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1 1 R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 節能實務與能源管理策略 / 空調 空調系統節能實務分享

2 R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 冰水設備節能實務 空調設備節能實務 製程排氣設備節能實務 2

3 冰水設備節能實務 泵浦變頻運轉 全智能冰機系統 水塔節能風扇 冷凝器趨近溫度 熱泵取代鍋爐 MAU 最佳冰水分配 冬季 MAU 最佳化設定 AW 節能及冷凝水回收 電腦機房空調改善 無塵室洩漏改善 空調設備 Energy Saving 冰水設備 排氣設備 有機廢氣處理設施廢熱回收 GER 導入 MAU&AHU Chemical Tank/ 製程排氣減量 LSC RCW/HJ/N2 減量 LSC 智慧節能 3

4 冰水設備節能實務 改善冰水系統運轉效率 最佳化控制, 以達節能目的 設備主要節能措施 冷卻水泵安裝變頻器, 減少運轉能耗 冰水系統一 二次冰水泵安裝變頻器 冷卻水塔節能風扇 海棉球自動清洗系統運用 極化冷凍油運用 冷卻水塔 3 ( 變頻控制 ) 冷卻水塔 1 冷卻水泵一次冰水泵 2 冷凝器 4 冰機二次冰水泵負載 2 系統效能 (Kw/ RT) 冰機 & 冷卻水塔最佳化節能操作溫度 冰機耗能曲線 冷卻水塔耗能曲線 冷卻水溫最佳設定點 系統運算找出冷卻水溫最佳設定點曲線點 冷卻水溫依鐘擺原理自我擺盪修正運轉至最低耗能點 冷卻水溫 (C) 4

5 冰水設備泵浦變頻運轉 泵浦相似定律 流量 (Q) 的變化與轉速 (N) 成正比 壓力 (H) 的變化與轉速 (N) 成平方正比 電力 (P) 的變化與轉速 (N) 成三次方正比 Pump/Fan 相似定律特性曲線 3 2 s m S m s m S m s m S m n n P P n n H H n n Q Q 5

6 冰水設備 5 C 冰水溫度調升 依實際需求而適當調整供應溫度以節省冰機之能源, 由莫里爾曲線得知冰機每調升 1 C 可節能 3% 5 C 冰機出水溫設定現在為 5.5 C, 將溫度調整至 6.0 C, 調整後需檢查重要區域閥開度是否大於 90% R-123 壓焓圖 kw 值與出水溫度 kw 值 冰機供應溫度 水溫調整

7 冰水設備 冰機 N+1 運轉模式最佳化 由歷史資料數據化冰水流量, 使冰機維持 N+1 運轉, 達成最佳化節能運轉模式 以 De-couple 流量對現場負載量及耗電量作 Big data 資料分析 Benefit: 找出 Reflow 最佳流量 1,400 CMH Y=kW X=reflow 7

8 冰水設備 四季交響曲自動變溫控制 分析水塔散熱性能曲線找出最佳出水溫度之控制程式 依冰機莫里爾曲線 & 泵性能曲線, 分析兩者耗能關係, 找出最佳冰水供應溫度之控制程式 分析水塔散熱性能曲線找出 最佳出水溫度之控制程式 y = x x (R² = ) 依冰機莫里爾曲線 & 泵性能曲線, 分析兩者耗能關係, 找出 最佳冷卻水溫差之控制程式 y = x (R² = ) 冷卻水泵 冰水主機 UCP2 UCP2 冷卻水塔 廠區冷房負載 冰水泵 外氣焓值 / 濕球溫度 依冰機莫里爾曲線 & 泵性能曲線, 分析兩者耗能關係, 找出 最佳冰水供應溫度之控制程式 y = 4E-05x x (R² = ) Before(KPI:0.62kW/RT) 傳統控制點 最佳節能控制程式 (KPI:0.58kW/RT) 8

9 冰水設備 全智能冰機系統節能 全智能冰機系統依負載需求, 自動調整冰水供應溫度及設備運轉數量 5 C/12 C/35 C 出水溫度自動調整 冰水主機依系統 Loading 單機頭自動起停機 冰水泵系統供應以壓差最佳化 節能預估 :6.4% 調整前 Avg. KPI 0.62 KW/RT 調整後 Avg. KPI 0.58 KW/RT KW/RT 調整前後差異 9

