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1 省電大作戰六吋晶圓廠節能新手法 旺宏電子股份有限公司 FAB I 廠務部電力空調課 羅諺聘

2 Agenda 前言緣由及目的節能方向選定計畫及執行結果 Q & A

3 前言 地球的境遇

4 前言 人類的省思

5 晶圓一廠大事紀 前言 綠色企業承諾 MXIC 的努力 綠色環保設計 1. 重視能源短缺 地球暖化問題 旺宏電子 節能服務團 2. 降低污染排放量 3. 致力節能改善企業營運成本 4. 六吋晶圓廠的韌性 A to A+ 溫室氣體認證 溫室氣體減量績優廠商 綠色採購績優企業獎

6 緣由及目的 1. 經濟部能源局規定 平均年節電率需達 1% 以上 2. 產能因素不得列入節電率計算 3. 廠務設備節電率需提升至 1.5%, 以利廠區平均節電率達標 起始點廠區用電 (%) 廠務用電 (%) 節省度數 (%) 廠務設備節電率 (%) 能源局目標 (%) 換算廠務設備目標節電率 差異 % -0.7% % -0.5%

7 說明 : 1. 除照明 排氣系統外, 共有 6 項系統在 B 級以上需進行節能評估 2.A 級有 4 項,50% 為未作過節能措施 3.B 級有 2 項, 需進行節能措施分析 節能方向選定 節電順序評估 用電比例 (%) 用電比例 (%) 近 3 年系統節電比例節電順位 冰水系統 % B 潔淨室系統 % A 排氣系統 % C 照明系統 % C 製程冷卻水系統 % A 一般空調系統 % A 壓縮空氣系統 % A 純水系統 % B Total 節電順位 : 0%-2% : A 級 2-5% : B 級 5% 以上 : C 級 ( 依據台電節電獎勵辦法分級 )

8 節能方向選定 節電目標 冰水系統 潔淨室系統 節電率不佳 一般空調系統 製程冷卻水系統 壓縮空氣系統 純水系統

9 SCHP C/T 節能方向選定 冰水系統 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 CHP 2013 用電比例 2015 用電比例節電比例 冰水主機 81.1% 90.0% -8.9% 冷卻水泵 8.3% 3.0% 5.3% 一次冰水泵 2.7% 0.9% 1.7% 二次冰水泵 3.3% 1.4% 1.8% 冷卻水泵 4.7% 4.7% 0.0% 冰水系統 100.0% 100.0% CH CWP 方向 : 冰水主機及冷卻水塔節電不彰

10 潔淨室系統共分為 RCF OAC FFU 3 大主要系統 1.RCF 系統 : Main FAB 內部循環風車 2.OAC 系統 : Main FAB E/R 2F E/R 4F 維持正壓與溫濕度控制主要設備 3.FFU 系統 : E/R 2F E/R 4F 內部循環風車 節能可能性分析 已執行節能措施 有無節能設備 平時可停機 再節能可能性 關鍵 RCF 節能停機 1 台 無 不可 極低 風量 OAC 低壓損 HEPA 更換 變頻器 60% 可 高 壓損. 室壓 FFU 無 無 部份區域可 中 型式. 風量 方向 : 節能方向選定 潔淨室系統 1.RCF 已節能停機一台, 且平時不可停機, 違反考量一 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 2.OAC 已裝有變頻器裝置, 具備節能功效, 如何修正壓損及室壓是影響關鍵 3.FFU 可藉由更換形式 ( 直流 多段式 ) 進行節能, 但回收年限 >3 年, 違反考量三

11 節能方向選定 一般空調系統 一般空調系統共分為 FAB 辦公大樓 化倉 3 大區域 1.FAB( 非無塵室 ) : 庫房 值班室 光罩室 2. 辦公大樓 : 人員及電腦機房 3. 化倉 : 貨品及化學品倉庫 節能可能性分析 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 使用空調設備 有無節能設備 現況供應溫度 已執行節能措施 再節能可能性 Fab( 非無塵室 ) 室內送風機 冷氣機 變頻冷氣 <26 部份室內送風機停機 高 辦公大樓 室內送風機 空調箱 無 <26 部份室內送風機停機 高 化倉 室內送風機 無 <26 無 低 方向 : 1. 針對辦公大樓空調箱進行節能評估

