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1 敞开式直线光栅尺 2007 年 5 月

2 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺测量直线轴位置时不存在任何附加的机械传动元件 因此, 它能消除以下潜在误差源 : 由于滚珠丝杠温度特性导致的位置误差 反向误差 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差因此, 直线光栅尺已成为高精度定位和高速加工不可或缺的必备条件 敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量的机床和系统 典型应用包括 : 半导体工业的测量和生产设备 PCB 电路板组装机 超精密机床, 例如加工光学元件的金刚石刀具车床, 加工磁盘的端面车床和加工铁氧体元件的磨床 高精度机床 测量机和比较仪, 测量显微镜和其它精密测量设备 直接驱动 机械结构敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅尺和扫描头, 光栅尺和扫描头间无机械接触 敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安装面上 安装面的平面度直接影响直线光栅尺精度 其它样本还有 带内置轴承角度编码器 无内置轴承角度编码器 旋转编码器 伺服驱动用编码器 NC 数控机床用直线光栅尺 接口电子设备 HEIDENHAIN 数控系统欢迎索取, 或访问 本样本是以前样本的替代版, 所有以前版本均不再有效 订购 HEIDENHAIN 公司的产品仅以订购时有效的样本为准 有关相应的适用标准 (ISO,EN 等 ), 请见样本中的特别标注

3 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南 4 技术特点 测量原理 测量基准 6 增量测量法 7 光电扫描 8 测量精度 10 可靠性 12 机械结构类型和装配 14 一般机械信息 17 技术参数 高精度 LIP 300 系列 18 LIP 400 系列 20 LIP 500 系列 22 LIF 400 系列 24 高速运动应用 LIDA 4x3 系列 26 LIDA 4x5 系列 28 LIDA 4x7 系列 30 LIDA 200 系列 32 安装空间有限应用 LIDA 500 系列 34 二维测量 PP 系列 36 电气连接 接口增量信号»1 V PP 38 增量信号 «TTL 40 限位开关 42 位置检测 43 电气连接 44 信号处理电子设备 45 连接件和电缆 46 一般电气技术参数 48 HEIDENHAIN 测量和测试设备 50

4 选型指南 截面精度等级信号周期 1) LIP 系列敞开式直线光栅尺测量步距小 精 LIP 系列超高精度光栅尺 ± 0.5 μm μm 度高和重复性好 它采用玻璃陶瓷或玻璃基体的 DIADUR 相位光栅作测量基准 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺 干涉扫描, 信号周期小 ( 可按需提供更高精度等级 ) LIP 4x1R ± 1 μm ± 0.5 μm ( 可按需提供更高精度等级 ) 2 μm ± 1 μm 4 μm LIF 系列敞开式直线光栅尺采用玻璃基体的 LIF 系列高精度光栅尺 ± 3 μm 4 μm DIADUR 或 SUPRDAUR 光栅作测量基准 带 PRECIMET 粘膜胶带 它具有精度高和重复性好特点, 并且安装 干涉扫描, 信号周期小 非常容易 限位开关和回零轨 LIDA 系列直线光栅尺非常适用于运动速度达 10 m/s 的高速运动应用, 它还支持多种安装方式 根据不用应用要求, AURODUR 或 METALLUR 光栅的基体可为 LIDA 系列可选不同热膨胀系数的基体 支持用不同的光栅尺基体选择线性热膨胀系数 限位开关 3.05 ± 5 μm ( 可按需提供更高精度等级 ) 20 μm 钢带, 玻璃或玻璃陶瓷 LIDA 系列用于高速运动和大测量范围 ± 5 μm 20 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在 安装面上 LIDA 400 型带限位开关 ± 15 μm 20 μm ± 30 μm 200 μm ± 30 μm 200 μm LIDA 系列光栅尺用于狭小安装空间 小型扫描头小 ± 5 μm 20 μm 安装简单 9 PP 系列双坐标光栅尺采用平面二维相位光栅作测量基准, 是玻璃基体的 DIADUR 光栅 因此它能测量平面中的位置 PP 系列二维光栅尺 二维共同扫描点 干涉扫描, 信号周期小 ± 2 μm 4 μm 1) 正弦信号周期 它决定一个信号周期内的偏差 ( 参见 测量精度 ) 4

5 测量长度基体和安装方式接口型号页 70 mm 至 Zerodur 玻璃陶瓷基 «TTL LIP mm 体, 嵌入在螺栓固定的不胀钢基座上» 1 V PP LIP 382 概要 10 mm 至 Zerodur 玻璃陶瓷或玻 «TTL LIP mm 璃基体, 通过螺栓固定在安装架上» 1 V PP LIP 481 LIP mm 至 玻璃光栅尺, 通过螺 «TTL LIP mm 栓固定在安装架上 LIP 581» 1 V PP LIP mm 至 玻璃光栅尺, 通过 «TTL LIF mm PRECIMET 粘膜固定» 1 V PP LIF 481 LIF mm 至 玻璃或玻璃陶瓷光栅 «TTL LIDA mm 尺粘贴在安装面上» 1 V PP LIDA mm 至 钢带光栅尺, 穿入在 «TTL LIDA mm 铝壳中并预紧 LIDA 485» 1 V PP LIDA mm 至 钢带光栅尺, 穿入在 «TTL LIDA mm 铝铝壳中, 中间固定 «1 V PP LIDA 487 LIDA 279 最大至 钢带光栅尺, 穿入在 «TTL LIDA mm 铝壳中, 中间固定» 1 V PP LIDA 287 最大至钢带光栅尺粘贴在安 «TTL LIDA mm 装面上 LIDA 583» 1 V PP LIDA mm 至 玻璃光栅尺, 通过 «TTL LIDA mm PRECIMET 粘膜固定» 1 V PP LIDA 583 测量范围 玻璃格栅板, 全表面 «TTL PP x 68 mm 粘贴 ( 可根据需要提供其它测量» 1 V PP PP 281 范围 ) PP 281 5

6 测量原理测量基准 HEIDENHAIN 公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线 - 光栅 光栅刻制在玻璃或钢制材料上 大长度测量用的光栅尺基体为钢带 这些精密光栅由用多种光刻工艺制造 光栅的制造方式有 : 在玻璃上镀硬铬线 在镀金钢带上蚀刻线条, 或者 在玻璃或钢材上蚀刻三维结构图案 HEIDENHAIN 公司开发的光刻工艺可以生产 40 µm 的典型栅距甚至 1 µm 栅距的光栅 用这些光刻工艺可以生产出非常精细的光栅, 而且线条边缘清晰和均匀 再加上采用光电扫描法, 这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键 母版光栅采用 HEIDENHAIN 定制的精密刻线机制造 6

7 增量测量法 增量测量法的光栅是周期性的光栅刻线 带距离编码参考点光栅尺或编码器, 其绝 通过计算自某点开始的增量数 ( 测量步距 对参考点位置通过累计两个参考点间信号 数 ) 获得位置信息 由于必须用绝对参考 周期数并用以下公式计算 : 点确定位置值, 因此在光栅尺或光栅尺带 上还刻有一个带参考点的轨道 参考点确 N abs M RR 定的光栅尺绝对位置值可以精确到一个测 P 1 = (abs B-sgn B-1) x + (sgn B-sgn D) x 2 2 量步距 因此必须通过扫描参考点来建立 绝对参考点或定位上次选择的原点 其中 : B = 2 x M RR -N 有时, 需要机床移动较大的行程 为加快和简化 参考点回零 操作, 许多光栅尺 和 : N = 信号周期中代表两个固定参考点间 上还刻有距离编码参考点, 这些参考点彼此相距数学算法确定的距离 移过两个相 P 1 = 信号周期中代表移过第一个参考点的位置 的名义增量值 ( 见下表 ) 邻参考点后 ( 一般只有数毫米 )( 见 D = 移动方向 (+1 或 -1) 扫描单元 表 ), 后续电子设备就能找到绝对参考点位置 abs = 绝对值 向右移动 ( 如果正确安装的话 ) 等于 +1 sgn = 代数符号 ( +1 或 -1 ) 凡型号后带字母 C 的光栅尺或编码器为 带距离编码参考点 ( 例如 LIP 581 C) M RR = 移过参考点间的信号周期数 技术特点 带距离编码参考点的增量式光栅尺示意图 ( 图示为 LIP 5x1 C) 信号周期 信号周期的名义 最大移动 增量数 N 距离 LIP 5x1 C 4 μm mm 7

