国家自然科学奖推荐书

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良璇短逄
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1 一项目基本情况提名者国家市场监督管理总局项目名称项目名称公布名纳米几何量国家量值传递体系的建立纳米几何量国家量值传递体系的建立主要完成人主要完成单位高思田, 刘前, 施玉书, 景蔚萱, 李伟, 王奇, 王琛英, 郭延军, 杨树明, 杜华中国计量科学研究院, 国家纳米科学中心, 西安交通大学二提名意见我单位认真审阅了该项目申报书及附件材料, 确认全部材料真实有效, 相关栏目内容均符合国家科学技术奖励工作办公室的填写要求该项目以建立我国纳米几何量值传递体系为目标, 创建了覆盖毫米测量范围的跨尺度多原理的纳米几何量国家计量标准装置, 作为纳米量值的最高源头, 实现了纳米几何量值到长度基本单位米的溯源, 成为继德国后第二个能够在毫米测量范围内实现纳米几何量准确测量的国家, 为我国纳米量值的统一奠定了基础 ; 攻克了大批量可重复制造的纳米标准物质制备关键技术, 成功研制出了国际一流水平的纳米几何结构系列标准物质, 作为我国首次颁布的纳米长度量标准物质, 为量值传递提供了载体 ; 建立了从国家到地方直至产业全链条的纳米几何量国家计量传递体系, 实现了全国纳米量值的统一项目建立了我国纳米几何量量值传递体系, 为省市计量部门高新技术企业大学和科研院所提供校准溯源服务, 满足了我国微电子集成电路微纳制造和纳米技术领域纳米几何量量值溯源的需求, 在精密测量仪器等高新技术产业和先进光刻装备等国家重大科学研究项目中发挥重要作用, 支持了省市计量技术机构建立地方纳米计量标准, 通过国际比对, 实现了纳米量值的国际互认该项目在我国纳米计量关键技术取得的创新, 达到国际先进水平, 在保障我国纳米几何量值统一方面做出了重要贡献提名该项目为国家科学技术进步奖二等奖 1

2 三项目简介随着以纳米信息微电子等技术为代表的现代科技与产业的快速发展, 大量具有纳米尺度几何结构的产品不断涌现, 其质量性能的保证需要在纳米尺度上实现几何结构的准确测量, 这对计量科学提出了严峻的挑战 ; 由于测量原理的不同, 不同仪器量值的差异极大地影响了科研和检测数据的可靠性, 因此迫切需要建立由可直接溯源的国家最高计量标准装置和标准物质构成的纳米几何量国家计量传递体系, 实现我国纳米几何量的量值统一纳米计量标准不仅仅代表一个国家纳米科技的水平, 更是纳米产业相关的重要国际非关税壁垒为了抢占纳米科技的战略制高点, 世界上主要工业发达国家都大力发展纳米计量技术, 建立了相应的纳米计量标准装置以及标准物质, 以支撑本国相关技术和产业的发展而我国纳米计量技术研究严重滞后, 计量标准装置和标准物质几乎为空白发达国家高质量标准物质对我国一直实施禁运和封锁, 使得我国纳米量值无法溯源和统一, 测量准确度无法保证, 成为制约我国纳米科技集成电路制造, 特别是军工航天等关键领域的卡脖子问题本项目历经十余年的刻苦攻关, 成功研制了纳米几何量国家计量标准装置和纳米几何结构标准物质, 建立了我国纳米几何量值传递体系项目主要创新点为 :1) 创建了能够覆盖毫米测量范围的跨尺度多原理的纳米几何量国家计量标准装置, 作为纳米量值的最高源头, 实现了纳米几何量值到长度基本单位米的溯源, 使我国成为继德国后第二个能够在毫米测量范围内实现纳米几何结构准确测量的国家, 为我国纳米量值的统一奠定了基础 ;2) 攻克了大批量可重复制造的纳米标准物质制备关键技术, 成功研制出了国际一流水平的纳米几何结构系列标准物质, 作为我国首次颁布的纳米长度量标准物质, 打破了国外长期销售禁运和技术封锁, 为量值传递提供了载体 ;3) 建立了从国家到地方直至产业全链条的纳米几何量国家计量传递体系, 实现了全国纳米量值的统一, 通过国际比对, 使得我国纳米量值得到国际等效互认项目获得发明专利授权 14 项, 建立国家计量标准装置 5 套, 研制国家一级标准物质 5 种, 参加国际比对 3 项, 获得国际互认的校准测量能力 (CMC)2 项, 发表论文 76 篇, 其中 SCI 检索 23 篇, 获国家质检总局科技兴检一等奖二等奖各一项, 计量测试学会与仪器仪表学会二等奖各一项, 建立了我国首支纳米计量研究团队基于项目成果构建的纳米几何量国家计量传递体系, 为国家标准与计量法规的制定提供技术依据, 规范了纳米市场, 并为微电子纳米科技国防军工等行业的纳米尺度测量提供了量值溯源, 支撑了多项国家重大装备研制和仪器研发项目的顺利进行通过为企业和科研院所提供量值传递服务, 支撑国防航天集成电路产品的质量控制, 保障国家安全, 实现了技术自主可控研制的纳米几何量计量标准装置为纳米栅格颗粒等标准物质提供定值手段 ; 研制的标准物质为大量纳米测量仪器进口提供技术指标的评判标准已实现国际互认的我国纳米几何量值, 为我国相关产品进入国际市场扫清了障碍项目成果大幅提升了我国纳米技术领域的精密测量水平, 产生了显著的社会效益, 有力地推动了相关行业的自主创新能力, 夯实了质量基础并服务国家的质量强国战略 2

