一 验收监测报告

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1 建设项目竣工环境保护 验收报告 项目名称 : 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项 目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段 建设单位 : 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司 编制日期 : 2018 年 3 月 22 日

2 一 验收监测报告

3 建设项目竣工环境保护验收监测报告 (2017) 环检 ( 综 ) 字第 (173) 号 项目名称 : 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项 目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段 委托单位 : 江苏省环境保护厅 建设单位 : 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司 江苏省苏力环境科技有限责任公司 2017 年 10 月

4 目 录 1. 前言 验收监测依据 建设项目工程概况 工程基本情况 生产工艺简介 环评结论及环评批复的要求 建设项目无重大变动说明 污染物的排放及防治措施 废水排放及防治措施 废气排放及防治措施 噪声及其防治措施 固体废物及其处置 验收监测评价标准 废水排放标准 废气排放标准 厂界噪声标准 验收监测内容 废水监测 废气监测 厂界噪声监测 监测质量保证及分析方法 监测结果与评价 监测期间工况 废水监测结果和评价 废气监测结果和评价 噪声监测结果和评价... 99

5 8.5 补充监测结果和评价 污染物排放总量核算 公众意见调查 环境管理检查及环评批复落实情况 结论与建议 结论 建议 附表废气 ( 有组织 ) 原始记录 补充监测情况 任务来源 整改措施 补测期间工况 废气复测结果和评价 废气污染物排放总量核算 补测结论

6 1. 前言 2009 年 3 月, 昆山龙飞光电有限公司 ( 后更名为友达光电 ( 昆山 ) 有限公司 ) 第 7.5 代薄膜晶体管液晶显示器件 (TFT-LCD) 项目获得环保部批复 ( 环审 号 ), 地基 部分厂房开工建设后, 因市场需求, 项目建设暂停, 变更为第 8.5 代 TFT-LCD 项目 变更项目于 2011 年 10 月, 获得环保部批复 ( 环审 号 ) 主厂房和公辅工程土建完成后, 鉴于市场竞争的压力, 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司拟向高端和差异化产品转型, 将原来已经获批建设的第 8.5 代 TFT-LCD( 薄膜晶体管液晶显示器 ) 生产线变更调整为第 6 代 LTPS TFT-LCD( 低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器 ) 生产线, 产品由 90 万片 / 年 ( 平方米 / 年 ) 变更为 72 万片 / 年 ( 平方米 / 年 ) 变更项目仍在昆山经济技术开发区龙腾路 6 号的原址建设, 占地面积也没有发生变化, 约 900 亩 第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目于 2015 年 9 月由南京国环环境科技发展股份有限公司完成环境影响报告书, 中华人民共和国环境保护部于 2015 年 10 月 12 日以环审 号予以批复 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目涵括总产能 60K 片 / 月 (72 万片 / 年 ), 公司分三阶段建设, 第一阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ); 第二阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ), 总产能达 25K 片 / 月 (30 万片 / 年 ); 第三阶段 35K 片 / 月 (42 万片 / 年 ), 总产能达 60K 片 / 月 (72 万片 / 年 ) 本次验收项目为第一阶段, 产能为 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) 本项目于 2015 年 8 月开工建设,2016 年 11 月第一阶段建成并投入生产 目前项目第一阶段生产能力已达到该阶段的设计规模 75% 以上, 相对应的主体工 第 1 页共 168 页

7 程及相配套的环保治理设施运行正常, 已具备 三同时 验收监测条 件 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司于 2017 年 6 月向江苏省环保厅提出 项目第一阶段验收申请 受江苏省环保厅委托 ( 苏环便管 [2017]49 号 ), 江苏省环境科学研究院于 2017 年 7 月 4 日组织了针对友达光 电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段验收监测的公开招标 根据原国家环保总局第 13 号令 建设项目竣工环境保护验收管 理办法 等文件的要求, 作为本项目第一阶段验收监测的中标单位, 江苏省苏力环境科技有限责任公司于 2017 年 7 月 21 日对友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段的废气 废水 噪声 固体废弃物等污染源排放现状和 各类环保治理设施的处理能力进行了现场勘查, 并编制了竣工验收监 测方案 于 2017 年 8 月 15 日至 8 月 18 日 8 月 22 日至 8 月 23 日 10 月 16 日至 10 月 17 日对本项目第一阶段废水 废气 噪声等污染 源排放现状进行了现场监测和检查, 根据监测结果及现场环境管理检 查情况, 编制了竣工环境保护验收监测报告, 为本项目第一阶段验收 及环境管理提供科学依据 2. 验收监测依据 2.1 关于发布 建设项目竣工环境保护验收暂行办法 的公告 ( 中华人民共和国环境保护部, 国环规环评 ,2017 年 11 月 ); 2.2 关于废止 修改部分环保部门规章和规范性文件的规定 ( 环境保护部第 16 号令,2010 年 12 月 ); 2.3 江苏省排污口设置及规范化整治管理办法 ( 原江苏省环保局, 苏环控 [97]122 号文 ); 第 2 页共 168 页

8 2.4 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目环境影响报告书 ( 南京国环环境科技发展股 份有限公司,2015 年 7 月 ); 2.5 关于昆山龙飞光电有限公司第 7.5 代薄膜晶体液晶显示器件 (TFT-LCD) 项目环境影响报告书的批复 ( 环审 号, 中华人民共和国环境保护部,2009 年 3 月 ); 2.6 关于友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为 第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目环境影响报告书的批复 ( 环审 号, 中华人民共和国环境保护部,2015 年 10 月 ); 2.7 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段建设项目竣工环境保护验收监测工 作方案 ( 江苏省环境科学院,2017 年 3 月 ); 2.8 中标通知书 (JSHBYS ) 3. 建设项目工程概况 3.1 工程基本情况本项目建设地点位于江苏省昆山经济开发区龙腾路 6 号, 东侧为蓬曦北路, 西侧为富春江路, 南侧为龙腾路, 北侧为龙飞路 具体地理位置见图 3-1, 平面布置见图 3-2 项目总投资 万元, 其中环保投资 万元, 占总投资的 2.76% 目前拥有职工 1500 人, 每天工作 12 小时, 年工作天数 360 天, 年工作 8640 小时 本次验收的范围为本项目第一阶段, 规模为 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ), 产品主要有年产 毫米阵列玻璃 15 万片 彩膜玻璃 15 万片 液晶面板屏 平方米 建设情况见表 3-1, 建设内容见表 3-2, 主要设备见表 3-3, 产品明细见表 3-4 第 3 页共 168 页

9 图 3-1 项目地理位置图 第 4 页共 168 页

10 Z6 Z5 Z7 Z8 Z4 Z3 为厂界噪声监测点 Z1 图 3-2 项目平面布置及噪声监测点位示意图 Z2 第 5 页共 168 页

11 表 3-1 验收项目建设情况表 序号项目执行情况 1 备案 江苏省发展和改革委员会备案, 苏发改高技发 [2014]1161 号, 2014 年 11 月 10 日 2 环评 3 环评批复 4 项目建设规模 5 项目建设时间 2015 年 9 月由南京国环环境科技发展股份有限公司完成环境影响评价报告书 中华人民共和国环境保护部于 2015 年 10 月 12 日以环审 [2015]211 号予以批复 分三个阶段建设, 第一阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ); 第二阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ), 建成后总产能达 25K 片 / 月 (30 万片 / 年 ); 第三阶段 35K 片 / 月 (42 万片 / 年 ), 建成后总产能达 60K 片 / 月 (72 万片 / 年 ) 本次验收为项目第一阶段 :12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) 该项目于 2015 年 8 月开工建设, 第一阶段于 2016 年 11 月投入运行 6 现场踏勘工程实际建设情况 按环评要求建设 第一阶段项目主体工程和各类环保治理设施同步建成并投入运行, 生产能力达到设计规模 75% 以上 工程类别 主体工程 辅助工程 公用工程 工程名称 生产厂房 生产设施 辅助厂房 辅助生产设施 公用厂房 表 3-2 验收项目建设内容表 环评设计 生产厂房 (A/C) 占地面积 m 2, 建筑面积 m 2 生产厂房 (B) 占地面积 51784m 2, 建筑面积 m 2 生产厂房 (F) 占地面积 42612m 2, 建筑面积 57855m 2 阵列玻璃 72 万片 / 年 ; 彩膜玻璃 72 万片 / 年 ; 液晶面板屏 m 2 / 年 特气供应站 : 占地面积 2800m 2, 建筑面积 3895m 2, 包括供应设备 特殊气体供应设备 托盘 ( 溅射靶 ) 清洗 技术管理部门 全厂原材料库 设备维修间 老化测试车间动力厂房 CUB(U), 占地面积 30338m 2, 建筑面积 67333m 2, 包括空压设备, 热水锅炉, 冷冻机, 冷却水塔, 酸碱废水处理系统, 无机废水处理系统, 有机废水处理系统等 同环评 同环评 同环评 项目第一阶段建设规模 第一阶段, 阵列玻璃 15 万片 / 年 ; 彩膜玻璃 15 万片 / 年 ; 液晶面板屏 m 2 / 年 同环评 同环评 同环评 第 6 页共 168 页

12 工程类别 工程名称 动力设施 环评设计 变电站, 占地面积 1905m 2, 建筑面积 5935m 2, 位于厂区西侧 E 栋 固体废物处置站 (S), 占地面积 651m 2, 建筑面积 651m 2 柴油罐 (OT), 占地面积 220m 2,10m 3 储罐 2 个 给水系统,29000m 3 /d 同环评 同环评 项目第一阶段建设规模 柴油罐 50m 3 2 个 给水系统, 自来水 500m 3 /d, 工业水 6000m 3 /d 纯水系统,1600m 3 /h 纯水系统, 系统能力 800m 3 /h 工艺设备循环冷却水系统,7000m 3 /h 化学药品输送系统, 剥离液 显影液 光刻胶 稀释液 Al 刻蚀液 HF 刻蚀液 ITO 刻蚀液 清洗液等 空气处理系统, 空调 净化 动力设备循环冷却水系统, 32680m 3 /h 热水系统, 燃气热水锅炉 3000KW, 3 台 (2 用 1 备 ) 蒸汽系统, 燃气蒸汽锅炉 1700kg/h, 3 台 (2 用 1 备 ) 大宗气体系统 (Y), 高纯氧气 氢气 氦气 氩气和二氧化碳 ; 另高纯氮气 ( 自制 ) 特气系统 (G):16 种 工艺压缩空气系统 : 系统能力 Nm 3 /h, 用量 Nm 3 /h, (19200Nm 3 /h 空压机 15 台,13 用 2 备,9600Nm 3 /h 空压机 2 台,2 备 ), 2 100m 3 压缩空气缓冲罐 工艺真空系统 : 系统能力 24000Nm 3 /h, 用量 19500Nm 3 /h, (1500Nm 3 /h 真空泵机 16 台,13 用 3 备 ) 工艺设备循环冷却水系统, 系统能力 3030m 3 /h, 用量 2070Nm 3 /h A 栋 : 用量 1480Nm 3 /h(370nm 3 /h 泵机 5 台,4 用 1 备 ) F 栋 : 用量 220Nm 3 /h(220nm 3 /h 泵机 2 台,1 用 1 备 ) B 栋 : 用量 370Nm 3 /h(370nm 3 /h 泵机 2 台,1 用 1 备 ) 同环评 同环评 动力设备循环冷却水系统, 系统能力 21784m 3 /h,2723m 3 /h 8 套 热水系统, 燃气热水锅炉 3000KW, 3 台 蒸汽系统, 燃气蒸汽锅炉 0.7Mpa,2 台 (1 用 1 备 ) 同环评 同环评 天然气系统 : 用量 810Nm 3 /h 用量 167Nm 3 /h 系统能力 Nm 3 /h, 用量 76800Nm 3 /h(19200nm 3 /h 空压机 6 台,4 用 2 备,9600Nm 3 /h 空压机 2 台,2 备 ) 工艺真空系统 : 系统能力 15750Nm 3 /h, 用量 10050Nm 3 /h A 栋 : 用量 4050Nm 3 /h(1350nm 3 /h 真空泵机 4 台,3 用 1 备 ) F 栋 : 用量 1500Nm 3 /h(1500nm 3 /h 真空泵机 2 台,1 用 1 备 ) B 栋 : 用量 4500Nm 3 /h(1500nm 3 /h 真空泵机 4 台,3 用 1 备 ) 供电系统 : 容量 KVA 同环评 第 7 页共 168 页

13 工程类别 工程名称 环评设计 项目第一阶段建设规模 环保设备 生产废水处理系统 :4 类处理系统, 处理废水量为 :9954m 3 /d 酸碱废水 无机废水 有机废水和生活污水工艺废气排放系统 :6 类系统, 处理能力总计为 : 一般排风,160000m 3 /h 风机 30 台, 24 用 6 备酸性废气,165000m 3 /h 洗涤塔 11 台, 8 用 3 备碱性废气,116000m 3 /h 洗涤塔 10 台, 5 用 5 备有机废气,172700m 3 /h 沸石转轮,7 用 5 备有机废气,22500m 3 /h 蓄热式焚烧炉装置,4 用 3 备 CVD 废气,80000m 3 /h 洗涤塔 4 台, 3 用 1 备剥离废气,80000m 3 /h 洗涤塔 4 台, 2 用 2 备 生产废水处理系统 :4 类处理系统, 处理废水量为 :4600m 3 /d 酸碱废水 无机废水 有机废水和生活污水工艺废气排放系统 :6 类系统, 处理能力总计为 : 一般排风 ( 总风量 m 3 /h 风机 21 台 ) 酸性废气 ( 总风量 m 3 /h 洗涤塔 10 台 ) 碱性废气 ( 总风量 m 3 /h 洗涤塔 9 台 ) 有机废气 ( 总风量 m 3 /h 沸石转轮 8 套 ) 有机废气 ( 总风量 48000m 3 /h 蓄热式焚烧炉装置 6 套 ) CVD 废气 ( 总风量 m 3 /h 洗涤塔 3 台 ) 剥离废气 (140000m 3 /h 洗涤塔 2 台 ) 废液回收系统 : 废 ITO 蚀刻液 废 Al 蚀刻液 光刻胶废液 废剥离液 薄化废酸液 消防设施 : 建筑物防火措施 室内消火栓灭火系统 室内自动喷水灭火消防系统 室外消火栓灭火系统 洁净室内防排烟系统 火灾报警系统 声光应急疏散指示 消防电话系统等 同环评 同环评, 消防水池 1200m 3 室外工程, 厂区道路 照明 室外管线 绿化等 同环评 第 8 页共 168 页

14 工序 Array 制备 主要机器设备 表 3-3 主要设备表 PECVD 设备 溅射设备 清洗设备 旋转涂胶设备 曝光设备 显影设备 干 ( 湿 ) 刻蚀设备 剥离设备 退火设备 阵列测试设备和工艺良品率检查设备等 工艺设备数量 ( 台 / 套 ) 环评设计 本项目第一阶段实际建设 CF 制备 溅射设备 清洗设备 涂胶设备 曝光设备 显影设备 检测及质量控制设备 老化设备等 Cell 制备 清洗设备 涂 PI 设备 摩擦设备 组装设备 切割设备 盒测试设备等 薄化制备 触控 薄化槽 清洗槽 研磨机 ITO 镀膜 清洗机 曝光机 光阻涂布显影设备 LCM 装配 其它 二次切割机 磨边倒角机 磨边后洗净机 偏贴前洗净装置 自动偏光板贴附装置 自动偏光板加压脱泡装置 全自动外引脚及印刷电路板压着系统 自动等级分检装置等 ( 约 8 条装配线 ) 生产线自动搬运设备 可靠性试验设备 QA 检测设备 包装设备 Set 制备设备等 合计 表 3-4 产品明细表 产品名称环评总产能第一阶段产能年运行时数 阵列玻璃 72 万片 / 年 15 万片 / 年 彩膜工程 72 万片 / 年 15 万片 / 年 8640 h/a 液晶面板屏 m 2 / 年 m 2 / 年 第 9 页共 168 页

15 3.2 生产工艺简介 项目生产工艺包括玻璃基板表面清洗 化学气相沉积 (CVD) 溅射金属膜 涂光刻胶 曝光 显影 湿法刻蚀 干法刻蚀 剥离 镭射结晶 离子植入等工序, 包括形成栅极 有源层漏极岛 源漏 电极 接触过孔 像素电极等过程这些工序反复交叉, 经热处理成 为基板中间产品后, 并以有机溶剂或水洗净, 充填液晶, 盒分割, 贴偏光片, 最后进行组装测试, 包括检查和测试在内实际达到 100 多道的工艺步数, 主要工艺分为 : 阵列工程 ( 铝制程 ) 彩膜工程 成盒工程 薄化工程 触控工程 模块工程 阵列生产车间负责阵列基板的生产, 包括玻璃基板清洗 CVD 镭射结晶 离子植入, 溅射 光刻 刻蚀 剥离等工序, 具体工艺 流程及产污环节见图 3-3 彩膜工程包括玻璃基板清洗 黑色矩阵膜 (BM) 形成 彩色滤 光膜 ( 红绿蓝 R/G/B) 形成 保护膜 (Over Coat) 生成 PS 层生成 等工序, 具体工艺流程及产污环节见图 3-4 成盒工程是将阵列基板和彩色滤光片经清洗, 表面涂敷取向膜 经固化 摩擦配向处理, 在阵列基板涂布封框胶及进行液晶注入, 两基板在真空中粘合 固化, 即成盒 具体工艺流程及产污环节见 图 3-5 薄化工程是使用化学或物理方法使面板玻璃的厚度变小, 主要 程序为封止 清洗 蚀刻 清洗 质量检查 研磨 清洗和质量检 查 具体工艺流程及产污环节见图 3-6 触控工程是通过溅射镀膜的方法形成 ITO 膜做成触控基板, 目 前环评提及的光刻 刻蚀 剥离等工序工段暂未单独建设, 依托 A 栋阵列工程第 7 道工序执行 在产能 12.5K 及 25K 阶段, 均不建设, 第 10 页共 168 页

