微 纳 研 究 与 制 造 中 心 用 户 与 安 全 手 册 ( 版 本 号 1.0) 2014 年 3 月 中 国 科 学 技 术 大 学 安 徽 合 肥 230027

紧 急 电 话 号 码 医 疗 急 救 / 火 警 / 110 报 警 120/119/110 校 医 院 N.A. 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 中 控 值 班 室 6360-6449 非 工 作 时 间 厂 务 部, 周 成 刚 办 公 室 : 6360-7217 手 机 : 189-4986-0172 非 工 作 时 间 设 备 工 艺 部, 朱 学 林 办 公 室 : 6360-7807 手 机 : 130-8500-8020 非 工 作 时 间 行 政 办 公 室, 荣 皓 办 公 室 : 6360-6519 手 机 : 189-4985-6499

版 本 修 改 记 录 日 期 章 节 号 修 改 摘 要 人 员 字 母 简 写 2014.3 Ch1-4 Draft XLZHU 2014.3 Ch5 Draft CGZHOU 2014.3 Draft HRONG 2014.4 Version1.0 HRONG - I -

目 录 第 一 章 概 述... 1 第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍... 3 2.1 中 心 基 本 概 况... 3 2.2 平 台 运 行 理 念... 3 2.3 功 能 区 域 划 分... 4 2.4 用 户 申 请... 5 2.5 实 验 室 费 用 和 结 算... 6 第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程... 8 3.1 洁 净 室 更 衣 操 作 流 程... 8 3.2 个 人 防 护 操 作 流 程... 11 3.3 化 学 品 操 作 流 程... 12 3.4 废 弃 物 处 理... 13 3.5 清 洗 间 操 作 流 程... 14 3.6 设 备 基 本 流 程... 15 3.7 新 工 艺 批 准 流 程... 16 3.8 计 算 机 操 作 及 数 据 安 全... 16 第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程... 16 4.1 紧 急 和 安 全 事 件 处 理 的 基 本 原 则... 16 4.2 洁 净 室 安 全 设 施... 19 4.3 特 殊 气 体 安 全... 19 4.4 化 学 品 安 全... 20 4.3 防 火 安 全... 24 - II -

第 五 章 违 规 处 罚 条 款... 26 5.1 总 则... 26 5.2 违 规 行 为 界 定 及 处 罚 措 施... 26 5.3 执 行... 28 第 六 章 批 准 和 解 释... 29 - III -

第 一 章 概 述 第 一 章 概 述 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 是 我 校 秉 承 集 中 投 入 统 一 管 理 开 放 公 用 资 源 共 享 宗 旨 建 设 的 第 六 个 公 共 实 验 中 心, 中 心 集 微 米 纳 米 加 工 制 造 和 检 测 手 段 于 一 体, 是 推 动 微 纳 米 领 域 的 基 础 研 究 及 学 科 间 的 相 互 合 作 以 及 促 进 研 究 人 员 和 学 科 间 的 互 动 与 交 流 的 开 放 性 技 术 支 撑 平 台 中 心 对 校 内 外 科 研 用 户 企 业 研 发 机 构 开 放 用 户 经 过 申 请 和 培 训 考 核 和 授 权 以 及 预 约, 既 可 以 自 行 操 作 仪 器 设 备, 也 可 以 根 据 情 况 采 用 工 程 师 操 作 的 形 式 人 员 安 全 和 仪 器 设 备 的 正 常 运 行 是 中 心 的 首 要 工 作, 本 手 册 主 要 提 供 洁 净 室 用 户 基 本 操 作 流 程 和 安 全 防 护 等 有 关 规 定 为 保 障 用 户 的 人 身 安 全, 以 及 洁 净 室 微 纳 米 加 工 仪 器 设 备 的 正 常 运 行, 所 有 用 户 和 进 入 洁 净 室 的 人 员 ( 包 括 临 时 访 问 人 员 等 ) 有 义 务 仔 细 阅 读 和 准 确 理 解 本 手 册 的 相 关 规 定 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 将 根 据 情 况 定 期 和 不 定 期 的 安 排 用 户 与 安 全 培 训, 将 重 点 培 训 以 下 ( 不 限 于 ) 内 容 : 洁 净 室 基 本 知 识 基 本 服 装 要 求 行 为 准 则 安 全 规 定 和 操 作 流 程, 以 及 设 备 的 操 作 流 程 等 该 培 训 为 洁 净 室 管 理 的 强 制 性 规 定 之 一, 即 上 述 人 员 必 须 接 受 培 训 通 过 考 核 和 授 权 后 方 可 进 入 洁 净 室 用 户 与 安 全 培 训 仅 作 为 洁 净 室 的 基 本 要 求 其 他 培 训 ( 如 设 备 培 训 以 及 洁 净 室 施 工 培 训 等 ) 必 须 另 外 单 独 进 行, 平 台 根 据 用 户 的 需 求 另 行 安 排 仪 器 设 备 操 作 之 前 必 须 经 过 操 作 培 训 考 核 和 授 权 仪 器 设 备 使 用 遵 循 事 先 预 约 的 基 本 原 则 作 为 开 放 和 共 享 的 微 纳 米 加 工 技 术 支 撑 平 台, 用 户 要 严 格 遵 守 操 作 规 范, 防 止 工 艺 设 备 的 污 染 和 交 叉 污 染 洁 净 室 内 任 何 不 遵 守 标 准 操 作 流 程 (SOP) 和 安 全 防 护 的 行 为, 都 可 能 会 给 实 验 人 员 的 人 身 安 全, 以 及 设 备 的 正 常 运 行 带 来 严 重 的 影 响, 甚 至 造 成 重 大 人 员 安 全 事 故 禁 止 任 何 - 1 -

第 一 章 概 述 违 反 安 全 性 标 准 和 操 作 程 序 的 行 为, 中 心 将 依 照 规 定 对 肇 事 者 予 以 处 罚 此 外, 用 户 在 洁 净 室 内 应 进 行 规 范 性 专 业 性 操 作, 禁 止 任 何 不 当 个 人 行 为 一 经 发 现, 将 按 照 规 定 予 以 纠 正 或 者 处 罚 作 为 我 校 公 共 技 术 支 撑 平 台, 用 户 有 义 务 支 持 中 心 的 工 作, 如 论 文 成 果 的 署 名 和 致 谢 等 - 2 -

第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 2.1 中 心 基 本 概 况 现 有 的 微 纳 米 加 工 和 微 纳 米 表 征 洁 净 室 面 积 超 过 1200 平 方 米, 按 照 港 湾 式 (Bay/Chase) 洁 净 室 布 局 设 计, 即 实 验 洁 净 区 和 设 备 维 护 灰 区 分 开, 分 别 作 为 设 备 的 操 作 和 维 护 区 域, 使 得 实 验 环 境 更 加 的 简 洁 洁 净 室 千 级 区 的 温 度 稳 定 性 为 +/-1 /h, 百 级 区 为 +/-0.5 /h, 电 子 束 光 刻 区 域 为 +/-0.1 /h 实 验 室 的 微 震 标 准 按 照 美 国 NIST-A 设 计, 为 纳 米 级 加 工 和 表 征 提 供 技 术 保 障 微 纳 米 加 工 洁 净 室 设 备 包 含 光 刻 湿 法 和 干 法 蚀 刻 沉 积 扩 散 表 征 和 其 他 常 见 微 纳 米 加 工 设 备, 此 外 还 包 括 用 户 样 品 存 储 区 域 微 纳 米 表 征 实 验 室 包 含 先 进 的 表 面 分 析 仪 器, 如 近 场 光 学 显 微 镜, 聚 焦 离 子 束 / 电 子 双 束 系 统 等 用 户 办 公 室 和 其 他 公 共 区 域 为 用 户 办 公 和 学 科 交 流 活 动 提 供 便 利 2.2 平 台 运 行 理 念 中 心 用 户 应 至 少 维 持 一 项 在 中 心 注 册 并 有 效 的 科 研 项 目, 方 可 使 用 仪 器 设 备 开 展 微 纳 米 加 工 表 征 测 试 实 验, 以 及 与 其 他 中 心 用 户 交 流 实 验 室 的 设 备 通 常 对 所 有 用 户 开 放, 但 因 为 洁 净 室 施 工 和 维 护 洁 净 室 安 全 以 及 其 他 原 因 实 施 临 时 管 制 的 除 外 中 心 的 仪 器 设 备 使 用 实 行 收 费 制 度, 收 费 内 容 包 括 进 出 洁 净 室 的 基 本 消 耗 费 用, 设 备 使 用 费, 部 分 实 验 耗 材 的 使 用 费, 其 他 培 训 和 服 务 的 收 费 所 收 取 的 费 用 主 要 用 于 补 贴 设 备 维 - 3 -