3 四客观评价 1 国际同行评价 1) 由英国 (NPL) 和德国 (PTB) 的纳米计量领域的专家联合发表的文章综述了当前世界上基于原子力显微镜的纳米计量仪器, 其分析汇总表明, 该项目研制的装置是继德国之后第二个能在三维测量范围均达到毫米级的计量标准装置 2) 项目研制的多台阶标准物质得到英国诺丁汉大学和英国国家计量院专家的高度评价, 在论文中评述 : 多台阶样板为表面三维形貌测量仪器校准提供了一种解决方案 3) 国际关键比对项目参加了由国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的, 全球十多个国家计量院参加的纳米台阶高度和两维栅格国际关键比对比对结果证明了我国纳米几何量国家计量标准装置的测量准确性居于世界前列 4) 颗粒粒径国际比对该比对由亚太计量组织长度技术委员会组织, 全球 8 个国家计量院参加并由日本计量院主导金纳米颗粒直径比对结果证明了纳米颗粒的定值能力位列世界先进水平 5) 国际校准测量能力通过国际计量组织和区域计量组织的同行专家多轮评审, 台阶高度和二维栅格的国际校准测量能力 (CMC) 已进入到国际计量局国际关键比对数据库中, 标志着我国纳米几何参量实现了国际互认, 测量数据得到国际采纳 6) 国际同级别标准物质比较表明, 台阶高度标物均达到了世界先进水平 7) 技术创新点相关论文的同行专家评阅意见 : 项目关于原子力测头的论文经过显微技术领域权威期刊 Ultramicroscopy 专家盲审, 给予高度评价并接受发表评审意见项目提出一种新的针尖扫描式测头, 该工作对原子力显微镜研究领域尤其具有价值 2 国内同行评价 1) 综述文章我国纳米标准研究进展对纳米台阶高度标准物质做出了高度评价 2) 华东国家计量测试中心 / 上海市计量测试技术研究院 : 我们认为国家纳米科学中心提供的台阶高度样品均匀性良好, 图案设计合理, 使用方便 3) 北京航空航天大学 : 通过使用, 我们认为国家纳米科学中心提供的台阶高度样品测试定位方便样品设计合理, 台阶高度值均一性良好, 可用于台阶仪校准 4) 中科院微电子研究所 : 几年的使用表明该标准物质具有如下特点 :(1) 可溯源, 这对精密的科学研究很重要 ;(2) 操作简便 ;(3) 稳定性好 ;(4) 质量高, 是国家最高等级的标物在自主研发微电子设备和相应工艺技术研究中起到了重要作用 5) 中科院半导体所 : 经两年使用, 证明标样易于操作具有很好的稳定性, 是一个可以信赖的纳米标准物质 3 验收意见与所获奖励 1) 质检公益性行业科研专项项目大范围纳米几何结构计量基准装置的研究 ( 成果登记号 :G ) 验收意见由金国藩院士叶声华院士等专家组成的验收专家组一致认为 : (1) 干涉仪采用差动光学倍程设计, 发明了谐波分离修正补偿算法消除非线性误差 3