16 后续将依产品需求确定是否建设 具体说明见附件 具体工艺流程 及产污环节见图 3-7 模块工程是向 LCD 面板连接驱动芯片和信号基板, 组装背光源 和防护罩, 在加温状态下作老练处理, 再作最后电气特性检查后即 成为 LCD 模块 具体工艺流程及产污环节见图 3-8 项目主要原辅料消耗情况见表 3-5 第 11 页共 168 页

17 第 12 页共 168 页

18 第 13 页共 168 页

19 图 3-3 阵列工程工艺流程及产污环节图 第 14 页共 168 页

20 图 3-4 彩膜工程工艺流程及产污环节图 第 15 页共 168 页

21 图 3-5 成盒工程工艺流程及产污环节图 第 16 页共 168 页

22 成盒工程 图 3-6 薄化工程工艺流程及产污环节图 第 17 页共 168 页

23 薄化工程 TO 靶材, Ar ITO 像素溅射沉积 模块工程 图 3-7 触控工程工艺流程及产污环节图 第 18 页共 168 页

24 图 3-8 模块工程工艺流程及产污环节图 第 19 页共 168 页

25 表 3-5 主要原辅料消耗情况 一阶 序号材料名称主要规格和成分单位 月环评使用量 段月使用 备注 运送方式 量 一 陈列工程 1 玻璃基板 (TFT) mm 片 60K 12K / 使用汽车运输 2 光刻胶 AZ SR-210,(90% 丙二醇单甲醚乙酸酯 PGMEA) m 用于其他 8 道使用汽车运输 JSR PC552-SL5H Acrylic resin 3 光刻胶 Diethylenglycol methyl ethyl ether (MEC) Propylene glycol monomethyl ether acetate m 用于有机平坦层 ( 只有一道 ) 使用汽车运输 (PGMEA) 稀释剂 EBR 4 (OK-73) 5 显影液 70% 丙二醇单甲醚 PGME,30% 丙二醇单甲醚乙酸酯 PGMEA 25% 四甲基氢氧化铵 TMAH (C4H13NO) m 光刻工序桶装供应使用汽车运输 m / 汽车槽罐供应 6 剥离液 N321(20%MEA, 60%BDG,20 H2O) m / 使用汽车运输 7 帶電防止液 Coconut oil Alkyldimethylβ m / 桶装供应使用汽车运输 8 AL 刻蚀液 5% 硝酸 HNO3 /15% 乙酸 CH3COOH m / 汽车槽罐运输 第 20 页共 168 页

26 一阶 序号材料名称主要规格和成分单位 月环评 使用量 段月使用 备注 运送方式 量 /80% 磷酸 H3PO4 9 ITO 刻蚀液 3.4% 草酸 m 增加一道 ITO 刻蚀 汽车槽罐运输 10 靶材 (Array) Mo/Al/Ti/ITO 套 每套 16 组靶材 使用汽车运输 11 NF3 4N DISS 640 t CVD 沉积 汽车槽罐运输 12 SiH4 6N DISS 632 t CVD 沉积 汽车槽罐运输 13 NH3 5N5 DISS 720 t CVD 沉积 汽车槽罐运输 14 N2O t CVD 沉积 汽车槽罐运输 15 SF6 5N DISS 716 t 干法刻蚀 桶装供应使用汽车运输 16 Cl2 5N t 干法刻蚀 汽车槽罐运输 17 CF4 5N t 干法刻蚀 汽车槽罐运输 18 CHF3 5N kg 干法刻蚀 桶装供应使用汽车运输 19 PH3 5N( 使用时用 H2 稀释成为 1%) kg 15 3 离子植入 桶装供应使用汽车运输 20 HF water DHF 1% t 镭射结晶, 清洗 汽车槽罐运输 21 HCl/H2/Ne 4.5%HCl/H2/Ne kg 镭射结晶 汽车槽罐运输 22 BF3 6N kg 镭射结晶 桶装供应使用汽车运输 23 BCL3 5N t / 汽车槽罐运输 24 Ne Ne/100 ppm H2 6N kg / 桶装供应使用汽车运输 第 21 页共 168 页

27 一阶 序号材料名称主要规格和成分单位 月环评使用量 段月使用 备注 运送方式 量 二 彩膜工程 1 玻璃基板 (CF) (0.7)mm 片 60K 12K / 使用汽车运输 2 Developer (Dev1) 显影液 Na2CO3 3.2% + NaHCO3 1.1% L / 汽车槽罐运输 3 CF PR (BM) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 4 CF PR (R) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 5 CF PR (G) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 6 CF PR (B) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 7 CF PR (OC) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 8 CF PR (PS) 光阻 压克力树脂及丙烯酸化合物 20~30%, 丙二醇甲醚醋酸酯 40~50% kg / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 9 Solvent SC9500 L / 汽车槽罐运输 10 Detergent PK-LCG44 L / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 11 Recycle-stripper KOH(20%), 水 (80%) L / 12 Developer (TMAH) TMAH(2.38%) L / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 第 22 页共 168 页

28 一阶 序号材料名称主要规格和成分单位 月环评 使用量 段月使用 备注 运送方式 量 显影液 13 Developer (TMAH) 显影液 TMAH(0.4%) L / / 14 MCA 乙酸甲酯 L / 汽车槽罐运输 三 1 NMP, 洗 A 輪 N-Methyl-2-Pyrrolidone (NMP;N- 甲基吡 咯酮 ) 成盒工程 L 清洗 固化桶装供应使用汽车运输 2 flush ( 洗济 ) KOH kg / 使用汽车运输 3 Detergent ( 洗涤剂 ) M-LO (0.5%),TS-5(0.5%) 洗劑, 聚烷基醇混合物 PolyoxyAlkylene derivative L / 使用汽车运输 4 Sealant ( 密封胶 ) Acrylate monomer(85%~90%) kg / 使用汽车运输 5 PI( 配向材料 ) 聚亞醯胺 Polyimide kg / 使用汽车运输 6 LC( 液晶 ) 正型 Posi 或負型 Nega,polymer kg / 使用汽车运输 7 EL( 乳酸乙酯 ) 100% 乳酸乙酯 t IPA( 异丙醇 ) 100%CH3CHOOHCH3 L 根据产品,EL 与 IPA 二择一 根据产品,IPA 与 EL 二择一 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 9 PI 剥离剂 (EP-5) 二醇类溶剂 40-55%, 醇类溶剂 15-30% L PI 回收清洗汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 10 POL CF 以 5 为主片 60K 12K 来自彩膜工程使用汽车运输 11 POL TFT 以 5 为主片 60K 12K 来自阵列工程使用汽车运输 第 23 页共 168 页

29 序号 材料名称 主要规格和成分 单位 一阶月环评段月使用量使用 备注 运送方式 量 四 薄化工程 1 密封胶 Acrylate monomer(85%~90%) kg / 汽车槽罐运输 ( 罐装 ) 2 氢氟酸 HF(55%),H2O(45%) t 此为单酸成分, 制程用酸浓度为 KF:1%~3% 汽车槽罐运输 Etching:10%~20% Clean:1%~3% 3 硫酸 H2SO4(98%) t 此为单酸成分, 制程用酸浓度为 汽车槽罐运输 KF:70% 4 硫酸 H2SO4 (75%) t 此为单酸成分, 制程用酸浓度为 汽车槽罐运输 KF:70% 5 盐酸 HCl(33%),H 2O(67%) t 此为单酸成分, 制程用酸浓度为 汽车槽罐运输 Etching:10%~30% 6 KOH KOH(45%) t / / 7 研磨剂 CeO2(25~75%) kg 研磨 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 8 洗剂 NaOH/KOH(1%~10%) t / 汽车槽罐运输 ( 桶装 ) 9 导电膜 t / / 第 24 页共 168 页

30 序号 材料名称 主要规格和成分 单位 一阶月环评段月使用量使用 备注 运送方式 量 五 触控工程 1 靶材 (Array) ITO 套 / 使用汽车运输 2 洗剂 (KOH) KOH(<10%), 螯合剂 (<10%), 界面活性剂 (<2%), 水 (<35%) L / 使用汽车运输 ( 桶装 ) 3 剥离液 N321 m / 使用汽车运输 4 显影液 25% 四甲基氢氧化铵 TMAH m / 汽车槽罐供应 5 光刻胶 AZ SR-210, 主要成分 90% 丙二醇单甲醚乙酸酯 PGMEA m / 使用汽车运输 6 帶電防止液 Coconut oil Alkyldimethyl β m / 桶装供应使用汽车运输 7 ITO 刻蚀液 3.4% 草酸 m / 汽车槽罐运输 六 模块装配 1 驱动 IC(X TCP) 5 w (1 颗 / 片 ) K 颗 / 使用汽车运输 2 驱动 IC(Y TCP) 8"w (1 颗 / 片 ) K 颗 / 使用汽车运输 3 印刷线路板 PCB 以 8 为主 K 片 / 使用汽车运输 4 柔性线路板 FPC 5"w K 片 / 使用汽车运输 5 POL CF 以 5 为主 K 片 / 使用汽车运输 6 POL TFT 以 5 为主 K 片 / 使用汽车运输 7 Detergent ( 洗涤剂 ) M-LO (0.5%),TS-5(0.5%) 洗劑, 聚烷基 醇混合物 PolyoxyAlkylene derivative L / 使用汽车运输 第 25 页共 168 页

31 3.3 环评结论及环评批复的要求 环评结论 南京国环环境科技发展股份有限公司在对该项目环评报告书中 提出的结论如下 : 变更项目位于昆山经济技术开发区内, 项目建设符合国家的相 关产业政策和江苏省各项企业准入条件要求, 选址符合 昆山市城 市总体规划 ( ) 和 昆山经济技术开发区总体规划 ( ) 的要求, 工程及采取的污染防治措施符合 太湖流 域管理条例 江苏省太湖水污染防治条例 水污染防治行动计 划 大气污染防治行动计划 等国家和江苏省相关要求 变更项 目社会效益明显 经济效益良好, 通过采用各项先进的生产技术, 项目产污量少 能耗低, 清洁生产水平较高 ; 变更项目废气 废水 噪声 固体废物均能实现达标排放和安全处置 ; 主要污染物排放总 量较原批复项目降低 ; 预测表明变更项目对外环境的影响减小 ; 经 区域综合整治, 地表水环境质量和环境空气质量可以得到有效改善 ; 通过采取有效的风险防范和应急措施后, 变更项目的环境风险可以 接受 ; 公众对变更项目建设表示支持, 无反对意见 因此, 从环境保护角度来看, 在落实原项目环评批复要求和本 次环评提出环境保护和风险防范措施的前提下, 变更项目建设具有 环境可行性 环评批复的要求 中华人民共和国环境保护部的批复见附件 3.4 建设项目无重大变动说明 本次验收规模为友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段, 涵括产能为 12.5K 第 26 页共 168 页

32 片 / 月 (15 万片 / 年 ) 根据江苏省环保厅 关于加强建设项目重大变 动环评管理的通知 ( 苏环办 [2015]256 号 ) 要求, 本次验收的第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段项目 实际建设情况在产品 生产能力 生产装置及配套仓储设施 建设 地点 生产工艺和环境保护措施等方面均未发生重大变动 4. 污染物的排放及防治措施 4.1 废水排放及防治措施本项目第一阶段废水主要包括生产废水和生活污水, 其中生产废水包括酸碱废水 无机废水 ( 含氟废水 含磷废水 ) 有机废水 ( 工艺有机废水和废气洗涤塔废水 ) 酸碱废水经酸碱中和处理后接入昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ); 含氟废水采用氟化钙絮凝沉淀预处理后接入有机废水处理系统, 最终接入昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ); 含磷废水采用化学沉淀预处理后接入有机废水处理系统, 最终接入昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ); 有机废水采用生物处理法预处理后进入有机废水处理系统, 最终接入昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 生活污水经化粪池 / 隔油池处理后, 经过生活污水排放口排入开发区污水管网, 接入昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业 第 27 页共 168 页

33 园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 的尾水排放至太仓塘 全厂共设置工业废水接管口 1 个, 生活污水接管口 1 个, 雨水 排口 9 个 具体废水排放及处理措施情况见表 4-1 废水走向及监测 点位示意图见图 4-1, 有机废水处理工艺流程图见图 4-2, 全厂废水 接管口 雨水排口位置示意图见图 4-3 废水排口标识牌见图 4-4 第 28 页共 168 页

34 生产 废水 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 类别 表 4-1 废水排放及防治措施 环评废 水量 万吨 / 天 酸碱废水 1210 无机 废水 含氟废 水 含磷废 水 有机废水 3140 生活污水 400 雨水 / 污染物名称 环评设计 治理措施 酸碱中和处理后 ph 化学需氧接入蓬朗污水处量 悬浮物理厂 实际建设 同环评 同环评, 最终 接入昆山经济氟化钙絮凝沉淀技术开发区水 ph 化学需氧后, 进入有机废水务有限公司光量 悬浮物 处理系统处理后电产业园污水氟化物 氨氮接入蓬朗污水处处理分公司理厂 ( 即蓬朗污水 处理厂 ) 废水最终去向 同环评, 最终昆山经济技术接入昆山经济开发区水务有化学沉淀处理后, ph 化学需氧技术开发区水限公司光电产进入有机废水处量 悬浮物 务有限公司光业园污水处理理系统处理后接磷酸盐 氨电产业园污水分公司 ( 即蓬入蓬朗污水处理氮 总氮 铝处理分公司朗污水处理厂 ( 即蓬朗污水厂 ) 处理后排处理厂 ) 入太仓塘 ph 化学需氧生物处理后, 进入生物处理包含量 悬浮物 有机废水处理系在有机废水处五日生化需统处理后接入蓬理系统中, 其氧量 氨氮 朗污水处理厂他同环评总氮 ph 化学需氧 量 悬浮物 隔油池 / 化粪池处五日生化需理后, 接入蓬朗污氧量 氨氮 水处理厂总氮 动植物 油 总磷 ph 化学需氧 量 悬浮物 / 同环评 雨水排口, 排 到蓬西河 蓬西河 第 29 页共 168 页

35 酸碱废水 S1 酸碱废水处理系统 含氟废水 S3 氟化钙絮凝沉淀 S4 S2 含磷废水 S5 化学沉淀 S6 有机废水 S7 有机废水处理系统 S8 生活污水隔油池 / 化粪池生产废水接管口 S9 S10 开发区供水工程 蓬朗污水处理厂 进口 S11 S12 回用至企业 太仓塘 雨水排口 S13 蓬西河 图 4-1 废水处理流程及监测点位示意图 图 4-2 有机废水处理流程图 第 30 页共 168 页

36 图 4-3 全厂废水接管口 雨水排口位置示意图 第 31 页共 168 页

37 图 4-4 工业接管口 废水接管口 雨水排口标识牌 第 32 页共 168 页

38 4.2 废气排放及防治措施 本项目第一阶段有组织废气主要包括酸性废气 碱性废气 CVD 废气 剥离废气 有机废气和锅炉废气 酸性废气通过酸性废气处理系统处理, 主要处理工艺是碱液喷 淋吸收, 本阶段共设置 10 套酸性废气处理系统处理, 其中 : 阵列厂 房 (A/C 栋 ) 有 3 套, 配套 3 根排气筒 ; 薄化工程厂房 (B 栋 ) 有 5 套, 配套 5 根排气筒 ; 动力厂房 (G 栋 ) 有 1 套, 配套 1 根排气筒 ; 废水处理站有 1 套, 配套 1 根排气筒 碱性废气通过碱性废气处理系统处理, 主要处理工艺是酸液喷 淋吸收, 本阶段共设置 9 套碱性废气处理系统, 其中 : 阵列厂房 (A/C 栋 ) 有 4 套, 配套 4 根排气筒 ; 成盒工程厂房 (F 栋 ) 有 2 套, 配 套 2 根排气筒 ; 触控工程厂房 (B 栋 ) 有 1 套, 配套 1 根排气筒 ; 动力厂房 (G 栋 ) 有 2 套, 配套 1 根排气筒 CVD 废气通过 CVD 废气处理系统处理, 主要处理工艺是经 POU 处理设备 ( 燃烧法进行燃烧处理 ) 处理后, 再通过碱液喷淋吸收塔 处理 本阶段共设置 3 套 CVD 废气处理系统, 配套 3 根排气筒, 位 于阵列厂房 (A/C 栋 ) 剥离废气通过剥离废气处理系统处理, 主要处理工艺是冷凝 + 酸液喷淋吸收 本阶段共设置 2 套剥离废气处理系统, 配套 2 根排 气筒, 位于阵列厂房 (A/C 栋 ) 有机废气通过 沸石浓缩转轮 +RTO 处理系统处理, 本阶段共 设置 8 套处理系统, 其中 : 阵列厂房 (A/C 栋 )6 套, 配套 6 根排气 第 33 页共 168 页

