建设项目环境影响报告表

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1 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 ( 公 示 版 ) 项 目 名 称 : 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 分 析 中 心 扩 建 项 目 建 设 单 位 ( 盖 章 ): 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 编 制 日 期 : 2016 年 7 月 江 苏 省 环 境 保 护 厅 制

2 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 说 明 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 由 具 有 从 事 环 境 影 响 评 价 工 作 资 质 的 单 位 编 制 1. 项 目 名 称 指 项 目 立 项 批 复 时 的 名 称, 应 不 超 过 30 个 字 ( 两 个 英 文 字 段 作 一 个 汉 字 ) 2. 建 设 地 点 指 项 目 所 在 地 详 细 地 址, 公 路 铁 路 应 填 写 起 止 地 点 3. 行 业 类 别 按 国 标 填 写 4. 总 投 资 指 项 目 投 资 总 额 5. 主 要 环 境 保 护 目 标 指 项 目 区 周 围 一 定 范 围 内 集 中 居 民 住 宅 区 学 校 医 院 保 护 文 物 风 景 名 胜 区 水 源 地 和 生 态 敏 感 点 等, 应 尽 可 能 给 出 保 护 目 标 性 质 规 模 和 距 厂 界 距 离 等 6. 结 论 与 建 议 给 出 本 项 目 清 洁 生 产 达 标 排 放 和 总 量 控 制 的 分 析 结 论, 确 定 污 染 防 治 措 施 的 有 效 性, 说 明 本 项 目 对 环 境 造 成 的 影 响, 给 出 建 设 项 目 环 境 可 行 性 的 明 确 结 论 同 时 提 出 减 少 环 境 影 响 的 其 它 建 议 7. 预 审 意 见 由 行 业 主 管 部 门 填 写 答 复 意 见, 无 主 管 部 门 项 目, 可 不 填 8. 审 批 意 见 由 负 责 审 批 该 项 目 的 环 境 保 护 行 政 主 管 部 门 批 复

3 一 建 设 项 目 基 本 情 况 项 目 名 称 建 设 单 位 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 分 析 中 心 扩 建 项 目 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 法 人 代 表 李 ** 联 系 人 李 ** 通 讯 地 址 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 9 栋 507 室 联 系 电 话 1860****087 传 真 ****7 邮 政 编 码 建 设 地 点 立 项 审 批 部 门 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 室 苏 州 工 业 园 区 经 济 发 展 委 员 会 3 批 准 文 号 苏 园 经 投 登 字 [2016]133 号 新 建 改 扩 建 技 改 行 业 类 别 建 设 性 质 M7450 质 检 技 术 服 务 ( 迁 ) 及 代 码 占 地 面 积 绿 化 面 积 ( 租 赁 ) 依 托 纳 米 城 现 有 绿 化 ( 平 方 米 ) ( 平 方 米 ) 总 投 资 其 中 : 环 保 投 资 环 保 投 资 % ( 万 元 ) ( 万 元 ) 占 总 投 资 评 价 经 费 比 例 1.8 预 期 投 产 日 期 2016 年 9 月 ( 万 元 ) 原 辅 材 料 ( 包 括 名 称 用 量 ) 及 主 要 设 施 规 格 数 量 ( 包 括 锅 炉 发 电 机 等 ) 扩 建 项 目 主 要 原 辅 材 料 使 用 量 见 表 1-1; 主 要 原 辅 料 理 化 性 质 见 表 1-2 表 1-1 本 扩 建 项 目 主 要 原 辅 材 料 类 别 名 称 组 份 / 规 格 年 耗 量 存 储 方 式 最 大 存 储 量 备 注 主 要 为 半 导 体 材 料 原 料 分 析 材 料 ( 客 户 提 供 ) 芯 片 ( 硅 片 ) 2100pcs 样 品 间 200pcs / 高 纯 氮 气 惰 性 100L 气 瓶 间,40L 每 瓶 40L 高 纯 氩 气 惰 性 10L 气 瓶 间,8L 每 瓶 8L 液 氮 液 态 800L 气 瓶 间,50L 每 瓶 200L 新 增 铂 固 态 0.5g 现 买 直 接 装 机 器 里 / 镓 固 态 45mg 现 买 直 接 装 机 器 里 / 丙 酮 含 量 99.5% 40L 化 学 品 柜 40L 无 水 乙 醇 含 量 99.9% 12L 化 学 品 柜 12L 辅 料 Dynasolve218 十 二 烷 基 苯 磺 酸 2 L 化 学 品 柜 2 L 丙 二 醇 单 甲 醚 N- 现 有 树 脂 甲 基 吡 咯 烷 酮 甲 项 目 Dynasolve711 2 L 化 学 品 柜 2 L 溶 解 醇 氢 氧 化 钾 1- 搬 迁 剂 苯 氧 基 -2- 丙 醇 原 辅 DynasolveCu-7 N- 甲 基 吡 咯 烷 酮 材 料 2 L 化 学 品 柜 2 L 二 甘 醇 胺 氢 氧 化 钾 固 体 500g 化 学 品 柜 500g 异 丙 醇 含 量 99.9% 12 L 化 学 品 柜 12 L 运 输 方 式 国 内 陆 运

4 表 1-1 本 扩 建 项 目 主 要 原 辅 材 料 ( 续 ) 类 别 名 称 组 份 / 规 格 年 耗 量 存 储 方 式 最 大 存 储 量 双 氧 水 含 量 30% 2 L 化 学 品 柜 2 L 氢 氧 化 钠 固 体 500g 化 学 品 柜 500g 浓 硫 酸 含 量 98% 8 L 化 学 品 柜 8 L 盐 酸 含 量 36% 2 L 化 学 品 柜 2 L 辅 料 发 烟 硝 酸 含 量 >95% 12 L 化 学 品 柜 12 L 醋 酸 含 量 36% 4L 化 学 品 柜 4L 硝 酸 含 量 68% 6 L 化 学 品 柜 6 L 二 氧 化 硅 缓 冲 腐 蚀 剂 氟 化 铵 氢 氟 酸 4 L 化 学 品 柜 4 L 氢 氟 酸 含 量 40% 4L 化 学 品 柜 4L 磷 酸 含 量 85% 2 L 化 学 品 柜 2 L 备 注 现 有 项 目 搬 迁 原 辅 材 料 运 输 方 式 国 内 陆 运 表 1-2 项 目 主 要 原 辅 材 料 理 化 性 质 名 称 理 化 性 质 燃 烧 爆 炸 性 毒 性 毒 理 氩 无 色 无 味 的 惰 性 气 体 熔 点 , 沸 点 , 相 对 密 度 ( 水 =1): 1.40, 相 对 蒸 气 密 度 ( 空 气 =1): 1.66, 微 溶 于 水 不 燃 若 遇 高 热, 容 器 内 压 增 大, 有 开 裂 和 爆 炸 的 危 险 常 压 下 无 毒 高 度 浓 时, 使 氧 分 压 降 低 而 发 生 窒 息 氮 气 液 氮 丙 酮 无 水 乙 醇 异 丙 醇 无 色 无 味 压 缩 气 体 熔 点 , 沸 点 -196, 相 对 密 度 ( 水 =1): 0.81, 相 对 蒸 气 密 度 ( 空 气 =1): 0.97, 微 溶 于 水 乙 醇, 溶 于 液 氨 压 缩 液 体, 无 色 无 臭 熔 点 , 沸 点 , 相 对 密 度 ( 水 =1): 0.81, 相 对 蒸 气 密 度 ( 空 气 =1): 0.97, 微 溶 于 水 乙 醇 无 色 液 体 熔 点 -94.6, 沸 点 56.48, 溶 于 苯 水 醇 二 甲 基 甲 酰 胺 醚 氯 仿 及 多 数 油 互 溶 相 对 密 度 0.79 ( 水 =1) 无 色 流 动 性 液 体, 具 有 愉 快 的 酒 香 熔 点 沸 点 :78.3, 相 对 密 度 ( 水 =1)0.79, 与 水 醚 氯 仿 及 甘 油 等 溶 剂 互 溶 无 色 液 体 沸 点 82.5, 熔 点 -88.5, 相 对 密 度 相 对 密 度 ( 水 =1) 0.785, 溶 于 氯 仿 苯 及 其 它 有 机 溶 剂 中, 不 溶 于 盐 的 溶 液 中, 与 水 互 溶 不 燃 若 遇 高 热, 容 器 内 压 增 大, 有 开 裂 和 爆 炸 的 危 险 不 燃 若 遇 高 热, 容 器 内 压 增 大, 有 开 裂 和 爆 炸 的 危 险 本 品 极 度 易 燃, 具 刺 激 性 闪 点 - 4, 自 燃 点 465, 爆 炸 极 限 2.5~12.8% 本 品 易 燃, 具 刺 激 性 爆 炸 极 限 3.3~19% 闪 点 13 ( 闭 杯 ), 自 燃 点 363 本 品 易 燃, 具 刺 激 性 爆 炸 极 限 2.0~12.7%, 闪 点 12 闭 杯, 自 燃 点 399 空 气 中 氮 气 含 量 过 高, 使 吸 入 气 氧 分 压 下 降, 引 起 缺 氧 窒 息 皮 肤 接 触 液 氮 可 致 冻 伤, 如 在 常 压 下 汽 化 产 生 的 氮 气 过 量, 可 使 空 气 中 氧 分 压 下 降, 极 端 情 况 下 可 能 引 起 缺 氧 窒 息 急 性 毒 性 LD 50: 5800mg/kg( 大 鼠 经 口 ); 5340mg/kg( 兔 经 口 ) 急 性 毒 性 LD 50: 小 鼠 经 口 3450 mg/kg 急 性 毒 性 LD 50: 大 鼠 经 口 5045 mg/kg 4

5 表 1-2 项 目 主 要 原 辅 材 料 理 化 性 质 ( 续 1) 名 称 理 化 性 质 燃 烧 爆 炸 性 毒 性 毒 理 琥 珀 色 液 体, 沸 点 >185 ; 不 易 燃, 遇 水 会 产 闪 点 65 ; 相 对 密 度 (( 水 生 酸 =1)): 0.84 剂 树 脂 溶 解 剂 (Dynasolve218) 树 脂 溶 解 剂 (Dynasolve711) 树 脂 溶 解 剂 (DynasolveCu-7) 氢 氧 化 钾 氢 氧 化 钠 双 氧 水 发 烟 硝 酸 浓 硫 酸 二 氧 化 硅 缓 冲 腐 蚀 剂 镓 蓝 色 液 体, 沸 点 120 ; 闪 点 :40.6, 相 对 密 度 (( 水 =1)): 0.99 白 色 液 体, 沸 点 200, 闪 点 95.6, 相 对 密 度 ( 水 =1)1.03 白 色 固 体 沸 点 1327, 熔 点 380, 相 对 密 度 2.044, 不 溶 于 醚, 易 溶 于 乙 醇 及 水 白 色 具 吸 湿 性 固 体 沸 点 1388, 熔 点 323, 具 强 烈 的 腐 蚀 性, 相 对 密 度 2.13/25, 无 生 物 富 集 性, 易 溶 于 水, 可 溶 于 乙 醇 甲 醇 及 甘 油 无 色 液 体 低 温 时 为 结 晶 性 固 体 沸 点 152, 熔 点 , 相 对 密 度 1.44, 与 水 互 溶, 溶 于 乙 醚 乙 醇, 不 溶 于 石 油 醚 无 色 透 明 发 烟 液 体, 常 含 氮 氧 化 物 呈 红 棕 色, 有 酸 味 沸 点 86, 熔 点 -42, 相 对 密 度 1.55, 溶 于 水 及 醚 纯 品 为 无 色 油 状 液 体 能 散 发 刺 鼻 烟 雾, 熔 点 -11 o C( 含 SO 320%), 沸 点 o C( 含 SO 320%), 相 对 密 度 1.9( 含 SO 320%), 与 水 互 溶, 具 强 吸 湿 性 透 明 液 体, 主 要 成 份 氢 氟 酸, 水 ; 浓 度 12% 灰 色 金 属 沸 点 2400, 熔 点 29.78, 相 对 密 度 /29.8 ( 液 体 ), /29.65 ( 固 体 ), 溶 于 酸 及 碱, 稍 溶 于 汞 不 易 燃 不 易 燃 本 品 不 燃, 具 强 腐 蚀 性 强 刺 激 性, 可 致 人 体 灼 伤 本 品 不 燃, 具 强 腐 蚀 性 强 刺 激 性, 可 致 人 体 灼 伤 本 品 助 燃, 具 强 刺 激 性 本 品 助 燃, 具 强 腐 蚀 性 强 刺 激 性, 可 致 人 体 灼 伤 本 品 不 燃, 具 强 腐 蚀 性 强 刺 激 性, 可 致 人 体 灼 伤 本 品 不 燃, 但 与 大 多 数 金 属 反 应, 生 成 氢 气 而 引 起 爆 炸 腐 蚀 性 强 / 避 免 实 际 接 触 眼 睛 和 皮 肤, 避 免 吸 入 和 吞 下 试 无 毒 ; 避 免 实 际 接 触 眼 睛 和 皮 肤, 避 免 吸 入 和 吞 下 试 剂 无 毒 ; 避 免 实 际 接 触 眼 睛 和 皮 肤, 避 免 吸 入 和 吞 下 试 剂 强 碱 性, 可 以 造 成 皮 肤 及 眼 睛 严 重 灼 伤 LD 50: 大 鼠 经 口 1230 mg/kg 或 273mg/kg LD 50: 小 鼠 腹 腔 注 射 40mg/kg 吸 入 本 品 蒸 气 或 雾 对 呼 吸 道 有 强 烈 刺 激 性 长 期 接 触 本 品 可 致 接 触 性 皮 炎 对 眼 睛 皮 肤 粘 膜 及 呼 吸 道 具 有 强 烈 的 灼 伤 作 用 LD 50: 大 鼠 经 口 >90 ml/kg LD 50:80 mg/kg( 大 鼠 经 口 ) LC 50:1044 mg/m 3 ( 大 鼠 吸 入 ) 本 品 具 有 腐 蚀 性, 暴 露 会 刺 激 和 灼 伤 眼 鼻 和 咽 喉 ; 反 复 或 高 浓 度 暴 露 引 起 恶 心 呕 吐 皮 疥 和 肾 损 伤 5

