDC) MS MS13 Velocity (m/s) 150 (m/s) Velocity (m/s) (m/s) (N)MS67 MS MS (N) MS MS Force (N) Force (N) Force (N) MS67 MS57 MS47 MS37 MS27 MS Velocity (m/s) (m/s) MS13 12-M6 x 1P x 7DP (500) x 25 = M6 x 1P x 7DP (500) M3 x 0.5P x 6DP MS x 25 = M3 x 0.5P x 6DP MS17 22-M6x1Px8DP (500) x 25 = M3x0.5Px6DP

56 54 M99TC MS27 22-M6 x 1P x 8DP (500) x 25 = M3 x 0.5P x 6DP MS37() 22-M6 x 1P x 8DP (500) x 25 = M3 x 0.5P x 6DP MS47() 33-M6 x 1P x 8DP (500) x 33= x 25 = M6 x 1P x 8DP (500) x 43= M3 x 0.5P x 6DP MS57() x 25 = M3 x 0.5P x 6DP

57 M99TC MS67() 44-M6 x 1P x 8DP (500) x 36 = x 25 = M3 x 0.5P x 6DP MS ( s A s W sh4.1) Ø6.5THRU, Ø11 x 4DP x N 8 As (13.75) N s S Ws (13.75) 12.5 MS /500 H MS MS 1 S 3 1MS13MS17 2MS23MS27 3MS37()MT37() 4MS47() 5MS57() 6MS67() S C 0: 128 mm (N=1) 1: 192 mm (N=2) 3: 320 mm (N=4)

58 56 M99TC MSC HIWIN MSCMS 2 MSC MSC7(WC) MSC (N) 4.2 MSC MSC7 MSC7(WC) 2) MSC7 MSC7 (WC) 2) F c N I c A(rms) (1s) F p N (1s) I p A(rms) K f N/A (rms) F a N 0 1) 0 1) 0 1) 0 1) T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W PTC SNM120 In Series DC bus V 500 M f kg M s kg/m W s mm / N s mm 128mm/N=1, 192mm/N=2, 320mm/N=4 A s mm H mm ) 0 2) WC WC 10%

59 M99TC MSC F-V (DC bus voltage = 300 VDC) MSC7 (N) Velocity (m/s)force (N) MSC7(WC) Force (N) (N) 2500 MSC7(WC) MSC Velocity (m/s) MSC7() MSC7() H=

60 58 M99TC MC MCA, MCB, MCC HIWIN MC U 3 MCC8 MCC7 MCBA MCB8 MCB7 MCB6 MCB5 MCB4 MCB3 MCB2 MCA6 MCA5 MCA4 MCA3 MCA2 MCA,MCB,MCC (N) 4.3 MCA, MCB, MCC MCA2 MCA3 MCA4 MCA5 MCA6 MCB2 MCB3 MCB4 MCB5 MCB6 MCB7 MCB8 MCBA MCC7 MCC8 F c N I c A (rms) (1s) F p N (1s) I p A (rms) K f N/A (rms) T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W PTC SNM100 DC bus V 500 M f kg M s kg/m / n f mm 66/2 98/3 130/4 162/5 194/6 66/2 98/3 130/4 162/5 194/6 226/7 258/8 322/10 226/7 258/8 h mm H s mm W s mm / N s mm 128mm/N=2, 192mm/N=3, 320mm/N=5 H mm %

61 M99TC MCA,MCB,MCCF-V (DC bus voltage = 300 VDC) (N) Force (N) (m/s)mca6 MCA5 MCA4 MCA3 MCA Velocity (m/s) MCBA 160 MCB (N) MCB7 MCB6 MCB5 MCB4 MCB3 MCB Velocity (m/s) Force (N) Force (N) MCA,MCB,MCC ( f hn4.3) 16 ( n -1)x32 2xn-M3x0.5Px4.5DP s 32 (N -1) x Ws 2-Ø4 THRU H 7 Hs f +14 (500) 22 (n -1)x32 n-m4x0.7px5dp h (N) MCC8 MCC Velocity (m/s) M3x0.5Px4DP f MCA,MCB,MCC (s,hs,sn4.3) MCA,MCB,MCC (H4.3) 1 *MCASX / MCBSX N-Ø5.5THRU,Ø9.5x8DP *MCCSX N-Ø6.5THRU,Ø11x10DP a±0.05 *MCA,MCBa=1 *MCCa=3 MCA, MCBMCC MC A S 3 A: 60 mm S 0: 128 mm (N=2) B: 80 mm 1: 192 mm (N=3) C: 103 mm 3: 320 mm (N=5)