39 筒 ; 成盒工程厂房 (F 栋 )2 套, 配套 2 根排气筒 锅炉均为燃气锅炉, 废气直接排放, 其中 U 栋 3 台热水锅炉 (2 用 1 备 ), 合并 1 根排气筒 ;G 栋 2 台蒸汽锅炉 (1 用 1 备 ),1 根排 气筒 图 4-5 无组织废气主要来源于气体储运 使用及污水处理站 具体废气污染物排放及治理措施见表 4-2 部分排气筒标识牌见 第 34 页共 168 页

40 表 4-2 废气排放及防治措施 环评设计 第一阶段实际建设 污染源名称 酸性废气 碱性废气 所在厂房 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 薄化工程厂房 (B 栋 ) G 栋 废水处理站 (U 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 触控工程厂房 (B 栋 ) 污染物名称 氮氧化物 氯化氢 氟化物 氯气 磷酸雾 硝酸雾 醋酸 氟化物 氯化氢 硫酸雾 三氟化氮 氯化氢 氨 氨 治理措施 湿式洗涤塔, 4 套 (3 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 5 套 (4 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 ) 湿式洗涤塔 4 套 (2 用 2 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 ) 排气筒数量 ( 个 ) 排放参数 排气筒高度 (m) 出口内径 (m) 治理措施 同环评, 碱液喷淋吸收, 共 3 套 同环评, 碱液喷淋吸收, 共 5 套 同环评, 碱液喷淋吸收, 共 1 套 同环评, 碱液喷淋吸收, 共 1 套 同环评, 酸液喷淋吸收, 共 4 套 同环评, 酸液喷淋吸收, 共 1 套 排气筒数量 ( 个 ) 3 5 排气筒编号 FQ 至 FQ 排放参数 FQ 至 FQ 排气筒高度 (m) 出口内径 (m) / FQ FQ 至 FQ FQ 成盒工程氨湿式洗涤塔, 同环评, 酸液喷淋 2 FQ 第 35 页共 168 页

41 环评设计 第一阶段实际建设 污染源名称 剥离废气 CVD 废气 有机废气 所在厂房 厂房 (F 栋 ) 动力厂房 (G 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 触控工程厂房 (B 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 成盒工程厂房 (F 栋 ) 污染物名称 氨 总挥发性有机物 总挥发性有机物 氟化物 二氧化硅 氨 磷烷 硅烷 氯化氢 总挥发性有机物 氮氧化物 总挥发性有机物 氮氧化物 治理措施 2 套 (1 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 ) 湿式洗涤塔, 2 套 (1 用 1 备 POU 处理设备 + 湿式洗涤塔,4 套 (3 用 1 备 ) 沸石浓缩转轮 +RTO 炉, 8 套 (5 用 3 备 ) 沸石浓缩转轮 +RTO 炉, 2 套 (1 用 1 备 ) 排气筒数量 ( 个 ) 排放参数 排气筒高度 (m) 出口内径 (m) 治理措施 吸收, 共 2 套 同环评, 酸液喷淋吸收, 共 2 套 同环评, 冷凝 + 酸液喷淋吸收, 共 2 套 排气筒数量 ( 个 ) 排气筒编号 排放参数 至 FQ 排气筒高度 (m) 出口内径 (m) 1 FQ FQ 至 FQ 暂未建设 / / / / POU 处理设备 + 碱液喷淋吸收塔, 共 3 套 同环评, 沸石浓缩转轮 +RTO, 共 6 套 同环评, 沸石浓缩转轮 +RTO, 共 2 套 FQ 至 FQ FQ 至 FQ FQ 至 FQ 第 36 页共 168 页

42 环评设计 第一阶段实际建设 污染源名称 锅炉废气 无组织 所在厂房 触控工程厂房 (B 栋 ) U 栋热水锅炉 G 栋蒸汽锅炉 污染物名称 总挥发性有机物 氮氧化物 烟尘 二氧化硫 氮氧化物 烟尘 二氧化硫 氮氧化物 总挥发性有机物 氨 三氟化氮 氯化氢 治理措施 沸石浓缩转轮 +RTO 炉, 2 套 (1 用 1 备 ) 3 台天然气锅炉,2 用 1 备, 废气直排 3 台天然气锅炉,2 用 1 备, 废气直排 排气筒数量 ( 个 ) 排放参数 排气筒高度 (m) 出口内径 (m) 治理措施 排气筒数量 ( 个 ) 排气筒编号 排放参数 排气筒高度 (m) 暂未建设 / / / / 台天然气锅炉, 2 用 1 备, 废气直排 2 台天然气锅炉, 1 用 1 备, 废气直排 出口内径 (m) 1 FQ FQ / / / / / / / / 第 37 页共 168 页

43 图 4-5 部分废气排口标识牌图片 第 38 页共 168 页

44 4.3 噪声及其防治措施 项目第一阶段的噪声污染来源于冷冻机组 空压机 真空泵 风机以及水泵等 主要噪声源及防治措施见表 4-3 表 4-3 主要噪声源及防治措施 设备名称 环评数量 本阶段数量 所在位置 来源 治理措施 ( 台 / 套 ) ( 台 / 套 ) 冷冻机组 17 9 动力厂房 CUB 一层 冷冻水系统 抗震基座 / 合理布局 水泵 8 13 废水处理站一层纯水系统抗震基座 / 室内 水泵 6 9 组合式冷却塔 空压机 干燥机 废水处理站负一层动力厂房 CUB 屋顶 动力厂房 CUB 一层 给水系统 循环冷却系统 压缩空气系统 抗震基座 / 室内 抗震基座 / 合理布局 抗震基座 / 室内 真空泵 8 9 主厂房真空系统抗震基座 / 独立房间 风机 风机 7 10 风机 5 10 风机 2 2 风机 3 3 风机 6 8 主厂房 风机 2 3 废水处理站二层 一般废气排风系统 抗震基座 酸性废气处理系统 抗震基座 / 独立房间 碱性废气处理系统 抗震基座 / 独立房间 剥离废气处理系统 抗震基座 / 独立房间 CVD 废气处理系抗震基座 / 独立房间统 有机废气处理系统 抗震基座 / 独立房间 酸性废气处理系统 抗震基座 / 合理布局 风机 8 5 锅炉房燃气锅炉抗震基座 / 独立房间 真空泵 3 2 动力厂房 G 屋顶 废剥离液回收设备 抗震基座 / 合理布局 第 39 页共 168 页

45 4.4 固体废物及其处置 固废包括一般工业固废和危险固废 一般工业固体废物主要有 废包装材料 废手套 鞋套 废铁质材料 废玻璃基板边角料 办 公垃圾以及有机废水处理系统产生的生化污泥 生活垃圾等 ; 危险 固废主要有刻蚀废液 薄化酸废液 光刻胶废液 OK-73 废液 剥 离废液 PI 剥离剂 MCA 剥离废液 KOH 废液 乳酸乙酯废液 IPA 废液 NMP 废液 POU 焚烧粉尘和含氟污泥等 具体固体废物 处理方式见表 4-4 表 4-4 固体废物产生及处置情况 序号 固废名称属性危废类别产生工序 1 刻蚀废液危废 HW 薄化废酸液 薄化玻璃渣 OK-73 废液 阵列 触控工程刻蚀工序 环评产生量 (t/a) 运行至 2017 年 8 月 31 的产生量 (t) 危废 HW32 薄化工程 危废 危废 HW32 HW06 5 剥离废液危废 HW06 薄化工程刻蚀 阵列工程光刻工序 ( 稀释剂 ) 阵列工程和剥离工序 NMP 废液危废 HW06 成盒工程 利用处置方式 委托盱眙绿环水处理有限公司处理 委托镇江市和云工业废水处置有限公司和盱眙绿环水处理有限公司处理委托光大环保 ( 苏州 ) 固废处置有限公司处理委托无锡安盛资源再生有限公司处理委托江苏盈天化学有限公司处理委托江苏盈天化学有限公司和苏州市晶协高新电子材料有限公司处理 第 40 页共 168 页

46 序号 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 固废名称属性危废类别产生工序 MCA 剥离废液 Other Solvent CF Rinse-01 CF Rinse-02 危废 HW06 彩膜工程剥离工序 环评产生量 (t/a) 运行至 2017 年 8 月 31 的产生量 (t) 危废 HW06 / / 危废 HW06 / / 86.7 危废 HW06 / / 丙酮废液危废 HW42 / / 含氟污泥危废 HW PGMEA 废液 沾有化学品之废容器沾有化学品之介质 16 生化污泥 17 工业垃圾 18 生活垃圾 19 其他一般固废 无机废水处理系统 危废 HW06 / / 危废 HW49 / / 2.9 利用处置方式 由苏州瑞环化工有限公司处理委托江苏盈天化学有限公司处理委托江苏盈天化学有限公司处理委托江苏盈天化学有限公司处理委托苏州市晶协高新电子材料有限公司处理委托光大环保 ( 苏州 ) 固废处置有限公司处理 委托昆山德源环保处理 委托无锡安盛 江阴江南金属桶厂处理 危废 / / / 8 暂存 一般固废 一般固废 一般固废 一般固废 / 有机废水处理系统 / / / / 生活 / 生产 生活 委托江苏国翔 南京荣辉和江苏明发处理 委托淮北利民环保处理 委托森茂环卫处理 委托淮北利民 绿恩环保和巢湖爱华处理 20 汞灯危废 / / / 1 暂存 21 光刻胶废液 危废 / 阵列工程 光刻工序 暂存 22 EL 废液危废 / 成盒工程 / 23 IPA 废液危废 / 成盒工程 / 第 41 页共 168 页

47 序号 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 固废名称属性危废类别产生工序 环评产生量 (t/a) 运行至 2017 年 8 月 31 的产生量 (t) 利用处置方式 24 硬化光阻危废 / / / 0 / 25 PI 剥离剂危废 / 成盒工程 18 0 / POU 焚烧粉尘 TMAH 废液 危废 / 危废 / 28 KOH 废液危废 / 注 : 实际产生量由建设单位提供, 具体见附件 CVD 废气处理系统 阵列工程显影工序 彩膜工程显影工序 / 867 / 439 / 为中间产物, 最终不产生 为中间产物, 最终不产生 第 42 页共 168 页

48 图 4-6 固废 危废堆场图片 第 43 页共 168 页

49 5. 验收监测评价标准 5.1 废水排放标准依据中华人民共和国环境保护部对该项目的环评批复, 本项目生产废水接管废水执行昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 接管协议中规定的进水水质标准 生活废水接管废水执行生活污水接管协议要求 昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 尾水水质中的化学需氧量 氨氮 总磷和总氮执行 太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值 (DB32/ ) 表 2 标准, 其他因子执行 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准 具体排放标准限值见表 5-1 至表 5-3 第 44 页共 168 页

50 表 5-1 生产废水接管标准 单位 :mg/l, ph 无量纲 序号类别污染物限值执行标准依据 1 ph 6~9 2 化学需氧量 五日生化需氧量 悬浮物 生产废水总氮 40 6 氨氮 30 7 总磷 氟化物 10 9 石油类 5 蓬朗污水处理厂接管协议中规定的进水水质标准 表 5-2 生活污水接管标准 单位 :mg/l, ph 无量纲 序号类别污染物限值执行标准依据 1 ph 6.5~9.5 2 化学需氧量 悬浮物 400 生活污水 5 总氮 70 6 氨氮 45 7 动植物油 100 生活污水接管协议要求 注 : 接管协议要求进水水质执行 污水排入城市下水道水质标准 (CJ ), 该标准已被 污水排入城镇下水道水质标准 (GB/T ) 代替, 故本表中列出的是新标准限值 表 5-3 昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处 理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 出水水质标准 单位 :mg/l, ph 无量纲 序号类别污染物限值执行标准依据 1 ph 值 6~9 2 悬浮物 10 3 五日生化需氧量 10 4 石油类 1 蓬朗污水处理 5 动植物油 1 厂出水水质 6 化学需氧量 50 7 氨氮 5(8) 8 总磷 总氮 15 注 : 括号外数值水温 >12 时的控制指标, 括号外数值为水温 12 时的控制指标 城镇污水处理厂污染物排放标 准 (GB ) 一级 A 标 准 太湖地区城镇污水处理厂及重 点工业行业主要水污染物排放限 值 (DB32/ ) 表 2 标准 第 45 页共 168 页

51 5.2 废气排放标准 依据中华人民共和国环境保护部对该项目的环评批复, 氯化氢 氮氧化物 硫酸雾 氟化物 氯气及粉尘排放浓度和排放速率应满 足 大气污染物综合排放标准 (GB ) 二级标准 ; 氨气排 放应满足 恶臭污染物排放标准 (GB ) 要求 ; 总挥发性有 机化合物排放浓度和排放速率应满足参照的 光电材料及元件制造 业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 要求 ; 硝酸雾 磷 酸雾排放浓度和排放速率应满足参照的 北京市大气污染物综合排 放标准 (DB11/ ) 要求 ; 乙酸排放浓度应满足前苏联车间 空气中有害物最大允许浓度要求 ; 锅炉废气排放应满足 锅炉大气 污染物排放标准 (GB ) 要求 无组织非甲烷总烃 氯化氢执行 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值, 氨执行 恶臭污 染物排放标准 (GB ) 表 1 二级新扩改建标准 具体排放标 准限值见表 5-4 表 5-4 废气排放标准限值 污染源 污染物 排气筒 高度 (m) 排放限值 (mg/m 3 ) 排放速率 (kg/h) 依据标准 酸性废气 ( 陈列工程厂房 薄化工程厂房 ) 氮氧化物 氯化氢 氟化物 氯气 硫酸雾 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 第 46 页共 168 页

52 污染源酸性废气 ( 废水处理站 ) 碱性废气 ( 陈列工程厂房 触控工程厂房 成盒工程厂房 ) 碱性废气 ( 动力厂房 ) 剥离废气 ( 陈列工程厂房 ) CVD 废气 ( 陈列工程厂房 ) 污染物 排气筒排放限值排放速率高度 (mg/m 3 ) (kg/h) (m) 磷酸雾 硝酸雾 醋酸 29 5 / 氯化氢 氨 29 / 20 氨 15.5 / 4.9 排放速率总挥发性有机 29 / <0.4 或去除物效率 >85% 氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 磷化氢 氨 29 / 20 氯化氢 依据标准 大气污染物综合排放标准 (DB11/ ) 表 1Ⅱ 时段标准参照环评前苏联车间空气中有害物最高允许浓度 * 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准 * 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 大气污染物综合排放标准 (DB11/ ) 表 1Ⅱ 时段标准 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 第 47 页共 168 页

53 污染源有机废气 ( 陈列工程厂房 成盒工程厂房 ) 污染物 排气筒排放限值排放速率高度 (mg/m 3 ) (kg/h) (m) 排放速率总挥发性有机 29 / <0.4 或去除物效率 >85% 氮氧化物 烟尘 21.6/ / 依据标准 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 二氧化硫 21.6/ / 锅炉废气 氮氧化物 21.6/ / 烟气黑度 ( 林格 曼黑度, 级 ) 21.6/ / 氯化氢 / 0.20 / 非甲烷总烃 / 4.0 / 无组织 氨 / 1.5 / 注 :* 标准数据参照环评 锅炉大气污染物排放标准 (GB ) 表 3 标准 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值 恶臭污染物排放标准 (GB ) 表 1 二级新扩改建标准 5.3 厂界噪声标准厂界噪声执行 工业企业厂界环境噪声排放标准 ( GB )3 类标准 敏感点执行 声环境质量标准 (GB )3 类标准 具体标准限值见表 5-5 表 5-5 厂界噪声标准限值 类别时段标准值排放标准 单位 :LeqdB(A) 厂界 敏感点 昼间 65 工业企业厂界环境噪声排放标 夜间 55 准 (GB )3 类标准 昼间 65 声环境质量标准 夜间 55 (GB )3 类标准 第 48 页共 168 页

54 6. 验收监测内容 6.1 废水监测本项目废水监测点位 项目及频次见表 6-1 厂区内废水监测点位见图 4-1 表 6-1 废水监测点位 因子和频次 监测点位编号监测因子监测频次 酸碱废水处理系统进口 酸碱废水处理系统出口 S1 S2 ph 值 化学需氧量 悬浮物 含氟废水氟化钙絮凝沉淀前 含氟废水氟化钙絮凝沉淀后 S3 S4 ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 氟 化物 含磷废水化学沉淀前含磷废水化学沉淀后有机废水处理前有机废水处理系统出口生产废水接管口生活污水接管口蓬朗污水处理厂污水处理设施进口蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 S5 S6 S7 S8 S9 S10 S11 S12 ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 总氮 总磷 铝 4 次 / 天, 连续 2 天 ( 其 ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 总中雨水排氮 五日生化需氧量口 1 次 / 天, 共 2 天 ) ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 总氮 五日生化需氧量 氟化物 铝 石油类 总磷 ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 总氮 动植物油 ph 值 化学需氧量 悬浮物 氨氮 总磷 五日生化需氧量 石油类 氟化物 铝 总氮 动植物油 雨水排口 S13 ph 值 化学需氧量 悬浮物 注 : 厂区共有雨水排口 9 个, 抽测 1 个, 有流动水时监测 监测期间, 雨水排口无流动水, 故未监测 6.2 废气监测 本项目废气监测点位 因子和频次见表 6-2 第 49 页共 168 页

