关于做好“五一”劳动节安全值班工作的通知

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量程叶赫那兰
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1 福建省国家重点监控企业自行监测方案企业名称 : 联芯集成电路制造 ( 厦门 ) 有限公司所在设区市 : 厦门市翔安区

2 一企业概况我司基本信息如下所示 : 企业名称地址法人代表表 1 企业基本信息联芯集成电路制造 ( 厦门 ) 有限公司厦门市翔安区万家春路 899 号尤朝生环保负责人王艳娟手机企业规模中一型投产时间所属行业占地面积 ( 万 m2) [3963] 集成电路制造生产周期职工人数 ( 人 ) 1036 生产工艺及产排污情况芯片生产可简要概括为三大步骤 : 步骤一 : 在晶片上形成薄膜, 薄膜可以是多晶硅氧化硅氮化硅金属 ( 铜钽钨铝等 ) 等, 成膜工艺包括 : 热氧化物理气相沉积化学气相沉积 ; 步骤二 : 将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上, 在薄膜上形成需要的器件图形或线路沟槽, 工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术 ; 步骤三 : 在上述基础上进行器件加工和线路连接, 工艺包括 : 扩散离子注入金属化等产排污情况见右图 2

3 生产工艺图污染处理设施建设运行情况公司废水废气噪声均建设有配套的污染防治设施, 建设情况符合三同时要求, 且已通过阶段性 ( 第一阶段 ) 验收, 运行正常 1. 生产废水主要为 : 含磷废水含氨废水含氟废水含铜废水综合废水等配套建设废水处理设施主要包括 : 含磷废水处理系统含氨废水处理系统含氟废水处理系统含铜废水处理系统中和处理系统处理达标后与生活污水通过总排口排入翔安污水处理厂 2. 废气处理设施主要包括 : 酸性废气处理系统碱性废气处理系统酸碱性废气处理系统酸腐蚀性废气处理系统有机废气处理系统废水站一般废气处理系统废水站氨氮系统废气等 20 套设施, 即 20 根废气排气筒但其中包含备用设施 4 套, 只在同型设施异常时开启, 故正常状态下运行设施计 16 套另外公司有备用天然气锅炉一台, 平常不开启, 仅在热泵能力不足时才开 ; 且其功率 4.1KW, 根据监测指南要求, 不属于主要污染源, 公司环评文件中亦未对其监测频次进行要求, 故本方案中不含锅炉 3

4 同时公司工艺尾气中的砷烷磷烷废气经过机台端废气处理装置处理 ( 处理效率 99%) 后排放, 因目前省内无检测公司有检测砷烷磷烷的资质, 故本方案中亦不含砷烷磷烷废气污染物排放方式及排放去向工业废水及生活污水 : 间接排放, 污水处理站处理达标后排入翔安污水处理厂废气 : 直接排放, 处理达标后通过 42m 烟囱排放工业固体废物或危险废物 : 统一收集后给资质单位处置 4

5 表 2 企业环评 / 验收信息批复 / 验收日期批复 / 验收文号批复 / 验收部门 1 环评批复环评批复环评验收厦环评号厦环函号厦环翔验 [2017]037 号厦门市环境保护局厦门市环境保护局厦门市环境保护局翔安分局 5

6 二企业监测能力我司对污染物开展自行监测的具体情况如下 : 表 3 自行承担监测情况实验室办公用房数 2 实验室面积 400 实验室监测人员数 5 持证人员数 0 发证单位监测经费 ( 元 / 年 ) 在线设备运营委托单位厦门翔辉宏环保工程有限公司运营经费 ( 元 / 年 )

7 版本号 : 表 4 委托单位情况单位名称监测资质实验室办公用房数实验室面积 ( 平米 ) 实验室监测人员数持证人员数人员持证发证单位委托监测经费 ( 元 / 年 ) 1 厦门市华测检测技术有限公司有华测检测技术委员会

