2 3 5 MICROSOL mm 1.0MPa 16 C D DC DIN 4 DC12V DC24V DC24V 75mA P P M B M CONTENTS MICROSOL P M B W2P51

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1 MICOOL mm.0ma C D DC DIN 4 DCVDC4V DC4V 7mA M M CONTNT MICOOL 4 6 M W 04 M N 0 0 M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma

2 MICOOL M MN M MN W JI C dm /s bar V -0 MV 0X W 4 4 N N4 M 4 M W 4 N NC (C) () NC (C) () () 4 A (C) (C) () () () A (C) (C) AC00 AC00 DC DC4 AC0 AC0 AC00 AC00 DC DC4 AC0 AC0 Total Air Gamma () () () N C.0C 4

3 eries 4N C A 4CD M MN M MN W 04-0 MV X 0 0 Total Air Gamma

4 eries M MN M MN W -0 MV D D 00mm D : 00mm D00 : 00mm D0 : 000mm D0 : 000mm D0 : 000mm D D C C C : 00mm C00 : 00mm C0 :000mm C0 :000mm C0 :000mm C C D D D : 00mm D0 : 00mm D : 000mm D : 000mm D : 000mm D D M0 M4 M0 M4 M ON OFF 90 AC DC. 0X 0 Total Air Gamma C C L D : 00mm D00 : 00mm D0 : 000mm D0 : 000mm D0 : 000mm C C L M6 N 6

5 eries () () CCC0C DDD0D M MN () M AC () () () NL NL (L) L CCCC DDDD MN W DC () () () () () () () () DC4V () () () CCC0C DDD0D (L) CCCC DDDD -0 MV 0X 0 Total Air Gamma 7

6 M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma JI (C) () (C) () () 4 A (C) (C) A (C) (C) () () () () () () MICOOL eries 6 TF 6 Ma Ma Ma m/s 0 m/s 00 AC V DC AC A DC AC A DC AC W DC / 60Hz V 0.06 / V 0.04 / 0.06 V 0.0 4V V 0.0 / V 0.07 / 0.0 V 0.0 4V V. /.4.0/.6 00V. /.6./. V..0 AC00V 060HzAC0V 60Hz AC00V 060HzAC0V 60Hz 0.MaON V00.9Ma.0.00kaabs760Torr 4V..0 4 M M Ma Ma Ma.. M M ms 0 0 g M M W W 4 4 Ma Ma Ma....0 M M M M ms 0 60 g

7 Cdm /s bar b M M M M M M M M eries Cdm /s bar b Cdm /s bar b A/ A// Cdm /s bar b Cdm /s bar b W M W M C.0C M MN M MN W 9-0 MV 0X 0 Total Air Gamma

8 M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma eries 4 A M6 C M0MM V 4 V 6 DC4V 6X4 7 4-M6-M-U-AC00V 90 W M6 M6 A 4. C D F G M H I U J AC00V M M U U D 7 M F G H I DC4V DC4V DC4V A 6 C M0 M M4 M6 N D V 4 F 0 G M M 06 c/ H 7 X 6 I U U L L J J AC00V AC00V 0/60Hz AC00V AC00V 0/60Hz DC4V DC4V DCV DCV AC0VAC0V 0/60Hz AC0V AC0V 0/60Hz AC4V AC4V DC6V DC4V 4 M M 4 W

9 LDC A D 00mm C C 00mm C C 00mm 00mm C0 C00000mm C0 000mm C0 000mm C0 00mm C 000mm C 000mm C 000mm C D D 00mm D 00mm D00 00mm D0 000mm D0 000mm D0 000mm D D0 00mm D 000mm D 000mm D 000mm D L L 4 M M 4 W eries M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma 9

10 M MN M MN W -0 MV 0X, eries M0 (C) () M M6 (C) () M0 (C) () () (C) () M M6 (C) (C) () () () () (C) () () (C) () 0 Total Air Gamma (C) () () (C) () () (C) () (C) () 9

11 4 M6 A (C) (C) 4 eries M MN () () () 7 M MN W A 7 () (C) () A(C) () -0 MV 0X C AC () () (C) (C) () () A(C) A(C) () () C AC 9 0 Total Air Gamma

