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1 About Kao Duen 高敦科技股份有限公司

2 高敦科技股份有限公司 成立 : 1995 員工人數 : 台北辦公室 14 人 ( 台北縣中和市 ) 台南辦公室 2 人 ( 台南市北區 ) 主要市場及產品 : 學術及研究單位 RD 真空鍍膜系統

3 Sputter System

4 Customer List : 中科院 / 中研院物理所 / 台灣大學 / 成功大學 / 交通大學 /NDL / 儀科中心 / 清華大學 / 中山大學 / 中正大學 / 高雄大學 / 東華大學 / 聯合大學 / 勤益科大 / 彰化師大 / 中興大學 / 台灣科大 / 台北科大 / 正修科大 / 明志科大 / 長庚大學 / 高一科大 / 虎尾科大 / 台南大學 / 屏東科大 / 屏東教育大學 / 黎明技術學院 / 吳鳯技術學院 / 義守大學 / 大同大學 / 光電廠. etc.,

5 Cathodes : 3 x 2-4 自公轉機構 預留手套箱開口 預留 Load Lock 機構

6 Target : ITO 腔體門手套與手套箱試片傳送 Cathode : 3 x 3 Sub.: 10 x 10 cm Glass

7 For High K Material Target : Ti. TiN. Ta. TaN. Ni. ITO. Cathode : 4 x 6 Sub. : 4 x 6 or 6 x 4 Wafer

8 Load Lock 機構 Cathode : 3 x 3 Sub. : 4 x 3 wafer 自公轉機構

9 For Ni, Fe, Ti, Ta Cathode : 3 x 4 Sub. : 6 wafer Spare Load Lock Assembly

10 UHV Ion Source Sputter Target : 6 x 2 Selected Sub. : 2 wafer Sub. Heater : 950 W / Rotator Load Lock & Z 軸機構

11 Sputter Chamber ( C. I. G. Mo. ZnO / AZO. ITO ) Thermal Chamber ( Se 專用 ) 1 x Load Lock Chamber 2 x 手動傳輸及銜接機構 Z 軸試片承接及旋轉定位機構

12 C.I.G.S 用途 Cathode : 4 x 3 Sub.: Rotation. Z 軸. 旋轉定位機構 Load Lock 機構 磁控試片自動取片及進片機構

13 UHV with Load Lock 機構 3 x 2 Sputter Cathodes 1 x 3 cm Ion Source ( Etching ) Sub. : 4 x 2 wafer with heaters UHV Z 軸試片承載傳送機構

14 Target : Ga / C.I.G.S UHV Load Lock 機構 Cathode : 1 x 8 Sub. : 6 wafer Z 軸及手動傳輸裝置

15 ALD 原子層磊晶系統 ( 與清大材料技術移轉與產學合作 )

16 ALD :

17

18 Customer List : 清華大學材料系 清華大學奈米中心 長庚大學電子系 長庚大學生醫所 成功大學電子系

19 Layout 1 ALD SYSTEM FOR Al, Ti, Hf, La, Zn. Mg etc., With Plasma NH3

20 Layout 2

21 Layout 3

22 P / OLED Thermal System

23 Customer List : 中研院 / 交通大學 / 台灣大學 / 成功大學 / 中山大學 / 台北科大 / 嘉義大學 / 長庚大學 / 暨南大學 / 勤益科大 / 義守大學 / 和春技術學院 / 正修科大 / 長庚大學 / 聯合大學 / 工研院太陽能電池中心 / 核能研究所 / 刑事警察局 etc.,