6 表 1-2 项 目 主 要 原 辅 材 料 理 化 性 质 ( 续 2) 名 称 理 化 性 质 燃 烧 爆 炸 性 毒 性 毒 理 100% 浓 度 为 白 色 结 晶,85% 磷 酸 溶 液 呈 糖 浆 状 液 体, 具 吸 湿 本 品 不 燃, 具 腐 蚀 LD 性 熔 点 42.35, 相 对 密 性 刺 激 性, 可 致 50: 大 鼠 经 口 1530mg/kg 度 1.834/18, 溶 于 水 及 乙 人 体 灼 伤 醇 氢 氟 酸 醋 酸 十 二 烷 基 苯 磺 酸 丙 二 醇 单 甲 醚 N- 甲 基 吡 咯 烷 酮 甲 醇 1- 苯 氧 基 -2- 丙 醇 无 色 透 明 有 刺 激 性 臭 味 的 液 体 熔 点 ( ): -83.1( 纯 ), 相 对 密 度 ( 水 =1): 1.26(75%), 沸 点 ( ): 120(35.3%), 与 水 混 溶 具 有 刺 激 性 酸 味 的 无 色 透 明 液 体 沸 点 118, 熔 点 16.6, 具 有 腐 蚀 性, 相 对 密 度 /20 /4, 溶 于 醇 甘 油 醚 四 氯 化 碳, 不 溶 于 二 硫 化 碳, 与 水 丙 酮 及 苯 互 溶 白 色 至 淡 黄 色 薄 片 无 臭 小 颗 粒 或 粉 末 状 闪 点 110, 易 溶 于 水 丙 二 醇 甲 醚 有 微 弱 的 醚 味, 但 没 有 强 刺 激 性 气 味, 无 色 透 明 液 体 主 要 用 作 溶 剂 分 散 剂 和 稀 释 剂, 也 用 作 燃 料 抗 冻 剂 萃 取 剂 等 分 子 量 无 色 透 明 油 状 液 体, 稍 有 胺 的 气 味, 相 对 密 度 凝 固 点 一 24.4 沸 点 203 折 射 率 闪 点 95 与 水 乙 醇 乙 醚 醋 酸 乙 酯 丙 酮 氯 仿 甲 苯 等 混 溶 挥 发 性 低, 化 学 稳 定 性 好 分 子 量 32.04, 沸 点 64.7 又 称 木 醇 或 木 精 是 无 色 有 酒 精 气 味 易 挥 发 的 液 体 透 明 粘 稠 液 熔 点 : 11ºC, 沸 点 : 243ºC, 相 对 密 度 1.463, 闪 点 >110 本 品 不 燃, 但 能 与 大 多 数 金 属 反 应, 生 成 氢 气 而 引 起 爆 炸 遇 H 发 泡 剂 立 即 燃 烧 腐 蚀 性 极 强 本 品 易 燃, 具 腐 蚀 性 强 刺 激 性, 可 致 人 体 灼 伤 本 品 可 燃, 具 刺 激 性 易 燃 的 液 体 与 蒸 气, 爆 炸 极 限 : 空 气 中 1.9%~13.1( 体 积 ) 加 热 至 315 以 上, 该 物 质 发 生 分 解, 产 生 有 毒 烟 雾 ; 与 强 酸 发 生 反 应 ; 浸 蚀 铝 ; 高 于 91 可 能 形 成 爆 炸 性 蒸 汽 / 空 气 混 合 物 该 品 易 燃, 具 刺 激 性 LC 50:1044 mg/m 3 ( 大 鼠 吸 入 ) LD 50:3530mg/kg( 大 鼠 经 口 );1060mg/kg( 兔 经 皮 ) LC 50:13791mg/m 3,1 小 时 ( 小 鼠 吸 入 ) LD 50:1260 mg/kg( 大 鼠 经 口 ) LD 50:6600 mg/kg( 大 鼠 经 口 );5660 mg/kg( 兔 经 皮 ) LD 50:4.2ml/kg LD 50:5628mg/kg( 大 鼠 经 口 );15800mg/kg( 兔 经 皮 );LC 50: 82776mg/kg,4 小 时 ( 大 鼠 吸 入 ) / 具 有 刺 激 性 6

7 表 1-2 项 目 主 要 原 辅 材 料 理 化 性 质 ( 续 3) 名 称 理 化 性 质 燃 烧 爆 炸 性 毒 性 毒 理 无 色 微 粘 稠 液 体 熔 本 品 可 燃, 具 腐 蚀 12.5, 沸 点 218~224, LD 50:5660 mg/kg( 大 鼠 经 二 甘 醇 胺 性 强 刺 激 性, 可 相 对 密 度 ( 水 =1):1.05, 闪 口 );1190 mg/kg( 兔 经 皮 ) 致 人 体 灼 伤 点 126.7, 与 水 混 溶 铂 氟 化 铵 银 白 色 韧 性 金 属, 不 溶 于 水 和 有 机 溶 剂 熔 点 1769, 相 对 密 度 ( 水 =1): 21.45, 沸 点 ( ): 3727~ 3927, 白 色 结 晶 相 对 密 度 1.015, 难 溶 于 乙 醇, 易 溶 于 水 甲 醇, 不 溶 于 氨 水 / 本 品 不 燃, 有 毒, 具 强 刺 激 性 铂 盐 粉 末 滴 液 雾 等 都 可 使 皮 肤 鼻 子 支 气 管 过 敏 LD 50:32 mg/kg( 大 鼠 腹 腔 ) 试 验 设 备 公 辅 工 程 设 备 表 1-3 本 扩 建 项 目 主 要 设 备 一 览 表 数 量 序 号 设 备 名 称 设 备 型 号 ( 台 / 套 ) 产 地 1 扫 描 电 子 显 微 镜 MAIA 3 LMH 1 捷 克 2 FIB GAIA 3 XMH 1 捷 克 3 EMMI/OBIRCH PHEMOS 日 本 4 俄 歇 电 子 能 谱 仪 PHI 日 本 5 离 子 减 薄 仪 EMTIC3X 1 德 国 6 研 磨 抛 光 机 Labopol-4 1 德 国 7 金 相 显 微 镜 Optika B 意 大 利 8 体 视 显 微 镜 OLYMPUS SZX7 1 日 本 9 椭 偏 仪 M2000D 1 美 国 10 烘 箱 HTCR5 1 新 加 坡 11 电 子 天 平 XS6002S 1 瑞 士 12 数 字 源 表 KEITHLEY 美 国 13 热 台 HPP-155L 2 德 国 14 加 热 台 CORNING PC 美 国 15 超 声 波 清 洗 器 KQ3200E 1 昆 山 备 注 新 增 设 备 现 有 项 目 搬 迁 设 备 16 空 压 机 DA 新 增 设 备 7

8 水 及 能 源 消 耗 量 名 称 消 耗 量 名 称 消 耗 量 水 (m 3 / 年 ) 180 燃 油 ( 吨 / 年 ) 无 电 ( 万 度 / 年 ) 100 燃 气 ( 标 立 方 米 / 年 ) 无 燃 煤 ( 吨 / 年 ) 无 其 它 无 废 水 ( 工 业 废 水 生 活 废 水 ) 排 水 量 及 排 放 去 向 生 活 污 水 公 辅 工 程 生 产 废 水 : 类 别 排 水 量 排 放 口 名 称 排 放 去 向 实 验 废 水 25m 3 /a 由 园 区 污 水 处 理 厂 处 理 达 标 后 厂 排 口 生 活 污 水 120m 3 /a 排 入 吴 淞 江 放 射 性 同 位 素 和 伴 有 电 磁 辐 射 的 设 施 的 使 用 情 况 根 据 建 设 单 位 提 供 的 相 关 资 料, 经 核 实 分 析, 本 扩 建 项 目 所 使 用 设 备 均 不 含 放 射 性 同 位 素, 不 产 生 放 射 及 电 磁 辐 射 污 染 8

9 工 程 内 容 及 规 模 : 1 项 目 由 来 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 成 立 于 2012 年, 注 册 地 在 苏 州 工 业 园 区, 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 9 栋 507 室 现 有 业 务 主 要 对 芯 片 等 进 行 高 端 分 析 服 务 目 前 为 了 满 足 市 场 需 求, 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 拟 投 资 1100 万 元, 引 进 一 些 高 端 先 进 设 备, 扩 建 分 析 中 心, 扩 建 项 目 主 要 业 务 为 针 对 半 导 体 材 料 芯 片 进 行 分 析 检 测 服 务 本 扩 建 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 室 由 于 现 有 项 目 批 复 的 是 在 建 设 地 临 时 建 设 3 年, 现 有 项 目 到 期 后 将 搬 迁 至 本 项 目 建 设 地, 现 有 项 目 所 在 地 仅 作 为 办 公 用 地, 因 此 本 次 扩 建 内 容 包 括 现 有 项 目 搬 迁 部 分 和 新 增 分 析 业 务 扩 建 部 分 2 地 理 位 置 及 周 围 环 境 概 况 扩 建 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 纳 米 城 西 北 区 11 号 楼 104 室, 属 于 生 产 研 发 用 地 ; 厂 房 四 侧 均 为 工 业 研 发 企 业, 最 近 敏 感 点 为 西 北 960m 处 的 澜 调 国 际 项 目 所 在 西 北 区 11 栋 建 筑 为 5 层 建 筑, 项 目 位 于 104 室 项 目 四 侧 均 为 工 业 厂 房 3 主 体 工 程 及 产 品 方 案 本 扩 建 项 目 主 要 是 针 对 半 导 体 材 料 芯 片 等 进 行 分 析 服 务, 年 材 料 分 析 2000PCS 表 1-4 扩 建 项 目 主 要 构 筑 物 构 筑 物 名 称 建 筑 面 积 (m 2 ) 清 洁 度 要 求 实 验 室 *6.35 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 2 4.4*6.35 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 3 4.4*5.75 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 4 4.5*5.75 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *5.5 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *6.35 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *6.4 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 8 4.2*4.5 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *3.9 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *3.9 普 通 级, 无 特 殊 要 求 实 验 室 *5.65 普 通 级, 无 特 殊 要 求 真 空 设 备 间 2*6.35 普 通 级, 无 特 殊 要 求 真 空 设 备 间 2*5.75 普 通 级, 无 特 殊 要 求 样 品 间 2.325*7.15 普 通 级, 无 特 殊 要 求 气 瓶 间 2.5*5.65 普 通 级, 无 特 殊 要 求 办 公 区 域 14.9*5 普 通 级, 无 特 殊 要 求 9

