CrystAlign 用 户 友 好 型 EBSD 系 统 QUANTAX CrystAlign EBSD 分 析 系 统 面 向 不 同 水 平 的 用 户, 具 有 简 洁 易 用 和 多 功 能 的 特 点 无 论 是 单 机 分 析 还 是 与 EDS 一 体 化 集 成,CrystAlig

Reinventing EBSD QUANTAX CrystAlign Innovation with Integrity EBSD

CrystAlign 用 户 友 好 型 EBSD 系 统 QUANTAX CrystAlign EBSD 分 析 系 统 面 向 不 同 水 平 的 用 户, 具 有 简 洁 易 用 和 多 功 能 的 特 点 无 论 是 单 机 分 析 还 是 与 EDS 一 体 化 集 成,CrystAlign 均 能 为 各 种 不 同 晶 体 材 料 的 研 究 提 供 更 大 的 通 用 性 和 灵 活 性 其 中, 高 性 能 e Flash 系 列 EBSD 探 头 是 该 系 统 极 为 重 要 的 组 成 部 分 Bruker 非 常 注 重 e Flash 系 列 探 测 器 的 设 计, 结 合 自 身 在 电 子 显 微 镜 设 备 领 域 数 十 年 的 开 发 经 验 和 对 用 户 需 求 的 深 入 了 解,e Flash 系 列 探 测 器 具 有 非 常 出 色 的 可 用 性 和 安 全 特 性, 并 支 持 从 高 速 到 高 分 辨 高 灵 敏 度 的 EBSD 应 用 Indexing speed and precision of the e Flash 1000 e Flash 1000 专 注 于 高 速 EBSD 分 析 e Flash 1000 是 迄 今 市 场 上 速 度 最 快 的 EBSD 探 测 器 8x8 面 元 模 式 下, 该 探 测 器 提 供 无 与 伦 比 的 850patterns/s 的 采 集 速 度 ;4x4 面 元 模 式 下, 采 集 速 度 可 达 630patterns/s 与 其 他 EBSD 系 统 相 比 较, 该 速 度 是 当 前 行 业 内 最 快 的 速 度 (8x8 面 元 ) 该 EBSD 探 测 器 深 刻 表 明 : 速 度 准 确 度 和 精 确 度 可 兼 得, 即 使 在 最 高 采 集 速 度 下 也 能 保 证 准 确 的 相 辨 别 取 向 识 别 的 精 确 度 也 是 e Flash 1000 的 标 准 特 征 右 侧 的 取 向 差 图 描 绘 图 可 很 好 的 印 证 在 原 生 分 辨 率 (640x480 像 素 ) 条 件 下,e Flash 1000 采 集 速 度 可 达 210patterns/s 上 图 : 奥 氏 体 样 品 4x4 面 元,620patterns/s 高 速 速 测 量, 沿 白 线 ( 箭 头 所 示 ) 的 取 向 差 描 绘 图 显 示 : 取 向 噪 声 优 于 0.4 下 图 : 奥 氏 体 样 品 的 原 始 面 分 布 ( 无 数 据 清 理 过 滤 ) 采 集 速 度 达 845patterns/s, 零 解 析 比 低 于 2.7%

EBSD 分 析 领 域 的 杰 出 者 :Bruker e Flash 系 列 e Flash HR 专 注 于 高 分 辨 分 析 高 分 辨 EBSD 探 测 器 是 高 速 EBSD 探 测 器 的 有 效 市 场 补 充 Bruker 的 e Flash HR 高 分 辨 EBSD 探 测 器 具 有 1600x1200 像 素 的 原 生 分 辨 率, 其 提 供 具 有 惊 人 细 节 的 花 样 图 像 e Flash HR 高 分 辨 EBSD 探 测 器 具 有 花 样 分 辨 率 和 超 高 信 号 灵 敏 度, 能 胜 任 材 料 分 析 中 复 杂 而 艰 难 的 分 析 任 务, 例 如 : 低 束 流 工 作 低 kv 工 作 导 电 性 差 的 样 品 纳 米 材 料 伪 对 称 性 的 分 析 晶 格 应 变 研 究 EBSD 系 统 通 过 倾 转 探 测 器 达 到 屏 幕 的 竖 直 方 向 移 动, 可 捕 捉 到 最 佳 的 信 号 系 统 可 自 动 读 取 探 测 器 的 倾 转 角 度, 并 在 探 测 器 优 化 校 准 时 作 为 参 数 考 虑 在 EBSD 和 EDS 同 步 检 测 时, 竖 直 屏 幕 方 位 的 调 整 更 具 优 势, 是 得 到 最 佳 可 能 测 量 条 件 的 前 提 e Flash HR HR high resolution EBSD patterns 保 证 原 生 分 辨 率 1600x1200 像 素 条 件 下, 探 测 器 的 分 析 速 度 高 达 35 patterns/s 最 大 面 元 (20x20) 条 件 下,e Flash HR 的 分 析 速 度 可 达 170patterns/s 这 使 它 成 为 当 前 行 业 内 最 快 的 高 分 辨 率 EBSD 探 测 器 竖 直 屏 幕 方 位 的 原 位 调 节 该 功 能 是 e Flash 探 测 器 独 有 的 特 征 在 电 镜 真 空 环 境 下, 当 探 测 器 处 于 工 作 位 置 时, 竖 直 屏 幕 方 位 具 有 灵 活 的 角 度 调 节 能 力 在 采 集 设 置 过 程 中, 它 对 信 号 的 优 化 和 调 整 工 作 距 离 非 常 有 帮 助, 能 给 予 用 户 前 所 未 有 的 灵 活 性 和 舒 适 度 由 于 背 散 射 电 子 的 空 间 分 布 取 决 于 许 多 因 素, 如 工 作 距 离 和 密 度 等, 使 用 机 械 装 置 来 补 偿 由 这 些 参 数 的 变 化 而 引 致 的 影 响 是 非 常 方 便 的 上 图 : 黄 铁 矿 的 高 分 辨 率 花 样 ( 硫 化 铁,FeS2) 下 图 : 黄 铁 矿 花 样 的 细 节