24 Source : 3 x Thermal 300A + 1 x 750 K-Cell 腔體完全在手套箱內

25 Source : 10 Thermals + 3 Power Supplies 試片. Mask. Shutters 3 軸自動可程式切換

26 Source : 10 Source + 2 Power Supplies 腔體上掀門在手套箱內

27 Source : 4 x Sources + 2 x K-Cell 試片. Mask 雙軸自動切換 連接手套箱試片傳接

28 Source : 4 x Thermals + 2 x K-Cell 3 x Thickness Monitors Sample, Mask 切換機構

29 Material : Zn. Au 用途 : 指紋辨識機 Source : 2 Source with 5 Boards / Each 大面積試片

30 C.I.G.S / Se 專用機 Source : 1 x K-Cell 500 Sub. : Max 600

31 CVD / RIE System

32 Customer List : 中山大學 / 成功大學 / 台灣科大 / 新竹教大 / 修平技術 / 勤益科大 / 台灣科大 / 台灣大學 / 新加坡大學 / 中正大學 / 中華映管 etc.,

33 H.V.P.E. 氫化物磊晶系統

34 Customer : Furnace CVD 1

35 Customer : Furnace CVD 2

36 大氣 / 真空電漿處理系統

37 Plasma Treatment Liquid Sources : TEOS. PEGMA etc., 大面積 Shower Head 500 mm 載台水冷. 旋轉. 升降控制

38 Customer : R.I.E.

39 E-Beam System

40 Customer : E-Beam 1

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45 Target : 1 x 4 Target 自公轉及 Oscillator 模式 Sub. Heater : 950

46 Special Chamber ( 客製化腔體 )

47 Special Chamber 1

48 Special Chamber 2

49 Vacuum Parts

50 MeiVac USA Sputtering Cathode. Heater. APC Throttle Valve Kao Duen Vacuum Parts... US Inc USA CIRCULAR SPUTTERING CATHODE : 1.3 " - 6" 濺鍍源 US Inc USA UHV SUB. HEATER 950 : 2" - 6" 基板加熱載台 MeiVac USA APC THROTTLE VALVE 6"-35" 自動壓力控制器

51 RF/DC Plasma Generator Seren / Huttinger RF Plasma Generator : W RF 電漿電源供應器 AE DC Plasma Generator : 500 W - 10 KW DC 電漿電源供應器

52 Sycon USA 膜厚控制器 <> Sycon USA Thickness Monitor and Controller 膜厚顯示及控制器

53 Duniway USA 真空計 Duniway USA Vacuum gauges 真空計 Ion / dual convectron ( 3 in 1 ) Cold Cathode Full Range Gauge Hot Filament Full Range Gauge Capacitor Gauge Convectron / TC Gauge

54 Mass Flow Controller 氣體流量控制器及讀表 Mass Flow Controller 氣體流量計 KD MFC Readout 1 / 2 / 4 CH Set / Actual Flow Dual Displaies Fitting for Brooks, MKS, Acer, Tylan, Unit, Sierra, Hasting, Lintec etc.,

55 Turbo Pump Osaka Japan 渦輪分子幫浦 Turbo Molecular Pumps Pumping Rate : ( N2 L / Sec ) 51, 220, 350, 450, 820, , Flange : CF, ISO, VG etc.,

56 MPF USA Power. TC Feedthrough, View Port MPF USA 真空導入端子 Power / RF Feedthrough View Ports 00. Power / TC Feedthrough BNC / SHV Feedthrough Power Connection etc.,

57 A&N USA Vacuum Parts A&N USA 各式真空元件 Manual / Penu. Gate Valve Vacuum Parts : Flange, Bellow, Valves, View P Power Feedthrough, Parts... et

58 Vacuum Sensor Head Sensor Gauges 各式真空計感測器 Hot Filaments Gauge Tubes Thermocouple Gauge Tubes Convectron Gauge Tubes MKS Capacitor Gauge Tubes GP,MKS,Varian,Edwards Sensors

59 Crystal Crystal 石英振盪晶片 5 / 6 MHZ Cu / Silver Coating Dia. 0.49" / 0.50" 可適用於 : ULVAC, Maxtek, Inficon, Balzers, Sycon etc.,

60 Spinner Germany RF Connector. Cable Spinner RF / DC 各式接頭及纜線 Connector : N, HN, 7/16 etc., Cables : RG214, 393, 5U, 8U... RF Switch 50 Ohm RF Dummy Load

61 TE USA 磁控傳輸手臂 Transfer Engineering USA UHV / HV 磁控真空傳輸手臂 Magnetic Manipulator Linear Magnetic Manipulator Rotary

62 實驗型真空鍍膜系統, 元件的最佳選擇. Included Sales and Services 高敦科技股份有限公司

63 Thanks!

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