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Mercury II 1600 全新一代高性能光栅系统适用直线金属光栅尺, 数字信号输出, 最高分辨率 0.5μm 分辨率 : 线性分辨率 :5μm 到 0.5μm 精度金属光栅尺 :± 5μm/m 输出 A-quad-B 和指数脉冲 光栅尺长度按需任意裁剪的金属光栅尺 新一代 MercuryII1600 光栅系统速度快, 读数头体积小, 性能可靠, 容易安装, 配用任意裁剪的金属光栅尺, 在性能上标志着重大突破 标配 15- 针标准 D-sub 连接器或依用户需求定制. Mercury II: 全新一代光栅系统高性能光栅测量技术的突破 MicroE Systems 在光栅测量技术上追求不断的改革和创新, 在上一代 Mercury 光栅的基础上研发出比以往所有的光栅编码器都更小巧, 更快速, 更智能化的全新一代高速高精度光栅系统 现在 MicroE Systems 的最新反射增量光栅系列产品又向前迈进了一大步, 性能卓越, 稳固性强, 使用极其方便 而且一个单独的光栅系统可以实现全部性能 M II1600 系列产品在 5μm 到 0.5μm 分辨率的应用中, 性能卓越, 速度快, 重复精度高 产品性能 A-quad-B 数字信号输出, 分辨率从 5μm 到 0.5μm, 栅距重复精度相等于分辨率 微型读数头 - 8.7mm 厚的读数头适用于紧凑空间设计 速度最快可达 20m/s 任意裁剪长度的金属光栅尺, 最长可达 30m 粘贴式双向光学零位 读数头中集成最多达 x40 内插 光栅尺抗污染性高 安装公差宽松, 使用 LED 指示灯辅助安装, 设置简便 差分输出在电磁干扰大的环境下可靠性高 有用于光栅系统设置, 检测, 与诊断的软件 CE 与 RoHS 认证 可选特性 金属光栅尺长度 每个包装最长可达 30m 读数头电缆长度有 1m, 3m, 5m 或非标定制 标准 15 插针 D-sub 连接器或微型连接器 安装光栅尺的工具包 SmartPrecision II 软件 目录 概述...1-2 页特点...3-4 页规格与输出...5-6 页 SmartPrecision II 软件... 7 页金属光栅尺...8-10 页订货型号注解...11-12 页 第 1 页

系统配置标准设备与可选设备 Mercury II 1600S 光栅测量系统标准配置 选择软件 光栅系统读数头 SmartPrecision II 软件选择软件让你可以检测信号强度, 利萨如图像, 定位数据并进行诊断 控制器接口电缆 安装配件 MII 1600S RS-422 认证 15 插针标准 D-sub 连接器 粘贴式零位 用于设置的 SmartPrecision 安装工具 ATMII1600 金属光栅尺安装工具 快速设置 ; 内置的 LED 指示灯可以保证设置快速, 容易, 不需要示波器 RS232 接口连接器为光栅系统提供电源, 连接到电脑 这也包括在安装工具内 金属光栅尺专用剪刀 第 2 页

MII 1600 产品性能 Mercury II 1600 建立在成熟的 Mercury 光栅测量技术平台基础之上 前一代 Mercury 系列产品体积小, 智能化, 速度快, 在此基础之上,Mercury II 1600 又提高了性能, 多功能性, 稳定性, 使用极其方便 Mercury II 1600 系列特点如下 : 体积小, 质量轻, 超薄的读数头可以安装在紧凑的运动系统中 方便的金属光栅尺应用工具确保了安装的一致性和速度 高速运行 --4 倍内插情况下速度可达 20m/s;x8, x20, 和 x40 内插情况下, 速度可达 7.2m/s 耗电低 A,B 和 I 终端信号输出仅消耗 48 ma 精度高 长周期精度最高可达 ± 5μm/m ( 在用户控制器完成线性校正之后 ) 集成在读数头内的高速内插可达 x40, 用于最高 0.5μm 分辨率的信号输出 安装公差宽松, 安装工具有红 / 黄 / 绿色 LED 指示灯辅助安装, 使读数头可以快速安装 稳定性特点指所有差分数字信号输出及双层屏蔽线都有极好的抗电磁干扰和抗射频干扰的性能 ; 光栅尺抗污染性能保证了即使有指印, 油, 灰尘, 等也不影响信号的完整性 选择软件让设置, 检测和诊断更容易执行 粘贴式安装的激光金属光栅尺有各种长度可供选择, 任意裁剪使用方便, 节省库存 ; 几乎可以安装到各种表面 如金属, 花岗岩, 玻璃, 符合材料或陶瓷材料 粘贴式光学零位可以安装在各处, 应用方便, 不需调整 第 3 页