8 版本号 : 废水 2 废气 3 废气委托单位总铜委托监测厦门市华测检测技术有限公司氨委托监测厦门市华测检测技术有限公司氯气委托监测厦门市华测检测技术有限公司表 5 项目监测情况监测方法仪器名称方法检出限样品保存方法采样个数单位备注水质铜锌铅镉的测定原子吸收分光光度法 GB/T 环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 手工检测

9 4 废气 5 废气 6 废水委托单位硫酸雾委托监测厦门市华测检测技术有限公司氯化氢委托监测厦门市华测检测技术有限公司 ph 值委托监测厦门市华测检测技术有限公司监测方法固定污染源废气, 硫酸雾的测定离子色谱法 HJ 环境空气和废气, 氯化氢的测定, 离子色谱法 HJ 水质 ph 值的测定玻璃电极法 GB/T 仪器名称方法检出限样品保存方法版本号 : 采样个数单位备注 7 废化学需自承担在线监测在线分析水氧量仪 8 废悬浮物委托监测厦门市华水质悬浮物

10 版本号 : 水 9 废水 1 废 0 水废气废气委托单位测检测技术有限公司监测方法的测定重量法 GB/T 仪器名称方法检出限样品保存方法氨氮自承担在线监测氟化物委托监测厦门市华测检测技术有限公司非甲烷总烃氮氧化物委托监测委托监测厦门市华测检测技术有限公司厦门市华测检测技术有限公司水质无机阴离子的测定离子色谱法 HJ/T 气相色谱法 HJ/T 或定电位电解法采样个数单位备注 10

11 版本号 : 废气废气废水废水委托单位乙酸委托监测厦门市华测检测技术有限公司氟化物委托监测厦门市华测检测技术有限公司生化需氧量委托监测厦门市华测检测技术有限公司总磷委托监测厦门市华测检测技术有限公监测方法仪器名称方法检出限样品保存方法手工检测大气固定污染源氟化物的测定离子选择性电极法 HJ/T 水质五日生化需氧量 (BOD5) 的测定稀释与接种法 HJ 水质总磷的测定钼酸胺分光光度法采样个数单位备注 11

12 版本号 : 司委托单位监测方法 GB/T 仪器名称方法检出限样品保存方法采样个数单位备注 12

13 版本号 : 三监测点位我司各监测点情况如下点位示意图 13

14 版本号 : 四监测内容根据环评批复及最新排放标准要求, 我司具体监测内容如下 : 表 6 监测点位情况监测点代码状态 1 废水总口 WS-0001 正常 2 废气酸性废气排气筒 1# FQ-0001 正常 3 废气碱性废气排气筒 1# FQ-0002 正常 14

15 版本号 : 监测点代码状态 4 废气酸碱性废气排气筒 1# FQ-0003 正常 5 废气酸腐蚀性废气排气筒 1# FQ-0004 正常 6 废气有机废气排气筒 1# FQ-0005 正常 7 废气废水站一般废气排气筒 FQ-0006 正常 15

16 版本号 : 监测点代码状态 8 废气废水站氨氮系统排气筒 FQ-0007 正常 9 废气酸性废气排气筒 2# FQ-0008 正常 10 废气酸性废气排气筒 3# FQ-0009 正常 11 废气酸性废气排气筒 4# FQ-0010 正常 16

17 版本号 : 监测点代码状态 12 废气酸性废气排气筒 5# FQ-0011 正常 13 废气酸性废气排气筒 6# FQ-0012 正常 14 废气酸性废气排气筒 7# FQ-0013 正常 15 废气酸性废气排气筒 8# FQ-0014 正常 17

18 版本号 : 监测点代码状态 16 废气酸性废气排气筒 9# FQ-0015 正常 17 废气碱性废气排气筒 2# FQ-0016 正常 18 废气碱性废气排气筒 3# FQ-0017 正常 19 废气酸碱性废气排气筒 2# FQ-0018 正常 18

