無塵室守則

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1 F4015 無 塵 室 使 用 守 則 基 本 要 求 1. 欲 使 用 單 位 與 人 員 必 須 經 過 光 電 系 ( 邱 逸 仁 \ 朱 安 國 \ 張 美 瀅 教 授 ) 同 意 2. 欲 在 無 塵 室 進 行 實 驗 或 進 入 無 塵 室 使 用 儀 器 必 須 經 過 分 級 認 證 考 試 認 證 1. 純 進 入 無 塵 室 使 用 基 本 設 備 人 員 必 須 通 過 B 級 認 證 考 試 2. 欲 在 無 塵 室 進 行 重 要 儀 器 人 員 必 須 通 過 A 級 認 證 考 試 3. B 級 認 證 考 試 包 含 管 理 規 則 公 共 安 全 以 及 共 同 設 備 (B) 使 用 認 證 項 目 4. A 級 認 證 考 試 包 含 B 級 認 證 考 試 項 目 以 及 重 要 儀 器 (A) 操 作 認 證 項 目 5. 無 塵 室 認 證 由 管 理 者 進 行 認 證 考 試, 通 過 者 將 賦 予 資 格 6. 經 過 認 證 通 過 者, 三 位 教 授 所 屬 實 驗 室 人 員 一 個 月 內, 三 位 教 授 所 屬 實 驗 室 外 人 員 三 個 月 內, 不 得 單 獨 使 用 無 塵 室 與 設 備, 以 策 安 全 7. 認 證 通 過 者 若 超 過 六 個 月 未 使 用, 需 再 經 過 重 新 認 證, 方 得 再 次 使 用 8. 通 過 無 塵 室 認 證 並 簽 名 之 使 用 者 必 須 遵 守 下 列 規 定, 如 有 任 何 不 當 行 為 經 管 理 者 發 現 或 其 他 使 用 者 檢 舉 查 證 後, 根 據 嚴 重 性 給 與 警 告 或 記 點 處 分 (a) 如 使 用 者 發 生 不 當 行 為 程 度 輕 者 給 與 警 告, 警 告 不 聽 者 給 與 記 點 處 分 (b) 如 使 用 者 發 生 不 當 行 為 程 度 嚴 重 者 通 報 師 長 並 給 與 記 點 處 分 並 處 罰 一 星 期 不 准 使 用 無 塵 室, 二 次 記 點 處 分 者 取 消 使 用 資 格, 不 得 再 次 進 入 無 塵 室 潔 淨 度 1. 必 須 確 實 穿 著 無 塵 服 ( 必 須 包 覆 頭 髮 ) 手 套 且 穿 著 襪 子 跟 無 塵 鞋 方 可 進 入 無 塵 室 無 塵 室 內 不 可 跑 跳 或 追 逐, 以 免 發 生 危 險 並 維 持 無 塵 室 潔 淨 度 2. 進 出 無 塵 室 必 須 經 過 空 氣 淋 浴 間, 不 可 由 緊 急 出 口 進 出 3. 鉛 筆 橡 皮 擦 與 厚 紙 箱 等 影 響 無 塵 室 潔 淨 度 之 物 品 禁 止 攜 入 無 塵 室 並 應 盡 量 減 少 非 無 塵 製 品 ( 如 便 利 貼 等 紙 張 ) 之 使 用 公 共 安 全 1. 實 驗 中 發 生 停 電 跳 電 或 有 感 地 震 等 狀 況 時, 應 立 即 暫 停 一 切 作 業, 嚴 重 時 儘 速 離 開 無 塵 室, 並 通 知 相 關 人 員 緊 急 處 理 2. 實 驗 中 發 生 火 災 時, 應 立 即 停 止 一 切 作 業, 以 CO 2 滅 火 器 朝 向 火 源 根 部 滅 火, 之 後 通 知 管 理 者 與 相 關 人 員 3. 無 法 有 效 滅 火 時, 請 按 下 緊 急 逃 生 開 關 並 儘 速 離 開 無 塵 室, 並 且 通 知 相 關 人 員 緊 急 處 理 4. 實 驗 完 畢 離 開 無 塵 室 前, 須 將 機 台 恢 復 原 狀, 並 維 持 機 台 整 潔, 清 理 化 學 液 體 容 器, 並 填 寫 使 用 紀 錄 後 才 可 離 開 5. 進 出 無 塵 室 須 確 實 使 用 認 證 之 門 禁 卡, 無 塵 室 大 門 須 隨 時 靠 上, 嚴 禁 將 大 門 持 續 開 啟, 除 施 工 換 氮 氣 等 必 須 情 況 下, 若 行 為 嚴 重 者, 將 嚴 格 處 分. 1

