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1 北方华创科技集团股份有限公司 NAURA Technology Group Co., Ltd. 网址 Web

2 目录 Contents "N " " AURA " NORTH 既体现了北方微品牌的传承性 又象征着北 极星 指引着航行者前进的方向 一种无处不在的光 宇宙中璀璨的星辉 既体现了七 星品牌的传承性 又寓意着一种方向的引领 带给产业无限可能 董事长致辞 Chairman s Address / 01 关于北方华创 About NAURA / 03 事业群介绍 BG Introduction / 05 产业空间布局 Industrial Layout / 13 企业文化 Enterprise Culture / 15

3 董事长致辞 Chairman's Address Great Time, Great Mission We are living in a great era of scientific and technical revol ution, accompanying the advent of the fourth industrial revolution. Industry 4.0 and Made in China 2025 bring great development opportunitie s for our electronic information industry. Technologies such as B ig Data, Cloud Computing, Internet of Things, Smart Power Grids, Intelli gent Transportation System, and Artificial Intelligence are changing our lives. It is the high-end semiconductor process equipment that support the development of the whole electronic information industry. In order to stimulate the development of China high-end semicon - ductor process equipment and precision component, NAURA has merged Sevenstar and NMC, two big semiconductor equipment suppliers, and it will become the largest semiconductor equipme nt industrial platform and precision electronic component platform in China. 大时代大使命 我们生活在一个技术变革的大时代, 第四次工业革命浪潮正迎面扑来 工业 4.0, 中国制造 2025 为电子信息产业带来了千载难逢的发展机遇 大数据 云计算 物联网 智能电网 智能交通 人工智能改变着我们的生活, 半导体装备及元器件等基础电子产品支撑着整个电子信息产业的发展 As the pioneer of China high-end manufacturing industry, NAURA dedicated the upstream of electronic industry, will continue to provide motility for electronic information industry developing and promote the healthy development of industry chain, with superior quality an d premium service, to support the intelligent living of human being. We will forge ahead, insist on innovation, and strive for excel lence with the heart of walker, scholar and craftsman. We were gratef ul to the great time and will accomplish our great mission! 北方华创融合了中国两大电子基础产品供应商 七星电子和北方微电子, 以发展中国高端电子工艺装备及精密元器件为己任, 将打造中国最大的半导体装备产业平台和精密电子元器件产业平台 北方华创作为中国高端制造企业的先行者, 立足于电子产业链上游, 凭借精良品质和卓越服务, 为电子信息产业提供发展的原动力, 助推产业链的健康发展, 托起人类智能生活的明天 让我们开拓进取 推陈出新 精益求精, 以一颗行者之心 学者之心 工匠之心感谢大时代, 不辱大使命! 名誉董事长王岩 董事长张劲松 01 02

4 关于北方华创 About NAURA 先进封装 MEMS/ NEMS 化合物半导体 功率半导体 成立时间 半导体照明 光伏 2001 年 Founded 2001 集成电路 PVD CVD 扩散炉 清洗机 平板显示 北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限 有色金属 刻蚀机 MFC 公司 ( 简称 : 七星电子 ) 和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 ( 简称 : 北方微电子 ) 战略重组而成, 是目前国内唯一半导体装备上市公司 北方华创秉承七星电子和北方微电子多年高科技研发实力, 实现资源整合和优势互补, 以科技创新为基点, 着眼未来, 致力于加快推进集团向新型制造业的战略转型 ; 致力于成为国际领先的高端电子工艺装备和精密电子元器件两大基础电子产品服务商 ; 致力于提升人类智能生活品质 ; 致力于实现中国 智造强国 的梦想蓝图 北方华创拥有半导体装备 真空装备 新能源锂电装备及精密电 地址 中国 北京 Location Beijing China 服务对象 磁性材料 真空电子器件 气氛保护热处理设备 真空热处理设备 真空装备 半导体装备 锂电装备 自动上料系统真空搅拌机涂布机 新能源汽车电力储能 子元器件四个事业群, 为半导体 新能源 新材料等领域提供全方位整体解决方案 公司现有四大产业制造基地, 营销服务体系覆盖欧 美 亚等全球主要国家和地区 为全球超过 7000 家高端制造企业及科研机构提供服务 Customers 连续式热处理设备 强力轧膜机 未来的北方华创, 将以高端电子工艺装备及精密电子元器件领军企业的姿态登上世界舞台, 深耕发展, 引领未来, 坚持以客户需求为导向的持续创新, 助推产业技术进步, 带给产业无限可能 Provide technical solutions for more than 7000 high-end manufacturing enterprises and scientific research institution 聚焦领域 光伏 晶体生长设备 精密电子元器件 高速分切机储能系统 移动储能 半导体 新材料 新能源等 航空航天 精密电阻 钽电容器 Fields Semiconductor New materials New energy, etc. 晶体器件 微波组件 模块电源 电力能源 航空航天 股票代码 铁路交通 医疗设备 Stock code 移动通信 仪器仪表 03 04

