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- 杉起 夏侯
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1 VC 100 2
2 T VC () 3 T VC T VC T VC ,932 45,900 11,158 22,176 5, ,925 8,085 3,045 5,000 8,400 6,405 2,835 37,641 30,100 34,849 4
3 /Mo 3 Mo 3 5 (1) Mo 3 (2) 6
4 PJ (PAI) x Mo 3 PAI = or Resistance R g R a (50 ppm) R g /R a ppb VC Time 7 VC VC M : [(MPa) -3 : [g cm ] M : 1/2 j F j 1/2 3-1 F : j [(MPa) cm mol ] j ] PAI PoAIS Acetaldehyde [(MPa) 1/2 ] 1) Small, P. A. J. Appl. Chem. 1953, 3, 71. (PAI) x Mo 3 (PoAIS) x Mo 3 C Me Me CMe C C C C = acetaldehyde molecule 8
5 (PAI) x Mo 3 2 V (PoAIS) x Mo 3 2 Me Me Me Me 9 (PAI) x Mo 3 ( 1) (PoAIS) x Mo 3 ( 2) istance Res S 1 Time Res sistance S 2 Time (PAI) x Mo 3 (PoAIS) x Mo 3 S a C b a C b (C F ): ppb 1 F1 F F1 A1 A A1 S (C A ): ppb 2 af 2CF bf 2 aa2ca ba2 a,b, a,b,, (ppb) (ppb)
6 2~3 (PAI) x Mo 3 Resistance e SEM (PoAIS) x Mo 3 Time PAI PoAIS Res sistance Time 11 Mo 3 a [a( 2 ) 2 ] x Mo 3 (PAI) x Mo 3 SEM 2~
7 (PAI) x Mo 3 () 1/2 1/2 13 W 3 W 3 14
8 (1) (2) Sn 2,W 3 Sn 2,W 3 16
9 Pt(0.2 wt%)-w 3 Pt1 ppm (350) 17 2 m Senso or respons se (Ra/Rg) m 3 m 5 m Temperature / MEMS 2 m 3 m 5 m 1/2 18
10 0, 70ppb I-V (50%R) 1 A~ 2 A 15 A R a /R g =3.92 R a /R g = CuboidW 3 DiskW 3 CuboidW 3 3 ( 4 ) 10 W aq W W nm 5003h 15010h DiskW 3 CuboidW 3 20
11 CuboidW ppm CuboidDisk 2 21 T VC Sn 2 50 nm 22
12 T VC (1) (2) T VC (3) 23 Sn 2 Sn 2 T VC Pd/Sn 2 Pt/Sn 2 Au/Sn 2 24
13 VC:1ppm Temp: Sn2:20nm Pt, Pd, Au 25 T VC T VC VC T VC T VC [ppm] [g/m 3 ] ,2, p
14 T VC 1/2 T-VC 1/2 27 T VC 28
15 (1) (2) (3) T VC 29 Mo 3 (PAI) x Mo 3 PAI R R R R 2 /Mo 3 (P25DMA) x Mo 3 (PIT) x Mo 3 P25DMA = poly(2,5-dimethylaniline) PIT = 30
16 /Mo 3 (PAI) x Mo (P25DMA) x Mo 3 (PAI) x Mo 3 n 400 ] C Conc. [ppb] /Mo 3 (P25DMA) x Mo umidity [%R] (PIT) x Mo 3 (PIT) x Mo , 0.07 ppm : 400 o C W 3 W 3 R a /R g 5 4 >90%R, 450 o C, R [%] 32
17 T VC R a /R g Sn 2 3(Pt,Pd,Au)/Sn 2 10 Pt 0.5wt% Pd 0.8wt% 10 8 Au 0.5wt% [g/m 3 ] R [%] R a /R g [g/m 3 ] R [%] T-VC 200~1000 g/m /R g R a / Pt/Sn 2 Au/Sn 2 Pd/Sn /R g R a / [g/m 3 ] R [%] 10 8 /R g R a / [g/m 3 ] [g/m 3 ] R [%] R [%] Pt, Au Pd Pd 33 T VC T-VC 200~1000 g/m (Pt,Pd,Au)/Sn 2 3(Pt,Pd,Au)/Sn 2 >90%R400 o C, R a /R g [g/m 3 ] R [%] R a /R g [g/m 3 ] R [%] 34
18 dry dry wet Wet dry wet Wet 35 T VC 36
19 T-VC (2 min) (0.6~3.5V) (500 ml/min) 50 M ( s5.7) 57) PC 3 37 T VC In VC MEMS 38
20 T VC PID PID 39 T-VC T-VC VC MEMS PID 40
21 T-VC / EP T VC
22 VC VC VC VC monitoring VC VC VC detector 43
94 (( )) 1 2 3 4 5 7 9 11 12 13 14 17 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 32 34 ( ) () (/ ) (/ ) (/ 100) 256 5,034 209,647 710,954 360,925 350,029 4,047.66 3.39 103.11 256 5,034 214,574 717,811 363,149
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