第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 护 实 验 室 消 耗 以 及 其 他 相 关 支 出, 保 障 实 验 室 的 可 持 续 性 运 行 具 体 费 用 标 准 由 相 关 管 理 人 员 建 立, 交 由 管 理 委 员 会 批 准, 并 在 中 心 网 站 等 渠 道 公 布 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 是 一 个 由 中 国 科 学 技 术 大 学 投 资 建 设 的 先 进 的 开 放 的 微 纳 米 加 工 平 台 用 户 有 义 务 支 持 中 心 的 发 展, 包 括 致 谢 或 署 名 使 用 中 心 的 资 源, 提 供 年 度 研 究 报 告 和 出 版 物 信 息, 以 及 严 格 遵 守 中 心 的 相 关 管 理 规 范 等 2.3 功 能 区 域 划 分 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 的 用 户 功 能 区 域 主 要 包 括 : 微 纳 米 加 工 洁 净 室, 微 纳 米 表 征 实 验 室 和 办 公 会 议 区 域 此 外, 中 心 还 包 括 其 他 动 力 和 技 术 保 障 功 能 区 域 微 纳 米 加 工 洁 净 室 位 于 特 种 实 验 楼 裙 楼 的 一 楼, 由 实 验 洁 净 区 和 设 备 维 护 灰 区 组 成 室 内 空 气 按 百 级 (IOSClass5) 和 千 级 (IOSClass6) 等 级 净 化 设 计,100% 开 孔 高 架 地 板 确 保 室 内 空 气 为 层 流 形 式, 提 供 微 纳 米 科 学 研 究 所 需 的 洁 净 环 境 进 入 洁 净 室 需 依 次 经 过 第 一 更 衣 室 和 第 二 更 衣 室 ( 含 两 道 风 淋 室 ); 离 开 洁 净 室 依 次 经 过 第 二 更 衣 室 和 第 一 更 衣 室 ( 含 互 锁 门 ) 上 述 为 限 制 访 问 区 域 微 纳 表 征 实 验 室, 位 于 特 种 实 验 楼 主 楼 的 地 下 室, 由 实 验 洁 净 区 和 设 备 维 护 灰 区 组 成, 洁 净 等 级 为 10 万 级 (IOSClass8) 上 述 为 限 制 访 问 区 域 中 心 员 工 及 用 户 办 公 室 位 于 特 种 实 验 楼 主 楼 的 九 楼 此 外, 还 规 划 有 一 些 公 共 区 域, 包 括 会 议 室, 用 于 提 供 给 研 究 人 员 相 互 交 流 的 场 所 大 型 会 议 室 ( 可 容 纳 约 100 余 人 ) 位 于 主 楼 和 裙 楼 之 间 的 二 楼 连 廊 处 上 述 为 开 放 访 问 区 域 其 他 动 力 和 技 术 保 障 功 能 区 域 主 要 包 括 裙 楼 一 层 的 部 分 二 层 的 全 部 以 及 室 外 区 域, 主 要 用 于 空 气 净 化 处 理 工 艺 真 空 超 纯 净 水, 压 缩 干 燥 空 气 工 艺 冷 却 水 特 种 气 体 以 及 尾 气 处 理 和 其 他 功 能 上 述 为 限 制 访 问 区 域 - 4 -

第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 2.4 用 户 申 请 一 用 户 和 访 客 的 定 义 洁 净 室 用 户 适 用 范 围 : 中 心 的 洁 净 室 用 户 主 要 是 指 定 期 在 洁 净 室 工 作, 或 极 少 数 通 过 认 证 不 需 陪 伴 即 可 在 洁 净 室 工 作 的 人 员 此 外, 需 要 接 触 有 害 物 质 的 人 也 被 认 为 是 洁 净 室 的 用 户 洁 净 室 访 客 适 用 范 围 : 洁 净 室 访 客 指 由 中 心 工 作 人 员 陪 伴 进 出 洁 净 室 的 人 员, 执 行 临 时 的 事 务 或 者 访 问, 如 设 备 安 装 维 修 升 级 或 者 有 实 质 需 求 的 参 观 访 问 等 所 有 访 客 进 入 洁 净 间 均 须 由 中 心 批 准, 并 在 中 心 工 作 人 员 的 陪 同 下 进 入 洁 净 室 用 户 不 得 带 任 何 人 进 入 洁 净 室 访 客 进 入 洁 净 室 后, 不 可 单 独 逗 留, 每 次 停 留 不 超 过 4 个 小 时 访 客 实 行 登 记 制, 进 入 洁 净 室 之 前 需 要 了 解 洁 净 室 的 基 本 安 全 规 定 访 客 不 得 接 触 仪 器 设 备 或 者 化 学 试 剂 与 耗 材 等 有 特 殊 操 作 要 求 的, 需 要 专 门 的 申 请 访 客 应 遵 守 中 心 的 相 关 手 册 规 定, 服 从 接 待 人 员 的 安 排, 未 经 许 可, 访 客 不 得 在 受 控 区 域 拍 照 二 用 户 申 请 用 户 需 认 真 阅 读 和 学 习 本 手 册 后, 填 写 申 请 单 ( 见 本 手 册 附 件 ), 签 字 后 递 交 中 心 行 政 办 公 室 申 请 通 过 后, 需 参 加 用 户 培 训, 并 考 核 通 过 后, 方 可 正 式 成 为 中 心 用 户 三 用 户 培 训 用 户 培 训 为 进 入 本 中 心 洁 净 室 的 基 本 程 序, 不 考 虑 之 前 的 培 训 经 历 经 过 培 训, 用 户 应 能 够 清 楚 了 解 洁 净 室 的 基 本 操 作 流 程 和 管 理 规 定 如 果 用 户 一 年 未 进 入 洁 净 实 验 室, 其 洁 净 室 访 问 资 格 将 终 止, 并 需 要 重 新 培 训 用 户 培 训 的 内 容 包 括 : 1) 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 该 本 课 程 主 要 介 绍 中 心 的 基 本 情 况, 让 用 户 了 解 基 本 的 管 理 规 定 办 事 流 程 等 2) 洁 净 室 培 训 - 5 -

第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 该 培 训 主 要 介 绍 洁 净 室 的 基 本 知 识 和 基 本 操 作 流 程, 包 括 常 见 事 故 的 处 理 程 序 等 3) 湿 法 台 和 通 风 橱 操 作 培 训 该 培 训 主 要 介 绍 湿 法 台 和 通 风 橱 的 操 作 流 程, 以 及 相 关 管 理 规 定 4) 设 备 培 训 针 对 用 户 需 要 独 立 操 作 的 仪 器 设 备 进 行 专 门 的 培 训 培 训 结 束 后, 用 户 需 在 设 备 工 艺 工 程 师 的 指 导 下 使 用 设 备 一 段 时 间, 在 设 备 工 艺 工 程 师 对 其 操 作 过 程 认 可 后, 可 以 申 请 考 核 考 核 合 格 后, 可 以 授 权 用 户 具 备 操 作 仪 器 设 备 的 资 格 为 了 获 得 认 证, 用 户 需 要 向 中 心 的 指 定 邮 箱 (nanofab@ustc.edu.cn) 发 送 电 子 邮 件 申 请, 并 在 网 上 注 册 相 应 的 培 训 课 程 如 果 设 备 工 艺 工 程 师 认 为 用 户 不 理 解 操 作 程 序 或 者 违 规 操 作, 可 以 拒 绝 用 户 继 续 使 用 用 户 不 遵 守 仪 器 设 备 规 则 设 备 工 艺 工 程 师 可 以 在 任 何 时 间 取 消 用 户 操 作 用 户 只 能 使 用 已 获 得 授 权 的 设 备, 不 得 擅 自 使 用 未 获 得 授 权 的 设 备, 否 则 将 取 消 用 户 资 格 四 洁 净 室 门 禁 卡 用 户 申 请 和 洁 净 室 基 本 培 训 结 束 并 获 得 授 权 后, 中 心 将 为 用 户 配 发 识 别 胸 卡 和 门 禁 卡 洁 净 室 胸 卡 用 于 在 洁 净 室 识 别 用 户 的 基 本 身 份, 不 具 备 刷 卡 识 别 的 功 能 门 禁 卡 主 要 用 来 通 过 读 卡 器 授 权 进 出 洁 净 室 用 户 凭 门 禁 卡 刷 卡 进 出 洁 净 室 洁 净 室 关 闭 后, 用 户 不 得 刷 卡 进 入 用 户 不 得 代 为 他 人 刷 门 禁 卡, 或 尾 随 其 他 用 户 刷 卡 进 入 洁 净 室 违 反 洁 净 室 门 禁 规 定 将 会 予 以 处 罚 门 禁 卡 丢 失, 应 及 时 挂 失 2.5 实 验 室 费 用 和 结 算 用 户 进 出 洁 净 室 参 加 培 训 使 用 设 备, 以 及 消 耗 实 验 材 料 实 行 收 费 制 收 取 的 费 用 主 要 用 于 支 付 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 运 行 的 基 本 费 用 设 备 收 费 : 收 取 的 仪 器 费 用 用 于 维 持 设 备 正 常 运 行 及 维 护, 包 括 培 训 安 装 以 及 设 备 操 - 6 -

