3. 便 携 式 设 备 ; 4. OEM 应 用 ; 5. 核 医 疗 学 ; 6. 高 校 和 科 研 院 所 教 学 研 究 ; 7. 艺 术 和 考 古 学 ; 8. 生 产 过 程 监 控 ; 9. 穆 斯 堡 尔 谱 仪 ; 10. 航 空 及 宇 航 应 用 ; 11. 核 电 站 辐

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1 XR-100CR 型 X 射 线 硅 PIN 探 测 器 145eV 的 能 量 分 辨 率! 全 固 态 设 计! 热 电 致 冷 技 术 无 需 液 氮! XR-100CR 及 配 套 电 源 PX5 火 星 探 测 器 上 的 XR-100 XR-100 探 头 组 件 示 意 图 XR-100CR 系 列 产 品 由 高 性 能 X 射 线 探 头, 前 置 放 大 器 ( 前 放 ) 和 致 冷 系 统 组 成, 首 次 采 用 热 电 致 冷 技 术 保 持 硅 PIN 光 电 二 极 管 的 低 温 工 作 环 境, 另 外 在 两 级 热 电 致 冷 器 上 还 安 装 了 输 入 场 效 应 管 (FET) 和 新 型 温 度 反 馈 控 制 电 路, 这 样 探 头 组 件 的 温 度 可 保 持 在 约 零 下 55 摄 氏 度 左 右, 并 可 通 过 组 件 内 置 的 温 度 传 感 器 显 示 实 时 温 度 探 头 采 用 TO-8 封 装, 并 利 用 不 透 光 和 不 透 气 ( 真 空 封 装 适 用 ) 的 薄 铍 (Be) 窗 以 实 现 封 装 后 的 软 X 射 线 探 测 XR-100CR 系 列 产 品 无 需 采 用 昂 贵 的 低 温 制 冷 系 统 即 可 获 得 非 常 优 越 的 性 能, 它 标 志 着 X 射 线 探 测 器 生 产 技 术 上 的 一 个 突 破 产 品 特 性 : 1. 硅 PIN 光 电 二 极 管 探 头 ; 2. 两 级 热 电 致 冷 器 ; 3. 探 头 温 度 实 时 显 示 ; 4. 铍 (Be) 窗 ; 5. 多 层 准 直 器 ; 6. 密 封 封 装 (TO-8); 7. 检 测 范 围 宽, 适 于 多 种 应 用 ; 8. 操 作 简 单, 易 上 手 应 用 范 围 : 1. X 射 线 荧 光 分 析 ; 2. RoHS/WEE 标 准 检 测 ;

2 3. 便 携 式 设 备 ; 4. OEM 应 用 ; 5. 核 医 疗 学 ; 6. 高 校 和 科 研 院 所 教 学 研 究 ; 7. 艺 术 和 考 古 学 ; 8. 生 产 过 程 监 控 ; 9. 穆 斯 堡 尔 谱 仪 ; 10. 航 空 及 宇 航 应 用 ; 11. 核 电 站 辐 射 监 控 ; 12. 有 毒 物 垃 圾 场 检 测 ; 13. 粒 子 诱 发 X 射 线 荧 光 分 析 (PIXE) 配 件 : 1. MP1 型 X 射 线 荧 光 分 析 系 统 装 配 平 台 2. 真 空 应 用 相 关 配 件 ; 3. 准 直 套 装 ( 高 通 量 应 用 ); 4. 实 验 室 XRF 开 发 套 装 ; XRF 设 备 由 此 开 始 图 1. 6mm 2 /500μm 尺 寸 硅 PIN 探 测 器 测 得 的 55 Fe 能 谱 利 用 硅 PIN 探 测 器 测 量 55 Fe(5.9keV 的 峰 ) 能 谱 时 的 能 量 分 辨 率 为 145eV 到 230eV 不 等 ( 半 高 全 宽,FWHM), 具 体 分 辨 率 和 探 测 器 类 型 以 及 成 形 时 间 (shaping time) 常 数 有 关, 详 情 可 参 见 选 购 指 南