8 光电扫描 大多数 HEIDENHAIN 公司的光栅尺或编码器都采用光电扫描原理 对光栅尺的光电扫描是非接触的, 因此无摩擦 这种光电扫描方法能检测到非常细的线条, 通常不超过几微米宽, 而且能生成信号周期很小的输出信号 成像扫描原理简单的说, 成像扫描原理是采用透射光生成信号 : 栅距相同的光栅尺和扫描光栅彼此相对运动 扫描光栅的基体是透明的, 而作为测量基准的光栅尺可以是透明的也可以是反射的 信号周期 360º 电子角 光栅尺栅距越小, 光电扫描的衍射现象越严重 HEIDENHAIN 公司的直线光栅尺采用两种扫描原理 : 成像扫描原理, 用于 10 µm 和 200 µm 栅距光栅尺 干涉扫描原理, 用于栅距 4 µm 甚至更小光栅 当平行光穿过一个光栅时, 在一定距离处形成明 / 暗区 具有同栅距的扫描光栅就位于这个位置处 当两个光栅相对运动时, 穿过光栅尺的光得到调制 如果狭缝对齐, 光线通过 如果一个光栅的刻线与另一个光栅的狭缝对齐, 则光线无法通过 光电池将这些光强变化转化成电信号 特殊形式的扫描光栅将光强调制为近正弦输出信号 栅距越小, 扫描光栅和光栅尺间的间距越小, 公差越严 如果成像扫描的光栅尺或编码器栅距在 10 µm 或更大的话, 编码器的安装公差相对宽松 LIDA 系列直线光栅尺采用成像扫描原理 90 电子角 相位差 光栅尺窗口栅状传感器 扫描掩膜 聚光镜 扫描掩膜 光源 (LED) 基于成像扫描原理的钢带光栅尺的光电扫描和单场扫描 (LIDA 400) 8

9 传感器生成四路近正弦电流信号 (I 0,I 90,I 180 和 I 270 ), 它们彼此相位差为 90 电子角 这些扫描信号开始时并不对称于零线 因此, 将光电池连接在差分电路上, 生成两路相位差 90 的输出信号 I1 和 I2, 它们对称于零线 干涉扫描原理干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干涉形成移动量的测量信号 阶梯状光栅的光栅尺 : 在平反光面上刻上线高 0.2 µm 的反光线 光栅尺的前面是扫描光栅, 其栅距与光栅尺的栅距相同, 它是透射相位光栅 扫描光栅与光栅尺的相对运动使第一级的衍射光产生相位移 : 当光栅移过一个栅距时, 前一级的 +1 衍射光在正方向上移过一个光波波长,-1 衍射光在负方向上移过一个光波波长 由于这两个光波在离开扫描光栅时将发生干涉, 光波将彼此相对移动两个光波波长 也就是说, 相对移动一个栅距可以得到两个信号周期 示波器的 XY 坐标显示信号为里萨约图 理想输出信号为同心圆 一个信号周期内的位置误差 ( 见测量精度 ) 会导致里萨约圆变形 圆的大小对应于输出信号幅值, 它可在一定限度内变化, 不影响测量精度 当光照到扫描光栅时, 光被衍射为三束光强近似的光 :-1,0 和 +1 光栅尺衍射的光波中, 反射光的衍射光强最强的光束为 +1 和 -1 这两束光在扫描光栅的相位光栅处再次相遇, 又一次被衍射和干涉 它形成三束光, 并以不同的角度离开扫描光栅 光电池将这些交变的光强变化转化成电信号 干涉光栅尺的栅距一般为 8 µm 4 µm 甚至更小 其扫描信号基本没有高次谐波, 能进行高倍率细分 因此, 这些光栅尺适用于高分辨率和高精度应用 尽管如此, 其相对宽松的安装公差使它可被用于许多应用 LIP 系列和 LIF 系列直线光栅尺和 PP 系列两坐标光栅尺为干涉扫描原理 输出信号的 X/Y 图形 光栅尺 衍射序列 DIADUR 相位光栅 聚光镜 光源 (LED) 栅距 扫描光栅 : 透射相位光栅 光电池 单场干涉扫描原理的光电扫描 9

10 测量精度 决定直线光栅尺测量精度的主要因素有 : 光栅刻线 扫描质量 信号处理电路质量 光栅尺与扫描光栅的方向误差 其中必须区分两种不同精度, 一个是大行程上的 ( 例如全量程 ) 的位置测量误差, 另一个是单信号周期内的位置测量误差 测量长度上的位置误差敞开式直线光栅尺精度用精度等级表示, 其定义为 : 在任何 1 米的测量长度上总误差 F( 相对其误差平均值 ) 的极值不超过精度等级 ±a 对敞开式直线光栅尺, 以上定义的精度等级只适用于长光栅 因此, 它称为光栅尺精度 单信号周期内位置误差单信号周期内的位置误差取决于扫描质量和光栅尺或编码器单信号周期大小 HEIDENHAIN 敞开式直线光栅尺在全量程的任何位置处它均不超过一个信号周期的 ±1% 位置误差 测量范围上的位置误差 0 单信号周期内位置误差 ML 位置 信号周期越小, 单信号周期内的位置误差也越小 这对定位运动精度和慢速运动以及轴传动运动期间的速度控制非常重要 单信号周期内的位置误差 u 位置误差 扫描信号的信号周期 单信号周期内的典型位置误差 u LIP 3x μm μm LIP 4x1 2 μm 0.02 μm 信号电平 信号周期 360º 电子角 LIP 5x1 LIF PP 4 μm 0.04 μm LIDA 4xx LIDA 5xx LIDA 2xx μm 200 μm 0.2 μm 2 μm

11 所有 HEIDENHAIN 公司的直线光栅尺在发货前全部进行精度和功能检验 精度检定在两个运动方向上执行 精心选择的测量位置数能确保准确地确定大测量范围误差和单信号周期内的位置误差 每个直线光栅尺均提供制造商检验合格证, 证明它符合系统精度要求 检定标准符合国家和国际公认标准要求, 能确保满足 ISO9001 的可追溯性要求 LIP 和 PP 系列直线光栅尺的检定报告还提供全测量范围内的位置误差, 以及测量步距和检定中的测量不确定度信息 温度范围检验直线光栅尺的标准温度为 20 检定记录图中的系统精度仅对该温度有效 工作温度范围是指直线光栅尺能够正常工作的环境温度范围 而 -20 至 70 的存放温度范围适用于该设备在包装状态下 如果直线光栅尺安装质量差将对测量精度的方向误差产生严重影响 为保证阿贝误差尽可能小, 光栅尺应安装在机床滑座工作台高度处 必须确保安装面平行于导轨 11

12 可靠性 HEIDENHAIN 公司的敞开式直线光栅尺特别适用于高速和高精度机床 尽管它为敞开式机械结构, 但它仍具有很高抗污染能力, 能保证长期稳定工作, 而且安装快捷和简单 抗污染能力强高质量的光栅和扫描方式是直线光栅尺高精度和可靠工作的保证 HEIDENHAIN 公司的敞开式直线光栅尺采用单场扫描方式 只需一个扫描场生成扫描信号 与四场扫描不同, 单场扫描光栅尺上的局部污染 ( 例如安装时的手指印或导轨油的油滴污染 ) 影响信号分量光强, 因此等量影响扫描信号 输出信号幅值虽有变化, 但无偏移和无相位变化 这些信号仍可以进行高分辨率细分使信号周期误差保持很小 此外, 大面积扫描场还有利于降低对污染的敏感性 这常常可以避免光栅尺失灵 特别是 LIDA 400 和 LIF 400 系列光栅尺, 相对其栅距, 其扫描面积高达 14.5 mm 2 即使有 3 mm 以内的打印机墨滴, 印刷电路板粉尘, 水滴或油滴, 这些光栅尺仍然可以输出高质量信号 位置误差远远低于光栅尺精度等级对应的误差值 四场扫描 ( 红色 ) 和单场扫描 ( 绿色 ) 污染影响情况 污染对 LIF 400 的影响

13 坚固耐磨的光栅尺敞开式直线光栅尺的自身特点使其测量基准防护能力较低 为此,HEIDENHAIN 公司特别采用独特工艺生产非常坚固耐磨的光栅 SUPRADUR 反射层 透光层 DIADUR 工艺是将硬铬线刻在玻璃或钢基体上 AURODUR 工艺是钢带上刻坚硬耐磨的金线 主反射层 SUPRADUR 工艺是在主反射层上加一层透光层 超细 坚硬的镀铬层形成三维光学相位光栅 采用成像扫描原理的 METALLUR 光栅的结构也非常类似 在反光的金层上覆盖薄薄一层玻璃 在该层的铬线只有数纳米深, 半透明和起减振作用 实践证明,SUPRADUR 和 METALLUR 工艺生产的光栅尺具有极强抗污能力, 因为它刻线层超薄, 灰尘 污物或水滴难以在上面留存 METALLUR 180 基体 半透明层 透光层 面向应用的安装公差信号周期越小一般也要求光栅尺和扫描光栅间的安装公差越小 这是光栅的衍射作用造成的 只要间隙变化 ±0.1 mm 就将使信号衰减 50% 但由于在光栅尺中采用了干涉扫描原理和创新的扫描掩膜技术以及成像扫描原理, 即使很小的信号周期也能允许较大安装公差 HEIDENHAIN 公司的敞开式直线光栅尺的安装误差只对输出信号只有轻微影响 特别是光栅尺和扫描头间的间隙误差 ( 扫描间隙 ) 对信号幅值影响极小 这是为什么 HEIDENHAIN 公司的敞开式直线光栅尺具有高可靠性的原因 通过这两幅图可看出 LIDA 400 和 LIF 400 系列光栅尺扫描间隙与信号幅值间的关系 信号幅值 [%] 120% 100% 80% 60% 40% 20% 0% 1) 2) 2) 光栅尺到扫描光栅间的间距 [mm] 1) = 光栅尺带 2) = 光栅尺尺座 安装公差 主反射层 LIDA % 信号幅值 [%] 100% 80% 60% 40% 20% 安装公差 LIF 400 0% 光栅尺到扫描光栅间的间距 [mm] 13