2 6. 嚴 禁 將 食 物 飲 料 放 置 無 塵 室 空 間, 除 罐 裝 礦 泉 水 可 以 暫 時 放 在 置 物 架 上, 離 開 須 將 其 帶 走. 7. 除 緊 急 狀 況 外, 安 全 門 禁 止 出 入, 一 律 從 air shower 進 出. 9. 光 阻, 有 機 物, 酸 類 等 有 氣 味 之 物 品 一 律 從 passbox 進 出. 10. 進 入 無 塵 室 須 戴 上 護 目 鏡 或 私 人 眼 鏡. 2

3 實 驗 規 範 1. 無 塵 室 內 未 標 示 或 標 示 不 明 之 化 學 藥 品 與 樣 品 一 律 丟 棄 2. 使 用 者 若 暫 時 (1 小 時 以 內 ) 離 開 無 塵 室, 所 使 用 裝 有 化 學 液 體 之 容 器 須 註 明 藥 品 名 稱 與 調 配 人 員, 並 留 下 聯 絡 方 式. 3. 裝 有 化 學 液 體 之 容 器 不 得 擺 放 至 隔 天, 如 有 特 殊 原 因 須 先 向 無 塵 室 管 理 者 報 備, 未 報 備 者 將 視 狀 況 懲 罰 4. 化 學 藥 品 需 放 置 在 保 存 地 點 5. 調 配 化 學 藥 品 後, 須 將 瓶 罐 表 面 以 DI water 沖 洗 並 擦 乾 後 才 可 放 回 保 存 地 點 6. 有 機 溶 劑 實 驗 與 製 程 須 於 有 機 溶 劑 專 用 排 氣 櫃 進 行 7. 酸 溶 液 實 驗 與 製 程 須 於 酸 溶 劑 專 用 排 氣 櫃 進 行 8. 黃 光 實 驗 與 製 程 須 於 黃 光 專 用 排 氣 櫃 進 行. 9. Hood 使 用 中 必 須 將 抽 風 打 開. 10. 清 洗 有 機 溶 劑 或 酸 鹼 液 容 器 ( 燒 杯 量 筒 漏 斗 等 ) 參 照 上 述 第 6.7 和 8 點 11. 廢 液 倒 入 對 應 廢 液 桶 12. 使 用 過 化 學 藥 品 空 瓶 罐 須 經 清 潔 處 理, 並 擦 乾 表 面 後 才 可 回 收 13. 如 有 使 用 特 殊 化 學 材 料 或 藥 品 必 須 先 行 通 知 無 塵 室 管 理 員 呈 報 給 教 授 知 道 並 得 到 同 意 才 可 使 用 設 備 使 用 1. 各 實 驗 室 設 備 使 用 及 借 用 請 遵 照 設 備 管 理 人 之 相 關 設 備 規 定, 並 由 各 設 備 管 理 人 自 行 負 責 管 理, 未 經 管 理 人 員 同 意 不 得 擅 自 操 作 與 觸 碰 2. 擁 有 實 驗 室 認 證 資 格 者, 可 以 使 用 共 同 設 備 B 類 3. 通 過 重 要 儀 器 認 證 與 實 驗 室 認 證 者 並 經 過 儀 器 管 理 者 使 用 同 意, 方 可 使 用 儀 器 A 類. 4. 使 用 共 同 設 備 須 遵 守 注 意 事 項, 並 詳 讀 使 用 手 冊, 不 可 擅 自 操 作 不 熟 悉 的 儀 器 5. 禁 止 擅 自 搬 動 儀 器 設 備 若 遇 儀 器 設 備 故 障 等 特 殊 事 件, 而 須 搬 動 儀 器 設 備, 須 先 經 該 設 備 管 理 人 允 許 6. 博 士 班 與 研 二 學 長 有 共 同 設 備 優 先 使 用 權 如 遇 使 用 時 間 爭 議, 由 無 塵 室 管 理 人 裁 定 7. 機 台 發 生 異 狀 時 請 立 即 通 知 該 設 備 保 管 人 8. 三 位 教 授 所 屬 實 驗 室 以 外 人 員 使 用 無 塵 室 須 上 網 預 約 與 確 實 登 記 使 用 紀 錄 簿. 其 他 1. 此 守 則 以 每 學 期 為 單 位 實 行, 實 行 期 間 不 更 動 2. 實 行 期 間 如 有 任 何 問 題, 例 如 管 理 缺 失 有 無 用 條 例 或 是 方 便 性 等, 請 將 問 題 寫 下 寄 信 ( ) 給 無 塵 室 管 理 者, 由 管 理 者 與 教 授 商 談 再 進 行 修 正 附 註 1. 制 定 無 塵 室 使 用 守 則 的 目 的 在 於 讓 使 用 無 塵 室 空 間 的 人 可 以 方 便 使 用, 如 個 人 使 用 習 慣 的 良 好 維 持 機 器 的 重 複 使 用 等 等 2. 特 別 注 意 無 塵 室 內 個 人 的 安 全, 如 配 酸 的 注 意 事 項 儀 器 的 正 確 使 用 方 法 3

