財團法人國家實驗研究院晶片系統設計中心
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1 一. 製程代號 製程說明與各製程年度數說明 : 財團法人國家實驗研究院台灣半導體研究中心 2019 年度晶片製作時程表更新時間 :2019 年 4 月 15 日 註 : 各製程之另以 製程代號 - 年度 +(A/B/C/D/E) 之方式表示, 如 D35-108A 代表 108 年度 D35 製程之 A 製程代號 製程說明 上半年數 下半年數 TN16FFC TSMC 16 nm CMOS LOGIC FinFET Compact (Shrink) LL ELK Cu 1P13M 0.8&1.8V 0 1 TN28HPM TSMC 28 nm CMOS LOGIC High Performance Mobile Computing ELK Cu 1P10M 0.9&2.5V 1 1 TN40G TSMC 45 nm CMOS LOGIC General Purpose Superb (40G) ELK Cu 1P10M 0.9/2.5V 1 1 TN90GUTM SiGe18 T25HVG2 T50UHV T18 TSMC 90 nm CMOS Mixed Signal MS General Purpose Standard Process LowK Cu 1P9M 1.0&3.3V (With UTM) TSMC 0.18 um BICMOS Mixed Signal SiGe General Purpose Standard Process FSG Al 3P6M 1.8&3.3V TSMC 0.25UM CMOS HIGH VOLTAGE MIXED SIGNAL GENERAL PURPOSE IIA BASED BCD 1P5M SALICIDE NBL EPI AL USG 2.5/5/7/12/20/24/40/45/60V, VG2.5/5/12V TSMC 0.5 UM CMOS HIGH VOLTAGE MIXED SIGNAL BASED LDMOS USG AL 2P3M POLYCIDE 5/20/450/600/700/800V TSMC 0.18 um CMOS Mixed Signal RF General Purpose Standard Process FSG Al 1P6M 1.8&3.3V MEMS18 TSMC 0.18um CMOS Process and APM MEMS Process 2 1 D35 TSMC 0.35 um Mixed-Signal 2P4M Polycide 3.3/5V Multi-Option-MEMS TSMC 0.35um CMOS Process and APM MEMS Process wi/wo Gold U18 UMC 0.18 um Mixed-Mode and RFCMOS 1.8V/3.3V 1P6M Metal Metal Capacitor Process 1 2 U18MEMS UMC 0.18um CMOS and MEMS Process 1 2 P15 WIN 0.15 um PHEMT 1 1 GaN25 WIN 0.25μm GaN/SiC HEMT Power Device Technology 1 1 GIPD IMEC-SiPh (Passives+) General Purpose Integrated Passive Device (IPD) Process with Options of T18 and TN90GUTM Integration imec's 200mm wafer fab, using 0.13um mask technology and 193nm DUV lithography, SOI 220nm, support for waveguide related design IMEC-SiPh (isipp50g) imec-epixfab SiPhotonics: isipp50g 0 1 T18HVG2 TSMC 0.18UM CMOS HIGH VOLTAGE MIXED SIGNAL BASED GENERATION II BCD 1P6M SALICIDE AL_FSG 1.8/5/6/7/8/12/16/20/24/29/36/45/55/65/70V/VG1.8/5V AND 5/6/7/8/12/16/20/24/29/36/45/55/65/70V/VG5V 0 2 二. 重要事項說明 : (1) 本時程表除了配合晶圓廠 shuttle 時間外, 並考量各校碩士班畢業時間及研討會投稿時間而訂定 ; 時程如有調整, 將公佈於 TSRI 網頁最新消息 (2) CMOS MEMS 晶片包含於 TSMC 0.35um TSMC 0.18um 以及 UMC 0.18um COMS 製程內 ( 代號如 Multi-Option- MEMS-108A,MEMS18-108A,U18MEMS-108A 等 );CMOS MEMS 晶片的晶圓須進行後製程處理, 約需時四週 (3) GIPD 與 CMOS 晶片整合製程包含於 GIPD 製程內 ( 代號如 GIPD-108A( 整合 TN90GUTM),GIPD-108B( 整合 T18) 等 ) 三. 製程與異動說明 : (1) 國研院台灣半導體研究中心為提供更良好之晶片製作服務, 自 2019 年起, 全面縮短晶片製作受理申請之內部作業時間 ; 配合晶圓廠 2019 下半年實際 Shuttle 時程, 原預估 2019 年第三季之異動如下 : TN40G-108B 日調整為 , 申請日則調整為 TN90GUTM-108C 日調整為 , 申請日則調整為 T25HVG2-108C 日調整為 , 申請日則調整為
2 (2) 2019 年下半年新增製程服務種類如下 : 為加強各位會員對高壓電路與系統領域研究之服務, 擬於 2019 下半年新增 TSMC 0.18UM CMOS HIGH VOLTAGE MIXED SIGNAL BASED GENERATION II BCD 1P6M SALICIDE AL_FSG 1.8/5/6/7/8/12/16/20/24/29/36/45/55/65/70V/VG1.8/5V AND 5/6/7/8/12/16/20/24/29/36/45/55/65/70V/VG5V 製程服務, 並以 T18HVG2 作為製程代號 ; 第一 T18HVG2 製程前瞻性晶片製作預計於 2019 年 8 月 5 日,2019 年 8 月 12 日申請, 請參考下線時程網頁, 請有意使用此製程之教授進行製程資料使用申請 四. 