14 机械结构类型和装配直线光栅尺 敞开式直线光栅尺包括两部分 : 扫描头和光栅尺或光栅尺带 它们的相互位置由机床导轨确定 因此, 机床必须满足以下要求 : 机床导轨必须满足光栅尺安装位置的公差要求 ( 参见 技术参数 ) 光栅尺安装面必须满足平面度要求 为方便调整扫描头相对光栅尺位置, 必须用安装架固定 LIP 302 系列光栅尺 光栅尺版本 HEIDENHAIN 公司为适应不同应用环境和精度要求提供多个光栅尺系列产品 LIP 300 系列高精度 LIP 300 系列光栅尺采用 Zerodur 光栅基体, 它镶嵌在钢座的热应力中性面中 钢座通过螺栓固定在安装面上 柔性固定元件使光栅尺具有可重复的温度特性 LIP 401 系列光栅尺 LIP 400 和 LIP 500 系列 Zerodur 基体或玻璃基体通过安装架紧固在安装面上并用硅胶固定 热中性点用环氧胶固定 附件 固定夹 ID 硅胶 ID 环氧胶 ID LIP 501 系列光栅尺 LIF 400 系列 LIDA 4x5 系列 LIDA 500 系列玻璃光栅尺基体用 PRECIMET 粘膜胶带直接固定安装面上并用磙子碾压均匀 附件磙子 ID LIP 401 系列光栅尺 14

15 LIDA 4x5 系列 LIDA 4x5 系列直线光栅尺特别适用于大长度测量 它通过螺栓或 PRECIMET 粘膜胶带固定在安装面上 然后, 将单体钢尺带拉入尺座中, 张紧并固定在机床床身两端 因此,LIDA 405 光栅尺与安装面温度特性相同 LIDA 405 系列光栅尺 LIDA 2x7 系列 LIDA 4x7 系列 LIDA 2x7 和 LIDA 4x7 系列直线光栅尺也设计用于大长度测量 多段光栅尺座用 PRECIMET 粘膜胶带固定在安装面上, 单体尺带被拉伸后固定在机床床身两端 这种安装方式允许光栅尺在两端自由膨胀, 确保具有可定义的温度特性 LIDA 4x7 附件安装工具 ID LIDA 207/407 系列光栅尺 安装工具 ( 用于 LIDA 407) LIDA 2x9 系列钢带光栅尺用 PRECIMET 粘膜胶带直接固定安装面上并用磙子碾压均匀 用钢带上的 3 mm 高凸棱或对正轨将钢带水平对正 LIDA 209 系列光栅尺带 PRECIMET 固定光栅尺的附件磙子 ID

16 机械结构类型和装配扫描头 由于敞开式直线光栅尺需要安装在机床上, 因此安装后必须进行调整 这项调整将决定光栅尺最终精度 因此, 建议机床设计应易于和便于调整和能确保结构稳定 例如, 为准确调整扫描头与光栅尺间的相对位置, 必须允许在五个方向上调整 ( 见图 ) 由于调整范围很小, 通常安装角架上的长圆孔就能满足要求 安装 LIP/LIF 系列扫描头上设计有一个对中短柱, 它允许在角架的孔中转动使扫描头平行于光栅尺 安装 LIDA 系列扫描头最好从固定架后面固定 用辅助工具和安装架上的孔可以精确调整 LIDA 400 扫描头 LIP/LIF 调整为简化调整工作,HEIDENHAIN 推荐使用以下步骤 : 1) 用隔离片调整扫描头与光栅尺间间隙 2) 转动扫描头调整增量信号 3) 再调整参考点信号, 轻微转动扫描头 ( 可用根据调整 LIDA 400) 推荐使用 HEIDENHAIN 的 PWM 9 或 PWT 测量和测试设备作调整工具 ( 参见 HEIDENHAIN 测量和测试设备 ) LIDA 400 1) 隔离片 隔离片 2) 3) 16

17 一般机械信息 安装为简化布线, 通常将扫描头用螺栓固定在机床静止部件上, 光栅尺安装在机床运动部件上 必须认真考虑直线光栅尺的安装位置, 确保达到最佳精度和最长使用寿命 直线光栅尺应尽可能安装在接近加工面处, 使阿贝误差最小 为保证直线光栅尺工作正常, 不允许直线光栅尺承受持续大振动 为此, 最好将光栅尺安装在机床上坚硬的安装面上, 不允许将光栅尺安装在空心零件或连接件上 尽可能将直线光栅尺安装在远离热源的地方, 避免温度影响 温度范围工作温度范围是指符合直线光栅尺技术参数中要求的环境温度范围 如果放在包装中的话, 存放温度范围为 -20 至 +70 温度特性直线光栅尺的温度特性是机床加工精度的关键因素 一般来说, 直线光栅尺的温度特性应与工件或被测对象一致 温度变化时, 直线光栅尺的膨胀或收缩特性必须确定和可重复 防护 (IEC 60,529) LIP LIF 和 PP 系列敞开式直线光栅尺的扫描头防护等级为 IP 50, 其中 LIDA 扫描头的防护等级为 IP 40 光栅尺无需特别防护 如果用在可能会受到污染环境中, 需要采取防护措施 加速度直线光栅尺在安装和工作时会受到不同类型的加速度作用 最大振动值适用于频率 55 Hz 至 2000 Hz (IEC ) 只要加速度超过允许值就可能造成编码器损坏, 例如由于应用环境和安装引起的共振 因此需要对整个系统进行综合测试 最大允许冲击和振动的加速度值 ( 半正弦冲击 ) 适用于 11 ms 的冲击和振动 (IEC ) 在任何情况下, 均不允许用锤子或类似工具通过敲击方式调整和定位光栅尺或编码器 易损耗件 HEIDENHAIN 公司的光栅尺或编码器的损耗件为 : LED 光源 电缆系统测试 HEIDENHAIN 公司的光栅尺或编码器经常被集成到大型系统中 无论光栅尺或编码器具有怎样的技术参数, 如果被应用在这样系统中的话, 必须对整个系统进行综合测试 样本中给出的技术参数仅适用于特定光栅尺或编码器, 而非整个系统 如果将任何光栅尺或编码器用于非其设计要求或非其目标用途的场合, 其风险由用户承担 如果用于安全性要求很高的场合, 系统通电后, 必须校验编码器的位置值是否正确 安装安装步骤和安装尺寸唯一地以随机提供的安装手册为准 因此, 本样本中所提供的安装信息仅供参考, 不具约束力, 不构成合同条款 HEIDENHAIN 公司的直线光栅尺座具有确定的热膨胀系数 ( 参见 技术参数 ) 因此, 用户可以选择最适合其应用所需温度特性的直线光栅尺 DIADUR,AURODUR, SUPRADUR,METALLUR 和 PRECIMET 是德国 Traunreut 的 DR. JOHANNES HEIDENHAIN 公司的注册商标 Zerodur 和 ROBAX 是德国 Mainz 的 Schott-Glaswerke 的注册商标 17

18 LIP 372 LIP 382 超高精度增量式直线光栅尺测量步距可达 µm(1 nm) ML L L2 ± ±0.02 (0.3) 8 10 M5 x 20 ISO DIN 433 M5 M5 x 12 ISO 4762 L1 L2 ±0.2 76± M5 45± ± ±0.2 42± ML L 0.05 F 0.5mrad* A 7 29± A ML 220, 170, F L APE ± ML 4.5 M4 ML M5 x 10 ISO (0.3) DIN 433 M5 x 12 ISO ± ± mrad* ML = ± F 17±0.2 A ± A 0.02 F / ±0.2 27± ML = 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm * = 工作期间的最大变化 F = 机床导轨 s = 测量长度起点 (ML) m = 扫描头安装面 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元 运动方向 ML L L1 L

19 技术参数 LIP 382 LIP 372 测量基准热膨胀系数 Zerodur 玻璃陶瓷基体上的 DIADUR 相位光栅 Þ therm K-1 精度等级 ± 0.5 μm( 可按需提供更高精度等级 ) 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 无 增量信号»1 V PP «TTL 栅距 μm 内部细分倍数信号周期 μm 32 倍 μm 截止频率 -3dB 1 MHz - 技术参数 扫描频率 * 边缘间距 a - 98 khz μs 49 khz μs 24.5 khz μs 运动速度 7.6 m/min 0.75 m/min 0.38 m/min 0.19 m/min 电源功耗 5 V ± 5% < 190 ma 5 V ± 5% <250 ma( 无负载 ) 电气连接 0.5 m 电缆, 连接接口电子设备 (APE), 连接 APE 的独立适配电缆 (1 m/3 m/6 m/9 m) 电缆长度 1) 振动 55 至 2000 Hz 冲击 11 ms 工作温度 重量扫描头接口电子设备光栅尺 连接电缆 30 m 4 m/s2 (IEC ) 50 m/s2 (IEC ) 0 至 g 100 g 260 g (ML 70 mm) 700 g (ML 150 mm) 38 g/m * 请在订货时注明 1) 用 HEIDENHAIN 电缆 19