10 产 品 名 称 材 料 分 析 主 要 类 别 表 1-5 扩 建 项 目 产 品 方 案 AES 表 面 成 分 检 测 (nm 级 检 测 ) SEM 表 面 观 察 (um 级 检 测 ) EMMI/OBIRCH 漏 电 流 及 短 路 检 测 FIB 离 子 束 聚 焦 观 察 截 面 离 子 束 减 薄 仪 样 品 表 面 减 薄 微 米 级 减 薄 后 待 用 研 磨 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 样 品 染 色 IC 工 艺 解 剖 设 计 能 力 扩 建 前 扩 建 后 0 100PCS/ 年 2100PCS/ 年 运 行 时 数 2000h 4 公 用 及 辅 助 工 程 贮 运 工 程 公 用 辅 助 工 程 环 保 工 程 表 1-6 扩 建 项 目 公 用 辅 助 工 程 类 别 设 计 能 力 备 注 样 品 间 10m 2 暂 存 分 析 材 料 化 学 品 实 验 室 7.6m 2 实 验 室 9, 暂 存 化 学 品 和 危 废, 其 中 危 废 暂 存 约 2m 2 给 水 系 统 430m 3 /a 利 用 所 在 厂 房 已 有 供 水 设 施, 由 园 区 自 来 水 厂 提 供 排 水 系 统 345m 3 /a 利 用 所 在 厂 房 已 有 排 水 设 施, 排 入 园 区 污 水 处 理 厂 供 气 系 统 / 扩 建 项 目 所 需 氮 气 氩 气 液 氮 均 外 购, 不 自 制 空 压 机 304L/min 制 取 压 缩 空 气 供 电 100 万 度 / 年 利 用 所 在 厂 房 已 有 供 电 设 施 废 气 处 理 5600m 3 /h 酸 性 废 气 经 通 风 厨 收 集 后 经 屋 顶 排 风 口 排 放, 有 机 废 气 经 通 风 厨 收 集 活 性 炭 吸 附 处 理 后 经 屋 顶 排 风 口 排 放 本 项 目 废 气 共 通 过 2 个 排 风 口 排 放 研 磨 废 水 经 过 沉 淀 池 物 理 沉 淀 后, 上 层 水 接 管 污 水 厂, 废 水 处 理 / 下 层 作 为 固 废 处 理 与 纳 米 城 依 托 关 系 : 本 项 目 所 需 给 水 排 水 供 电 绿 化 等 设 施 依 托 所 在 纳 米 城 公 用 设 施, 生 活 污 水 排 放 及 排 污 申 报 等 均 依 托 纳 米 城 ; 食 堂 一 并 依 托 纳 米 城 设 施 5 劳 动 定 员 及 工 作 制 度 生 产 制 度 : 年 工 作 250d, 每 天 工 作 8h, 共 计 2000h 职 工 人 数 : 现 有 项 目 6 人 调 配 至 本 项 目, 剩 余 10 人 在 现 有 项 目 所 在 地 办 公 生 活 设 施 : 公 司 内 不 设 食 堂 10

11 与 本 项 目 有 关 的 原 有 污 染 情 况 一 现 有 项 目 概 况 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 成 立 于 2012 年, 注 册 地 在 苏 州 工 业 园 区, 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 9 栋 507 室 现 有 业 务 主 要 对 芯 片 等 进 行 高 端 分 析 服 务 现 有 项 目 定 员 16 人, 年 工 作 250 天, 每 天 工 作 8 小 时 2013 年 11 月 22 日 苏 州 工 业 园 区 环 保 局 出 具 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 临 时 分 析 中 心 项 目 环 保 审 批 意 见 ( 档 案 号 号 ), 同 意 该 分 析 实 验 中 心 项 目 在 申 请 地 临 时 建 设 3 年 该 项 目 于 2015 年 3 月 12 日 通 过 环 保 工 程 验 收 ( 档 案 号 ) 本 扩 建 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 室 由 于 现 有 项 目 批 复 的 是 在 建 设 地 临 时 建 设 3 年, 现 有 项 目 到 期 后 将 搬 迁 至 本 项 目 建 设 地 苏 州 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 室 二 现 有 项 目 实 验 分 析 工 艺 及 污 染 治 理 措 施 现 有 项 目 工 艺 见 图 1-1 至 图 1-6 IC 样 品 发 烟 硝 酸 2mL 发 烟 硫 酸 2mL 加 热 至 60 度 (5 分 钟 ) 水 洗 20mL 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 图 1-1 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 IC 样 品 Dvnasolve 218 5mL 加 热 至 65 度 (20 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 图 1-2 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 IC 样 品 Dvnasolve 711 5mL 加 热 至 70 度 (30 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 图 1-3 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 IC 样 品 Dvnasolve Cu-7 5mL 加 热 至 60 度 (30 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 图 1-4 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 11

12 IC 样 品 醋 酸 双 氧 水 氢 氟 酸 ( 室 温 )2mL 水 洗 30mL 丙 酮 冲 洗 吹 干 SEM 检 查 图 1-5 样 品 染 色 工 艺 流 程 图 IC 样 品 除 去 氮 化 硅 层 磷 酸 2mL( 加 热 50 度 ) 除 去 保 护 层 二 氧 化 硅 缓 冲 腐 蚀 剂 2mL 室 温 除 去 金 属 层 HCl 或 KOH 或 NaOH 室 温 3mL 图 1-6 IC 工 艺 解 剖 工 艺 流 程 图 现 有 项 目 实 验 分 析 过 程 中 产 生 的 酸 性 废 气 经 通 风 厨 收 集 后 通 过 屋 顶 排 气 口 排 放, 非 甲 烷 总 烃 经 活 性 炭 吸 附 处 理 后 排 放 现 有 项 目 产 生 实 验 废 水 中 浓 度 大 的 作 为 危 险 废 物 委 托 有 资 质 单 位 处 置, 清 洗 器 皿 等 污 染 物 浓 度 小 的 与 生 活 污 水 一 起 接 入 园 区 污 水 厂 统 一 处 理 现 有 项 目 各 设 备 噪 声 源 强 较 小, 经 过 厂 房 隔 声 等 措 施 后, 厂 界 可 达 标 排 放 现 有 项 目 废 液 作 为 危 险 废 物 委 托 吴 江 市 太 湖 工 业 废 弃 物 处 理 有 限 公 司 处 理 处 置, 生 活 垃 圾 由 园 区 统 一 收 集 处 置, 各 固 废 均 得 到 了 妥 善 的 处 理 处 置 三 现 有 项 目 三 本 账 汇 总 现 有 项 目 三 废 产 生 及 排 放 情 况 见 表

13 废 气 废 水 表 1-7 现 有 项 目 污 染 物 产 生 及 排 放 汇 总 表 类 别 污 染 物 名 称 产 生 量 削 减 量 有 组 织 无 组 织 实 验 室 废 水 生 活 污 水 实 验 室 废 水 + 生 活 污 水 固 废 排 放 情 况 接 管 量 排 放 量 HCl / 氮 氧 化 物 / 硫 酸 雾 / 氟 化 物 / 非 甲 烷 总 烃 / HCl / 氮 氧 化 物 / 硫 酸 雾 / 氟 化 物 / 非 甲 烷 总 烃 / 水 量 COD SS 水 量 COD SS NH 3-N TN TP 水 量 COD SS NH 3-N TN TP 危 险 废 物 / 0 一 般 固 废 / 0 生 活 垃 圾 4 4 / 0 四 现 有 项 目 存 在 的 主 要 问 题 及 拟 采 取 的 以 新 带 老 措 施 现 有 项 目 三 废 均 经 过 有 效 收 集 和 处 置, 不 存 在 环 境 问 题, 无 以 新 带 老 措 施 13

14 二 建 设 项 目 所 在 地 自 然 环 境 社 会 环 境 简 况 自 然 环 境 简 况 ( 地 形 地 貌 地 质 气 候 气 象 水 文 植 被 生 物 多 样 性 等 ): 1 地 理 位 置 苏 州 处 江 苏 省 东 南 部, 东 临 上 海, 南 接 浙 江, 西 抱 太 湖, 北 依 长 江 苏 州 市 区 中 心 地 理 坐 标 为 北 纬 31 19, 东 经 苏 州 工 业 园 区 位 于 苏 州 市 区 的 东 部, 具 有 十 分 优 越 的 区 位 优 势, 地 处 长 江 三 角 洲 中 心 腹 地, 位 于 中 国 沿 海 经 济 开 放 区 与 长 江 经 济 发 展 带 的 交 汇 处, 距 上 海 仅 80km 项 目 所 在 地 位 于 苏 州 工 业 园 区 纳 米 城, 属 于 规 划 生 产 研 发 用 地 范 畴 ( 具 体 位 置 见 附 图 1 建 设 项 目 地 理 位 置 图 ) 2 地 形 地 貌 苏 州 在 地 貌 上 属 于 长 江 下 游 三 角 洲 冲 积 平 原, 地 势 平 坦, 高 程 在 3.5~5m, 苏 州 西 部 地 势 较 高, 并 有 低 山 丘 陵, 如 天 平 山 七 子 山 等, 东 部 地 势 相 对 低 洼, 且 多 湖 泊, 如 阳 澄 湖 金 鸡 湖 等 项 目 所 处 的 苏 州 工 业 园 区 主 要 为 开 阔 的 湖 积 平 原, 水 网 密 布 厂 址 地 属 江 南 地 层 区 苏 州 长 兴 小 区 的 江 苏 部 分 太 湖 冲 击 平 原 区, 场 地 第 四 系 覆 盖 层 厚 度 大 据 区 域 资 料, 场 地 属 地 壳 活 动 相 对 稳 定 区 3 地 质 概 况 苏 州 工 业 园 区 为 冲 积 平 原 地 质 区 及 基 岩 山 丘 工 程 地 质 区, 除 表 层 土 层 经 人 类 活 动 而 堆 积 外, 其 余 均 为 第 四 纪 沉 积 层, 坡 度 平 缓, 一 般 呈 水 平 成 层 互 交 层 或 夹 层, 较 有 规 律 地 质 特 点 表 现 为 : 地 势 平 整, 地 质 较 硬, 地 耐 力 较 强 根 据 中 国 地 震 裂 度 区 划 图 (1990) 及 国 家 地 震 局 建 设 部 地 震 办 [1992]160 号 文, 苏 州 市 50 年 超 过 概 率 10% 的 裂 度 值 为 Ⅵ 度 4 气 候 气 象 苏 州 工 业 园 区 属 亚 热 带 季 风 海 洋 性 季 风 气 候, 四 季 分 明, 气 候 温 和, 雨 量 充 沛, 季 风 盛 行, 夏 季 盛 行 东 南 风, 冬 季 盛 行 西 北 风 雨 季 为 6~7 月 份 根 据 苏 州 市 气 象 台 历 年 气 象 资 料 统 计 : (1) 温 度 年 平 均 气 温 :15.8 ; 最 热 月 平 均 温 度 :28.5 ; 最 冷 月 平 均 温 度 :3 ; 极 端 最 高 温 度 :38.8 ; 极 端 最 低 温 度 :

15 (2) 湿 度 年 平 均 湿 度 :76%; 最 热 月 平 均 相 对 湿 度 :83% (3) 风 向 全 年 主 导 风 向 :SE; 夏 季 主 导 风 向 :SE,S; 冬 季 主 导 风 向 :NW,N (4) 风 速 年 平 均 风 速 :2.5m/s (5) 气 压 年 平 均 气 压 :1016hpa (6) 降 水 量 年 平 均 降 水 量 :1076.2mm; 年 最 大 降 水 量 :1554.7mm; 日 最 大 降 水 量 : 343.1mm (7) 积 雪 厚 度 最 大 积 雪 厚 度 :26cm (8) 冻 结 深 度 土 壤 最 大 冻 结 深 度 :8cm 5 水 文 苏 州 工 业 园 区 为 江 南 水 网 地 区, 河 网 纵 横 交 叉, 湖 荡 众 多, 金 鸡 湖 阳 澄 湖 独 墅 湖 等 水 体 造 就 了 园 区 独 一 无 二 的 亲 水 环 境 河 网 水 流 流 速 缓 慢, 流 向 基 本 由 西 向 东, 由 北 向 南 据 大 运 河 苏 州 站 多 年 的 观 测 资 料, 苏 州 地 区 年 均 水 位 约 2.76m( 吴 淞 标 高 ), 内 河 水 位 变 化 在 2.2~2.8m 之 间, 地 下 水 位 一 般 在 -3.6 至 -3.0m 之 间 本 项 目 污 水 的 最 终 受 纳 河 流 吴 淞 江 距 项 目 选 址 大 约 2km, 其 评 价 河 段 中 的 斜 塘 甪 直 段 ( 长 约 7km), 河 面 较 宽, 平 均 宽 度 145m, 平 均 水 深 3.21m 该 河 流 中 支 流 主 要 有 斜 塘 河 青 秋 浦 清 小 港 浦 里 港 6 植 被 与 生 物 多 样 性 本 项 目 所 在 地 区 气 候 温 暖 湿 润, 土 壤 肥 沃, 植 物 生 长 迅 速, 种 类 繁 多, 但 人 类 开 发 较 早, 因 此, 该 区 域 的 自 然 陆 生 生 态 已 为 城 市 生 态 所 取 代, 由 于 土 地 利 用 率 高, 自 然 植 被 已 基 本 消 失 15