62 60 M99TC MCD, MCE HIWIN MC U MCD,MCE 3, MCEC MCEA MCE8 MCE6 MCE MCDA MCD MCD6 MCD MCD, MCE MCD4 MCD6 MCD8 MCDA MCE4 MCE6 MCE8 MCEA MCEC F c N I c A (rms) (1s) F p N (1s) I p A (rms) K f N/A (rms) T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W PTC SNM100 DC bus V 500 M f kg M s kg/m / n f mm 260/7 380/10 500/13 620/16 260/7 380/10 500/13 620/16 740/19 h mm H s mm W s mm / N s mm 120mm/N=2, 180mm/N=3, 300mm/N=5 H mm %

63 M99TC MCD,MCEF-V ( DC bus voltage = 300 VDC) MCDA 250 MCD8 Velocity 200 MCD6 (m/s)(n) 150 MCD Force (N) Force (N) MCD, MCE ( f hn4.4) (n -2)x40 2x(n-1)-M5x0.8Px6DP 10 (n -1)x40 n-m4x0.7px8dp f (500) M3x0.5Px4DP H h (N -1)x60 s N-Ø 6.5 THRU,Ø11x8DP Hs (N) MCEC MCEA MCE8 MCE Velocity (m/s) MCE4 MCD, MCE ( sh sn4.4) MCD,MCE (H4.4) Stator 1.2 Forcer 1±0.05 MCDMCE MC D S 1 D: 86.8 mm E: mm S 1: 120 mm (N=2) B: 180 mm (N=3) 2: 300 mm (N=5)

64 62 M99TC MCF HIWIN MC U 3, MCF MCFC 684 MCFA MCF MCF6 MCF MCF MCF4 MCF6 MCF8 MCFA MCFC F c N I c A (rms) (1s) F p N (1s) I p A (rms) K f N/A (rms) T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W PTC SNM100 DC bus V 500 M f kg M s kg/m / n f mm 260/7 380/10 500/13 620/16 740/19 h mm H s mm W s mm / N s mm 120mm/N=2, 180mm/N=3, 300mm/N=5 H mm %

65 T U V W T + T - MCFF-V ( DC bus voltage = 300 VDC) M99TC Velocity (m/s) (m/s)(n) Force (N) MCF ( f hn4.5) (n-2)x M3x0.5Px4DP h 4 2x(n -1)-M5x0.8Px6DP 10 (n-1)x40 n-m5x0.8px9dp f (500) 4.5 MCF ( sh sn4.5) 30 (N-1)x60 s 41.1 MCF (H4.5) H Hs 7 N-Ø6.5THRU,Ø11x8DP Stator 1.2 Forcer MCF MC F S 1 F131.3mm S 1: 120 mm (N=2) B: 180 mm (N=3) 2: 300 mm (N=5)

66 64 M99TC MF MF()() () 3 U 4.6 MF MF01 MF01 MF02 MF02 MF03 MF03 MF11 MF11 MF12 MF12 MF13 MF13 MF14 MF14 F c N I c A(rms) (WC) F c N (WC) I c A(rms) (1s) F p N (1s) I p A(rms) K f N/A (rms) F a N T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W (WC) R th C/W x KTY x (3 PTC SNM120 ) DC bus V 600 M f kg M s kg/m W s mm / N s mm 120mm/N=2, 180mm/N=3, 300mm/N=5 W s1 mm H mm WC = 10%