20 LIP 471 LIP 481 超高精度增量式直线光栅尺 适用于安装空间有限应用 测量步距 1 µm 至 µm LIP 471 R/LIP 481 R LIP 471A/LIP 481A 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm F = 机床导轨 * = 工作期间的最大变化 = LIP 4x1 的参考点位置 r = 测量长度起点 (ML) s = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元运动方向 20

21 技术参数 LIP 481 LIP 471 测量基准 * Zerodur 玻璃陶瓷或玻璃基体上 DIADUR 相位光栅热膨胀系数 Þtherm K-1(Zerodur 玻璃陶瓷 ) Þtherm K-1( 玻璃 ) 精度等级 * ± 1 μm,± 0.5 μm( 可按需提供更高精度等级 ) 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 * LIP 4x1 R 1 个在测量长度的中点位置处 LIP 4x1 A 无 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 4 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 信号周期 2 μm 0.4 μm 0.2 μm 截止频率 -3dB 250 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 100 khz 50 khz 25 khz 边缘间距 a μs μs μs μs μs μs 运动速度 30 m/min 24 m/min 12 m/min 6 m/min 12 m/min 6 m/min 3 m/min 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 190 ma <200 ma( 无负载 ) 电气连接 0.5 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 ); 接口电子设备内置在接头中 电缆长度 1) 30 m 30 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 40 重量扫描头 接口电子设备 : 连接电缆 25 g (LIP 4x1 A), 50 g(lip 4x1 R), 一个, 无连接电缆 140 g 5.6 g g/mm 测量长度 38 g/m * 请在订货时注明 1) 用 HEIDENHAIN 电缆 21

22 LIP 571 LIP 581 超高精度增量式直线光栅尺 用于大长度测量 测量步距 1 µm 至 0.01 µm 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm F = 机床导轨 * = 工作期间的最大变化 r = LIP 5x1R 的参考点位置 c = LIP 5x1C 的参考点位置 s = 测量长度起点 (ML) Ø = 允许超行程 m = 扫描头安装面 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元运动方向 22

23 技术参数 LIP 581 LIP 571 测量基准 玻璃基体上的 DIADUR 相位光栅 热膨胀系数 Þtherm K-1 精度等级 * ± 1 μm 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 * LIP 5x1 R 1 个在测量长度的中点位置处 LIP 5x1 C 距离编码 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 8 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 信号周期 4 μm 0.8 μm 0.4 μm 截止频率 -3dB 300 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 100 khz 50 khz 25 khz 边缘间距 a μs μs μ s μs μs μs 运动速度 72 m/min 48 m/min 24 m/min 12 m/min 24 m/min 12 m/min 6 m/min 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 175 ma <175 ma( 无负载 ) 电气连接 电缆长度 1) 0.5 m,1m 或 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 ); 接口电子设备内置在接头中 30 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 25 g( 无连接电缆 ) 接口电子设备 140 g 光栅尺 7.5 g g/mm 测量长度 连接电缆 38 g/m * 请在订货时注明 1) 用 HEIDENHAIN 电缆 23

24 LIF 471 LIF 481 用 PRECIMET 粘膜胶带固定的增量式直线光栅尺 测量步距 1 µm 至 0.1 µm 用限位开关和零位轨检测位置 X 0.5 min. 4.1±0.1 (20.55) 11.2 max. L = (ML + 10) ±0.5 X F Ÿ 0.01/ /10 F 0.1 F e 0.1mrad* 5±0.1 1± A (1±0.1) / 0.10 A (12.4) 0.04 X 3.05±0.1 X 26 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm F = 机床导轨 * = 工作期间的最大变化 e = 环氧胶用于 ML < 170 ML = 测量长度 24

25 技术参数 LIF 481 LIF 471 测量基准最大至 220 mm 测量长度 : 玻璃基体上 SUPRADUR 相位光栅 270 mm 以上测量长度 : 玻璃基体上的 DIADUR 相位光栅热膨胀系数 Þtherm K-1 精度等级 ± 3 μm 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 * 1 个在测量长度的中点位置处 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 8 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 20 倍 50 倍 100 倍 信号周期 4 μm 0.8 μm 0.4 μm 0.2 μm 0.08 μm 0.04 μm 截止频率 -3dB 300 khz - -6dB 420 khz 扫描频率 * khz 250 khz 250 khz 100 khz 50 khz 250 khz 125 khz 125 khz 50 khz 25 khz 125 khz 62.5 khz 62.5 khz 25 khz 12.5 khz 边缘间距 a1) μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs 运动速度 1) 72 m/min 120 m/min 60 m/min 60 m/min 24 m/min 12 m/min 100 m/min 60 m/min 30 m/min 30 m/min 12 m/min 6 m/min 30 m/min 15 m/min 15 m/min 6 m/min 3 m/min 位置检测回零信号和限位信号,TTL 输出信号 ( 无线路驱动器 ) 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 175 ma <180 ma( 无负载 ) 电气连接 * 电缆长度 2) 0.5 m,1m 或 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 ); 接口电子设备内置在接头中 增量式 : 30 m, 回零, 限位 : 10 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 9 g( 无连接电缆 ) 接口电子设备 140 g 光栅尺 0.8 g g/mm 测量长度 连接电缆 38 g/m * 请在订货时注明 1) 在相应截止频率或扫描频率处 2) 用 HEIDENHAIN 电缆 25

26 LIDA 403 系列 玻璃陶瓷或玻璃基体测量基准的增量式直线光栅尺 测量步距 1 µm 至 0.1 µm 光栅尺带用胶带固定在安装面上 限位开关 9 l (ML + 28) ±1 (37) (9) (ML + 15) B-B 2 35 a B 14± M3 x 5 a S N X 0.65 B 3 40± mrad * 0.75±0.1 X 2: ±0.1 M3 x 多种扫描头安装可能 13.8±0.1 D M3 x (a+7 ) ISO DIN 433 a 0.75± ±0.1 a 3.2 DIN 433 M3 x (a+5) ISO 4762 a 0.75± ±0.1 D 3.2 DIN 433 M3 x (a+7 ) ISO D 2.5±0.5 14±0.1 安装面 1 7±0.1 m ± 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm F * r s a l m = 机床导轨 = 调整和设置点 = 工作期间的最大变化 = 参考点位置 = 测量长度起点 (ML) = 限位开关选择磁铁 = 光栅尺长度 = 扫描头安装面 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元运动方向 26

27 技术参数 LIDA 483 LIDA 473 测量基准玻璃陶瓷或玻璃基体的 METALLUR 光栅热膨胀系数 * Þtherm K-1( 玻璃 ) Þtherm K-1(ROBAX 玻璃陶瓷 ) Þtherm = (0 ± 0.1) 10-6 K-1(Zerodur 玻璃陶瓷 ) 精度等级 ± 5 μm( 可按需提供更高精度等级 ) 测量长度 ML* 单位 mm (ROBAX 玻璃陶瓷最长支持 1640 mm 测量长度 ) 参考点 * LIDA 4x3 1 个在测量长度的中点位置处 LIDA 4x3 C 可按需提供距离编码的 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 20 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 50 倍 100 倍 信号周期 20 μm 4 μm 2 μm 0.4 μm 0.2 μm 截止频率 -3dB 400 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 25 khz 100 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 6.25 khz 边缘间距 a1) μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs 运动速度 1) 480 m/min 240 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 7.5 m/min 限位开关 L1/L2 带两个不同磁铁 ; 输出信号 :TTL( 无线路驱动器 ) 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 100 ma <170 ma( 无负载 ) <255 ma( 无负载 ) 电气连接 电缆长度 2) 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 );LIDA 473 的接口电子设备内置在接头中 20 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 20 g( 无连接电缆 ) 接口电子设备 140 g 光栅尺 3 g +0.1 g/mm 测量长度 连接电缆 22 g/m * 请在订货时注明 1) 在相应截止频率或扫描频率处 2) 用 HEIDENHAIN 电缆 27

28 LIDA 475 LIDA 485 增量式直线光栅尺, 测量范围可达 30 m 测量步距 1 µm 至 0.1 µm 安装公差大 限位开关 ML 3040 ML> 3040 多种扫描头安装可能 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm 28 Ô = 尺带基座用螺栓固定 Õ = 尺带基座用 PRECIMET 固定 F = 机床导轨 = 调整和设置点 * = 工作期间的最大变化 P = 对正测量点 r = 参考点位置 s a t z = 测量长度起点 (ML) = 限位开关选择磁铁 = 基座长度 = 测量长度间隔从 3040 mm 起 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元运动方向

29 技术参数 LIDA 485 LIDA 475 测量基准热膨胀系数 精度等级 AURODUR 刻线的钢带光栅尺取决于安装面 ± 5 μm 测量长度 ML* 单位 mm 单段钢带光栅尺最大测量长度可达 mm, 支持多段尺带基座 参考点 1 个在测量长度的中点位置处 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 20 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 50 倍 100 倍 信号周期 20 μm 4 μm 2 μm 0.4 μm 0.2 μm 截止频率 -3dB 400 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 25 khz 100 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 6.25 khz 边缘间距 a1) μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs 运动速度 1) 480 m/min 240 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 7.5 m/min 限位开关 L1/L2 带两个不同磁铁 ; 输出信号 :TTL( 无线路驱动器 ) 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 100 ma <170 ma( 无负载 ) <255 ma( 无负载 ) 电气连接 电缆长度 2) 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 );LIDA 475 的接口电子设备内置在接头中 20 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 20 g( 无连接电缆 ) 接口电子设备 140 g 光栅尺 115 g g/mm 测量长度 连接电缆 22 g/m * 请在订货时注明 1) 在相应截止频率或扫描频率处 2) 用 HEIDENHAIN 电缆 29