55 表 6-2 废气监测点位 因子和频次 污染处理设施名称 所在厂房阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 所在污染处理设施对应排气筒编号 监测点位编号 监测孔所在管径 ( 进口 / 出口 ) (m) 监测因子 FQ 进口 Q1 出口 Q2 1.35/1.35 废气参数 氮氧化物 FQ 进口 Q3 出口 Q4 1.35/1.35 氯化氢 氟化物 氯气 醋酸排放浓度及 FQ 进口 Q5 出口 Q6 1.35/1.35 速率, 去除效率 监测频次 FQ 出口 Q 酸性废气处理系统 薄化工程厂房 (B 栋 ) 废水处理站 (U 栋 ) FQ 出口 Q FQ 出口 Q FQ 出口 Q FQ 出口 Q FQ 进口 Q12 出口 Q13 1.8/1.3 废气参数 氟化物 氯化氢 硫酸雾排放浓度及速率, 去除效率废气参数 氯化氢排放浓度及速率, 去除效率 3 次 / 天, 连续 2 天 ( 等时间间隔间隔采样 ) 碱性废气处理系统 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 进口 Q14 出口 Q15 1.2/1.1 FQ 进口 Q16 出口 Q17 1.2/1.1 FQ 进口 Q18 出口 Q19 1.2/1.1 FQ 进口 Q20 出口 Q21 1.2/1.1 废气参数 氨排放浓度及排放速率, 去除效率 触控工程厂房 (B 栋 ) FQ 进口 Q22 出口 Q23 0.8/0.75 废气参数 氨排放浓度及排放速率, 去除 第 50 页共 168 页

56 污染处理设施名 称 所在厂房 所在污染处理设 施对应排气筒编 号 监测点位编号 监测孔所在管径 ( 进口 / 出口 ) (m) 监测因子 效率 监测频次 剥离废气处理系统 CVD 废气处理系统有机废气处理系统 成盒工程厂房 (F 栋 ) 动力厂房 (G 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ FQ 进口 Q24 出口 Q25 进口 Q26 出口 Q / /0.65 废气参数 氨排放浓度及排放速率, 去除效率 FQ 进口 Q 废气参数 氨排放浓 FQ 进口 Q 度及排放速率, 去除 FQ 合并出口 Q 效率 FQ 进口 Q31 出口 Q /1.25 废气参数 非甲烷总 烃排放浓度及排放速 FQ 进口 Q33 出口 Q /1.25 率, 去除效率 FQ 出口 Q 废气参数 氟化物 FQ 出口 Q 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 磷化氢 氨 氯化氢 FQ 出口 Q 排放浓度及排放速 率, 去除效率 FQ 进口 Q38 出口 Q /1.25 FQ 进口 Q40 出口 Q /1.25 废气参数 非甲烷总 FQ 进口 Q42 出口 Q /1.25 烃 氮氧化物排放浓度及排放速率, 去除 FQ 进口 Q44 出口 Q /1.25 效率 FQ 进口 Q46 出口 Q /1.25 第 51 页共 168 页

57 污染处理设施名 称 锅炉废气 所在厂房 成盒工程厂房 (F 栋 ) 所在污染处理设 施对应排气筒编 号 监测点位编号 监测孔所在管径 ( 进口 / 出口 ) (m) FQ 进口 Q48 出口 Q /1.25 FQ 进口 Q50 出口 Q51 FQ 出口 Q53 1.3/1.2 监测因子 1.3/1.2 废气参数 非甲烷总烃 氮氧化物排放浓 度及排放速率, 去除 U 栋热水锅炉 FQ 排气筒出口 Q 废气参数 烟尘 二 G 栋蒸汽锅炉 FQ 排气筒出口 Q 无组织厂界上风向 Q56, 厂界下风向 Q57~59 注 : 依据 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 总挥发性物以非甲烷总烃计 效率 氧化硫 氮氧化物 烟气黑度 气象参数 氨 氯化 氢 非甲烷总烃浓度 监测频次 3 次 / 天, 连续 2 天 ( 等时间间隔间隔采样 ), 其中氨是 4 次 / 天 第 52 页共 168 页

58 6.3 厂界噪声监测 本项目建设地点位于江苏省昆山经济开发区龙腾路 6 号, 东侧 为蓬曦北路, 西侧为富春江路, 南侧为龙腾路, 北侧为龙飞路 本 次在厂界布设 8 个噪声测点, 蓬北村设置 1 个噪声敏感目标 监测 2 天, 每天昼 夜各 2 次 具体监测点位见图 监测质量保证及分析方法 本次监测的质量保证按照江苏省苏力环境科技有限责任公司编制的 质量手册 的要求, 实施全过程质量保证 按质控要求废水样品增加平行样和加标回收样 监测人员经过考核并持有合格证书, 所有监测仪器经过计量部门检定, 并在有效期内, 现场监测仪器使用前经过校准, 监测数据实行三级审核 废水 废气 噪声监测分析方法依据见表 7-1, 废水质控情况见表 7-2 表 7-1 废水 废气 噪声监测分析方法依据 项 目 监测分析方法依据 ph 值 水质 ph 值的测定玻璃电极法 GB/T 化学需氧量 高氯废水化学需氧量的测定氯气校正法 HJ/T 水质化学需氧量的测定重铬酸盐法 HJ 废水 悬浮物水质悬浮物的测定重量法 GB/T 氨氮水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 总磷水质总磷的测定钼酸铵分光光度法 GB/T 总氮 氟化物 水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解 - 紫外分光光度法 HJ 水质氟化物的测定离子选择电极法 GB/T 第 53 页共 168 页

59 项目监测分析方法依据 石油类 动植物油 铝 五日生化需氧量 废气参数 ( 氧 温度 流速 ) 水质石油类和动植物油类的测定红外分光光度法 HJ 水质 32 种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法 HJ 水质五日生化需氧量 (BOD5) 的测定稀释与接种法 HJ 固定汚染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 氯化氢环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法 HJ 氟化物 氯气 醋酸 大气固定污染源氟化物的测定离子选择电极法 HJ/T 固定污染源排气中氯气的测定甲基橙分光光度法 HJ/T 醋酸溶剂解吸 - 气相色谱法 工作场所空气有毒物质测定羧酸类化合物 GBZ/T 硫酸雾固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法 HJ 氨环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 废气 ( 有组织 ) 非甲烷总烃 颗粒物 磷化氢 固定污染源排气中非甲烷总烃的测定气相色谱法 HJ/T 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 钼酸铵分光光度法 工作场所空气有毒物质测定无机含磷化合物 (5 磷化氢的钼氨酸分光光度法 )GBZ/T 烟尘锅炉烟尘测试方法 GB/T 二氧化硫 氮氧化物 烟气黑度 固定污染源排气中二氧化硫的测定定电位电解法 HJ/T 固定污染源废气氮氧化物的测定定电位电解法 HJ 固定污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺光度法 HJ/T 固定污染源排放烟气黑度的测定林格曼烟气黑度图法 HJ/T 废气 ( 无组织 ) 氨 环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 氯化氢 环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法 HJ 非甲烷总烃 固定污染源排气中非甲烷总烃的测定气相色谱法 HJ/T 噪声厂界噪声工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 注 :1 本公司及周边第三方公司均不具备磷酸雾 硝酸雾 三氟化氮 硅烷的检测能力 2 锅炉废气的氮氧化物用定电位电解法, 其他均为盐酸萘乙二胺光度法 3S1~S9 废水化学需氧量用氯气校正法, 其余用重铬酸盐法 第 54 页共 168 页

60 表 7-2 废水监测质量控制情况表 项目 样品数 ( 个 ) 检查数 ( 个 ) 平行样加标回收标样 检查率 合格率 检查数 检查 合格率 % % ( 个 ) 率 % % 检查数 合格率 ( 个 ) % 氨氮 / / 动植物油 24 / / / / / / 化学需氧 量 / / / 铝 石油类 24 / / / / / / / / 五日生化 需氧量 / / / / / 总氮 / / 总磷 / / 8. 监测结果与评价 8.1 监测期间工况江苏省苏力环境科技有限责任公司于 2017 年 8 月 15 日至 8 月 18 日 8 月 22 日至 8 月 23 日对友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段废水 废气 噪声等污染源排放现状进行了现场监测和检查 验收监测期间, 生产正常 稳定, 各项环保治理设施均正常运行, 满足竣工验收监测工况条件的要求, 监测期间生产工况见表 8-1 第 55 页共 168 页

61 表 8-1 监测期间生产负荷 监测日期产品类型设计生产能力 ( 第一阶段 ) LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 注 : 以上数据由建设单位提供, 具体说明见附件 8.2 废水监测结果和评价 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 监测期间生产能力 生产负荷 % 313 片 / 天 片 / 天 片 / 天 片 / 天 片 / 天 片 / 天 片 / 天 片 / 天 106 监测结果统计与评价情况详见表 8-2 至表 8-8 监测结果表明, 验收监测期间 : ⑴ 酸碱废水处理系统出口 (S2) 的 ph 范围为 6.85~7.04, 化学需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限 30 mg/l); 悬浮物的日均排放浓度为 8~32 mg/l ⑵ 含氟废水氟化钙絮凝沉淀出口 (S4) 的氟化物日均排放浓度为 6.25~69.4mg/L, 处理效率为 99.3~95.1%;pH 范围为 6.68~6.94; 化学需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限 30 mg/l); 悬浮物的日均排放浓度为 8~32 mg/l; 氨氮的日均排放浓度为 1.60~2.94 mg/l; 氟化物的日均排放浓度为 6.25~69.4 mg/l 第 56 页共 168 页

62 ⑶ 含磷废水化学沉淀后 (S6) 的总磷的日均排放浓度为 0.08~0.12 mg/l, 处理效率为 90.9~97.1%;pH 范围为 6.81~6.89; 化学需氧量 的日均排放浓度为 ND( 检出限 30 mg/l); 悬浮物的日均排放浓度 为 7~46mg/L; 氨氮的日均排放浓度为 6.68~16.5 mg/l; 总氮的日均 排放浓度为 12.8~22.9 mg/l; 总磷的日均排放浓度为 0.08~0.12 mg/l, 铝的日均排放浓度为 ND( 检出限为 0.01 mg/l) ⑷ 有机废水处理系统出口 (S8) 的 ph 值范围为 7.43~7.49, 化 学需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限为 30 mg/l), 处理效率为 94.1~95.0%; 五日生化需氧量的日均排放浓度为 1.1~1.4 mg/l, 处理 效率为 99.5~99.7%; 氨氮的日均排放浓度为 0.034~0.040 mg/l, 处 理效率为 99.5~99.8%; 悬浮物的日均排放浓度为 7~26 mg/l, 处理 效率为 53.3~66.7%; 总氮的日均排放浓度为 1.05~2.38 mg/l, 处理 效率为 91.8~95.7% ⑸ 生产废水接管口 (S9) 的 ph 值范围及化学需氧量 五日生 化需氧量 悬浮物 总氮 氨氮 总磷 氟化物 石油类的日均排 放浓度均符合昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处 理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 接管协议中规定的进水水质标准要 求 其中 ph 值范围为 7.30~7.50, 化学需氧量的日均排放浓度为 ND ( 检出限为 30 mg/l), 五日生化需氧量的日均排放浓度为 1.6~4.7 mg/l, 悬浮物的日均排放浓度为 6~9 mg/l, 总氮的日均排放浓度为 1.75~2.13 mg/l, 氨氮的日均排放浓度为 0.060~0.062 mg/l, 总磷的 日均排放浓度为 0.06~0.18 mg/l, 氟化物的日均排放浓度为 4.86~6.68 第 57 页共 168 页

63 mg/l, 石油类的日均排放浓度为 0.06~0.07 mg/l ⑹ 生活污水接管口 (S10) 的 ph 值及化学需氧量 悬浮物 总 氮 氨氮 动植物油的日均排放浓度均满足生活污水接管协议要求 其中,pH 值的范围为 8.12~8.36, 化学需氧量的日均排放浓度 210~340 mg/l, 悬浮物的日均排放浓度为 18~44 mg/l, 总氮的日均排放浓度 为 2.30~2.79 mg/l, 氨氮的日均排放浓度为 0.062~0.064 mg/l, 动植 物油的日均排放浓度为 11.0~33.9 mg/l ⑺ 蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 (S12) 的 ph 值范围及悬 浮物 五日生化需氧量 石油类 动植物油的日均排放浓度均满足 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准, 化学需氧量 氨氮 总磷 总氮的日均排放浓度均满足 太湖地区 城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值 (DB32/ ) 表 2 标准 其中 ph 值的范围为 7.39~7.64, 悬 浮物的日均排放浓度为 9~10 mg/l, 处理效率不明显 ; 五日生化需氧 量的日均排放浓度为 ND ( 检出限为 0.5mg/L ), 处理效率为 91.2~91.3%; 石油类的日均排放浓度为 0.10~0.13 mg/l, 处理效率为 69.7~86.7%; 动植物油的日均排放浓度为 0.20~0.22 mg/l, 处理效率 为 88.2~89.1%; 化学需氧量的日均排放浓度为 13~16 mg/l, 处理效 率为 88.3~89.7%; 氨氮的日均排放浓度为 0.094~0.149 mg/l, 处理 效率为 99.3~99.4%; 总磷的日均排放浓度为 0.12~0.14 mg/l, 处理 效率为 95.2~95.5%; 总氮的日均排放浓度为 3.10~3.92 mg/l, 处理 效率为 80.4~86.9% 第 58 页共 168 页

64 表 8-2 酸碱废水处理系统 (S1 S2) 废水监测结果与评价 监测点位监测日期监测频次 ph 化学需氧量悬浮物 无量纲 mg/l mg/l 第一次 酸碱废水处理系统进口 S 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 1.50~ 第一次 6.91 ND 29 酸碱废水处理系统出口 S 第二次 6.85 ND 37 第三次 6.93 ND 28 第四次 6.97 ND 36 范围 / 日均值 6.85~6.97 ND 32 第一次 酸碱废水处理系统进口 S 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 1.49~ 第一次 7.02 ND 6 酸碱废水处理系统出口 S 第二次 6.98 ND 7 第三次 7.04 ND 12 第四次 7.01 ND 7 范围 / 日均值 6.98~7.04 ND 8 注 : 浓度低于检出限以 ND 表示, 下同 化学需氧量的检出限为 30 mg/l 第 59 页共 168 页

65 表 8-3 含氟废水氟化钙絮凝沉淀 (S3 S4) 废水监测结果与评价 监测点位监测日期监测频次 ph 化学需氧量 悬浮物 氨氮 氟化物 无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 含氟废水氟化钙絮凝沉淀前 S 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 1.73~ 第一次 6.68 ND 第二次 6.71 ND 含氟废水氟化钙絮凝沉淀后 S 第三次 6.76 ND 第四次 6.72 ND 范围 / 日均值 6.68~6.76 ND 处理效率 / / / / 95.1% 第一次 含氟废水氟化钙絮凝沉淀前 S 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 1.80~ 第一次 6.83 ND 第二次 6.89 ND 含氟废水氟化钙絮凝沉淀后 S 第三次 6.90 ND 第四次 6.94 ND 范围 / 日均值 6.83~6.94 ND 注 : 化学需氧量的检出限为 30 mg/l 处理效率 / / / / 99.3% 第 60 页共 168 页

66 表 8-4 含磷废水 (S5 S6) 监测结果与评价 化学需氧 ph 监测点位监测日期监测频次量 氨氮 悬浮物 总氮 总磷 铝 无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 第二次 含磷废水化学沉淀前 第三次 S5 第四次 范围 / 日均值 6.79~ 第一次 6.84 ND ND 第二次 6.85 ND ND 含磷废水化学沉淀后 第三次 6.81 ND ND S6 第四次 6.81 ND 范围 / 日均值 6.81~6.85 ND ND 处理效率 / 92.4% / 6.12% / 97.1% 99.7% 含磷废水化学沉淀前 S5 含磷废水化学沉淀后 S 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 6.73~ 第一次 6.82 ND ND 第二次 6.81 ND ND 第三次 6.89 ND ND 第四次 6.87 ND ND 范围 / 日均值 6.81~6.89 ND ND 处理效率 / 83.9% 15.0% 12.5% 38.5% 90.9% 99.8% 注 :1 化学需氧量的检出限为 30 mg/l, 铝的检出限为 0.01 mg/l 2 浓度未检出的以检出限计算处理效率, 下同 第 61 页共 168 页

67 表 8-5 有机废水处理系统 (S7 S8) 监测结果与评价 监测点位 监测日期 监测频次 ph 化学需氧量五日生化需氧量氨氮悬浮物总氮无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 第二次 有机废水处理前 S 第三次 第四次 范围 / 日均值 7.33~ 有机废水处理系统出口 S 有机废水处理前 S 有机废水处理系统出口 S8 注 : 化学需氧量的检出限为 30 mg/l 第一次 7.49 ND 第二次 7.46 ND 第三次 7.44 ND 第四次 7.44 ND 范围 / 日均值 7.44~7.49 ND 处理效率 / 94.1% 99.5% 99.8% 66.7% 91.8% 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 7.38~ 第一次 7.44 ND 第二次 7.48 ND 第三次 7.45 ND 第四次 7.43 ND 范围 / 日均值 7.43~7.48 ND 处理效率 / 95.0% 99.7% 99.5% 53.3% 95.7% 第 62 页共 168 页

68 表 8-6 生产废水接管口 (S9) 废水监测结果与评价 五日生化学需氧 ph 化需氧监测点位监测日期监测频次量量 悬浮物 氨氮 总氮 总磷 氟化物 铝 石油类 无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 7.34 ND 第二次 7.31 ND 第三次 7.30 ND 第四次 7.34 ND 范围 / 日均值 7.30~7.34 ND 标准限值 6~ / 5 生产废水接管 口 S9 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 / 达标 第一次 7.44 ND 第二次 7.48 ND 第三次 7.46 ND ND 第四次 7.50 ND ND 0.04 范围 / 日均值 7.44~7.50 ND 标准限值 6~ / 5 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 / 达标 注 : 化学需氧量的检出限为 30 mg/l, 铝的检出限为 0.01 mg/l 第 63 页共 168 页