读数头最小, 光栅系统最薄, 金属光栅尺最窄, 安装公差更宽松, 等等 Mercury II 光栅系统如何让高性能融入用户的产品设计中 Mercury II 产品能缩减系统尺寸和成本配用金属光栅尺的 MercuryII 光栅系统的厚度比同类竞争产品薄 34%, 这个特点能帮助降低用户的运动系统的重量因为用户可使用更小的马达和平台, 从而带来系统成本节约, 同时, 也放宽了机械系统公差 MercuryII 的光学零位直接贴于 6mm 宽的金属光栅尺上, 不需要额外的大体积的零位和金属光栅尺安装支架, 带来更多安装空间节省 最小金属光栅尺系统 16mm 15.3mm 6.0mm 系统高度最薄 Mercury II 10.0mm Brand X 18.2mm 机械尺寸对比 * 用金属光栅尺的 MercuryII 光栅系统 Brand X Brand Y Mercury II 与 最佳竞争产品 系统高度 10.0mm 18.2mm 15.8mm 薄 58% 读数头 Z 高 8.7mm 12mm 14.8mm 薄 38% 间隙公差 ± 0.15mm ± 0.1mm ± 0.1mm 宽松 50% 金属光栅尺 ** 6.0mm 16.0mm 15.3mm 优越 155% * 以公开规格为依据 ** 金属光栅尺系统宽度包括零位在内 Brand Y 15.8mm Theta Z 安装公差 省去了棘手的安装的麻烦 Mercury II 光栅系统彻底解决了这个问题繁琐的安装已不再是问题 借助 Mercury 专利的 PurePrecision 光学元件, 高级的 SmartPrecision II 电子元件和 LED 指示灯辅助安装, 你只需将读数头安放在基准面上, 用螺丝刀旋紧, 就可以完成安装 看看 Brand X 或 Brand Y 的情况如何呢? ± 0.006 ± 0.5 这一性能得以实现主要在于宽松的安装公差, 尤其是 theta Z 轴上的宽松公差 MercuryII 产品有 ± 2 有效位置 --- 这比最强的竞争光栅系统还优越 300% 这可以大大节约制造成本 MercuryII 光栅系统是市场上可以买到的最容易安装, 使用, 最容易集成到用户设计的产品中的光栅系统 ± 2 安装公差比较 * Mercury II *** Brand X Brand Y MercuryII 与最强竞争产品 theta Z ± 2.0 ± 0.006 ± 0.5 Mercury II 优越 300% theta Y ± 2.0 未指定 ± 1.0 MercuryII 优越 100% theta X ± 1.0 ± 0.1 ± 1.0 * 以公开规格为依据 *** 在一个轴处于恒温情况, 而其他轴处于理想位置的情况下测得结果 第 4 页