30 LIDA 477 LIDA 487 增量式直线光栅尺, 测量范围可达 6 m 测量步距 1 µm 至 0.1 µm 安装公差大 限位开关 14± P (4) ML ±0.1 40± ML > 2040 (1) (1) t 870 P (13) n x ( ) 40±0.1 n x ( ) ± (1) (1) 35 (1) (1) t 5070 多种扫描头安装可能 12.9± D M3 x (a+7) ISO DIN 433 a 0.5±0.5 a D 14.9 a 3.2 DIN 433 M3 x (a+5) ISO ± ±0.1 D 3.2 DIN 433 M3 x (a+7) ISO ±0.5 14±0.1 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm 30 F = 机床导轨 = 调整和设置点 * = 工作期间的最大变化 P = 对正测量点 r = 参考点位置 s = 测量长度起点 (ML) a = 限位开关选择磁铁 t = 基座长度 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元运动方向

31 技术参数 LIDA 487 LIDA 477 测量基准 AURODUR 刻线的钢带光栅尺 热膨胀系数 Þtherm K-1 精度等级 ± 15 μm 或 ± 5 μm, 在电子处理电路中进行线性长度误差补偿后 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 1 个在测量长度的中点位置处 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 20 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 50 倍 100 倍 信号周期 20 μm 4 μm 2 μm 0.4 μm 0.2 μm 截止频率 -3dB 400 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 25 khz 100 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 50 khz 25 khz 12.5 khz 6.25 khz 边缘间距 a1) μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs μs 运动速度 1) 480 m/min 240 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 60 m/min 30 m/min 15 m/min 7.5 m/min 限位开关 L1/L2 带两个不同磁铁 ; 输出信号 :TTL( 无线路驱动器 ) 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 100 ma <170 ma( 无负载 ) <255 ma( 无负载 ) 电气连接 电缆长度 2) 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 );LIDA 477 的接口电子设备内置在接头中 20 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 20 g( 无连接电缆 ) 接口电子设备 140 g 光栅尺 25 g +0.1 g/mm 测量长度 连接电缆 22 g/m * 请在订货时注明 1) 在相应截止频率或扫描频率处 2) 用 HEIDENHAIN 电缆 31

32 LIDA 200 系列支持大安装公差的增量式直线光栅尺 测量步距为 0.5 µm 光栅尺卷裁剪的光栅尺带 光栅尺带通过穿入直接粘贴的尺座 (LIDA 2x7) 或直接粘贴在安装面 (LIDA 2x9) 参考点为固定间隔 LIDA 279/289 k 0.3/50 B 12 s ±0.1 À M3 x k 0.1 F Ÿ 0.1 B 21 k 0.15/21 B 9±0.1 k 5±5 20 r l ML + 30±1 (13.08) X k 6mrad* A k j 12 M3 x F k (1.08) k 0.75±0.25 X 3:1 Á 0.13 Â ±0.1 k 4.7± ±0.1 ML A LIDA 277/287 5±5 ML + 30±1 (15) k +15 k A k 6mrad* A M3 x ±0.1 6 k 0.2 F 3±0.5 k 0.15/21 B s r k min. 20 / max. ML 20 Y ML (min. 40 ) ±0.1 X 2.6 (14.9) ±0.1 X 3:1 k k 0.1 F Ÿ 0.1 Y 2:1 (0.5) 9 (0.5) 4.5 9±0.1 r M3 x 6 ISO M3 x k 0.3/50 B B ±0.1 10±0.1 k 22.5 (0.3) k k À 尺寸单位 mm F = 机床导轨 À = 两端螺纹 k = 要求配合尺寸 Á = 胶带 r = 参考点 Â = 钢光栅尺带 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm l = 光栅尺带长度 s = 测量长度起点 (ML) 参考点 : k = 距测量长度起点的第一参考点位置, 取决于截断位置 j = 其它参考点相距 100 mm 32

33 LIDA 279 LIDA 277 技术参数 LIDA 287 LIDA 277 LIDA 289 LIDA 279 测量基准 钢光栅尺带 热膨胀系数 Þtherm K-1 精度等级 光栅尺卷裁剪的光栅尺带 * 参考点 ± 30 μm 3 m,5 m,10 m 100 mm 为单位可选 增量信号» 1 V PP «TTL x10 «TTL x 50 «TTL x 100 栅距 200 μm 200 μm 200 μm 200 μm 内部细分倍数 * - 10 倍 50 倍 100 倍 信号周期 200 μm 20 μm 4 μm 2 μm 截止频率 50 khz 扫描频率 - 50 khz 25 khz 12.5 khz 边缘间距 a μs μs μs 运动速度 600 m/min 300 m/min 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 110 ma <140 ma( 无负载 ) 电气连接 3 m 电缆, 带 D-sub 接头 (15 针 ) 电缆长度 1) 30 m 振动 55 至 2000 Hz 200 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 500 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量 扫描头 20 g( 无电缆 ) 光栅尺带 20 g/m 光栅尺尺座 70 g/m( 只限 LIDA 2x7) 接头 32 g 电缆 30 g/m * 请在订货时注明 1) 用 HEIDENHAIN 电缆 33

34 5 LIDA 500 系列 用于安装空间有限应用的增量式直线光栅尺 测量步距 1 µm 至 0.1 µm PRECIMET 胶带固定, 安装简单 安装公差大 l ML + 20±1 ML s 32 ML/ /25 B *) r 13± / F M2.5 x 5 27± B 1.05± ± Ra /25 M2.5 x 5 27± Ÿ 0.05/ F 多种扫描头安装方式 4.15±0.1 A M2.5 x (a+5) ISO DIN /25 A A a 2.5 a Š 0.1/25 A 8± ± ±0.1 9 M2.5 x (a+5) ISO DIN ± ±0.1 F = 机床导轨 r = 参考点 l = 光栅尺带长度 s = 测量长度起点 (ML) = 调整 *) = 或调整至最大信号或参考点位置 LIDA 573 的 D-sub 接头 1: 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm 3.7 UNC 4/

35 技术参数 LIDA 583 LIDA 573 测量基准 玻璃基体的 METALLUR 光栅 热膨胀系数 Þtherm K -1 精度等级 ± 5 μm 测量长度 ML* 单位 mm 参考点 1 个在测量长度的中点位置处 增量信号» 1 V PP «TTL x 5 «TTL x 10 «TTL x 25 «TTL x 50 栅距 20 μm 20 μm 20 μm 20 μm 20 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 25 倍 50 倍 信号周期 20 μm 4 μm 2 μm 0.8 μm 0.4 μm 截止频率 250 khz 扫描频率 khz 100 khz 50 khz 25 khz 边缘间距 a μs μs μs μs 运动速度 300 m/min 240 m/min 120 m/min 60 m/min 30 m/min 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 100 ma <200 ma( 无负载 ) 电气连接电缆长度 1) 振动 55 至 2000 Hz Shock 11ms 3 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 ),LIDA 573: 接口电子设备在接头中 30 m 200 m/s2 500 m/s2 工作温度 0 至 50 扫描头 : 光栅尺带 6 g( 无电缆 ) 接头 26 g/m 电缆 LIDA 583:32 g,lida 573:140 g 22 g/m * 请在订货时注明 1) 用 HEIDENHAIN 电缆 35

36 PP 271 R PP 281 R 两维增量光栅 测量步距 1 µm 至 0.05 µm 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm:± 0.2 mm F = 机床导轨 À = 光栅端 Á = 相对图示中心位置的参考点位置 = 按照接口说明的输出信号, 扫描单元 运动方向 D1 D /

37 技术参数 PP 281 R PP 271 R 测量基准 玻璃基体上 TITANID 两坐标相位光栅 热膨胀系数 Þtherm K -1 精度等级 测量范围 参考点 1) ± 2 μm 68 x 68 mm, 可根据需要提供其它测量范围 每轴 1 个参考点, 位于测量长度起点位置后的 3 mm 处 增量信号» 1 V PP «TTL 栅距 8 μm 内部细分倍数 * - 5 倍 10 倍 信号周期 4 μm 0.8 μm 0.4 μm 截止频率 -3dB 300 khz - 扫描频率 * khz 100 khz 50 khz 100 khz 50 khz 25 khz 边缘间距 a μs μs μs μs μs μs 运动速度 120 m/min 48 m/min 24 m/min 12 m/min 24 m/min 12 m/min 6 m/min 电源 5 V ± 5% 5 V ± 5% 功耗 < 185 ma <240 ma, 每轴 ( 无负载 ) 每轴 电气连接 0.5 m 电缆,D-sub 接头 (15 针 ); 接口电子设备内置在接头中 电缆长度 2) 30 m 30 m 振动 55 至 2000 Hz 80 m/s2 (IEC ) 冲击 11 ms 100 m/s2 (IEC ) 工作温度 0 至 50 重量扫描头接口电子设备格栅板连接电缆 170 g 140 g 75 g 37 g/m * 请在订货时注明 1) 参考点 K L 的零点宽度取决于接口技术参数 ( 见安装说明 ) 2) 用 HEIDENHAIN 电缆 37