5 氧化/扩散炉 Oxidation/Diffusion System 北方华创掌握了炉管类设备的精密热场控制技术 先进的颗粒控制技术及微环 境低氧控制技术等关键技术 研发的扩散炉 氧化炉均实现批量销售 填补了 国内空白 可以广泛应用于集成电路 先进封装 微机电系统 功率半导体 化合物半导体 光伏等领域 其中自主开发的应用于集成电路领域的28nm机 台通过技术验证 并实现销售 成功进入主流芯片代工厂批量生产 应用于光 伏领域的低压扩散炉得到了市场的广泛认可 稳居国内市场占有率第一 半导体装备事业群 Microelectronics Equipment 等离子刻蚀设备 Etch 智能手机 平板电脑 家用电器 汽车电子 可穿戴设备等电子 凭借在等离子体产生控制 反应腔室设计 刻蚀工艺技术 软件技术 可靠性 清洗系统 Cleaning System 工程 仿真设计技术等关键技术的积累与创新 北方华创在集成电路 半导体 凭借对颗粒控制 腐蚀速率控制 药液配比 药液回收 控温精度 机械自动 照明 微机电系统 先进封装 光信息器件等领域提供工艺解决方案 形成了 化 工艺槽优化以及软件控制等关键技术的研发和创新 北方华创形成了对 对硅 介质 化合物半导体 金属等多种材料的刻蚀能力 其中应用于集成电 硅 化合物半导体 金属等多种半导体材料的清洗能力 多项技术达到国际水 终端 拉近了时空和心灵的距离 开启了数字化 智能化的生活 路领域最先进的硅刻蚀机已突破14nm技术 进入主流芯片代工厂 其余各类 平 产品应用于集成电路 先进封装 半导体照明 微机电系统 光伏及功率 方式 这得益于半导体器件的飞速发展 更离不开半导体装备的 产品也凭借其优异的工艺性能 成为了客户的首选 器件等领域 为客户提供先进 高效的湿法工艺解决方案 应用于光伏领域的 强力支撑 北方华创为全球客户提供高端半导体装备 助力芯片 制造商实现芯梦想 引领科技走进新生活 产品包括刻蚀设备 在线式清洗机获得海外订单 进入国际供应链体系 应用于集成电路领域的立 量控制器等 物理气相沉积 PVD Smartphone, tablet computer, household appliances, 北方华创在溅射源 等离子产生与控制技术 腔室设计与仿真模拟技术等多项 automotive electronics and wearable devices has shorten 关键技术领域取得重大突破 获得了优秀的薄膜沉积工艺结果 成功开发的 PVD设备 CVD设备 氧化/扩散设备 清洗设备 气体质量流 the space-time and heart distance, and launch a digital and intelligent lifestyle, which is benefited from rapid development of semiconductor device, particularly strong support of semiconductor equipment. NAURA is respon sible to provide high-end semiconductor equipment for global customers, assist chip manufacturers to realize a TiN Hardmask PVD Al pad PVD AlN PVD TSV PVD等一系列产品 实现了在集成电路 先进封装 半导体照明 微机电系统 功率器件等领域的 全面产品布局 其中应用于28nm/300mm晶圆生产的Hardmask PV D 设备 已成为国内主流芯片代工厂的Baseline设备 代表着国产集成电路工艺设备 的最高水平 成功进入国际供应链体系 oxidation/diffusion system, cleaning tool and MFC, etc. 气体质量流量控制器 MFC 北方华创在气体流量测量 控制方面 拥有恒功率传感器技术 数字传感器补 偿技术 基于VCP的阀控制技术和多气体控制技术等技术优势 研制的气体 质量流量控制器是对各种工业气体进行精密测量与控制的核心部件 产品已广 泛应用于半导体 光伏 燃料电池 真空 分析仪器 石化 航天等领域 公 司自主研发的数字式流量控制器 获得CE UL等认证 行销欧美 在国内市 场始终占据第一品牌的行业地位 chip dream, and lead technology into new life. The products include etcher, PVD systems, CVD systems, 式单片铜互连清洗机突破28nm技术 达到国际主流技术水平 化学气相沉积 CVD 北方华创的CVD系列装备 在集成电路 半导体照明 微机电系统 功率器件 化合物半导体 光伏等领域形成系列化产品 产品包括APCVD PECVD LPCVD ALD等 为客户提供全面的化学气相薄膜沉积工艺设备解决方案 其 中卧式PECVD 已成功进入海外市场 为多家国际领先光伏制造厂提供解决方 案 硅外延设备在感应加热高温控制技术 气流场 温度场模拟仿真技术等方面 取得了重大的突破 达成了优秀的外延工艺结果 获得客户批量采购 05 06