4 3. 凡 進 入 無 塵 室 實 驗 一 定 須 經 過 公 安 認 證 課 程, 無 通 過 者 不 得 入 內 做 實 驗 4. 隨 時 保 持 無 塵 室 在 正 壓 的 環 境 5. 無 塵 室 濾 棉 隨 時 替 換 6. 凡 實 驗 室 成 員, 須 隨 時 攜 帶 手 機, 維 持 實 驗 室 內 外 的 聯 絡, 如 發 生 問 題 可 隨 時 找 到 人 4

5 共 同 設 備 與 重 要 儀 器 使 用 注 意 事 項 Spin Coater (B) 1. 使 用 前 須 開 啟 pump, 使 用 後 須 將 其 關 上. 2. 請 務 必 小 心 使 用, 避 免 有 機 溶 液 滴 入 吸 嘴, 若 不 小 心 滴 入 a. 請 立 即 將 吸 嘴 取 下, 以 IPA 清 洗 表 面 b. 再 以 棉 花 棒 沾 取 IPA, 擦 拭 轉 軸 中 心 吸 孔 吸 嘴 表 面 刻 痕 與 O 型 環 c. 清 洗 完 畢, 以 高 壓 氮 氣 吹 乾 後 再 將 吸 嘴 裝 回 中 心 轉 軸 3. 使 用 後, 須 於 凹 槽 上 重 新 鋪 設 無 塵 紙, 方 便 給 下 位 使 用 者 使 用. 鋪 設 厚 度 以 可 即 時 吸 收 滴 落 或 甩 出 的 有 機 溶 液 為 準 若 有 機 溶 液 使 用 量 大, 可 於 無 塵 紙 之 下 多 舖 一 層 鋁 箔 紙 4. 使 用 完 畢 a. 將 鋪 設 之 無 塵 紙 取 下, 包 好, 棄 置 於 垃 圾 桶 內 若 有 機 溶 液 使 用 量 大, 有 滲 漏 的 危 險, 請 於 無 塵 紙 外 再 包 裹 幾 層 無 塵 紙 後 再 丟 棄 b. 重 複 第 2 點, 清 理 吸 嘴 c. 以 IPA 擦 拭 凹 槽 與 設 備 表 面, 去 除 不 小 心 滴 落 的 有 機 溶 液 d. 嚴 格 禁 止 使 用 ACE 擦 拭 設 備 ( 包 含 吸 嘴 與 機 體 ), 以 免 傷 及 橡 膠 製 品 與 烤 漆 Hot Plate (B) 1. 加 熱 物 品 ( 含 樣 品 與 溶 液 ) 前, 務 必 了 解 各 物 品 之 燃 點 與 揮 發 氣 體 之 毒 性, 注 意 安 全 ACE 與 IPA 若 需 加 熱, 須 採 隔 水 加 熱 法, 加 熱 溫 度 請 勿 超 過 攝 氏 50 度 2. 加 熱 物 品 ( 有 機, 酸 液 等 危 險 溶 液 ) 必 須 有 人 在 旁 觀 察, 嚴 禁 離 去. 3. 加 熱 物 滴 落 或 沾 到 加 熱 平 台, 請 於 短 時 間 內 擦 拭 乾 淨, 以 免 烤 焦 或 污 染 加 熱 平 台 4. 禁 止 以 無 塵 紙 沾 取 ACE 擦 拭 加 熱 平 台 以 求 快 速 降 溫 的 危 險 動 作 5. 若 需 嚴 格 控 制 溶 液 溫 度, 可 加 裝 溫 度 感 應 棒 6. 設 定 其 他 溫 度 前, 請 先 知 會 無 塵 室 內 所 有 使 用 人 員 7. 離 開 實 驗 室 前 請 關 閉 電 源 Ultrasonic Cleaner (B) 1. 注 意 清 洗 槽 內 液 面 高 度, 液 面 高 度 須 保 持 在 清 洗 槽 深 度 1/3 以 上 禁 止 在 清 洗 槽 內 無 液 體 時 開 啟 設 備 空 震 2. 若 長 時 間 不 使 用, 請 關 閉 電 源 Oven (B) 1. 設 定 溫 度 請 勿 超 過 攝 氏 300 度, 平 時 為 120 度 2. 除 烘 烤 清 洗 後 之 空 容 器 光 罩 與 光 阻 等 一 般 項 目, 請 於 使 用 日 誌 上 記 錄 使 用 時 間 溫 度 物 品 名 稱 與 使 用 人 員 3. 嚴 格 禁 止 烘 烤 其 揮 發 氣 體 會 對 人 體 造 成 極 大 傷 害 的 物 質 5

