年 7 月 1 引言随着材料学的快速发展, 缺陷尺寸成为基于断裂力学的材料寿命评估的基础, 缺陷的定量无损检测显得尤为重要 常用的定量检测方法主要包括脉冲反射法和衍射时差法 (Time of flight diffraction, TOFD) [1 3] 基于超声波脉冲反射法的反射波

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1 第 37 卷第 4 期 Vol. 37, No 年 7 月 Journal of pplied coustics July, 218 研究报告 基于超声相控阵衍射波图像的缺陷测量方法 陈振华 许倩卢超 ( 南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室南昌 3363) 摘要工程应用中常通过超声相控阵检测技术的脉冲反射法对缺陷进行扇形扫描, 并基于反射波幅度的 6 db 法测量缺陷尺寸 然而,6 db 测长方法很难对缺陷尺寸进行精确测量 该研究提出利用超声相控扇扫图中的缺陷衍射波图像测量缺陷尺寸以获得较高的测量精度 首先, 分析了扇扫图像中缺陷衍射波特征图像及其影响参数以获得清晰的缺陷衍射波扇型扫描图像 ; 其次, 提出了基于端部衍射波时差的缺陷尺寸测量方法, 并与其他测量方法的测量精度相比较 研究结果显示 : 基于相控阵扇型扫描的缺陷衍射波测长精度较之反射波幅度法更高, 而反射波法更适用于缺陷取向的测量 该研究经过对比分析, 为缺陷定量检测提供了一种更为有效的解决方案 关键词超声相控阵, 扇型扫描, 衍射波, 定量检测中图法分类号 : TG11.28 文献标识码 : 文章编号 : 1-31X(218) DOI: /j.issn.1-31X defect measurement method based on ultrasonic phased array diffraction wave image CHEN Zhenhua XU Qian LU Chao (Key Laboratory of Nondestructive Testing of Ministry of Education, Nanchang Hangkong Universtiy, Nanchang 3363, China) bstract In engineering applications, the sector scan of ultrasonic phased array method is used to test the defect, in which the defect size is measured by the 6 db method. However, it is difficult to measure the size of the defect accurately based on the 6 db length measurement method of the reflected wave amplitude. In the study, we proposed to use the image of defect s diffraction wave in the ultrasonic phased sector scanning image to measure the defect s size with higher measurement accuracy. Firstly, the image s characteristics of diffraction wave and related influence factors are analyzed to achieve higher quality of the image. Secondly, the measurement method of defect size based on diffraction wave is proposed and compared with the other methods. The research results show that the measurement accuracy of the defect diffraction wave is higher than that of the reflected wave amplitude method, and the reflected wave method is more suitable