3 简 要 理 论 说 明 入 射 的 X 射 线 会 和 硅 原 子 相 互 作 用,X 射 线 能 量 每 损 失 3.62eV 就 会 在 硅 晶 体 产 生 一 个 电 子 - 空 穴 对 随 着 入 射 能 量 的 不 同, 能 量 损 失 或 以 光 电 效 应 为 主, 或 以 康 普 顿 散 射 (Compton scattering) 为 主 而 探 测 器 吸 收 X 射 线 能 量 并 产 生 电 子 - 空 穴 对 的 几 率 ( 即 探 测 效 率 ) 随 着 硅 的 厚 度 增 大 而 变 大 为 提 高 电 子 - 空 穴 队 收 集 效 率, 需 要 在 硅 晶 体 上 加 约 100 到 200 伏 的 电 压, 而 具 体 大 小 则 取 决 于 硅 的 厚 度 在 室 温 下 工 作 时, 该 偏 压 对 半 导 体 而 言 过 高, 很 可 能 漏 电 甚 至 击 穿 硅 晶 体 但 在 XR-100CR 型 探 测 器 中 首 次 应 用 了 热 电 制 冷 技 术, 保 证 探 头 在 低 温 下 工 作, 这 样 漏 电 流 大 大 减 少, 从 而 可 以 实 现 在 高 偏 压 下 的 正 常 工 作 另 外 高 偏 压 还 能 降 低 探 测 器 的 电 容, 进 而 降 低 系 统 噪 声 热 电 制 冷 器 同 时 对 硅 探 测 器 以 及 场 效 应 晶 体 管 ( 为 电 荷 敏 感 前 置 放 大 器 提 供 输 入 ) 进 行 冷 却 对 场 效 应 管 的 冷 却 能 减 少 它 的 漏 电 流, 同 时 能 增 加 跨 导 (transconductance), 二 者 都 能 减 少 系 统 的 电 子 学 噪 声 实 际 上 光 电 二 极 管 探 测 器 无 法 直 接 光 学 自 复 位, 因 此 XR-100CR 系 列 产 品 应 用 一 种 新 颖 的 反 馈 控 制 方 法 来 实 现 电 荷 敏 感 前 置 放 大 器 的 自 复 位 没 有 继 续 采 用 传 统 产 品 中 的 复 位 晶 体 管, 而 是 通 过 发 射 一 个 精 确 的 电 荷 脉 冲 到 场 效 应 管 中 来 实 现 自 复 位, 其 中 利 用 了 到 探 测 器 的 高 压 连 接 和 探 测 器 电 容 该 方 法 避 免 了 自 复 位 晶 体 管 的 噪 声 问 题, 系 统 的 能 量 分 辨 率 进 一 步 提 高 利 用 热 电 制 冷 的 探 测 器 内 部 元 件 的 温 度 会 随 着 室 温 的 变 化 而 改 变, 故 为 即 时 监 控 这 些 元 件 的 温 度, 在 硅 基 底 上 还 安 装 了 一 个 用 于 温 度 监 控 的 二 极 管 芯 片 低 于 -20 o C 的 情 况 下, XR-100CR 的 性 能 在 几 摄 氏 度 的 范 围 内 都 不 会 有 明 显 变 化, 故 在 通 常 室 温 条 件 下 使 用 时 无 需 采 用 闭 合 环 路 的 温 度 反 馈 控 制 电 路, 但 在 OEM 手 持 式 X 射 线 荧 光 谱 仪 设 备 应 用 中 则 强 烈 推 荐 使 用 温 度 反 馈 控 制 电 路 主 动 温 度 控 制 (ATC) 模 块 在 PX2CR 中 是 可 选 的, 而 在 PX5 中 是 默 认 标 配 的