6 气氛保护热处理装备 Atmosphere Heat Treatment 北方华创利用热工核心技术优势 历经50年的技术提升及产品市场应用 在 气氛控制 气流模型设计 特别是在氢气环境下的安全性设计上处于行业领先 地位 所研制生产的气氛保护热处理装备系列产品很好地满足了氢淬 钎焊 退火 烧结等工艺要求 广泛应用于磁性材料 陶瓷材料 稀有金属等行业 获得了用户的高度认可 并被国际知名材料制造商采用 成功打入国际供应链 体系 真空装备事业群 Vacuum Technology 真空热处理装备 Vacuum Heat Treatment 连续式热处理装备 Continuous Heat Treatment 航空航天 新能源 新兴电子器件都离不开新材料 新工艺技术 北方华创拥有50年真空热处理炉研发制造经验 产品可靠性 安全性得到用 北方华创在真空热处理和气氛保护热处理的工艺技术基础上 开发出了连续式 的突破 而新材料 新工艺依赖于高端真空装备的支撑 北方华 户充分验证和认可 产品在极限真空 漏率等核心技术指标方面处于国际领先 热处理设备 产品满足了客户自动化生产的需求 经过30年的技术开发和持 创深耕真空 热工 控制三大核心技术 产品包括各式真空烧 水平 产品炉温最高可达2600 满足真空钎焊 真空烧结 真空淬火 真 续改进 产品技术先进性及可靠性获得市场认可 特别是在高温 1700 结 气氛烧结 真空退火 真空钎焊 晶体生长 真空熔炼 高 空热压等工艺要求 广泛应用于真空电子 航空航天 材料等领域 特别是在 自动化技术上 处于行业领先地位 连续式热处理系列装备网带式退火炉 网 温高压热处理等各式热处理装备 产品广泛应用于半导体 光 真空电子行业市场占有率达到90%以上 被国际知名企业所选用 带式烧结炉 动梁式烧结炉 辊道炉 推板炉广泛应用于显示器件 真空器 伏 真空电子器件 磁性材料 航空航天 智能电网等领域 提 件 新材料 新能源领域 供高效 节能 环保的工艺解决方案 Aerospace, new energy and emerging electronic devices depend on breakthroughs of new materials and new process technologies, while new materials and new processes are supported by high-end vacuum equip - ment. NAURA focuses on three major core technologies, such as vacuum, thermal process and control, and products including vacuum heat treatment equipment, atmosphere protection heat treatment equipment, continuous heat treatment equipment, crystal growth equipment and other various heat treatment equipment. 晶体生长设备 Mono Crystal Grower 北方华创利用自身对热工 气流和压力控制 真空等核心技术的掌握 自主开 发了硅单晶晶棒生长设备 近10年来 经过五代持续改进和技术提升 产品在 单台产能和自动化水平上 处于行业领先地位 研制出了晶棒拉制长度达3.6 米的大型自动单晶生长炉 北方华创单晶生长设备已在光伏行业广泛应用 为 全球最大单晶硅片制造商提供了1000余台晶体生长设备 成为全球晶体生长 设备的主流供应商 Such products are widely applied in semiconductor, PV battery, vacuum electronic device, magnetic materials, aerospace, intelligent power grid and other fields. NAURA is dedicated to providing high-efficiency, energy-saving and environment-friendly technical solutions

