SMC 洁净型气体过滤器 ( 系列 ) 在洁净的环境中的综合工程 在洁净环境中将全部零件的洗净 组装 检查 防静电的密闭双层包装一起完成 组装环境 洁净室 : ClassM5.5(ISO 类 7) 洁净室 : ClassM3.5(ISO 类 5) Fed, Std, 209E( ) 依据 ISO46

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1 洁净型气体过滤器 系列 夹头型 / 一次性使用型 一次性使用型 C0 一次性使用型 B30 夹头型 A0 A20 A30 F U FA FB H G D H E F D AD 夹头型 B0 B20 273

2 SMC 洁净型气体过滤器 ( 系列 ) 在洁净的环境中的综合工程 在洁净环境中将全部零件的洗净 组装 检查 防静电的密闭双层包装一起完成 组装环境 洁净室 : ClassM5.5(ISO 类 7) 洁净室 : ClassM3.5(ISO 类 5) Fed, Std, 209E( ) 依据 ISO4644- 高精度的 过滤 PTFE 高分子膜夹头型滤芯过滤精度可实现 0.0μm( 捕捉效率 99.99%) ( 洁净气体滤网 公称过滤精度 20μm) 可在广泛环境下使用由于使用了耐化学性以及耐热性高的材质规格 ( 参见各系列的规格栏 ), 可在广泛范围的环境下使用 用途以及回路例 夹头型 一次性使用型 气源 气罐 冷冻式空气干燥器 无热再生式空气干燥器 超微油雾分离器 气体过滤器和吹气 后冷却器 主管路过滤器 油雾分离器带前置过滤器的微雾分离器 微雾分离器 高分子膜式空气干燥器 除臭过滤器 B3 C A, B 液体 洁净吹风 N2 B3 C 洁净吹气 A, B 清净液体压送 气体系统 A, B 空气测微计 静电涂装 B3 C MFC A, B 涂装 + B3 C MFC 清净液体压送洁净吹风 洁净型减压阀 A, B N2 274

3 夹头型一次性使用型扩展品种 流量 L/min(ANR) 系列过滤精度压力 MPa 温度 C ( 进口压力 0.7MPa, 压力降 0.02MPa 时 ) 滤芯更换可否 页码 圆盘式 A0 26 A20 A30 0.0μm 捕捉效率 99.99% ( ) 高分子 ( 膜式滤芯 ) P.277 F U FA 直通式 B ~80 可 P.280 FB H B20 ( 过滤器 ) 公称 20μm 烧结金属 ( 滤芯 ) 400 P.28 G 直通式 D H B P.284 E F 多盘式 0.0μm 捕捉效率 ( 99.99% ) 隔膜式滤芯 ( ) 5~20 否 D C P.287 AD 订制规格 外壳 盖材质 : 铝合金 (B00) 滤网公称过滤精度,2,5,0,20,40,70,00μm(B200) P.290 产品单独注意事项 P

4 系列型号的选定方法 按进口压力和最大流量的条件由以下步骤进行型号的选定 例 ) 进口压力 : 0.6MPa 最大流量 : 200L/min(ANR) 用最大流量曲线图求得进口压力和最大流量的交点 A 最大流量线从求出的交点 A 的上部选定型号为 C0 注 ) 根据求得的支点, 必须选择在此点以上的最大流量线的某型号, 如果选择在此交点下部的最大流量线对应的型号, 因流量不足, 导致不能满足规格等原因 最大流量曲线图 洁净型气体过滤器 000 C0 最大流量 L/min(ANR) 00 0 A A30 A20 B0 30 A 进口压力 MPa 洁净气体滤网 000 B20 最大流量 L/min(ANR) 进口压力 MPa 276

5 用于电子工业等的一般气体的精密过滤 PTFE 高分子膜式滤芯夹头化 ( 过滤精度 0.0μm ( 捕捉效率 99.99%)) 聚酯制保持座和氟橡胶 (FKM) 垫圈已夹头化 滤芯可更换 A03 A200 洁净型气体过滤器夹头型 / 圆盘式 A00/200/300 系列 A302 型号 型号额定流量 L/min(ANR) 注 ) 连接过滤面积 cm 2 滤芯型号注 2) 质量 kg A00-02 A0-02 A A20-02 A A30-02 A02-02 A A A03-02 A A 洁净型气体过滤器夹头型 ( 盘式 ) A 品种大小记号额定流量 L/min(ANR) 0 ~26 20 ~70 30 ~ 型号表示方法 连接方法记号连接 ( OUT) 0 Rc NPT 2 TSJ 3 UOJ Rc/4( 内螺纹 ) NPT/4( 内螺纹 ) Rc/4( 内螺纹 ) NPT/4( 内螺纹 ) Rc/4( 内螺纹 ) NPT/4( 内螺纹 ) TSJ/4 Tube,Swage Joint UOJ/4 Union O Ring,Joint 注 ) 进口压力 0.7MPa 压力降 0.02MPa 时注 2) 滤芯的型号上, 包含结构图序号 3~7 的内容 ( 参见 P.278) 连接口径 记号 02 连接口径 Rc NPT TSJ UOJ / ED00S-X0V ED0S-X0V ED20S-X0V ED00S-X0V ED0S-X0V ED20S-X0V ED00S-X0V ED0S-X0V ED20S-X0V RoHS F U FA FB H G D H E F D AD 277