竖 直 屏 幕 调 节 中 间 的 图 像 显 示 : 屏 幕 位 置 最 佳 时 的 原 始 图 像 左 侧 和 右 侧 图 像 显 示 : 屏 幕 位 置 太 低 或 太 高 这 将 导 致 处 理 后 花 样 图 像 分 别 在 下 半 部 分 或 上 半 部 分 的 高 噪 声 独 有 的 安 全 特 性 e Flash 探 测 器 具 有 密 封 的 机 壳, 所 有 的 移 动 部 件 内 置, 切 实 避 免 由 移 动 部 件 引 起 的 不 必 要 的 损 害 探 测 器 安 装 仅 需 三 根 导 线, 两 根 以 太 网 (RJ45) 双 绞 线 分 别 用 于 信 号 传 输 和 探 测 器 控 制, 第 三 条 导 线 用 于 供 电 导 线 固 定 安 装, 避 免 导 线 之 间 的 缠 绕 和 外 部 损 伤 常 简 便, 如 屏 幕 被 划 伤 或 损 坏, 用 户 也 可 以 轻 松 的 自 行 更 换 灵 活 性 适 合 任 何 分 析 环 境 和 任 务 e Flash 探 测 器 具 有 非 常 大 的 伸 入 长 度, 对 于 当 前 最 大 样 品 腔 的 电 镜, 也 适 合 安 装 快 速 的 探 测 器 移 动 速 度 和 定 位 的 精 准 性, 对 于 3D EBSD 等 的 高 重 复 性 任 务 非 常 实 用 EBSD 外 壳 顶 部 标 配 蓝 色 LED 指 示 器, 无 论 探 测 器 是 否 关 闭, 实 时 显 示 磷 屏 位 置 该 设 计 可 有 效 避 免 磷 屏 与 SEM 样 品 腔 中 的 部 件 发 生 碰 撞 而 导 致 磷 屏 损 坏 的 风 险 一 旦 发 生 碰 撞, 快 速 回 缩 机 制 会 立 刻 触 发, 将 EBSD 探 测 器 以 10mm/s 的 速 度 移 出 样 品 腔 磷 屏 更 换 非

革 命 性 的 ARGUS 前 置 / 后 置 背 散 射 电 子 成 像 系 统 Forescattered electron detectors add color to microstructures 左 图 : 使 用 前 置 背 散 射 ( 在 屏 幕 下 方 ) 和 前 置 背 散 射 ( 在 屏 幕 上 方 ) 电 子 探 测 器 的 成 像 系 统 基 于 样 品 经 最 优 化 后, 捕 捉 最 大 信 号 中 间 图 : 高 速 钢 样 品 的 背 散 射 电 子 图 像 : 显 示 基 体 和 析 出 物 这 些 析 出 物 由 于 较 高 的 密 度 而 显 得 明 亮 右 图 : 相 同 区 域 的 高 速 钢 样 品, 经 彩 色 编 码 的 取 向 衬 度 图 : 使 用 前 散 射 电 子 探 测 器 显 示 微 结 构 细 节 e Flash 系 列 探 测 器 均 可 选 择 性 的 配 置 布 鲁 克 专 有 的 ARGUS 前 置 / 后 置 背 散 射 成 像 系 统 (e Flash 1000+ / e Flash HR+ ) 在 做 EBSD 分 析 时, 位 于 磷 屏 上 方 的 背 散 射 电 子 探 头 (BSE) 可 提 供 相 密 度 信 号,SEM 自 身 配 置 的 BSE 探 头 由 于 相 反 的 几 何 角 度 而 无 法 提 供 有 效 帮 助 位 于 磷 屏 下 方 三 个 FSD 探 头 水 平 排 列, 是 一 种 创 新 的 设 计 方 式 由 于 背 散 射 电 子 携 带 的 取 向 信 息 呈 高 度 的 各 向 异 性, 该 FSD 探 头 组 能 获 取 不 同 强 度 的 背 散 射 电 子 自 动 设 置 和 彩 色 编 码 产 生 高 衬 度 彩 色 图 像, 该 彩 色 图 像 能 显 示 甚 至 最 微 小 的 取 向 变 化 该 图 像 的 采 集 与 BSE 检 测 具 有 相 同 的 速 度 所 有 电 子 元 件 都 置 于 探 测 器 外 壳 内 部, 确 保 最 小 的 信 号 损 失 颜 色 显 示 更 详 细 的 样 品 微 结 构 信 息 ARGUS FSE 探 头 组 显 示 信 息 更 丰 富 的 彩 色 图 像, 而 传 统 探 测 器 仅 显 示 灰 度 图 像 自 然,ARGUS 生 成 的 彩 色 编 码 图 像 更 容 易 检 测 任 何 的 取 向 差 别, 如 图 所 示 : 镍 样 品 的 彩 色 图 像