69 表 8-7 生活污水接管口 (S10) 废水监测结果与评价 监测点位监测日期监测频次 ph 化学需氧量氨氮动植物油悬浮物总氮 无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 8.12~ 标准限值 6.5~ 生活污水接管口 S10 达标情况达标达标达标达标达标达标 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 8.12~ 标准限值 6.5~ 达标情况达标达标达标达标达标达标 第 64 页共 168 页

70 监测点位监测日期监测频次 蓬朗污水处理厂污水处理设施进口 S11 蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 S12 蓬朗污水处理厂污水处理设施进口 S11 蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 S 表 8-8 蓬朗污水处理厂污水处理设施 (S11 S12) 废水监测结果与评价 ph 化学需氧量 五日生化需氧量 氨氮 动植物油 石油类氟化物铝总氮总磷悬浮物 无量纲 mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l mg/l 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 6.39~ 第一次 ND ND 第二次 ND ND 第三次 ND ND 第四次 ND ND 范围 / 日均值 7.59~ ND ND 标准限值 6~ / / 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 / / 达标 达标 达标 处理效率 / 88.3% 91.2% 99.4% 89.1% 86. 7% / 98.8% 86.9% 95.5% / 第一次 第二次 第三次 第四次 范围 / 日均值 6.93~ 第一次 ND ND 第二次 ND ND 第三次 ND ND 第四次 ND ND 范围 / 日均值 7.39~ ND ND 标准限值 6~ / / 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 / / 达标 达标 达标 处理效率 / 89.7% 91.3% 99.3% 88.2% 69.0% / 98.2% 80.4% 95.2% 50.0% 注 : 五日生化需氧量的检出限为 0.5 mg/l, 铝的检出限为 0.01 mg/l 水温 >12 第 65 页共 168 页

71 8.3 废气监测结果和评价 有组织废气监测结果统计与评价情况详见表 8-9 至表 8-36, 等效排气筒统计及排放速率计算评价见表 8-37, 排气筒等效分布图见图 8-1 至图 8-4 无组织废气监测结果统计与评价情况详见表 8-39, 气象参数见表 8-38 监测结果表明, 验收监测期间 : ⑴ 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q2 Q4 Q6) 的氮氧化物 氯化氢 氟化物 氯气的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氮氧化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氯气的最高排放浓度分别为 mg/m 3 3 个排气筒醋酸的排放浓度进为 ND( 检出限为 8.0 mg/m 3 ), 由于检出限高于评价标准, 故不做评价 ⑵ 薄化工程厂房 (B 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q7~Q11) 的氟化物 氯化氢 硫酸雾的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 硫酸雾的最高排放浓度分别为 mg/m 3 第 66 页共 168 页

72 ⑶ 废水处理站 (U 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 排气筒 (Q13) 的氯化氢的排放浓度符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 氯化氢的最高排放浓度为 11.8 mg/m 3, 排放速率为 0.25kg/h ⑷ 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q15 Q17 Q19 Q21) 的氨的排放速率均符 合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 最高排放速 率分别为 kg/h ⑸ 触控工程厂房 (B 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 排气 筒 ( Q23 ) 的氨的排放速率均符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 最高排放速率为 kg/h ⑹ 成盒工程厂房 (F 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q25 Q27) 的氨的排放速率均符合 恶臭污 染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑺ 动力厂房 (G 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 排气筒 (Q30) 的氨的排放速率符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放速率为 0.003kg/h ⑻ 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 剥离废气处理系统 FQ FQ 排气筒 (Q32 Q34) 的非甲烷总烃的排放速率均满足 光 电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h 第 67 页共 168 页

73 ⑼ 阵列工程厂房 (A/C 栋 )CVD 废气处理系统 FQ FQ FQ 排气筒 (Q35-Q37) 的颗粒物 ( 二氧化 硅 ) 氟化物 氯化氢的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 其中颗粒物的最高排放浓度分别 为 mg/m 3 ; 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 磷化氢的排放浓度及排放速率均符合 大气污染物综合排放标准 (DB11/ ) 表 1Ⅱ 时段标准 磷化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ND( 检出限为 0.07 mg/m 3 ) ND( 检出限为 0.07 mg/m 3 ), 最高排放速率分别为 kg/h 未检出 未检出 氨的排放速率均 符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放 速率分别为 kg/h ⑽ 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 FQ FQ FQ FQ FQ FQ 排气筒 (Q39 Q41 Q43 Q45 Q47 Q49) 的氮氧 化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 氮氧化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 非甲烷总烃的排放速率均符合 光电材料 及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑾ 成盒工程厂房 (F 栋 ) 有机废气处理系统 FQ FQ 排气筒 (Q51 Q53) 的氮氧化物的排放浓度均符合 大 第 68 页共 168 页

74 气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 氮氧化物 的最高排放浓度分别为 mg/m 3 非甲烷总烃的排放速率均 符合 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑿U 栋热水锅炉排气筒 FQ (Q54) 和 G 栋蒸汽锅炉排 气筒 FQ (Q55) 的烟尘 二氧化硫 氮氧化物的排放浓度 及烟气黑度均符合 锅炉大气污染物排放标准 (GB ) 表 3 标准 其中烟尘的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 二氧化硫 的排放浓度分别为 ND( 检出限为 3 mg/m 3 ) ND( 检出限为 3 mg/m 3 ), 氮氧化物的排放浓度分别为 mg/m 3, 烟气黑度均 <1 ⒀ 依据 大气污染物综合排放标准 (GB ) 要求, 两 个排放相同污染物 ( 不论其是否由同一生产工艺过程产生 ) 的排气 筒, 若其距离小于其几何高度之和, 应合并视为一根等效排气筒 若有三根以上的近距排气筒, 且排放同一种污染物时, 应以前两根 的等效排气筒, 依次与第三 四根排气筒取等效值 排气筒等效分 布图见图 8-1 至图 8-4, 等效排气筒排放速率统计见表 9-37 经统计,Q2 Q4 Q6 Q39 Q41 点对应的排气筒等效后的氮 氧化物 ( 最高排放速率为 0.429kg/h) 的等效排放速率符合 大气污 染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q43 Q45 Q47 Q49 点对应的排气筒等效后的氮氧化物 ( 最高排放速率为 0.049kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q51 Q53 点对应的排气筒等效后的氮氧化物 ( 最高排放 第 69 页共 168 页

75 速率为 0.060kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 Q2 Q4 Q6 Q35 点对应的排气筒 等效后的氯化氢 ( 最高排放速率为 0.182kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的氯化氢 ( 最高排放速率为 0.172kg/h) 的等 效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 点对应的排气筒等效后的氯化氢 ( 最 高排放速率为 0.44kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排 放标准 (GB ) 表 2 标准 Q2 Q4 Q6 Q35 点对应 的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.22kg/h) 的等效排放 速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ; Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.09kg/h ) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 点对应的排 气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.21kg/h) 的等效排放速率 符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 Q2 Q4 Q6 点对应的排气筒等效后的氯气 ( 最高排放速率为 0.17kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 Q35 Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的颗粒物 ( 最高 排放速率为 0.207kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放 标准 (GB ) 表 2 标准 Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 点对 应的排气筒等效后的硫酸雾 ( 最高排放速率为 kg/h) 的等效 第 70 页共 168 页

76 排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ⒁ 厂界无组织下风向的氯化氢最大浓度为 mg/m 3, 符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控 浓度限值 ; 非甲烷总烃的最大浓度为 5.60mg/m 3, 超出 大气污染物 综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值 ; 氨 的最大浓度为 0.34 mg/m 3, 符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 表 1 二级新扩改建标准 第 71 页共 168 页

77 表 8-9 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q1 Q2) 酸性废气监测结果与评价 1 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q1 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 FQ 排气筒 Q2 项目单位 标准限值 达标情况 第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标态气量 m 3 /h / / 氮氧化物排放浓度 mg/m 达标 氮氧化物排放速率 kg/h / / 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 氯气排放浓度 mg/m 达标 氯气排放速率 kg/h / / 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 5 / 醋酸排放速率 kg/h 未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出 / / 注 :1 排放浓度低于检出限以 ND 表示, 排放速率以 未检出 表示, 下同 醋酸的检出限为 8.0 mg/m 3 2 醋酸采用的方法是溶剂解吸 - 气相色谱法 工作场所空气有毒物质测定羧酸类化合物 GBZ/T , 本方法的检出限为 8.0 mg/m 3, 高于评价标准限,5mg/m 3 目前无其他国标方法可采用, 故不做评价 3 由于各类污染物进口浓度不高, 污染处理设施的处理效率不明显, 故未列出去除效率 第 72 页共 168 页

78 表 8-10 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q3 Q4) 酸性废气监测结果与评价 2 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q3 FQ 排气筒 Q4 项目单位 标准限值 达标情况 第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标态气量 m 3 /h / / 氮氧化物排放浓度 mg/m 达标 氮氧化物排放速率 kg/h / / 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 氯气排放浓度 mg/m 达标 氯气排放速率 kg/h / / 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 5 / 醋酸排放速率 kg/h 未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出 / / 注 :1 醋酸采用的方法是溶剂解吸 - 气相色谱法 工作场所空气有毒物质测定羧酸类化合物 GBZ/T , 本方法的检出限为 8.0 mg/m 3, 高于评价标准限,5mg/m 3 目前无其他国标方法可采用, 故不做评价 2 由于各类污染物进口浓度不高, 污染处理设施的处理效率不明显, 故未列出去除效率 第 73 页共 168 页

79 表 8-11 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q5 Q6) 酸性废气监测结果与评价 3 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q5 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 FQ 排气筒 Q6 项目单位 标准限值 达标情况 第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标态气量 m 3 /h / / 氮氧化物排放浓度 mg/m 达标 氮氧化物排放速率 kg/h / / 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 氯气排放浓度 mg/m 达标 氯气排放速率 kg/h / / 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 5 / 醋酸排放速率 kg/h 未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出 / / 注 :1 醋酸采用的方法是溶剂解吸 - 气相色谱法 工作场所空气有毒物质测定羧酸类化合物 GBZ/T , 本方法的检出限为 8.0 mg/m 3, 高于评价标准限,5mg/m 3 目前无其他国标方法可采用, 故不做评价 2 由于各类污染物进口浓度不高, 污染处理设施的处理效率不明显, 故未列出去除效率 第 74 页共 168 页

80 表 8-12 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q7) 酸性废气监测结果与评价 1 项目单位 薄化工程厂房 (B) 出口 FQ Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 标态气量 m 3 /h / / 达标情况 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 硫酸雾排放浓度 mg/m ND 达标 硫酸雾排放速率 kg/h 未检出 / / 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 表 8-13 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q8) 酸性废气监测结果与评价 2 项目单位 薄化工程厂房 (B) 出口 FQ Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 标态气量 m 3 /h / / 达标情况 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 硫酸雾排放浓度 mg/m 达标 硫酸雾排放速率 kg/h / / 表 8-14 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q9) 酸性废气监测结果与评价 3 项目单位 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 FQ Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 标态气量 m 3 /h / / 达标情况 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 硫酸雾排放浓度 mg/m 3 ND 达标 硫酸雾排放速率 kg/h 未检出 / / 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 第 75 页共 168 页

81 表 8-15 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q10) 酸性废气监测结果与评价 4 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 项目单位 FQ Q 标准限值 达标情况 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标态气量 m 3 /h / / 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 硫酸雾排放浓度 mg/m ND ND 达标 硫酸雾排放速率 kg/h 未检出 未检出 / / 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 表 8-16 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q11) 酸性废气监测结果与评价 5 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 项目单位 FQ Q 标准限值 达标情况 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标态气量 m 3 /h / / 氯化氢排放浓度 mg/m 达标 氯化氢排放速率 kg/h / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 硫酸雾排放浓度 mg/m ND ND 0.09 ND ND 45 达标 硫酸雾排放速率 kg/h 未检出 未检出 未检出 未检出 / / 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 第 76 页共 168 页

82 表 8-17 废水处理站 (U 栋 )(Q12 Q13) 酸性废气监测结果与评价 监测点位废水处理站 (U 栋 ) 进口 Q12 废水处理站 (U 栋 ) 出口 FQ Q13 时间及频次 标态气量氯化氢排放浓度氯化氢排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 达标情况 / 达标 达标 表 8-18 陈列工程厂房 (A/C 栋 )(Q14 Q15) 碱性废气监测结果与评价 1 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q14 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 注 : 污染处理设施的处理效率不明显, 故未列出去除效率, 下同 第 77 页共 168 页

83 表 8-19 陈列工程厂房 (A/C 栋 )(Q16 Q17) 碱性废气监测结果与评价 2 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q16 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q17 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 表 8-20 陈列工程厂房 (A/C 栋 )(Q18 Q19) 碱性废气监测结果与评价 3 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q18 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q19 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 第 78 页共 168 页

84 表 8-21 陈列工程厂房 (A/C 栋 )(Q20 Q21) 碱性废气监测结果与评价 4 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q20 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q21 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 表 8-22 触控工程厂房 (B 栋 )(Q22 Q23) 碱性废气监测结果与评价 监测点位 触控工程厂房 (B 栋 ) 进口 Q22 触控工程厂房 (B 栋 ) FQ 出口 Q23 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 第 79 页共 168 页

85 表 8-23 成盒工程厂房 (F 栋 )(Q24 Q25) 碱性废气监测结果与评价 1 监测点位 成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q24 成盒工程厂房 (F 栋 ) FQ 出口 Q25 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 表 8-24 成盒工程厂房 (F 栋 )(Q26 Q27) 碱性废气监测结果与评价 2 监测点位 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q26 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) FQ 出口 Q27 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 第 80 页共 168 页

86 表 8-25 动力厂房 (G 栋 )(Q28~Q30) 碱性废气监测结果与评价 监测点位 动力厂房 (G 栋 ) 进口 Q28 动力厂房 (G 栋 ) 进口 Q29 动力厂房 (G 栋 ) FQ 出口 Q30 时间及频次 标态气量氨排放浓度氨排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 20 达标情况 / / 达标 表 8-26 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q31~Q32) 剥离废气监测结果与评价 1 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q31 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 时间及频次 标态气量 非甲烷总烃排放浓度 非甲烷总烃排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 0.4 达标情况 / / 达标 第 81 页共 168 页

87 表 8-27 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q33~Q34) 剥离废气监测结果与评价 2 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q33 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 时间及频次 标态气量 非甲烷总烃排放浓度 非甲烷总烃排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / / 0.4 达标情况 / / 达标 第 82 页共 168 页

88 监测点位 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q35 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q36 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q37 注 : 磷化氢的检出限为 0.07 mg/m 3 表 8-28 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q35~Q37)CVD 废气监测结果与评价 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 氯化氢氟化物氨磷化氢标态气量时间及频次排放浓度排放速率排放浓度排放速率排放浓度排放速率排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 第一次 ND 未检出 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 标准限值 / 120 / 100 / 9.0 / / 达标情况 / 达标 / 达标 / 达标 / 达标 达标 达标 第一次 ND 未检出 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 第一次 ND 未检出 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 标准限值 / 120 / 100 / 9.0 / / 达标情况 / 达标 / 达标 / 达标 / 达标 达标 达标 第一次 ND 未检出 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 第一次 ND 未检出 第二次 ND 未检出 第三次 ND 未检出 标准限值 / 120 / 100 / 9.0 / / 达标情况 / 达标 / 达标 / 达标 / 达标 达标 达标 第 83 页共 168 页

89 表 8-29 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q38 Q39) 废气监测结果与评价 1 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q38 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 84 页共 168 页

90 表 8-30 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q40 Q41) 废气监测结果与评价 2 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q40 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 85 页共 168 页

91 表 8-31 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q42 Q43) 废气监测结果与评价 3 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q42 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 86 页共 168 页

92 表 8-32 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q44 Q45) 废气监测结果与评价 4 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q44 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 87 页共 168 页

93 表 8-33 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q46 Q47) 废气监测结果与评价 5 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q46 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 88 页共 168 页

94 表 8-34 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 有机废气处理系统 (Q48 Q49) 废气监测结果与评价 6 监测点位 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q48 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 89 页共 168 页

95 监测点位 成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q50 成盒工程厂房 (F 栋 ) FQ 出口 Q51 成盒工程厂房 (F 栋 ) FQ 出口 Q53 表 8-35 成盒工程厂房 (F 栋 ) 有机废气处理系统 (Q50 Q51 Q53) 废气监测结果与评价 时间及频次 标态气量 氮氧化物 非甲烷总烃 排放浓度排放速率排放浓度排放速率 m 3 /h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 标准限值 / 240 / / 0.4 达标情况 / 达标 / / 达标 第 90 页共 168 页