7 锂电装备整线解决方案 The Whole Line Solution of Lithium Battery Equipment 北方华创专注于自动上料系统 真空搅拌机 涂布机 强力轧膜机 高速分切 机等锂离子电池极片制造装备的研发与制造 同时还可提供从电芯装配 注 液 化成 检测到Pack组装等全套装备解决方案 并可为锂离子电池制造厂 提供整线建厂策划 布局设计 工艺流程等咨询服务 目前北方华创已为全国 95%以上的锂离子电池研究院所 生产企业提供了电池制造装备 并将产品 新能源锂电装备事业群 New Energy 作为从事新能源锂电装备研发和制造企业 北方华创传承五十余 年电子专用设备制造经验 经过不断创新发展 已成为一家以极 远销到日本 德国 俄罗斯等国家和地区 电池技术开发与测试服务 The Center of Lithium Battery Manufac turing Technology and Process Validation 片制造装备为主 为客户提供锂离子电池整线解决方案的专业化 北方华创锂离子电池装备工程实验室拥有一条先进 完整的电池制造与测试中 高科技公司 公司秉承工艺研发指导设备研制的理念 建有一条 试线 具备材料评价 动力电池电芯设计 生产 试验及PACK组装与测试能 先进完整的电池制造与测试中试线 可为电池制造厂商提供新型 力 配备的MES系统可实现从材料到电芯生产的各工序工艺数据采集和质量 电池的开发和测试服务 追踪 并且可进行先进的电池安全测试 该实验室可为企业 科研院所 高校 As an initiator in research & development and manufac - 等客户提供新工艺技术 新装的开发验证及数据支持 turing of new energy lithium battery equipment in China, NAURA has become a specialized high-tech enterprise engaged in providing the customers with integral solutions for lithium ion battery (orienting to pole piece 能源存储解决方案 Energy Storage Programs manufacturing equipment) through continuous innovation 北方华创可提供应用于太阳能 风能及家庭分布式储能系统的电池组产品 所 and development depending on over 50 years of experi - 生产的储能电池组系统可实时监控单体电池电压及电池包温度 具有在线均衡 ence in manufacturing special electronic equipment. 功能 可有效延长电池使用寿命 可防止电池过充 过放 过温 过流 确保 Sticking to the concept of guiding equipment research 电池的安全 可进行SOC估算 故障诊断报警并记录 产品远销欧洲 美洲 and development through technological research and 及非洲等区域 development, the company has established an advanced complete pilot line for battery manufacturing and testing which may provide new battery development and testing services for battery manufacturers

8 新型钽电容器 Precision New-tantalum Capacitor 北方华创在国内率先将新型高分子材料应用于钽电容器 与加工工艺技术进行 结合 改善了钽电容的高频性能 降低了损耗 彻底解决了钽电容器过击容易 产生爆炸的威胁 从而使得钽电容器的使用环境更为宽泛和安全 同时高能复 合钽电容器创新性地提高了产品能量密度 使得电容器存储容量得以提高5倍 以上 产品包括高分子钽电容器 高能复合钽电容器 片式钽电容器 钽电容 器等 精密电子元器件事业群 Precision Electronic Group 高可靠 高精密电子元器件是高端电子信息产业的基础 NAURA作为国内领先的精密元器件研发制造基地 为高速铁 路 智能电网 航空航天 医疗设备 卫星导航等领域的客户提 供高品质的精密电子元器件产品 NAURA的精密电子元器件产 精密电阻器 Precision Resistance 精密晶体器件 Precision Crystal Component 北方华创拥有中国种类最齐全的电阻研制能力 从精度0.01%的世界领先水平 北方华创完美地将石英晶体加工工艺与半导体领域的光刻 干湿法刻蚀以及激 的精密电阻 到3000kW的超大功率电阻 从0502小型化SMD产品 到 耐压 光刻蚀等现代技术融合 形成了独特的技术能力和优势 引领着小型精密晶体 超过180kV的超高压电阻 NAURA都为客户提供了值得信赖的解决方 案 产品 器件生产工艺的技术发展方向 产品包括MEMS石英陀螺仪 高精度石英晶 包括金属膜精密电阻器 线绕精密电阻器 合金箔精密电阻器等 体振荡器 宽带石英晶体滤波器 石英晶体谐振器等 品涵盖了精密电阻器 新型钽电容器 精密晶体器件 微波组 件 二次电源模块等 在高可靠性 高精密要求的细分市场 服 务客户千余家 市场占有率遥遥领先 High-reliability and high-precision electronic compo nents serve as the basis of high-end electronic informa tion industry. NAURA, as a domestic leading research & 微波组件 Microwave Module 北方华创拥有一支经验丰富的微波技术团队 通过长期的技术积累和创新 公 司掌握毫米波噪声分析 频谱分析技术等先进微波调测技术 可为客户提供专 development and manufacturing base for precision 业化的产品和系统问题解决方案 微波组件包括有源 无源微波器件 部件 components, provides high-quality precision electronic 以及品种繁多的微波组件和子系统 产品包括功率放大器 频率源 微波子系 components for customers in such fields as high-speed 统等 railway, intelligent power grid, aerospace, medical equipment and satellite navigation. Precision electronic tantalum capacitor, precision crystal device, microwave 二次电源模块 Secondary Electricpower Source Module module, secondary power module, etc. NAURA provides 二次电源模块产品以其低压输出 大电流输出 高功率密度 高效等特性广泛 components of NAURA include precision resistor, new services for thousands of customers, and the market share keeps ahead in segment markets with high reliability and precision requirements. 应用于为大功率数字电路板供电 北方华创在中国率先开发出作为二次电源模 块核心的电源芯片 达到国际先进水平 依托公司成熟稳定的厚薄膜混合集成 电路工艺技术 实现了产品指标性能与安全可靠的高度融合 模块电源系列产 品包括高可靠模块电源 负载点电源模块等 11 12