for the measurement of defect s orientation. The study provides a more effective solution for the quantitative detection of defects. Key words Ultrasonic phased array, Sector scan, Diffraction wave, Quantitative detection 收稿 ; 定稿 国家自然科学基金项目 ( , ), 江西省自然科学基金项目 (2161BB21611) 作者简介 : 陈振华 (1982- ), 男, 江西余干人, 博士, 副教授, 研究方向 : 超声波无损检测技术及其系统 通讯作者 zhenhuachen@yeah.net

2 年 7 月 1 引言随着材料学的快速发展, 缺陷尺寸成为基于断裂力学的材料寿命评估的基础, 缺陷的定量无损检测显得尤为重要 常用的定量检测方法主要包括脉冲反射法和衍射时差法 (Time of flight diffraction, TOFD) [1 3] 基于超声波脉冲反射法的反射波幅度一般只能得到缺陷的当量尺寸, 这与缺陷实际尺寸 [4] 存在较大误差 柯常波等将脉冲反射回波法与神经网络技术相结合, 研究了基于端点回波反射法和 BP 神经网络模型裂纹测长方法, 结果表明裂纹高度的网络预测值均可保持在 ±1 mm 的绝对误差之间, 但该方法只能用于表面开口缺陷的测量 衍射波法比脉冲反射法具有更高的缺陷尺寸测量精度, [] 冯云国等利用端点衍射法测量了焊接接头内部高.4 mm 的裂纹, 测量误差可控制在 1 mm 以内 [6] 李衍等证明了超声 TOFD 法的缺陷定量比常规回波幅度法准确可靠 然而, 端点衍射法 (GB/T ) 在实际工程应用中存在不足, 包括 : 双探头布置导致对检测面的要求较高 面对复杂检测面的检测能力不足 ; 探头晶片尺寸小 声能低, 导致对厚壁件或微小缺陷的检测能力不足 ; 检测参数和影响因素多导致检测效率较低 超声相控阵检测技术通过电子方法控制换能器中各阵元的激发延时, 实现焦深和声束偏转的连续调整, 具有检测能量高 速度快 探头布置简单 方法灵活多样 便于对复杂形状工件进行检测等优势 [7] 超声相控阵检测技术及超声 TOFD 检测技术在缺陷定量检测中体现出了高精度 直观 高效率的优势 [8 1] 将超声相控阵技术与衍射时差法相结合可弥补常规超声 TOFD 检测技术的不足, 并兼顾 TOFD 技术在尺寸 [11] 测量精度高的优势 李衍基于超声相控阵技术通过缺陷衍射回波信号间距和波幅比对多种缺陷定性测高, 但对于取向各异的面型缺陷并未给出具体测量方法 GH91 高温合金材料常用于制造航空发动机的叶片和涡轮盘, 对其中可能存在的疲劳裂纹等面型缺陷的定量检测是涡轮盘安全运行的重要保障 [12 13] 本文结合相控阵检测技术及衍射时差方法的优势特点, 提出了航空涡轮盘材料 GH91 高温合金中面型缺陷尺寸及取向的超声相控阵衍射波测量方法 首先, 通过实验方法获得相控阵扇型扫 描图像中的面型缺陷端部衍射波的激发方式, 细致分析了缺陷端衍射波图像特征及其影响因素 其次, 在获得清晰的面型缺陷衍射波图像的基础上, 提出基于衍射波图像的面型缺陷取向及尺寸的计算方法 最后, 通过与常规脉冲法的测量结果对比, 进一步证明了超声相控阵衍射时差法以及反射波法在测量面型缺陷尺寸及缺陷取向的优势 本研究提出的面型缺陷超声相控阵检测方法可应用于航空涡轮盘发动机面积型缺陷的精确定位 定量检测, 对于提高缺陷的检出率以及检测精度具有重要作用 2 试样制备及实验方法 2.1 试样制备检测试样为 1 mm 1 mm mm 的 GH91 高温合金试块, 该材料可用于制造航空涡轮盘及叶片 采用电火花加工方式在垂直于试样表面加工三个深 mm 长 mm 间隙 1 mm 的窄槽, 标示为 1 3 槽 1 3 的中心与最近的试块邻边分别相距 1 mm 3 mm mm, 所有窄槽与上下表面成 6 夹角 与左右表面成 3 夹角 因此, 探头分别置于上下或左右表面时, 可对两种取向的槽进行检测, 此处定义窄槽取向为窄槽面与检测面间的夹角 试块中的人工窄槽用于模拟试块中的面型缺陷, 试块结构如图 1 所示 图 1 检测试样 ( 单位 : mm) Fig. 1 The test sample (Unit: mm) 2.2 探头前沿的标定相控阵探头的中心频率 MHz, 阵元数 32, 阵元间距.6 mm, 各阵元呈线阵排列 ; 探头配备的楔块角度为 38, 楔块中纵波声速 2337 m/s 实验中的扫描模式为扇型扫描, 聚焦深度设置为缺陷的实际深度, 扫查角 2 8, 扫查线角度步进., 以