10 冰水設備 冷卻水塔節能風扇 在相同水塔效率及風量之下, 降低馬達輸出功 ( 軸馬力 ) 更換節能風扇, 降低軸馬力 180HP 145HP 現行風扇葉片選用效率 68.6%, 選用新式風扇效率 82.8%( 高效能塗布材料 ), 相同的頻率運轉耗電量降低 18% 建置成本 :NT$ 800K/set, ROI = 2.7 年 Before After 55Hz 節省 23kW (18.4%) 節能 18.4% 傳統風扇 新式節能風扇 10

11 冰水設備 冷卻水塔節能風扇 比較表 扭曲度小 扭曲度大 傳統葉片 ( 曲度小 ) 節能葉片 ( 曲度大 ) 水塔翼型葉片扭曲度差異 傳統葉片 ( 曲度小 ) 節能葉片 ( 曲度大 ) 高效率節能風扇效率 >80% 傳統葉片 節能葉片 11

12 冰水設備 冷卻水水質控制 冷卻水水質 冷卻水水質影響冰機效率是不易觀察的潛在風險 開放系統易滋生藻類, 造成冰機熱交換變差, 耗電量增加, 因生物膜熱傳導率僅銅管 5% 長時間對銅管與冷卻水管路造成腐蝕, 造成冰機及管路異常 管制條件 PH ( 水質酸鹼指標 ) 6.8 ~8.8 M- 鹼度 ppm ( 水質酸鹼指標 ) <300 鈣硬度 ppm ( 水質結垢指標 ) <300 鐵份 ppm ( 管路腐蝕相關 ) <2 二氧化矽 ppm ( 水質結垢指標 ) <90 導電度 <3000 RSI ( 腐蝕結垢程度 ) TOC ppm ( 水質生物養分 ) < 30 ( 氨根 )NH4+ ppm ( 水質生物養分 ) < 3 細菌數測試 <50x10 4 Cu 2+ ppm ( 冰機銅管腐蝕 ) < 1 12

13 冰水設備 海棉球自動清洗 海棉球自動清洗系統 ACTS (Auto Clean Tube System) 將軟質海棉橡膠球以氣液壓控制動作推送進入熱交換器入口端, 適時有效的通過熱交換器之每一根銅管 每 20~30 分鐘洗 1 次 13

14 3/9 3/10 3/12 3/13 3/15 3/17 3/18 3/20 3/21 3/23 3/24 3/26 3/27 3/29 3/30 4/1 4/2 4/4 4/5 4/7 (Approach Temp.(oF) 'C 冰水設備 海棉球自動清洗 海棉球自動清洗系統成果 Chiller Approach Temp. Trend Chart Time(day) 效益 PM 保養 #1(w/i ATCS) #2(w/i ATCS) #3(w/o ATCS) #4(w/o ATCS) #5(w/o ATCS) #6(w/o ATCS) #7(w/i ATCS) #8(w/i ATCS) #9(w/i ATCS) 安裝 ACTS 趨近溫度約降低 1 C, 冰機耗電量約降低 2.5% 冷凝器清洗之費用約 NT$ 20K/ 年 9CH Approach Temperature 2 海綿球每台 200 顆, 一年補充兩次, 費用 NT$ 4K/ 年 平均下降 0.8 C 海棉球自動清洗 9CH-09 9CH-10 9CH-11 Item 9CH-09 9CH-10 9CH-11 Remark 2010 Average ( O C) ACTS Set up ( O C) Data collection from /25 to 4/7. Difference ( O C) Energy Saving Percrntage (%) 2.09% 2.38% 2.10% 1 O C saving about 2.5%. Saving Cost (NTD) 221, , ,583 Total Saving Cost (NTD) 695,575 Chiller fully power 755kW, 80% 1kWh=2 NTD Initial Cost about 1,300,000 NTD Payback = 1.56 year 14

15 冰水設備 熱泵種類 熱泵加熱性能係數 COP 都大於 3 以上, 能取代傳統電力 瓦斯 柴油熱水鍋爐加熱系統, 節省運轉費用 >50% 熱泵種類 空氣對水取熱型 (air-to-water): 大氣 冷房 水對水取熱型 (water-to-water) 空調系統冷卻水 ( 冰水機廢熱 ), 製程廢熱水 ( 無塵室, 殺菌爐 ), 空調冰水 ( 冷房 ) 地熱源型 (Ground-coupled): 地下水 地底 空氣對水取熱型 15