4 干涉仪布局无阿贝误差其总体布局与综合性能处于国际领先水平 (2) 设计了无运动畸变的三维正交扫描原子力测头在目前的商品仪器及研究论文中均无类似的设计, 具有独创性 (3) 大范围位移台采用气浮 - 滑动混合位移台是目前国际上为数不多的可利用大范围位移台直接进行扫描的纳米测量装置之一该成果荣获 2015 年国家质检总局科技兴检一等奖 2) 质检总局科技项目计量型原子力显微镜和兼容型扫描探针显微镜纳米测量系统 ( 成果登记号 G ) 鉴定意见由金国藩院士等专家组成的鉴定委员会一致认为 : 该测量系统在测量原理测量精度可溯源性方面达到了国际先进水平该成果荣获 2007 年国家质检总局科技兴检二等奖 3) 质检总局科技项目计量型扫描电子显微镜的研制及微纳校准技术的研究 ( ) 验收专家组一致认为 : 研制的计量型扫描电子显微镜填补了国内空白, 技术指标达到国际先进水平该成果荣获 2018 年中国仪器仪表学会科学技术奖二等奖 4) 中国认可委组织的纳米台阶标准物质鉴定意见所研制的纳米台阶高度标准物质填补了国内空白, 定值结果表明, 达到了国际台阶高度标准物质的先进水平, 所研制的标准物质符合国家一级标准物质技术规范 (JJG ) 要求, 具有较高的实用价值和推广意义该成果荣获 2015 年北京科技进步三等奖 5) 中国计量测试学会组织的纳米台阶高度样板的制备比对和溯源及相关理论与技术的研究鉴定意见由李同保院士等专家组成的鉴定委员会一致认为 : 国际首次提出了基于原子层沉积 (ALD) 的纳米台阶样板制备方法, 成功研制了国内首批亚 25nm 单台阶样板和国际上首批纳米多台阶样板该成果获 2016 年中国计量测试学会科技进步奖二等奖 4 国家计量标准建立国内首次建立了 5 套纳米几何量计量领域的社会公用计量标准 : 毫米级纳米几何结构样板校准装置纳米几何结构标准装置扫描探针显微镜校准装置扫描电子显微镜校准装置与微纳米样板校准装置 5 国家一级标准物质获得批准系列纳米台阶高度标准物质通过了全国标准物质管理委员会组织的专家鉴定及评审, 被授予国家一级标准物质证书, 为我国首次颁布的纳米长度量标准物质 4

5 五推广应用情况 1) 支撑国家标准与计量校准规范制定本项目研究成果 : 可溯源的纳米量值校准方法等, 已经支撑了多项国际标准国家标准和计量校准规范的申报制定等基础核心工作范围覆盖了通用的方法标准仪器标准以及产品标准技术支持的标准和规范主要包括 ISO Surface chemical analysis Scanning probe microscopy Measurement of drift rate, ISO/TC201 新提案 Effects of Temperature and Humidity on Dimensional AFM Nanoscale Measurements GB/T 利用 Si(111) 晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 GB/T 产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则 JJF 扫描探针显微镜校准规范, 制定中的有扫描电子显微镜校准规范和扫描电显微镜 X 射线能谱仪校准规范等 2) 助力区域纳米计量社会公用计量标准的建立与 CNAS 检测校准能力提升项目建立的我国纳米几何量国家最高计量标准装置与作为纳米量值载体的标准物质和标准样板, 为省市计量机构建立地区纳米计量标准装置, 申报纳米计量领域新的国家认证认可的检测校准项目 (CNAS) 铺平了道路已具备纳米计量相关能力的计量机构包括 : 华东国家计量测试中心 / 上海市计量测试技术研究院华南国家计量测试中心 / 广东省计量科学研究院重庆市计量质量检测研究院浙江省计量院辽宁省计量院苏州市计量院深圳市计量院等, 覆盖了纳米产业相对密集的华东华南西南等地区 3) 应用于纳米尺度国家一级标准物质定值溯源纳米几何量国家计量标准装置不仅建立了我国纳米几何量值的源头, 更为标准物质定值与标准器的校准提供了可靠的计量手段, 解决了以往我国纳米几何量标准物质无法定值的难题基于项目成果, 中科院物理所研制的一维纳米栅格成果获批国家一级标准物质项目为同济大学制备的更小尺寸的纳米栅格标准器提供校准定值和稳定性考察, 拟申报新的国家一级标准物质中国计量科学研究院上海市计量测试技术研究院等单位研制的纳米膜厚颗粒等国家一级二级标准物质的量值也溯源到了项目建立的计量标准装置 4) 保障纳米领域科学技术研究成果水平项目成果已应用于国内多家科研院所和高校的纳米科学技术研究, 用准确可溯源且国际互认的纳米量值有力支撑和保障了科研项目的顺利开展和验收纳米仪器设备的验收和校准, 确保了论文专利等科研成果中的数据真实性和可靠性, 为我国纳米科研成果的质量提供了技术保障, 支撑的项目包括国家重大仪器专项,863 项目 973 项目国家自然科学基金等项目, 获益的科研机构包括 : 天津大学华中科技大学国家纳米科学研究中心北京理工大学中科院微电子所中科院半导体所中电 46 所等项目为中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目超分辨光刻设备研制提供测试服务, 解决了 22 纳米分辨力检测样板的量值校准难题, 确保了指标的验证, 为我国自主研制新型光刻设备提供技术支撑项 5