EBSD 的 ESPRIT 软 件 在 开 发 复 杂 分 析 系 统 ( 如 CrystAlign) 时, 最 大 的 挑 战 是 在 简 化 操 作 的 同 时 不 限 制 其 操 作, 使 得 经 验 丰 富 的 专 家 和 入 门 用 户 都 能 够 容 易 并 最 大 效 率 地 控 制 采 集 和 后 处 理 软 件 选 择 两 个 主 要 的 方 式 来 实 现 该 目 标 : 首 先, 自 动 化 特 性 处 理 耗 时 任 务 并 且 简 化 操 作 ; 其 次, 将 所 有 分 析 技 术 都 集 成 在 单 个 用 户 界 面, 将 所 有 软 件 部 件 的 操 作 统 一 起 来 信 号 助 手 信 号 助 手 是 一 个 自 动 化 软 件 工 具 它 将 CCD 相 机 调 节 到 最 优 的 曝 光 时 间 来 获 得 必 要 的 花 样 质 量, 从 而 为 菊 池 带 的 检 测 提 供 最 佳 的 条 件 当 然, 用 户 通 过 软 件 配 置 的 手 动 调 节 方 式 也 可 得 到 目 的 这 样 确 定 的 设 置 很 稳 定, 仅 当 电 子 束 能 量 或 探 测 器 位 置 和 样 品 位 置 发 生 改 变 时, 才 有 必 要 重 新 调 节 如 果 花 样 分 辨 率 ( 面 元 ) 发 生 改 变, 那 么 采 集 时 间 会 自 动 与 之 匹 配 复 杂 的 校 准 已 成 为 过 去 式 为 了 对 衍 射 花 样 进 行 正 确 解 读, 我 们 必 须 知 道 所 谓 的 花 样 中 心 确 定 花 样 中 心 的 过 程 被 称 之 为 校 准 要 最 精 确 的 获 取 晶 体 学 取 向 和 正 确 的 相 辨 别, 那 么, 对 花 样 中 心 的 了 解 必 不 可 少 信 号 助 手 的 功 能 原 理 CrystAlign 使 用 迭 代 花 样 拟 合 的 校 准 方 法 对 系 统 进 行 自 动 校 准, 它 是 行 业 内 唯 一 具 备 该 功 能 的 EBSD 系 统 CrystAlign 自 动 读 取 倾 转 角 和 探 测 器 位 置 当 出 现 这 些 参 数 无 法 读 取 的 特 殊 情 况 时, 校 准 助 手 允 许 用 户 手 动 输 入 参 数 该 助 手 也 可 使 用 当 前 样 品, 而 无 需 标 样 仅 当 几 何 参 数 ( 不 包 括 工 作 距 离 ) 改 变 时, 才 有 必 要 对 系 统 进 行 重 新 校 准 如 果 系 统 基 于 错 误 的 校 准 数 据 做 的 测 量,CrystAlign 可 进 行 离 线 重 新 校 准, 随 后 再 对 EBSD 数 据 集 进 行 校 正 立 刻 开 始 - 无 所 不 知 其 他 商 用 EBSD 分 析 系 统 在 数 据 采 集 前, 用 户 可 能 需 要 设 置 更 多 额 外 的 信 息 : 如 用 于 标 定 的 菊 池 带 数 目 Hough 分 辨 率 模 拟 和 实 验 花 样 比 较 的 准 确 度 极 限 值 等 等 这 样 的 信 息 这 对 于 用 户, 甚 至 是 经 验 丰 富 的 用 户 来 说 也 是 难 以 提 供 的 如 果 牵 涉 到 某 些 未 知 相 的 话, 更 是 如 此 基 于 CrystAlign 系 统, 额 外 的 设 置 仅 限 于 相 的 选 择, 所 有 的 其 他 信 息 均 可 从 在 完 成 相 选 择 后 自 动 读 取 实 际 上, 甚 至 在 某 个 单 相 未 知 的 情 况 下, 系 统 也 可 开 始 测 量 探 测 到 的 菊 池 带 位 置 可 在 采 集 完 成 后 用 于 花 样 解 读 ( 包 括 校 准 ), 并 且 没 有 限 制 1. 原 始 信 号 最 优 化 曝 光 不 足 优 化 的 原 始 图 像 曝 光 过 度 2. 花 样 图 像 处 理 多 功 能 校 准 助 手 的 截 屏 具 有 最 佳 亮 度 / 对 比 度 和 解 析 花 样 的 图 像