67 M99TC MF MF MF MF MF MF MF33 MF MF MF MF MF MF21 MF MF MF12 MF11 MF03 MF02 MF Peak force (WC) Continuous force (WC) Continuous force MF MF21 MF21 MF22 MF22 MF23 MF23 MF24 MF24 MF31 MF31 MF32 MF32 F c N I c A(rms) (WC) F c N (WC) I c A(rms) (1s) F p N (1s) I p A(rms) K f N/A (rms) F a N T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W (WC) R th C/W x KTY x (3 PTC SNM120 ) DC bus V 600 M f kg M s kg/m W s mm / N s mm 120mm/N=2, 180mm/N=3, 300mm/N=5 184mm/N=2, 276mm/N=3, 460mm/N=5 W s1 mm H mm WC = 10%

68 66 M99TC MF MF33 MF33 MF34 MF34 MF41 MF41 MF42 MF42 MF43 MF43 MF44 MF44 F c N I c A(rms) (WC) F c N (WC) I c A(rms) (1s) F p N (1s) I p A(rms) K f N/A (rms) F a N T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W (WC) R th C/W x KTY x (3 PTC SNM120 ) DC bus V 600 M f kg M s kg/m W s mm / N s mm 184mm/N=2, 276mm/N=3, 460mm/N=5 W s1 mm H mm WC = 10%

69 M99TC MF F-V () ( DC bus voltage = 300 VDC) (m/s)force (N) MF03() MF02() MF01() Velocity (m/s) (m/s) 700 MF14 MF MF13 MF (N) MF12 MF MF11 MF11 Force (N) Velocity (m/s) Force (N) (N) MF24 MF23 MF22 MF21 MF24 MF23 MF22 MF Velocity (m/s) Force (N) (N)(N) MF34 MF33 MF32 MF31 MF34 MF33 MF32 MF31 Force (N) (N) MF44 MF43 MF42 MF41 MF44 MF43 MF42 MF Velocity (m/s) (m/s) Velocity (m/s) (m/s) MF F-V () ( DC bus voltage = 300 VDC) Force (N) MF03() MF02() (N)200 MF01() Velocity (m/s) (m/s) 3000 MF34 MF MF33 MF MF32 MF32 (N) Force (N) MF31 MF31 (N)600 (N) (N)MF12 MF12 MF14 MF MF13 MF MF11 MF Velocity (m/s) 4500 MF44 MF MF43 MF MF42 MF42 Force (N) Force (N) MF41 MF41 Force (N) MF24 MF23 MF22 MF21 MF24 MF23 MF22 MF Velocity (m/s) Velocity (m/s) Velocity (m/s) (m/s)

70 68 M99TC MF 0, 1, (500) (2xN)-M5x0.8Px10DP f Wf Wf1 Wf2 Wf3 Wf4 N Hf1 Hf2 MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF 3, (500) (2xN)-M8x1.25Px11DP Wf3 Wf4 Wf2 Wf Wf1 Wf 3 Wf 4 Wf2 Wf Wf1 2-1/8"PTx8DP Hf1 Hf2 63 (N-1)x52.5 f /8"PTx8DP (N-1)x80.5 f f Wf Wf1 Wf2 Wf3 Wf4 N MF MF MF MF MF MF MF MF

71 M99TC MF 0, 1, 2 (2xN)-Ø5.5 THRU; Ø10X3.5DP (MF2 Series) (2xN)-Ø5.5 THRU; Ø10X1.5DP (MF1 Series) (2xN)-Ø4.5 THRU; Ø8X2DP (MF0 Series) Ws Ws1 N S s2 (N-1)x60 s (s1) Hs1 Hs s (s1) N s2 Hs Hs1 Ws Ws1 MF0S MF0S MF0S MF1S MF1S MF1S MF2S MF2S MF2S MF 3, 4 (2xN)-Ø9 THRU; Ø15X6DP Ws Ws1 N S s2 (N-1)x92 s (s1) Hs Hs1 s (s1) N s2 Hs Hs1 Ws Ws1 MF3S MF3S MF3S MF4S MF4S MF4S

72 70 M99TC MF H± /500 Forcer Air Gap=0.9 Stator H MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF H MF MF MF MF MF MF MF MF MF MF 0 S 1 0: 58 mm 1: 88 mm 2: 118 mm 3: 134 mm 4: 180 mm S C 0~2 1: 120 mm 2: 180 mm 3: 300 mm 3~4 1: 184 mm 2: 276 mm 3: 460 mm

