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2

3 [2017]199 C () 0.27% / / / / / / 28962m 3 /d 305m 3 /d

4 1 12 / 2

5 % 25 51% D NAND Flash 3D NAND 4X nm 64 3D NAND 256Gb512Gb1Tb SSDeMMCeMCP 1 3D NAND Flash 2 12

6

7 D NAND 220KV D NAND 10 / 20-40nm 3D NAND 8760h % 39.38% 55%

8 FAR % 5.18% 7% % 11.47% 15% 11 % 18.15% 10% m 3 /h RO RO

9 /POU

10 POU FABCUB UPS DGB KW CUB KW

11 100t 3.5 1() 3F MAU m 3 /h m 3 /h 32 36m m 3 /h m 3 /h 28 36m POU 36m 3 POU POU m 3 /h 40000m 3 /h 2 36m m 3 /h m 3 /h 12 36m 5

12 m 3 /h m 3 /h 4 36m (FMCS) 6 2 GCS G7G8 G7 GCS m 3 /h 2000m 3 /h 1 15m G8 GCS m 3 /h 1 15m m 75704m 3 /h 3.6

13 m 3 /h 3.10

14 FAB1 4F m 2 4F CUB m m 3 /h m3/h 321 Q=800m 3 /h OU1+ +POU KW 2.4 CUB KW

15 NG1 1GCS1 1 SIH41 1 SGS1 1 CWH1 2 CWH2 3 CWH3 1 WH1 1 JHW1 2 JHW2 1 DT m 2 GCS1A m 2 EBR GCS1B m m m m 2 CTS-100TiCl4 TEOSLTO m 2 CTS-100TiCl4TEOSLTO m m m 2 1,2,5, m 2 3, m m WWT CaCl ( )34000m 3

16 RWH1 2 RWH2 3 RWH m m m4 +POU POU m2 25m m m m m m 2 // UPS m 2 CO 2 FM m m 3 220kV 5.2

17 OS KW m

18

19 km

20 1 370km 2 95km 1000~3000m 15~30m HCO3-CaMgHCO3SO4-CaHCO3SO4-CaMg HCO3-CaHCO3-CaMg ph 5.7~ ~0.353mg/L 80~185mg/L 49km km km 16km

21 6 6 km km km 420m 18.2km km m m 3

22 1786 m m m km km km km :20 ~~ FⅠ5055º 70

23 FⅡ 55º 100 FⅢ 90 50º FⅣ 320º FⅤ 330º 5 FⅥ º FⅦ 340º FⅧ 1 4 FⅦ 3km (GB ) g

24 4.2 1:20 1 Z 1000m 1 500m O1

25 200m D3 C3 J1-2 2 K K m K1 2 K m K2K2 1 K2 2 K m K m NN2N3 N2 50m N3 110m

26 2 Q1Q2-3 Q4 Q1 50m Q2-3 30m Q4 60m

27 Ⅰ 6 Ⅰ1-Ⅰ6 ⅡⅡ1-Ⅱ3 Ⅲ 8 Ⅲ1Ⅲ8 7 7 Km2 m > > >10m

28 m m m 2 525m 1.5

29 CM A

30 A cm 520% % V V 7.3m

31 mm 2.02m/s % 1 72% 77% mm 181.7mm 226.3mm 75.0mm 510mm 45kg/m 2 10m10min 10m 2.02m/s 25.2m/s 38.8m/s mb 989.1mb mb

32 % [114] % % % %

33

34 ,

35 15 80 ISO % 100% KV 5 DDN

36 3.1. PKd [2016]18 PKd MEMS BGA PGACSPMCM [2015]251

37 12 [2015]251 [2015]251 2 [2015] nm [2015]1 3 99% 90% 90% 90% 90%

38 90% 90% VOCs 90% 75% 1 VOCs 2 3 VOCs 90% + VOCs VOCs 90% (HJ ) 90% 90%

39 12 6 PKd011 PKd011 PKd011 7 PKd PKd

40 /

41 13 / 0.03 DN1400 DN1400 DN1400 DN1000 DN300-DN800 CJ d1500 d800 d400-d / km 2 5 / 2013 [2013] t/d

42 500 10< > DNAND POU % VOCs 36m % 99% 94.1% 10% VOCs VOCs VOCs 2019 VOCs VOCs VOCs