为 速 度 而 建 如 感 兴 趣 的 区 域 小 于 视 场 或 具 有 不 规 则 形 状, 用 户 可 选 择 任 意 区 域 进 行 分 析 该 特 性 对 于 最 小 化 漂 移 现 象 也 有 帮 助 花 样 流 - 最 大 速 度 和 灵 活 性 术 语 花 样 流 描 述 的 是 : 将 取 向 分 布 图 中 每 个 测 量 点 的 EBSD 花 样 以 单 个 文 件 形 式 在 存 储 介 质 上 临 时 存 储 的 过 程, 同 时 用 户 也 可 选 择 性 的 存 储 EDS 的 谱 图 它 是 CrystAlign 的 独 有 功 能 该 技 术 使 得 在 数 据 采 集 过 程 中, 实 时 显 示 试 验 数 据 变 得 可 能, 用 户 可 实 时 监 控 和 检 测 数 据 在 测 试 完 成 后, 用 户 可 选 择 性 的 保 存 连 同 菊 池 带 位 置 相 和 取 向 信 息 一 起 的 花 样 / 谱 图 用 户 也 可 选 择 性 的 像 常 规 做 法 一 样 删 除 实 验 数 据, 仅 保 存 解 析 方 法 保 留 实 验 数 据 对 于 随 后 使 用 不 同 方 式 进 行 菊 池 带 探 测 / 谱 图 定 量 非 常 有 用 此 外, 如 果 存 在 未 知 相, 在 离 线 相 识 别 过 程 中 使 用 原 始 花 样 也 是 非 常 有 帮 助 先 进 的 花 样 解 读 EBSD 系 统 成 功 的 关 键 在 于 正 确 的 菊 池 带 探 测 以 及 完 善 的 标 定 算 法 如 果 局 部 的 取 向 标 定 失 败, 那 么 通 常 沿 着 晶 界 或 相 界 会 出 现 花 样 重 叠, 因 为 在 这 种 情 况 下, 探 测 到 的 菊 池 带 属 于 两 个 花 样, 指 派 给 某 个 取 向 / 相 就 不 是 那 么 简 单 了 CrystAlign 使 用 完 善 的 菊 池 带 探 测 和 强 大 的 标 定 算 法, 即 使 在 高 速 设 置 下 或 是 遇 到 重 叠 花 样 也 很 少 失 败 这 是 正 确 解 读 取 向 数 据 最 重 要 的 先 决 条 件 这 意 味 CrystAlign 对 于 大 多 数 的 应 用 无 需 数 据 清 理 ( 数 据 过 滤 ), 数 据 清 理 ( 数 据 过 滤 ) 一 直 都 存 在 数 据 错 误 或 偏 差 的 风 险 无 缝 集 成 - 舒 适 操 作 ESPRIT 软 件 完 美 集 成 EBSD 和 EDS 两 种 不 同 但 互 补 的 技 术, 允 许 操 作 者 在 同 一 平 台 执 行 不 同 的 分 析 任 务, 不 用 在 各 个 不 同 程 序 之 间 不 停 的 切 换, 极 大 的 减 少 繁 琐 的 操 作 只 需 单 击 鼠 标, 即 可 实 现 EBSD 和 EDS 之 间 的 切 换, 亦 可 实 现 EBSD 分 析 平 台 的 不 同 任 务 模 式 之 间 的 切 换 同 一 软 件 平 台 的 两 种 不 同 技 术 结 合, 通 过 更 高 的 速 度 来 提 高 效 率, 改 进 数 据 质 量 和 所 有 的 处 理 过 程, 使 得 对 结 果 的 理 解 变 得 更 容 易 EBSD map of a resin-embedded copper wire

使 用 透 射 菊 池 花 样 ( TKD) 技 术 的 EBSD 分 析 基 于 TKD 技 术 的 EBSD 分 析 众 所 周 知,EBSD 技 术 是 适 用 于 绝 大 多 数 的 结 晶 材 料, 除 非 结 晶 材 料 的 晶 粒 / 组 织 直 径 小 于 约 100 纳 米 EBSD 技 术 受 每 个 特 定 实 验 案 例 的 空 间 分 辨 率 的 限 制 降 低 电 子 束 的 加 速 电 压, 可 得 到 较 好 的 空 间 分 辨 率 然 而, 当 前 仍 然 有 很 多 的 材 料 很 难 用 EBSD 技 术 来 表 征 现 在,Bruker 将 透 射 菊 池 衍 射 ( TransmissionKikuchi Diffreacion, TKD ) 技 术 引 进, 与 EBSD 技 术 一 样 基 于 SEM 平 台, 在 获 得 相 同 类 型 结 果 的 同 时, 该 TKD 技 术 能 将 空 间 分 辨 率 提 高 一 个 数 量 级 TKD 技 术 对 EBSD 的 硬 件 和 软 件 配 置 有 较 高 要 求, 对 样 品 也 有 一 定 要 求 待 测 样 品 必 须 足 够 的 薄, 保 证 电 子 束 的 穿 透, 如 TEM 薄 片 样 品 右 侧 : 基 于 TKD 技 术 的 自 动 面 分 布 同 时 使 用 标 准 EBSD 和 TKD 技 术 获 得 的 结 果 图 像 EBSD 结 果 是 在 7kV 加 速 电 压 条 件 下, 使 用 30nm 步 长 得 到 ;TKD 结 果 是 在 30kV 加 速 电 压 条 件 11nm 步 长 得 到 面 分 布 结 果 无 任 何 的 数 据 清 理 过 滤 样 品 : 具 有 超 精 细 晶 粒 的 硅 ( Si) 薄 膜, 在 玻 璃 基 底 上 沉 积 QUANTAX CrystAlign EBSD 能 使 用 TKD 技 术 做 自 动 取 向 面 分 布 软 件 的 TKD 模 式 具 有 非 常 好 的 用 户 界 面, 并 能 采 集 高 质 量 的 数 据, 而 不 需 担 心 用 户 的 使 用 经 验 QUANTAX CrystAlign 的 ARGUS FSE/BSE 成 像 系 统 在 行 业 内 独 一 无 二 它 能 以 史 无 前 例 的 分 辨 率 得 到 样 品 的 取 向 比 图 像 Impressive indexing accuracy 左 图 : 奥 氏 体 钢 的 高 速 取 向 分 布 图 的 原 始 数 据 (630 patterns/s,4x4 面 元, 零 解 析 比 0.1%) 右 图 : 左 图 中 黑 框 的 放 大 图, 清 楚 地 显 示 : 沿 晶 界 或 相 界 的 标 定 与 晶 粒 内 的 标 定 很 准 确, 与 其 他 区 域 一 样