96 表 8-36 锅炉废气 (U 栋热水锅炉 Q54 G 栋蒸汽锅炉 Q55) 废气监测结果与评价 监测点位 时间及频次 标态气量 实测浓度 二氧化硫氮氧化物烟尘烟气黑度 排放浓度 排放速率 实测浓度 m 3 /h mg/m 3 mg/m 3 kg/h mg/m 3 mg/m 3 kg/h mg/m 3 mg/m 3 kg/h 排放浓度 排放速率 实测浓度 排放浓度 排放速率 ( 林格曼黑度, 级 ) 第一次 4370 ND ND 未检出 < 第二次 8294 ND ND 未检出 <1 U 栋热水锅炉 FQ Q54 第三次 ND ND 未检出 <1 第一次 6669 ND ND 未检出 < 第二次 9293 ND ND 未检出 <1 第三次 ND ND 未检出 <1 第一次 1280 ND ND 未检出 < 第二次 2285 ND ND 未检出 <1 G 栋蒸汽锅炉 FQ Q 第三次 2529 ND ND 未检出 <1 第一次 1571 ND ND 未检出 <1 第二次 2859 ND ND 未检出 <1 第三次 3030 ND ND 未检出 <1 注 : 二氧化硫的检出限为 3 mg/m 3 标准限值 / / 50 / / 150 / / 20 / 1 达标情况 / / 达标 / / 达标 / / 达标 / 达标 第 91 页共 168 页

97 等效点位 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 表 8-37 等效排气筒排放速率统计结果与评价 频次 氮氧化物氯化氢氟化物氯气颗粒物硫酸雾 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 kg/h kg/h kg/h kg/h kg/h kg/h 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / Q2+Q4+Q6 +Q39+Q41 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / 标准限值 4.09 / / / / / 达标情况 达标 / / / / / 第一次 / / / / 第二次 / / / / 第三次 / / / / Q2+ Q4+Q6 +Q35 第一次 / / / / 第二次 / / / / 第三次 / / / / 标准限值 / / / / 达标情况 / 达标 达标 / / / 第一次 / / / 0.12 / / 第二次 / / / 0.10 / / 第三次 / / / 0.17 / / Q2+ Q4+Q6 第一次 / / / 0.06 / / 第二次 / / / 0.05 / / 第三次 / / / 0.05 / / 标准限值 / / / 0.80 / / 达标情况 / / / 达标 / / 第一次 / / / / 第二次 / / / / 第三次 / / / / Q36+Q37 第一次 / / / / 第二次 / / / / 第三次 / / / / 标准限值 / / / / 达标情况 / 达标达标 / / / Q35+Q36+ Q37 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第 92 页共 168 页

98 等效点位 频次 氮氧化物氯化氢氟化物氯气颗粒物硫酸雾 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 等效排放速率 kg/h kg/h kg/h kg/h kg/h kg/h 第三次 / / / / / 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / 标准限值 / / / / 21.3 / 达标情况 / / / / 达标 / 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / Q43+Q45 +Q47+Q49 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / 标准限值 4.09 / / / / / 达标情况 达标 / / / / / 第一次 / / / 第二次 / / / 第三次 / / / Q7+Q8+Q9 +Q10+Q11 第一次 / / / 第二次 / / / 第三次 / / / 标准限值 / / / 8.18 达标情况 / 达标 达标 / / 达标 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / Q51+Q53 第一次 / / / / / 第二次 / / / / / 第三次 / / / / / 标准限值 4.09 / / / / / 达标情况达标 / / / / / 第 93 页共 168 页

99 A 栋 北 氮氧化物 氮氧化物 氯化 氢 氟化物 氯气 氯化氢 氟化物 颗粒物 Q39 Q41 2 Q4 Q6 Q35 Q36 Q 氮氧化物 : 根据等效原则, 需对 Q39 Q41 Q2 Q4 Q6 依次等效氯化氢 氟化物 : 根据等效原则, 对 Q2 Q4 Q6 Q35 等效后, 等效排气筒的位置距离 Q36 的距离为 80.9m, 大于 58m, 故不需要继续等效,Q36 与 Q37 等效氯气 : 依据等效原则, 对 Q2 Q4 Q6 依次等效颗粒物 : 根据等效原则, 需对 Q35 Q36 Q37 依次等效 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 图 8-1 A 栋需等效的排气筒分布图 1 第 94 页共 168 页

100 A 栋 北 氮氧化物 Q43 Q45 47 Q 氮氧化物 : 根据等效原则, 需对 Q43 Q45 Q47 Q49 依次等效 图 8-2 A 栋需等效的排气筒分布图 2 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 第 95 页共 168 页

101 B 栋 北 氟化物 氯化 氢 硫酸雾 氟化物 氯化 氢 硫酸雾 Q7 Q8 Q9 Q 氟化物 氯化氢 硫酸雾 : 根据等效原则, 需对 Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 依次等效 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 图 8-3 B 栋需等效的排气筒分布图 第 96 页共 168 页

102 F 栋 北 氮氧化物 Q51 Q53 19 氮氧化物 : 根据等效原则, 需对 Q51 Q53 依次等效 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 图 8-4 F 栋需等效的排气筒分布图 1 第 97 页共 168 页

103 表 8-38 监测期间气象参数结果 ( ~8.18) 日期频次气象条件气温 (k) 气压 (kpa) 湿度 (%) 风向风速 (m/s) 第一次晴 西南 第二次 晴 西南 1.1 第三次 晴 西南 1.4 第四次 晴 西南 1.2 第一次 晴 西南 1.2 第二次 晴 西南 1.1 第三次 晴 西南 1.3 第四次 晴 西南 1.2 Q57 Q58 北 西南风 厂区 Q59 Q56 为无组织监测点位 表 8-39 厂界无组织排放监测结果与评价 单位 :mg/m 3 监测因子 氨 上风向 下风向 监测日期 Q56 Q57 Q58 Q59 第一次 第二次 第三次 第四次 第一次 第二次 第三次 第四次 下风向浓度最大值 / 0.34 评价标准 / 1.5 达标情况 / 达标 第 98 页共 168 页

104 监测因子 监测日期 上风向 下风向 Q56 Q57 Q58 Q59 氯化氢 非甲烷总烃 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 下风向浓度最大值 / 评价标准 / 0.20 达标情况 / 达标 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 下风向浓度最大值 / 5.60 评价标准 / 4.0 达标情况 / 超标 8.4 噪声监测结果和评价噪声监测结果与评价见表 8-40 监测结果表明, 验收监测期间, 厂界四周 8 个噪声监测点位 (Z1~Z8) 的昼 夜等效声级均达到 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB )3 类标准, 蓬北村 (Z9) 的昼 夜等效声级均达到 声环境质量标准 (GB ) 3 类标准 第 99 页共 168 页

105 表 8-40 厂界噪声监测结果与评价 单位 :db(a) 监测点位 昼间第 1 次 昼间第 2 次 夜间第 1 次 夜间第 2 次 昼间第 1 次 昼间第 2 次 夜间第 1 次 夜间第 2 次 监测值 Z1 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z2 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z3 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z4 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z5 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z6 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z7 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z8 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 监测值 Z9 标准值 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标 注 : 监测期间, 天气晴, 风速 1.6~1.9m/s 第 100 页共 168 页

106 8.5 补充监测结果和评价 根据 2017 年 8 月 15 日至 8 月 23 日期间的监测结果, 厂界无组 织下风向的非甲烷总烃的最大浓度为 5.60 mg/m 3, 超出 大气污染物 综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值 (4.0mg/m 3 ) 针对此, 建设单位进行了以下整改以降低无组织的影 响 : 1 全面盘查无尘室内机台盖板的完整性, 讲机台盖板未安装的全 部落实安装, 并确保机台密闭性, 化学物质不会逸散至环境中, 全部 由机台排气管路抽至对应废气处理系统处理 2 经盘查,F 栋无尘室内泡版室, 未设置排气系统, 新增有机排 气管路, 链接至 F 栋有机废气处理系统处理 3 经盘查,F 栋调胶室排气系统设置不合理, 现场排气设置为一 半排气, 变更为有机排气, 将调胶室内废气抽至有机废气处理系统处 理 我公司于 2017 年 10 月 16 日至 2017 年 10 月 17 日对超标因子进 行了补充监测 补充监测期间, 生产正常 稳定, 各项环保治理设施 均正常运行, 满足竣工验收监测工况条件的要求, 具体生产工况见表 8-1 补充监测期间, 气象参数见表 8-41 无组织废气监测结果统计与 评价情况详见表 8-42, 厂界无组织下风向的非甲烷总烃的最大浓度为 1.88mg/m 3, 符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值要求 第 101 页共 168 页

107 表 8-41 补测期间气象参数结果 日期 频次 气象条气压湿度风速气温 (k) 风向件 (kpa) (%) (m/s) 第一次 阴 东北风 3.1 第二次 阴 东北风 2.8 第三次 阴 东北风 2.7 第一次 阴 东北风 2.5 第二次 阴 东北风 2.4 第三次 阴 东北风 2.3 Q56 北 东北风 Q59 厂区 Q58 Q57 为无组织监测点位 表 8-42 厂界无组织排放补测结果与评价 单位 :mg/m 3 监测因子 非甲烷总烃 监测日期 上风向 下风向 Q56 Q57 Q58 Q59 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 下风向浓度最大值 / 1.88 评价标准 / 4.0 达标情况 / 达标 第 102 页共 168 页

108 9. 污染物排放总量核算 项目污染物排放总量核算见表 9-1 至表 9-2 本项目第一阶段接 管废水总量中废水接管量 化学需氧量 氨氮 总磷 悬浮物 总氮 氟化物 铝的年排放量均符合环评预期总量指标要求 废气中的二氧 化硫 氮氧化物 氨 氯化氢 氯气 硫酸雾 非甲烷总烃 磷化氢 烟尘的年排放量均符合环评预期总量指标要求, 氟化物 颗粒物 ( 二 氧化硅 ) 的年排放总量超出预期 废水污染物 废水接管量 表 9-1 废水污染物接管总量核算 平均排放浓度 (mg/l) 5350t/d 年接管废水量 (t/a) 合计年排放量 (t/a) 环评预期总量指标 (t/a) 万 万 化学需氧量 ND 氨氮 总磷 悬浮物 总氮 五日生化需氧量 / 氟化物 铝 石油类 / 注 :1 针对本项目第一阶段接管生产废水进行总量核算, 生活污水无法统计废水量, 故不进行核算 2 浓度未检出以 0 计算总量 项目 二氧化硫 氮氧化物 位置 表 9-2 废气污染物排放总量核算 平均排放速率 (kg/h) 年运行时间 (h) 排放量 (t/a) Q54 未检出 Q55 未检出 Q Q Q Q Q 排放总量 (t/a) 环评预期总量指标 (t/a) 第 103 页共 168 页

109 项目氨氯化氢氟化物 位置 平均排放速率 (kg/h) 年运行时间 (h) 排放量 (t/a) Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q 排放总量 (t/a) 环评预期总量指标 (t/a) 第 104 页共 168 页

110 项目 氯气 醋酸 硫酸雾 非甲烷总烃 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 磷化氢 烟尘 位置 平均排放速率 (kg/h) 年运行时间 (h) 排放量 (t/a) Q Q Q Q Q Q Q Q Q2 未检出 Q4 未检出 Q6 未检出 Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q36 未检出 Q37 未检出 Q Q 注 : 排放速率未检出以 0 计算总量 排放总量 (t/a) 环评预期总量指标 (t/a) / 第 105 页共 168 页

111 10. 公众意见调查 验收监测期间, 通过发放意见调查表的形式征求当地公众的意见 调查表格式见表 10-1 本次调查共发放调查问卷 120 份, 收回有效调查表 100 份 公众意见调查统计结果详见表 10-2 结果表明 :90% 的周边被调查群众对该公司的环保工作表示满意,10% 表示较满意 第 106 页共 168 页

112 表 10-1 公众意见调查表 姓名性别年龄 30 岁以下 岁 岁 50 岁以上 联系电话民族受教育程度职业 居住地址方位米 项目基本情况 2011 年 10 月, 第 8.5 代 TFT-LCD 项目获得环保部批复 ( 环审 [2011]303 号 ) 鉴于市场竞争的压力, 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司拟向高端和差异化产品转型, 将原来已经获批建设的 8.5 代 TFT-LCD( 薄膜晶体管液晶显示器 ) 生产线变更调整为第 6 代 LTPS TFT-LCD( 低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器 ) 生产线, 产品由 90 万片 / 年 ( 平方米 / 年 ) 变更为 72 万片 / 年 ( 平方米 / 年 ) 该项目于 2015 年 9 月由南京国环环境科技发展股份有限公司完成环境影响报告书, 中华人民共和国环境保护部于 2015 年 10 月 12 日以环审 [2015]211 号予以批复 公司分三阶段建设, 第一阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ); 第二阶段 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ), 总产能达 25K 片 / 月 (30 万片 / 年 ); 第三阶段 35K 片 / 月 (42 万片 / 年 ), 总产能达 60K 片 / 月 (72 万片 / 年 ) 本次验收项目为第一阶段, 产能为 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) 本项目于 2015 年 8 月开工建设,2016 年 11 月第一阶段建成并投入生产 目前项目第一阶段生产能力已达到该阶段的设计规模 75% 以上, 相对应的主体工程及相配套的环保治理设施运行正常, 已具备 三同时 验收监测条件 噪声对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 施工期 扬尘对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 废水对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 是否有扰民现象或纠纷有没有 废气对您的活影响程度没有影响影响较轻影响较重 调查内容 试生产期 废水对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 噪声对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 固体废物储运及处理处置对您的影响程度 是否发生过环境污染事故 ( 如有, 请注明原因 ) 没有影响影响较轻影响较重 有 没有 您对该公司本项目的环境保护工作满意程度 ( 如不满意请在意见和建议中注明原因 ) 满意较满意不满意 您对该项目的建设还有什么意见和建议 第 107 页共 168 页

113 表 10-2 公众意见调查统计 性别男女 个人概况 选择项占百分比 (%) 年龄 30 岁以下 岁 岁 50 岁以上 选择项占百分比 (%) 施工期噪声对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 施工期扬尘对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 施工期废气对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 施工期是否有扰民现象或纠纷有没有 / 选择项占百分比 (%) / 5 试生产期废气对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 调查内容 选择项占百分比 (%) 试生产期废水对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 试生产期噪声对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 试生产期固废储运及处理处置对您的影响程度没有影响影响较轻影响较重 选择项占百分比 (%) 试生产期是否发生过环境污染事故 ( 如有, 请注明原因 ) 有没有 / 选择项占百分比 (%) / 10 您对该公司本项目的环境保护工作满意程度 : 满意较满意不满意 选择项占百分比 (%) 第 108 页共 168 页

114 11. 环境管理检查及环评批复落实情况 公司环境管理检查情况见表 11-1, 环评批复要求落实情况见表 11-2 和表 11-3 表 11-1 环境管理检查 序号检查内容执行情况 1 三同时 执行情况 2 公司环境管理体系 制度 机构建设情况 该项目已按国家有关建设项目环境管理法规要求, 进行了环境影响评价, 并获得了批复 由环境安全课负责环保工作 3 污染处理设施建设管理及运行情况污染处理设施运行正常 4 排污口规范化情况排污口设置了标识牌 5 绿化情况 厂区面积 m 2, 绿化面积 m 2, 绿化率 19.9% 表 11-2 环评批复 落实情况 1 序号 1 环审 号批复内容 严格落实各项大气污染防治措施 生产过程中产生的酸性废气经碱液喷淋处理, 碱性废气和剥离废气经酸液喷淋处理,CVD 废气经 POU( 燃烧法 ) 和碱液喷淋处理, 有机废气经沸石转轮浓缩系统和蓄热式焚化炉处理 氯化氢 氮氧化物 硫酸雾 氟化物 氯气及粉尘排放浓度和排放速率应满足 大气污染物综合排放标准 (GB ) 二级标准 ; 氨气排放应满足 恶臭污染物排放标准 (GB ) 要求 ; 总挥发性有机化合物排放浓度和排放速率应满足参照的 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 要求 ; 硝酸雾 磷酸雾排放浓度和排放速率应满足参照的 北京市大气污染物综合排放标准 (DB11/ ) 要求 ; 乙酸排放浓度应满足前苏联车间空气中有害物最大允许浓度要求 ; 锅炉废气排放应满足 锅炉大气污染物排放标准 (GB ) 要求 执行情况 按环评要求设置了各项大气污染防治措施, 验收监测期间, 监测的废气各因子均达标排放 第 109 页共 168 页

115 序号 2 3 环审 号批复内容 加强水环境保护措施 酸碱废水 无机废水 有机废水及生活污水经预处理满足 污水综合排放标准 (GB ) 三级标准及蓬朗污水处理厂的进水水质标准后, 排入蓬朗污水处理厂, 进一步处理达到 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准和 太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值 (DB32/ ) 要求后排入太仓塘, 部分尾水进入开发区供水工程深度处理后回用至企业 落实地下水保护措施 合理确定重点防渗区 一般防渗区和简单防渗区, 采取分区防渗措施 重点防渗区应按照 危险废物贮存污染控制标准 ( GB ) 建设, 渗透系数不大于 厘米 / 秒, 地上悬架式管线经过路段以及其他地面硬化的混凝土渗透系数不大于 厘米 / 秒 设置地下水监测点, 建立长期监控系统, 防止污染地下水 落实固体废弃物分类收集和处置措施 项目变更后新增的薄化废酸液 MAC 剥离废液 EL 废液 IPA 废液 薄化玻璃渣等危险废物应委托有资质单位收集处置, 厂内临时贮存区应按照 危险废物贮存污染控制标准 (GB ) 的要求进行建设 执行情况 按环评要求分质处理废水, 酸碱废水 无机废水 有机废水及生活污水 生产废水接管口 (S9) 的 ph 值范围及化学需氧量 五日生化需氧量 悬浮物 总氮 氨氮 总磷 氟化物 石油类的日均排放浓度均符合昆山经济技术开发区水务有限公司光电产业园污水处理分公司 ( 即蓬朗污水处理厂 ) 接管协议中规定的进水水质标准要求 生活污水接管口 (S10) 的 ph 值及化学需氧量 悬浮物 总氮 氨氮 动植物油的日均排放浓度均满足生活污水接管协议要求 蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 (S12) 的 ph 值范围及悬浮物 五日生化需氧量 石油类 动植物油的日均排放浓度均满足 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准, 化学需氧量 氨氮 总磷 总氮的日均排放浓度均满足 太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值 (DB32/ ) 表 2 标准 设置了地下水监测井, 并委托江苏国测检测技术有限公司进行日常检测, 具体合同及报告见附件 各类固废的处置情况见表 在工程施工和运行过程中, 建立畅通的公众参与平台, 加强宣传与沟通工作, 及时解决公众提出的合理环境诉求 定期发布环境信息, 主动接受社会监督 工程施工过程中, 于厂区周界设置宣传告示板 ; 定期至环保局网站查看公众反应情况 ; 民众反应情况至环境监测二中队时积极配合二中队检查工作, 环保验收之前于公司官网公开信息等 第 110 页共 168 页

