碳石墨產品 特種石墨 (1) 單晶矽製造設備 (2) 臨界電漿測試設備 (JT-60) * 照片由日本原子力研究開發機構提供 (1) (2)

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1 碳石墨產品 特種石墨 (1) 單晶矽製造設備 (2) 臨界電漿測試設備 (JT-6) * 照片由日本原子力研究開發機構提供 (1) (2)

2 特種石墨產品特性 (CIP) 等方性石墨 等方性石墨和異方性石墨 1 µm 可靠性高 超強耐熱性 2, 2,5 卓越的導電性 出色的耐化學性 輕量且便於加工 1 µm [Mg/m 3 ] 5

3 製程 / 6

4 用途 LED EDM 環境和能源 * * 電子 CVD 7

5 電子 MOCVD LCD MOCVD 冶金 EDM EDM 8

6 性能資料 典型性能 Mg/m 3 HSD µω m MPa MPa MPa GPa 1-6 /K W/(m K) (mm) IG x 62 x 1 41 x 41 x x 15 IG x 62 x x 15 IG x 62 x 1 IG x x 62 x 1 IG x 54 x 85 IG x 54 x 85 IG x 62 x x 56 IG x 62 x 1 46 x 15 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x ISO x 54 x 1 ISO x 45 x 85 ISO x 54 x 1 TTK x 62 x 1 23 x 54 x 1 TTK x 51 x 95 TTK x 51 x 95 TTK x 4 x 7 TTK x 4 x 7 SIC x 62 x 1 SIC x 62 x 1 HPG x 51 x 95 HPG x 51 x 95 HPG x 5 x 95 HPG x 4 x 7 HPG x 4 x 7 * * * µω m=µω cm.1 MPa=kgf/cm 2.98 GPa=kgf/mm 2.98 W/(m K)=kcal/h m 1.16 * 雜質分析範例 ppm Li <.1 <.1 <.3 ICP-MS V < ICP-MS B ICP-MS Cr <.4.6 <.3 ICP-MS Na <.2 <.2 <.5 ICP-MS Mn <.1 <.1 <.2 ICP-MS Mg < ICP-MS Fe < ICP-MS Al < ICP-MS Co <.1 <.1 <.3 ICP-MS Si <.1 <.1 2 UV Ni < ICP-MS K < FL-AAS Cu <.2 <.2 <1 ICP-MS Ca < FL-AAS Zn <.2 <.2 <.6 ICP-MS Ti <.1 <.1 33 ICP-MS Pb <.1 <.1 <1 ICP-MS * * ICP-MSFL-AASUV * 4 ppm ppm 9

7 化學性質 與各種物質的起始反應溫度 * 8 Al4C3 16 B4C 6 8 Fe3C 4 45 C64Na O2 218 CoCCo3C 7 Mo2C SiC 14 W2C, WC 3 C8K 5 Li2C2 9 Be2C 12 CO, B (V) 438 COV (III) 485 COFe (IV) 93 COTiTiC 125 COSiSiC 128 COAlAl4C3 96 COBeBe2C 135 COMg (IV) 13 COZrZrC 蒸汽壓 * [Pa] = Pa [] 2,2 熱脫附譜 (TDS) [Pa/g] K/s (mm) IG-11 IG-11 IG-11U [] 與多種大氣 / 氣體的反應 * / / /COCO2 1 (O2) /COCO2 (H2O) 65 /COCO2H2 (CO2) 9 /CO (H2) 7 /CH4 C2H2C2H4C2H6 (N2) 27 N2 C2N2 (Cl2) (F2) /CF CF4C2F6 (Ar) 1

8 性能資料 高溫性能 電阻率 2 強度 (IG-11) 12 [µω m] IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] [] [] 2,5 線性熱膨脹 熱導率.8 14 [%] ISO-66 ISO-68 IG-11 [W/(m K)] IG-12 IG-15, IG-43 IG [] [] [1-6 /K] [W/(m K)] (1-6 /K) = (%) 1-2 () [W/(m K)] = [µω m] 11

9 比熱 熱擴散係數 [J/(g K)] [m 2 /s 1-4 ] [] 1/ [] = 發射率 1 9 [%] 8 7 IG-61U [] 物理特性 應力應變曲線 (IG-12) 孔隙分佈曲線 [MPa] [mm 3 /g] 5 ISO-63 IG [%] [µm] IG-11 8/2 = 4 mm 3 /g1.8 µm 12

10 Ry12 Ry3 加工 表面粗糙度標準 RyRaRz 表面粗糙度標準 Ry Ra Rz Ry Ra Rz.75 Rz3 Ry.8.2 Rz.8 3. Rz12 Ry Rz6.3 Ry Rz35 Ry Rz25 Ry1 25 Rz1 Ry1 25 Rz1 * 3. Ra 3. 加工尺寸公差 JIS B 45 尺寸公差標準 mm * 13

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