6 4. 為 避 免 樣 品 氧 化, 可 通 入 高 壓 氮 氣 氣 體 流 量 設 定 為 2~3 壓 力 為 2kg/cm 2 即 可, 5. 設 定 其 他 溫 度 前, 請 先 知 會 無 塵 室 內 所 有 使 用 人 員 並 留 警 告 在 明 顯 處. 6. 使 用 完 畢 或 離 開 實 驗 室 前 請 關 閉 電 源 與 節 流 閥 Microscope (B) 1. 每 次 使 用 請 先 以 最 低 倍 率 之 物 鏡 對 焦 後, 再 重 複 步 驟 依 序 調 整 至 最 高 倍 率, 以 免 損 傷 物 鏡 與 樣 品 使 用 完 畢 離 開 座 位 前, 請 將 物 鏡 旋 至 最 低 倍 率 2. 禁 止 拆 卸 相 機 作 為 私 人 用 途 ; 即 使 公 務 使 用 需 拆 卸 相 機, 仍 須 先 經 設 備 保 管 人 允 許 3. 無 人 使 用 或 離 開 實 驗 室 前, 請 將 燈 泡 亮 度 旋 至 最 暗 後 關 閉 電 源 DI-water(B) 1. 使 用 時 須 將 控 制 電 源,UV 殺 菌 器, 純 水 馬 達 等 三 開 關 一 起 打 開, 停 止 使 用 必 須 將 其 一 起 關 閉 2. DI-water 停 止 使 用 時, 必 須 將 水 龍 頭 關 緊. BOE 使 用 流 程 (A) 朱 老 師 實 驗 室 1. 戴 雙 層 手 套, 手 套 藏 予 袖 口, 以 紅 色 紙 膠 帶 纏 緊 2. 穿 套 防 護 衣, 防 護 罩, 若 要 碰 觸 氫 氟 酸 相 關 器 具, 需 穿 戴 防 酸 鹼 手 套 3. 使 用 HF 與 DI -water 容 器 前 先 用 DI -water 沖 洗 4. 裝 倒 HF 溶 液 時, 需 穿 戴 防 毒 面 罩 5. DI-water 容 器 裝 DI-water 約 二 分 之 一 滿,HF 容 器 倒 入 HF 適 量 ( 蓋 過 試 片 ) 6. 準 備 時 間 將 蓋 子 蓋 上 容 器, 抽 氣 櫃 拉 下, 避 免 氣 體 揮 發 7. 將 試 片 至 於 holder 上, 傾 斜 放 入 HF 溶 液 中, 蓋 上 蓋 子 ( 可 稍 微 搖 晃 幫 助 蝕 刻 ) 8. 蝕 刻 時 間 到 時, 拿 起 holder 放 入 DI-water 中 稀 釋 幾 分 鐘 後 拿 起 HODER 9. 以 鐵 氟 龍 夾 具 夾 起 試 片 沖 洗, 確 保 無 HF 液 體 殘 留, 吹 乾 水 滴 烤 乾 即 可 10. 將 HF 溶 液 回 收, 小 心 地 以 漏 斗 裝 倒 使 用 過 的 DI-water 與 HF 溶 液 11. 將 容 器 沖 洗 一 次, 再 次 回 收 沖 洗 過 的 溶 液 12. 回 收 完 後, 將 容 器 夾 子 漏 斗 接 觸 過 HF 的 器 具 內 外 清 洗 三 次 即 可 13. 器 具 使 用 完 後, 抽 氣 先 別 關, 保 持 一 段 時 間, 使 HF 氣 體 抽 乾 淨 14. 將 防 護 用 具 脫 下 收 好 後, 其 餘 手 套 口 罩 擦 拭 紙 丟 棄 後 將 垃 圾 袋 打 包 丟 棄 注 意 事 項 若 不 小 心 碰 觸 到 HF 液 體 時, 以 大 量 清 水 沖 洗 後 塗 抹 葡 萄 糖 酸 鈣 凝 膠 6