4 产 品 参 数 常 规 参 数 探 头 类 型 硅 PIN 探 测 器 (Si-PIN) 硅 基 底 尺 寸 6-25mm 2 硅 基 底 厚 度 300 或 500μm 准 直 器 多 层 准 直 器 能 量 分 辨 率 (@ 55 Fe, 5.9keV 峰 ) eV FWHM ( 取 决 于 探 测 器 类 型 和 成 形 时 间 常 数 ) 本 底 计 数 <3x10-3 /s,( 对 应 2-150keV 峰 值,7mm 2 /300μm 探 测 器 ) 铍 (Be) 窗 厚 度 1mil (25μm) 或 0.5mil (12.5μm) 电 荷 敏 感 型 前 置 放 大 器 Amptek 定 制 设 计 ( 通 过 高 压 连 接 复 位 ) 增 益 稳 定 性 ( 温 飘 ) <20ppm/ o C ( 一 般 情 况 下 ) 外 壳 尺 寸 3 x 1.75 x 1.13 inch, 7.6 x 4.4 x 2.9 cm 重 量 4.9 ounces (139g) 总 功 率 <1W 保 修 期 一 年 产 品 寿 命 五 到 十 年, 因 具 体 应 用 而 异 环 境 温 度 0~+40 o C 仓 储 和 物 流 要 求 长 时 间 仓 储 : 干 燥 条 件 下 存 放 十 年 以 上 一 般 仓 储 / 物 流 :-20 到 +50 o C,10% 到 90% 湿 度 ( 无 冷 凝 器 ) TUV Certification Certificate #: CU Tested to: UL : 2004 R7.05 CAN/CSA-C : 2004 输 入 参 数 前 置 放 大 器 电 源 探 头 电 源 制 冷 器 电 源 输 出 参 数 复 位 输 出 波 形 电 压 正 负 8 到 9V, 电 流 15mA, 噪 声 峰 峰 值 小 于 50mV 电 压 100 到 200V, 电 流 1μA( 因 探 头 种 类 而 异 ); 输 入 需 要 非 常 稳 定 :<0.1% 的 波 动 最 大 电 压 4V, 噪 声 峰 峰 值 小 于 100mV, 最 大 电 流 350mA 注 意 :XR-100CR 探 测 器 自 身 包 含 温 度 控 制 器 XR100CR 的 输 出 在 +5 和 -5V 之 间 ; 复 位 周 期 会 随 探 测 器 类 型 和 计 数 率 不 同 而 变 化

5 前 置 放 大 器 灵 敏 度 一 般 为 1mV/keV( 不 同 探 测 器 可 能 略 有 不 同 ) 前 置 放 大 器 极 性 负 脉 冲 信 号 输 出 ( 最 大 负 载 为 1k 欧 姆 ) 前 端 放 大 器 反 馈 温 度 显 示 灵 敏 度 经 过 探 测 器 电 容 复 位 PX2CR 中 770mV 相 当 于 -50 o C; 利 用 PX5 可 通 过 软 件 直 接 读 取 温 度 ( 单 位 : 开 尔 文 ) XR-100CR 连 接 器 接 口 前 置 放 大 器 输 出 同 轴 电 缆 BNC 接 头 功 率 和 信 号 互 连 电 缆 六 针 雷 莫 (LEMO) 接 头 (Part# ERA.1S.306.CLL) 单 独 使 用 XR100CR: 六 针 雷 莫 接 头 (Part# FFA.1S.306.CLAC57) 到 九 针 D 型 接 口 ; 配 套 使 用 PX5: 六 针 雷 莫 到 六 针 雷 莫 接 头 ; 长 均 五 英 尺 六 针 LEMO 接 头 针 脚 输 出 针 脚 1 针 脚 2 针 脚 3 针 脚 4 针 脚 5 针 脚 6 外 壳 温 度 监 控 二 极 管 探 测 器 正 偏 压 ( 高 压 ), 最 大 为 +100~200V 前 置 放 大 器 -9V 电 源 前 置 放 大 器 +9V 电 源 致 冷 器 电 源 返 回 致 冷 器 电 源 输 入 ( 电 压 范 围 :0~+4V, 电 流 350mA) 接 地 和 屏 蔽

