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1 : 8 MEMS : ()

2 : 8 MEMS : : : () A A A A

3

4 8 MEMS F2M F2M [2015] Silex Microsystems 98%Silex Microsystems 2000 MEMS MEMS Silex Microsystems MEMS 1.2 MEMS MEMS 1

5 MEMS MEMS MEMS Foundry MEMS MEMS MEMS MEMS MEMS 12 8 MEMS F2M3 2# [2015] K X F2M F2M3 2

6 F2M3 280m 170m 3

7 0km 1km 2km 1 4

8 0m 150m 300m 2 5

9 0m 50m 100m 1 210m 2 3 6

10 MEMS 12 8 MEMS m 2 F2M m % 1 / 3000 m 2 8 MEMS 1/ 500 m m 3 /h 2. (7/14ºC)2500RT 3 (14/21ºC)2850RT KW1360RT/ 5500KW m 3 /h 32/37.5, m 3 /h 21/17 5.6t/h 1, Nm 3 /h m m 2 V=2000m m 3 / 1844m 3 /d 10 m 3 /s / 20000kVA 12000kW / 2 2t/h 4t/h / 800Nm 3 /h 7

11 200 m 2 G1 : 40000m 3 /h G m 3 /h G3 5000m 3 /h G4 G2 G5 6t/h 5909 m 3 /h G6 4t/h 3939 m 3 /h 1838 m 3 /d W1 197m 3 /d 240 m 3 /d W2 514m 3 /d 600 m 3 /d+ W3 450m 3 /d 550 m 3 /d W4 128m 3 /d 160 m 3 /d RO 549m 3 /d 6.4m 3 /d / 3.1 / 108t/a 50 m t/a 16.5 t/a / 800m L/ H 2 O % DHF 49%:DI=1:

12 10 BOE 87.5%[40%]+12.5%[49%] BOE 1-5%+30-35%+>50%DI [SILOX VAPOX III] % %+2-3% [PES ] % NMP 99.5% MOS TMAH 25%+75% Copper Etch %+10%+85% MS Protek B3&Primer % Kg Kg Kg Kg Kg Kg L/ % 50L/ L/ L/ L/ %/ 0.5%+95% 50L/ L/ L/ L/

13 L/ (CH3F) L/ L/ % 50L/ L/ %/ L/ % 500L/ % 50L/ % 50L/ %/ L/ L/ % 400L/ BPS-729-B KET /

14

15 G6 G5 G1 G3 G2/G4 4 12

16 5 13

17 t/h 14

18 4t/h

19 6 16

20 () km 7km 16.5km 25km F2M m 1/ m 8 F2M m/s 580mm 69 80% 4 17

21 4 14.8km 3.5km HCO 3 -Ca Mg HCO 3 -Cl-Ca Mg HCO 3 -Cl-Mg Ca HCO 3 -Ca Na 2030m m 3 /d m/d 20m 1500m 3 /d 2km 5 18

22 () % % % 43.6% % % % % % % % % % % 31.3%24% 22.4% % % % 96.1% % %

23 % % % % % % % % %

24 ( ) 1 GB PM µg/m 3 197%SO µg/m 3 NO2 56.9µg/m %PM µg/m %SO 2 GB PM 2.5 PM 10 NO 2 PM 2.5 PM 10 NO m V V

25 db(a) GB dB(A) 55dB(A) 5 22

26 () m (GB ) 23

27 1 GB μg/m m m TSP SO 2 NO 2 NO x GB V 7 mg/l V 1 ph 69 2 COD 40 3 BOD NH 3 -N

28 3 GB dba DB11/ II DB11/ VOCs 9 kg/h mg/m 3 m mg/m DB11/

29 DB11/ SO 2 NOx mg/nm 3 mg/nm 3 mg/nm DB11/ ph COD Cr BOD SS P GB db(a) GB

30 13 LeqdBA COD Cr 37.7t/a 1.87t/a NOx 4.36t/aSO t/a 0.248t/a 4.98t/a [2015]19 2 COD Cr 75.4t/a 3.74t/aNOx 8.72t/aSO t/a 0.496t/a 9.96t/a 27

31

32 H 2 SO 4 +H 2 O 2 (4:1) NH 4 OH+H 2 O 2 +H 2 O(1:1:5) HF+H 2 O (1:50) 7 硅晶圆片移动 检测回用 废液收集系统 废水处理系统 7 G1G2G3 W1W2W3W4 S1 S2 S3 29