43 ( ) VOCs 47 VOCs 12 3DNAND POU VOCs 36m 94.1% 10% m 470m m m 500m 500m

44

45 SO2NO2 - GB TJ36-79 PM2.5PM10 GB m 2 500m m 4 500m

46 ph 3 HJ HJ HJ GB/T /

47 ph DO COD BOD 5 NH 3 -N ph 2002 HJ HJ BOD 5 HJ HJ GB GB GB GB/T GB/T HJ/T HJ/T GB/T GB/T HJ HJ GB/T HJ mg/L 0.5mg/L 0.025mg/L 0.01mg/L 0.5mg/L 0.05mg/L 0.05mg/L 10~500mg/L 8~200mg/L 0.008mg/L mg/l 0.05 mg/l 0.01 mg/l 0.01mg/L 0.01mg/L 0.3μg/L 0.004mg/L Si S = C / C i i oi

48 Ci mg/l Coi mg/l ph S ph = j sd j S ph ( 7.0 ph ) /(7.0 ph ) ph 7.0 = ( ph 7.0) /( ph 7.0) ph 7.0 j su SpH ph phj ph phsd ph phsu ph GB II GB III III II GB IV J01 J02 J03 j

49 J04 J05 J06 J07 J08 J09 J HJ KNaCaMgCO3 2- HCO3 - Cl - SO4 2- ph NH4 + NO3 - NO2 - AsHg CN - F-CdFeMnCu mg/l J02 J04 J05 J09 J10 K Na Ca Mg CO HCO Cl SO mg/l(ph )

50 J02 J04 ph 7.17 I 7.19 I 7.20 I 7.18 I 7.19 I III 2.86 V III IV III 8.71 III 1.15 I 11.8 III 0.40 I 0.08 I I III ND I II I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I III I III III I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I ND I 474 IV 642 IV 423 III 312 III 191 II IV IV IV IV I 0.43 I 0.50 I 0.45 I 0.61 I 0.63 I III III III III II ND I ND I ND I ND I ND I 0.22 IV 1.31 IV ND I 0.70 IV 1.45 IV 734 III 858 III 829 III 640 III 285 I 2.7 III 6.1 IV 1.3 III 4.0 IV 4.4 IV 58.5 II 37.3 I 170 III 74.4 II 24.8 I 114 II 123 II 135 II 175 III 34.9 I 3 I 3 I 3 I 3 I 3 I ND I ND I ND I ND I ND I 1.12 / / / / / 15 I 23 I 53 I 39 I 35 I ND I ND I ND I ND I ND I ND J05 J09 J10 GB/T GB GB HCO3-Ca-Na 5 GB/T IV GB/T V IV I-III

51 ~ ~ GB dba 1 1# #

52 3 3# # # # # # GB ph # 2# 15 20cm 60cm 100cm 20cm 60cm 100cm # 16 mg/kg ph 20cm 60cm 100cm 20cm

53 2# 60cm 100cm ph / (GB ) 16 ph GB SO2NO2 - GB TJ36-79 PM2.5PM10 GB GB II GB III III II GB IV HCO3-Ca-Na 5 GB/T IV GB/T V IV I-III GB

54 3 GB m 1 / / (GB ) (GB ) / / / 460 (GB ) / GB/T

55 m / / 8200 / / 9400 / / 5300 / / 3.8km 4.3km / / 3.3km 4.8km / / 8.1k 10. km / / 15.8km 17.3km (GB )3 4-7

56 m 500m Pi Pi II ph 7.30~ ~ ~ ~ ~9 6~9 Ⅳ 3.90~5.40 / / 4.00~5.50 / / / / 7.60~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ mg/l μg/l ph 0.11~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND ND ND 0 ND ND ND ND 0 ND ND ~0.10 / ~0.08 / / / /

57 3.20~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND m 500m Pi Pi II ph 7.30~ ~ ~ ~ ~9 6~9 4.00~5.70 / / 4.20~5.90 / / / / Ⅳ 7.54~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ mg/l μg/l ph 0.19~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND ND ND 0 ND ND

58 ND ND 0 ND ND ~0.08 / / 0.08~0.09 / 0 / / 2.90~ ~ ~ ~ ND ND 0 ND ND

59 1 SO2PM2.5PM10NO2F - GB TJ mg/m μm PM μm PM 2.5 SO 2 NO 2 NO x CO F - HCl Cl NH μg/m 3 mg/m 3 GB TJ36-79