16 冰水設備 熱泵取代鍋爐 純水再生時使用熱水由電熱鍋爐製造, 平均耗電量較高 熱泵因 COP 高 (5.2) 且冷側可供冰水使用, 可達到節能之目的 每年節能 :Boiler 耗能 - 熱泵耗能 + 熱泵冷側節能 X 鍋爐平均用電 237kW 熱泵平均用電 82kW 節能 65% 16

17 R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 冰水設備節能實務 空調設備節能實務 製程排氣設備節能實務 17

18 空調設備節能實務 泵浦變頻運轉 全智能冰機系統 水塔節能風扇 冷凝器趨近溫度 熱泵取代鍋爐 空調箱最佳冰水分配 冬季空調箱最佳化設定 AW 節能及冷凝水回收 電腦機房空調改善 無塵室洩漏改善 空調設備 Energy Saving 冰水設備 排氣設備 有機廢氣處理設施廢熱回收 GER 導入 MAU&AHU Chemical Tank/ 製程排氣減量 LSC RCW/HJ/N2 減量 LSC 智慧節能 18

19 空調設備 外氣空調箱最佳冰水分配 MAU( 外氣空調箱 ) 由 12 C 及 5 C 負擔除濕 / 降溫所需冷凍噸, 因為 12 C 冰水製冷成本較低, 加以調配後, 降低 5 C 用量轉由 12 冰水負擔 冰水最佳配置 : 12 C/5 C KW/RT 0.46 VS MAU 5 C 冰水 12 C 冰水 ( 效率較佳 ) 程式自動因應外氣焓值調節 12 C 冰機用量 5 C and 12 C 冰水用量變化 19

20 空調設備 外氣空調箱溫度調降 無塵室溫度主要經由乾盤管 DCC(Dry Cooling Coil) 作精準控制, 視 DCC 的裕度進行 MAU 出口溫度調降, 減少冰水負載 出口溫度調降 23 C 17 C 每台焓差 6.5 kj/kg, 節能計算 : 風量 * 焓差 RT=Q(m 3 /h)x1.2(kg/m 3 )x ΔH(kJ/kg)/4.2(kJ/kcal)/3024 (kcal/rt) SP: NT$M/Y kj/kg 20

21 空調設備 冬季最佳化設定 冬天寒流期間避免溼度過低,MAU 需開啟第一道熱盤管預熱空氣, 才能在經過 AW 後充分加濕 保持第 2 道冰水用量, 降低第 1 道預熱溫度 ( 焓值由 kj/kg) 維持 MAU 除濕與再熱盤管流量不變, 維持溫溼度控制穩定 節能計算 : 運轉風量 * 焓差 21

22 空調設備 冷凝水回收 利用白努利原理回收 MAU 除溼盤管較潔淨之冷凝水至 AW Tank 內, 減少 DI Water 的用量 冷凝水回收示意圖 入風 AW TANK 供風 Benefit & ROI 節電能 : ( 台數 )* 水量 ( 噸 / 天 )*365( 天 / 年 )*DI 水電費 (kwh/ 噸 ) 節水 : ( 台數 )* 水量 ( 噸 / 天 )*365( 天 / 年 ) 建置成本 : NT$17K/ 台,ROI = 0.7 年 22

23 空調設備 AW 變頻節能 AW(Air Washer) 安裝變頻器, 可依外氣條件調整最佳化轉速 變頻減少管路壓損, 保持 NH 3 去除率 > 90% 節能 209KWH,ROI = 1.1 年 MAU Power trend AMC(NH 3 ) simulation Result 23

24 空調設備 電腦機房空調 (Row cooler) 目前為冷熱通道設計 ( 如下圖 ) 匹配及平衡各區負荷平均每台可省 3~5% 冰水開度, 且增加冷熱通道隔間 每台 Row cooler 70kW; 約可省 3kW 冷凍能力 節能計算 : 依照電腦機房流量計, 前後差值作驗證 Row cooler 熱通道 冷通道 熱通道 24

25 空調設備 電腦機房空調改善 (PAH) 廠內電腦機房空調設計為迴風控制, 無法真實反映機櫃端實際需求溫度, 易造成空調浪費的現象 修改機房出風控制, 增設溫度監控 (20 C 即可 ) 節能計算 : 風量 * 焓差,ROI = 1.3 年 出風溫度調升 冷熱通道模擬 25