19 版本号 : 监测点代码状态 20 废气酸腐蚀性废气排气筒 2# FQ-0019 正常 21 废气有机废气排气筒 2# FQ-0020 正常 22 噪声厂东界 ZS-0001 正常 23 噪声厂西界 ZS-0002 正常 19

20 版本号 : 监测点代码状态 24 噪声厂南界 ZS-0003 正常 25 噪声厂北界 ZS-0004 正常 20

21 表 7 监测点位情况 1 废水总口 ph 值 2 废水总口氨氮 3 废水总口 4 废水总口氟化物化学需氧量监测频次日日排放标准及标准号污水综合排放标准 GB 厦门市水污染物排放标准 DB-35/ 污水综合排放标准 GB 厦门市水污染物排放标准 DB-35/ 标准条件 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准标准限值

22 5 废水总口 6 废水总口生化需氧量悬浮物 7 废水总口总磷 8 废水总口总铜 9 废气 10 废气酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 氨氮氧化物监测频次排放标准及标准号厦门市水污染物排放标准 DB-35/ 厦门市水污染物排放标准 DB-35/ 厦门市水污染物排放标准 DB-35/ 污水综合排放标准 GB 恶臭污染物排放标准 GB 标准条件污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

23 11 废气 12 废气 13 废气 14 废气 15 废气 16 废气酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 碱性废气排气筒 1# 氟化物硫酸雾氯化氢氯气乙酸氨监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米标准限值

24 17 废气 18 废气 19 废气 20 废气 21 废气 22 废气酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸腐蚀性废气排气筒 1# 氨氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢氯化氢监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

25 23 废气 24 废气 25 废气 26 废气 27 废气 28 废气有机废气排气筒 1# 废水站一般废气排气筒废水站一般废气排气筒废水站氨氮系统排气筒废水站氨氮系统排气筒酸性废气排气筒 2# 非甲烷总烃氨硫酸雾氨氮氧化物氨监测频次年年年年排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 恶臭污染物排放标准 GB 恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 25 米最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 25 米最高允许排放浓度 (mg/m3)/ 硝酸使用和其他恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米标准限值

26 29 废气 30 废气 31 废气 32 废气 33 废气 34 废气酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢氯气乙酸监测频次排放标准及标准号标准条件最高允许排放浓度标准限值

27 35 废气 36 废气 37 废气 38 废气 39 废气 40 废气酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 氨氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢氯气监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

28 41 废气 42 废气 43 废气 44 废气 45 废气 46 废气酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 乙酸氨氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

29 47 废气 48 废气 49 废气 50 废气 51 废气 52 废气酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 氯气乙酸氨氮氧化物氟化物硫酸雾监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

30 53 废气 54 废气 55 废气 56 废气 57 废气 58 废气酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 氯化氢氯气乙酸氨氮氧化物氟化物监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

31 59 废气 60 废气 61 废气 62 废气 63 废气 64 废气酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 硫酸雾氯化氢氯气乙酸氨氮氧化物监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

32 65 废气 66 废气 67 废气 68 废气 69 废气 70 废气酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 8# 氟化物硫酸雾氯化氢氯气乙酸氨监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米标准限值

33 71 废气 72 废气 73 废气 74 废气 75 废气 76 废气酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢氯气乙酸监测频次排放标准及标准号标准条件最高允许排放浓度标准限值

34 77 废气 78 废气 79 废气 80 废气 81 废气 82 废气酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 氨氮氧化物氟化物硫酸雾氯化氢氯气监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 标准条件恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

35 83 废气 84 废气 85 废气 86 废气 87 废气 88 废气酸性废气排气筒 9# 碱性废气排气筒 2# 碱性废气排气筒 3# 酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 乙酸氨氨氨氮氧化物氟化物监测频次排放标准及标准号恶臭污染物排放标准 GB 恶臭污染物排放标准 GB 恶臭污染物排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米最高允许排放浓度标准限值