6 A00/200/300 系列 规格 使用流体使用压力注 ) 使用温度滤芯耐差压滤芯逆差压过滤精度注 2) 出口侧清净度 主要材质 包装 外壳滤材密封件 注 ) 本产品不是高压气体保安法适合品, 故最高使用压力为 0.99MPa 注 2) 根据本公司测定条件 空气 氮气 MAX.0.99MPa 真空 kpa 5~80 MAX.0.MPa MAX.0.05MPa 0.0μm( 捕捉效率 99.99%) 0.μm 以上的粒子 0 个 /6L SUS36( 内外面 : 电解研磨 ) PTFE 高分子膜氟橡胶 (FKM) 防静电密闭二重包装 结构图 序号 零部件名称外壳 V 形卡箍保持座 保持座 2 滤材密封圈 V 密封圈 材质 SUS36 SUS304 聚酯 PTFE FKM 备注电解研磨 ( 内外面 ) - 夹头型滤芯 278

7 洁净型气体过滤器夹头型 / 圆盘式 A00/200/300 系列 流量特性流体 : 压缩空气进口温度 :20 A0 压力降 MPa 压力降 MPa 0. 进口压力 0.3MPa 0.MPa 最大流量线 MPa 0.5MPa A20 压力降 MPa 流量 L/min(ANR) 进口压力 0.3MPa 最大流量线 0.MPa 0.7MPa 0.5MPa A 流量 L/min(ANR) 进口压力 0.3MPa 最大流量线 0.MPa 0.7MPa 0.5MPa 外形尺寸图 A00, 0, A200, 20, A300, 30 2 Rc/4,NPT/4 A02, A202, A302 2 TSJ/4 A03, A203, A303 2 UOJ/4 ø9.5 ø6.5 7 A A A øb 型号 A00-02 A0-02 A A20-02 A A30-02 øb 型号连接 A02-02 A TSJ/4 A øb 型号 A03-02 A A UOJ/4 连接 Rc/4 NPT/4 Rc/4 NPT/4 Rc/4 NPT/4 Tube Swage Joint 连接 Union O Ring Joint A øb A A øb øb F U FA FB H G D H E F D AD 流量 L/min(ANR) 279

8 SUS36 烧结金属滤芯已夹头化 ( 公称过滤精度 20μm) 也配备了保护减压阀 真空调压阀等的滤芯 (20 μm SUS36 烧结金属 ) 用的洁净型气体滤网 洁净型气体滤网夹头型 / 直通式 B200 系列 规格 使用流体使用压力注 ) 使用温度滤芯耐差压滤芯逆差压公称过滤精度 主要材质 包装 型号 型号额定流量 L/min(ANR) 注 ) 连接过滤面积 cm 2 滤芯型号质量 kg B B20-02 B B 洁净型气体滤网 ( 直通式 ) 400 注 ) 进口压力 0.7MPa 压力降 0.02MPa 时 B 品种形式 记号 形式 20 夹头型 ( 直通式 ) 连接方法记号连接 ( OUT) 0 Rc NPT 2 TSJ 3 UOJ 外壳 盖密封件滤材 型号表示方法 Rc/4( 内螺纹 ) NPT/4( 内螺纹 ) TSJ/4 UOJ/4 连接口径 记号 02 连接口径 Rc NPT TSJ UOJ /4 空气 氮气 MAX.0.99MPa 真空 kpa 5~80 MAX..0MPa MAX..0MPa 20μm SUS36( 内外面 : 电解研磨 ) 氟橡胶 (FKM) SUS36 烧结金属防静电密闭二重包装 0 订制规格记号内容无记号 - 标准外过滤精度 S00VX3 参见 P.290 ES00S-20V ( 含 O 型圈 ) F U FA FB H G D H E F D AD 28