60 H 2 SO NMHC mg/m 3 2 mg/m 3 GB Ⅱ GB Ⅳ ph mg/l GB II GB ph 6~9 6~9 6 3 BOD COD As Cr Pb Cu Zn GB GB

61 dba GB/T GB/T ph mg/l 1 ph <5.5> >1.5 3 N >30 4 N > CaCO > > > > > > > > /ml > > >0.05

62 > > > > > GB mg/kg ph <pH <pH7.5 ph> GB GB VOCs DB12/ DB 31/ mg/m 3 24 m kg/h mg/m 3

63 VOCs GB GB DB12/ DB 31/ GB m mg/m GB mg/m 3 2.0

64 % GB CJ B SL GB GB A 27 mg/l ph GB CJ COD Cr BOD / / 3 SS NH 3 -N / 20 7 / / mg/l ph ph 6.5~ ~ ~9.0 CODCr SS SL

65 GB mg/l ph GB GB A ph 6~9 6~9 COD LAS / / 1 SS / 10 > GB :db(a) dBA GB :db(a) GB GB

66 1SO2NOxVOCs 2CODNH3-N [1] [2] COD COD SO NOx VOCs [1][2] /

67 1 1 2 PN (CMP) 20-40nm

68 POU FFU / UPS

69 0.05mg/m t/a 0.05mg/m t/a () () () mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a NOx mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a NH mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a SO mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a mg/m t/a NH mg/m t/a 0.262mg/m t/a mg/m t/a 9.60E-04mg/m t/a mg/m t/a 2.60E-04mg/m t/a mg/m t/a 1.20E-04mg/m t/a VOCs mg/m t/a mg/m t/a SO mg/m t/a 0.08mg/m t/a NOx 0.39mg/m t/a 0.39mg/m t/a ph 10~12 NH 3 -N 479mg/L563.5t/a ph COD BOD 5 NH 3 -N SS P ph* COD BOD 5 479mg/L563.5t/a 1~4 60mg/L70.96t/a 15mg/L17.74t/a 1mg/L1.50t/a 200mg/L236.52t/a 102mg/L120.56t/a 477mg/L563.60t/a 47mg/L56.03t/a 10~12 250mg/L289.08t/a 80mg/L92.49t/a t/a ph6~9 COD85mg/L898.78t/a BOD525mg/L259.70t/a NH3-N13mg/L141.04t/a 27mg/L286.67t/a SS50mg/L632.57t/a P 3mg/L 30.15t/a 3mg/L28.18t/a Cu0.011mg/L0.11t/a SS 900mg/L t/a

70 ph* COD BOD 5 SS Cu ph* COD BOD 5 NH3-N SS 1~4 200mg/L42.05t/a 60mg/L12.63t/a 300mg/L63.07t/a 32mg/L6.75t/a 2~6 180mg/L536.92t/a 50mg/L149.14t/a 9mg/L26.86t/a 40mg/L117.97t/a 150mg/L447.42t/a t/a t/a ph 6~9 6~9 COD 380mg/L42.30t/a 342mg/L38.07t/a BOD 5 200mg/L22.27t/a 180mg/L20.04t/a NH 3 -N 30mg/L3.36t/a 30mg/L3.36t/a 35mg/L3.91t/a 35mg/L3.91t/a SS 330mg/L36.76t/a 165mg/L18.36t/a P 4mg/L0.44t/a 4mg/L0.44t/a 35mg/L3.91t/a 35mg/L3.91t/a LAS 15mg/L1.68t/a 15mg/L1.68t/a * 644 * Cu 75%

71 (BA) ST / 30 / / 120 As/B/P 10 UPS () % SiO 2 75% 3955 (NH 4 ) 2 SO CuAl

72 GB

73 GB db(a) dB(A)/50m 34 /m 34 db(a) GB dB(A) /m >162 > >117 > >110 > >145 > >117 > >27 > >27 > m GB

74 m/s 1 2.4m/s TSP 1.5~ ~ m TSP 0.491mg/m m 100m 0.12~0.79mg/m 3 30m TSP 10mg/m 3 1 4~5 70% TSP 20~50m 2 60% 5km/hr15km/h 1/3 3