7 使 用 BOE 之 裝 備 圖 1. 將 無 塵 衣 與 乳 膠 手 套 之 袖 口 利 用 束 線 帶 封 緊 束 線 2. 穿 戴 圍 兜 護 手 臂 套 護 手 臂 套 圍 兜 3. 穿 戴 護 目 鏡 防 酸 鹼 手 套 猪 鼻 子 護 目 鏡 猪 鼻 子 圍 兜 防 酸 鹼 手 套 束 線 7

8 Mask aligner (A) 邱 老 師 實 驗 室 1. 使 用 前 須 跟 管 理 者 通 知, 上 網 預 約 且 確 實 登 記 使 用 紀 錄 本. 2. 須 經 過 管 理 者 認 證, 且 認 證 後 一 個 月 內 不 得 單 獨 使 用. 3. 開 機 前 必 須 將 機 房 之 空 壓 機 與 無 塵 室 內 之 抽 風 機 打 開 且 壓 差 超 過 6mm water, 才 可 開 啟 汞 燈. 4. 汞 燈 之 power supply 須 暖 機 20min 以 上 才 可 使 用, 汞 燈 關 閉 後 欲 再 使 用 必 須 等 待 冷 卻 時 間 20min 與 暖 機 20min 共 40min. 5. 如 有 問 題 須 馬 上 與 管 理 者 聯 絡. RTA(A) 邱 老 師 實 驗 室 1. 使 用 前 須 跟 管 理 者 通 知, 上 網 預 約 且 確 實 登 記 使 用 紀 錄 本. 2. 須 經 過 管 理 者 認 證, 才 能 使 用. 3. 開 機 前 必 須 將 機 房 之 RTA 主 機 與 冰 水 機 電 源 跟 通 入 氮 氣 打 開. 4. 如 有 問 題 須 馬 上 與 管 理 者 聯 絡. 8

9 逃 生 路 線 滅 火 器 9

所 3 學 分 課 程, 及 兩 門 跨 領 域 課 程 共 6 學 分 以 上 課 程 學 生 在 修 課 前, 必 須 填 寫 課 程 修 課 認 定 表, 經 班 主 任 或 指 導 教 授 簽 名 後 始 認 定 此 課 程 學 分 ) 10. 本 規 章 未 盡 事 宜, 悉 依 學 位

所 3 學 分 課 程, 及 兩 門 跨 領 域 課 程 共 6 學 分 以 上 課 程 學 生 在 修 課 前, 必 須 填 寫 課 程 修 課 認 定 表, 經 班 主 任 或 指 導 教 授 簽 名 後 始 認 定 此 課 程 學 分 ) 10. 本 規 章 未 盡 事 宜, 悉 依 學 位 95 年 訂 定 96 年 11 月 修 正 97 年 10 月 修 正 100 年 2 月 修 正 101 年 4 月 修 正 102 年 1 月 修 正 103 年 4 月 修 正 103 學 年 度 入 學 新 生 適 用, 舊 生 可 比 照 適 用 1. 研 究 生 須 於 入 學 後 第 二 學 期 開 學 前 選 定 指 導 教 授, 經 課 程 委 員 會 認 定 後 方 得 繼 續

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