快 速 一 体 化 的 EBSD 和 EDS: 轻 松 整 合 所 有 测 试 动 面 分 布 的 速 度 可 达 520points/s CrystAlign 既 可 保 存 EBSD 系 统 得 到 的 物 相 / 取 向 信 息, 同 时 也 可 保 存 面 分 布 中 每 个 像 素 点 的 完 整 EDS 谱 图 信 息 ( 全 息 元 素 面 分 布 ) 两 种 不 同 分 析 技 术 结 合 CrystAligh 软 件 的 处 理 速 度, 能 为 用 户 提 供 丰 富 的 信 息, 使 得 Bruker EBSD/EDS 系 统 成 为 材 料 表 征 的 强 大 工 具 因 此,EBSD/EDS 同 步 分 析 所 采 集 的 数 据 集 可 用 于 : 基 于 EDS 的 物 相 鉴 定 EDS 拥 有 极 其 快 速 的 定 量 步 骤,CrystlAlign 软 件 可 使 用 EDS 的 信 息 来 区 分 具 有 相 似 EBSP 花 样 的 不 同 相 ; 在 数 据 采 集 过 程 中 或 离 线 再 分 析 过 程 中, 都 可 使 用 该 功 能, 不 会 降 低 系 统 速 度 快 速 EBSD/EDS 同 步 测 量 材 料 高 效 表 征 的 保 证 艺 术 级 的 高 通 量 硅 漂 移 (SDD)EDS 探 测 器 和 Bruker 在 数 据 转 换 / 保 存 方 面 的 革 新 创 意 的 结 合, 使 得 EBSD/EDS 同 步 测 试 具 有 更 高 速 度 例 如 结 合 XFlash 5030 EDS 探 测 器, 自 离 线 物 相 鉴 定 使 用 先 进 的 交 互 式 物 相 识 别 步 骤, 用 户 可 轻 松 快 速 的 鉴 别 漏 标 / 未 知 的 物 相 使 用 完 整 / 正 确 的 相 列 表 可 随 时 对 原 始 数 据 进 行 再 分 析 由 于 CrystlAlign 软 件 具 有 难 以 置 信 的 再 分 析 速 度 ( 比 完 整 的 新 数 据 测 量 速 度 提 高 2 个 数 量 级 ), 数 据 再 分 析 过 程 仅 需 要 若 干 秒 或 若 干 分 钟 即 可 完 成 该 分 析 过 程 完 全 离 线, 不 占 用 任 何 电 镜 时 间 EBSD/EDS 同 步 分 析, 得 到 更 多 有 价 值 的 信 息 左 : 摩 擦 焊 接 的 Cu-Al 金 属 条 的 原 始 花 样 质 量 取 向 分 布 图 : Phase map" 采 集 ( 无 任 何 数 据 清 理 过 滤 ) 分 布 图 的 大 部 分 区 域 被 标 定 为 Al( 蓝 色 ), 而 实 际 试 样 只 有 右 上 角 位 置 是 Al 发 生 误 标 定 的 原 因 是 仅 仅 依 靠 EBSD, 很 难 分 辨 Cu 和 Al 右 : 正 确 的 花 样 质 量 取 向 分 布 图 :EDS 对 Cu Al 的 再 分 析 和 EBSD 离 线 标 定 通 过 离 线 标 定, 新 发 现 金 属 间 的 相 (Al 4Cu 9, 绿 色 )