16 社 会 环 境 简 况 ( 社 会 经 济 结 构 教 育 文 化 文 物 保 护 等 ): 1 社 会 经 济 概 况 苏 州 工 业 园 区 是 中 新 两 国 政 府 间 的 重 要 合 作 项 目, 是 苏 州 对 外 开 放 的 重 要 窗 口 其 地 处 苏 州 城 东 金 鸡 湖 畔, 行 政 区 域 面 积 278km 2, 其 中, 中 新 合 作 区 80km 2, 下 辖 四 个 街 道, 常 住 人 口 约 76.2 万 2014 年 实 现 地 区 生 产 总 值 2000 亿 元, 同 比 增 长 8.5%; 公 共 财 政 预 算 收 入 228 亿 元, 增 长 10.2%; 实 际 利 用 外 资 19.6 亿 美 元 进 出 口 总 额 800 亿 美 元 固 定 资 产 投 资 700 亿 元, 均 保 持 稳 定 ; 社 会 消 费 品 零 售 总 额 310 亿 元, 增 长 14.1%; 城 镇 居 民 人 均 可 支 配 收 入 达 5.35 万 元, 增 长 9% 经 济 社 会 保 持 持 续 健 康 较 好 发 展 区 内 环 境 基 础 设 施 完 善, 已 累 计 投 入 300 多 亿 元, 基 本 完 成 70 km 2 合 作 区 主 要 基 础 设 施 开 发, 其 中 30 km 2 里 建 成 区 达 到 九 通 一 平 ( 道 路 供 电 供 水 燃 气 供 热 排 水 排 污 邮 电 有 限 电 视 和 土 地 填 高 平 整 ) 的 国 际 水 准, 建 设 了 首 期 60 万 kw 发 电 厂 日 供 45 万 t 自 来 水 厂 日 供 1 万 m 3 燃 气 厂 日 处 理 35 万 t 污 水 处 理 厂 和 每 小 时 供 热 340t 集 中 供 热 厂 ( 苏 州 工 业 园 区 蓝 天 燃 气 热 电 有 限 公 司 ) 等 基 础 设 施 源 厂 目 前 全 区 整 体 绿 化 率 已 达 45% 区 内 社 会 事 业 也 在 同 步 发 展, 具 有 综 合 社 区 服 务 功 能 的 邻 里 中 心 和 一 批 学 校 银 行 宾 馆 商 店 公 园 医 疗 诊 所 体 育 设 施 相 继 建 成 投 用, 园 区 科 教 文 卫 等 各 项 社 会 事 业 在 高 起 点 上 发 展 方 兴 未 艾 随 着 近 两 年 教 育 投 入 的 不 断 加 大, 全 部 教 育 网 络 日 趋 健 全, 教 育 设 施 日 趋 完 善, 现 已 具 备 适 应 开 发 区 特 点 的 基 础 教 育 特 色 教 育 高 等 教 育 网 络, 园 区 已 拥 有 自 己 的 省 重 点 中 学 省 示 范 初 中 省 实 验 小 学 省 示 范 幼 儿 园 2 交 通 运 输 园 区 地 处 长 江 三 角 洲 中 心 腹 地, 位 于 中 国 沿 海 经 济 开 放 区 与 长 江 经 济 发 展 带 的 交 汇 处, 位 于 苏 州 古 城 以 东, 东 临 上 海, 西 靠 太 湖, 南 接 浙 江, 北 枕 长 江, 距 上 海 虹 桥 机 场 约 80km 3 公 用 工 程 (1) 供 水 : 苏 州 工 业 园 区 自 来 水 厂 位 于 星 港 街 和 金 鸡 湖 大 道 交 叉 口, 于 1998 年 投 入 运 16

17 行, 总 占 地 面 积 25 公 顷, 规 划 供 水 规 模 60 万 立 方 米 / 日, 现 供 水 能 力 45 万 立 方 米 / 日, 取 水 口 位 于 太 湖 浦 庄 原 水 水 质 符 合 国 家 Ⅱ 类 水 质 标 准, 出 厂 水 水 质 符 合 GB 生 活 饮 用 水 卫 生 标 准, 平 均 日 供 水 量 25 万 立 方 米 / 日 阳 澄 湖 水 厂 位 于 阳 澄 湖 畔 听 波 路, 于 2014 年 投 入 运 行, 总 占 地 面 积 18 公 顷, 规 划 规 模 50 万 立 方 米 / 日, 现 供 水 能 力 20 万 立 方 米 / 日, 取 水 口 位 于 阳 澄 湖 东 湖 (2) 排 水 : 园 区 采 用 雨 污 分 流 制 雨 水 由 雨 水 管 汇 集 后 就 近 排 入 河 道 区 内 所 有 用 户 的 生 活 污 水 需 排 入 污 水 管, 工 业 污 水 在 达 到 排 放 标 准 后 排 入 污 水 管, 之 后 由 泵 站 送 入 园 区 污 水 处 理 厂 集 中 处 理, 尾 水 排 入 吴 淞 江 (3) 水 处 理 : 园 区 范 围 规 划 污 水 处 理 总 规 模 90 万 吨 / 日 目 前 苏 州 工 业 园 区 污 水 处 理 能 力 为 35 万 吨 / 日 其 中 第 一 污 水 处 理 厂 污 水 处 理 能 力 20 万 吨 / 日, 第 二 污 水 处 理 厂 一 期 工 程 处 理 能 力 15 万 吨 / 日 园 区 乡 镇 区 域 供 水 和 污 水 收 集 处 理 已 实 现 100% 覆 盖, 污 水 管 网 683km, 污 水 泵 站 43 座 (4) 供 电 : 园 区 的 电 力 供 应 有 多 个 来 源, 通 过 华 东 电 网 和 一 些 专 线 向 园 区 供 电 高 压 电 经 由 园 区 内 的 数 座 变 电 站 降 压 后 供 用 户 使 用 目 前 的 供 电 容 量 为 486MW 多 个 变 电 站 保 证 了 设 备 故 障 情 况 下 的 系 统 可 靠 性, 从 而 降 低 了 突 发 停 电 的 风 险 (5) 供 热 : 园 区 鼓 励 投 资 商 使 用 集 中 供 热, 为 此 规 划 并 建 设 了 高 标 准 的 集 中 供 热 厂 目 前 园 区 集 中 供 热 主 要 由 苏 州 工 业 园 区 蓝 天 燃 气 热 电 有 限 公 司 苏 州 工 业 园 区 北 部 燃 机 热 电 有 限 公 司 和 苏 州 东 吴 热 电 有 限 公 司 提 供 苏 州 工 业 园 区 蓝 天 燃 气 热 电 有 限 公 司 成 立 于 2003 年, 公 司 从 事 供 热 发 电 业 务, 负 责 苏 州 工 业 园 区 除 东 南 部 以 外 区 域 的 集 中 供 热, 是 国 内 燃 气 热 电 行 业 领 先 者 和 江 苏 省 最 大 的 燃 气 热 电 企 业 其 中 蓝 天 燃 机 分 厂 坐 落 于 苏 州 工 业 园 区 三 区 东 南 部, 装 机 总 容 量 达 兆 瓦, 最 大 对 外 供 热 能 力 可 达 每 小 时 250 吨 蓝 天 第 一 热 源 厂 建 有 二 台 德 国 进 口 的 20 吨 / 时 LOOS 燃 油 锅 炉, 跨 塘 分 厂 建 有 二 台 35 吨 / 时 国 产 锅 炉, 实 际 供 热 能 力 共 为 90 吨 / 小 时, 发 电 能 力 6MW; 热 网 系 统 已 实 现 17

18 与 燃 机 分 厂 的 热 网 联 网, 热 网 管 线 累 计 达 到 32 公 里, 最 大 供 热 能 力 将 达 到 340 吨 / 小 时 北 部 燃 机 热 电 有 限 公 司 位 于 苏 州 工 业 园 区 312 国 道 以 北, 占 地 面 积 7.73 公 顷, 于 2013 年 5 月 投 入 运 行 建 设 规 模 为 2 180MW 级 燃 气 蒸 汽 联 合 循 环 热 电 联 产 机 组, 年 发 电 能 力 20 亿 KWh, 年 供 热 能 力 100 万 吨 苏 州 东 吴 热 电 有 限 公 司 成 立 于 2003 年 10 月, 公 司 从 事 供 热 发 电 业 务, 负 责 苏 州 工 业 园 区 东 南 部 集 中 供 热, 其 热 电 工 程 列 入 苏 沪 经 济 合 作 项 目 和 苏 州 市 人 民 政 府 的 重 点 项 目 (6) 通 讯 : 通 信 线 路 由 苏 州 电 信 局 投 资 建 造 并 提 供 电 信 服 务 目 前 已 建 成 的 通 信 网 络 可 提 供 国 际 直 拨 长 途 电 话 业 务 全 国 互 联 漫 游 ( 包 括 部 分 国 外 城 市 ) 移 动 电 话 业 务 无 线 寻 呼 业 务 国 内 主 要 城 市 电 视 和 电 话 会 议 业 务 传 真 通 信 业 务 综 合 业 务 数 字 网 (ISDN) 业 务 及 公 用 数 据 通 信 业 务 其 中 公 用 数 据 通 信 业 务 包 括 分 组 交 换 网 业 务 公 用 数 字 数 据 网 (DDN) 业 务 公 用 电 子 信 箱 业 务 中 国 公 用 计 算 机 交 互 网 及 国 际 互 联 网 业 务 苏 州 工 业 园 区 总 体 规 划 苏 州 工 业 园 区 于 1994 年 2 月 经 国 务 院 批 准 设 立, 同 年 5 月 实 施 启 动, 园 区 行 政 区 划 278km 2, 其 中 中 新 合 作 区 80km 2, 下 辖 四 个 街 道 苏 州 工 业 园 区 总 体 规 划 ( ) 环 境 影 响 报 告 书 于 2015 年 9 月 取 得 环 保 部 批 复 园 区 定 位 为 国 际 领 先 的 高 科 技 园 区 国 家 开 放 创 新 试 验 区 ( 中 新 合 作 ) 江 苏 东 部 国 际 商 务 中 心 和 苏 州 现 代 化 生 态 宜 居 城 市, 拟 形 成 双 核 十 轴 四 区 多 片 的 总 体 布 局 园 区 规 划 优 化 发 展 电 子 信 息 装 备 制 造 业 等 主 导 产 业, 进 一 步 壮 大 发 展 生 物 医 药 纳 米 技 术 云 计 算 等 战 略 性 新 兴 产 业, 逐 步 淘 汰 现 状 污 染 重 能 耗 高 的 造 纸 化 工 等 行 业, 限 制 发 展 劳 动 密 集 型 发 展 空 间 不 大 的 纺 织 等 行 业 苏 州 纳 米 城 简 介 苏 州 纳 米 城, 英 文 名 为 Nanopolis Suzhou, 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号, 地 处 金 鸡 湖 大 道 星 湖 街 独 墅 湖 大 道 广 贤 路 四 条 道 路 围 合 地 带, 占 地 约 100 公 顷, 规 划 建 筑 面 积 150 万 平 方 米, 目 前 是 全 球 最 大 的 纳 米 技 术 应 用 产 业 18

19 综 合 社 区, 也 是 国 家 纳 米 技 术 国 际 创 新 园 国 家 纳 米 高 新 技 术 产 业 化 基 地 的 核 心 区 域 苏 州 纳 米 城 由 苏 州 纳 米 科 技 发 展 有 限 公 司 按 照 总 体 规 划 分 期 开 发 逐 步 细 化 的 理 念 开 发 建 设 与 管 理, 集 创 新 研 发 工 程 化 中 试 小 规 模 生 产 成 果 转 化 专 利 运 营 产 业 服 务 总 部 办 公 会 议 展 示 综 合 配 套 等 产 业 功 能 于 一 体, 可 为 纳 米 技 术 相 关 创 新 资 源 提 供 多 领 域 多 维 度 多 层 次 的 综 合 服 务 苏 州 纳 米 城 与 传 统 工 业 坊 创 业 孵 化 器 和 一 般 产 业 基 地 不 同, 是 定 位 于 集 聚 成 长 型 规 模 型 企 业 重 大 研 发 工 程 化 平 台 高 端 创 新 创 业 团 队 产 业 发 展 服 务 机 构 国 际 产 业 促 进 组 织 的 产 业 综 合 社 区, 重 点 面 向 微 纳 制 造 纳 米 新 材 料 能 源 与 清 洁 技 术 纳 米 生 物 技 术 等 优 势 领 域, 以 产 业 生 态 圈 理 念 为 指 导, 整 合 布 局 产 业 发 展 核 心 资 源 要 素, 打 造 创 新 链 产 业 链 投 资 链 服 务 链, 为 推 动 纳 米 技 术 产 业 创 新 创 业 提 供 最 佳 成 长 环 境 和 最 优 发 展 平 台 目 前 纳 米 城 基 础 设 施 建 设 到 位, 已 入 驻 上 百 家 纳 米 技 术 企 业 及 相 关 服 务 机 构 本 项 目 产 品 为 高 端 材 料 实 验 分 析 项 目, 与 园 区 和 纳 米 城 产 业 结 构 相 匹 配 19