12 製程冷卻水供應現況 節能方向選定 製程冷卻水系統 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 25~28 Tank 16.5±1.5 HEX Filter POU CHS CHR PCW 數據 供應溫度 ( ) 供應壓力 (kg f /cm 2 ) FAC Control limit 18 >6.3 供應現況 方向 : 1. 供應溫度及壓力與 Control limit 相比具有節能空間, 但現場有部份機台已是供應壓力臨界範圍, 故違反考量一

13 壓縮空氣供應現況 節能方向選定 壓縮空氣系統 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 Item Control limit 現況 供應壓力 (kg/cm 2 ) > 7.0 > 7.5 方向 : 供應壓力變動幅度為 ±0.2kg, 以備 機啟動點計算幾乎無節能空間, 且 易影響供應品質, 違反考量一 平均供應壓力 >7.5 kg/cm 2 備機啟動壓力 <7.2 kg/cm 2

14 節能方向選定 純水系統 針對純水系統各單元流程耗能進行解析調查 節能考量 : 1. 供應品質優先 2. 既有設備不新增為原則 3. 回收年限 >3 年, 不施作 方向 : 純水系統 耗能項目 單位 用量比例 運轉模式 前處理系統 原水泵 KW 2.1% 其他耗能 KW 9.7% 批次運轉 產水泵 KW 2.1% 混床系統 滅菌系統 KW 11.2% 批次運轉 其他耗能 KW 12.9% RO 系統循環系統 RO 送水泵循環泵 KW KW 40.3% 8.6% 其他耗能其他耗能 KW KW 8.4% 4.7% 批次 / 連續式運轉連續式運轉 1. 調查發現 RO 單元用電量為純水系統中最耗能項目, 列為優先改善

15 節能方向選定 一次展開 冰水系統 冰機節能評估 C/T 節能評估 潔淨室系統 OAC 風量修正 節電率不佳 一般空調系統 AH 節電評估 製程冷卻水系統 壓縮空氣系統 純水系統 RO 系統節電評估

16 計畫與執行 冰機節能評估 依據冰機能力及全年需求做運轉台數調查 本廠冰機共有 5 台, 於夏季時負載達 2800RT 時, 運轉將由 3 台 4 台 ; 當負載 <2900RT 時運轉恢復 3 台 2800RT 3 台 4 台 證加卸載條件與實際設計最大量差異為 5%, 具節能空間, 選為改善目標 查 理 驗 CH#1.4.5 冰機設計可容許最大負載總和為 3010RT

17 計畫與執行 冰機節能執行 提出方案 預估作法 : 1. 配合 C/T 散熱葉片改善測試 2. 調查 2015 與 2016 各月份冰機用電量 實際執行 1. 從溫度圖中可發現 2016 的外氣溼球溫度較 2015 約高 3 2. 於冰機用電量中可看出延長開啟四台冰機的用電量可節省約 300KW/H /5/28 開始開啟四台冰機較 2015/5/15 延長 13 天 標準化 1. 重新訂定冰機加減載規則 P A D C 年度三台冰機 (KW) 四台冰機 (KW) 天數總節能 KW , 效果確認

18 計畫與執行 冷卻水塔節能評估 風量衰減將會造成冷卻水溫差變高及風車運轉 Hz 數提升, 故進行兩項參數調查 證散熱風量已低於原廠設計值 8%, 有節能改善空間, 故選為改善目標 查 理 廠內冷卻水塔 Hz 數由冷卻水溫差進行 PID 控制, 現況溫差明顯不均 C/T Hz 數 CH 冷卻水溫差 ( ) A1 A B B2 60 C C2 D1 D 驗實際量測風量發現 C/T-A2 及 D2 低於 原廠設計風量值 C/T 編號 原廠風量設計值風量實際量測值 (CMH) (CMH) 差異 (CMH) A2 200, , D2 200, ,556 15,444