12 M MN M MN eries 00mm AWG#0.6 W -0 MV mm AWG#0.0 M0M M (C) () 0X M0M M () (C) () Total Air Gamma

13 eries ( M6 ) ( ) C ( C C0 C C C C ) M MN 7.. CCC M 0 M6 G/4 () () AWG#4. (C,C0,C,C) MN W D ( D D0 D D D D ) ( L ) ( L ) 0 ( ) DDD AWG#4. (D,D0,D,D) (9) 0 g7-0 MV 9 0X 0 Total Air Gamma

14 M MN M MN M M eries M 6 00mm AWG#0.0 W M C M0.4 (C) M0.4 () MV M 00mm AWG#0.0 -M 0X M6 M0.4 () C () M0.4 (C) Total Air Gamma 0. -M 96

15 M M eries ( ) C ( C C0 C C C C ) D ( D D0 D D D D ) M MN 4. () G/4 CCC () AWG#4. (C,C0,C,C) 7.7 DDD AWG#4. (D,D0,D,D) 4.7 M MN W ( L ) ( L ) ( ) ( Q ) LL (9) () mm AWG#0.0 g7 G/4-0 MV L( L ) 0X Total Air Gamma 97

16 eries M MN M MN 6 00mm AWG#0.0 M0M W C 6 M0. 6 (C) M M M0.6 () -0 MV 6 00mm AWG#0.0 -M M0M 0X C 6 M0. 6 (C) 7 M M 6 M6 () Total Air Gamma -M 9

17 eries ( M6 ) M ( ) (). 47. G/4 CCC C.6 ( C C0 C C C C) () M MN AWG#4. (C,C0,C,C) M MN W D ( D D0 D D D D ) DDD 7.6 AWG#4. (D,D0,D,D) ( L ) 6..6 ( L ) (9) 0 g7 ( ) () G/4-0 MV ( Q ) c /( 06 ) U( U ) 0X M 4-M c/ () mm AWG#0.0 c/ (C) Total Air Gamma 99

18 M MN W eries W M MN W 4-M 4. A(C)(C) 0 4. A C C 00mm AWG# M0M MV M 0 4 -M 0X 0 Total Air Gamma 00

19 ( M6 ) M6 0. ( ) G/4 () W eries CCC C ( C C0 C C C C) 4.6 () AWG#4. (C,C0,C,C) M MN M MN W D ( D D0 D D D D ) 60.6 AWG#4. (D,D0,D,D) DDD ( L ) ( L ) 66. (9) 0 g7 ( ) MV ( Q ) 0X 0 00mm AWG# Total Air Gamma 0

20 M MN 4 eries 4 M MN W M6 00mm AWG# M () (C) () A(C) () ( ) 7. 0 C ( C C0 C C C C ) CCC. D ( D D0 D D D D) DDD () () MV G/4 AWG#4. (C,C0,C,C) AWG#4. (D,D0,D,D) 0X 0 ( L ) LL (9) g7 ( L ) 0 4. ( ) 7. () G/4 ( Q ) 9. 00mm AWG#0. Total Air Gamma 0

21 4 eries 4 C C -M4 ACC M4 M () 0 00mm AWG#0.0 4 M6 M MN M MN M W 6.7 ( ) () G/4 C C ( L ) LL ( L ). C ( C C0 C C C C ) 4. CCC () AWG#4. (C,C0,C,C) C C ( ) D ( D D0 D D D D ) 4. DDD AWG#4. (D,D0,D,D) ( Q ) C C 00mm AWG#0.0-0 MV (9) g7 0 C C 9. () G/4 60 C C 0X 0 c /( 06 ) U( U ) C C 0 -c/ ()A(C)(C) Total Air Gamma 0

