About Kao Duen 高敦科技股份有限公司 http://www.kaoduen.com.tw
高敦科技股份有限公司 成立 : 1995 員工人數 : 台北辦公室 14 人 ( 台北縣中和市 ) 台南辦公室 2 人 ( 台南市北區 ) 主要市場及產品 : 學術及研究單位 RD 真空鍍膜系統
Sputter System
Customer List : 中科院 / 中研院物理所 / 台灣大學 / 成功大學 / 交通大學 /NDL / 儀科中心 / 清華大學 / 中山大學 / 中正大學 / 高雄大學 / 東華大學 / 聯合大學 / 勤益科大 / 彰化師大 / 中興大學 / 台灣科大 / 台北科大 / 正修科大 / 明志科大 / 長庚大學 / 高一科大 / 虎尾科大 / 台南大學 / 屏東科大 / 屏東教育大學 / 黎明技術學院 / 吳鳯技術學院 / 義守大學 / 大同大學 / 光電廠. etc.,
Cathodes : 3 x 2-4 自公轉機構 預留手套箱開口 預留 Load Lock 機構
Target : ITO 腔體門手套與手套箱試片傳送 Cathode : 3 x 3 Sub.: 10 x 10 cm Glass
For High K Material Target : Ti. TiN. Ta. TaN. Ni. ITO. Cathode : 4 x 6 Sub. : 4 x 6 or 6 x 4 Wafer
Load Lock 機構 Cathode : 3 x 3 Sub. : 4 x 3 wafer 自公轉機構
For Ni, Fe, Ti, Ta Cathode : 3 x 4 Sub. : 6 wafer Spare Load Lock Assembly
UHV Ion Source Sputter Target : 6 x 2 Selected Sub. : 2 wafer Sub. Heater : 950 W / Rotator Load Lock & Z 軸機構
Sputter Chamber ( C. I. G. Mo. ZnO / AZO. ITO ) Thermal Chamber ( Se 專用 ) 1 x Load Lock Chamber 2 x 手動傳輸及銜接機構 Z 軸試片承接及旋轉定位機構
C.I.G.S 用途 Cathode : 4 x 3 Sub.: Rotation. Z 軸. 旋轉定位機構 Load Lock 機構 磁控試片自動取片及進片機構
UHV with Load Lock 機構 3 x 2 Sputter Cathodes 1 x 3 cm Ion Source ( Etching ) Sub. : 4 x 2 wafer with heaters UHV Z 軸試片承載傳送機構
Target : Ga / C.I.G.S UHV Load Lock 機構 Cathode : 1 x 8 Sub. : 6 wafer Z 軸及手動傳輸裝置
ALD 原子層磊晶系統 ( 與清大材料技術移轉與產學合作 )
ALD :
Customer List : 清華大學材料系 清華大學奈米中心 長庚大學電子系 長庚大學生醫所 成功大學電子系
Layout 1 ALD SYSTEM FOR Al, Ti, Hf, La, Zn. Mg etc., With Plasma NH3
Layout 2
Layout 3
P / OLED Thermal System
Customer List : 中研院 / 交通大學 / 台灣大學 / 成功大學 / 中山大學 / 台北科大 / 嘉義大學 / 長庚大學 / 暨南大學 / 勤益科大 / 義守大學 / 和春技術學院 / 正修科大 / 長庚大學 / 聯合大學 / 工研院太陽能電池中心 / 核能研究所 / 刑事警察局 etc.,
Source : 3 x Thermal 300A + 1 x 750 K-Cell 腔體完全在手套箱內
Source : 10 Thermals + 3 Power Supplies 試片. Mask. Shutters 3 軸自動可程式切換
Source : 10 Source + 2 Power Supplies 腔體上掀門在手套箱內
Source : 4 x Sources + 2 x K-Cell 試片. Mask 雙軸自動切換 連接手套箱試片傳接
Source : 4 x Thermals + 2 x K-Cell 3 x Thickness Monitors Sample, Mask 切換機構
Material : Zn. Au 用途 : 指紋辨識機 Source : 2 Source with 5 Boards / Each 大面積試片
C.I.G.S / Se 專用機 Source : 1 x K-Cell 500 Sub. : Max 600
CVD / RIE System
Customer List : 中山大學 / 成功大學 / 台灣科大 / 新竹教大 / 修平技術 / 勤益科大 / 台灣科大 / 台灣大學 / 新加坡大學 / 中正大學 / 中華映管 etc.,
H.V.P.E. 氫化物磊晶系統
Customer : Furnace CVD 1
Customer : Furnace CVD 2
大氣 / 真空電漿處理系統
Plasma Treatment Liquid Sources : TEOS. PEGMA etc., 大面積 Shower Head 500 mm 載台水冷. 旋轉. 升降控制
Customer : R.I.E.