产品规格 分辨率与最快速度 Mercury II1600 光栅系统出厂设定内插 :x4, x8, x20, 和 x40 最快速度如下表 线性 20μm 栅距 内插 分辨率 最快速度 x4 5.000µm/count 20000mm/s x8 2.500µm/count 7200mm/s x20 1.000µm/count 7200mm/s x40 0.500µm/count 7200mm/s 光栅系统 光栅尺 : 任意裁剪 PurePrecision 金属光栅尺 有各种尺寸长度供应, 最长达 30m 光栅周期 20µm 信号周期 20µm 系统分辨率 5μm, 2.5μm, 1μm 或 0.5μm( 订购时说明 ) 线性精度 * 金属光栅尺 长周期精度 用户控制系统实现两点线性化之后为 ± 5μm/m * 室温情况下, 指定运动与 NIST- 可追踪激光干涉仪标准进行比较的最大误差 零位 : 粘贴式光学位标, 可安装在任何位置 ; 双向, 全速 读数头尺寸 电气参数电源 : 宽 : 13.49mm 0.531" 长 : 32.00mm 1.260" 高 : 8.66mm 0.341" 使用推荐终端情况下为 5VDC ±5% @ 48mA ( 请参考安装手册 ) 温度 操作温度 : 0 到 70 C 储存温度 : -20 到 85 C 湿度 : 10 到 90% RH 不凝固状态 电磁干扰 : CE 认证 冲击 : 300G 0.5 ms half sine 振动 : 30G@ 17Hz 读数头重量 : 6g( 读数头不带电缆 ) 读数头电缆 : 双层屏蔽 最大长度 :20m ( 需要 5m 以上长度的应用请联系 MicroE Systems) 直径 :2.8m(0.110 ) 抗绕寿命 :20 x 10 6圈 @ 20mm 弯曲半径 可靠性信息在正常操作条件下, 预期 5 年可靠性 : >99.6% 方向 A 5. C 8.30 零位区 7. D C1 6.00 6.75 本图中金属光栅尺转换为 X 轴, 为了明确操作范围 B B 27.00 2.50 C 3.84 A 2.62 22.86 4X R 2.79 B2 B1 6.6 9.00 ±0.08 14.25 A 读数头安装表面 3.84 2.03 金属光栅尺安装表面 2.07 27.00 ±0.08 M2.5 OR 2-56UNC-2B THRU., 2X 金属光栅尺 3.38 0.29 本图中金属光栅尺转换为 X 轴, 为了明确操作范围 背部不干胶 ( 金属光栅尺安装表面 ) 27.00 4X R 2.39 4X R 0.7 6 13.70 2.50 2.2 4 B 9.00 13.49 6. OPTICAL C L 21.59 4.95 2X 2.79 THRU. 32.00 C 注意 : 带金属光栅尺的读数头请参考 Mercury II 界面图了解更多尺寸详情和重要说明 第 5 页

产品规格 A-quad-B 信号输出 * MII 1600S 分辨率 电缆长度 +0.13M/-0.0 39.2 8.28 栅距 * 常用 20μm 2.8 电缆直径 52.0 5VDC 15.7 3.84 * 输出信号为差分输出 为了清晰的目的, 没有显示反向信号 MII 1600S 插针功能 1 未使用 2 接地 3 未使用 4 零位窗口 5 B 6 A 7 5V 8 5V 9 GND 10 COS + 11 SIN + 12 零位窗口 + 13 B + 14 A + 15 不连接注意 : 接地与内屏蔽在内部连接 第 8 针 第 1 针 第 15 针 第 9 针 第 6 页

SmartPrecision II 软件 Mercury II 光栅系统设置 利用信号电平显示和利萨如图调整读数头 验证零位性能, 看什么情况下读数头经过光栅尺的零位 利用信号强度与定位图来验证读数头在整个光栅尺周期上的信号输出 Mercury II 光栅系统操作监测 在光栅尺栅丝量单位中读取光栅系统定位 监测信号电平警报 Mercury II 光栅系统性能诊断 使用利萨如图和信号强度图做为诊断工具 将屏幕抓图通过电子邮件发送到 MicroE Systems 快速获得技术支持 监测警报 电脑要求 Windows 2000, XP 或 Vista 为什么将光栅系统与软件配合使用? 回答 : 可以让运动系统实现更多性能 Mercury II 1600 简单的 LED 指示灯辅助安装过程不需要使用软件 不过 SmartPrecision II 软件增加了独特的功能 : RS-232 串行通讯端口 ( 没有串行通讯端口的电脑, 如笔记本电脑, 可以使用 Keyspan USB 转接器, 零件编号 USA-19HS SmartPrecision 安装工具, 型号 ATMII1600S 或 ATMII1600H 利用信号电平显示, 利萨如图, 和信号强度图来设置性能 利用数字读数和软件警告进行系统检测 利用信号显示和数据图进行性能诊断 无论你的设备在哪里, 都可以将利萨如图屏幕抓图通过电子邮件发送到 MicroE Systems 寻求远程诊断支持 SmartPrecision II 软件可以设置, 检测和诊断 其功能包括显示如下内容 : 光栅系统信号输出数 光栅系统信号电平 零位状态 软件警报 利萨如图 信号强度与定位 第 7 页