仅 需 一 键 点 击, 即 可 得 到 详 细 的 晶 体 学 信 息 无 与 伦 比 的 快 速 再 标 定 使 用 复 杂 的 检 索 算 法 和 强 大 的 现 代 编 程 技 术,CrystlAlign 能 以 无 与 伦 比 的 速 度 进 行 EBSD 数 据 集 的 再 标 定 单 个 取 向 面 分 布 再 标 定 速 度 高 达 54,000Points/s CrsytlAlign 是 当 前 行 业 内 唯 一 可 在 数 据 收 集 过 程 中 对 多 个 取 向 进 行 同 步 标 定, 且 不 会 导 致 处 理 速 度 变 慢 的 EBSD 系 统 大 大 的 节 约 SEM 的 使 用 时 间 轻 松 得 到 所 有 的 测 试 信 息 用 户 可 在 EBSD 的 两 个 标 准 工 作 区 之 间 快 速 切 换 在 采 集 模 式 下, 包 含 SEM 图 像 采 集 物 相 列 表 和 显 示 取 向 面 分 布 和 点 信 息 的 自 由 切 换 窗 快 速 数 据 标 定 的 另 一 个 重 大 优 势 是 可 极 快 速 的 进 行 数 据 集 的 再 分 析 应 用 中 最 常 见 的 实 例 是 : 在 面 分 布 数 据 刚 刚 采 集 完 成, 发 现 有 一 个 或 多 个 物 相 需 要 再 添 加, 相 识 别 必 须 以 离 线 方 式 重 新 处 理 在 确 定 当 前 所 有 物 相 后, 快 速 再 标 定 将 会 保 留 一 个 完 整 / 正 确 的 数 据 集, 而 不 需 要 重 新 采 集 数 据, 故 而 采 集 模 式 下 的 EBSD 用 户 界 面 的 截 图 : 双 相 钢 的 取 向 分 布 图, 包 含 4 种 相 叠 加 在 左 上 角 的 是 花 样 解 读 对 话 框 这 个 实 例 详 细 的 显 示 出 实 验 花 样 图 和 当 前 光 标 位 置 的 取 向 解 析 ( 见 当 前 大 尺 寸 取 向 分 布 图 中 的 鼠 标 位 置 ) 右 边 的 花 样 图 不 是 第 二 次 实 验 花 样, 而 是 动 态 衍 射 理 论 模 拟 ( 实 时 显 示 ) 该 模 拟 方 法 非 常 精 确

软 件 包 含 多 样 化 的 选 项 对 采 集 的 数 据 质 量 进 行 确 认, 并 对 分 析 结 果 进 行 全 方 位 的 验 证 无 论 在 测 试 过 程 中 还 是 在 离 线 分 析 中, 用 户 都 可 实 时 访 问 面 分 布 上 任 何 点 的 详 细 信 息 在 面 分 布 的 任 意 光 标 位 置, 实 时 解 读 对 话 框 提 供 以 下 信 息 : 试 样 花 样 图 探 测 到 的 菊 池 带 和 与 以 颜 色 表 示 的 相 所 对 应 的 取 向 解 晶 包 取 向 的 3D 观 察 (Orientation) 花 样 的 Hough 变 换 和 探 测 的 峰 值 位 置 (Hough) EDS 谱 图 (EBSD/EDS 数 据 同 步 采 集 ) 基 于 运 动 学 和 动 力 学 理 论 的 花 样 模 拟 另 外, 软 件 以 图 像 形 式 来 显 示 花 样 质 量 标 定 和 欧 拉 角 度 在 评 估 模 式 下, 共 享 工 作 区 可 显 示 取 向 面 分 布 和 取 向 显 示 工 具 ( 如 极 图 PF 反 极 图 IPF 或 ODF) 之 间 的 相 互 关 系 因 此, 每 个 所 选 相 的 取 向 分 布 都 与 EBSD 面 分 布 同 步 关 联 在 面 分 布 中, 鼠 标 当 前 所 指 位 置 像 素 点 的 取 向 会 在 每 个 极 图 中 突 出 显 示 (Highlight) 出 来 面 分 布 窗 口 下 有 信 息 条, 它 包 含 所 有 有 效 的 面 分 布 缩 微 图 点 击 缩 微 图 可 在 结 果 显 示 窗 口 中 显 示 相 关 的 面 分 布 系 统 提 供 很 多 取 向 显 示 选 项, 来 对 数 据 集 进 行 全 面 的 解 读 例 如 : 花 样 质 量 面 分 布 反 极 图 分 布 欧 拉 角 分 布 施 密 特 因 子 分 布 不 同 取 向 差 分 布 晶 界 和 相 界 描 绘 同 时, 系 统 还 提 供 大 量 其 他 工 具, 如 对 每 个 相 的 晶 粒 尺 寸 分 布 的 直 方 图 表 示 等 相 似 细 微 结 构 也 可 在 极 图 窗 口 中 发 现 用 户 还 可 添 加 自 定 义 的 极 图 和 反 极 图 (IPF) 所 选 标 签 可 与 每 一 个 相 细 节 信 息 对 应 预 定 义 的 极 图 可 以 是 相 和 劳 厄 群 特 性, 并 显 示 相 关 极 点 的 取 向 分 布 评 估 模 式 下,EBSD 软 件 同 步 显 示 叠 加 的 面 分 布 图 和 极 图 测 量 过 程 中, 所 有 特 征 信 息 自 动 更 新