第 二 章 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 介 绍 作 的 费 用 此 外, 实 验 需 要 用 到 昂 贵 的 材 料, 如 做 金 属 蒸 发, 此 情 况 需 要 单 独 收 取 材 料 费 洁 净 室 进 入 费 用 : 所 有 用 户 进 入 洁 净 室 都 要 收 取 一 些 日 常 费 用 这 些 费 用 包 括 实 验 室 耗 材, 如 手 套 口 罩 和 无 尘 布, 洁 净 服 清 洗 费, 化 学 品 使 用 等 费 用 另 外, 中 心 也 向 用 户 供 应 满 足 科 研 需 求 的 相 关 物 品, 如 光 掩 膜 晶 圆 镊 子 以 及 洁 净 室 专 用 记 录 本 等, 用 户 可 以 根 据 需 要 购 买 使 用 收 费 标 准 参 照 国 内 外 同 行 做 法, 以 及 结 合 我 校 实 际 情 况 制 定 校 内 用 户 收 费 实 行 优 惠 制 度 用 户 应 及 时 缴 纳 费 用 - 7 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 3.1 洁 净 室 更 衣 操 作 流 程 一 用 户 服 装 的 基 本 要 求 洁 净 室 对 空 气 中 的 灰 尘 颗 粒 控 制 有 特 殊 要 求 普 通 服 装 由 于 面 料 以 及 穿 着 环 境 等 因 素, 会 携 带 大 量 的 灰 尘 颗 粒 为 了 有 效 减 少 人 员 进 入 洁 净 室 带 来 的 灰 尘 颗 粒 污 染, 需 要 按 照 规 定 穿 着 洁 净 服 中 心 的 洁 净 服 主 要 包 括 : 披 肩 帽, 连 体 服 和 软 底 靴 另 外 根 据 净 化 等 级 要 求, 还 需 要 穿 戴 头 套 鞋 套 口 罩 手 套 等 附 件 此 外, 为 了 遵 循 化 学 防 护 要 求, 用 户 在 进 入 洁 净 室 之 前 应 遵 循 以 下 的 着 装 要 求 : 1) 用 户 必 须 穿 着 轻 便 且 包 覆 完 整 的 鞋 子 凉 鞋 拖 鞋 高 跟 鞋 等 严 禁 穿 着 户 外 鞋 靴 子 等 厚 重 鞋 子 不 建 议 穿 着 鞋 子 要 保 持 干 燥 和 干 净 2) 裤 子 必 须 为 长 裤, 直 至 脚 踝 短 裤 短 裙 和 连 衣 裙 严 禁 穿 着 3) 上 衣 必 须 完 全 覆 盖 肩 膀 胳 膊, 并 连 接 到 裤 子 以 下 着 装 禁 止 进 入 洁 净 室 : 另 外, 以 下 人 员 禁 止 进 入 洁 净 室 内 : 1) 各 种 严 重 皮 肤 病 患 者, 如 湿 疹 皮 肤 受 重 伤 者 ; 2) 化 妆 ( 特 别 是 擦 粉 涂 口 红 指 甲 油 ) 饮 酒 者 ; 3) 对 化 学 物 品 过 敏 体 质 者 ; - 8 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 4) 对 洁 净 室 内 使 用 的 材 料 过 敏 者 ; 二 第 一 道 更 衣 程 序 以 下 更 衣 程 序 适 用 于 微 纳 米 加 工 净 化 实 验 室 ( 特 种 实 验 楼 裙 楼 ) 用 户 刷 卡 进 入 第 一 更 衣 室, 脚 踩 粘 尘 贴 清 理 鞋 底 灰 尘 个 人 随 身 物 品 请 寄 存 在 储 物 柜 中, 不 得 带 入 洁 净 室 储 物 柜 内 不 允 许 存 放 鞋 子 请 勿 携 带 贵 重 个 人 物 品 进 入 更 衣 室 依 次 带 上 头 套 和 鞋 套 穿 鞋 套 时, 人 坐 在 长 条 板 凳 上, 将 一 只 脚 抬 离 地 面, 套 上 鞋 套, 并 在 长 条 板 凳 另 外 一 侧 着 地 ; 然 后 抬 起 另 外 一 只 脚, 并 穿 上 鞋 套, 同 样 在 长 条 板 凳 另 外 一 侧 着 地 头 套 和 鞋 套 穿 戴 完 毕 并 跨 过 长 条 板 凳 后, 将 外 套 放 置 于 衣 架 上 外 套 口 袋 中 请 勿 存 放 个 人 贵 重 或 重 要 物 品 如 有 遗 失 中 心 概 不 负 责 三 第 二 道 更 衣 程 序 第 一 更 衣 程 序 结 束 后, 离 开 第 一 更 衣 室, 穿 过 洁 净 室 参 观 走 廊, 刷 卡 进 入 第 一 风 淋 室, 风 淋 将 自 动 开 始, 风 淋 完 毕 后, 进 入 到 第 二 更 衣 室 风 淋 室 内 最 多 容 纳 2 人 同 时 进 入 进 入 更 衣 室 后, 根 据 人 员 的 类 型, 选 择 尺 寸 匹 配 的 手 套 口 罩 披 肩 帽 连 体 洁 净 服 和 软 底 靴 选 择 软 底 靴 时, 尽 量 选 择 比 自 己 鞋 子 尺 寸 略 大 的 靴 子 用 户 进 入 洁 净 室, 必 须 登 记 所 使 用 的 洁 净 服 编 号 依 次 带 上 手 套 口 罩, 并 按 下 金 属 条 将 口 罩 紧 密 贴 在 鼻 梁 上, 然 后 依 次 穿 戴 披 肩 帽 连 体 服 和 软 底 靴, 并 佩 戴 胸 卡 披 肩 帽 下 缘 应 塞 进 连 体 服 领 口 内 最 后 在 理 容 镜 前 整 理 着 装, 确 保 头 发 手 腕 等 处 无 外 露 穿 着 洁 净 服 的 过 程 中, 保 持 洁 净 服 不 与 地 面 接 触 脚 踩 粘 尘 贴, 进 入 第 二 风 淋 室, 风 淋 完 毕 后, 进 入 洁 净 走 廊 一 旦 进 入 洁 净 室 后, 严 禁 敞 开 或 拉 开 洁 净 服 拉 链 四 脱 洁 净 服 操 作 程 序 用 户 通 过 出 门 内 缓 冲 间 进 入 第 二 更 衣 室, 按 照 第 二 更 衣 的 相 反 程 序 脱 掉 洁 净 服 手 套 和 口 罩 分 类 放 入 专 门 的 垃 圾 箱 中 需 要 清 洗 的 洁 净 服 可 以 放 入 指 定 的 回 收 箱 中, 由 工 作 人 员 负 - 9 -

第三章 洁净室基本操作流程 责转移脏污洁净服并进行清洗 刷卡通过出门外缓冲间离开第二更衣室 穿过洁净参观走廊 刷卡回到第一更衣室 取 回个人的外套和个人物品 将鞋套和头罩放入垃圾箱 并离开第一更衣室 进 入 一 更 进 入 二 更 - 10 -