75 m SS 2500mg/L COD 1.4. SS

76

77 m 3 /d 28962m % CODEFDC

78 COD 1/ 100m 100m 2/ 100m 100m / 86.6km 2 5 / 2013 [2013] t/d 305m 3 /d 3.1% 5 /1 865m 1034m 129m 763m 943m 110m2 4370m 6180m 406m

79 3776m 5450m 337m m 5m 5m Cadna/ADataKustik GmbH Ver m 5m 5m db(a) db(a) (/ ) m

80 CUB CUB CUB FAB GB

81 dba 1 1# # # # # # # # m

82 GB GB m 2.4. / / / CODSS CODSS CODSS mg/l COD SS ( P ) ( N )

83 mg/l >1 CODSSGB COD 20mg/LBOD5 4mg/LSS 20mg/L 1mg/L 0.2mg/L GB/T mg/L 1mg/L 250mg/L 250mg/L 0.2mg/L CODSS COD SS HF CMP HF TMAH NF COD 19SS SS >>>>COD>>

84 COD 479mg/L 477mg/L 32mg/L DHI-WASY FEFLOW(Finite Element subsurface FLOW System) WASY FEFLOW

85 7.1 h mkxkykz xyz m/d1/mw m 3 /d mn k m/d R b kg/(dm) 3 c g/kg g/kgt d Dij m 2 /dvi m/dw 1/dCs g/l1 1/d2 1/dC0x,y,z1 Cx,y,z,t2 fi(x,y,z) y x z

86

87

88 cm/s cm/s cm/s 10m 1m cm/s ( N ) 479mg/L 477mg/L 32mg/L 4 FEFLOW m

89 BOD % m/d 17000m m/d60d479mg/L= kg 17000m m/d60d477mg/L= kg 17000m m/d60d32mg/L=19.584kg

90 a60 slice1 b100 slice1 c1000 slice1 d10000 slice1 e60 slice2 f100 slice2 g1000 slice2 h10000 slice2 i60 slice3 j100 slice3 k1000 slice3 l10000 slice3 m60 n100 o1000 p ( N )

91 mg/l m m GB/T ( N ) III 0.5mg/L 0.5mg/L mg/L 6.2m 14.0m mg/L 6.8m 14.1m mg/L 37.4m 17.3m mg/L 260.0m 25.1m m m

92 a60 slice1 b100 slice1 c1000 slice1 d10000 slice1 e60 slice2 f100 slice2 g1000 slice2 h10000 slice2 i60 slice3 j100 slice3 k1000 slice3 l10000 slice3 m60 n100 o1000 p mg/l m m GB/T III

93 1.0mg/L 1mg/L mg/L 6.0m 14.2m mg/L 6.7m 14.4m mg/L 36.0m 17.1m mg/L 257.0m 24.5m m m a60 slice1 b100 slice1 c1000 slice1 d10000 slice1 e60 slice2 f100 slice2 g1000 slice2 h10000 slice2

94 i60 slice3 j100 slice3 k1000 slice3 l10000 slice3 m60 n100 o1000 p mg/l m m GB/T III 1.0mg/l 1.0mg/L mg/L 3.9m 11.0m mg/L4.3m 12.0m mg/L 20.5m 14.3m mg/L 83.8m 4.1m m m

95 m 5 GB/T IV GB/T V IV I-III

96 60 60 ( N ) 6.2m 6.0m 3.9m S20 S15-3 S17 S19-2 S18 S21 S22 S S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S9 S10 S11 /S12 S19-1 S13 S15-1 S14UPS S16

97 1 GB GB cm/s 2mm 3 1~3RWH1~ m 2 FAB 2

98 3 GB HJ/T

99

100 A LD 50 ( )mg/kg LD 50 ()mg/kg LC 50 4 mg/l 1 < <LD LD LC LD LD LC C 20 0 C C 20 0 C C

101 q 1 Q 1 + q 2 Q 2 + q 3 Q q n Q n 1 q1,q2...qnt Q1,Q2...Qnt 500m 45 GB q/q>1 45 t t q/q 20%F 2 /N %B 2 H 6 /N BCL C 2 H C 3 H C 4 F CH 2 F CH 3 F CH CL CLF CO %GeH 4 /99%H HBR HCL NH AsH BF PH SI 2 H SiH 2 CL WF N 2 O