33 2 CVD 800~1200 SiO 2 SiO 2 Si + O 2 SiO 2 Si + 2 H 2 O SiO 2 2H 2 H 2 G2 CVD PN 30

34 SiH 4 +2 N 2 O SiO N H 2 SiCl CO H 2 SiO HCl + 2 CO SiH 4 Si + 2 H 2 3SiH NH 3 Si 3 N H 2 3 SiH 2 Cl NH 3 Si 3 N HCl + 6 H 2 WF H 2 W + 6 HF 2 WF SiH 4 2 W + 3SiF 4 + 6H 2 WF 6 + 2SiH 4 WSi HF + H 2 6 TiCl NH 3 6 TiN+ 24 HCl + N 2 G PH 3 B 2 H 6 2PH 3 2P + 3H 2 31

35 2BCl 3 2B + 3Cl 2 4BCl 3 + 3O 2 2B 2 O 3 + 6Cl SiH 4 Si + 2 H 2 SiH 4 +2O 2 SiO 2 +2H 2 O 3 SiH 2 Cl NH 3 Si 3 N HCl + 6 H 2 G2 BF 3 PH 3 G2 PVD 32

36 99% % TMAHKOH G1 G3 S3 光刻胶 基片 涂胶后基片 显影后基片 光刻后基片

37 G1 G2 G3 S1 S2 S3 CF 4 C*+4F * SF 6 S*+6F * Si +4F *Si F 4 Si +6F * Si F 4 + F 2 34

38 Si O 2 +4F *Si F 4 + O 2 W+F * W F x Cl 2 2 Cl* Si +2 Cl* Si Cl 2 Si Cl 2 +2 Cl* Si Cl 4 G2 MOS G2 G1 S1 S3 COCO 2 H 2 O 35

39 5 TSV TSV TSV 6, 36

40 14 G1 G2 G3 G4 PGMEAMEA +PGMEA+N- NMP POU+ W1 phcod Cr BOD 5 F - W2 3- phcod Cr BOD 5 SSPO 4 W3 phcod Cr BOD 5 SSNH 3 -N W4 SS 37

41 Cu Au PI N-NMP S1 38

42 39

43 1. 1 HClSiCl 4 POU HCl 2 TMAH NH 3 POU NH 3 NOx 3 1%+99% POU 40

44 4 15~18 15 kg/a kg/a TMAH kg/a kg/a

45 NMP TMAH G1G2G3 G4 1G1 + / + 90% m 3 /h90% 130m 2G2 42

46 m 3 /h m 25% ph 3G3 TMAHNH m 3 /h 95130m 50% 4G m 3 /h G2 90% G2 30m 43

47 2.2 G5/G6 22t/h14t/h 6t/h50% NOx SO 2 50% 30m DB11/ II 1t/h80Nm 3 /h12.31nm 3 /Nm 3 DB11/ NOxSO 2 DB11/ m 3 /d 1838m 3 /d 6.4m 3 /d 3.1 W1W2W3W4RO 1 W1 SiO m 3 /d 4 m 3 /d 44

48 F ph12 CaCl 2 F CaF m 3 /d 240 m 3 /d 2 W2 ph ph ph 514m 3 /d 600 m 3 /d 3 W3 COD Cr / 450m 3 /d 550 m 3 /d 4 W4 SS ph NaOH FeCl 3 H 2 SO 4 ph 128m 3 /d 160 m 3 /d 5RO RO 549m 3 /d RO 1 45

49 m 3 /d CODcrBOD 5 SSNH 4 -N DB11/ db(a)

50 t/a t/a t/a 1 15t/a t/a t/a t/a 5 20t/a 6 2t/a 7 4t/a/ Al 2 O 3 8 2t/a t/a 47

51 23 23 t/a HW34 15 HW HW HW HW32 20 HW49 2 Al2O3 HW49 4 HW

52 % % % % % % % % % % TMAH +75% % % % % % % % %

53 G1 G2/G4 G3 6t/h G5 4t/h G6 + / m 3 /h m m kg/h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h mg/m / / / / / / / 5 50