第三章 洁净室基本操作流程 离 开 二 更 离 开 一 更 3.2 个人防护操作流程 一 个人防护装备 PPE 为保障人员的安全 洁净室内的管制区域和特殊设备操作必须严格遵守个人防护装备 PPE 穿戴规定 PPE 类型由化学品安全技术手册 MSDS 等确定 用户不得穿戴 PPE 穿越有区域管制要求的界线 例如化学通风橱 Fume hood 或者湿法工作台 Wet Bench 的 PPE 只能在管制区域内穿戴 否则 PPE 可能会将化学残留物转移到非管制区域 - 11 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 对 于 危 险 液 体 化 学 品, 个 人 防 护 装 备 主 要 包 括 防 溅 护 目 镜 围 裙 面 罩 和 化 学 手 套 等 不 同 管 制 区 域 和 特 殊 设 备 的 PPE 穿 戴 要 求 参 见 相 关 仪 器 设 备 附 近 的 指 示 说 明 PPE 的 其 他 要 求 还 包 括 : 1) 每 次 使 用 前 应 详 细 检 查 个 人 防 护 装 备 PPE 是 否 处 于 完 好 状 态, 如 是 否 有 破 损 污 染 或 破 裂 等 若 该 PPE 有 破 损 情 况, 应 告 知 工 作 人 员 将 之 丢 弃, 并 重 新 领 用 个 人 防 护 装 备 2) 防 护 裙 等 要 注 意 正 反 面 2)PPE 用 完 之 后 注 意 清 洗 表 面 的 残 留 化 学 污 染 物, 并 整 理 和 回 归 原 位 二 喷 淋 和 洗 眼 器 用 户 在 使 用 通 风 橱 进 行 操 作 之 前, 需 要 先 确 认 一 下 紧 急 喷 淋 和 洗 眼 器 的 位 置 三 应 急 响 应 同 伴 (ChemicalBuddy) 正 常 工 作 时 间 之 外 用 户 进 入 洁 净 室 工 作 室, 必 须 有 应 急 响 应 同 伴 在 场, 以 防 万 一 发 生 意 外 情 况 是, 可 以 给 与 紧 急 救 助 严 禁 一 人 单 独 进 入 洁 净 室 工 作 应 急 响 应 同 伴 应 为 中 心 认 证 过 的 其 他 用 户 或 者 工 作 人 员 应 急 响 应 同 伴 离 开 洁 净 室 时 应 通 知 该 用 户 3.3 化 学 品 操 作 流 程 一 现 存 化 学 试 剂 使 用 实 验 室 日 常 化 学 品 由 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 统 一 购 置, 禁 止 用 户 未 经 许 可 自 行 购 置 和 带 入 化 学 品 化 学 药 品 的 供 应 清 单 在 中 心 网 站 上 公 布 所 有 的 化 学 药 品 都 需 要 贴 上 标 签 标 签 上 须 注 明 化 学 品 的 成 分 浓 度 过 期 时 间 及 联 系 人 严 禁 使 用 未 知 或 未 贴 标 签 的 化 学 品 若 发 现 未 标 签 的 化 学 品 应 及 时 报 告 中 心 员 工 化 学 品 的 领 用 分 装 由 中 心 工 作 人 员 负 责, 用 户 使 用 时 需 向 中 心 申 请, 不 得 私 自 分 装 二 新 化 学 品 准 入 制 度 非 常 用 化 学 品 由 用 户 提 出 申 请, 经 批 准 后 由 中 心 统 一 采 购 如 果 化 学 药 品 的 使 用 有 可 能 - 12 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 干 扰 其 它 工 艺, 中 心 有 权 拒 绝 或 终 止 该 化 学 药 品 的 使 用 用 户 严 禁 将 新 化 学 药 品 ( 固 体, 液 体, 气 体 ) 带 入 洁 净 室 新 化 学 品 包 括 不 同 浓 度 或 等 级 的 化 学 药 品 用 户 申 请 新 化 学 品 需 要 提 交 申 请 单, 以 及 相 应 的 化 学 品 安 全 技 术 手 册 (MSDS) 中 心 将 根 据 危 险 性, 洁 净 室 兼 容 性, 以 及 对 工 艺 的 兼 容 性 等 信 息 进 行 审 核 三 化 学 品 的 运 输 和 处 置 规 范 新 进 化 学 品 的 运 输 必 须 在 化 学 品 安 全 主 管 的 监 督 下 进 行 运 输 化 学 品 及 其 容 器 时 必 须 使 用 推 车 或 安 全 容 器, 由 货 淋 室 进 入 洁 净 室 严 禁 用 推 车 长 时 间 放 置 化 学 品 运 输 完 毕 后, 安 全 容 器 需 要 放 回 原 位 未 经 许 可, 严 禁 用 户 将 化 学 品 带 出 洁 净 室 未 清 洗 的 空 瓶 适 用 本 规 定 五 化 学 容 器 和 器 皿 操 作 规 范 化 学 容 器 和 器 皿 主 要 用 来 临 时 存 放 实 验 所 需 的 适 量 化 学 试 剂 容 器 和 器 皿 应 严 格 遵 循 材 料 要 求 规 定 加 热 容 器 严 禁 选 用 塑 料 容 器 ; 氢 氟 酸 严 禁 选 用 玻 璃 瓶, 只 能 选 择 特 氟 龙 材 料 容 器 等 为 了 减 少 化 学 试 剂 浪 费 和 废 液 处 理 成 本, 应 选 择 适 量 容 积 的 容 器 任 何 装 有 化 学 试 剂 ( 包 括 水 ) 的 容 器 必 须 标 明 成 分, 浓 度 时 间 和 联 系 人 等 信 息 含 有 挥 发 性 化 学 试 剂 的 容 器 通 常 需 要 配 置 盖 子 倾 倒 出 来 的 化 学 试 剂 严 禁 倒 回 试 剂 瓶 中 3.4 废 弃 物 处 理 许 多 不 同 类 型 的 垃 圾 需 要 特 殊 处 理 特 别 是 化 学 品 玻 璃 电 池 尖 锐 物 和 其 它 需 要 特 殊 处 理 的 东 西 一 玻 璃 和 硅 片 废 弃 物 破 损 的 和 未 破 损 的 玻 璃 不 能 被 扔 到 普 通 垃 圾 桶, 应 放 入 指 定 的 金 属 垃 圾 桶, 具 体 参 见 垃 圾 桶 上 的 指 示 废 弃 化 学 玻 璃 试 剂 瓶 需 要 专 门 处 理 二 尖 锐 废 物 任 何 尖 锐 的 垃 圾, 例 如 刀 片 针 或 者 其 它 类 型 叶 片 应 该 扔 到 尖 锐 废 物 垃 圾 桶, 具 体 参 见 - 13 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 垃 圾 桶 上 的 指 示 尖 锐 废 物 不 得 扔 到 其 它 垃 圾 桶 以 防 伤 害 工 作 人 员 三 废 液 处 理 化 学 品 不 可 在 通 风 橱 中 长 时 间 空 置 和 重 复 使 用, 应 及 时 清 理 多 余 和 废 弃 的 溶 液 多 余 或 废 弃 化 学 溶 液 应 按 规 定 进 行 回 收 或 者 排 放 所 有 有 机 溶 剂 废 液 严 禁 排 放, 只 可 回 收 酸 碱 溶 液 按 照 允 许 排 放 种 类 进 行 排 放 可 直 接 排 放 的 废 液 种 类 详 见 通 风 橱 和 湿 法 台 等 设 备 的 管 理 规 定 废 液 一 般 不 允 许 混 装, 可 混 装 废 液 按 照 规 定 操 作 废 液 瓶 不 可 装 满 废 液 和 废 液 瓶 内 任 何 不 正 常 的 二 次 反 应 现 象 ( 鼓 泡 压 力 大 ) 应 该 尽 快 报 告 热 的 废 液 严 禁 未 经 冷 却 直 接 回 收 和 排 放, 应 冷 却 后 方 可 排 放 或 者 回 收 同 时 所 有 的 容 器 需 要 清 洗 干 净 玻 璃 器 皿 等 容 器 要 倒 置 放 置 在 容 器 架 上 等 待 晾 干 容 器 清 洗 后 不 得 有 化 学 品 异 味 和 残 留 确 因 实 验 需 要, 衬 底 可 以 在 溶 液 中 过 夜 浸 泡, 但 必 须 在 湿 法 台 或 者 通 风 橱 记 录 本 中 登 记, 并 在 容 器 存 放 处 做 特 殊 标 记 和 说 明 四 重 金 属 垃 圾 重 金 属 垃 圾 回 收 至 指 定 废 液 瓶 五 含 氟 废 液 含 氟 废 液 回 收 至 氟 废 物 瓶 六 其 它 废 弃 物 沾 有 光 刻 胶 聚 合 物 溶 液 等 物 质 的 无 尘 布 手 套 严 禁 投 入 到 普 通 垃 圾 桶 中, 应 投 放 到 化 学 品 抽 风 垃 圾 桶 中, 具 体 参 见 垃 圾 桶 上 的 指 示 3.5 清 洗 间 操 作 流 程 清 洗 间 定 义 为 含 有 通 风 橱 和 湿 法 台 的 洁 净 室 清 洗 间 内 的 操 作 要 求 严 格 佩 戴 个 人 防 护 用 品 (PPE) 部 分 湿 法 台 在 工 作 时 间 段 适 用 应 急 响 应 同 伴 规 则 一 通 风 橱 - 14 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 在 使 用 任 何 通 风 柜 之 前, 用 户 必 须 清 楚 完 整 的 填 写 通 风 橱 使 用 记 录 表 通 风 橱 出 现 风 速 报 警 时, 应 停 止 使 用, 并 通 知 工 作 人 员 维 护 严 禁 将 头 伸 进 通 风 橱 中 通 风 橱 门 应 保 持 正 常 工 作 位 置 实 验 完 毕, 须 及 时 清 理 台 面 和 整 理 物 品 通 风 橱 不 能 遗 留 有 多 余 的 水 管 容 器 热 台 温 度 计 手 套 等 所 有 物 品 都 应 摆 放 在 相 应 的 位 置, 保 持 干 净 整 洁, 等 待 其 他 用 户 的 使 用 二 湿 法 台 湿 法 台 的 使 用 必 须 通 过 培 训 考 核 和 授 权, 以 及 预 约 登 记 湿 法 台 实 行 专 用 原 则, 严 禁 用 于 规 定 之 外 的 用 途 湿 法 台 原 则 上 只 在 工 作 时 间 开 放 确 因 实 验 需 要, 用 户 提 出 申 请 和 中 心 批 准 之 后, 用 户 方 可 在 下 班 时 间 继 续 使 用 湿 法 台 湿 法 台 操 作 台 适 用 应 急 响 应 同 伴 原 则 湿 法 台 的 任 何 操 作 均 适 用 个 人 防 护 管 理 规 定 湿 法 台 操 作 需 要 进 行 完 整 的 登 记, 包 括 的 化 学 品 名 称 用 户 名 称 日 期 时 间 及 联 系 方 式, 在 使 用 湿 法 台 之 前 请 仔 细 阅 读 标 识 和 操 作 说 明 实 验 结 束 时, 应 清 理 工 作 的 区 域, 将 工 具 放 归 原 处, 关 闭 湿 法 台 的 门 当 发 生 化 学 品 倾 洒 以 及 其 他 各 种 险 情, 应 立 即 启 动 紧 急 预 案 3.6 设 备 基 本 流 程 设 备 使 用 应 通 过 设 备 在 线 管 理 系 统 进 行 预 约 和 登 记 该 系 统 显 示 设 备 的 预 约 和 使 用 信 息 用 户 不 得 预 约 使 用 中 或 已 被 他 人 预 约 的 设 备, 以 及 处 于 故 障 状 态 的 设 备 对 于 使 用 频 率 较 高 的 设 备, 中 心 根 据 预 约 时 间 预 约 次 数 等 进 行 调 控 如 果 用 户 不 能 及 时 履 行 预 约 的 设 备 使 用, 应 该 提 前 删 除 并 重 新 进 行 预 约 ; 如 果 不 取 消 预 约, 视 为 正 常 使 用 设 备 并 收 取 相 应 费 用 部 分 设 备 安 装 有 互 锁 控 制, 用 户 须 通 过 设 备 管 理 系 统 激 活 设 备 方 可 使 用, 严 禁 破 解 互 锁 系 统 使 用 设 备 实 验 完 毕, 应 及 时 通 过 设 备 管 理 系 统 锁 住 设 备, 防 止 其 它 用 户 擅 自 操 作 否 则 将 由 用 户 承 担 违 反 该 规 定 导 致 设 备 损 坏 的 责 任 和 由 此 产 生 的 额 外 使 用 费 - 15 -