20 三 环 境 质 量 状 况 建 设 项 目 所 在 地 区 域 环 境 质 量 现 状 及 主 要 环 境 问 题 一 环 境 空 气 质 量 : (1) 调 研 数 据 来 源 调 研 点 位 及 项 目 为 有 效 了 解 项 目 所 在 地 环 境 空 气 质 量 现 状, 调 研 苏 州 市 环 保 局 网 站 苏 州 市 区 环 境 空 气 质 量 信 息 发 布 系 统 发 布 的 空 气 质 量 日 报 数 据 ( 网 址 调 研 点 位 : 方 洲 公 园 监 测 点 调 研 项 目 :SO2 NO2 PM10 的 24 小 时 平 均 值 调 研 时 间 :2016 年 06 月 04 日 至 06 月 10 日 发 布 的 监 测 数 据 (2) 环 境 空 气 质 量 现 状 调 研 及 评 价 根 据 苏 州 市 环 保 局 网 站 于 2016 年 06 月 04 日 至 06 月 10 日 发 布 的 数 据, 环 境 空 气 质 量 监 测 数 据 汇 总 及 评 价 结 果 见 表 3-1 调 研 点 方 洲 公 园 表 3-1 环 境 空 气 调 研 数 据 统 计 及 评 价 结 果 (μg/m 3 ) 监 测 因 子 24 小 时 平 均 浓 度 浓 度 范 围 污 染 指 数 标 准 超 标 率 SO 2 5~ ~ NO 2 12~ ~ PM 10 30~94 0.2~ 调 研 点 方 洲 公 园 位 于 本 项 目 西 北 侧 3.7km, 为 例 行 监 测 点 位, 能 说 明 项 目 所 在 区 域 大 气 环 境 现 状 从 调 研 结 果 统 计 分 析, 各 调 研 常 规 项 目 均 可 以 达 到 环 境 空 气 质 量 二 级 标 准, 目 前 项 目 周 围 大 气 环 境 空 气 状 况 良 好, 能 满 足 环 境 功 能 要 求, 因 此 项 目 地 环 境 质 量 可 允 许 本 项 目 建 设 二 地 表 水 质 量 : 调 研 苏 州 工 业 园 区 监 测 站 吴 淞 江 吴 巷 吴 淞 江 江 圩 两 个 断 面 的 现 状 监 测 数 据, 每 天 监 测 1 次 调 研 断 面 及 监 测 因 子 见 表 3-2, 监 测 数 据 的 评 价 结 果 汇 总 见 表 3-3 和 表

21 表 3-2 地 表 水 环 境 质 量 现 状 调 研 断 面 河 流 名 称 调 研 断 面 断 面 名 称 调 研 因 子 功 能 类 别 吴 淞 江 W1 吴 巷 PH COD Ⅳ 类 W2 江 圩 NH3-N TP 表 3-3 地 表 水 各 调 研 断 面 结 果 汇 总 (mg/l) 采 样 时 间 采 样 地 点 监 测 项 目 ph CODcr 氨 氮 总 磷 W W 标 准 值 6~ 表 3-4 评 价 结 果 汇 总 ( 浓 度 :mg/l) 断 面 编 号 项 目 ph CODcr 氨 氮 总 磷 浓 度 均 值 W1 污 染 指 数 超 标 率 % 浓 度 均 值 W2 污 染 指 数 超 标 率 % 由 表 3-4 可 知, 吴 淞 江 各 监 测 断 面 ph COD 氨 氮 总 磷 均 达 到 地 表 水 环 境 质 量 标 准 (GB )Ⅳ 类 水 质 标 准 三 声 环 境 质 量 : 采 用 噪 声 仪 于 2016 年 6 月 17 日 对 项 目 周 边 ( 厂 界 外 1 米 ) 噪 声 进 行 了 监 测, 监 测 数 据 如 下 表 3-5 声 环 境 质 量 统 计 表 测 点 N1( 北 ) N2( 西 ) N3( 南 ) N4( 东 ) 昼 间 夜 间 根 据 监 测 结 果, 项 目 所 在 地 声 环 境 质 量 可 达 到 声 环 境 质 量 标 准 (GB )2 类 标 准 21

22 主 要 环 境 保 护 目 标 ( 列 出 名 单 及 保 护 级 别 ): 表 3-9 项 目 周 边 主 要 环 境 保 护 目 标 表 环 境 要 素 环 境 空 气 环 境 保 护 对 象 名 称 方 位 最 近 距 离 规 模 环 境 功 能 级 别 澜 调 国 际 NW 960m 1500 户 ( 部 分 入 住 ) 水 环 境 吴 淞 江 E 700m 中 河 声 环 境 生 态 环 境 厂 界 外 1~200m 无 声 环 境 敏 感 点 阳 澄 湖 ( 工 业 园 区 ) 重 要 湿 地 GB 二 级 GB Ⅳ 类 GB 类 N 6000m 68.2 km 2 二 级 管 控 区 金 鸡 湖 重 要 湿 地 NW 5350m 6.77km 2 二 级 管 控 区 独 墅 湖 重 要 湿 地 SW 5100m 9.08 km 2 二 级 管 控 区 22

23 四 评 价 适 用 标 准 环 境 质 量 标 准 根 据 江 苏 省 地 表 水 ( 环 境 ) 功 能 区 划 ( 苏 政 复 [2003]29 号 ), 项 目 纳 污 水 体 吴 淞 江 执 行 地 表 水 环 境 质 量 标 准 (GB )Ⅳ 类 标 准 表 4-1 地 表 水 环 境 质 量 标 准 限 值 表 水 域 名 执 行 标 准 表 号 及 级 别 污 染 物 指 标 单 位 标 准 限 值 吴 淞 江 地 表 水 环 境 质 量 标 准 (GB ) 表 1 Ⅳ 类 水 利 部 地 表 水 资 源 质 量 标 准 (SL63-94) ph 值 无 量 纲 6~9 COD 30 氨 氮 1.5 mg/l 总 磷 ( 以 P 计 ) 0.3 石 油 类 0.5 悬 浮 物 (SS) mg/l 60 项 目 所 在 区 域 环 境 空 气 质 量 执 行 环 境 空 气 质 量 标 准 (GB ) 二 类 功 能 区 要 求 区 域 名 项 目 所 在 地 周 边 区 域 执 行 标 准 环 境 空 气 质 量 标 准 (GB ) 二 级 表 4-2 环 境 空 气 质 量 标 准 限 值 表 污 染 物 指 标 浓 度 限 值 μg/m 3 1 小 时 平 均 24 小 时 平 均 年 平 均 PM TSP SO NO 本 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区, 根 据 苏 州 市 市 区 环 境 噪 声 标 准 适 用 区 划 分 规 定, 苏 府 [2014]68 号, 项 目 所 在 区 域 声 环 境 执 行 声 环 境 质 量 标 准 (GB )2 类 声 环 境 功 能 区 标 准 表 4-3 区 域 噪 声 标 准 限 值 表 区 域 名 执 行 标 准 表 号 及 级 别 单 位 厂 界 外 1~200m 声 环 境 质 量 标 准 (GB ) 表 1 2 类 标 准 限 值 昼 夜 db(a)

24 排 放 标 准 表 4-4 废 污 水 排 放 标 准 限 值 表 排 放 口 名 执 行 标 准 取 值 表 号 及 级 别 污 染 物 指 标 单 位 最 高 允 许 排 放 浓 度 污 水 综 合 排 放 ph 6~9 表 4 标 准 COD 500 三 级 标 准 (GB ) SS 400 厂 排 口 污 水 排 入 城 镇 下 水 氨 氮 ( 以 N 计 ) mg/l 45 表 1 道 水 质 标 准 总 磷 ( 以 P 计 ) 8 B 等 级 (CJ ) 总 氮 ( 以 N 计 ) 70 太 湖 地 区 城 镇 污 水 处 理 COD 50 厂 及 重 点 工 业 行 业 主 要 表 2 城 镇 污 水 氨 氮 5(8)** mg/l 污 水 厂 水 污 染 物 排 放 限 值 处 理 厂 Ⅱ 总 氮 15 排 口 (DB32/ ) 总 磷 0.5 城 镇 污 水 处 理 厂 污 表 1 ph 6~9 染 物 排 放 标 准 一 级 A 标 准 (GB ) SS mg/l 10 备 注 : ** 括 号 外 数 值 为 水 温 >12 时 的 控 制 指 标, 括 号 内 数 值 为 水 温 12 时 的 控 制 指 标 表 4-5 噪 声 排 放 标 准 限 值 厂 界 名 执 行 标 准 类 别 单 位 厂 界 外 1m 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准 (GB ) 表 1 标 准 限 值 昼 夜 2 类 Leq(dB(A)) 排 气 筒 名 本 项 目 在 施 工 阶 段 ( 设 备 安 装 等 ) 的 施 工 场 界 噪 声 限 值 执 行 如 下 标 准 : 表 4-6 建 筑 施 工 场 界 环 境 噪 声 排 放 标 准 (GB ) 昼 间 db(a) 执 行 标 准 屋 顶 排 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 气 口 准 (GB ) 夜 间 db(a) 表 4-7 废 烟 气 排 放 标 准 限 值 表 取 值 表 号 及 级 别 排 气 筒 高 度 表 2 二 级 20m 污 染 物 指 标 浓 度 mg/m 3 最 高 允 许 排 放 限 值 速 率 kg/h 周 界 外 浓 度 最 高 点 mg/m 3 氯 化 氢 氮 氧 化 物 硫 酸 雾 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃

25 总 量 控 制 因 子 和 排 放 指 标 : 本 项 目 选 址 位 于 双 控 区 和 太 湖 流 域, 项 目 所 在 地 属 于 太 湖 流 域 三 级 保 护 区 根 据 十 二 五 期 间 全 国 主 要 污 染 物 排 放 总 量 控 制 计 划 和 关 于 印 发 江 苏 省 建 设 项 目 主 要 污 染 物 排 放 总 量 区 域 平 衡 方 案 审 核 管 理 办 法 的 通 知 ( 苏 环 办 [2011]71 号 ), 结 合 本 项 目 排 污 特 征, 确 定 本 项 目 总 量 控 制 因 子 本 项 目 水 污 染 物 总 量 控 制 因 子 为 COD NH3-N TP, 总 量 考 核 因 子 为 SS TN 本 项 目 投 产 后, 全 公 司 水 污 染 总 量 不 增 加, 不 新 增 申 请 本 项 目 大 气 污 染 物 总 量 考 核 因 子 为 HCl 硫 酸 雾 氟 化 物 氮 氧 化 物 非 甲 烷 总 烃 本 项 目 投 产 后, 全 公 司 水 污 染 总 量 不 增 加, 不 新 增 申 请 本 项 目 固 体 废 物 全 部 零 排 放 全 厂 污 染 物 排 放 总 量 指 标 见 表 4-7 总 量 控 制 指 标 类 别 废 气 废 水 污 染 物 名 称 表 4-7 全 厂 污 染 物 指 标 申 请 表 (t/a) 现 有 项 目 排 放 量 以 新 带 老 削 减 量 本 项 目 排 放 量 全 厂 最 终 排 放 量 新 增 量 HCl 氮 氧 化 物 硫 酸 雾 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃 水 量 m 3 /a COD SS 氨 氮 总 氮 总 磷 固 废

26 五 建 设 项 目 工 程 分 析 生 产 工 艺 本 扩 建 分 析 实 验 室 不 从 事 具 体 产 品 的 研 发 生 产, 仅 针 对 半 导 体 材 料 芯 片 等 材 料 进 行 高 端 分 析 服 务 AES 表 面 成 分 检 测 (nm 级 检 测 ) SEM 表 面 观 察 (um 级 检 测 ) EMMI/OBIRCH 漏 电 流 及 短 路 检 测 FIB 离 子 束 聚 焦 观 察 截 面 离 子 束 减 薄 仪 样 品 表 面 减 薄 微 米 级 减 薄 后 待 用 研 磨 属 于 新 增 工 艺 流 程, 样 品 测 试 前 一 般 都 是 做 表 面 分 析, 不 需 要 清 洁, 偶 尔 情 况 下 会 用 洗 耳 球 吹 下 表 面, 不 做 化 学 清 洁 样 品 制 备 过 程 指 将 样 品 放 入 机 台 过 程 上 述 本 项 目 新 增 工 艺 流 程 除 研 磨 外, 材 料 分 析 过 程 中 无 废 气 废 水 噪 声 固 废 产 生 和 排 放 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 样 品 染 色 IC 工 艺 解 剖 属 于 现 有 项 目 搬 迁 至 本 项 目 部 分 具 体 情 况 如 下 : 1 俄 歇 电 子 能 谱 仪 (AES) 显 微 镜 观 察 样 品 制 备 进 入 AES 机 台 检 测 电 子 束 激 发 出 俄 歇 电 子 形 成 俄 歇 光 电 子 能 谱, 解 谱 俄 歇 电 子 探 测 仪 探 测 俄 歇 电 子 用 于 分 析 俄 歇 电 子 探 测 仪 探 测 俄 歇 电 子 用 于 分 析 电 子 束 激 发 出 俄 歇 电 子 氩 离 子 轰 击 样 品 表 面 到 需 要 检 测 的 深 度 图 5-1 俄 歇 电 子 能 谱 仪 工 艺 流 程 和 产 污 环 节 图 流 程 介 绍 : AES 表 面 成 分 检 测 (nm 级 检 测 ) 主 要 用 于 金 属 玻 璃 陶 瓷 半 导 体 器 件 磁 存 储 器 件 等 的 成 分 检 测 利 用 专 用 hoder 制 样, 随 后 将 样 品 hoder 置 于 Intro Chamber 中 进 样 ( 该 过 程 中 需 要 使 用 氮 气 对 处 于 真 空 状 态 的 Intro Chamber 进 行 破 真 空 ) 样 品 进 样 完 成 后, 进 行 AES 测 试 利 用 电 子 束 轰 击 样 品 表 面, 俄 歇 侦 测 器 接 收 激 发 出 的 俄 歇 电 子, 通 过 电 脑 软 件 拟 合 形 成 最 终 的 俄 歇 光 电 子 能 谱 在 测 试 过 程 中, 通 常 还 会 用 到 离 子 束 表 面 溅 射 功 能 以 对 样 品 表 面 进 行 清 洁 剥 离 处 理 该 过 程 中 以 氩 气 作 为 发 生 源, 形 成 氩 离 子 待 用 26