73 M99TC MT HIWIN MT 3 MT MTC4 184 MTC MTC MTB MTB MTB MTA MTA3 MTA Peak force Continuous force MT MTA2 MTA3 MTA4 MTB2 MTB3 MTB4 MTC2 MTC3 MTC4 F c N I c A (rms) (1s) F p N (1s) I p A (rms) K f N/A (rms) T max C K e ms (25) R 25 Ω () mh mm R bend mm () K v Vrms/(m/s) (25) K m N/ W R th C/W C B59100M1090A070 PTC Thermistor DC bus V 500 M f kg M s kg/m G mm %

74 72 M99TC MTF-V ( DC bus voltage = 300 VDC) 60 MTA4 50 MTA3 40 (m/s) Velocity (m/s) 30 (N) MTA Force (N) (N) (m/s)forcer (N) MTB4 MTB3 MTB Velocity (m/s) Force (N) (N) MTC4 MTC3 Velocity (m/s) MTC MT S 1 1 f G D1 G P±0.1 P±0.1 6-Mx B D±0.2 A ±0.1 B 500mm s()= S () + f () +2* 1 () 4.10 MT MTA2 MTA3 MTA4 MTB2 MTB3 MTB4 MTC2 MTC3 MTC4 f (mm) B (mm) D (mm) 20±0.2 20±0.2 20± ± ± ±0.2 35±0.2 35±0.2 35±0.2 PxA (mm) 30x30 48x30 66x30 40x x40 85x40 60x48 90x48 120x48 Mx (mm) 6- M3x6 6- M3x6 6- M3x6 6- M4x8 6- M4x8 6- M4x8 6- M5x10 6- M5x10 6- M5x10 MTA & MTB S (mm) 100~1550(50mm) () MTC S(mm) 100~2000(50mm) () MTA2/A3/A4 MTB2/B3/B4 MTC2/C3/C4 S (mm) 100~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ (mm) MT MT A S -xxxx ( S ) A: 20 mm B: 25.4 mm C: 35 mm S C

75 M99TC TMS TMX 80

76 74 M99TC HIWIN. HIWIN HIWIN TMSIP65 HIWIN 5.1 / CVD / C / /

77 M99TC TMS TMS0x (27) 6X60 =360 Ø24 Rotating hollow shaft TMS0x 6-M5x0.8Px10DP P.C.D Ø60(Rotor () fixture) 45.5 Ø80 6-M6x1Px9DP P.C.D Ø90(Stator () fixture) 6x60 =360 1 H±0.3 Motor connection Encoder connection Ø110 X View X 5.2 TMS0x 1) 10 arcsec HIWIN 10% TMS03 TMS07 T c Nm I c A (rms) 2 2 (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) 6 6 K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC Bus V 500 J kg m M m kg 4 7 F a N F r N n rpm Arc sec ± 3 Arc sec ± 45 / ± 10 1) H mm

78 76 M99TC TMS1x TMS1x 6x60 =360 Ø35 Rotating Hollow Shaft (27) 6-M6X1PX9DP P.C.D Ø60 () (Rotor fixture) Ø99 8-M6x1Px12DP P.C.D Ø142 () (Stator fixture) Motor Connection H±0.3 8x45 =360 Ø150 X Encoder Connection X View 5.3 TMS1x TMS12 TMS14 TMS16 TMS18 T c Nm I c A (rms) (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC Bus V 500 J kg m M m kg F a N F r N n rpm Arc sec ± 3 Arc sec ± 45 / ± 10 1) H mm ) 10 arcsec HIWIN 10%

79 M99TC TMS3x TMS3x X45 = (27) Ø 60 Rotating Hollow Shaft 8-M6x1Px12DP P.C.D Ø120 ± 0.05 Ø x30 = M6x1Px12DP P.C.D Ø180 ± Motor Connection 45 H±0.4 Encoder Connection Ø200 X X View 5.4 TMS3x 1) 10 arcsec HIWIN 10% TMS32 TMS34 TMS38 TMS3C T c Nm I c A (rms) (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC Bus V 500 J kg m M m kg F a N F r N n rpm Arc sec ± 2.5 * Arc sec ± 25 / ± 10 1) H mm