9 B00/200 系列 结构图 流量特性流体 : 压缩空气进口温度 : 20 B04-M5 0. 压力降 MPa 0.0 最大流量线进口压力 0.3MPa 0.MPa 0.7MPa MPa 流量 L/min(ANR) 00 序号 零部件名称 2 外壳盖 洁净型气体过滤器 3 4 滤芯 O 形圈 洁净型气体滤网 5 6 内六角螺钉托架 材质备注 SUS36 电解研磨 ( 内外面 ) PTFE 高分子膜 B0 的场合 SUS36 烧结金属 B20 的场合 FKM - M3 SUS304 - B0-02 压力降 MPa 0. 进口压力 MPa 0.3MPa 最大流量线 0.7MPa MPa 流量 L/min(ANR) B 进口压力 0.3MPa 最大流量线 压力降 MPa MPa 0.5MPa 0.7MPa 流量 L/min(ANR) 282

10 洁净型气体过滤器 / 洁净型气体滤网夹头型 / 直通式 B00/200 系列 外形尺寸图 B00, 200 : Rc/4 B0, 20 : NPT/4 B04 : M5 2 M5,Rc/4,NPT/4 托架 2 ø ø 型号 B00-02, B0-02, B04-M5 连接 Rc/4 NPT/4 M5 F U FA FB H B02-02, B : TSJ/4(Tube Swage Joint) 2 TSJ/4 2 ø 六角对边 B03-02, B : UOJ/4(Union O Ring Joint) 2 UOJ/4 2 ø4.5 2 托架 托架 7 ø6.5 ø 六角对边 G D H E F D AD 283

11 系列订制规格关于详细尺寸 规格及交货期, 请与 SMC 联系 Order Made 型号 :B00-02X8 规格 外壳 盖材质 : 铝合金 不同的滤网过滤精度 (,2,5,0,20,40,70,00μm) 对应洁净型气体滤网的标准过滤精度 20μm 之外的规格 型号 :B S 002 V -X40 使用流体使用压力最高使用温度滤芯耐差压滤芯逆差压过滤精度注 ) 连接过滤面积滤芯型号质量 空气 MAX.0.99MPa 80 MAX.0.5MPa MAX.0.07MPa 0.0μm(99.99% 捕捉粒径 ) Rc/4 0cm 2 ED30S-X0V 0.06kg 主要材质 外壳 盖密封件滤材 A207( 白色氧化阳极化处理 ) 氟橡胶 (FKM) PTFE 高分子隔膜 外形尺寸与标准型相同 详见 P.283 注 ) 根据本公司测定条件 ( 参见技术资料 SM ) 公称过滤精度 记号 公称过滤精度 μm 注 ) 额定流量 L/min(ANR) 注 2) 注 ) 公称过滤精度是根据不同材料来命名的 注 2) 进口压力 0.7MPa 时的最大流量 其它规格 外形尺寸与标准型相同 详见 P.28 更换滤芯型号 公称过滤精度 (μm) 型号 ES00S-00VX25 ES00S-002VX25 ES00S-005VX25 ES00S-00VX25 ES00S-020VX25 ES00S-040VX25 ES00S-070VX25 ES00S-00VX25 记号 N V T 备注 O 形圈材质 NBR FKM PTFE O 型圈 290