54 m 3 /d) 21 (kg/d) () (mg/l) (kg/d) (mg/l) CaF 2 ph COD Cr BOD W1 SS F Ca 3 (PO 4 ) 2 ph ph COD Cr BOD W2 SS PO Bardenpho ph CODCr BOD W3 SS NH 3 -N W4 128 SS ph CODCr BOD SS NH 3 -N PO F TDS ph CODCr BOD SS NH 3 -N

55 1844 ph CODCr BOD SS NH 3 -N PO F TDS

56 TDS 325.4mg/L198t/a 325.4mg/L198t/a () () () 5.0 mg/m t/a 5.0 mg/m t/a G1 G2/G4 G3 6t/h G5 4t/h G mg/m t/a 15.7 mg/m t/a 0.5 mg/m t/a 0.5 mg/m t/a 0.05 mg/m t/a 0.05 mg/m t/a 0.03 mg/m t/a 0.03 mg/m t/a 6mg/m t/a 0.6 mg/m t/a 2.6 mg/m t/a 0.5 mg/m t/a 7.7mg/m t/a 2.3 mg/m t/a 2 mg/m t/a 0.6 mg/m t/a 8 mg/m t/a 2.4 mg/m t/a mg/m 3 0.4kg/a mg/m 3 0.4kg/a mg/m 3 0.8kg/a mg/m 3 0.8kg/a 23.3 mg/m t/a 0.7 mg/m t/a 80.0 mg/m t/a 80.0 mg/m t/a 10.0 mg/m t/a 10.0 mg/m t/a 5.0 mg/m t/a 5.0 mg/m t/a 80.0 mg/m t/a 80.0 mg/m t/a 10.0 mg/m t/a 10.0 mg/m t/a m 3 /a m 3 /a 0.2 m 3 /a m 3 /a m 3 /a 0.2 m 3 /a COD Cr 203.6mg/L123.51t/a 61.9mg/L37.7t/a BOD mg/L43.77t/a 24.7mg/L15.03t/a SS 126.1mg/L76.49t/a 12.6mg/L7.65t/a NH 3 -N 29.5mg/L17.90t/a 3.1mg/L1.87t/a PO mg/L13.57t/a 2.9mg/L1.78t/a F mg/L45.51t/a 0.7mg/L0.46t/a 100t/a 0t/a 593.8t/a 0t/a 16.5t/a 0t/a dB(A) <65dB(A) 53

57 54

58 () 55

59 8095dB(A) 56

60 DB11/ II NOxSO 2 DB11/ G1 G2/G4 G3 6t/h G5 4t/h G6 () (m 3 /a) 24 t/a H 2 SO 4 HCl Cl 2 HF NH 3 SO 2 NOx % 57

61 200 VOCs 99% 65% CO 2 90% CO 2 H 2 O 90% Pa 9 58

62 m 3 /h 30m 90% 2 90% G2 30m 59

63 25% 7090 ph m 3 /h m 3 TMAH 50% m 3 /h m 50% 2. 60

64 W1W2W3 W4RO COD Cr BOD 5 SS NH 3 -N DB11/ mg/lph t/a t/a ph / COD Cr BOD SS NH 3 -N DB11/ m 3 /d SiO 2 240m 3 /d 90% 61

65 CaCl 2 2F - +Ca 2+ CaF 2 8mg/L mg /L mg/l HF CaCl 2 ph 12 CaCl 2 F CaF 2 30%

66 514m 3 /d ph 600m 3 /d ph ph 69 ph ph PLC ph ph PLC 3 450m 3 /d / 550m 3 /d CODcr BOD 5 90% / B/C ph 63

67 ph ph PAC PAM PAC PAM 11 NaOH H 2 SO 4 NaOH H 2 SO PAM PAC 11 64

68 4 128m 3 /d 160 m 3 /d SS ph NaOH FeCl 3 H 2 SO 4 ph SS 5 RO ph 1838 m 3 /d

69 /SBR+ MBBR+CMF (DB11/ ) 5 / 4.5 m 3 /d 5000m 3 /d 1844m 3 /d 3.69% 66

70 GB db(a)70 db(a) L P2 = L P1 10 Lgr 2 / r 1 2 L p2 r 2 db(a) GB cm/s GB cm/s 67

71 L p1 r 1 db(a) L p1 70dB(A) L p2 r 1 1m r 2 m L p = 10 Lg10 Lp1/ Lp2/10 + L p db(a) L p1 L p2 db(a) L p1 1m L p db(a) ~31.78dB(A) GB