27 ( 整 个 形 成 作 用 过 程 均 在 超 真 空 Chamber 中 进 行 ) 最 后 对 测 试 形 成 的 俄 歇 光 电 子 能 谱 进 行 专 业 的 分 析 样 品 从 Chamber 中 取 出, 此 时 同 样 需 要 氮 气 进 行 破 真 空 2 EMMI/OBIRCH I-V 曲 线 测 试 上 EMMI/OBIRCH 机 台, 扎 针 加 电 压 通 过 InGaAs 探 头 来 探 测 芯 片 内 部 所 发 出 来 的 光 子 来 进 行 失 效 定 位 图 5-2 EMMI/OBIRCH 工 艺 流 程 和 产 污 环 节 图 流 程 介 绍 : EMMI/OBIRCH 主 要 用 于 芯 片 的 漏 电 流 及 短 路 检 测 将 样 品 放 入 机 台, 利 用 激 光 束 在 恒 定 电 压 下 的 器 件 表 面 进 行 扫 描, 激 光 束 部 分 能 量 转 化 为 热 能, 如 果 金 属 互 联 线 存 在 缺 陷, 缺 陷 处 温 度 将 无 法 迅 速 通 过 金 属 线 传 导 散 开, 这 将 导 致 缺 陷 处 温 度 累 计 升 高, 并 进 一 步 引 起 金 属 线 电 阻 以 及 电 流 变 化, 通 过 变 化 区 域 与 激 光 束 扫 描 位 置 的 对 应, 定 位 出 样 品 的 缺 陷 位 置 3 SEM 显 微 镜 观 察 样 品 制 备 进 入 电 镜 机 台 检 测 电 子 束 激 发 出 二 次 电 子 探 头 接 收 二 次 电 子 用 于 分 析 二 次 电 子 成 像 氮 气 破 真 空, 取 样 品 图 5-3 SEM 工 艺 流 程 和 产 污 环 节 图 流 程 介 绍 : SEM 表 面 观 察 (um 级 检 测 ) 主 要 观 察 样 品 表 面 微 区 形 貌 扫 描 式 电 子 显 微 镜, 从 电 子 枪 阴 极 发 出 的 电 子 束, 受 到 阴 阳 极 之 间 加 速 电 压 的 作 用, 射 向 镜 筒, 经 过 聚 光 镜 及 物 镜 的 会 聚 作 用, 缩 小 成 电 子 探 针 在 物 镜 上 部 的 扫 描 线 圈 的 作 用 下, 电 子 探 针 在 样 品 表 面 作 光 栅 状 扫 描 并 且 激 发 出 多 种 电 子 信 号 这 些 电 子 信 号 ( 如 二 次 电 子 SE 背 散 射 电 子 BSE 等 ) 在 液 氮 调 节 的 低 温 状 态 被 相 应 的 检 测 器 检 测, 经 过 放 大 转 换, 变 成 电 压 信 号, 最 后 被 送 到 显 像 管 的 栅 极 上 并 且 调 制 显 像 管 的 亮 度 显 像 管 中 的 电 子 束 在 荧 光 屏 上 也 作 光 栅 状 扫 描, 并 且 这 种 扫 描 运 动 与 样 品 表 面 的 电 子 束 的 扫 描 运 动 严 格 同 步, 这 样 即 获 得 衬 度 与 所 接 收 信 号 强 度 相 对 应 的 扫 描 电 子 像, 这 种 图 像 反 映 了 样 品 表 面 的 形 貌 材 质 甚 至 表 面 电 势 等 4 FIB 27

28 样 品 表 面 制 备 ( 保 护 ) 放 入 FIB 设 备 离 子 束 经 过 离 子 枪 加 速, 聚 焦 后 照 射 在 样 品 表 面 产 生 二 次 电 子 信 号 取 得 电 子 像 氮 气 破 真 空, 取 样 品 镓 离 子 束 对 表 面 原 子 进 行 剥 离, 以 完 成 微 纳 米 级 表 面 形 貌 加 工 镓 离 子 束 对 表 面 原 子 进 行 剥 离, 以 完 成 微 纳 米 级 表 面 形 貌 加 工 图 5-4 FIB 工 艺 流 程 和 产 污 环 节 图 流 程 介 绍 : FIB 离 子 束 聚 焦 主 要 用 于 微 区 切 割, 观 察 截 面 开 样 品 交 换 室, 放 置 好 样 品 后 将 样 品 装 载 入 真 空 腔 内 部 打 开 电 子 束, 定 位 好 待 切 割 的 区 域 将 样 品 倾 斜 52 度, 打 开 离 子 束 来 确 认 切 割 位 置 位 置 确 认 后 进 行 PT( 靶 材 铂 金 ) 的 沉 积 保 护 好 样 品 表 面 PT 沉 积 完 毕 后 设 定 还 切 割 的 区 域 和 深 度 进 行 切 割 ( 这 个 是 在 设 备 里 真 空 环 境 中 操 作, 是 用 镓 离 子 聚 焦 表 面 溅 射 表 面, 这 个 过 程 中 没 有 废 气, 没 有 污 染 废 物 ) 切 割 完 毕 后 可 以 通 过 电 子 束 进 行 成 像, 观 察 样 品 的 截 面 信 息 氮 气 也 只 是 用 来 破 真 空, 不 存 在 化 学 变 化 5 离 子 减 薄 仪 制 样 放 入 离 子 减 薄 仪 液 氮 冷 却 样 品 使 用 氩 气 作 为 发 生 源, 产 生 氩 离 子 轰 击 样 品 表 面 氮 气 破 真 空, 取 样 品 图 5-5 离 子 减 薄 仪 工 艺 流 程 和 产 污 环 节 图 流 程 介 绍 : 离 子 束 减 薄 仪 样 品 表 面 减 薄 微 米 级 减 薄 后 待 用 离 子 减 薄 仪 高 压 电 子 枪 要 发 射 高 能 电 子 束, 高 能 电 子 束 轰 击 到 待 减 薄 区 域 时 会 将 表 层 的 物 质 打 散 成 细 小 的 颗 粒 其 次 减 薄 时 要 通 有 Ar 气,Ar 气 的 化 学 性 质 稳 定, 一 般 不 会 与 减 薄 样 品 发 生 反 应 6 研 磨 水 水 水 IC 样 品 粗 磨 细 磨 抛 光 OM 观 察 L1 W1 L2 W2 L3 W3 图 5-6 IC 研 磨 工 艺 流 程 图 28

29 流 程 介 绍 : 样 品 截 面 分 析 时, 使 用 手 工 研 磨, 先 粗 磨 后 细 磨 在 抛 光 以 便 观 察 截 面 研 磨 过 程 中 会 产 生 硅 屑, 采 用 边 研 磨 边 冲 洗 方 式 进 行, 产 生 的 硅 屑 均 进 入 水 中 形 成 废 水 W1 W2 W3, 废 水 经 过 沉 淀 后, 上 层 清 液 委 托 处 置, 下 层 作 为 固 废 L1 L2 L3 处 置 7 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 G1 G2 IC 样 品 发 烟 硝 酸 2mL 发 烟 硫 酸 2mL 加 热 至 60 度 (5 分 钟 ) 水 洗 20mL 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 L4 L5 L6 图 5-7 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : 对 于 内 部 为 铜 线 工 艺 的 样 品, 在 去 除 塑 封 料 不 想 破 坏 到 铜 线 时, 采 用 混 酸 1:1 比 例 在 60 下 吃 掉 塑 封 料, 最 后 OM,SEM 观 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 酸 性 废 气 G1, 非 甲 烷 总 烃 G2, 废 酸 L4, 废 有 机 溶 剂 L6, 水 洗 产 生 的 废 水 作 为 废 液 处 置 L5 8 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 G3 G4 IC 样 品 Dvnasolve 218 5mL 加 热 至 65 度 (20 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 L7 L8 图 5-8 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : 对 于 硅 胶 封 装 的 样 品, 采 用 218 树 脂 溶 解 剂 在 加 热 65 的 环 境 下, 煮 20 分 钟 取 出 塑 封 料, 在 用 丙 酮 吹 干, 最 后 OM,SEM 观 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 非 甲 烷 总 烃 G3 G4, 废 有 机 溶 剂 L7 L8 9 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 29

30 G5 G6 IC 样 品 Dvnasolve 711 5mL 加 热 至 70 度 (30 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 L9 L10 图 5-9 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : 对 于 部 分 硅 胶 封 装 的 样 品, 采 用 711 树 脂 溶 解 剂 在 加 热 70 的 环 境 下, 煮 30 分 钟 取 出 塑 封 料, 在 用 丙 酮 吹 干, 最 后 OM 观 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 非 甲 烷 总 烃 G5 G6, 废 有 机 溶 剂 L9 L10 10 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 G7 G8 IC 样 品 Dvnasolve Cu-7 5mL 加 热 至 60 度 (30 分 钟 ) 丙 酮 冲 洗 吹 干 显 微 镜 检 查 SEM 检 查 L11 L12 图 5-10 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : 对 于 硅 胶 封 装 的 样 品, 采 用 Cu-7 树 脂 溶 解 剂 在 加 热 60 的 环 境 下, 煮 30 分 钟 取 出 塑 封 料, 在 用 丙 酮 吹 干, 最 后 OM,SEM 观 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 非 甲 烷 总 烃 G7 G8, 废 有 机 溶 剂 L11 L12 11 样 品 染 色 G9 G10 IC 样 品 醋 酸 双 氧 水 氢 氟 酸 ( 室 温 )2mL 水 洗 30mL 丙 酮 冲 洗 吹 干 SEM 检 查 L13 L14 L15 图 5-11 样 品 染 色 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : 对 于 IC 样 品 染 色, 采 用 配 置 的 试 剂 浸 泡, 结 束 后 水 冲 洗 干 净, 再 丙 酮 清 洗, 然 后 SEM 监 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 酸 性 废 气 G9, 非 甲 烷 总 烃 G10, 废 酸 L13, 废 有 机 溶 剂 L15, 水 30

31 洗 产 生 的 废 水 作 为 废 液 处 置 L14 12 IC 工 艺 解 剖 G11 G12 G13 IC 样 品 除 去 氮 化 硅 层 磷 酸 2mL( 加 热 50 度 ) 除 去 保 护 层 二 氧 化 硅 缓 冲 腐 蚀 剂 2mL 室 温 除 去 金 属 层 HCl 或 KOH 或 NaOH 室 温 3mL L16 L17 L18 图 5-12 IC 工 艺 解 剖 工 艺 流 程 图 流 程 介 绍 : IC 样 品 先 用 磷 酸 去 除 氮 化 硅 层 ( 加 热 50 度 ), 再 用 二 氧 化 硅 腐 蚀 剂 去 除 保 护 层, 最 后 用 NaOH 去 除 金 属 层 每 层 去 过 之 后 可 以 用 SEM 观 察 该 工 艺 过 程 中 产 生 酸 性 废 气 G11 G12 G13, 废 酸 废 碱 L16 L17 L18 水 平 衡 项 目 实 验 分 析 过 程 研 磨 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 样 品 染 色 工 艺 中 用 到 清 洗 水, 此 外 实 验 器 材 清 洗 需 要 用 到 部 分 水, 项 目 产 生 实 验 废 水 中 浓 度 大 的 作 为 危 险 废 物 委 托 有 资 质 单 位 处 置, 清 洗 器 皿 等 污 染 物 浓 度 小 的 与 生 活 污 水 一 起 接 入 园 区 污 水 厂 统 一 处 理 现 有 项 目 有 16 人, 6 人 调 配 至 本 项 目, 剩 余 10 人 在 现 有 项 目 所 在 地 办 公, 项 目 搬 迁 扩 建 后 全 公 司 总 定 员 人 数 保 持 不 变 ( 现 有 项 目 招 聘 定 员 时 已 经 预 估 后 期 项 目 需 求, 目 前 实 际 人 员 富 余, 且 员 工 要 求 所 有 测 试 项 目 均 要 能 上 岗 操 作 因 此, 现 有 项 目 人 数 能 够 保 证 满 足 本 项 目 扩 建 之 后 人 员 需 求 ) 研 磨 过 程 中 用 水 量 非 常 少, 通 过 对 现 有 项 目 节 水 措 施 后, 可 在 现 有 项 目 水 量 中 平 衡, 本 项 目 扩 建 后 全 厂 水 平 衡 保 持 不 变 本 项 目 扩 建 后 全 公 司 水 平 衡 图 见 图 5-13 自 来 水 实 验 室 用 水 80 生 活 用 水 废 液 0.5 实 验 室 废 水 25 生 活 污 水 320 园 区 污 水 处 理 厂 345 吴 淞 江 图 5-13 本 项 目 扩 建 后 全 公 司 水 量 平 衡 图 ( 单 位 t/a) 31