19 計畫與執行 冰水系統節能執行 提出方案 預估作法 : 1. 散熱葉片改善 - 佔水塔效能 70% 2. 調整冰機加開機條件 1. 散熱葉片材質由金屬 FRP, 不易生鏽 2. 冰機加載條件由 2800RT 2900RT 實際執行 標準化 1. 持續改善其他 C/T 散熱葉片 P A D C A 改善前 42 改善後 30 C/T 數據 節能 KWH/ 年 82,000 效果確認 C/T 數據施工費用回收年限 $200,

20 計畫與執行 OAC 節能評估 OA 供應量將影響潔淨室溫溼度 潔淨度 室壓, 故進行各區域三項參數調查 1. 本廠 OAC 是採露點溫度控制, 供應量差異會影響現場環境相對溼度導致 OAC 本身參數設定偏移 2. 室壓高低也是供應量參考依據 證 E/R 區域 OA 供應室壓偏高及露點偏高應有節能修正空間, 故選定為改善目標 查 理 驗 OAC-2 1 露點設定偏低 室壓偏高 區域 OAC 露點溫度 室壓 有無變頻器 OAC-A 備載 OAC-B 11.2 Main Fab OAC-C mmaq 無 OAC-D 11.2 OAC-E 11 E/R 2F OAC mmaq E/R 4F OAC mmaq 有

21 計畫與執行 OAC 節能執行 提出方案 標準化 預估作法 : 1. 調降 OAC-1 供應室壓 2. 修正變頻器輸出功率 MAIN FAB E/R 2F E/R 4F 室壓 1.0mmAq 1.5mmAq 5.4mmAq 1. 重新訂定 4F 各 Tunnel 室壓 4F 調整前室壓 調整後室壓 A TUNNEL 3.8mmAq 1.5mmAq B TUNNEL 5mmAq 3mmAq C TUNNEL 5.4mmAq 2mmAq D TUNNEL 6.2mmAq 2.1mmAq E TUNNEL 6mmAq 3mmAq P A 變頻器調整依 A Tunnel 為基準, 最低 D 室壓為 0.5mmAq C 4F A TUNNEL B TUNNEL C TUNNEL D TUNNEL E TUNNEL 調整前室壓 3.8mmAq 5mmAq 5.4mmAq 6.2mmAq 6mmAq OAC-1 數據運轉電流節能 KWH/ 年調整前 ,000 調整後 18 實際執行 效果確認

22 計畫與執行 AH 節能評估 空調箱運轉模式設定調查 : 辦公大樓 2F~6F 中央空調均有設定自動開啟及關閉 辦公大樓中央空調設定於每日 07:00 開啟,18:00 關閉, 每日運轉 11 小時, 但實際冷房需求未進行相關數據收集 查 證停機後室內溫度上升緩慢, 中央空調製冷量明顯偏高, 運轉模式設定具有節能改善空間 理 驗 18:00 關閉後, 於 23:00 量測現場溫度, 發現溫度最高僅上升 1.2

23 計畫與執行 AH 節能執行 提出方案 標準化 預估作法 : 1.AH 啟停運轉模式變更 1. 訂定 OB 空調箱啟停模式 P A D C 原模式 新模式 調整前 調整後 07:00 啟動運轉 11HR 18:00 07:00 啟動運轉 6HR 07:3008:00 18:30 整點運轉 30 分鐘, 停機 30 分鐘 AH 數據 樓層 運轉時間 (Hr) 運轉電流 KW KWH/ 年 節能 KWH/ 年 OB 2F OB 3F OB 4F OB 5F OB 6F OB 2F ,000 OB 3F OB 4F OB 5F OB 6F 實際執行 效果確認

24 計畫與執行 RO 系統節能評估 1.RO-2 現況 1-1.PUMP 兩用一備, 連續運轉 1-2. 出口閥件開啟 30% 系統運轉台數產水總量 PUMP 單台流量 RO RO-2 現況產水量 = 55.8 CMH 證 1.RO-1 PUMP 運轉模式及閥件修正改善 2.RO-2 PUMP 運轉方式變更 查 理 驗確認 DI SYSTEM RO-2 高壓 PUMP 規格, 評估 RO-2 高壓 PUMP 僅開啟一台無法滿足供應水準 RO-2 PUMP 規格產水量 / = 31.9 CMH