9 产业空间布局 Industrial Layout 半导体装备基地 Semiconductor equipment base 延庆区 昌平区 怀柔区 顺义区顺义天竺综保区 Shunyi Tianzhu Comprehensive Bonded Area 密云区 平谷区平谷马坊工业园区 Pinggu Mafang Industrial Park 北方华创形成了朝阳区电子城科技园 北京经济技术开发区 顺 门头沟区 义天竺综保区及平谷马坊工业园区四地产业空间布局 NAURA distributed at four industry centers in Chaoyang electronic science and technology park, Beijing econom - ic-technological development area, Shunyi Tianzhu comprehensive bonded area, Pinggu Mafang industrial park, respectively. 朝阳区电子城科技园 Chaoyang Electronic Science and Technology Park 精密电子元器件基地 Precision electronic components base 顺义天竺综保区 Shunyi Tianzhu Comprehensive Bonded Area 新能源锂电装备及真空装备基地 New energy equipment & Vacuum equipment base 房山区 大兴区北京经济技术开发区 Beijing Economic-Technological Development Area 通州区 平谷马坊工业园区 Pinggu Mafang Industrial Park 半导体装备基地 Semiconductor equipment base 朝阳区电子城科技园 Chaoyang Electronic Science and Technology Park 北京经济技术开发区 Beijing Economic-Technological Development Area 13 14

10 企业文化 Enterprise Culture 关于北方华创 About NAURA 企业愿景 Vision 北方华创致力于在高端电子工艺装备和精密电子元器件领域, 成为一家国内领先 国际知名, 为客户提供全面解决方案, 值得信赖并受人尊重的战略服务商! NAURA is committed to being the domestic-leading and internationally-known total solution provider and a reliable an d respectable strategic service provider in the field of high-end electronic process equipment and precision electronic compo - nents. 企业使命 Mission 提供高端电子工艺装备及精密元器件解决方案, 持续推动产业进步, 带给产业无限可能! Providing total solution in the field of high-end electronic process equipment and precision electronic components, to promote industry technological advance and bring infinite possibilities. 核心价值 Values 以客户需求为导向的持续创新 Customer-oriented continuous innovation 企业精神 Spirit 精良品质卓越服务中国制造 Superior quality, premium service, localized manufacturing NAURA Technology Group Co., Ltd. is established through strategic merger of Beijing Sevenstar Electronics Co., Ltd. ( Sevenstar for short ) and Beijing NMC Co.,Ltd.. ( NMC for short ), which is the first domestic listed company in the semiconductor equipment industry. Taking technological innovation as the basis and looking forward to the future, NAURA has realized resources integration and complemented each other s advantages, and has been dedicated to accelerating strategic transformation of the Group into new manufacturing industry; becoming international leading provider of high-end electronics process equipment and precision electronic component industries., promoting smart living quality of human beings and realizing the dream blueprint of China to be a Wisdom Fabrication Country, on the basis of high-tech research and development capability of Sevenstar and NMC. NAURA is consisted of 4 business groups: Microelectronics equipment, vacuum technology, new-energy and precision electronic group. It provides overall solutions for semiconductor, new energy, new m aterials, aerospace and other industries. The company has four major manufacturing bases, and the marketing service system covers main countries and regions of Europe, America and Asia. In the future, focusing on microelectronics equipment and precision electronic component and positioning itself on the upstream of electronic industry chain, NAURA will become high-end electronic technology equipment and precision electronic components leading company on the world stage, promotes technological progress, brings the industry infinite possibilities through further development and leading innovation. 15

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