第 三 章 洁 净 室 基 本 操 作 流 程 用 户 应 严 格 遵 守 设 备 的 标 准 操 作 流 程 SOP 未 经 许 可, 用 户 不 得 在 设 备 上 开 展 新 工 艺 实 验 否 则 用 户 将 承 担 由 此 引 起 工 艺 污 染 和 设 备 故 障 的 责 任 设 备 出 现 故 障, 用 户 应 及 时 报 告 设 备 故 障 情 况 3.7 新 工 艺 批 准 流 程 为 避 免 工 艺 污 染 和 交 叉 污 染, 用 户 尝 试 新 工 艺 ( 含 不 同 工 艺 材 料 特 殊 工 艺 参 数 等 ) 之 前, 应 向 设 备 工 艺 负 责 人 提 出 书 面 申 请, 描 述 主 要 工 艺 内 容, 经 工 艺 设 备 主 管 批 准 后 方 可 进 行 新 工 艺 严 禁 用 户 私 自 尝 试 新 工 艺 3.8 计 算 机 操 作 及 数 据 安 全 洁 净 室 内 计 算 机 实 行 严 格 控 制 策 略 设 备 计 算 机 只 能 用 于 设 备 控 制 用 途, 严 禁 联 网 和 上 网, 严 禁 用 户 私 自 更 改 计 算 机 设 置 或 攻 击 计 算 机 设 备 计 算 机 上 的 数 据 拷 贝 应 严 格 遵 守 中 心 的 相 关 操 作 流 程 和 规 范 仪 器 设 备 控 制 系 统 的 计 算 机 ( 瘦 客 户 端 ) 可 以 用 来 上 网 检 索 必 要 的 信 息, 例 如 浏 览 邮 件, 查 看 文 献 资 料 等 用 户 不 得 占 用 瘦 客 户 端 妨 碍 其 他 用 户 预 约 仪 器 设 备 严 禁 用 户 在 洁 净 室 内 计 算 机 上 使 用 自 带 U 盘 等 USB 设 备 第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 4.1 紧 急 和 安 全 事 件 处 理 的 基 本 原 则 用 户 人 身 安 全 是 平 台 工 作 的 重 中 之 重 出 现 危 险 情 况 时, 用 户 应 将 人 身 安 全 放 置 于 第 一 位, 在 人 身 安 全 许 可 的 情 况 下, 可 以 兼 顾 设 备 以 及 实 验 室 的 安 全 紧 急 情 况 主 要 分 为 两 类 : - 16 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 第 一 类 是 危 及 人 员 生 命 的 紧 急 事 件 ; 第 二 类 是 人 员 安 全 可 控 的 紧 急 事 件 这 两 类 紧 急 事 件 采 取 不 同 的 处 理 程 序 一 危 及 生 命 的 紧 急 事 件 处 理 流 程 当 发 生 危 及 人 员 生 命 紧 急 事 件 时, 应 将 保 护 人 身 安 全 放 在 第 一 位, 果 断 和 及 时 启 动 处 理 程 序 : 1. 快 速 进 入 应 急 状 态, 正 确 评 估 危 机 状 态 2. 立 即 通 知 应 急 部 门 ( 工 作 人 员, 消 防 队 等 ), 并 快 速 疏 散 离 开 危 险 区 域 实 验 室 疏 散 信 号 警 报 时, 应 立 即 离 开 洁 净 室, 前 往 室 外 集 合 地 点 3. 紧 急 疏 散 时, 一 定 要 告 知 他 人 并 结 伴 疏 散 4. 不 要 再 次 进 入 危 险 区 域, 直 至 实 验 室 重 新 开 放 5. 积 极 配 合 中 心 调 查 事 件 二 一 般 事 故 处 理 流 程 当 发 生 人 员 安 全 可 控 的 紧 急 事 件 时, 应 将 保 护 人 身 安 全 放 在 第 一 位, 同 时 尽 可 能 保 护 设 备 和 实 验 室 安 全, 及 时 启 动 以 下 处 理 程 序 : 1. 快 速 进 入 应 急 状 态, 并 正 确 评 估 紧 急 事 件 状 态 2. 立 即 通 知 中 心 相 关 工 作 人 员 3. 快 速 处 理 相 关 的 险 情, 如 阻 止 化 学 品 溢 出, 及 时 停 止 工 艺 和 设 备 运 行 4. 保 护 现 场, 协 助 工 作 人 员 处 理 险 情 三 人 员 疏 散 实 验 室 发 生 危 机 人 员 生 命 安 全 时, 应 立 即 启 动 疏 散 流 程 紧 急 疏 散 流 程 可 以 由 监 控 系 统 自 动 触 发, 或 者 由 工 作 人 员 和 用 户 手 动 触 发 ( 例 如 按 下 安 全 按 钮 ) 紧 急 疏 散 流 程 启 动 后, 应 执 行 以 下 流 程 : - 17 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 1. 当 警 报 响 起, 应 马 上 离 开 大 楼 2. 提 醒 他 人 已 出 现 紧 急 状 况, 并 询 问 是 否 需 要 帮 助 3. 沿 着 疏 散 通 道 快 速 有 序 疏 散, 并 在 室 外 指 定 的 地 点 集 合 4. 疏 散 期 间, 无 须 脱 下 洁 净 服, 不 得 处 理 其 他 与 疏 散 无 关 的 事 宜 5. 严 格 按 照 逃 生 路 线 疏 散 风 淋 室 等 为 非 紧 急 疏 散 通 道 6. 任 何 疏 散 警 报 声 响 视 为 紧 急 疏 散 信 号 7. 积 极 配 合 中 心 工 作 人 员 处 理 紧 急 情 况 四 断 电 断 电 时, 应 急 照 明 开 始 工 作, 应 急 柴 油 发 电 机 完 全 启 动 后, 部 分 动 力 电 力 维 持 供 应 用 户 应 及 时 停 止 工 艺 和 关 闭 设 备, 妥 善 处 理 化 学 品, 并 告 知 工 作 人 员 处 理 完 毕 后, 及 时 离 开 洁 净 室 待 重 新 开 放 后, 方 可 进 入 洁 净 室 应 急 通 道 示 意 图 - 18 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 4.2 洁 净 室 安 全 设 施 洁 净 室 内 的 基 本 安 全 设 备 包 括 电 话 应 急 包 灭 火 器 紧 急 按 钮 等 用 户 应 严 格 遵 守 使 用 规 范 一 电 话 洁 净 室 每 个 工 作 区 域 都 配 有 电 话 电 话 主 要 用 做 应 急 之 用, 用 户 不 得 用 作 其 他 用 途 若 大 楼 断 电, 电 话 可 能 会 中 断 使 用 二 应 急 包 急 救 箱 位 于 更 衣 间 和 用 户 存 储 区 配 备 有 创 可 贴 和 擦 伤 烧 伤 急 救 绷 带 等 常 见 工 具 三 灭 火 器 灭 火 器 位 于 工 作 区 墙 体 的 灭 火 箱 内 用 户 应 了 解 灭 火 器 存 放 地 点 灭 火 器 只 能 用 来 扑 灭 火 苗, 不 得 做 其 他 用 途 四 紧 急 按 钮 发 生 火 灾, 或 者 气 体 泄 漏 等 紧 急 情 况, 以 及 需 要 人 员 疏 散 时, 用 户 可 以 直 接 按 下 紧 急 按 钮 4.3 特 殊 气 体 安 全 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 供 应 特 殊 气 体 十 余 种, 用 户 应 严 格 遵 守 特 殊 气 体 安 全 规 定 仪 器 设 备 中 不 得 设 置 过 流 量 的 特 殊 气 体 用 户 不 得 触 碰 特 殊 气 路 设 施, 如 管 路 和 阀 件 等 中 心 配 备 特 殊 气 体 监 测 系 统, 最 大 程 度 保 护 人 员 和 实 验 室 安 全 当 气 体 侦 测 二 级 警 报 ( 特 气 灯 塔 中 的 红 色 等 亮 ) 触 发 时, 用 户 应 立 即 按 照 指 定 线 路 疏 散, 并 在 指 定 地 点 集 合 特 