116 表 11-3 环评批复 落实情况 2 序号 1 环审 号批复内容 全面贯彻循环经济理念和清洁生产原则, 加强生产管理和环境管理, 应选用国内外先进 成熟的生产及污染物治理技术和设施, 确保各类资源利用指标 不低于报告书分析的水平 执行情况 本项目暂未做清洁生产审核 按照 江苏省太湖水污染防治提条例, 严格落实本项目废水回用和区域集中污水处理厂尾水回用方案, 实现降低区域氮 磷符合的要求 按照 清污分流 雨污分流 分质处理 一水多用 的原则, 优化设计, 建设厂区给排水系统 严格按照江苏省环境保护厅规定的总量控制废水排放量, 生活污水及生产废水经处理达到 污水综合排放标准 (GB ) 三级标准后排入开发区市政污水管网, 经蓬朗片区污水处理厂进一步处理达到 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准后, 排入昆山经济开发区供水工程, 经处理后回用至开发区内企业 蓬朗片区污水处理厂扩建工程及尾水回用工程建成投运并稳定达标排放前, 本项目不得投入试生产 生产过程中产生的酸性 碱性废气经洗涤塔系统处理 ; 有毒废气经自带专用处理装置 (POU) 燃烧 - 洗涤处理后排入酸性排气系统处理 ; 有机废气采用沸石浓缩转轮焚烧装置处理 ; 工艺废气中的氮氧化物 氟化物 氯气 氯化氢和非甲烷总烃等污染物排放执行 大气污染物综合排放标准 (GB ) 中的新扩改二级标准, 氨排放满足 恶臭气体污染物排放标准 (GB ) 二级标准要求, 锅炉废气排放满足 锅炉大气污染物排放标准 (Gb )Ⅱ 时段标准要求 选用低噪声设备并合理布局, 对高噪声设备采取有效的减振 隔声 消音等降噪措施, 加强厂区绿化, 确保厂界噪声满足 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB )3 类标准, 防止噪声扰民 必须按照国家和地方的有关规定, 对固体废物进行分类收集和处置 刻蚀废液 废剥离液 废稀释剂 PCB 废料等危险废物必须送交有资质的单位进行妥善处置, 场内危险废物临时暂存场所必须符合 危险废物贮存污染控制标准 (GB ), 防止造成二次污染 已按环审 号批复落实 已按环审 号批复落实 监测期间, 厂界四周 8 个噪声监测点位 (Z1~Z8) 的昼 夜等效声级均达到 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB )3 类标准, 蓬北村 (Z9) 的昼 夜等效声级均达到 声环境质量标准 (GB )3 类标准 各类固废的处置情况见表 4-4 第 111 页共 168 页

117 序号 6 环审 号批复内容 加强环境风险防范, 落实各项风险防范措施, 指定突发环境事故应急预案并与地方政府应急预案联动 废水处理站和化学品库须设置足够容量的事故排放收集池, 危险化学品库区和使用危险化学品的生产装置周边应设置物料泄漏应急截流沟, 防止各类废水及泄漏物料排入外环境 执行情况 编制了突发事件环境应急预案, 并在昆山市环保局进行了备案, 具体见附件 废水处理站设置了 3 个事故池, 合计约 7800m 3, 见图 11-1 化学品库设置了一个地下事故池, 具体见图 11-2 危险化学品库区设置了截流沟, 使用危险化学品生产装置周边安装了漏液侦测器 具体见图 加强施工期间环境保护管理工作, 采取切实可行措施, 严格控制施工扬尘 噪声 废水及固体废物对周围环境的影响 施工期间未出现扰民事件 8 9 配合当地政府和有关部门加强规划控制, 严禁在防护距离范围内建设居民住宅 医院 学校等环境敏感建筑物, 该范围内已有的环境敏感目标必须于本项目试生产前搬迁完毕 厂界周围应设置绿化隔离带 按照国家和地方的有关规定, 设置规范的污染物排放口 贮存 ( 处置 ) 场, 安装废水流量计等在线监控系统, 并于环保部门联网 该范围内的环境敏感目标均已拆迁, 具体说明见附件 厂界周围种植了绿化带 废水 废气 贮存场设置了标识牌, 具体见图 4-4 至图 4-6 废水接管口安装了废水流量计 化学需氧量 氨氮 总磷 总氮 氟离子 ph 悬浮物在线监控仪, 并与昆山环保局联网 见图 11-4 至图 11-5 第 112 页共 168 页

118 友达光电 昆山 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 图 11-1 废水处理站事故池图片 第 113页 共 168 页

119 图 11-2 化学品仓库事故池图片 第 114 页共 168 页

120 友达光电 昆山 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告 危险化学品库内截流沟 使用危险品生产装置车间漏液侦测器 图 11-3 涉及危险化学品储存 使用的事故应急设施图片 第 115页 共 168 页

121 图 11-4 废水在线设备 1 第 116 页共 168 页

122 图 11-5 废水在线设备 2 第 117 页共 168 页

123 12. 结论与建议 12.1 结论 表 12 监测结论 类别污染物达标情况总量核算情况 废水 验收监测期间, ⑴ 酸碱废水处理系统出口 ( S2 ) 的 ph 范围为 6.85~7.04 ⑵ 含氟废水氟化钙絮凝沉淀出口 (S4) 的氟化物日均排放浓度为 6.25~69.4mg/L, 处理效率为 99.3~95.1%;pH 范围为 6.68~6.94 ⑶ 含磷废水化学沉淀后 (S6) 的总磷的日均排放浓度为 0.08~0.12 mg/l, 处理效率为 90.9~97.1%;pH 范围为 6.73~6.89 ⑷ 有机废水处理系统出口 (S8) 的 ph 值范围为 7.43~7.49, 化学需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限为 30 mg/l), 处理效率为 94.1~95.0%; 五日生化需氧量的日均排放浓度为 1.1~1.4 mg/l, 处理效率为 99.5~99.7%; 氨氮的日均排放浓度为 0.034~0.040 mg/l, 处理效率为 99.5~99.8%; 悬浮物的日均排放浓度为 7~26 mg/l, 处理效率为 53.3~66.7%; 总氮的日均排放浓度为 1.05~2.38 mg/l, 处理效率为 91.8~95.7% ⑸ 生产废水接管口 (S9) 的 ph 值范围及化学需氧量 五日生化需氧量 悬浮物 总氮 氨氮 总磷 氟化物 石油类的日均排放浓度均符合蓬朗污水处理厂接管协议中规定的进水水质标准要求 其中 ph 值范围为 7.30~7.50, 化学需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限为 30 mg/l), 五日生化需氧量的日均排放浓度为 1.6~4.7 mg/l, 悬浮物的日均排放浓度为 6~9 mg/l, 总氮的日均排放浓度为 1.75~2.13 mg/l, 氨氮的日均排放浓度为 0.060~0.062 mg/l, 总磷的日均排放浓度为 0.06~0.18 mg/l, 氟化物的日均排放浓度为 4.86~6.68 mg/l, 石油类的日均排放浓度为 0.06~0.07 mg/l ⑹ 生活污水接管口 (S10) 的 ph 值及化学需氧量 悬浮物 总氮 氨氮 动植物油的日均排放浓度均满足生活污水接管协议要求 其中,pH 值的范围为 8.12~8.36, 化学需氧量的日均排放浓度 210~340 mg/l, 悬浮物的日均排放浓度为 18~44 mg/l, 总氮的日均排放浓度为 2.30~2.79 mg/l, 氨氮的日均排放浓度为 0.062~0.064 mg/l, 动植物油的日均排放浓度为 11.0~33.9 mg/l ⑺ 蓬朗污水处理厂污水处理设施出口 (S12) 的 ph 值范围及悬浮物 五日生化需氧量 石油类 动植物油的日均排放浓度均满足 城镇污水处理厂污染物排放标准 (GB ) 一级 A 标准, 化学需氧量 氨氮 总磷 总氮的日均排放浓度均满足 太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值 本项目第一阶段接管废水总量中废水接管量 化学需氧量 氨氮 总磷 悬浮物 总氮 氟化物 铝的年排放量均符合环评预期总量指标要求 第 118 页共 168 页

124 类别污染物达标情况总量核算情况 废气 (DB32/ ) 表 2 标准 其中 ph 值的范围为 7.39~7.64, 悬浮物的日均排放浓度为 9~10 mg/l, 处理效率不明显 ; 五日生化需氧量的日均排放浓度为 ND( 检出限为 0.5mg/L), 处理效率为 91.2~91.3%; 石油类的日均排放浓度为 0.10~0.13 mg/l, 处理效率为 69.7~86.7%; 动植物油的日均排放浓度为 0.20~0.22 mg/l, 处理效率为 88.2~89.1%; 化学需氧量的日均排放浓度为 13~16 mg/l, 处理效率为 88.3~89.7% ; 氨氮的日均排放浓度为 0.094~0.149 mg/l, 处理效率为 99.3~99.4%; 总磷的日均排放浓度为 0.12~0.14 mg/l, 处理效率为 95.2~95.5%; 总氮的日均排放浓度为 3.10~3.92 mg/l, 处理效率为 80.4~86.9% 验收监测期间, ⑴ 陈列工程厂房 ( A/C 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q2 Q4 Q6) 的氮氧化物 氯化氢 氟化物 氯气的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氮氧化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 氯气的最高排放浓度分别为 mg/m 3 3 个排气筒醋酸的排放浓度进为 ND( 检出限为 8.0 mg/m 3 ), 由于检出限高于评价标准, 故不做评价 ⑵ 薄化工程厂房 ( B 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q7~Q11) 的氟化物 氯化氢 硫酸雾的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 硫酸雾的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑶ 废水处理站 (U 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 排气筒 (Q13) 的氯化氢的排放浓度符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 氯化氢的最高排放浓度为 11.8 mg/m 3, 排放速率为 0.36kg/h ⑷ 陈列工程厂房 ( A/C 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q15 Q17 Q19 Q21) 的氨的排放速率均符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 最高排放速率分别为 kg/h ⑸ 触控工程厂房 ( B 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 排气筒 (Q23) 的氨的排放速率均符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准 最高排放速率为 kg/h ⑹ 成盒工程厂房 ( F 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q25 Q27) 的氨的排放速率均符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑺ 动力厂房 (G 栋 ) 碱性废气处理设施 FQ 本项目第一阶段废气中的二氧化硫 氮氧化物 氨 氯化氢 氯气 硫酸雾 非甲烷总烃 磷化氢 烟尘的年排放量均符合环评预期总量指标要求, 氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 的年排放总量超出预期 第 119 页共 168 页

125 类别污染物达标情况总量核算情况 排气筒 (Q30) 的氨的排放速率符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放速率为 0.003kg/h ⑻ 阵列工程厂房 ( A/C 栋 ) 剥离废气处理系统 FQ FQ 排气筒 (Q32 Q34) 的非甲烷总烃的排放速率均满足 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑼ 阵列工程厂房 ( A/C 栋 ) CVD 废气处理系统 FQ FQ FQ 排气筒 (Q35-Q37) 的颗粒物 ( 二氧化硅 ) 氟化物 氯化氢的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 其中颗粒物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氯化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 磷化氢的排放浓度及排放速率均符合 大气污染物综合排放标准 (DB11/ ) 表 1Ⅱ 时段标准 磷化氢的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ND( 检出限为 0.07) ND( 检出限为 0.07), 最高排放速率分别为 kg/h 未检出 未检出 氨的排放速率均符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中表 2 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑽ 阵列工程厂房 ( A/C 栋 ) 有机废气处理系统 FQ FQ FQ FQ FQ FQ 排气筒 (Q39 Q41 Q43 Q45 Q47 Q49) 的氮氧化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 氮氧化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 非甲烷总烃的排放速率均符合 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑾ 成盒工程厂房 ( F 栋 ) 有机废气处理系统 FQ FQ 排气筒 (Q51 Q53) 的氮氧化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 氮氧化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 非甲烷总烃的排放速率均符合 光电材料及元件制造业空气污染管制及排放标准 (2006 年 ) ( 台湾 ) 标准, 最高排放速率分别为 kg/h ⑿U 栋热水锅炉排气筒 FQ (Q54) 和 G 栋蒸汽锅炉排气筒 FQ (Q55) 的烟尘 二氧化硫 氮氧化物的排放浓度及烟气黑度均符合 锅炉大气污染物排放标准 (GB ) 表 3 标准 其中烟尘的最高排放浓度分别为 mg/m 3, 二氧化硫的排放浓度分别为 ND( 检出限为 3 mg/m3) ND( 检出限为 3 mg/m 3 ), 氮氧化物的排放浓度分别为 mg/m 3, 烟气黑度均 <1 ⒀ 依据 大气污染物综合排放标准 (GB ) 第 120 页共 168 页

126 类别污染物达标情况总量核算情况 要求, 两个排放相同污染物 ( 不论其是否由同一生产工艺过程产生 ) 的排气筒, 若其距离小于其几何高度之和, 应合并视为一根等效排气筒 若有三根以上的近距排气筒, 且排放同一种污染物时, 应以前两根的等效排气筒, 依次与第三 四根排气筒取等效值 排气筒等效分布图见图 8-1 至图 8-4, 等效排气筒排放速率统计见表 9-37, 经统计, 所有涉及等效排气筒的污染物的排放速率均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准 ⒁ 厂界无组织下风向的氯化氢最大浓度为 mg/m 3, 符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值 ; 非甲烷总烃的最大浓度为 1.88mg/m 3, 符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 无组织排放监控浓度限值要求 ; 氨的最大浓度为 0.34 mg/m 3, 符合 恶臭污染物排放标准 (GB ) 表 1 二级新扩改建标准 固体废物 各类固体废物均已按要求进行处理处置 厂界噪声 验收监测期间, 厂界四周 8 个噪声监测点位 (Z1~Z8) 的昼 夜等效声级均达到 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB )3 类标准, 蓬北村的昼 夜等效声级均达到 声环境质量标准 (GB )3 类标准 验收监测总结论 该项目较好地执行了 三同时 制度, 并建立了比较完善的环境管理组织体系和职责分明的环境管理制度 验收监测期间, 各类环保治理设施运行正常 项目所测的各类污染物均达标排放 12.2 建议 ⑴ 加强公司现有污染治理设施的运行管理, 确保污染物稳定达标排放 ⑵ 落实固废的收集和处理处置, 危险废物转移过程必须严格执行固废转移制度 ⑶ 强化环境风险防范意识, 公司的事故应急预案必须与当地政府的事故应急预案衔接 联动, 定期进行环境应急预案演练 配备 第 121 页共 168 页

127 事故应急物资 ⑷ 落实日常环境监测计划 ⑸ 增强厂区绿化建设, 采取措施进一步减轻无组织和噪声对周 围环境产生的影响 第 122 页共 168 页

128 附表废气 ( 有组织 ) 原始记录附表 1 废气 ( 有组织 ) 监测数据 1 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q1 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q2 项 目 单 位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氯气排放浓度 mg/m 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 注 : 排放浓度低于检出限以 ND 表示, 下同 醋酸的检出限为 8.0 mg/m 3 第 123 页共 168 页

129 附表 2 废气 ( 有组织 ) 监测数据 2 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q3 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q4 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氯气排放浓度 mg/m 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 注 : 醋酸的检出限为 8.0 mg/m 3 第 124 页共 168 页

130 附表 3 废气 ( 有组织 ) 监测数据 3 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q5 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q6 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氯气排放浓度 mg/m 醋酸排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 注 : 醋酸的检出限为 8.0 mg/m 3 第 125 页共 168 页

131 附表 4 废气 ( 有组织 ) 监测数据 4 薄化工程厂房 (B) 出口 Q7 薄化工程厂房 (B) 出口 Q8 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 硫酸雾排放浓度 mg/m ND 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 第 126 页共 168 页

132 附表 5 废气 ( 有组织 ) 监测数据 5 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 Q9 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 Q10 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 硫酸雾排放浓度 mg/m 3 ND ND ND 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 第 127 页共 168 页

133 附表 6 废气 ( 有组织 ) 监测数据 6 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 Q11 项目单位 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 硫酸雾排放浓度 mg/m ND ND 0.09 ND ND 注 : 硫酸雾的检出限为 0.02 mg/m 3 第 128 页共 168 页

134 附表 7 废气 ( 有组织 ) 监测数据 7 废水处理站 (U 栋 ) 进口 Q12 废水处理站 (U 栋 ) 出口 Q13 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氯化氢排放浓度 mg/m 第 129 页共 168 页

135 附表 8 废气 ( 有组织 ) 监测数据 8 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q14 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q15 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 Nm 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 130 页共 168 页