带粘贴式零位的PurePrecision 金属光栅尺 Mercury II 的PurePrecision金属光栅尺安装快速便捷 精确度高 同类产品中占用空间最少 使用永久性压合 胶黏剂安装 通过在金属光栅尺末端使用环氧树脂和套 件来匹配基板的热膨胀 金属光栅尺包装有各种长 度 最长可达30米 这样 你可以根据应用的需要任 意裁剪 最大限度的减少 了库存成本 对于大量设 备制造商应用 您还可以 指定长度 订购预先切割 好的金属光栅尺 使用MicroE Systems的金属光栅尺安装工 具可以快速便捷的安装各种长度的 金属光栅尺 即使你手边没有 任何工具 使用安装工具时 防粘纸会自动从金属光栅尺 上脱离 安装表面金属尺的 位置由一个基准边限定 这个 基准边可以加工到基板上 也可以暂时设定 粘贴式光学零位 通常与金属光栅尺使用同 一个基准边 几秒钟就可以安装到金属尺上 这种设计节省空间 将零位限制在金属尺的 6mm宽度内 是空间受限的运动系统的理想 选择 零位为双向设计 而且可以在各种光 栅系统的速度下运行 请访问www.microesys.com/MercuryII 观看金属光栅尺安装展示视频 Mercury II PurePrecision金属光栅尺的安装也可以使用其他厂 商生产的6mm宽光栅尺应用工具 第8页

带粘贴式零位的 PurePrecision 金属光栅尺 您所指定的金属光栅尺长度必须按如下方法计算 无论你是否使用末端护环, 都可以采用此计算方法 金属光栅尺末端 20mm 不用于光栅系统反馈 金属光栅尺长度 = 测量长度 +40mm 如 : 需要测量长度 800mm, 金属光栅尺末端采用端压块 金属光栅尺长度 =800mm+40mm=840mm 规格 精度 用户控制系统实现两点线性化之后 ±5μm/m 材料 铬镍铁合金 Inconel 625 常用热膨胀系数 CTE 13ppm/ C; 通常通过在金属光栅尺末端使用环氧树脂, 使金属光栅尺的热性能与基板一致 零位与末端端压块位置 金属光栅尺长度 (ML + 40mm) 测量长度 (ML) D 零位 20.00mm End Cap 末端端压块 6.00mm 13.00mm D = 安装表面基准边 可用长度 : 订购生产所需的金属光栅尺总长度, 然后根据需要任意裁剪, 或者订购符合应用要求的按指定长度切割好的金属光栅尺 注意, 在不使用末端端压块的情况下, 你的设备上每个轴的测量长度要比金属光栅尺短 40mm 40mm - 500mm 的 PurePrecision 激金属光栅尺装在管子中进行运输, 超过 500mm 的分尺器运输 订购所需金属光栅尺长度使用型号编码 TS-xxxxx ( 这里 xxxxx = 以毫米为单位的金属光栅尺长度 [40mm - 30000mm] 比如 (9000mm 金属光栅尺 ): TS-09000 需要超过 30m 的金属光栅尺请联系 MicroE Systems 第 9 页