102 NF HNO %H 2 O IPA LTO TMA() SiH SAM EBR q/q km m / 1050

103 / / /

104 / 5300 /

105 Q Q Q S Q E

106 kg/ 40kg/0.835kg/192L190L186L QG = γ+ 1 2 γ 1 γ γ + 1 QGkg/s PPa Cd Am 2 10mm m 2

107 M kg/mol R J/(molK) TGK 293K Y Y=1.0 γ Cp CV 1 51 Y A m P Pa Cd M kg/mol R J/(molk) TG K κ Q kg/s kg0.835kg18kg 484s1.88s22.5s 2 Q0-kg/s Cd 0.63 Am 2 10mm m 2 kg/m 3 PPa P0Pa g9.8m/s 2

108 hm a Cd 0.62 A m kg/m P Pa P0 Pa G m/s h m 0.15 Q kg/s s 600 b. kg Q3 Q3kg/s,n 53 ppa Mkg/mol RJ/molk T0k m/s rm 53 n

109 (D) mm 5m 2,n 54 PPa Mkg/mol 0.02 RJ/molk T0K 298 rm Q 3 kg/s (D)m/s : C(x,y,o)--x,ymg.m -3 xo,yo,zo-- Q-- σxσyσz XYZ mx=σy

110 Cw i (x,y,o,tw)-- i tw w (x,y,0) Q --mgq =QtQ mg.s-1t s σx,effσy,effσz,eff-- w xy z m σ = σ ( t ) σ ( t ) j, k j, k k j, k k 1 x i w y i w-- w i x y t n f 1 2 D 2.5m/s B 0.6m/s

111 56 B 0.6m/s mg/m 3 m 0.2mg/m LC min 17min D 2.5m/s mg/m 3 m 0.2mg/m LC50-10min 33min 58 B 0.6m/s mg/m 3 m 0.1mg/m LC50 m - 8min 18min 59 D 2.5m/s mg/m 3 m 0.1mg/m LC50 m - 8min 37min 60 B 0.6m/s LC50 m min 4min 61 D 2.5m/s LC50 m min 10min 62 B 0.6m/s LC50 m min 5min 63 D 2.5m/s

112 LC50 m min 8min D 2.5m/s mg/m 3 m 0.02mg/m LC50 m min 45min 30min L 146kg 2 TNT TNT TNT TNT a.tnt WTNT= W Qf/ Qf 4520 TNT kj/kg

113 b. R1 R1=13.6WTNT/ c. R /P0=0.1372R2/E/P01/ R2/E/P01/ R2/E/P0 1/ P kPa E KJ R2m d. R /P0=0.1372R3/E/P01/ R3/E/P01/ R3/E/P01/ e. R R =KWTNT1/3/13175/WTNT21/6 K K= m 5.5 m 6.6 m 10 m m 1.2m

114 CO / 1 / 118.9m /m % / a

115 / GBJ

116

117

118 3 V V (V1V2V3)MAXV4V5 V m 3 V1m 3 80m 3 V2m 3 30L/s 3h 324m 3 V3m 3 0 V4m 3 0 V5m m 2 q L/(s hm 2 )Qfq 0.7f m m m 2 15min m 3 (V1+V2-V3)MAX 404m m m m 3 1

119

120 (1) HSE HSE (2) (3) (4) (5) (6)

121

122 3 4 5 //

123

124 ~ 13 14

125

126

127 10 18

128 19 3

129

130

131 /

132 NOx NH3 SO2 NH 3 VOCsSO 2 NOx POU m m 3 /h m m POU DB 31/ GB GB VOCs DB12/ (GB ) 2 DB 31/ (GB ) 2

133 phcod BOD 5 NH 3 -N SS P CuCl - SO 4 2- phcod BOD5NH3-N SS P LAS m 3 /d m 3 /d CaCl2 3800m 3 /d m 3 /d 1 690m 3 /d : m3/d : m3/d POU :1 + : m 3 /d 3257 * * Cu 75% GB CJ B SL GB

134 (BA) ST / 30 / / 120 As/B/P 10 UPS () % SiO % (NH 4 ) 2 SO CuAl

135 GB

136 D NAND 10 /Phase-1 5 / Phase-2 5 / MEMS BGAPGACSPMCM PKd011

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