E-Beam System
Customer : E-Beam 1
Target : 1 x 4 Target 自公轉及 Oscillator 模式 Sub. Heater : 950
Special Chamber ( 客製化腔體 )
Special Chamber 1
Special Chamber 2
Vacuum Parts
MeiVac USA Sputtering Cathode. Heater. APC Throttle Valve Kao Duen Vacuum Parts... US Inc USA CIRCULAR SPUTTERING CATHODE : 1.3 " - 6" 濺鍍源 US Inc USA UHV SUB. HEATER 950 : 2" - 6" 基板加熱載台 MeiVac USA APC THROTTLE VALVE 6"-35" 自動壓力控制器
RF/DC Plasma Generator Seren / Huttinger RF Plasma Generator : 300-5000W RF 電漿電源供應器 AE DC Plasma Generator : 500 W - 10 KW DC 電漿電源供應器
Sycon USA 膜厚控制器 <> Sycon USA Thickness Monitor and Controller 膜厚顯示及控制器
Duniway USA 真空計 Duniway USA Vacuum gauges 真空計 Ion / dual convectron ( 3 in 1 ) Cold Cathode Full Range Gauge Hot Filament Full Range Gauge Capacitor Gauge Convectron / TC Gauge
Mass Flow Controller 氣體流量控制器及讀表 Mass Flow Controller 氣體流量計 KD MFC Readout 1 / 2 / 4 CH Set / Actual Flow Dual Displaies Fitting for Brooks, MKS, Acer, Tylan, Unit, Sierra, Hasting, Lintec etc.,
Turbo Pump Osaka Japan 渦輪分子幫浦 Turbo Molecular Pumps Pumping Rate : ( N2 L / Sec ) 51, 220, 350, 450, 820, 110 1400, 2400. Flange : CF, ISO, VG etc.,
MPF USA Power. TC Feedthrough, View Port MPF USA 真空導入端子 Power / RF Feedthrough View Ports 00. Power / TC Feedthrough BNC / SHV Feedthrough Power Connection etc.,
A&N USA Vacuum Parts A&N USA 各式真空元件 Manual / Penu. Gate Valve Vacuum Parts : Flange, Bellow, Valves, View P Power Feedthrough, Parts... et
Vacuum Sensor Head Sensor Gauges 各式真空計感測器 Hot Filaments Gauge Tubes Thermocouple Gauge Tubes Convectron Gauge Tubes MKS Capacitor Gauge Tubes GP,MKS,Varian,Edwards Sensors
Crystal Crystal 石英振盪晶片 5 / 6 MHZ Cu / Silver Coating Dia. 0.49" / 0.50" 可適用於 : ULVAC, Maxtek, Inficon, Balzers, Sycon etc.,
Spinner Germany RF Connector. Cable Spinner RF / DC 各式接頭及纜線 Connector : N, HN, 7/16 etc., Cables : RG214, 393, 5U, 8U... RF Switch 50 Ohm RF Dummy Load
TE USA 磁控傳輸手臂 Transfer Engineering USA UHV / HV 磁控真空傳輸手臂 Magnetic Manipulator Linear Magnetic Manipulator Rotary
實驗型真空鍍膜系統, 元件的最佳選擇. Included Sales and Services 高敦科技股份有限公司 http://www.kaoduen.com.tw
Thanks!