72 4.2 1 GB GB GB

73 1 2 3GB

74

75

76 g/cm 3 73

77 mmHg(20) 74

78

79

80 35 5%+10% +85% Copper Etch 49-1 MS C 3 H 6 O C 3 H 8 O C 5 H 9 NO C 2 H 5 OH DHF 49%:DI=1:10 BOE 87.5%[40% ]+12.5%[49% ] BOE 1-5% % +>50%DI [SILOX VAPOX III] 77

81 GB ~ / 78

82 m QL 2( p p0 ) Q0 Cd A 2gh 25 QL kg/s Cd Re 39 79

83 > Re=DU/μReDm Um/sμPa s Cd0.64 A m 2 ρ kg/m 3 P Pa P 0 Pa g,9.8m/s 2 h m UQL/Cd A ρ t=[u0/cd g]at/a U0 m/s AT m 2 FV= CpTLG-TC/ H FV Cp J/kg K TLG K TC K H J/kg FV1FV FV

84 () P Pa P 0 Pa κ Cp C V Q G Q G kg/s P Pa Cd A m 2 M R J/(mol k) T G K Y Y=1.0 81

85 1 30 Fv= Fv> m m Pa301m kg/s 2 30 Fv= Fv> m m Pa301m kg/s 3 30 Fv= Fv> m m Pa30 1m kg/s PH 3 +N 2 PH 3 1% kg/s HJ/T

86 C -- mg m Q-- σ X σyσz XYZ m σ X =σy -- i w (x,y,0) --mg mg.s-1 s -- w xy z m -- w i x y t 83

87 n f LC 50 lethal oncentration 40 14h 14 50% mg/m 3 LC h 13904h 15.34h m/s D 45.48% EF 30.77% BB-CCC-D 23.75% D 41.37%-48.70% 41.81% 36.38% 30.75% 29.34% 2.4 m/sd 1.5m/sF 2 2.4m/s D 1.5m/s F 1 588kg328kgPH 3 0.1kg 5min 60min 84

88 2.4m/s D 1.5m/s F 2.4m/s D 1.5m/s F [min] 42 Cl 2 [mg/m 3 ] [m] LC 50 [m] m , , , , , , , , , , , , , , [min] 43 NH 3 [mg/m 3 ] [m] LC 50 [m] m , , , , , , , ,

89 2.4m/s D 1.5m/s F [min] 44 PH 3 [mg/m 3 ] [m] LC 50 [m] m , , , , , , , , , LC LC 50 m 8501h 13904h 15.34h

90 0m 100m 200m 13 F 1.5m/s 45 LC 50 LC 50 F LC m 1800m 2 1.5m/sF LC 50 LC m 112.4m 112.4m 210m 87

91 7 88

92 89

93 90

94

95 5.6 92

96 5.7 93

97 ( )

98 47 1 phcodcr SSBOD 5 1 VOCs / 2 NOxSO 2 1 / 1 NOxSO DB 11/ DB 11/

99 GB m 4 A B GB/T

100 m 3 /d 2 600m 3 /d 3 550m 3 /d 4 160m 3 /d m 3 /h 2 10 m 3 /h m 3 /h 4 500m 3 /h h=30m 2 1 h=30m 1 1 h=30m h=30m 5 DB11/ DB11/ II DB11/ VOCs 6 h=30m DB11/

101 98 (GB )3 7. [2013]103

102 () G1 G2/G4 G3 G5/6 +>90% 25% % 95 50% COD Cr BOD 5 SS NH 3 -N PO F

103 1.1 8 MEMS 12 8 MEMS F2M3 2# X PM µg/m 3 197%SO µg/m 3 NO µg/m % PM µg/m %SO 2 GB PM 2.5 PM 10 NO 2 PM 2.5 PM 10 NO m V V3 V 3 GB dB(A) 55dB(A) 100

104 1.3 1 DB11/ II NOxSO 2 DB11/ W1W2W3 W4RO COD Cr BOD 5 SSNH 3 -N DB11/ ~31.78dB(A) GB dB(A) 55dB(A) t/a 3 101

105 [2015]19 COD Cr 37.7t/a 1.87t/a NOx 4.36t/aSO t/a 0.248t/a 4.98t/a [2015]19 2 COD Cr 75.4t/a 3.74t/a NOx 8.72t/aSO t/a 0.496t/a 9.96t/a 6 8 MEMS 8 MEMS 102

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