气 报 警 未 解 除 状 态 下, 严 禁 再 次 进 入 洁 净 室 洁 净 室 常 见 的 危 险 气 体 包 括 ( 不 限 于 ): 1 液 氮 等 低 温 液 体 易 迅 速 蒸 发, 快 速 冻 伤 人 体 组 织, 同 时 蒸 发 时 会 产 生 大 量 气 体 ( 几 - 19 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 百 至 上 千 倍 ), 引 起 窒 息 事 故 发 生, 此 外, 有 些 气 体 还 会 引 起 爆 炸 和 火 灾 等 危 险 用 户 应 严 格 规 范 操 作, 按 要 求 佩 戴 PPE 此 类 液 体 充 装 或 倾 倒 时, 容 易 产 生 沸 腾 和 飞 溅 执 行 这 些 任 务 时, 应 动 作 缓 慢 以 减 少 沸 腾 和 飞 溅 应 使 用 专 用 工 具, 如 钳 子 等, 夹 取 浸 没 在 低 温 液 体 里 的 物 品 严 禁 触 摸 装 有 低 温 液 体 的 容 器 或 者 管 件, 以 免 皮 肤 粘 附 在 低 温 材 料 上 2 氨 气 为 碱 性 蒸 汽, 有 严 重 的 腐 蚀 性, 并 有 刺 激 性 气 味 其 在 浓 度 为 50ppm 会 达 到 人 类 的 嗅 觉 阈 值 但 由 于 嗅 觉 疲 劳, 长 期 接 触 后 对 低 浓 度 的 氨 会 难 以 察 觉 氨 气 吸 入 后 会 导 致 呼 吸 道 粘 膜 刺 激 和 灼 伤, 严 重 时 导 致 痉 挛 性 咳 嗽 和 呼 吸 困 难 低 浓 度 的 氨 对 眼 和 潮 湿 的 皮 肤 能 迅 速 产 生 刺 激 作 用 潮 湿 的 皮 肤 或 眼 睛 接 触 高 浓 度 的 氨 气 能 引 起 严 重 的 化 学 烧 伤 氨 气 常 用 于 LPCVD 和 PECVD 3 随 着 越 来 越 多 人 死 于 氮 气 窒 息, 氮 气 被 认 为 是 危 险 气 体 氮 气 常 用 于 一 些 设 备 和 工 艺 用 户 应 该 经 中 心 考 核 和 授 权 后 使 用 设 备 4 硅 烷 常 用 于 LPCVD 和 PECVD 淀 积 多 晶 硅 氮 化 硅 和 氧 化 硅 硅 烷 在 空 气 中 自 燃, 其 首 要 危 害 是 自 燃 的 火 焰 会 引 起 严 重 的 热 灼 伤, 如 果 严 重 甚 至 会 致 命 如 果 火 焰 或 高 温 作 用 在 硅 烷 钢 瓶 的 某 一 部 分 会 使 钢 瓶 在 安 全 阀 启 动 之 前 爆 炸 5 氯 气 常 用 于 刻 蚀 系 统 氯 气 常 温 常 压 下 为 黄 绿 色 有 毒 气 体, 具 有 严 重 腐 蚀 性 它 主 要 通 过 呼 吸 道 侵 入 人 体 并 溶 解 在 黏 膜 所 含 的 水 分 里, 生 成 次 氯 酸 和 盐 酸, 对 上 呼 吸 道 黏 膜 造 成 损 伤 : 次 氯 酸 使 组 织 受 到 强 烈 的 氧 化 ; 盐 酸 刺 激 黏 膜 发 生 炎 性 肿 胀, 使 呼 吸 道 黏 膜 浮 肿, 大 量 分 泌 黏 液, 造 成 呼 吸 困 难 和 窒 息 氯 气 与 其 它 腐 蚀 气 体 一 样, 暴 露 的 影 响 可 能 几 天 后 才 注 意 到 因 此, 暴 露 后 及 时 进 行 医 疗 处 理, 不 能 等 到 症 状 发 作 此 仅 供 氯 气 暴 露 参 考 4.4 化 学 品 安 全 用 户 接 触 任 何 化 学 品 之 前, 应 详 细 阅 读 MSDS, 以 及 做 好 应 急 预 案 的 准 备 工 作 一 化 学 品 喷 溅 事 故 处 理 - 20 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 发 生 化 学 品 喷 溅 事 故 时, 用 户 应 立 即 通 知 工 作 人 员, 同 时 进 行 基 本 的 现 场 处 理 根 据 情 况 采 取 相 应 的 措 施 : 1) 紧 急 冲 淋 实 验 室 配 备 了 紧 急 冲 淋 用 户 应 了 解 紧 急 冲 淋 的 位 置 当 衣 服 和 身 体 上 溅 有 化 学 品 时 必 须 使 用 淋 浴 快 速 进 行 冲 淋, 用 大 水 流 持 续 冲 洗 15 分 钟 以 上 冲 洗 时, 应 脱 下 衣 物, 减 少 化 学 品 污 染 的 扩 散 切 勿 穿 沾 染 化 学 品 的 衣 服 紧 急 冲 洗 后, 应 尽 快 进 行 专 业 医 护 处 理 用 户 还 应 填 写 事 故 记 录, 提 交 中 心 存 档 当 眼 部 受 到 化 学 品 喷 溅 时, 应 果 断 快 速 到 达 洗 眼 器 处, 对 眼 部 进 行 紧 急 冲 洗 必 要 时 寻 求 其 他 人 员 帮 助 帮 助 水 流 持 续 冲 洗 至 少 15 分 钟, 方 可 睁 开 眼 睛 如 果 眼 部 和 身 体 其 他 部 分 同 时 被 化 学 品 喷 溅, 应 同 时 打 开 喷 淋 器 和 洗 眼 器, 进 行 紧 急 冲 洗 紧 急 冲 洗 后, 应 尽 快 进 行 专 业 医 护 处 理 用 户 还 应 填 写 事 故 记 录, 提 交 中 心 存 档 2)HF 灼 伤 处 理 通 风 橱 内 备 有 葡 萄 糖 酸 钙 软 膏, 俗 称 HF 解 毒 剂, 可 用 于 HF 伤 害 紧 急 处 理 ; 使 用 HF 前, 需 熟 悉 葡 萄 糖 酸 钙 软 膏 的 位 置 使 用 HF 时, 周 围 必 须 备 有 软 膏 受 伤 后 需 快 速 清 理 灼 伤 处, 在 灼 伤 处 立 即 大 量 涂 抹 软 膏 紧 急 处 理 后, 立 刻 到 医 院 进 行 专 业 的 医 护 处 理 和 全 面 的 伤 害 评 估 HF 灼 伤 作 为 安 全 事 故, 需 向 中 心 管 理 人 员 报 告 葡 萄 糖 酸 钙 凝 胶 中 的 Ca2+ 可 快 速 结 合 F-, 从 而 减 少 F- 对 身 体 的 伤 害 一 旦 皮 肤 被 HF 灼 伤, 立 即 涂 抹 葡 萄 糖 酸 钙 软 膏, 必 要 时 需 要 静 脉 注 射 葡 萄 糖 酸 钙 二 化 学 品 储 存 化 学 品 按 照 其 理 化 性 质 归 类 单 独 存 放, 例 如 酸 碱 有 机 溶 剂 光 刻 胶 氧 化 剂 易 燃 品 等 化 学 品 只 能 存 储 在 化 学 试 剂 柜 中 分 装 的 适 量 化 学 品 应 存 放 在 指 定 的 位 置 违 反 上 述 规 定 ( 例 如 在 化 学 品 储 存 在 干 燥 箱 或 放 置 在 桌 椅 上 等 ), 中 心 将 给 予 处 罚, 情 节 严 重 者 将 被 取 消 进 入 实 验 室 授 权 - 21 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 三 常 见 的 化 学 品 使 用 注 意 事 项 和 操 作 流 程 1. 未 经 中 心 许 可, 禁 止 携 入 / 出 任 何 化 学 品 2. 禁 止 品 尝 闻 触 摸 任 何 化 学 品, 及 挥 发 性 气 体 如 果 嗅 到 刺 激 性 气 味, 应 立 即 通 知 相 关 人 员 3. 禁 止 将 酸 和 其 它 溶 液 混 合 放 置, 否 则 可 能 会 导 致 火 灾 和 爆 炸 保 持 酸 和 其 它 溶 液 分 开 放 置, 碱 性 溶 液 亦 然 4. 严 格 按 照 规 定 向 废 水 管 道 倾 倒 化 学 溶 液 5. 请 在 指 定 的 区 域 操 作 化 学 品, 例 如 通 风 厨, 湿 法 台 等 6. 使 用 前 确 认 通 风 橱 或 湿 法 台 的 性 能 和 状 态 7. 除 在 通 风 橱 中 操 作 外, 保 持 通 风 橱 关 闭 8. 