22 M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma JI (C) () (C) () () 04 A (C ) (C ) ( ) () ( ) C 4.AC00V M -M6-M-AC00V M M M M4 M M4 0 0 MICOOL eries 6 AC / 60Hz V DC V 0.06 / AC 00V 0.04 / 0.06 Ma A V 0.0 DC Ma 4V 0.07 Ma 00V 0.0 / 0.0 AC V 0.07 / A V 0.0 DC 4V /.4 00V.0/.6 m/s 0 AC W. /.6 m/s 00 00V.0/. V..0 DC 4V..0 4 AC00V 0/60HzAC0V 60Hz AC00V 0/60HzAC0V 60Hz 4 Ma Ma Ma mm ms n g 7n+ n+ 0.MaON V00.9Ma.0.00kaabs 760Torr MM44 M M M M M4 M4 0

23 eries Cdm /s bar b Cdm /s bar b Cdm /s bar b A/ A// Cdm /s bar b Cdm /s bar b C.0C M MN M MN W TF MV 0X 0 Total Air Gamma

24 M MN M MN W -0 MV 0X eries 7 M6 M DC4V 0 A V M0M V 6 6 DC4V M6-M-AC00V Total Air Gamma 06 C D. F H M I J K AC00V C D F 7 G H I J K 0 0 A 4 C 4 D. 6.6 M0 M M4 M6 N F 04 G V H M M 06 c/ I 67 X J L L K AC00V 0 / 60Hz AC00VAC00V AC00V 0 / 60Hz DC4V DC4V DCV DCV AC0VAC0V AC0V AC0V 0 / 60Hz 0 / 60Hz AC4V AC4V DC6V DC4V

25 4LDC 4 F 00mm C C 00mm C C 00mm 00mm C0 C00000mm C0 000mm C0 000mm C0 00mm C 000mm C 000mm C 000mm C D D 00mm D 00mm D00 00mm D0 000mm D0 000mm D0 000mm D D0 00mm D 000mm D 000mm D 000mm D L L A eries M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma 07

26 eries M MN 00mm AWG#0.0 M0M L L M MN W 9 C C C C L 9 n-m (C) M M C C C C 0 K MV 0X 0 Total Air Gamma K L K M6 0 D( D D0 D D D D ).6 ( Q ) DDD 4 00mm AWG#0.0 AWG#4. (D,D0,D,D) ( ). () ( L ) ( L ) (9) 6. 0 c /( 06 ) G/4 g7 n-c/ C C CCC 0 K L K L C C L C(C C0 C C C C) () ( ) c/ 4-M () AWG#4. (C,C0,C,C) G/4 0

27 ( ) 4-M4 K L 4 M K L M ( L ) ( L ) 60 c /( 06 ) C C n-m4. ACC M44. () G/ K L M (9) g M ()() C( C C0 C C C C ) ( ) M4 00mm AWG#0.0 M6 CCC () AWG#4. (C,C0,C,C) () 60 K L M C C 4 eries L( L ) K C C L.6 D( D D0 D D D D ) 4. ( Q ) 00mm AWG#0.0 n-c/ M4 6-c/ DDD AWG#4. (D,D0,D,D) M MN M MN W 09-0 MV 0X 0 Total Air Gamma

28 M MN M MN W -0 MV JI (C) () (C) () () A (C ) (C ) ( ) () ( ) 4.0Ma MICOOL N eries 6 DIN Ma Ma Ma m/s 0 m/s 00 AC V DC A DC / 60Hz V 0.06 / AC 00V 0.04 / 0.06 V 0.0 4V V 0.0 / 0.0 AC 00V 0.07 / 0.0 A V 0.0 DC 4V /.4 00V.0/.6 AC W. /.6 00V./. V..0 DC 4V..0 4 AC00V 0/60HzAC0V 60Hz AC00V 0/60HzAC0V 60Hz 4 Ma Ma mm ms MaON V00.9Ma.0.00kaabs 760Torr 0X 0 Total Air Gamma 0 g g g DIN g nm N-UH4H4 N4-UH4H4 7 UH6 H6 4 UH6 H6 4 nm

29 Cdm /s bar b N eries Cdm /s bar b Cdm /s bar b A/ A// Cdm /s bar b Cdm /s bar b C.0C M MN M MN W TF 6-0 MV 0X 0 Total Air Gamma