26 空調設備 建築物空調洩漏改善 在晶圓廠潔淨室需要保持正壓, 所以建築物的氣密性顯得重要, 一旦有縫隙都會造成多餘耗電與濕度異常 常見幾種洩漏的狀況 : 鋼承板 Deck 鋼構 /RC 縫隙 Deck 板溝槽與牆板未氣密 灌漿牆與梁 柱接合處之裂縫 26

27 空調設備 建築物空調洩漏改善 兩種偵測器輔助抓漏 : 紅外線熱顯像儀及溫溼度計 紅外線熱顯像儀 溫濕度計 距離遠, 範圍廣, 速度快 近距離, 範圍小, 耗時 單價數萬元 ~ 數十萬元 單價數萬元 溫差大區域 溫差小區域 27

28 R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 冰水設備節能實務 空調設備節能實務 製程排氣設備節能實務 28

29 製程排氣設備節能實務 泵浦變頻運轉 全智能冰機系統 水塔節能風扇 冷凝器趨近溫度 熱泵取代鍋爐 MAU 最佳冰水分配 冬季 MAU 最佳化設定 AW 節能及冷凝水回收 電腦機房空調改善 無塵室洩漏改善 空調設備 Energy Saving 冰水設備 排氣設備 有機廢氣處理設施廢熱回收 GER 導入 MAU&AHU 製程排氣減量 LSC RCW/HJ/N2 減量 LSC 智慧節能 29

30 排氣設備 有機廢氣設施廢熱回收 提升 VOC (Volatile Off Compound) 系統之節能效益, 增設第三道熱交換器用以回收煙囪排放之熱氣做為燃燒器預熱用, 降低天然氣用量以節省運轉氣費 改善後每年共節省 15~20% 瓦斯量 ROI: 約 2~3.5 年 ( 視天然氣價格 ) 元 /M ( ) 30

31 排氣設備 GER 導入 MAU & AHU 25~28 C GER Header GER(General Exhaust Reuse) 設計為一般環境空間排氣或機櫃散熱所需之排氣 經量測排氣溫度 25~28 C, 排氣品質達 ppb 等級, 確認可回收再利用 經過前處理後, 將其導入非無塵區域進行再利用, 可直接減少降低 MAU & AHU 之冰水使用量, 藉以達到節能目的 節能 :NT$ 3M/ 年 開 Tee OA HPM MAU OA WWT AHU RA Sub-Fab AHU 4F 1F RA B2F 31

32 排氣設備 製程排氣減量 減少排氣風車之耗電量與製程排氣風量, 並減少昂貴的潔淨室空調補氣 符合 SEMI 規範並調整及進行最低值之合理化 減少不影響製程運作之 Exhaust 靜壓 ( 排氣量 ) Chemical box & Gas box 及氣瓶櫃進行 Seal 節能 : 製程排氣減量 4.2% Chemical VMB (SEX) Gas Cabinet (SEX) Chemical MDU (AEX, SEX) 32

33 排氣設備 Local scrubber RCW 減量 LSC 設計用 RCW(Recycle Cooling Water) 冷卻循環水, 以帶走爐內高溫, 在不影響 LSC 機台運轉的狀況下可減少 RCW 進水流量, 降低 RCW Pump 轉速達成節能效益 節能 :LSC RCW Pump 節電 2.3% 流量 (CMH) 機台數 (Set) 用電量 (KW) 3150 機台數 (Set) A 減量 B 減量 A 減量 B 減量 總流量 P3/4 PCW 總流量 用電量 P3/4 PCW 總用電量 w227 w228 w229 w230 w231 w232 w233 w234 w w227 w228 w229 w230 w231 w232 w233 w234 w235 33

34 排氣設備 管路加熱帶最佳化 維持管路的溫度, 製程所產生的廢氣生成物不易沉積或堵塞 針對不易阻塞的管路加熱帶調低溫度或關閉, 易阻塞的加厚保持溫度 實際量測可以節省 20% 電能 15mm 30mm 34

35 排氣設備 LSC 智慧節能 利用機台 Run wafer 空檔, 提供信號給 Local scrubber 及真空 Pump, 其 Utility ( 氮氣 / 天然氣 / 氧氣 ) 即停止供應, 可節省 LSC utility ~15% ( 此節能系統已考量安全模式, 當信號異常時立即回復正常燃燒模式 ) Wafer Server Controller Main tool Dry Pump LSC( 省 N 2 /NG/O 2 ) 35

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