12 系列 / 产品单独注意事项 使用前必读 安全注意事项参见前附 43, 压缩空气清净化元件的共同注意事项参见 P.6~8 选用 警告 确认规格 本样本登载的产品仅使用压缩空气 氮气等一般气体 在规格范围以外的特殊气体 压力和温度下不得使用, 以免造成损坏 ( 参见规格 ) 警告 维护后的工作 维护点检 安装 维修或更换后, 要进行必要的功能检查和漏气检查 禁止分解或改造本体禁止分解或改造 F U FA 警告 使用说明书 安装 认真阅读并理解的基础上, 安装并使用产品 请保管好, 以备随时使用 确保维护空间本产品在进行滤芯更换等维护工作的场合, 要将 OUT 的连接配管取下, 请确保必要的维护空间 安装时, 螺纹的紧固必须遵守配管的推荐紧固力矩 (P ) 使用环境 警告 不要使用于腐蚀性气体 化学药品 海水 水 水蒸气的环境中或附着上述物质的场所 日光直射的场所, 应遮断阳光 不要用于引起震动和冲击的场所 不要使用于周围有热源的场所和有辐射的场所 维护点检 警告 维护点检, 应按使用说明书的步骤进行 一旦使用失误, 会导致元件和装置的动作不良和破损 维护工作压缩空气 氮气使用错误是危险的, 要遵守产品规格 滤芯的更换和其他的维护工作, 该由对气动原件和使用流体有充分知识和经验的人进行 维护前的工作卸下产品时, 要切断电源和停止供气, 排放掉配管内的压缩空气, 确认已变成大气压后才能进行 设计上的注意 注意 进口侧和出口侧的压力差超过 0.MPa 就会引起滤芯的破损 请设置在振动的脉动不会超过 0.MPa 的场所 注意从出口侧安装的空气元件的发尘 在 系列的出口侧安装气动元件时, 从这些元件产生粉尘粒子时, 会降低空气的洁净度 针对使用流体的必要清洁度, 应充分研讨气动元件等的安装位置 设计时要考虑防止逆压和逆流 逆压 逆流会导致滤芯的破损 产品本体上不要施加配管负载 产品本体上不要施加配管负载 ( 包括其他的连接机器 ), 请另行安装支持部 关于压缩空气的净化系统构成, 由于压缩机的种类和规格不同, 压缩空气中通常会含有下列污染物粒子 压缩空气中污染物粒子 水分 ( 冷凝水 ) 从周围空气中吸入的尘埃 从空压机中出来的变质油 配管中的铁锈等固态物和油等 ) 系列不能使用含有水和油的压缩空气 2) 系列使用的气源中, 应设置干燥器 (F ) 油雾分离器 ( 系列 ) 微雾分离器 (D 系列 ) 超微油雾分离器 (E 系列 ) 除臭过滤器 (F 系列 ) 等 FB H G D H E F D AD 29

13 系列 / 产品单独注意事项 使用前必读 安全注意事项参见前附 43, 压缩空气清净化元件的共同注意事项参见 P.6~8 选定 警告 选定元件型号的场合, 要确认使用目的 要求规格和使用条件 ( 流体 压力 流量 环境 ) 都在规格范围内 潜水 呼吸和医疗等直接与人体接触或者间接有影响的用途的场合请事先与本公司联系 根据最大消耗流量来选定 当压缩空气用于吹气时, 算出最大耗气量再选择 系列的尺寸 ( 超过最大处理流量, 过大的压缩空气流过会降低压缩空气的洁净度, 造成滤芯破损等 ) 处理流量设定在初期压力降 0.02MPa 以下 如果初期压力降设定的高, 会导致孔眼堵塞而引起寿命变短 注意 密封包装的开封 配管 过滤器是在洁净室内用防静电两层密封包装的, 请在洁净的环境中 ( 如洁净室等 ) 打开内包装 确认维护点检用的空间进行设置 配管 配管时在 侧或 OUT 的 2 面铣平部用扳手夹住回转 OUT 口不要接错, 如果接反将不能使用 密封带的缠绕当配管和管接头是螺纹拧入的场合, 不允许将配管螺纹的细末或密封材料碎片混入配管内 使用密封带时, 螺纹部应留出.5-2 个牙距不缠绕密封带 关于连接 ) Rc 以及 NPT 连接不允许配管螺纹的细末或密封材料碎片混入配管内, 使用密封带时, 螺纹部应留出.5~2 个牙距不缠绕密封带 2) TSJ 连接 TSJ 接头, 是卡套式管接头的一种, 如图所示 注意 配管 TSJ 连接用手将螺母拧紧之后, 再用扳手拧紧 /4~/2 圈进行紧固 另外, 过滤器更换时再紧固的场合, 用手拧紧螺母后再用扳手拧紧 /4~/2 圈进行紧固 配管材料以及接头部的零件请使用下记物品 配管材外径 /4"=ø6.35mm 不锈钢管或外径 3/8"=ø9.53mm 不锈钢管 螺母 前套圈产品附件 ( 各 2 个 ) 后套圈 更换本体时, 要从 侧 OUT 侧通口将不锈钢管抽出, 要保证一定的空间 (20mm 以上 ) 用别公司类似接头零件时, 请一定进行检查确认氦泄漏没有问题后再使用 3) UOJ 接头 UOJ 接头是用 O 形圈密封的管接头, 如图所示 过滤器外壳 螺母 密封压盖 O 形圈 外径 /4"=ø6.35mm 焊接 不锈钢管 此接头密封压盖与配管进行焊接后使用 焊接时, 让氮气等的惰性气体在配管内流动, 以防止由于熔焊烧伤而产生氧化膜 外部焊接部需要用电解研磨 酸洗等表面处理去除氧化膜 此接头在安装时, 用手拧紧螺母后, 再用扳手增拧约 /8 圈进行紧固 另外, 配管材料及接头部的零件请使用下记物品 过滤器外壳 螺母 外径 /4"=ø6.35mm 外径 3/8"=ø9.53mm 不锈钢管 配管材外径 /4"=ø6.35mm 不锈钢管 螺母 密封压盖 O 形圈 产品附件 ( 各 2 个 ) 前套圈 后套圈 292