3 第 37 卷第 4 期陈振华等 : 基于超声相控阵衍射波图像的缺陷测量方法 449 机油作为探头耦合剂 在面型缺陷检测前, 需校准系统中材料声速及探头前沿 图 2(a) 显示 : 设检测声束聚焦于 F 点, 探头前端为 点,O 点为聚焦声束在入射角 θ( 扫查线角度 ) 下聚焦于 F 点时的聚焦声束入射点, 则, 定义探头前沿为聚焦声束入射点 O 至探头前端 的距离 ( 图 2(a)) 在扇型扫描过程中, 由于声束入射点会随扫查线角度变化, 实测探头前沿也将随扫查线角度变化, 如图 2(b) 所示 本研究采用的超声检测设备具备声速和探头前沿的校准功能, 通过一定校准规程可记录任意扫查角度的探头前沿, 用于确定缺陷的水平距离及深度 经校准实验可知, 材料横波声速为 v S = 324 m/s O θ /mm mm 3 mm mm 13 F /(O) (a) (b) 图 2 探头前沿示意图及其随扇扫角度的变化 Fig. 2 Effect of scanning angle on the front fan of the probe 3 超声相控阵缺陷测量方法 3.1 衍射法检测原理反射波或衍射波的高效接收是基于这两种波型检测缺陷的前提 图 3(a) 显示 : 当探头声束垂直于窄槽面时, 探头可高效接收沿入射声束原路返回的反射波信号且幅度最高 ; 此外, 当入射声波垂直于窄槽时, 窄槽两端的衍射波传播声程基本相同, 衍射波条纹相互叠加并淹没在幅度较大的反射波条纹中 因此, 当探头入射声束垂直于槽面时, 扇扫图像 上只能观察到反射波条纹 图 3(b) 显示 : 当改变探头位置使入射声束不与窄槽面垂直时, 反射波与入射波成一定夹角, 探头只能部分甚至无法接收到反射波, 探头接收的反射波幅度显著降低 ; 由于衍射波的方向性不像反射波那么强, 探头在一定的位置范围内可接收到幅度相差不大的衍射波 因此, 当将探头调整至无法接收或少量接收反射波时, 窄槽端的衍射波声程差使得衍射波条纹相互分离且不会被较弱的反射波条纹掩盖, 通过适当地增大设备增益可使分离的衍射波条纹清晰地显示在扇扫图像上 ( ) (a) (b) 图 3 反射波及衍射波接收原理 Fig. 3 The principle of wave reflection and diffraction of the defect in ultrasonic phased array test

4 4 218 年 7 月 - P/mm % P/mm % D/mm C 8% 6% 4% D/mm B 8% 6% 4% 2% 4 2% 6 (a) % (b) % 图 4 取向 3 深 3 mm 窄槽超声相控阵检测图像 Fig. 4 Sector image of narrow groove with 3 angle in depth of 3 mm 调整相控阵检测探头位置可使扇扫图像上出 现窄槽面的反射波条纹以及由窄槽端角衍射形成 的衍射波条纹 图 4 为将探头置于图 1 试块右侧检 测面时, 对深 3 mm 窄槽检测的相控阵扇扫图像, 该窄槽取向 ( 窄槽与检测面的夹角 ) 为 3 图 4(a) 显示 : 当探头前端与缺陷水平距离 d = mm 设备 增益为 2.1 db 时, 在扇扫图像下边缘可观察到单 一连续的反射波图像, 条纹幅度最高处的扫查线角 度为 32., 据此扫查线与窄槽的夹角为 87., 入射 声束基本与窄槽垂直, 扇扫图上显示的是反射波条 纹 为获得衍射波图像, 探头应远离缺陷方向移动 当探头前端远离缺陷 12 mm 并将设备增益提高至 32.6 db 时可观察到清晰的缺陷上下端衍射波条纹 和条纹 B, 条纹 上最大幅度处的扫查线角度为 48, 条纹 B 上最大幅度处的扫查线角度为 42., 如 图 4(b) 所示 为保证缺陷的端部衍射波条纹相互分离并完 整地显示在扇扫图像范围内, 探头移动调整方法为 对于取向为 6 的窄槽, 相控阵超声探头应以接收 到最高反射波时的位置为起点靠近缺陷移动 ; 对于 取向为 3 的窄槽, 探头应以接收到最高反射波时 的位置为起点远离缺陷移动 3.2 基于衍射波扇扫图像的缺陷测量方法 超声相控阵检测设备可直接显示窄槽 B 端 在工件中的深度 D 和 D B 槽端距探头前端的水平 距离 P 和 P B 以及 B 端衍射条纹最大幅度处对 应的扫查线角度 θ 和 θ B 设窄槽尺寸为 L, 取向角 度为 