6 目为北京市理化分析测试中心等检测机构的测量仪器提供定期校准, 保障了其测试数据的可靠性 5) 服务集成电路等纳米相关产业, 提升产品质量项目成果为我国微电子集成电路微纳机电系统纳米技术和超精密加工等高新技术领域的企业提供了大量的校准检测等量值传递服务, 通过保障质量体系和质量控制, 有力支撑了高新技术领域产品质量和产业发展的需求相关企业包括 : 中芯国际深圳方正微电子有限公司卡尔蔡司三英精密仪器有限公司北京丹青瑞华科技有限公司北京晨晶电子股份公司等项目为福建福联集成电路等公司进口的大型测量设备提供验收校准服务, 现场调试直至达到合同指标, 确保了我国企业的利益, 为集成电路企业质量控制体系提供技术保障 6) 支撑国防航天, 保障国家安全项目研究成果直接应用于西安微电子技术研究所, 性能可靠主要应用单位情况表序号单位名称应用技术应用及规模起止时间 1 中国科学院微电子所标准物质科学研究 ~ 中国科学院物理研究所校准定值国家一级标物定值 ~ 中国航天科技九院十三所校准溯源仪器设备校准溯源 ~ 国家纳米技术与工程研究院校准溯源仪器设备校准溯源 ~ 中国电子科技集团十一所校准溯源仪器设备校准溯源 ~ 西安微电子技术研究所校准溯源产线设备校准溯源 ~ 中国科学院光电技术研究所校准溯源为光刻装备提供校准 ~ 苏州大学标准物质科学研究 ~ 深圳方正微电子有限公司量值传递标准样板校准 ~ 上海市计量测试技术研究院量值传递传递纳米几何量值 ~ 深圳华星光电技术有限公司量值传递测量仪器校准 ~ 福建福联集成电路有限公司校准溯源测量仪器验收与校准 ~ 卡尔蔡司管理有限公司校准溯源仪器与标准器校准 ~ 北京晨晶电子公司标准物质产品研发至今 15 三英精密仪器有限公司校准溯源标准样板校准与量传 ~

7 六主要知识产权和标准规范等目录知识产权类别知识产权具体名称国家 ( 地区 ) 授权号其他纳米几何结构标准装置中国 / 其他毫米级纳米几何结构样板校准装置中国 / 其他 100/200nm 台阶高度国家一级标物证书中国 GBW13950/13951 其他 50/500/1000nm 台阶高度国家一级标物中国 GBW13952/13953/13954 证书发明专利一种纳米线宽样板及其制备方法中国 ZL 发明专利一种纳米多台阶高度样板的制备方法中国 ZL 发明专利一种扫描电化学和光学显微镜探针及中国其制备方法发明专利一种超微锥电极阵列及其制备方法中国 ZL ZL 发明专利一种在 Cu/Ti 薄膜表面生成枝晶图案的中国 ZL 发明专利方法一种超细晶技术或合金薄膜及其制备中国 ZL 方法 7