6 选 配 组 件 1. 其 他 厚 度 的 Be 窗 可 特 别 订 购 (0.3mil 到 7.5um); 2. 高 通 量 应 用 时 候 的 准 直 器 套 件 ; 3. 真 空 应 用 相 关 配 件 ; 4. OEM 应 用 ; 5. X-123 配 置 图 2a. X-123 配 置, 包 含 探 测 器, 前 置 放 大 器, 数 字 处 理 器 及 电 源 的 一 体 化 设 计 图 2b. 探 测 器, 前 置 放 大 器 及 封 装

7 图 3. XR100CR 探 测 器 加 长 选 项 XR100CR 的 数 字 脉 冲 处 理 器 和 电 源 模 块 XR-100CR 系 列 产 品 的 电 源 由 PX5( 数 字 脉 冲 处 理 器 和 电 源 模 块 组 合 ) 提 供, 而 PX5 自 身 的 直 流 输 入 来 源 于 交 流 电 适 配 器 PX5 提 供 了 数 字 脉 冲 处 理 放 大 器 (0.2~100us 峰 化 时 间 ), 多 道 分 析 功 能 以 及 探 测 器 所 需 的 所 有 电 源 XR-100CR/PX5 的 组 合 系 统 能 确 保 开 机 1 分 钟 后 稳 定 工 作

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9 图 4. 采 用 XR100CR 和 PX5 搭 建 的 典 型 系 统 的 框 图 AMPTEK 公 司 能 提 供 不 同 的 探 测 器 和 前 置 放 大 器 配 置 以 满 足 不 同 需 要, 其 对 应 的 针 脚 输 出 和 电 压 类 型 不 一 样 图 5. 硅 PIN 和 硅 漂 移 探 测 器 的 分 辨 率 和 峰 化 / 成 形 时 间 关 系 曲 线 图 6. 不 同 峰 化 时 间 下 探 测 器 能 量 分 辨 率 和 输 入 计 数 率 (ICR) 关 系, 对 应 XR100CR 和 PX5 情 况

10 图 7. 不 同 峰 化 时 间 下 的 PX5 输 出 能 力 准 直 器 的 使 用 为 提 高 能 谱 测 量 的 质 量, 绝 大 部 分 Amptek 生 产 的 探 测 器 都 带 有 内 部 准 直 器 探 测 器 有 效 面 元 (active volume) 边 缘 部 分 和 X 射 线 的 相 互 作 用 会 因 不 完 全 电 荷 收 集 产 生 一 些 小 脉 冲 信 号, 进 而 影 响 测 得 的 能 谱 数 据 而 且 这 些 信 号 可 能 正 处 在 用 户 所 关 心 的 元 素 所 在 的 能 量 范 围, 降 低 了 信 噪 比 而 内 部 准 直 器 则 可 以 限 制 X 射 线 只 能 打 到 有 效 面 元 内, 这 就 避 免 了 噪 声 信 号 的 产 生 不 同 类 型 的 探 测 器 中 准 直 器 的 应 用 各 有 优 点 : 提 高 峰 本 比 (P/B); 消 除 边 界 效 应 ; 消 除 假 尖 峰 信 号 真 空 环 境 中 的 应 用 XR-100CR 型 产 品 可 以 工 作 在 10-8 托 的 真 空 环 境 到 大 气 压 下 工 作, 而 真 空 环 境 应 用 有 如 下 两 种 方 案 : 1) XR-100CR 的 探 头 和 前 放 均 置 于 真 空 室 内 部 : a. 为 保 证 XR-100CR 的 正 常 工 作, 需 避 免 器 件 过 热, 并 做 好 输 入 的 1W 功 率 的 良 好