38 接口 增量信号»1 V PP»1 V PP 输出信号的 HEIDENHAIN 光栅尺或编码器的电压信号支持高倍频细分 正弦增量信号 A 和 B 的典型幅值为 1 Vpp, 相位差为 90 电子角 图示的输出信号顺序 - 信号 B 滞后 A- 适用于图示运动方向 接口 增量信号 正弦电压信号»1 V PP 2 个近正弦信号 A 和 B 信号幅值 M: 对称偏差 P - N /2M: 信号比 M A /M B : 相位角 φ1 +φ2 /2: 0.6 至 1.2 VPP; 典型值 1 V PP 至 ± 10 电子角 参考点信号 R 的有效分量 G 约为 0.5 V 在参考点两旁, 输出信号最多减小 1.7 V 至静电平 H 这个电平不应带动后续电路动作 因此, 即使信号电平低, 信号峰值也可达到幅值 G 信号幅值数据适用于光栅尺或编码器的供电电压符合技术参数中要求 它是用差分测量法在输出电路的终端电阻为 120 ohm 时测得的 信号幅值随频率的提高而衰减 截止频率代表保持原信号幅值一定百分比的扫描频率 : -3 db ƒ 70 % 的信号幅值 -6 db ƒ 50 % 的信号幅值 参考点信号 连接电缆 电缆长度传输时间 1 个或多个信号峰值 R 有效分量 G: 静电平 H: 切换阈值 E,F: 零点宽度 K,L: 信号周期 360º 电子角 0.2 V 1.7 V 0.04 至 0.68 V 180 ± 90 电子角 HEIDENHAIN 屏蔽电缆 PUR [4(2 x 0.14 mm2) + (4 x 0.5 mm2)] 最长 150 m, 分布电容为 90 pf/m 6 ns/m 这些值用于确定后续电子设备规格 有关光栅尺或编码器公差范围, 参见技术参数部分 无内置轴承的编码器, 首次工作期间建议用减小的公差 ( 参见安装说明 ) 信号说明中数据适用于不超过 -3 db 截止频率的运动 细分 / 分辨率 / 测量步距 1 V PP 的输出信号可以在后续电子设备进行细分, 以达到更高分辨率 对于速度控制, 细分倍数通常高于 1000, 因此即使速度很低也能得到有效的速度信息 如果用于位置测量, 应遵守技术参数中推荐的测量步距 如果用于特殊用途, 还可以用其它分辨率 短路稳定性如果短时间短路一路输出信号至 0 V 或 U P ( 不包括 U Pmin = 3.6 V 编码器 ) 的话, 不会造成光栅尺或编码器损坏, 但工作时不允许短路 截止频率典型信号幅值与扫描频率关系曲线 ( 额定值 ) A B R 是用差分方式由示波器测量的 其它信号波形 短路发生在 信号幅值 [%] 一路输出 < 3 min < 1 min 所有输出 < 20 s < 5 s 38-3dB 截止频率 -6dB 截止频率 扫描频率 [khz]

39 后续电子设备输入电路规格运算放大器 MC Z 0 = 120 R 1 = 10 k 和 C 1 = 100 pf R 2 = 34.8 k 和 C 2 = 10 pf U B = ± 15 V U 1 约为 U 0 增量信号参考点信号 Ra < 100, 约 24 Ca < 50 pf ΣIa < 1 ma U0 = 2.5 V ± 0.5 V ( 相对 0 V 电源 ) 编码器 后续电子设备 电路的 -3dB 截止频率约 450 khz 约 50 khz 和 C 1 = 1000 pf 和 C 2 = 82 pf 调整后的 50 khz 电路的带宽较小, 但有利于提高电路的抗噪能力 电路输出信号 U a = 3.48 V PP, 典型值增益 3.48 监测增量信号推荐用以下阈值灵敏度检测信号 : 最小信号幅值 M: 0.30 V PP 最大信号幅值 M: 1.35 V PP 电气连接 39

40 接口增量信号 «TTL «TTL 输出信号的 HEIDENHAIN 光栅尺或编码器自带正弦扫描信号的数字化电子电路, 分为带和不带细分电路两大类 接口 方波信号 «TTL 增量信号 2 路 TTL 方波信号 U a1 和 U a2 和其反相信号 和 增量信号以相位差为 90º 的系列方波脉冲信号 Ua1 和 Ua2 进行传输 参考点信号包括一个或多个参考脉冲 U a0, 它由增量信号触发 此外, 内置电子电路还生成其反相信号 和, 实现无噪声信号传输 图示输出信号顺序 - 信号 U a2 滞后 U a1 - 适用于图示运动方向 参考点信号脉冲宽度延迟时间 故障监测信号 脉冲宽度 1 路或多路 TTL 方波脉冲 U a0 及其反相脉冲 90 电子角 ( 可根据需要提供其它脉冲宽度 );LS 323: 非门信号 t d 50 ns 单 TTL 方波脉冲 故障时 : 低电平 ( 可选 :U a1 /U a2 高阻抗 ) 正常时 : 高电平 t S 20 ms 故障监测信号 代表故障状态, 如电源断电 光源失效等 用于自动生产过程中的停机等目的 增量信号 U a1 和 U a2 的两个相邻沿间的距离通过 1 倍频 2 倍频或 4 倍频处理后得到一个测量步距 后续电子电路必须能检测到方波脉冲的每个沿 技术参数 中的边缘间距 a 为使用图示输入电路和 1 m 长的电缆并在差分信号接收电路的输出端测量的结果 信号在电缆中的传输时间差随电缆长度增长将缩短边缘间距, 每米电缆将其缩短 0.2 ns 为防止计数误差, 后续电子电路必须能够处理 90% 以上的边缘间距信号 信号电平 符合 EIA 标准 RS-422U 的差分线路驱动器 UH 2.5 V,-IH = 20 ma U L 0.5 V,I L = 20 ma 时 允许负载 Z 相关输出量间 I L 20 ma 每路输出的最大负载 C load 1000 pf 相对 0 V 输出端有对 0 V 地的短路保护 切换时间 (10% 至 90%) 连接电缆 电缆长度传输时间 t+ / t 30 ns( 典型值 10 ns) 长度为 1 m 连接电缆和推荐的输入电路 HEIDENHAIN 屏蔽电缆 PUR [4( mm2) + (4 0.5 mm2)] 最长 100 m( 最长 50 m), 分布电容为 90 pf/m 6 ns/m 信号周期 360º 电子角 故障 禁止超过最大允许的轴速或移动速度 4 倍频处理后测量步距 t S U as 未图示反相信号,, TTL 方波信号传给后续电子设备所允许的电 缆长度取决于边沿间距 a 的值 最大允许长 度为 100 m 或故障检测信号为 50 m 其前提条件是必须保证编码器端的供电质量 ( 参见 技术参数 ) 可以用传感器线测量光栅尺或编码器端电压, 并可根据需要用自动系统 ( 远程传感器电源 ) 进行补偿 允许的电缆长度相对边缘间距 电缆长度 [m] 无 有 边缘间距 [µs] 40

41 后续电子设备输入电路 增量信号参考点信号 编码器 后续电子设备 规格 IC 1 = 推荐的差分接收器 DS 26 C 32 AT 仅限 a> 0.1 µs: AM 26 LS 32 MC 3486 SN 75 ALS 193 故障监测信号 R 1 = 4.7 k R 2 = 1.8 k Z 0 = 120 C 1 = 220 pf( 用于提高抗噪性能 ) 41

42 接口限位开关 LIDA 400 系列光栅尺上有两个限位开关, 用于检测行程终点和方便设置回零轨 限位开关用不同的粘性磁铁区分左右极限位置 磁铁可一字排列成形回零轨 限位开关信号通过独立电缆传送, 因此可以直接使用 它采用细径电缆, 直径只有 3.7mm, 以最大限度减小机床运动部件受力 输出信号 信号电平 允许负载 LIDA 47x LIDA 48x 每个限位开关 L1 和 L2 各一个 TTL 方波脉冲信号, 高电平有效 差分电路输出 TTL 信号 ( 例如 74 HCT 1G 08) I al 4 ma I ah 4 ma 集电极电路输出 TTL 信号, 负载电阻 10 kω, 电压 5 V 切换时间 (10% 至 90%) 上升时间下降时间 : t + 50 ns t - 50 ns 用 3 m 电缆和推荐的输入电路测量 t + 10 μs t - 3 μs 用 3 m 电缆和推荐的输入电路测量 允许的电缆长度 最长 20 m L1/L2 = 限位开关 1 和 2 输出信号触发沿公差 :± 2 mm s = 测量长度起点 (ML) 1 = 限位开关 1 磁铁 N 2 = 限位开关 2 磁铁 S 推荐的后续电子设备输入电路规格 IC3 例如 74AC14 R 3 = 1.5 k 限位开关 LIDA