136 附表 9 废气 ( 有组织 ) 监测数据 9 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q16 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q17 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 Nm 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 131 页共 168 页

137 附表 10 废气 ( 有组织 ) 监测数据 10 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q18 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q19 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 Nm 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 132 页共 168 页

138 附表 11 废气 ( 有组织 ) 监测数据 11 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q20 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q21 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 Nm 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 133 页共 168 页

139 附表 12 废气 ( 有组织 ) 监测数据 12 碱性废气处理系统触控工程厂房 (B 栋 ) 进口 Q22 碱性废气处理系统触控工程厂房 (B 栋 ) 出口 Q23 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 134 页共 168 页

140 附表 13 废气 ( 有组织 ) 监测数据 13 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q24 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 出口 Q25 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 135 页共 168 页

141 附表 14 废气 ( 有组织 ) 监测数据 14 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q26 碱性废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 出口 Q27 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 136 页共 168 页

142 附表 15 废气 ( 有组织 ) 监测数据 15 动力厂房 (G 栋 ) 进口 Q28 动力厂房 (G 栋 ) 进口 Q29 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 137 页共 168 页

143 附表 16 废气 ( 有组织 ) 监测数据 16 动力厂房 (G 栋 ) 出口 Q30 项目单位 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氨排放浓度 mg/m 第 138 页共 168 页

144 附表 17 废气 ( 有组织 ) 监测数据 17 剥离废气系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q31 剥离废气系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q32 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 139 页共 168 页

145 附表 18 废气 ( 有组织 ) 监测数据 18 剥离废气系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q33 剥离废气系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q34 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 140 页共 168 页

146 附表 19 废气 ( 有组织 ) 监测数据 19 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q35 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 采气量 m 滤筒终重 mg 滤筒初重 mg 净重 mg 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氨排放浓度 mg/m 磷化氢排放浓度 mg/m ND ND ND ND 注 : 磷化氢的检出限为 0.07 mg/m 3 第 141 页共 168 页

147 附表 20 废气 ( 有组织 ) 监测数据 20 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q36 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 采气量 m 滤筒终重 mg 滤筒初重 mg 净重 mg 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氨排放浓度 mg/m 磷化氢排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND 注 : 磷化氢的检出限为 0.07 mg/m 3 第 142 页共 168 页

148 附表 21 废气 ( 有组织 ) 监测数据 21 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q37 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 采气量 m 滤筒终重 mg 滤筒初重 mg 净重 mg 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 氯化氢排放浓度 mg/m 氟化物排放浓度 mg/m 氨排放浓度 mg/m 磷化氢排放浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND 注 : 磷化氢的检出限为 0.07 mg/m 3 第 143 页共 168 页

149 附表 22 废气 ( 有组织 ) 监测数据 22 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q38 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q39 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 氮氧化物排放速率 kg/h 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 144 页共 168 页

150 附表 23 废气 ( 有组织 ) 监测数据 23 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q40 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q41 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 145 页共 168 页

151 附表 24 废气 ( 有组织 ) 监测数据 24 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q42 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q43 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 Nm 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 146 页共 168 页

152 附表 25 废气 ( 有组织 ) 监测数据 25 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q44 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q45 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物 L 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 147 页共 168 页

153 附表 26 废气 ( 有组织 ) 监测数据 26 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q46 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q47 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 148 页共 168 页

154 附表 27 废气 ( 有组织 ) 监测数据 27 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 进口 Q48 有机废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 Q49 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 149 页共 168 页

155 附表 28 废气 ( 有组织 ) 监测数据 28 有机废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 进口 Q50 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 150 页共 168 页

156 附表 29 废气 ( 有组织 ) 监测数据 29 有机废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 出口 Q51 有机废气处理系统成盒工程厂房 (F 栋 ) 出口 Q53 项目单位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 氮氧化物排放浓度 mg/m 非甲烷总烃排放浓度 mg/m 第 151 页共 168 页

157 附表 30 废气 ( 有组织 ) 监测数据 30 U 栋热水锅炉 Q H testo5# G 栋蒸汽锅炉 Q H testo5# 项 目 单 位 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa 烟温 烟气静压 Pa 烟气密度 kg/m kp / 动压值 Pa 烟气流速 m/s 烟道截面积 m 测态气量 m 3 /h 含湿量 % 标态气量 m 3 /h 采气量 m 滤筒终重 mg 滤筒初重 mg 净重 mg 含氧量 % 空气过剩系数 / 实测二氧化硫浓度 mg/m 3 ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND ND 实测氮氧化物浓度 mg/m 实测烟尘浓度 mg/m 注 : 二氧化硫的检出限为 2.86 mg/m 3 第 152 页共 168 页

158 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 13. 补充监测情况 13.1 任务来源 2017 年 8 月 15 日至 8 月 18 日 8 月 22 日至 8 月 23 日 10 月 16 日至 10 月 17 日江苏省苏力环境科技有限责任公司对友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段废水 废气 噪声等污染源排放现状进行了现场监测和检查 根据监测结果, 验收监测期间, 存在的主要问题 : 本项目第一阶段废气中的氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 的年排放总量超出环评预期总量指标要求 13.2 整改措施 针对存在问题, 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司进行了如下整改 : ⑴ 集尘机进行投粉监理滤饼 (0.05->0.5inH2O), 以提升过滤效率 ⑵ 洗涤塔进行调整水质导电度 (2 0.9ms), 以提升处理能力 ⑶ 洗涤塔进行洗涤 13.3 补测期间工况江苏省苏力环境科技有限责任公司于 2018 年 1 月 18 日至 1 月 19 日对友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段废气中的氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 进行的复测 复测期间生产工况见表 13-1 第 153 页共 168 页

159 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 13-1 监测期间生产负荷 监测日期产品类型设计生产能力 ( 第一阶段 ) LTPS 液晶面板 LTPS 液晶面板 注 : 以上数据由建设单位提供, 具体说明见附件 13.3 废气复测结果和评价 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 12.5K 片 / 月 (15 万片 / 年 ) (416 片 / 天 ) 监测期间生产能力 生产负荷 % 458 片 / 天 片 / 天 110 废气复测结果统计与评价情况详见表 13-2 至表 1312, 等效排气筒统计及排放速率计算评价见表 13-13, 排气筒等效分布图见图 13-1 至图 13-2 结果表明, 复测期间 : ⑴ 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q2 Q4 Q6) 的氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑵ 薄化工程厂房 (B 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q7~Q11) 的氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑶ 阵列工程厂房 (A/C 栋 )CVD 废气处理系统 FQ FQ FQ 排气筒 (Q35-Q37) 的颗粒物 ( 二氧化硅 ) 氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 其中颗粒物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 第 154 页共 168 页

160 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 ⑷ 依据 大气污染物综合排放标准 (GB ) 要求, 两 个排放相同污染物 ( 不论其是否由同一生产工艺过程产生 ) 的排气 筒, 若其距离小于其几何高度之和, 应合并视为一根等效排气筒 若有三根以上的近距排气筒, 且排放同一种污染物时, 应以前两根 的等效排气筒, 依次与第三 四根排气筒取等效值 排气筒等效分 布图见图 6-1 至图 6-2, 等效排气筒排放速率统计见表 6-13 经统计, Q2 Q4 Q6 Q35 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.016kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综 合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q36 Q37 点对应的排气 筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.008kg/h) 的等效排放速率符 合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速 率为 0.018kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 Q35 Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的颗粒物 ( 最高排放速 率为 0.11kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 第 155 页共 168 页

161 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 13-2 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q2) 酸性废气复测结果与评价 1 项目单位 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 FQ 排气筒 Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 达标情况 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 表 13-3 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q4) 酸性废气复测结果与评价 2 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 FQ 排气筒 Q4 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 156 页共 168 页

162 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 13-4 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q6) 酸性废气复测结果与评价 3 项目单位 酸性废气处理系统阵列工程厂房 (A/C 栋 ) 出口 FQ 排气筒 Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 标准 限值 达标 情况 表 13-5 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q7) 酸性废气复测结果与评价 1 薄化工程厂房 (B) 出口 FQ Q7 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 157 页共 168 页

163 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 13-6 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q8) 酸性废气复测结果与评价 2 项目单位 薄化工程厂房 (B) 出口 FQ Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 达标情况 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 表 13-7 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q9) 酸性废气复测结果与评价 3 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 FQ Q9 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 158 页共 168 页

164 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 13-8 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q10) 酸性废气复测结果与评价 4 项目单位 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 FQ Q 第一次第二次第三次第一次第二次第三次 标准限值 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 达标情况 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 表 13-9 薄化工程厂房 (B 栋 )(Q11) 酸性废气复测结果与评价 5 项 目 单 位 薄化工程厂房 (B 栋 ) 出口 FQ Q11 标准限达标情 值况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 159 页共 168 页

165 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q35)CVD 废气复测结果与评价 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q35 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 滤筒终重 mg / / 滤筒初重 mg / / 净重 mg / / 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 达标 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 排放速率 kg/h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 160 页共 168 页

166 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q36)CVD 废气复测结果与评价 阵列工程厂房 (A/C 栋 )FQ 出口 Q36 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 滤筒终重 mg / / 滤筒初重 mg / / 净重 mg / / 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 达标 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 排放速率 kg/h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 161 页共 168 页

167 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 阵列工程厂房 (A/C 栋 )(Q37)CVD 废气复测结果与评价 阵列工程厂房 (A/C 栋 ) FQ 出口 Q37 项 目 单 位 标准限值 达标情况 第一次 第二次 第三次 第一次 第二次 第三次 大气压 Pa / / 烟温 / / 烟气静压 Pa / / 烟气密度 kg/m / / kp / / / 动压值 Pa / / 烟气流速 m/s / / 烟道截面积 m / / 测态气量 m 3 /h / / 含湿量 % / / 标态气量 Nm 3 /h / / 滤筒终重 mg / / 滤筒初重 mg / / 净重 mg / / 实测颗粒物 ( 二氧化硅 ) 浓度 mg/m 达标 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 排放速率 kg/h / / 烟道尺寸 m 1.35 / / 氟化物排放浓度 mg/m 达标 氟化物排放速率 kg/h / / 第 162 页共 168 页

168 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 表 等效排气筒排放速率统计结果与评价 氟化物 颗粒物 等效点位 频次 等效排放速率 等效排放速率 kg/h kg/h 第一次 / 第二次 / 第三次 / Q2+ Q4+Q6 +Q35 第一次 / 第二次 / 第三次 / 标准限值 0.55 / 达标情况 达标 / 第一次 / 第二次 / 第三次 / Q36+Q37 第一次 / 第二次 / 第三次 / 标准限值 0.55 / 达标情况 达标 / 第一次 / 0.08 第二次 / 0.11 第三次 / 0.08 Q35+Q36+Q37 第一次 / 0.06 第二次 / 0.08 第三次 / 0.09 标准限值 / 21.3 达标情况 / 达标 第一次 / 第二次 / 第三次 / Q7+Q8+Q9 +Q10+Q11 第一次 / 第二次 / 第三次 / 标准限值 0.55 / 达标情况达标 / 第 163 页共 168 页

169 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 A 栋 北 氟化物 氟化物 颗粒物 2 Q4 Q6 Q35 Q36 Q 氟化物 : 根据等效原则, 对 Q2 Q4 Q6 Q35 等效后, 等效排气筒的 位置距离 Q36 的距离为 80.9m, 大于 58m, 故不需要继续等效,Q36 与 Q37 等效 颗粒物 : 根据等效原则, 需对 Q35 Q36 Q37 依次等效 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 图 13-1 A 栋需等效的排气筒分布图 第 164 页共 168 页

170 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 B 栋 北 氟化物 氟化物 Q7 Q8 Q9 Q 氟化物 : 根据等效原则, 需对 Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 依次等效 注 :1 此图不代表所有排气筒的分布, 仅列出排气筒间距小于几何高度之和的排气筒, 不包括不需要等效的排气筒, 此图中排气筒高度均为 29m 2 方框上方为对应排放污染物 ; 线下方对应数据为间距, 单位 m 3 排气筒高度相同, 等效时排放速率直接相加, 等效排气筒位置在两点之间中点处, 高度不变 图 13-2 B 栋需等效的排气筒分布图 第 165 页共 168 页

171 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收复测报告 13.4 废气污染物排放总量核算 项目废气污染物排放总量核算见表 本项目第一阶段废气 中的氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 的年排放量均符合环评预期总量指 标要求 项目 氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 位置 表 废气污染物排放总量核算 平均排放速率 (kg/h) 年运行时间 (h) 排放量 (t/a) Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q Q 排放总量 (t/a) 环评预期总量指标 (t/a) 第 166 页共 168 页

172 13.5. 补测结论补测期间 : ⑴ 陈列工程厂房 (A/C 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q2 Q4 Q6) 的氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑵ 薄化工程厂房 (B 栋 ) 酸性废气处理设施 FQ 至 FQ 排气筒 (Q7~Q11) 的氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准要求 其中氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑶ 阵列工程厂房 (A/C 栋 )CVD 废气处理系统 FQ FQ FQ 排气筒 (Q35-Q37) 的颗粒物 ( 二氧化硅 ) 氟化物的排放浓度均符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 二级标准, 其中颗粒物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ; 氟化物的最高排放浓度分别为 mg/m 3 ⑷ 依据 大气污染物综合排放标准 (GB ) 要求, 两个排放相同污染物 ( 不论其是否由同一生产工艺过程产生 ) 的排气筒, 若其距离小于其几何高度之和, 应合并视为一根等效排气筒 若有三根以上的近距排气筒, 且排放同一种污染物时, 应以前两根的等效排气筒, 依次与第三 四根排气筒取等效值 排气筒等效分布图见图 13-1 至图 13-2, 等效排气筒排放速率统计见表 第 167 页共 168 页

173 经统计, Q2 Q4 Q6 Q35 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.016kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.008kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ;Q7 Q8 Q9 Q10 Q11 点对应的排气筒等效后的氟化物 ( 最高排放速率为 0.018kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 Q35 Q36 Q37 点对应的排气筒等效后的颗粒物 ( 最高排放速率为 0.11kg/h) 的等效排放速率符合 大气污染物综合排放标准 (GB ) 表 2 标准 ⑸ 本项目第一阶段废气中的氟化物 颗粒物 ( 二氧化硅 ) 的年排放量均符合环评预期总量指标要求 第 168 页共 168 页

174 二 验收意见

175 1. 验收会组织情况 2018 年 3 月 1 日, 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司根据第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收监测报告依据 关于发布 < 建设项目竣工环境保护验收暂行办法 > 的公告 ( 国环规环评 号 ) 及建设项目竣工环境保护验收暂行办法 关于建设项目竣工环境保护验收有关事项的通知 ( 苏环办 号 ), 严格依照国家有关法律法规 建设项目竣工环境保护验收技术规范 本项目环境影响评价报告书和审批部门审批决定等要求对本项目进行验收 项目建设单位 ( 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司 ) 环评编制单位 ( 南京国环环境科技发展股份有限公司 ) 验收监测单位 ( 江苏省苏力环境科技有限责任公司 ) 及 3 名专家组成验收组 ( 名单附后 ) 验收组听取了建设单位及验收监测单位的汇报, 查看了建设项目现场情况, 经认真评议, 提出验收意见 2. 验收总结论 对照 关于发布 < 建设项目竣工环境保护验收暂行办法 > 的公告 ( 国环规环评 号 ) 关于建设项目竣工环境保护验收有关事项的通知 ( 苏环办 号 ), 按以下要求完善相关工作内容后, 本项目验收合格 要求 : ⑴ 因为雨水排口数量较多, 存在环境安全风险和隐患, 建议加强初期雨水的收集和处理, 并完善雨水排口的管理 ;

176 ⑵ 按环评及批复要求, 认真落实各类污染物的企业自测工作, 特别是地下水相关监测 ; ⑶ 加强含氟废水处理设施的管理和维护, 确保氟化物稳定达标排放 ; ⑷ 加强外排废气中颗粒物 ( 二氧化硅 ) 氟化物的总量控制, 确保满足环评中相关总量控制指标

177 三 要求完善内容 落实情况

178 针对 2018 年 3 月 1 日, 第 8.5 代 TFT-LCD 项目变更为第 6 代 LTPS TFT-LCD 项目第一阶段竣工环境保护验收会组织情况, 友达光电 ( 昆山 ) 有限公司针对专家组形成的意见逐条做了完善, 具体落实情况如下 : 1. 加强雨水监测管理, 将雨水检测纳入监测计划中 ; 设置雨排挡板, 降低突发状况发生时污染范围 ; 加强化学品充填区危废储存场所截留沟管理, 降低雨水被污染的可能性 ; 雨水收集及排放口合并纳入厂区二期建设完善 2. 依据环评及批复要求, 落实各污染物的检测工作, 签订华测检测和国测检测及苏力环境科技三间检测单位, 按监测计划执行日常监测工作 ( 附件 2) 厂内共设置 11 口地下水检测井 ( 详见附件 1), 定期委托检测单位对水位 ph/ 总硬度 硝酸盐氮 氨氮 氟化物 石油类 挥发性酚 高锰酸盐指数进行检测 3. 定期维护保养含氟废水处理设施, 落实加药 氟化物侦测仪清洗工作, 确保灵敏度并设定警报值, 一旦有异常警报系统自动将含氟废水切换至紧急池, 再由紧急池打回含氟废水系统再次处理, 直至达标方可放流 4 定期清洗保养处理设施, 并依据控制 ph 电导度 塔压差等参数监视, 适时增加清洗次数, 以维持设备处理正常

179 附件 1: 地下水监测井设置示意图