80 78 M99TC TMS7x TMS7x X45 = (27) Ø104 Rotating hollow shaft 8-M8x1.25Px16DP P.C.D Ø x40 =360 Ø Motor connection 9-M8x1.25Px20DP P.C.D Ø280 H±0.4 Encoder connection Ø300 X X View 5.5 TMS7x TMS74 TMS76 TMS7C T c Nm I c A (rms) (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC Bus V 500 J kg m M m kg F a N F r N n rpm Arc sec ± 2.5 * Arc sec ± 25 / ± 10 1) H mm ) 10 arcsec HIWIN 10%

81 M99TC TMS T-N (DC bus voltage = 300 VDC) TMS07 (Nm) Speed TMS Speed TMS3x Series TMS3C 50 (Nm)(rpm)(Nm)40 TMS38 (Nm) 30 TMS34 20 TMS Torque (Nm) Torque (Nm) 7 6 TMS0x Series Torque (Nm) Torque (Nm) (rpm) Speed (rpm) TMS1x Series TMS7x Series TMS7C TMS18 TMS16 TMS14 TMS12 TMS76 TMS Speed (rpm) TMS TM S 3 4 S 0: 110 mm 1: 150 mm 3: 200 mm 7: 300 mm 2: 20 mm 4: 40 mm 6: 60 mm 8: 80 mm C: 120 mm

82 80 M99TC TMX TMX4 TMX4 2-Ø x5dp P.C.D Ø M5X10DP P.C.D Ø100 Ø1.5x1DP Ø110 4-M5x10DP P.C.D Ø95 Ø A 50 2-Ø x4dp P.C.D Ø95 (27) H 50 X A X View 5.6 TMX4 TMX44 TMX48 T c Nm 4 8 I c A (rms) (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC bus V 500 J kg m M m kg F a N n rpm 300 Arc sec ± 3 Arc sec ± 50 / ± 25 1) H mm ) 25 10%

83 M99TC TMX6 TMX6 2-Ø x8dp P.C.D Ø M6X9DP P.C.D Ø160 Ø1.5x1DP Ø170 Ø A 4-M6X12DP P.C.D Ø160 (27) Ø x4dp P.C.D Ø160 H 50 X A X View 5.7 TMX6 TMX63 TMX65 TMX68 T c Nm I c A (rms) (1s) T p Nm (1s) I p A (rms) K t Nm/A (rms) K e ms (25) R 25 Ω mh p () K v Vrms/(rad/s) (25) K m Nm/ W R th C/W PTC SNM100 in series DC bus V 500 J kg m M m kg F a N n rpm 300 Arc sec ± 3 Arc sec ± 50 / ± 25 1) H mm ) 25 10%

84 82 M99TC TMX4 Series TMX6 Series TMX48 TMX Rotation Speed Rotation Speed (rpm) TMX65 (Nm) (Nm) (rpm)5 TMX TMX Torque (Nm) Torque (Nm) TMX TM X 4 4 X: 4: 110 mm 6: 170 mm 3: 30 mm 4: 40 mm 5: 50 mm 8: 80 mm

85 M99TC PCI4P mega-fabs D XT

86 84 M99TC PCI4P HIWINPCI4P 32bit PCI STEP/DIRCW/CCWA/B 3 2 S 4x32-bit(1.76MHz) WindowsD98MCC Windows XPVC++/VB jog AC MotionMaker TM PC +5V DC5%900mAPCPCI bus () +24V DC5%500mA PCI4P-TB PCI4P-TBI/O AC

87 M99TC MACK20M DC24V PCI-4P PCI4P-TB EARTH PC MACK30R CN2 Driver HIWIN Motion Maker HIWIN Motion MakerPCI-4P jogi/o

88 86 M99TC mega-fabs D1 ightening VAC DC24V Option 4 M STAGE Main Power 1 Driver CN2 CN3 CN1 CN3 CN2 CN imit signals 5 Pulse signal etc. PC Motion Controller

线性模组技术手册

线性模组技术手册 Single Axis Robot KK KS05 KS KA (KK KS KA) KK 1.1 U Taiwan Patent No. 183022 China Patent No. 481446 USA Patent No. 6584868 Germ any Patent No. 20117489.8 1. 2 KK 60 10 P E - 400 E A 2 E - FO C S 0 KK

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