43 位置检测 LIF 4x1 系列除有增量式光栅尺外还有回零轨和用于终点位置检测的限位开关 信号通过独立电缆 H 和 L 用 TTL 电平传送, 因此可以直接使用 它采用细径电缆, 直径只有 4.5 mm, 以最大限度减小机床运动部件受力 输出信号信号电平允许负载允许的电缆长度 LIF 4x1 回零轨 H 和限位开关 L 各一个 TTL 脉冲信号 TTL U H 3.8 V, I H = 8 ma 时 U L 0.45 V,I L = 8 ma 时 R 680 II L I 8 ma 最长 10 m ML/2 ±0.5 ML/2 ±0.5 s (12.5) Ho r 1.2±0.3 (13.5) X n X n X n = Var. 01 X h 1 = 2 mm Var. 02 X 2 = 14 mm Var. 03 X 3 = 22 mm LI1 ±0.25 LI2 ±0.25 r = 参考点位置 s = 测量长度起点 (ML) LI = 限位点, 可调 h = 回零轨开关 Ho = 回零触发点 推荐的后续电子设备输入电路 规格 IC 3 例如 74AC14 R 3 = 4.7 k 限位开关回零轨 LIF

44 接口电气连接 12 针 HEIDENHAIN 连接器 12 芯 HEIDENHAIN 接头 电源 增量信号 其它信号 «TTL U P 传感器 0V 传感器 U a1 U a2 U a0 1) 1) 5 V 0 V» 1 V PP A+ A- B+ B- R+ R- L12) L22) 棕色 / 绿色 蓝色白色 / 绿色 白色棕色绿色灰色粉色红色黑色紫色黄色 外壳屏蔽 ;U P = 电源电压传感器 : 传感器在内部与相应的电源线相连禁止使用空针脚或空线! 1) TTL/11μA PP 转换给 PWT 2) 仅限 LIDA 48x; 相应颜色只适用于连接电缆 12 针 D-sub 型接头 15 针 D-sub 接头自带接口电子电路 电源 增量信号 其它信号 «TTL U P 传感器 0V 传感器 U a1 U a U a0 1) L12) L22) 1)» 1 V PP 5 V 0 V 2 H3) L3) A+ A- B+ B- R+ R- 空空 棕色 / 绿色 蓝色白色 / 绿色 白色 棕色 绿色 灰色 粉色 红色 黑色 紫色 绿色 / 黑色 黄色 / 黑色 黄色 外壳屏蔽 ;U P = 电源电压传感器 : 传感器在内部与相应的电源线相连禁止使用空针脚或空线! 1) TTL/11μA PP 转换给 PWT 不用于 LIDA 27x 2) 仅限 LIDA 4xx; 相应颜色只适用于连接电缆 3) 只限 LIDA

45 信号处理电子设备 IK 220 通用型 PC 计数卡 IK 220 卡是一个 AT 兼容 PC 机扩展卡, 它能记录两路增量式或绝对式直线光栅尺或角度编码器测量值 其细分和计数电路可以细分正弦输入信号, 生成高达 4096 个测量步距 本卡自带驱动软件 输入信号 ( 可切换 ) 编码器输入 IK 220» 1 V PP» 11 μa PP EnDat 2.1 SSI 两个 D-sub 型接头 (15 针 ), 针式 最大输入频率 500 khz 33 khz - 最大电缆长度 60 m 10 m 信号细分倍数 ( 信号周期 : 测量步距 ) 最高达 4096 倍 测量值的数据寄存器 ( 每通道 ) 48 bit( 使用 44 bit) 内存 可存储 8192 个位置值 接口 PCI 总线 ( 即插即用 ) 更多信息, 参见 IK 220 产品信息 驱动软件和演示程序 尺寸 Windows98/NT/2000/XP VISUAL C++,VISUAL BASIC 和 BORLAND DELPHI 约 190 mmx100 mm 45

46 连接件和电缆一般信息 接头 ( 绝缘 ): 带锁紧螺母的连接件有针式和孔式两种触点 图符 连接器 ( 绝缘 ): 用外螺纹连接的连接件有针式和孔式两种触点 图符 M23 M23 中心紧固的安装式连接器 固定用孔 M23 带法兰的安装式连接器 M23 法兰座 : 永久固定在编码器或外壳上, 带外螺纹 ( 同连接器 ), 有针式或孔式 两种触点 图符 M23 D-sub 接头 : 用于连接 HEIDENHAIN 公司的控制系统 计数卡和 IK 绝对值计数卡 图符 接头上的针脚编号方向与连接器或法兰座上的编号方向相反, 包括触点为针式触点或是孔式触点连接件结合后的防护等级可达 IP 67(Dsub 接头 :IP 50;IEC 60,529) 未连接时, 无防护能力 法兰座和 M23 安装式连接器附件钟形密封圈 ID 螺纹金属防尘盖 ID ) 内置细分电路 46

47 连接电缆 LIP/LIF/LIDA 无限位或回零信号 LIF 400/LIDA 400 有限位或回零信号 PUR 连接电缆 [6(2 x AWG28) + (4 x 0.14 mm2)] PUR 连接电缆 [4(2 x 0.14 mm2) + (4 x 0.5 mm2) + 2 x (2 x 0.14 mm2)] PUR 连接电缆 [6(2 x 0.19 mm2)] PUR 连接电缆 [4(2 x 0.14 mm2) + (4 x 0.5 mm2)] Ø 8 mm Ø 6 mm1) Ø 8 mm Ø 6 mm1) 全套 D-sub 接头 ( 孔式 ) 和 M23 接头 ( 针式 ) 一个 D-sub 接头 ( 孔式 ) xx xx xx xx xx xx 全套 D-sub 接头 ( 孔式和针式 ) xx xx xx xx 全套 D-sub 接头 ( 孔式 ) 用于 IK xx xx - - 无接头电缆 LIP 3x2 适配电缆 M23 连接器 ( 针式 ) LIP 3x2 适配电缆 D-sub 接头, 用于 IK xx xx LIP 3x2 适配电缆, 接头 xx - - 全套 M23 接头 ( 孔式 / 针式 ) xx 一个 M23 接头 ( 孔式 ) xx 连接电缆接头与编码器电缆接头 电缆 Ø 8 mm Ø 6 mm 连接电缆接头与编码器电缆配合件 M23 接头 ( 孔式 ) 电缆 Ø 8 mm M23 接头, 连接后续电子设备 M23 接头 ( 针式 ) 电缆 Ø 8 mm Ø 6 mm M23 法兰座, 安装在后续电子设备上 M23 法兰座 ( 孔式 ) 适配接头» 1 V PP /11 µa PP 用于将 1 V PP 信号转为 11 μa PP 信号 ; M23 接头 ( 孔式 )12 针和 M23 接头 ( 针式 )9 针 ) Ø 6 mm 电缆长度 : 最长 9 m 47

48 一般电气信息 电源 编码器需要采用直流稳压后的电压 U P 为电源 有关电源和所需电流大小, 参见相应 技术参数 直流电压最大允许波动量为 : 高频干扰 U PP < 250 mv,du/dt > 5 V/μs 低频基波干扰 U PP < 100 mv 所述值为在光栅尺或编码器端的测量值, 即测量值无电缆影响 可以用编码器的传感器线监测和调整电压 如果没有可调电源, 可将传感器线作为额外电源线, 使电压压降减小一半 电压压降的计算公式为 : L C I ΔU = AP 电缆 编码器开机 / 关机特性 如果应用于安全性要求高的场合, 必须使 开机后的 tsot = 1.3 s 时间内, 输出信号无 用 HEIDENHAIN 公司的电缆 技术参 效 (PROFIBUS-DP 为 2 )( 见图 ) 在 数 中的电缆长度仅适用于 HEIDENHAIN t SOT 时间内, 信号电平可为 5.5 V 以内的任 公司的电缆和推荐的后续电子设备的输入 何电压 (HTL 信号编码器为 UPmax 电平以 电路 内 ) 如果细分电路位于编码器或电源之 耐久性 间的话, 必须考虑细分电子单元开机和关 所有编码器都使用聚氨脂 (PUR) 电缆 机特性 关闭电源时, 或供电电压低于 PUR 电缆符合 VDE 0472 有关耐油 耐水及 U min 时, 输出信号也无效 这些数据仅适 耐微生物要求 这种电缆不含 PVC 和硅 用于样本中的编码器, 不适用于定制接口 酮, 符合 UL 安全标准 在电缆上印有 UL 认 电路 证 AWM STYLE V E63216 编码器新增功能和更高性能可能需要的开温度范围机时间更长 ( 长于 t SOT ) 如果您负责开 HEIDENHAIN 公司的电缆可用于 : 发后续电子单元, 请与 HEIDENHAIN 联 固定敷设 -40 至 +85 系 反复弯曲 -10 至 +85 最高温度不允许超过 100 C, 但此时它们 其中 ΔU: 线电压压降, 单位为 V 绝缘 的耐水及耐微生物的能力将降低 如需帮 L C : 电缆长度, 单位为 m 编码器外壳与内部电路绝缘 助, 请与 HEIDENHAIN 德国总部联系 I: 电流消耗, 单位为 ma 额定浪涌电压 :500 V A : 电源线截面积, 单位 mm2 弯曲半径 P (VDE 0110 第 1 部分过压类别 II,2 级污染允许的弯曲半径 R 取决于电缆的直径和使的推荐值 ) 用状态 : 电源启动过渡过程和开关机特性 固定敷设 U U p max U p min U PP 反复弯曲 t SOT 反复弯曲 无效输出信号 : 有效无效 只能将 HEIDENHAIN 编码器连接到针对线电源电路对供电电源采取了双屏蔽或强化屏蔽措施的后续电路 参见 IEC :1992 修订版,411 章 直接或间接接触保护 (PELV 或 SELV) 如果位置编码器或电子设备将被用在高安全性要求的应用场合, 必须为它们提供超低压防护 (PELV) 过流保护或根据需要提供过压保护措施 电缆电源线截面积,A P 弯曲半径 R 1V PP /TTL/HTL 11 μa PP EnDat/SSI EnDat4) 固定敷设反复弯曲 17 针 8 针 mm 0.05 mm 8 mm 40 mm 4.5 mm 0.14/0.05 2) mm mm mm mm 2 10 mm 50 mm 5.1 mm 6 mm 0.19/0.14 3) mm mm mm 2 20 mm 75 mm 1) 10 mm 35 mm 75 mm 8 mm 0.5 mm 2 1 mm mm 2 1 mm 2 40 mm 50 mm 1) 14 mm 100 mm 100 mm 48 1) 金属外皮 2) 长度计 3) LIDA 400 4) 包括发那科 (Fanuc), 三菱 (Mitsubishi)

