製程危害評估

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5 (Literature Search/Industry Survey) (Preliminary Hazard Analysis, PHA) (Relative Ranking) (Plant Walk-through) (Checklist Analysis) (Safety Audit). (What-if Review/Brainstorming) (Failure Modes and Effects Analysis, FMEA) (Hazard and Operability Study, HazOp) (Fault Tree Analysis, FTA) (Event Tree Analysis, FTA)

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9 1. (MSDS) (PFD) (Commuity Map) 9. (Site Plot) 10. (Plant Layout)

10 a. A b. B c. C /

11 45 / /

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13 / / / 45

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15 A CO CO

16 Q20% TQ Oxidation Nitration Halogenation Organmetallics Diazotization Hydrogenation / Thermal Decomposition Polymerization Sulphonation Condensation LEL UEL 100 P 10psig1.75atm. Abs. TA.I.T. P 20/ 2 P 500Hg D P 4

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20 (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-5) 5)

21 ( ) (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-4) 4)

22 () (0-4) 4) (0-4) (0-5)

23 ( ) 5 (0 (0-5) 5) 4 3 (0 (0-4) 4) (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-5) 5) (0 (0-4) 4) AMT Producer AMT Producer SiH SiH 4 NF NF 3 CVD CVD

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27 (More) (Less) (No) (Reverse) (Part of) (As Well As) / (Other Than)

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30 (Chamber) / LOCAL SCRUBBER

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33 (VMB VMBSiH4 SiH4 )

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39 Chamber Pump Local Scrubber...

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41 Gas Cabinet VMB/P Gas Box/Panel Tool (Chamber) Foreline (Pumping Line) Local Scrubber Central Scrubber Fan

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55 P&ID

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57 Central Scrubber Fume Exhaust Purge vent Scrubber VMB SiH4 Gas Cabinet PECVD Vacuum Local Scrubb

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