α, 如图 所示 图 (a) 显示, 可根据槽端位置 计算窄槽尺寸 L 与取向角 α: L = (D B D ) 2 + (P P B ) 2, (1) ( DB D ) α = arctan. P P B (2) 图 (b) 显示另一种考虑探头前沿补偿的 ( 针对 于无前沿校准功能的设备 ) 的窄槽尺寸测量方法 设 为与窄槽 端相交的聚焦声束入射点,B 为 与窄槽 B 端相交的聚焦声束入射点, 从仪器上可读 出窄槽上下端点 B 衍射波入射声程 S S B 以及 上下端对应的扫查角度 θ θ B, 通过实验可测量探 头在扫查角 θ θ B 下的前沿 L 和 L B 根据正弦定 理求得上下端点入射声束在楔块内的反向延伸线 长度 a 和 b: 可表示为 a = O = (L B L ) cos θ B, (3) sin(θ θ B ) b = OB = (L B L ) cos θ. (4) sin(θ θ B ) 采用余弦定理求得窄槽的尺寸 L 及取向角 α, L = (S + a) 2 + (S B + b) 2 2(S B + b)(s + a) cos(θ θ B ), [ ] () α = θ + θ 1 9 = θ + arccos (S + a) 2 + L 2 (S B + b) 2 2(S + a)l 9, (6)

5 第 37 卷第 4 期陈振华等 : 基于超声相控阵衍射波图像的缺陷测量方法 41 P B P O a b L B L D B D Bϕ θ B ϕ θ S B α L S B θ 1 L α B (a) 1 (b) 2 图 检测方法示意图 Fig. Schematics of test method 其中,θ 1 为聚焦声束与窄槽上端夹角 上述两种方法均基于衍射波计算缺陷尺寸或取向 : 式 (1) (2) 基于图像中衍射条纹深度和水平距离测量缺陷, 表达式更为简洁 所需参数更少 ; 式 () (6) 考虑了前沿长度随扫查角度的变化, 基于扫查角 前沿长度 声程计算缺陷尺寸及取向, 参数较多 表达式更为复杂 对于具有前沿自动校准功能的超声相控阵检测设备, 可采用公式 (1) (2) 测量缺陷尺寸及取向 3.3 基于反射波扇扫图像的缺陷测量方法相控阵标准 STM E27-9 指出 : 在缺陷尺寸远大于聚焦声束宽度时, 可以基于幅度 6 db 法对缺陷进行定量检测 [14 1] 在采用 6 db 波幅法测量窄槽长度时, 应先将窄槽反射波幅度调整至 最高为满屏的 8%, 扫查线以此为初始位置做上下扫查 ( 扫查线角度增大或减小 ), 使反射波波幅降到 4%(6 db) 以确定缺陷端位置, 读取此时扇扫图像中特征条纹上下两端在工件中的深度及至探头前端的水平距离分别为 P R, 如图 6(a) 所示 则窄槽尺寸 L 可表示为 L = (P d P u ) 2 + (R u R d ) 2, (7) 其中,P d P u,r d R u 分别为幅度法测得的窄槽上下端的深度和水平位置 反射波幅度最高时, 入射声波垂直于窄槽面 因此, 移动探头使反射波幅度达到最高 ( 满屏的 8%), 设此时与条纹中幅度最高处相交的扫查线角度为 θ, 如图 6(b) 所示 窄槽取向 α 可表示如下 : α = θ. (8) θ P U P d R U R d C α (a) (b) 图 6 反射波法测量窄槽尺寸 角度 Fig. 6 Defect s measurement by reflected wave method

6 年 7 月 4 结果分析 4.1 三种定量方法测量结果对比提出面型缺陷尺寸及取向的三种测量方法, 包括两种基于衍射波扇扫图像的缺陷测量方法和一种基于反射波扇扫图像的测量方法 将衍射波法的式 (1) (2) 式 () (6) 以及反射波幅法式 (7) (8) 标示为方法 1 方法 2 以及方法 3, 对比分析各种方法对各类缺陷的测量结果, 如图 7 所示 图 7(a) 图 7(b) 分别为缺陷与检测面成 6 3 夹角时, 三种方法下缺陷尺寸测量的绝对误差对比分析图 结果显示 : 方法 3 测得的绝对误差最大, 方法 2 次之, 而方法 1 测量结果的绝对误差最小 此外, 与检测面成 3 夹角的窄槽长度测量值的绝对误差显著小于 与检测面成 6 夹角的窄槽测量值的绝对误差, 因此应尽量选择与窄槽夹角较小的检测面进行测量 基于衍射法的缺陷尺寸测量方法不受超声波幅的影响, 仅与端部的衍射波时差 ( 位置差 ) 相关, 在测量缺陷尺寸时更为直接 外部干扰更小, 因此具有更高的测量精度 