30 M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma N eries N 7 M6 AC00V A C D 4 V M0M 6 V 6 V 7 0 N7-M0--AC00V MICOOL 7 C D. F G H I J AC00V F 7 G H I 0 N N N 4 C 4 D. 6.6 M0 4 M 4 M4 M6 N F G V 6 H 0 7 I X J J AC00V 0 / 60Hz AC00VAC00V AC00V 0 / 60Hz DC 4V DC 4V DC V DC V AC0VAC0V 0 / 60Hz AC0V AC0V 0 / 60Hz AC4V AC4V DC6V DC4V A

31 LDC N A N N 4 F 00mm C C 00mm 00mm C0 C00000mm C0 000mm C0 000mm C C 00mm C0 00mm C 000mm C 000mm C 000mm C D D 00mm D 00mm D00 00mm D0 000mm D0 000mm D0 000mm D D0 00mm D 000mm D 000mm D 000mm D L L N eries M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma

32 N eries M MN M N L K MN. W A (76) -0 MV K L ( ) G/4 () 6. C( C C0 C C C C ) AWG4. (C,C0,C,C) () CCC 60. D( D D0 D D D D ) AWG4. (D,D0,D,D) DDD 66. 0X 0 ( L ) ( L ) g7 (9) 0 0 ( ) LL g7 7. ( ) () G/ ( Q ) mm AWG# Total Air Gamma 4

33 N eries N M L K MN M. 40 MN A (7.) W K L ( ) G/4 () 6. C( C C0 C C C C ) AWG#4. (C,C0,C,C) () CCC 60. D( D D0 D D D D ) AWG#4. (D,D0,D,D) DDD MV ( L ) ( L ) g7 (9) 0 LL ( ) () G/4 ( Q ) 00mm AWG#0.0 0X 0 ( ) Total Air Gamma

34 M MN M MN N eries A L N-LUH6 N-LH6 N-UH6 N-H W L N-LUH6 N-LH6 N-UH6 N-H MV C M N-MUH4 N-MH4 4 4 D M4 N4-M4UH4 N4-M4H4 0X 0 Total Air Gamma A 4 N N M6 00 AC00V N M6 UH4 AC00V C A D H G F K A 4 I J A K C D K UH4 4 H4 4 00

35 F M N-MUH6 6 N-MH6 6 N eries M MN M MN G M N-MUH6 N-MH6 W 6 6 H AA.. L AA AA L. GW MV LW-H6 6 F U mm 0.mm NU 04 A X 0 0.mm A mm 0.mm A Total Air Gamma 7

36 N eries M MN M MN W N DIN DIN DIN mm mm -0 MV 0X 0 DIN 6 D 0 CD 6 4 F AWG 0.0.mm C 90 0.N m CKD m Total Air Gamma 0.N m JI C06VCTF 46.

37 N eries 6 4K N m 4 : (0.0.7mm ) M MN M MN W -0 MV 9 0X 0 Total Air Gamma

38 MICOOL M MN M MN N C D F. M6 00mm 6.6 N 4 M0 C 00mm W M C00 C C0 000mm M0MV C0 000mm C G H I C 00mm C0 V 0 C C 000mm V C 000mm 00mm 00.9Ma DC4V C 000mm.0.0kaabs C 760Torr X D 00mm D00 00mm D0 000mm D D0 000mm D0 000mm D J K D 00mm D0 00mm AC00V UH4 4 D D 000mm AC00V H4 4 D DCV 000mm C L(n) D 000mm DC4V D AC0V -0 AC0V MV 0X 0 Total Air Gamma 0 A L H6 L H6 H6 H6 C 7 N N N M H6 M H6 6 F 4 C D F G H I J c d k LW-H6 GW4- n- n n L L Q 00mm L 4L n M4 C0 000mm

39 9 MICOOL M 4 X 0min M MN M MN W -0 MV 0X 0 Total Air Gamma

40

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untitled ... F-28... -2... 465 EN1760-1 EN954-1(Category3) EN60204-1 1 IP67 3 341 - B M T -CD1 C P // -P1 A(mm) B(mm) 500 500 -M1010 750 500 -M1510 1,000 500 -M2010 750 750 -M1515 15mm 500 1,500 -M1030 1,000 750

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