用 户 如 需 将 实 验 材 料 盛 放 在 加 盖 的 烧 杯 中, 最 多 可 在 通 风 橱 中 放 置 2 天, 超 过 时 间 的 或 无 标 签 的 材 料 将 作 为 废 弃 物 处 理 禁 止 实 验 材 料 堵 塞 通 风 孔 和 气 管 9. 保 持 通 风 橱 和 湿 法 台 开 启 状 态, 特 殊 情 况 除 外 10. 禁 止 任 何 未 被 许 可 的 加 热 混 合 预 制 化 学 品 等 操 作 11. 在 任 何 区 域 内, 任 何 人 不 能 独 立 使 用 危 险 品 12. 通 常 酸 入 水, 绝 不 能 水 入 酸 双 氧 水 不 得 视 为 水 13. 在 处 理 酸 ( 入 排 水 ) 前 后 均 需 大 量 冲 水 14. 将 垃 圾 放 置 于 规 定 位 置, 酸 污 染 的 物 品 入 酸 废 桶 ; 光 刻 胶 污 染 品 入 光 刻 胶 废 物 桶 等 废 酸 和 废 溶 剂 分 开 处 理, 防 止 混 合 发 生 爆 炸 15. 不 得 触 碰 任 何 未 知 化 学 品, 包 括 实 验 台 面 上 的 液 滴 如 果 发 现 未 知 化 学 品, 应 联 系 工 作 人 员 16. 只 能 在 经 批 准 的 湿 法 台 或 者 规 定 位 置 使 用 化 学 品 17. 禁 止 将 酸 和 氰 基 化 合 物 混 合 ( 如 电 镀 液 ) 此 类 混 合 物 会 产 生 极 其 致 命 的 气 体 HCN - 22 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 18. 溶 液 用 尽 后 才 能 开 启 新 一 瓶 以 减 少 溶 液 瓶 数 量 如 果 某 溶 液 瓶 溶 液 量 不 够 此 次 实 验 使 用, 请 先 用 完 此 瓶, 再 开 新 的 一 瓶 19. 未 经 许 可, 不 得 对 溶 液 进 行 加 热 严 格 按 照 规 范 加 热 溶 液 防 止 化 学 品 喷 溅 和 火 灾 不 得 将 热 溶 液 未 经 冷 却 直 接 进 行 回 收 20. 洁 净 手 套 严 禁 触 碰 化 学 品, 必 须 另 外 佩 戴 化 学 手 套 严 禁 佩 戴 化 学 手 套 直 接 触 碰 任 何 控 制 旋 钮 开 关 按 键 化 学 手 套 冲 洗 干 净 后 方 可 脱 下 21. 小 心 处 理 和 存 储 玻 璃 器 皿 以 免 损 坏 不 能 使 用 损 坏 的 玻 璃 器 皿 22. 保 持 工 作 区 域 干 净 整 洁, 化 学 品 和 设 备 均 须 正 确 标 记 和 存 储 实 验 完 毕 及 时 清 理 工 作 区 域 23. 化 学 品 相 关 实 验 之 前 应 做 详 细 计 划 和 评 估, 制 定 合 适 的 保 护 措 施 24. 本 人 或 者 其 他 用 户 导 致 的 不 安 全 状 况 都 需 要 给 予 警 示 如 果 看 到 其 它 用 户 操 作 不 正 确 或 者 不 安 全, 有 义 务 纠 正 他 的 不 当 操 作 25. 洁 净 室 不 得 搞 恶 作 剧 或 从 事 其 他 可 能 影 响 他 人 的 行 为 四 特 殊 化 学 品 1. 丙 酮 丙 酮 燃 点 低, 极 其 易 燃 ( 可 以 在 低 温 下 点 燃 ), 并 可 能 会 造 成 重 大 火 灾 危 险 1 加 仑 丙 酮 泄 漏 可 以 导 致 特 大 火 灾 和 爆 炸 在 通 风 橱 里 应 该 小 心 使 用 丙 酮, 热 板 周 围 不 能 使 用 丙 酮 泄 漏 的 丙 酮 可 以 被 热 板 点 燃 火 苗 会 轻 易 被 带 入 排 风 系 统, 导 致 特 大 火 灾 泄 漏 的 丙 酮 很 容 易 与 氧 化 剂 ( 过 氧 化 物 和 硝 酸 ) 发 生 快 速 反 应 发 生 丙 酮 泼 溅 事 故, 应 立 即 联 系 工 作 人 员 2. 氢 氟 酸 (HF) HF 一 般 以 稀 释 液 (BOE) 有 效 成 分 和 缓 冲 刻 蚀 液 的 形 式 广 泛 应 用 于 实 验 室, 例 如 氧 化 硅 腐 蚀 等 HF 作 为 高 危 化 学 品, 属 于 严 控 化 学 品 其 危 险 来 源 于 其 对 皮 肤 和 骨 骼 的 伤 害 轻 微 HF 灼 烧 无 明 显 痛 感, 但 氟 离 子 会 溶 于 组 织, 并 逐 渐 浸 蚀, 直 至 骨 骼 HF 侵 蚀 骨 骼 为 - 23 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 不 可 逆 过 程, 情 节 严 重 者 会 导 致 严 重 伤 害 甚 至 死 亡 HF 灼 伤 应 立 即 进 行 应 急 处 理 : 冲 淋 5 分 钟, 然 后 迅 速 使 用 葡 萄 糖 酸 钙 凝 胶 软 膏 涂 抹 灼 伤 区 域, 同 时 联 系 医 院 进 行 特 殊 医 疗 处 理 五 化 学 品 泄 漏 化 学 品 泄 漏 属 于 严 重 的 安 全 事 故 范 围 发 生 任 何 化 学 泄 漏 事 故, 用 户 应 立 即 告 知 工 作 人 员 化 学 品 泄 漏 的 规 模 可 以 分 为 轻 微 泄 漏 和 重 大 泄 漏 根 据 泄 漏 的 规 模 按 照 规 范 启 动 紧 急 处 理 程 序 处 理 结 束 后, 用 户 还 应 填 写 事 故 记 录 A 轻 微 泄 漏 轻 微 化 学 品 泄 漏 的 定 义 是 中 心 工 作 人 员 可 以 直 接 清 理 的 泄 漏, 无 需 校 外 专 门 机 构 介 入 轻 微 泄 漏 的 一 般 处 理 流 程 ( 不 局 限 于 该 顺 序 ): 警 示 泄 漏 区 域 附 近 的 用 户, 联 系 中 心 的 工 作 人 员 ; 根 据 情 况 确 定 是 否 要 撤 离 ; 如 果 泄 漏 材 料 可 燃, 关 闭 热 源 和 火 源 ; 照 顾 受 伤 和 被 污 染 的 人, 如 果 有 合 适 的 PPE, 将 他 们 从 泄 漏 区 移 出 ; 协 助 清 理 现 场 ; 书 面 报 告 事 故 细 节 B 重 大 泄 漏 重 大 泄 漏 定 义 : 中 心 工 作 人 员 没 有 能 力 清 理, 需 要 外 部 专 业 人 员 介 入 的 泄 漏 用 户 不 得 尝 试 清 洁 泄 漏 重 大 泄 漏 处 理 流 程 ( 不 局 限 于 该 顺 序 ) 如 下 : 警 示 泄 漏 区 域 附 近 的 用 户, 联 系 中 心 的 工 作 人 员 ; 根 据 情 况 确 定 是 否 要 撤 离 ; 如 果 泄 漏 材 料 可 燃, 关 闭 热 源 和 火 源 ; 照 顾 受 伤 和 被 污 染 的 人, 如 果 有 合 适 的 PPE, 将 他 们 从 泄 漏 区 移 出 ; 书 面 报 告 事 故 细 节 4.5 防 火 安 全 严 格 遵 守 洁 净 室 操 作 流 程 规 范, 防 止 发 生 火 情 发 生 火 灾 时, 启 动 火 灾 报 警, 立 即 拨 打 119 并 遵 循 以 下 步 骤 : 1) 在 火 灾 初 期 火 势 较 小 的 时 候, 可 以 使 用 灭 火 器 可 以 救 火, 同 时 确 保 自 己 身 处 可 以 逃 离 的 区 域 2) 若 衣 服 着 火, 马 上 就 地 滚 动, 让 身 体 将 火 苗 熄 灭 若 同 事 衣 服 着 火, 让 他 就 地 滚 动 灭 火, 然 后 立 刻 进 行 安 全 冲 淋 3) 如 果 火 势 加 大 并 开 始 蔓 延, 应 启 动 紧 急 疏 散 程 序 4) 撤 出 的 用 户 有 义 务 在 集 合 区 域 等 待 并 告 知 消 防 人 员 火 灾 的 具 体 位 置 和 火 势 情 况, 该 区 域 的 化 学 品 使 用 和 存 储 现 状 - 24 -