8 七主要完成人情况表姓名高思田性别男排名 1 国籍中国工作单位中国计量科学研究院行政职务所长参加本项目的起止时间至项目负责人, 负责项目总体设计与组织实施负责了计量型原子力显微镜大范围纳米测量机和计量型扫描电子显微镜研究等标准装置的总体方案和关键技术创新, 指导了计量装置的整体研制攻克了气浮台, 多自由度计量框架, 无畸变测头等关键技术, 建立了纳米量值的最高源头, 对创新点有主要贡献姓名刘前性别男排名 2 国籍中国工作单位国家纳米科学中心行政职务参加本项目的起止时间至主持研制了系列纳米台阶高度标物及其应用推广工作 (5 个标物均获得了国家一级标准物质定级证书和中华人民共和国制造计量器具许可证 ), 参与了国家纳米校准体系的建立, 对创新点 2 和 3 有主要贡献姓名施玉书性别男排名 3 国籍中国工作单位中国计量科学研究院行政职务主任参加本项目的起止时间至承担了大范围纳米测量机的具体实施和纳米台阶标准物质的定值研究作为项目骨干负责计量框架的整体研制与相关实验, 为具有亚纳米分辨力的光学 8 倍程激光测长干涉仪的研制及干涉仪信号谐波分离修正补偿算法的实现做出了主要贡献, 对创新点有主要贡献 8

9 姓名景蔚萱性别男排名 4 国籍中国工作单位西安交通大学行政职务参加本项目的起止时间至作为主要研究人员, 深入系统的开展了纳米样板的制备研究创新采用 AFM 探针诱导局域氧化工艺和多层薄膜沉积工艺开展纳米样板制备的研究工作针对纳米样板的台阶高度线宽节距表面粗糙度等评定指标开展系统深入的表征工作对创新点 2 有主要贡献姓名李伟性别男排名 5 国籍中国工作单位中国计量科学研究院行政职务参加本项目的起止时间至完成了项目计量型扫描电子显微镜的计量系统设计以及位移台控制系统研制, 完成扫描电子显微镜校准装置等计量标准装置的建立工作并开展扫描电子显微镜校准的推广应用 ; 作为项目骨干参加大范围纳米测量机的研制, 对创新点 1 3 有主要贡献姓名王奇性别男排名 6 国籍中国工作单位国家纳米科学中心行政职务参加本项目的起止时间至完成纳米台阶标准物质的生产工艺优化与批量制备均匀性和稳定性监测定值与不确定度分析 ; 完成鉴定报批等相关材料撰写, 对创新点 2 有主要贡献姓名王琛英性别女排名 7 国籍中国工作单位西安交通大学行政职务参加本项目的起止时间至纳米台阶样板的研制, 采用基于原子层沉积 (ALD) 和湿法刻蚀的方法制备了系列纳米单台阶样板和纳米多台阶样板参与了系列单台阶样板的测量表征及其测量不确定度的评定方法研究对创新点 2 有主要贡献 9

10 姓名郭延军性别男排名 8 国籍中国工作单位国家纳米科学中心行政职务参加本项目的起止时间至参与纳米台阶标准物质的设计制备, 负责样品的均匀性及稳定性研究对创新点 2 有主要贡献姓名杨树明性别男排名 9 国籍中国工作单位西安交通大学行政职务副院长参加本项目的起止时间至开展纳米台阶高度样板的制备测量表征和对比溯源的理论与相关关键技术研究, 采用原子层沉积 (ALD) 制备了纳米台阶高度样板 ; 完成了台阶样板的比对测量与溯源对创新点 2 有主要贡献姓名杜华性别男排名 10 国籍中国工作单位中国计量科学研究院行政职务参加本项目的起止时间至参加项目大范围纳米测量机的计量框架的研制, 以及大范围气浮台的研制, 参与完成项目测试实验参与完成了台阶标物的定值对创新点 1,2 有主要贡献 10