在 采 集 过 程 中, 所 有 的 面 分 布 和 极 图 显 示 都 动 态 实 时 刷 新 面 分 布 和 极 图 都 可 全 屏 显 示 另 外, 极 图 在 CrystAlign 中 既 能 2D 显 示, 也 能 以 投 影 方 式 在 单 位 球 面 上 3D 显 示 由 于 每 个 晶 格 面 {hkl} 的 密 度 分 布 的 差 异, 在 单 位 球 实 时 转 动 过 程 中, 可 快 速 无 扭 曲 的 取 向 分 布 预 览 3D 极 图 先 进 友 好 的 相 编 辑 器 和 相 搜 索 人 们 在 成 功 使 用 EBSD 的 同 时, 对 所 研 究 的 相 的 晶 体 学 描 述 必 不 可 少 CrysAlign 软 件 包 含 强 大 的 相 编 辑 器, 所 有 相 关 晶 体 学 数 据 都 向 用 户 开 放 相 编 辑 器 的 主 要 特 征 是 对 晶 胞 中 的 原 子 排 列 进 行 可 视 化 的 模 拟 以 及 对 探 测 到 的 EBSD 花 样 进 行 模 拟 衍 射 花 样 和 晶 体 结 构 显 示 相 关 联, 以 便 用 户 在 对 晶 胞 的 实 时 转 动 过 程 中 可 直 观 化 的 观 察 到, 有 些 菊 池 带 比 其 他 带 信 号 更 强 的 原 因 菊 池 带 的 强 度 模 拟 基 于 运 动 学 理 论 (Kinematic Theory), 它 包 含 一 个 经 改 进 的, 对 菊 池 带 亮 度 进 行 预 估 的 模 型, 尤 其 是 对 菊 池 带 交 叉 位 置 的 预 估 模 拟 EBSD 花 样 可 在 球 面 上 作 为 一 个 投 影 显 示, 也 可 在 屏 幕 上 作 为 一 个 投 影 显 示, 所 以 它 们 看 起 来 像 实 验 花 样 Hough 变 换 源 于 模 拟 花 样, 对 与 菊 池 带 探 测 的 理 解 和 花 样 解 释 有 很 好 的 帮 助 极 密 度 分 布 交 替 式 的 表 示 不 同 晶 面 在 球 面 上 的 投 影 透 视 球 体 ( 右 下 方 ) 显 示 样 品 参 考 坐 标 系,X 轴 ( 红 色 ) Y 轴 ( 绿 色 ) 和 Z 轴 ( 蓝 色 )

相 编 辑 器 显 示 : Sigma 金 属 间 相 的 晶 体 学 详 细 信 息 以 及 相 关 的 晶 体 结 构, 球 形 EBSP 和 反 相 器 列 表 CrysAlign 软 件 包 含 有 代 表 性 的 无 机 晶 体 结 构 数 据 库 (ICSD) 的 相, 也 包 含 绝 大 部 分 常 用 的 相 数 据 ( 布 鲁 克 自 有 数 据 库 ) 以 及 COD 文 件 同 时,CrystAlign 也 是 当 前 唯 一 能 兼 容 *.cif(crtstal Informatoin File) 格 式 文 件 的 系 统 用 户 可 自 由 的 导 入 数 据 文 件, 如 美 国 矿 物 晶 体 结 构 数 据 库 (AMCSD) 软 件 可 生 成 新 的 相 文 件, 支 持 对 现 有 相 文 件 修 改 和 保 存 相 搜 索 对 话 框 : 提 供 多 样 化 的 选 择 工 具, 快 速 在 晶 体 数 据 库 中 搜 索 相

仿 真 花 样 模 拟 模 拟 EBSD 花 样 观 察 窗 : 碳 化 铁 在 球 面 上 的 投 影 双 击 球 面 可 切 换 成 立 体 投 影 显 示, 相 当 于 实 验 花 样 电 子 在 晶 体 内 的 多 次 散 射 和 衍 射,EBSD 花 样 在 其 强 度 分 布 中 能 非 常 清 晰 的 显 示 动 态 效 果 由 于 其 复 杂 性, 直 到 现 在, 在 EBSP 模 拟 中 这 种 现 象 被 忽 略 掉 了, 并 且 单 个 衍 射 花 样 模 拟 所 花 的 时 间 需 要 以 若 干 小 时, 甚 至 天 来 计 数 取 而 代 之 的 是, 过 去 和 现 在 仍 然 使 用 一 种 简 化 的 运 动 学 理 论 (Kinematic Theory) 的 方 法, 这 种 方 法 对 于 复 杂 相 的 鉴 定 会 产 生 错 误 的 结 果, 而 使 用 者 不 得 不 接 受 该 方 法 的 不 足 之 处 它 忽 略 了 更 高 的 顺 序 效 应, 如 实 际 的 带 交 叉 尤 其 在 处 理 更 加 复 杂 相 时, 该 方 法 有 不 确 定 性 技 术 进 步 的 新 方 法 布 鲁 克 从 开 始 EBSD 研 发, 就 发 现 了 这 些 问 题, 并 依 靠 自 己 的 解 决 方 案 看 到 了 其 中 巨 大 的 潜 力 根 据 动 力 学 理 论 (Dynamic Theory), 布 鲁 克 研 发 出 了 一 套 针 对 花 样 模 拟 的 更 先 进 的 算 法 集 该 研 发 的 结 果 是 势 不 可 挡 : 不 仅 在 模 拟 方 面 得 到 极 大 的 延 伸, 而 且 与 其 他 模 拟 方 法 相 比 较, 布 鲁 克 的 花 样 模 拟 方 法 在 细 节 方 面 更 丰 富, 更 逼 近 真 实 比 较 于 传 统 ( kinematic) 花 样 模 拟 方 法, 布 鲁 克 的 方 法 最 大 的 区 别 是 极 大 的 改 进 了 带 强 度 的 预 测 同 时, 带 交 叉 亮 度 分 布 也 更 加 逼 近 实 际 此 外, 布 鲁 克 也 基 于 运 动 学 理 论 研 发 了 一 套 经 改 进 的 算 法, 用 于 快 速 强 度 的 预 测