第 四 章 安 全 和 紧 急 事 故 操 作 流 程 5) 不 要 再 次 进 入 洁 净 室, 直 至 实 验 室 重 新 开 放 - 25 -

第 五 章 违 规 处 罚 条 款 第 五 章 违 规 处 罚 条 款 5.1 总 则 本 条 款 旨 在 提 高 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 的 服 务 质 量, 确 保 用 户 安 全 高 效 有 序 地 开 展 科 研 为 保 障 用 户 的 人 身 安 全, 以 及 洁 净 室 内 微 纳 米 加 工 仪 器 设 备 的 正 常 运 行, 本 条 款 对 中 心 用 户 的 违 规 行 为 进 行 分 类 界 定 并 规 定 了 相 应 的 处 罚 措 施, 所 有 用 户 和 进 入 洁 净 室 的 人 员 ( 包 括 临 时 访 问 人 员 等 ) 均 有 义 务 仔 细 阅 读 和 遵 守 本 条 例 的 相 关 规 定 5.2 违 规 行 为 界 定 及 处 罚 措 施 一 一 般 违 规 行 为 的 处 罚 规 定 除 紧 急 状 况 外, 用 户 发 生 如 下 行 为 时, 初 犯 处 以 口 头 警 告 处 罚 ; 再 犯 处 以 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 1 个 月 处 罚 ; 第 三 次 再 犯 者 处 以 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 3 个 月, 之 后 再 次 通 过 洁 净 室 使 用 培 训 以 及 管 理 委 员 会 通 过 后 才 可 重 新 获 得 资 格 的 处 罚 ; 第 四 次 再 犯 者, 处 以 永 久 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 的 处 罚 因 违 规 造 成 的 仪 器 设 备 药 品 损 失 部 分, 依 价 赔 偿 1. 未 刷 卡 进 出 洁 净 室 ( 例 如 : 一 人 刷 卡 开 门, 多 人 进 出 的 行 为 ); 2. 未 按 照 指 定 出 入 口 进 出 洁 净 室 ( 例 如 : 非 紧 急 情 况 下 擅 自 从 应 急 逃 生 门 设 备 缓 冲 区 等 进 出 洁 净 室 ); 3. 擅 自 带 无 关 人 员 ( 即 未 经 培 训 合 格 人 员 ) 进 出 洁 净 室 ; 4. 不 按 照 着 装 要 求 进 入 洁 净 室 ( 如 穿 拖 鞋 短 袖 短 裤 者 ); 5. 不 按 规 定 要 求 登 记 并 使 用 指 定 洁 净 服 6. 未 经 许 可, 擅 自 进 入 受 控 区 域 ( 例 如, 灰 区, 动 力 站 或 受 控 施 工 区 域 等 ); 7. 未 经 许 可, 将 洁 净 室 中 使 用 的 设 备 仪 器 衣 物 工 具 试 剂 药 品 等 携 带 或 穿 戴 至 洁 净 室 以 外 的 地 区 ; 8. 未 经 许 可, 擅 自 携 带 实 验 仪 器 药 品 或 其 它 物 品 进 入 洁 净 室 ( 包 括 但 不 限 于 食 物 饮 料 电 脑 手 机 非 无 尘 纸 等 ); 9. 不 按 规 定 操 作 计 算 机 及 进 行 数 据 拷 贝, 修 改, 删 除 ; 10. 未 经 许 可, 擅 自 在 中 心 受 控 区 域 拍 照 摄 像 - 26 -

第 五 章 违 规 处 罚 条 款 二 较 严 重 违 规 行 为 的 处 罚 规 定 除 紧 急 状 况 外, 用 户 发 生 如 下 行 为 时, 初 犯 处 以 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 1 个 月 处 罚 ; 再 犯 处 以 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 3 个 月, 之 后 再 次 通 过 洁 净 室 使 用 培 训 才 可 重 新 获 得 资 格 的 处 罚 ; 第 三 次 再 犯 者, 处 以 永 久 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 的 处 罚 因 违 规 造 成 的 仪 器 设 备 药 品 损 失 部 分, 依 价 赔 偿 1. 未 经 仪 器 设 备 使 用 培 训 并 取 得 资 格 者, 未 经 许 可, 擅 自 使 用 仪 器 设 备 ; 2. 未 经 许 可, 使 用 仪 器 设 备 未 经 登 记 预 约 ; 3. 未 经 许 可 授 权, 擅 自 更 改 调 整 中 心 受 控 仪 器 功 能 设 定 ; 4. 使 用 仪 器 设 备 发 生 故 障 和 损 坏 时 未 立 刻 通 知 中 心 相 关 人 员 ; 5. 擅 自 携 带 危 险 化 学 品 进 入 洁 净 室 ; 6. 未 经 许 可, 擅 自 将 危 险 化 学 品 留 置 在 洁 净 室 ( 例 如, 违 反 规 定 在 用 户 存 贮 区 域 存 放 化 学 品 ); 7. 使 用 危 险 化 学 品 时 不 按 规 定 穿 戴 个 人 防 护 用 品 ; 8. 未 经 许 可, 使 用 化 学 品 私 自 配 置 王 水 洗 液 等 ; 9. 不 按 规 定 使 用 和 收 集 处 理 化 学 品 ; 10. 不 按 规 定 收 集 和 处 理 接 触 过 化 学 品 的 废 弃 手 套 无 尘 布 无 尘 纸 等 ; 11. 未 经 许 可, 擅 自 篡 改 已 经 批 准 的 工 艺 流 程 ( 例 如, 未 经 许 可 擅 自 使 用 可 能 会 造 成 设 备 故 障 或 交 叉 污 染 的 样 品 材 料 进 行 工 艺 测 试 的 ); 三 严 重 违 规 行 为 的 处 罚 规 定 除 紧 急 状 况 外, 用 户 发 生 如 下 行 为 时, 处 以 永 久 取 消 洁 净 室 使 用 权 限 的 处 罚 因 违 规 造 成 的 仪 器 设 备 药 品 损 失 部 分, 依 价 赔 偿 涉 及 刑 事 犯 罪 部 分 依 法 处 理 1. 违 反 明 令 禁 止 的 操 作 而 导 致 洁 净 室 发 生 安 全 设 备 重 大 事 故, 造 成 人 员 伤 亡 或 重 大 损 失 的 必 须 依 价 赔 偿, 涉 及 刑 事 犯 罪 部 分 依 法 处 理 ( 例 如, 未 尽 许 可 擅 动 电 闸 气 体 阀 门 等 ); 2. 严 重 违 反 保 密 条 例, 未 经 许 可 窃 取 洁 净 室 或 其 他 在 洁 净 室 工 作 用 户 的 涉 密 技 术 资 料 的, 须 承 担 因 泄 密 导 致 的 赔 偿 责 任 和 法 律 责 任 3. 恶 意 破 坏 洁 净 室 仪 器 设 备 的, 须 承 担 赔 偿 责 任, 涉 及 刑 事 犯 罪 部 分 依 法 处 理 4. 未 经 许 可, 擅 自 携 带 危 险 化 学 品 进 入 洁 净 室 或 不 按 规 定 操 作 使 用 危 险 化 学 品 并 造 成 人 员 设 备 损 害 事 故 者, 须 承 担 赔 偿 责 任, 涉 及 刑 事 犯 罪 部 分 依 法 处 理 - 27 -

第 五 章 违 规 处 罚 条 款 5.3 执 行 用 户 发 生 5.2 中 一 二 条 的 违 规 行 为 时, 口 头 警 告 立 即 执 行, 并 以 电 子 邮 件 通 知 违 规 者 导 师 或 上 级 主 管 ; 停 止 权 限 和 赔 偿 处 罚, 中 心 将 在 用 户 违 规 行 为 查 实 后 以 电 子 邮 件 通 知 违 规 用 户 及 其 导 师 或 上 级 主 管, 具 体 处 罚 将 于 发 出 电 子 邮 件 七 日 内 依 照 5.2 中 一 二 条 的 规 定 执 行 用 户 发 生 5.2 中 第 三 条 违 规 行 为 时, 处 罚 立 即 执 行, 并 通 知 违 规 者 导 师 或 上 级 主 管 - 28 -

第 六 章 批 准 和 解 释 第 六 章 批 准 和 解 释 本 手 册 经 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 管 理 委 员 会 决 议 通 过, 中 心 主 任 批 准 后 实 施, 修 改 时 亦 同 本 手 册 由 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 管 理 委 员 会 负 责 解 释 起 草 人 : 批 准 人 : 日 期 :2014 年 3 月 26-29 -