由于实验所用设备在校准时已经对前沿随扫查角的变化做了自动修正, 方法 2 重复引入前沿补偿导致测量精度整体低于方法 1 图 8 为三种方法测量下的角度测量结果 图 8(a) 图 8 (b) 分别为缺陷与检测面成 6 3 夹角时, 三种方法测量的缺陷取向 ( 缺陷与检测面的夹角 ) 的绝对误差对比 两种窄槽取向情况下的测量结果均显示 : 方法 3 的角度测量误差最小, 方法 2 的角度测量误差最大, 检测面的选择对窄槽取向的测量误差的影响不大 因此, 利用反射波方向 /mm 3 2 /mm /mm /mm (a) 6O (b) 3O 图 7 尺寸测量误差对比 Fig. 7 Comparison of size errors measured by different method /(O) /(O) /mm /mm (a) 6O (b) 3O 图 8 取向测量误差对比 Fig. 8 Comparison of orientation errors measured by different method

7 第 37 卷 第 4 期 陈振华等 基于超声相控阵衍射波图像的缺陷测量方法 43 性强的特点对缺陷取向进行测量更为精确 引入多 端衍射波扇扫图像 如图 9(a) 所示 由衍射波扇扫 余的前沿修正 (方法 2) 对于具有前沿校正功能的设 图像可测得缺陷上端 在工件中的深度 D 及距探 备测量是不利的 头端部的水平距离 P 分别为 2.7 mm 及 27.1 mm 缺陷下端 B 在工件中的深度 DB 及距探头前端的水 4.2 面型缺陷定量检测 平距离 PB 分别为 31.6 mm 及 23.6 mm 代入式 (1) 为获得较高的面型缺陷定量精度 应采用衍射 法及反射波法分别测量缺陷尺寸及取向 深 3 mm 可知 L = 4.97 mm 绝对误差为.3 mm 当探头端 部远离缺陷 32.6 mm 可接收到缺陷的最高幅度反 取向 6 的窄槽缺陷 (面型缺陷) 的衍射波及反射波 射波 调整设备增益至 22 db 使缺陷反射波幅达到 扇扫图像如图 9 所示 当探头前端远离缺陷中部的 8% 形成清晰的反射波扇扫图像 与最高反射波幅 水平距离为 2.7 mm 时 提高设备增益至 32.6 db 使 度区域相交的扫查角度 θ 为 61. 由式 (8) 可知窄 缺陷下端衍射波幅达到 8% 可观察到清晰的缺陷 槽取向为 61. 绝对误差为 1. 图9 深 3 mm 取向 6 窄槽的尺寸 角度测量 Fig. 9 Measurement of narrow slot of 3 mm depth and 6 direction 综上 本研究提出了面型缺陷的超声相控阵定 量检测的具体方法 并通过比较实验分析了衍射时 扫图像中 并可用于缺陷尺寸及取向的测量 (2) 较之反射波幅度法 基于端部衍射波测量 差法及反射波法在测量缺陷尺寸及取向的优越性 缺陷尺寸可获得更高的测量精度 测量时应注意探 基于超声相控阵衍射波图像测量缺陷尺寸方法结 头前沿将随扇扫角度而变化 探头前沿若经设备自 合了超声相控阵检测及超声 TOFD 检测的优势 既 动校准修正 则后续测量无需考虑探头前沿随扇扫 可形成高能量的聚焦声束用于激发衍射波又可依 角度的动态变化 此外 还应注意检测面的选择 检 据衍射波时差直接计算缺陷尺寸 实验研究证明 测面与缺陷成较小夹角更有利于尺寸测量 基于超声相控阵的衍射波图像测量缺陷尺寸显著 (3) 缺陷的取向测量结果显示 基于反射波取 优于传统幅度法 此外 由于超声相控阵聚焦声束 向特征的缺陷取向测量方法具有更高的检测精度 在面型缺陷上反射波的方向性很强 反射波幅度最 衍射波法不适合缺陷取向的测量 因此 在测量面 高时的相控阵聚焦声束垂直于面型缺陷 根据此时 型缺陷时 尺寸测量应选择衍射波法 取向测量则 反射波扇扫图像测得的面型缺陷取向比衍射法更 应选择反射波法 准确 结论 (1) 超声相控阵扇扫图像中不仅包含缺陷的反 射波条纹 还包含着缺陷的端部衍射波条纹 通过 适当调整探头位置 衍射波条纹可清晰地显示在扇 参 考 文 献 [1] 蔡保山, 王俊立, 朱超阳. 浅谈脉冲式超声波反射法测厚的测 量精度 [J]. 中国水能及电气化, 21(1): 28 3, 7. Cai Baoshan, Wang Junli, Zhu Chaoyang. On measuring precision of thickness measurement with pulsed ultrasonic

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