11 导 热 ; 即 利 用 XR-100CR 封 装 上 的 四 个 安 装 孔, 根 据 具 体 真 空 室 位 形 设 计 散 热, 将 器 件 热 量 传 导 到 真 空 室 壁 上 ; b. 在 CF(Conflat Flange) 刀 口 法 兰 上 利 用 可 选 的 真 空 馈 通 端 子 ( 如 9DVF 型, 九 接 口 ) 连 接 XR-100CR 和 真 空 室 外 的 PX5 电 源 2) XR-100CR 全 部 置 于 真 空 室 外 : 需 利 用 可 选 的 真 空 探 测 器 延 长 组 件 ( 如 EXV9 型, 长 9 英 寸 ) 和 标 准 CF 刀 口 法 兰 窗 口 ( 通 过 O 型 金 属 环 密 封 ) 配 套 效 率 曲 线 图 8( 线 性 坐 标 ). XR-100CR 型 探 测 器 的 对 应 完 全 能 量 沉 积 的 内 禀 探 测 效 率 该 效 率 对 应 X 射 线 能 进 入 该 探 测 器 前 端 并 通 过 光 电 效 应 沉 积 所 有 能 量 到 探 测 器 上 的 概 率 图 9( 对 数 坐 标 ). 考 虑 各 种 效 应 后 的 收 集 效 率, 其 中 也 包 含 了 光 电 效 应 的 概 率 影 响

12 光 电 效 应 在 低 能 段 主 导, 而 该 效 应 对 应 了 能 量 的 完 全 沉 积, 但 在 超 过 40keV 后, 康 普 顿 (Compton) 散 射 效 应 逐 渐 显 著, 不 是 所 有 能 量 均 沉 积 在 探 测 器 上 上 面 两 图 同 时 考 虑 了 铍 窗 ( 包 括 保 护 层 ) 对 X 射 线 透 过 率 的 影 响 以 及 光 子 与 硅 探 测 器 之 间 的 相 互 作 用 曲 线 的 低 能 部 分 由 铍 窗 的 厚 度 决 定, 而 高 能 部 分 则 取 决 于 硅 探 测 器 的 有 效 探 测 厚 度 选 用 特 定 的 铍 窗, 可 使 90% 的 能 量 为 2 到 3keV 的 入 射 光 子 到 达 探 测 器 ; 选 用 特 定 的 探 测 器, 可 接 收 到 90% 的 9 到 12keV 的 光 子 传 输 效 率 文 件 : 包 含 传 输 效 率 方 面 系 数 和 常 见 问 题 解 答 的.zip 格 式 文 件, 仅 提 供 基 本 信 息, 不 能 作 为 定 量 分 析 依 据 XR-100 在 探 路 者 (PathFinder) 计 划 中 在 火 星 着 陆!!! 得 益 于 该 系 列 产 品 的 独 特 设 计 和 可 靠 性,XR-100 在 探 路 者 计 划 中 被 选 中, 用 于 岩 石 和 土 壤 成 分 分 析 来 自 火 星 的 第 一 个 岩 石 元 素 成 分 能 谱 图 10. 承 蒙 芝 加 哥 大 学 提 供

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14 完 整 的 X 射 线 荧 光 谱 仪 系 统 包 括 : 1. XR-100CR 型 X 射 线 探 测 器 ; 2. PX5 型 数 字 脉 冲 处 理 器, 多 道 分 析 模 块 和 电 源 ; 3. Mini-X 型 USB 控 制 X 射 线 管 ; 4. XRF-FP 定 量 分 析 软 件 ; 5. MP1 型 XRF 系 统 装 配 平 台 更 多 信 息 请 关 注 AMPTEK 英 文 官 方 网 站 :

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