11 八主要完成单位及创新推广贡献单位名称中国计量科学研究院排名 1 法定代表人方向所在地北京市对本项目科技创新和推广应用情况的贡献 : 中国计量科学研究院作为本项目的组织者和主要研发单位, 组织实施了该项目, 并为该项目研究提供了必要的配套条件中国计量科学研究院深入开展纳米计量标准装置关键技术的研制和我国量值传递体系的建立 ; 完成了纳米几何量国家计量标准装置的研制, 建立了 5 项国家计量标准装置 ; 实现了纳米几何量量值传递体系的建立, 保证了我国纳米量值的统一及准确传递 ; 完成了两项纳米几何量值的国际比对, 量值实现了国际互认 ; 通过开展对外校准检测服务, 积极推进项目成果的推广应用, 支持省市计量机构建立地方纳米计量标准, 推动建立覆盖全国的纳米计量量值传递体系, 为我国省市计量部门集成电路制造企业大学和科研院所提供了准确可靠的纳米几何量值单位名称国家纳米科学中心排名 2 法定代表人赵宇亮所在地北京市对本项目科技创新和推广应用情况的贡献 : 国家纳米科学中心作为本项目的主要单位, 主持了项目中的标准物质研发, 参与了国家纳米校准体系的建立国家纳米科学中心通过成功研制系列不同纳米长度标准物质, 获得了五种标准物质国家一级定级证书和相应的中华人民共和国制造计量器具许可证, 构建了我国第一次颁布的纳米物理基本量标准物质 ; 通过将研制成功地标准物质与可溯源高精度计量型原子力装置相结合, 建立了国家级纳米校准体系和国家纳米量值传递体系 ; 积极推动系列纳米标准物质的应用, 支持了国家重大项目的研究和众多纳米仪器及产品的计量校准, 产生了良好的社会公益效益单位名称西安交通大学排名 3 法定代表人王树国所在地陕西西安对本项目科技创新和推广应用情况的贡献 : 西安交通大学作为本项目的主要单位, 主持完成的纳米台阶高度样板的制备比对和溯源及相关理论与技术的研究在纳米几何量计量领域取得了突破该项研究在国际上首次提出了基于原子层沉积 (ALD) 技术的纳米台阶样板制备方法研制了国内首批亚 25nm 单台阶样板和国际上首批纳米多台阶样板完成了所制备的系列台阶高度样板和 VLSI 标准的国际比对该项研究总体技术水平处于国际先进, 其中在基于 ALD 的纳米台阶高度样板制备方面达到了国际领先所研制的系列台阶样板填补了我国亚 25nm 单台阶样板和纳米多台阶样板的空白 11

12 完成人合作关系说明本项目由中国计量科学研究院国家纳米科学中心和西安交通大学合作完成中国计量科学研究院高思田作为计量型原子力显微镜和兼容型扫描探针显微镜纳米测量系统大范围纳米几何结构计量基准装置的研究以及计量型扫描电子显微镜标准装置的研制等项目负责人, 研究建立了系列纳米几何量国家计量标准装置施玉书李伟杜华为中国计量科学研究院研究人员, 共同参与了计量型原子力显微镜和兼容型扫描探针显微镜纳米测量系统大范围纳米几何结构计量基准装置的研究以及计量型扫描电子显微镜标准装置的研制等项目, 合著多篇论文基于以上成果, 共同作为大范围计量型纳米测量机的研究的主要完成人获得 2015 年国家质检总局科技兴检一等奖 2006 年 10 月起至 2015 年 12 月, 国家纳米科学中心刘前主持了纳米级台阶高度标准样品的研制 ( 国家重点研究计划 2006CB932603) 研制和推广工作, 王奇郭延军作为国家纳米科学中心的研究人员, 参与了纳米级台阶高度标准样品的研制的工作期间与中国计量科学研究院通力合作, 共同开展了系列纳米长度标准物质的定值和可靠性考察研究, 共同申请获得了 5 个国家一级标准物质的重要果, 在此基础上共同建立了国家纳米标准物质的定值和传递体系, 共同积极开展了推广和应用工作, 并共同获得了 2015 年北京市科学技术奖 2012 年起, 中国计量科学研究与西安交通大学合作研制纳米台阶高度样板, 通过制备比对及溯源定值研究, 成功将 ALD 技术应用于 50nm 以下的纳米台阶高度样板制备, 联合申报国家一级标准物质, 并联合发表论文景蔚萱王琛英杨树明为西安交通大学教师, 共同参与了纳米台阶高度样板的制备比对和溯源及相关理论与技术的研究, 合著论文多篇基于此, 作为主要完成人获得 2016 年中国计量测试学会科学技术进步二等奖各完成人保证提供材料的真实性 12

电院 2018 年硕士夏令营暨自主招生复试成绩公示 (7 月 ) 各位考生, 下面表中是参加电院 2018 年硕士夏令营暨自主招生的复试成绩公示名单, 具体拟录取情况要等 9 月中旬才能得知名单中的考生如有放弃或没有取得本科推免资格的, 请及时邮件通知马老师

电院 2018 年硕士夏令营暨自主招生复试成绩公示 (7 月 ) 各位考生, 下面表中是参加电院 2018 年硕士夏令营暨自主招生的复试成绩公示名单, 具体拟录取情况要等 9 月中旬才能得知名单中的考生如有放弃或没有取得本科推免资格的, 请及时邮件通知马老师 (jinglema@sjtu.edu.cn) 谢谢! 电气工程系 2018 年硕士夏令营暨自主招生复试成绩汇总表 (7 月 ) 身份证号码