14 系列 / 产品单独注意事项 使用前必读 安全注意事项参见前附 43, 压缩空气清净化元件的共同注意事项参见 P.6~8 配管注意 4) URJ 连接 URJ 接头是使用金属垫圈的管接头, 如图所示 过滤器外壳 螺母 垫圈 密封压盖 此接头密封压盖与配管焊接后使用 焊接时, 让氮气等的惰性气体在配管内流动, 以防止由于熔焊烧伤而产生氧化膜 外部焊接部需要用电解研磨 酸洗等表面处理去除氧化膜 此接头在安装时用手拧紧螺母后, 再用扳手增拧约 /8 圈进行紧固 另外, 配管材料及接头部的零件请使用下记物品, 另行购入 /4" 的场合 螺母 Swagelok 公司制 VCR R 接头用 VCR 内螺母 (SS-4-VCR-) 密封压盖 Swagelok 公司制 VCR R 接头用 VCR 密封压盖 (SS-4-VCR-3) 垫圈 Swagelok 公司制 VCR R 接头用 VCR 垫圈护圈组件 (SS-4-VCR-2-GR) 3/8" 的场合 配管材外径 3/8"=ø9.53mm 不锈钢管 螺母 Swagelok 公司制 VCR 接头用 VCR 内螺母 (SS-8-VCR-) 密封压盖 Swagelok 公司制 VCR 接头用 VCR 内螺母 (SS-6-VCR-3) 垫圈 Swagelok 公司制 VCR 接头用 VCR 垫圈护圈组件 (SS-8-VCR-2-GR) 外径 /4"=ø6.35mm 外径 3/8"=ø9.53mm 焊接 不锈钢管 注意 配管 关于使用流体 警告 洁净型气体过滤器的场合请不要使用压缩空气 氮气等惰性气体以外的流体 使用压缩空气 氮气等惰性气体以外的流体时会引起密封圈, O 形圈等由于使用流体的原因而劣化, 故密封材质请从规格栏确认后, 与使用流体的合适性由客户再次确认 管路的冲洗 初期使用时以及更换时, 应对配管的主路进行冲洗 连接配管 F 等时, 为了减轻从连接部部分产生的灰尘的影响, 在初期使用时, U 以及滤芯更换时, 要进行洗净 ( 吹气 ) FA 配管管路设置时, 因配管中有污染物, 必须在管路清洗实施后再进入旋转 FB 一般气体 ( 不含毒性 腐蚀性 燃烧性气体 ) 使用时, 在过滤器安装后, 要对管路用干燥的氮气等惰性气体进行充分吹洗 用氦 H 泄漏检查接头部的泄漏量后再进入运转 过滤器的更换 ( 滤芯的更换 ) 除去配管内的气体, 使内压为零 使用氮气的场合, 请将干燥的氮气等惰性气体充分净化后再进 行置换 另外, 过滤器 ( 或夹头型滤芯 ) 的更换请在使用期间 年内, 或者.OUT 差压 ( 压力降 ) 达到 0.Mpa 时进行 G 关于滤芯的更换, 在确保过滤器的性能以及安全性后根据使用说明书执行 安装说明书与更换用的滤芯同包, 如有遗失请与本公司联系 D H E F D AD 用其它公司的类似接头零件 ( 与 Swagelok 公司产品相同类 ) 时, 请一定进行氦泄漏检查后再使用 注 ) VCR 为 Swagelok 公司的注册商标 293

15 系列 / 产品单独注意事项 使用前必读 安全注意事项参见前附 43, 压缩空气清净化元件的共同注意事项参见 P.6~8 使用环境 注意 吹气时因周围空气的卷入, 工件会受污染, 应注意 如果压缩空气用于吹气, 从喷嘴中吹出的压缩空气可能卷入浮游在周围空气中的异物 ( 固态粒子和液体粒子 ), 对着工件吹, 会造成这些浮游异物吸附在工件上 因此, 必须注意周围环境 维护点检 当滤芯到了该更换的时间请立即更换过滤器和滤芯 ( 夹头型 ) 滤芯的寿命滤芯的寿命在下列任一条件成立时为止 ) 从使用开始经过 年时 2) 从开始使用即使不满 年, 但压力降达到 0.MPa 时 密闭包装的开封过滤器以及卡式滤芯 ( 夹头型 ) 是在洁净室内进行密闭双重包装, 故请在洁净环境 ( 如洁净室中 ) 进行内包装的开封 294

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