晶片製作時程表常用名稱解釋 : (1) : 前瞻性 教育性 前瞻速審部分負擔及學術自費晶片製作之日 ; 時間為當日上午 10: 00 整 ; 日 至 / 申請日 總計 8 個日曆天 ; 日 至 前瞻速審部分負擔 / 學自 晶片申請日 總計 15 個日曆天 使用者上網提出各製程晶片製作申請之時間自 起至 申請 為止, 其餘時間不開放晶片製作申請 (2) : 教育性晶片申請之日, 時間為當日下午 14:00 整 (3) : 前瞻性晶片申請之日, 時間為當日下午 14:00 整 (4) : 前瞻速審部分負擔晶片 / 學術自費晶片申請之日 (5) : 前瞻性晶片參加審查會之日期 (6) 簽認 : 教授至 TSRI 網頁簽認同意學生或本人提出之晶片製作申請之日 晶片製作申請若於簽認期限前未能獲得教授簽認同意, 恕將取消該晶片製作申請 (7) : 預計晶片出貨日 公告之 Date 係預計晶片出貨日, 實際晶片出貨日視與晶圓廠 / 封裝廠之實際交易情形而定, 請恕本中心無需 擔負逾期交貨相關罰則 (8) 繳交期限 : 收到晶片後, 量測結果之報告繳交期限 2019 年度晶片製作時程表 ( 按製程排列 ) * 預排 ( 待製程原廠公佈時程後再行確認調整 ) 簽認 TN16FFC-108B X *TN16FFC-109A X TN28HPM-108A X TN28HPM-108B X *TN28HPM-109A X TN40G-108A X TN40G-108B X *TN40G-109A X TN90GUTM-108A X TN90GUTM-108B X TN90GUTM-108C X TN90GUTM-108D X *TN90GUTM-109A X *TN90GUTM-109B X SiGe18-108A X SiGe18-108B X SiGe18-108C X SiGe18-108D X
3 簽認 *SiGe18-109A X T25HVG2-108A X T25HVG2-108B X T25HVG2-108C X T25HVG2-108D X *T25HVG2-109A(Last service) X T50UHV-108A X T50UHV-108B X T50UHV-108C X T50UHV-108D X *T50UHV-109A X T18HVG2-108A X T18HVG2-108B X *T18HVG2-109A X T18-108A T18-108B T18-108C X T18-108D X *T18-109A X MEMS18-108A MEMS18-108B MEMS18-108C(Last service) X D35-108A X D35-108B X D35-108C X D35-108D X *D35-109A X MultioptionMEMS-108A X MultioptionMEMS-108B X MultioptionMEMS-108C X MultioptionMEMS-108D X *MultioptionMEMS-109A X U18-108A U18-108B X U18-108C X *U18-109A X
4 簽認 U18MEMS-108A U18MEMS-108B X U18MEMS-108C X *U18MEMS-109A X P15-108A X P15-108B X *P15-109A X GaN25-108A X GaN25-108B X *GaN25-109A X GIPD-108A( 整合 TN90GUTM) X GIPD-108B GIPD-108B( 整合 T18) X GIPD-108C( 整合 T18) X GIPD-108D GIPD-108D( 整合 TN90GUTM) X *GIPD-109A( 整合 TN90GUTM) X *GIPD-109B *GIPD-109B( 整合 T18) X IMEC-SiPh (Passives+)-108A X X IMEC-SiPh (isipp50g)-108b X X *IMEC-SiPh (Passives+)-109A X X 年度晶片製作時程表 ( 按前瞻申請排序 ) * 預排 ( 待製程原廠公佈時程後再行確認調整 ) 簽認 TN90GUTM-108A X GIPD-108A( 整合 TN90GUTM) X SiGe18-108A X T25HVG2-108A X P15-108A X TN40G-108A X TN28HPM-108A X T50UHV-108A X
5 簽認 T18-108A MEMS18-108A D35-108A X MultioptionMEMS-108A X GIPD-108B GIPD-108B( 整合 T18) IMEC-SiPh (Passives+)-108A X X U18-108A U18MEMS-108A T25HVG2-108B X TN90GUTM-108B X SiGe18-108B X GaN25-108A X T18-108B MEMS18-108B D35-108B X MultioptionMEMS-108B X T50UHV-108B X TN90GUTM-108C X T25HVG2-108C X SiGe18-108C X P15-108B X U18-108B X U18MEMS-108B X D35-108C X MultioptionMEMS-108C X TN28HPM-108B X T50UHV-108C X T18HVG2-108A X T18-108C X MEMS18-108C(Last service) X GIPD-108C( 整合 T18) X TN40G-108B X TN90GUTM-108D X GIPD-108D GIPD-108D( 整合 TN90GUTM) X
6 簽認 TN16FFC-108B X T25HVG2-108D X IMEC-SiPh (isipp50g)-108b X X SiGe18-108D X GaN25-108B X T18HVG2-108B X D35-108D X MultioptionMEMS-108D X U18-108C X U18MEMS-108C X T18-108D X T50UHV-108D X *TN90GUTM-109A X *GIPD-109A( 整合 TN90GUTM) X *TN40G-109A X *SiGe18-109A X *T25HVG2-109A(Last service) X *P15-109A X *TN28HPM-109A X *T50UHV-109A X *T18HVG2-109A X *T18-109A X *D35-109A X *MultioptionMEMS-109A X *GIPD-109B *GIPD-109B( 整合 T18) X *U18-109A X *U18MEMS-109A X *IMEC-SiPh (Passives+)-109A X X *TN16FFC-109A X *TN90GUTM-109B X *GaN25-109A X 年度 AISOC 製程晶片製作時程表 * 預排 ( 待製程原廠公佈時程後再行確認調整 )
7 AISOC-08A AISOC-08A AISOC-08A * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 以下無資料 *******************************************
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