36 89 废气 90 废气 91 废气 92 废气酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 酸腐蚀性废气排气筒 2# 有机废气排气筒 2# 硫酸雾氯化氢氯化氢非甲烷总烃 93 噪声厂东界 Leq 94 噪声厂西界 Leq 监测频次排放标准及标准号工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 标准条件最高允许排放浓度工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 标准限值

37 监测频次排放标准及标准号 2008 标准条件标准限值 95 噪声厂南界 Leq 96 噪声厂北界 Leq 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别

38 五质量控制措施本自行监测方案由我司根据国家重点监控企业自行监测及信息公开办法 ( 试行 ) 的有关要求结合自身情况制订完成, 经县 ( 区 ) 市两级环保部门审核后备案, 向公众公开 ( 一 ) 自行承担监测的质量控制 1 分析方法遵守国家环境监测技术规范和方法 2 严格按照国家相关规定做好监测分析仪表的检定和校准属于国家强制检定的仪器和设备, 依法送检, 并在检定合格有效期内使用 ; 属于非强制检定的仪器与设备按照相关校准规程自行校准或核查, 或送有资质的计量检定机构进行校准, 校准合格并在有效期内使用每年对仪器与设备检定及校准情况进行核查 3 按照环境监测技术规范和自动监控技术规范的要求安装自动监测设备, 与环境保护主管部门联网, 并通过环境保护主管部门验收 4 人员持证上岗上岗人员均持有省级环境保护主管部门组织的与相符的培训证书 ; 对自动监测设备进行日常运行维护人员持有省级环境保护主管部门颁发培训证书, 并定期参加环境监测管理和相关技术业务培训 5 具有健全的自动监测设备环境监测工作和质量管理制度, 保证监测数据的准确性有效性真实性 ; 同时, 作好数据报表的整理汇编装订工作, 保证报表的统一管理 ( 二 ) 委托监测的质量控制本司的委托监测单位通过省级以上实验室资质认定, 具体见附件 3 ( 三 ) 其他质量控制 38

39 自行监测记录包含监测各环节的原始记录委托监测相关记录自动监测设备运维记录, 各类原始记录内容应完整并有相关人员签字, 保存三年六监测数据公开方式 ( 一 ) 公开方式我司在省环保主管部门组织建立的公布平台上公开企业基础信息自行监测方案自行监测结果及未开展监测原因自行监测开展年度报告等信息, 对信息的真实性承担责任, 信息公开保存一年以上 ( 二 ) 公开时限及要求 1. 基础信息随监测数据一并公布, 基础信息自行监测方案如有调整变化于变更后的五日内公布最新内容 ; 2. 自动监测数据实时公布监测结果, 如有在线设备故障时数据次日公布 ; 3. 数据于每次监测完成并获取监测数据结果后次日公布 ; 4. 每年一月底前公布上年度自行监测年度报告附件 : 附件 1 企业环评批复附件 2 委托监测合同附件 3 委托单位资质认定证书 39

监测报告说明一对本报告如有异议, 请在收到报告之日起 15 日内以书面形式向本公司提出 ; 二委托性监测, 系作为被委托方, 按照合同的约定, 对委托方的委托内容按相关技术标准和规范进行的监测, 分析结果仅供委托方使用 ; 三委托送检的样本, 本公司仅对送检样品的负责 ; 四监测报告中出现

监测报告说明一对本报告如有异议, 请在收到报告之日起 15 日内以书面形式向本公司提出 ; 二委托性监测, 系作为被委托方, 按照合同的约定, 对委托方的委托内容按相关技术标准和规范进行的监测, 分析结果仅供委托方使用 ; 三委托送检的样本, 本公司仅对送检样品的负责 ; 四监测报告中出现 171012050176 监测报告 ( 环境监测 ) (2017) 宁白化环监 ( 综 ) 字第 201712276 号监测类别 : 委托监测委托 : 江苏润环环境科技有限公司南京白云环境科技集团股份有限公司地址 : 南京化学工业园区云高路 6 号电话 : 025-83692241 邮编 : 210047 传真 : 025-83694869 监测报告说明一对本报告如有异议, 请在收到报告之日起