49 电气系统允许最高轴速 / 运动速度 编码器最大允许的轴速或编码器运动速度取决于 机械系统最高允许轴速 / 运动速度 ( 如有, 参见 技术参数 ) 和 电气系统最大允许的轴速或移动速度 正弦输出信号的编码器, 电气系统最高允许轴速 / 移动速度取决于 -3dB/-6dB 截止频率或后续电子设备最高允许输入频率 方波信号编码器, 电气系统最高允许轴速 / 移动速度取决于 编码器最高允许扫描频率 f max 和 后续电子设备允许的最小边缘间距 a 角度或旋转编码器 n max = f max z 直线光栅尺 v max = f max SP 和 : n max : 电气系统允许转速, 单位为 rpm v max : 电气系统允许移动速度, 单位为 m/min f max : 编码器最高扫描 / 输出频率或后续电子电路输入频率, 单位为 khz z: 角度或旋转编码器每 360 的线数 SP: 直线光栅尺信号周期, 单位为 µm 信号无噪声传输 电磁兼容性 /CE 相符性如果安装正确和使用 HEIDENHAIN 公司的电缆及电缆组件,HEIDENHAIN 公司的编码器符合电磁兼容性标准 89/336/EEC 以下方面的规定 : 抗噪性能,IEC : 特别是 : - 静电放电 IEC 电磁场 IEC 冲击 IEC 浪涌 IEC 传导干扰 IEC 电源频率磁场 IEC 脉冲磁场 IEC 干扰,IEC : 特别是 : - 工业 科研和医疗 (ISM) 设备 IEC 用于信息技术设备 IEC 测量信号传输 - 电气噪声抗干扰性能噪声电压主要由容性或感性传导引起 电气噪声可由信号线和输入输出接线端子引入到系统中 可能的噪声源有 : 变压器 制动器和电动机的强磁场 继电器 接触器和电磁阀 高频设备 脉冲装置和来自开关类电源的杂散磁场 交流电源线和上述装置的供电电源线 电气噪声防护必须采取以下措施确保系统无干扰地工作 仅使用 HEIDENHAIN 公司电缆 使用带金属外壳的接头或端子盒 不要接收任何无关信号 连接光栅尺或编码器 接头 端子盒和信号处理电子装置的外壳与电缆屏蔽线 在电缆引线处连接屏蔽, 尽可能做到无感连接 ( 接触距离短, 全面积接触 ) 将整个屏蔽系统与保护地线连接 禁止将松开的端子壳接触到其它金属表面上 电缆屏蔽网具有等电位连接导线作用 如果需要在整个系统中补偿电流, 必须提供单独的等电位连接导线 有关 小截面导线的保护连接 信息, 请见 EN /4.98 中的 章 禁止将信号电缆直接置于干扰源附近, ( 感性器件, 例如接触器 电机 变频器 电磁线圈等 ) 应将干扰源与信号电缆进行充分退藕, 在空间中将其相隔 100 mm 或将电缆置于金属管中形成接地隔离区 与开关类电源中的电感至少相距 200 mm 参见 EN /4.98 章 节有关电缆和线电源部分, 以及 EN /09.01,6.7 章中有关接地和电位补偿部分 如果将多转编码器用在 30 mt 以上的电磁场中, 建议您与 HEIDENHAIN 的德国总部联系 电缆屏蔽网和光栅尺或编码器及后续电子设备的金属外壳都有屏蔽功能 外壳的电位必须相同, 并应通过机床底座或单独的电位补偿线连接到信号的主地线上 电位补偿线的截面积不应小于 6 mm2(cu) 距干扰源的最小距离 49

50 HEIDENHAIN 测量和测试设备 PWM 9 是一种通用测量仪, 用于检验和调 整 HEIDENHAIN 公司的增量式编码器 通过不同扩展组件, 可检查不同光栅尺或编码器信号 测量值显示在 LCD 屏幕上 软键 : 操作简单 输入信号 PWM 9 扩展模块 ( 接口板 ), 支持 μa PP,1 V PP,TTL, HTL,EnDat*/SSI*/ 换向信号 * 不显示位置值或参数 功能 测量信号幅值, 电流消耗, 工作电压, 扫描频率 图形显示增量信号 ( 幅值, 相位角和占空比 ) 及参考点信号 ( 宽度和位置 ) 符号化显示参考点, 故障检测信号, 计数方向 通用计数器, 细分倍数在 1024 倍以内可选 可用于调整敞开式直线光栅尺 输出信号 将输入信号提供给后续电子设备 连接示波器的 BNC 插座 电源 尺寸 10 至 30 V, 最大 15 W 150 mm x 205 mm x 96 mm PWM 是一个易用的调整 HEIDENHAIN 公司的增量式编码器工具 它的小 LCD 窗口以条形图形式显示信号相对其公差带情况 PWT 10 PWT 17 PWT 18 编码器输入» 11 μa PP «TTL» 1 V PP 功能 测量信号幅值波形公差参考点信号的幅值和位置 电源电源单元供电 ( 包括 ) 尺寸 114 mm x 64 mm x 29 mm 50

51 SA 27 适配接头用于获取 LIP 372 的 APE 输出的正弦扫描信号 它的外接头通过标准测量电缆可方便地连接示波器 SA 27 编码器 LIP 372 功能 连接示波器的测点 电源 尺寸 编码器供电 大约 30 mm x 30 mm APS 27 编码器诊断工具是确定 TTL 接口信号的 LIDA 27x 系列光栅尺安装公差的必备工具 检测时, 可将 LIDA 27x 通过 PS 27 接头连接到后续电子设备上, 或直接用在 PG 27 检测仪上 APS 27 编码器 LIDA 277,LIDA 279 功能 TTL 信号的正常 / 非正常检测 ( 增量信号和参考脉冲 ) 增量信号 参考脉冲相应的绿色 LED 指示灯显示安装是否正确 如果显示红色, 必须重新检查安装情况 电源 其中包括 后续电子设备或电源单元供电 ( 自带 ) PS 27 检测接头 PG 27 检测仪 PG 27 的电源单元 (110 至 240 V, 包括适配插头 ) 保护膜 51

52 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司 地址 : 北京市顺义区天竺空港工业区 A 区天纬三街 6 号邮编 : 电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.cn 上海办事处地址 : 上海市徐汇区天钥桥路 333 号腾飞大厦 8 层邮编 : 电话 : 传真 : shanghai@heidenhain.com.cn 广州办事处地址 : 广东省广州市天河区黄埔大道西 76 号富力盈隆广场 305 室邮编 : 电话 : 传真 : guangzhou@heidenhain.com.cn 沈阳办事处地址 : 辽宁省沈阳市和平区和平北大街 69 号总统大厦 C 座 1808 室邮编 : 电话 : 传真 : shenyang@heidenhain.com.cn 武汉办事处地址 : 湖北省武汉市武昌区中南路 7 号中商广场写字楼 A 座 2017 室邮编 : 电话 : 传真 : wuhan@heidenhain.com.cn 西安办事处地址 : 陕西省西安市长安北路 91 号富城国际大厦 907 室邮编 : 电话 : 传真 : xian@heidenhain.com.cn 成都办事处地址 : 四川省成都市人民南路一段 86 号城市之心 19 楼 F 座邮编 : 电话 : 传真 : chengdu@heidenhain.com.cn 哈尔滨办事处地址 : 黑龙江省哈尔滨市南岗区长江路 99-9 号辰能大厦 1308 室邮编 : 电话 : 传真 : harbin@heidenhain.com.cn 公司网址 : << 欢迎下载电子样本 >> 海德汉有限公司 地址 : 香港九龙官塘开源道 49 号创贸广场 室电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.hk Z5 50 5/2007 H 于北京印刷 如有改动, 恕不另行通知 Rückseiten_Allgem.indd :31:25