32 主 要 污 染 工 序 及 污 染 防 治 方 案 : 1 废 污 水 1.1 废 污 水 产 生 (1) 实 验 室 废 水 项 目 实 验 分 析 研 磨 工 序 的 粗 磨 细 磨 抛 光 过 程 中 用 到 水 冲 洗, 将 研 磨 下 来 的 硅 冲 洗 到 废 水 中 去, 废 水 主 要 污 染 物 为 SS( 硅 ), 该 部 分 实 验 废 水 先 进 入 沉 淀 池 进 行 沉 淀, 上 层 水 作 为 废 水 接 管 污 水 处 理 厂, 下 层 作 为 固 体 废 物 处 置 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 过 程 清 洗 产 生 废 水, 样 品 染 色 工 艺 中 清 洗 产 生 废 水, 均 作 为 废 液 处 置 此 外 实 验 器 材 清 洗 需 要 用 到 部 分 水, 浓 度 较 小, 接 入 园 区 污 水 厂 处 理 根 据 企 业 现 有 项 目 实 际 用 水 情 况 统 计, 实 验 室 新 鲜 水 用 量 约 为 0.12t/d(30t/a), 废 水 产 生 量 约 为 0.1t/d(25t/a), 废 水 中 主 要 污 染 物 为 COD SS; 研 磨 废 液 产 生 量 为 0.1t/a, 清 洗 废 液 产 生 量 为 0.4t/a (2) 生 活 污 水 每 人 按 100L/d 计, 员 工 6 人, 工 作 250 天, 按 80% 计 算 排 水 量, 则 新 鲜 用 水 量 为 150t/a, 废 水 为 120t/a 1.2 废 污 水 处 理 方 案 本 项 目 实 验 室 研 磨 过 程 中 废 水 经 过 沉 淀 池 物 理 沉 淀 后, 上 层 水 与 实 验 室 清 洗 废 水 生 活 污 水 一 并 通 过 纳 米 城 污 水 管 网 排 入 市 政 污 水 管 网 进 园 区 污 水 厂 进 行 处 理 排 放, 下 层 沉 淀 废 液 作 为 固 废 处 置 ; 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 过 程 清 洗 产 生 废 水, 样 品 染 色 工 艺 中 清 洗 产 生 废 水, 均 作 为 废 液 处 置 实 验 室 器 材 清 洗 过 程 中 前 三 遍 清 洗 的 废 水 均 作 为 废 液 处 理, 之 后 清 洗 的 废 水 接 管 污 水 厂, 废 水 中 基 本 上 无 污 染 物, 能 够 满 足 接 管 标 准 要 求 1.3 废 污 水 排 放 排 放 口 名 废 污 水 性 质 排 水 量 m 3 /a 排 水 去 向 实 验 室 废 水 25 厂 排 口 园 区 污 水 厂 处 理 后 排 入 吴 淞 江 生 活 污 水 120 本 项 目 扩 建 之 后, 全 公 司 废 水 排 放 总 量 保 持 原 有 不 变 2 废 烟 气 32

33 2.1 废 烟 气 产 生 (1) 酸 性 废 气 (G1 G9 G11 G12 G13) 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 过 程 中 用 到 硝 酸 硫 酸, 产 生 酸 雾 G1; 样 品 染 色 过 程 用 到 醋 酸 氢 氟 酸, 产 生 氟 化 物 G9;IC 工 艺 解 剖 用 到 磷 酸, 产 生 酸 性 废 气 G11;IC 工 艺 解 剖 用 到 二 氧 化 硅 缓 冲 腐 蚀 剂 产 生 氟 化 物 G12;IC 工 艺 解 剖 用 到 盐 酸, 产 生 HCl 废 气 G13 根 据 实 验 用 原 辅 材 料 量 核 算,HCl 产 生 量 为 t/a, 氟 化 物 产 生 量 为 t/a, 硫 酸 雾 产 生 量 为 0.003t/a, 酸 性 废 气 通 过 实 验 操 作 台 上 方 的 通 风 厨 收 集 后 通 过 屋 顶 排 气 口 排 放 废 气 收 集 效 率 按 照 90% 计 算, 则 酸 性 废 气 有 组 织 排 放 量 :HCl t/a (0.0005kg/h) 氮 氧 化 物 0.001t/a(0.003kg/h) 氟 化 物 t/a(0.0011kg/h) 硫 酸 雾 t/a(0.0082kg/h), 无 组 织 排 放 量 :HCl t/a 氮 氧 化 物 t/a 氟 化 物 t/a 硫 酸 雾 t/a (2) 非 甲 烷 总 烃 (G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G10) 铜 线 工 艺 封 装 IC 样 品 开 封 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 样 品 染 色 等 过 程 中 用 到 丙 酮 冲 洗, 丙 酮 冲 洗 吹 干 过 程 产 生 非 甲 烷 总 烃 废 气 G2 G4 G6 G8 G10; 硅 胶 封 装 IC 样 品 开 封 环 氧 树 脂 封 装 IC 样 品 开 封 聚 酰 胺 酯 封 装 IC 样 品 开 封 过 程 中 用 到 树 脂 溶 解 剂, 产 生 非 甲 烷 总 烃 G3 G5 G7; 另 外, 实 验 清 洗 过 程 中 可 能 会 用 到 乙 醇 和 异 丙 醇 清 洗, 产 生 非 甲 烷 总 烃 废 气 根 据 实 验 用 原 辅 材 料 量 核 算, 非 甲 烷 总 烃 产 生 量 为 t/a, 废 气 通 过 实 验 操 作 台 上 方 的 通 风 厨 收 集 后, 经 活 性 炭 吸 附 处 理, 处 理 之 后 的 废 气 通 过 屋 顶 排 气 口 排 放 废 气 收 集 效 率 按 照 90% 计 算, 活 性 炭 吸 附 处 理 效 率 按 照 90% 计 算, 则 非 甲 烷 总 烃 有 组 织 排 放 量 t/a(0.002kg/h), 无 组 织 排 放 量 为 t/a 2.2 废 烟 气 处 理 方 案 本 项 目 实 验 过 程 中 产 生 的 酸 性 废 气 经 过 操 作 台 上 方 的 通 风 厨 收 集 后 经 屋 顶 排 气 口 排 放, 非 甲 烷 总 烃 通 过 活 性 炭 吸 附 装 置 处 理, 处 理 之 后 的 废 气 经 过 屋 顶 排 气 口 排 放 处 理 工 艺 流 程 如 下 : 酸 性 废 气 支 风 管 主 风 管 引 风 机 排 放 图 5-14 本 项 目 酸 性 废 气 处 理 流 程 图 ( 单 位 t/a) 33

34 有 机 废 气 支 风 管 主 风 管 活 性 炭 引 风 机 排 放 交 固 废 处 理 单 位 废 活 性 炭 图 5-15 本 项 目 有 机 废 气 处 理 流 程 图 ( 单 位 t/a) 活 性 炭 是 一 种 高 效 吸 附 剂, 利 用 活 性 炭 内 部 空 隙 结 构 发 达, 有 巨 大 比 表 面 积 原 理 来 吸 附 通 过 活 性 炭 池 的 有 害 气 体 对 各 种 无 机 和 有 机 气 体 具 有 较 大 的 吸 附 量 和 较 快 的 吸 附 速 率, 在 治 理 含 碳 氢 化 合 物 废 气 中, 广 泛 采 用 吸 附 法, 吸 附 法 在 使 用 中 表 现 出 如 下 的 特 点 : 可 以 相 当 彻 底 地 净 化 废 气, 同 时 在 不 使 用 深 冷 高 压 等 手 段 下, 可 以 有 效 地 回 收 有 价 值 的 有 机 物 组 分 活 性 炭 可 有 效 地 将 工 业 加 工 生 产 中 产 生 的 低 沸 点 化 合 物 脂 肪 族 化 合 物 及 其 它 VOCS 等 危 害 人 体 健 康 的 有 机 溶 剂 ( 毒 剂 ) 脱 除 并 回 收 ; 同 时 根 据 机 械 工 业 出 版 社 环 境 保 护 实 用 数 据 手 册, 使 用 活 性 炭 可 吸 附 除 去 的 污 染 物 包 括 : 苯 甲 苯 二 甲 苯 丙 酮 乙 醇 乙 醚 甲 醛 煤 油 汽 油 光 气 醋 酸 乙 酯 苯 乙 烯 氯 乙 烯 恶 臭 物 质 H2S Cl2 CO SO2 NOx CS2 CHCl3 CH3Cl2 根 据 2014 年 国 家 科 技 部 和 环 保 部 发 布 的 大 气 污 染 防 治 先 进 技 术 汇 编, 活 性 炭 吸 附 处 理 低 浓 度 有 机 废 气, 净 化 效 率 可 达 到 90% 以 上 硫 化 氢 氨 等 在 活 性 炭 表 面 通 过 氧 化 反 应 而 进 一 步 吸 附 去 除, 恶 臭 气 体 处 理 效 率 可 达 80% 以 上 本 项 目 实 验 室 有 机 废 气 主 要 为 乙 醇 丙 酮 异 丙 醇 等 成 分, 对 比 以 上 分 析 可 知 使 用 活 性 炭 吸 附 本 项 目 废 气 可 行 本 项 目 用 于 吸 附 的 活 性 炭 填 料 装 填 量 约 0.6kg/ 每 套, 要 求 每 1 个 月 更 换 一 次, 活 性 炭 用 量 为 t/a, 废 活 性 炭 产 生 量 为 0.01t/a 更 换 的 活 性 炭 为 危 险 固 废, 委 外 处 理 2.3 废 烟 气 排 放 本 项 目 有 组 织 废 气 产 生 及 排 放 情 况 见 表 5-1, 无 组 织 废 气 产 生 及 排 放 情 况 见 表

35 表 5-1 本 项 目 有 组 织 废 气 产 生 排 放 情 况 污 染 物 产 生 情 况 排 放 情 况 执 行 标 准 排 放 去 浓 度 速 率 产 生 量 浓 度 速 率 排 放 量 浓 度 速 率 向 (mg/m 3 ) (kg/h) (t/a) (mg/m 3 ) (kg/h) (t/a) (mg/m 3 ) (kg/h) HCl 氮 氧 化 物 排 气 口 m 高 氟 化 物 m 3 /h 硫 酸 雾 排 气 口 非 甲 烷 总 m 高 烃 5600m 3 /h 表 5-2 本 项 目 无 组 织 废 气 产 生 排 放 情 况 3 噪 声 位 置 实 验 室 污 染 物 产 生 量 排 放 量 (t/a) (t/a) HCl 氮 氧 化 物 氟 化 物 硫 酸 雾 非 甲 烷 总 烃 本 扩 建 项 目 设 备 噪 声 源 强 很 小, 主 要 噪 声 源 为 研 磨 抛 光 机 空 压 机 声 音 生 产 线 / 设 备 名 称 数 量 ( 台 / 条 ) 声 级 值 db (A) 表 5-3 本 项 目 噪 声 排 放 情 况 所 在 车 间 治 理 措 施 降 噪 效 果 db (A) 研 磨 抛 光 机 1 65 厂 房 中 间 隔 声 5 距 厂 界 位 置 m 空 压 机 1 60 厂 房 南 侧 隔 声 5 / 4 固 体 废 弃 物 本 扩 建 项 目 分 析 之 后 的 材 料 返 还 客 户, 实 验 过 程 中 产 生 的 固 体 废 物 主 要 有 废 酸 废 碱 液 废 有 机 溶 剂 研 磨 废 水 沉 淀 产 生 的 废 沉 淀 物 废 包 装 容 器 废 气 处 理 过 程 产 生 的 废 活 性 炭 生 活 垃 圾 等 本 项 目 产 生 的 危 废 均 委 托 有 资 质 单 位 处 理 本 项 目 固 体 废 弃 物 产 生 量 具 体 情 况 见 表