安装配件包 所有 Mercury II 光栅系统型号都是兼容的, 安装配件包提供了安装 MercuryII 光栅系统所需的所有用具 安装包分 非消耗用品 和 消耗用品 两种类型 非消耗用品专门为首次购买者提供 其中包括你只需要购买一次的专用工具和可供 5 次安装使用的消耗用品 消耗用品包是给那些用完了非消耗品包中的消耗品, 再次订购的用户提供的 消耗品安装包中有用于 10 次安装的全部材料 所有的安装配件包中都包括公制的和美国常用的螺丝和六角扳手, 都包括在安装配件包中, 易于存放 关于如何使用安装配件包的说明, 请登录网站 www.microesys.com/mercuryii, 参考 Mercury II 光栅系统安装手册 MII AK-1 金属光栅尺安装用非消耗用品 ( 包括 5 次安装消耗用品 ) MII AK-2 金属光栅尺安装消耗用品 ( 包括 10 次安装用消耗用品 ) MIIAK-1 MIIAK-2 金属光栅尺安装工具 用于粘贴金属光栅尺金属光栅尺剪刀 用于裁剪金属光栅尺带锋利尖端的塑料镊子读数头高度测量仪 验证读数头高度零位 用于金属光栅尺或直线玻璃光栅尺金属光栅尺末端端压块 ( 每个金属光栅尺按照需要两个 ) 两部分环氧树脂 用于安装光栅尺无粉手指套光栅尺清洁巾读数头安装螺丝 --M2.5x6mm 读数头安装螺丝 2-56UNCx1/4inch 用于 M2.5 螺丝的六角扳手用于 2-56UNC 螺丝的六角扳手 1 1 1 1 5 10 5 包 8 8 10 10 1 1 10 20 10 包 15 15 20 20 第 10 页

如何订购 MercuryII1600 光栅系统, 安装工具, 和软件 要说明你的 MercuryII1600 光栅系统需要的电缆长度, 安装如下系统型号所需的数量订购 使用型号编码来订购光栅尺和增加项目 如果需要更多信息, 请联系 MicroE Systems 中国区销售 / 服务团队 比如 (MII1600 光栅系统带 3 米电缆, 和 x40 内插的 MII1630S-40 M II 16XXS 内插 MII1610S = 1m 电缆 MII1630S = 3m 电缆 MII1650S = 5m 电缆 4 = x4 8 = x8 20 = x20 40 = x40 如何订购 SmartPrecision 安装工具用于设置 M II 1600 光栅系统 Example (Alignment Tool for Mercury 120 VAC): ATM II 1600S-120 II 1600 encoder, 如何订购 PurePrecision 金属光栅尺 例如 (8000 毫米金属光栅尺 ):TS-08000 TS-xxxxx 此处 xxxxx= 金属光栅尺长度, 以毫米为单位 (40mm - 30000mm). ATM II 1600S 电压 20 = 120 VAC, 60Hz 美国标准 2- 相插头 220 = 220 VAC, 50Hz 欧洲标准 2- 相插头 MS MS = 一个零位 EC EC= 一包金属光栅尺末端端压块 ( 每包 10 个 ) 注意 : 每个金属光栅尺安装需要两个末端端压块 如何订购 SmartPrecision II 软件可选 ATM II 1600 安装工具 SPSWM II -AT CD 中的 SmartPrecision II 软件和接口电缆 第 11 页

如何订购 Mercury II 光栅系统 安装配件包 例如 ( 用于金属光栅尺安装的消耗用品包 ):M II AK-2 MII AK 安装包编号 1= 安装包 1, 金属光栅尺安装用非消耗用品, 包括 5 次安装消耗用具 2= 安装包 2, 金属光栅尺安装消耗用品, 包括 10 次安装用消耗用具 Mercury II 光栅系统全部通过 RoHS 认证 Mercury II 光栅系统全部通过欧洲指令的 2002/95/EC 认证 ( 有害物质的禁止使用限制, RoHS ) 如果需要, 我们可提供认证证明 Mercury 是 MicroE Systems 的一个品牌 ;Mercury 与 Mercury II 光栅系统不包括任何汞金属 真空级别的和小直径圆光栅系统 请登录 www.microesys.com/mercury, 了解 Mercury 直线光栅测量系统和圆形光栅测量系统, 符合高真空要求 10 托, 小直径圆形光栅系统的光栅尺外部直径从 32mm 到 12mm, 是低成本的 PCB 安装光栅系统 -8 GSI / MicroE 全球制造 / 研发 / 客服 / 技术支持中心 T: 001 781 266 5700 F: 001 781 266 5112 E: info@microesys.com GSI / MicroE 中国区销售 / 服务 http://www.microesystems.cn/ MicroE Systems 对于此样本的翻译和印刷错误不负有责任, 保留更改产品规格的权利, 恕不另行通知. 2010.7. 第 12 页