25 提出方案 計畫與執行 RO 系統節能施行預估作法 : a. 評估更換 RO-2 PUMP 加大流量, 運轉由 2 部 1 部 b. 確認產水流量及耗能狀況 實際執行 標準化 1.RO-2 pump 切換 SOP 修改 2. 訂定系統切換程序 P A D C RO-2 數據 台數 運轉電流 節能 KWH/ 年 改善前 2 45 改善後 ,000 效果確認 RO-2 數據施工費用回收年限 $950,

26 節能方向選定 二次展開 冰水系統 冰機節能評估 C/T 節能評估 加減載裕度提升 散熱風量提升 潔淨室系統 OAC 風量修正 OAC-1 供應減量 節電率不佳 一般空調系統 AH 節電評估 中央空調運轉模式變更 製程冷卻水系統 壓縮空氣系統 純水系統 RO 系統節電評估 RO PUMP 運轉模式變更

27 結果 1. 本次目標為廠務節能效益達 1.5%, 距離達標差距為 1.2% 起始點廠區用電 (%) 廠務用電 (%) 節省度數 (%) 廠務設備節電率 (%) 能源局目標 (%) 2. 實際節能效益如下, 總節能度數 71.5 萬 項次 節能系統 節能項目 節能 KWH/ 年 1 冰機加減載裕度提升 93,000 冰水系統 2 冷卻水塔散熱風量提升 82,000 3 潔淨室系統 OAC-1 供應減量 170,000 4 一般空調系統 中央空調運轉模式變更 100,000 5 純水系統 RO PUMP 運轉模式變更 270,000 Total 715, 整體節能效益計算 : 能源局節電目標 2% ( % %) / 廠區用電 = 2.1% 達標廠務目標節電率 3% ( % %) / 廠務用電 = 3.3% 達標 換算廠務設備目標節電率 % -0.7% % -0.5% 差異

28 總結 節能減碳生活 減緩暖化救地球 愛護地球, 更盡一份心力 守護孩子純真燦爛的笑容是旺宏對環境保護的承諾及動力, 也是企業永續發展的決心

29 簡報完畢 敬請指教 Q & A

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復 興 公 園 與 硫 磺 谷 的 泡 腳 池, 兩 個 地 方 加 起 來 經 費 是 二 千 萬 元 左 右 原 來 預 定 完 工 啟 用 是 今 年 4 月 嗎? 對 後 來 延 到 5 月, 可 是 就 我 的 了 解, 今 天 已 經 是 7 月 10 日, 目 前 還 沒 有 明 確 財 政 建 設 部 門 質 詢 第 2 組 質 詢 日 期 : 中 華 民 國 103 年 7 月 10 日 質 詢 對 象 : 財 政 建 設 部 門 有 關 各 單 位 質 詢 議 員 : 戴 錫 欽 李 新 汪 志 冰 計 3 位 時 間 54 分 鐘 速 記 錄 103 年 7 月 10 日 速 記 : 張 翠 芬 主 席 ( 李 議 員 建 昌 ): 接 下 來 進 行 財 政 建 設 部

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中 国 家 庭 动 态 调 查 说 明 中 国 家 庭 动 态 调 查 旨 在 通 过 对 全 国 样 本 家 庭 及 其 成 员 的 调 查, 搜 集 个 体 家 庭 和 村 / 居 层 次 的 多 时 点 信 息, 获 得 中 国 社 会 发 展 与 变 迁 的 资 料, 为 社 会 提 供 有 根 据 统 计 法 第 三 章 第 十 四 条, 本 资 料 属 于 私 人 家 庭 的 单 项 调 查 资 料, 非 经 本 人 同 意, 不 得 泄 露 行 政 区 编 码 问 卷 编 码 说 明 : 县 区 行 政 区 ; 调 查 批 次 ; 村 居 ; 家 庭 ; 个 人 中 国 家 庭 动 态 调 查 少 儿 问 卷 被 访 村 / 居 : 被 访 少 儿 姓 名 : 被 访 人 住 址

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