将 仿 真 强 度 预 测 ( 动 态 花 样 模 拟 ) 作 为 选 择 软 件 嵌 入 到 EBSD 软 件 包, 布 鲁 克 是 第 一 家, 也 是 全 球 唯 一 的 一 家 商 用 EBSD 厂 商 轻 松 舒 适 的 应 用 操 作 软 件 可 对 匹 配 的 数 据 库 (ICSD, American Mineralogist) 中 的 晶 体 结 构 做 3D 模 拟 一 个 完 整 的 模 拟 ( 不 仅 仅 是 单 个 花 样 ) 只 需 若 干 秒 到 几 分 钟 即 可 完 成 实 际 持 续 时 间 取 决 于 若 干 因 素, 如 晶 体 结 构 的 复 杂 度 和 激 发 条 件 等 此 外, 计 算 好 的 花 样 可 作 为 球 面 EBSP 显 示 并 实 时 旋 转, 与 实 验 数 据 相 似 的 单 个 花 样 投 影 也 能 模 拟 总 之, 动 态 花 样 模 拟 可 用 于 : EBSD 花 样 结 构 的 基 本 理 解, 如 信 息 深 度 能 量 分 布 实 际 带 强 度 的 提 取 更 复 杂 相 的 晶 体 学 检 索 伪 对 称 参 考 花 样 的 生 成 : 相 识 别 与 鉴 定 点 群 测 定 ( 如 : 极 方 向 等 ) 晶 格 应 变 软 件 可 设 置 与 实 验 条 件 相 匹 配 的 参 数 如 加 速 电 压 花 样 分 辨 率 和 Reflectors 个 数 等 在 具 有 用 户 友 好 风 格 的 CrystAlign 软 件 中, 大 量 的 相 参 数 预 设 集 可 用 于 对 所 有 难 以 估 测 的 参 数 进 行 设 置, 甚 至 对 于 专 家 级 用 户, 也 很 适 用 适 合 新 手 用 户, 也 适 合 有 经 验 的 用 户 模 拟 EBSD 花 样 可 用 于 对 实 验 收 集 的 数 据 和 衍 生 取 向 进 行 便 捷 的 评 估 通 常, 这 种 模 拟 极 其 适 用, 因 为 它 是 熟 悉 EBSD 花 样 结 构 和 识 别 关 键 因 子 ( 如 大 量 必 须 考 虑 的 参 数 ) 的 唯 一 方 法 同 时, 一 旦 模 拟 方 案 针 对 实 验 条 件 设 置 好, 用 户 可 将 该 方 案 保 存 下 来, 无 限 制 的 再 使 用, 而 无 需 新 计 算 不 同 模 拟 结 果 与 实 验 结 果 的 比 较 快 速 强 度 预 测 实 验 花 样 仿 真 强 度 预 测 实 验 结 果 与 使 用 运 动 学 衍 射 理 论 ( 快 速 ) 和 动 态 衍 射 理 论 ( 实 际 ) 的 模 拟 结 果 比 较

All configurations and specifications are subject to change without notice. Order No. DOC-B82-EXS002, Rev. 4.0 2012 Bruker Nano GmbH. Printed in Germany. 技 术 规 格 无 与 伦 比 的 速 度, 准 确 度 和 灵 敏 度... 探 头 竖 直 方 向 原 位 可 调, 在 最 佳 信 号 条 件 中 具 有 最 大 的 灵 活 性 独 立 的 数 据 采 集, 花 样 流 速 率 高 达 630 patterns/s(4 x4 面 元 ),850 patterns/s(8 x8 面 元 )( e Flash 1000 高 速 探 头 ) e Flash HR 具 有 超 高 灵 敏 度 超 高 分 辨 率,EBSP 花 样 分 辨 率 高 达 1600x1200 pixels, 最 大 速 度 高 达 170 patterns/s EBSD 和 EDS 同 步 采 集 速 率 高 达 520 points/s ( 集 成 XFlash EDS 探 测 器 ) ARGUS 高 灵 敏 度 的 FSE/BSE 图 像 系 统 ( 选 配 ) 艺 术 级 的 光 学 系 统, 保 证 EBSP 的 最 小 畸 变 高 精 准 度 的 软 件 平 台, 精 确 控 制 探 头 位 置, 自 动 校 准 系 统 矩 形 磷 屏 设 计, 保 证 更 好 的 信 号 和 更 高 的 速 率, 磷 屏 封 装 在 锥 形 框 架 上, 允 许 EBSD/EDS 同 步 采 集 过 程 中, 得 到 更 短 的 探 头 / 样 品 距 离 LED 指 示 灯 显 示 探 头 的 实 际 位 置 和 其 他 各 种 安 全 功 能, 保 证 安 全 所 有 电 子 元 器 件 内 置 无 任 何 部 件 外 露, 保 证 稳 定 性 布 鲁 克 北 京 北 京 市 海 淀 区 中 关 村 南 大 街 11 号 光 大 国 信 大 厦 5 层 电 话 :+86 (10) 58333184/5/6 传 真 :+86 (10) 58333199 邮 件 :info@bruker-axs.cn www.bruker.com 布 鲁 克 上 海 上 海 市 漕 河 泾 开 发 区 桂 平 路 418 号 新 园 科 技 广 场 19 层 电 话 :+86 (21) 51720824 传 真 :+86 (21) 51720802 热 线 电 话 :400 810 9066 www.bruker.com.cn