36 序 号 副 产 物 名 称 表 本 项 目 副 产 物 产 生 情 况 汇 总 表 产 生 工 序 * 形 态 主 要 成 分 预 测 产 生 量 ( 吨 / 年 ) 固 体 废 物 1 废 酸 实 验 分 析 液 态 硫 酸 盐 酸 硝 酸 磷 酸 醋 酸 氢 氟 酸 废 碱 实 验 分 析 液 态 氢 氧 化 钾 氢 氧 化 钠 废 有 机 溶 剂 实 验 分 析 液 态 丙 酮 乙 醇 异 丙 醇 树 脂 溶 解 剂 二 0.06 氧 化 硅 缓 冲 液 等 4 废 包 装 容 器 包 装 固 态 实 验 用 品 包 装 瓶 包 装 袋 等 废 活 性 炭 废 气 处 理 固 态 活 性 炭 丙 酮 乙 醇 异 丙 醇 等 研 磨 废 液 废 水 沉 淀 液 态 硅 生 活 垃 圾 生 活 办 公 固 态 生 活 垃 圾 4 种 类 判 断 * 副 产 品 判 定 依 据 备 注 : 本 项 目 仪 器 设 备 定 期 由 设 备 供 应 商 保 养, 保 养 产 生 的 主 要 是 废 机 油 更 换 的 零 部 件, 经 与 供 应 商 确 认, 该 保 养 废 物 均 由 供 应 商 回 收 处 置 编 号 固 废 名 称 属 性 产 生 工 序 形 态 表 本 项 目 固 体 废 物 产 生 情 况 一 览 表 主 要 成 分 硫 酸 盐 酸 硝 酸 磷 酸 醋 酸 氢 氟 酸 危 险 特 危 险 性 鉴 别 特 性 * 方 法 废 物 类 别 废 物 代 码 产 生 量 (t/a) 1 2 废 酸 废 碱 实 验 分 析 液 态 根 据 实 验 分 析 液 态 氢 氧 化 钾 氢 氧 化 钠 国 家 C C HW HW 丙 酮 乙 醇 异 丙 危 险 废 废 有 机 溶 危 险 实 验 分 析 液 态 醇 树 脂 溶 解 剂 二 剂 物 名 T/I HW 废 物 氧 化 硅 缓 冲 液 等 录 废 包 装 容 实 验 用 品 包 装 瓶 包 以 及 包 装 固 态 器 装 袋 等 危 险 T/Tn HW 废 活 性 炭 废 气 处 理 固 态 活 性 炭 丙 酮 乙 废 物 鉴 醇 异 丙 醇 等 别 标 T/Tn HW 准 6 研 磨 废 液 一 般 固 废 废 水 沉 淀 液 态 硅 鉴 别 / / / 生 活 垃 圾 / 生 活 办 公 固 态 生 活 垃 圾 / 99 / 4 36

37 六 项 目 主 要 污 染 物 产 生 及 预 计 排 放 情 况 内 容 类 型 排 放 口 ( 编 号 ) 污 染 物 名 称 产 生 浓 度 mg/m 3 产 生 量 t/a 排 放 浓 度 mg/m 3 排 放 速 率 kg/h 排 放 量 t/a 排 放 去 向 废 气 废 污 水 电 离 电 磁 辐 射 固 废 噪 声 排 气 口 20m 高 5600m 3 /h 排 气 口 20m 高 5600m 3 /h 无 组 织 实 验 废 水 25m 3 /a 生 活 污 水 120m 3 /a HCl 氮 氧 化 物 氟 化 物 硫 酸 雾 非 甲 烷 总 烃 HCl / / / 氮 氧 化 物 / / / 氟 化 物 / / / 硫 酸 雾 / / / 非 甲 烷 总 烃 / / / 污 染 物 名 产 生 浓 度 产 生 量 排 放 浓 度 排 放 量 称 mg/l t/a mg/l t/a COD SS COD SS NH 3-N TN TP 经 核 实 确 认, 本 扩 建 项 目 设 备 中 不 涉 及 电 磁 辐 射 大 气 排 放 去 向 园 区 污 水 厂 处 理 后 排 入 吴 淞 江 分 类 名 称 产 生 量 t/a 处 理 处 置 量 t/a 综 合 利 用 量 t/a 外 排 量 t/a 一 般 固 废 研 磨 废 液 废 酸 废 碱 危 险 废 物 废 有 机 溶 剂 废 包 装 容 器 废 活 性 炭 生 活 固 废 生 活 垃 圾 分 类 名 称 等 效 声 级 db(a) 厂 界 声 级 db(a) 实 验 设 备 研 磨 抛 光 机 65 达 标 公 辅 工 程 设 备 空 压 机 60 达 标 主 要 生 态 影 响 ( 不 够 时 可 附 另 页 ) 本 项 目 在 纳 米 城 已 建 好 的 厂 房 内 建 设, 对 厂 界 外 生 态 不 产 生 影 响 37

38 七 环 境 影 响 分 析 施 工 期 环 境 影 响 简 要 分 析 : 本 项 目 在 纳 米 城 已 建 好 的 厂 房 内 建 设, 主 要 为 厂 房 内 部 装 修 设 备 的 安 装 施 工 装 修 期 间 废 气 主 要 来 自 于 房 屋 装 修 阶 段, 其 主 要 污 染 因 子 为 二 甲 苯 和 甲 苯, 此 外 还 有 极 少 量 的 汽 油 丁 醇 和 丙 醇 等 挥 发 性 溶 剂, 该 废 气 的 排 放 属 无 组 织 排 放 主 要 通 过 装 饰 阶 段 油 漆 采 用 环 保 油 漆 和 水 性 涂 料 等 环 保 材 料, 降 低 对 周 围 环 境 的 影 响 施 工 装 修 期 间 噪 声 主 要 来 自 于 设 备 安 装 等 过 程, 要 求 建 设 单 位 施 工 期 间 向 周 围 排 放 噪 声 必 须 按 照 中 华 人 民 共 和 国 环 境 噪 声 污 染 防 治 法 规 定, 严 格 按 建 筑 施 工 场 界 环 境 噪 声 排 放 标 准 (GB ) 进 行 控 制 施 工 期 高 噪 声 设 备 应 合 理 安 排 施 工 时 间, 杜 绝 深 夜 施 工 噪 声 扰 民 施 工 期 间 的 废 水 主 要 是 施 工 人 员 的 生 活 污 水, 经 过 纳 米 城 现 有 污 水 管 网 排 入 园 区 污 水 处 理 厂 施 工 期 间 固 体 废 物 主 要 是 施 工 建 筑 垃 圾 和 施 工 人 员 生 活 垃 圾 根 据 环 境 卫 生 工 程 (2006 年 vol.14 No4) 中 ( 建 筑 垃 圾 的 产 生 与 循 环 利 用 管 理 ), 在 建 筑 物 的 建 造 过 程 中, 单 位 建 筑 面 积 的 建 筑 垃 圾 产 生 量 为 20~50kg/m 2, 本 项 目 总 建 筑 面 积 约 为 735m 2, 建 筑 垃 圾 产 生 量 取 平 均 值, 则 本 项 目 建 筑 垃 圾 的 产 生 量 约 25t 建 筑 垃 圾 需 要 及 时 清 运 到 指 定 地 点, 不 能 随 便 丢 弃 堆 放 生 活 垃 圾 由 环 卫 部 门 统 一 收 集 处 置 本 项 目 租 用 苏 州 工 业 园 区 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 单 元, 主 要 是 厂 房 的 内 部 装 修 何 设 备 的 安 装, 历 时 短, 施 工 期 间 通 过 采 取 相 应 措 施 后 对 周 围 环 境 影 响 较 小 营 运 期 环 境 影 响 分 析 : 1 环 境 空 气 影 响 分 析 1 项 目 产 生 的 废 气 主 要 是 酸 性 废 气 HCl 硫 酸 雾 氮 氧 化 物 氟 化 物 及 非 甲 烷 总 烃 等 本 项 目 酸 性 废 气 经 过 操 作 台 通 风 厨 收 集 后 经 屋 顶 排 气 口 排 放, 废 气 收 集 效 率 可 达 90% 以 上, 项 目 实 验 原 辅 料 中 酸 用 量 很 少, 酸 性 废 气 能 够 达 标 排 放 本 项 目 产 生 的 非 甲 烷 总 烃 经 过 操 作 台 通 风 厨 收 集 后 经 活 性 炭 吸 附 装 置 处 理, 废 气 收 集 效 率 可 达 90% 以 上, 活 性 炭 对 非 甲 烷 总 烃 去 除 效 率 可 达 90% 以 上, 能 够 确 保 废 气 达 标 排 放 对 本 项 目 有 组 织 排 放, 采 用 环 境 影 响 评 价 技 术 导 则 - 大 气 环 境 (HJ ) 中 推 荐 的 估 算 模 式 SCREEN3 进 行 估 算 ( 点 源 ), 在 不 考 虑 地 形 建 筑 物 下 洗 岸 边 烟 熏 情 况 下 计 算 项 目 各 排 气 筒 污 染 物 最 大 落 地 浓 度 及 占 标 率 具 体 计 算 结 果 见 下 表 38

39 表 7-1 有 组 织 大 气 污 染 物 排 放 预 测 结 果 污 染 物 名 称 最 大 落 地 浓 度 最 大 落 地 距 离 m mg/m 3 占 标 率 % HCl 硫 酸 雾 氮 氧 化 物 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃 表 7-2 无 组 织 大 气 污 染 物 排 放 预 测 结 果 污 染 物 名 称 污 染 物 排 放 速 率 (kg/h) 最 大 落 地 浓 度 mg/m 3 最 大 落 地 距 离 m 占 标 率 % HCl 硫 酸 雾 氮 氧 化 物 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃 因 此, 本 项 目 产 生 的 废 气 对 周 围 大 气 环 境 的 影 响 是 可 以 接 受 的 本 项 目 生 产 废 气 处 理 后 排 入 到 大 气 环 境 中 不 会 降 低 周 围 环 境 空 气 的 功 能 级 别, 周 围 大 气 环 境 功 能 可 维 持 现 状 2 根 据 环 境 影 响 评 价 技 术 导 则 大 气 环 境 (HJ ) 的 相 关 要 求, 采 用 推 荐 模 式 中 大 气 环 境 防 护 距 离 模 式 计 算 无 组 织 源 大 气 环 境 防 护 距 离, 根 据 环 境 保 护 部 环 境 工 程 评 估 中 心 环 境 质 量 模 拟 重 点 实 验 室 发 布 的 大 气 环 境 防 护 距 离 计 算 模 式 软 件 计 算 根 据 软 件 计 算 结 果, 本 项 目 厂 界 范 围 内 无 超 标 点, 即 在 项 目 厂 界 处, 污 染 物 浓 度 不 仅 满 足 无 组 织 排 放 厂 界 浓 度 要 求, 同 时 已 达 到 其 质 量 标 准 要 求 根 据 环 境 影 响 评 价 技 术 导 则 大 气 环 境 (HJ ), 不 需 设 置 大 气 环 境 防 护 距 离 3 本 项 目 卫 生 防 护 距 离 计 算 结 果 见 表 7-3 表 7-3 本 项 目 卫 生 防 护 距 离 计 算 结 果 污 染 物 名 称 A B C D L(m) HCl 硫 酸 雾 氮 氧 化 物 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃 根 据 本 项 目 排 放 的 HCl 硫 酸 雾 氮 氧 化 物 氟 化 物 非 甲 烷 总 烃 等 计 算 的 卫 生 防 护 距 离 为 50 米, 考 虑 多 种 污 染 因 子, 需 要 以 厂 界 设 置 100 米 的 卫 生 防 护 距 离, 本 项 目 厂 房 位 于 纳 米 城 内 部, 厂 房 距 离 纳 米 城 最 近 厂 界 距 离 超 过 160 米, 因 此 本 项 目 设 置 的 卫 生 防 护 距 离 范 围 在 纳 米 城 内 部, 卫 生 防 护 距 离 内 无 居 民 医 院 等 环 境 敏 感 保 护 39

40 目 标, 将 来 也 不 能 建 设 居 民 区 医 院 等 环 境 敏 感 保 护 目 标 2 地 表 水 影 响 分 析 园 区 第 一 污 水 处 理 厂 处 理 能 力 20 万 吨 / 日, 目 前 其 日 均 接 纳 废 水 量 约 为 13 万 t/d, 尚 有 约 7 万 t/d 的 接 管 余 量 本 项 目 扩 建 之 后, 全 公 司 总 的 排 放 量 不 增 加, 不 会 对 污 水 厂 产 生 影 响 可 见, 本 项 目 废 水 接 入 园 区 污 水 处 理 厂 完 全 可 行, 不 会 对 污 水 厂 产 生 冲 击 负 荷 本 项 目 所 排 废 水 排 放 浓 度 可 达 污 水 厂 接 管 标 准, 项 目 周 边 道 路 管 网 已 经 铺 设 完 成, 本 项 目 投 产 后 保 证 污 水 能 够 接 入 污 水 处 理 厂, 使 得 废 水 能 够 处 理 达 到 相 应 排 放 标 准 后 最 终 排 入 吴 淞 江 本 项 目 的 废 水 排 入 污 水 处 理 厂 处 理 不 会 影 响 污 水 处 理 厂 出 水 水 质, 经 污 水 处 理 厂 达 标 处 理 后 对 外 环 境 影 响 较 小 3 噪 声 : 本 项 目 生 产 设 备 噪 声 源 强 很 小, 研 磨 抛 光 机 空 压 机 经 过 隔 声 措 施 后, 降 噪 量 5dB (A), 再 经 过 一 定 的 距 离 衰 减 后 预 计 厂 界 可 达 标 排 放 4 固 体 废 弃 物 : 本 项 目 产 生 的 固 体 废 物 中 废 酸 废 碱 液 废 有 机 溶 剂 废 包 装 容 器 废 气 处 理 过 程 产 生 的 废 活 性 炭 等 均 属 于 危 险 废 物, 须 委 托 有 资 质 单 位 处 置, 研 磨 废 水 沉 淀 产 生 的 废 沉 淀 物 属 于 一 般 工 业 固 废, 委 外 处 置, 员 工 生 活 垃 圾 由 环 卫 部 门 统 一 收 集 处 置 为 避 免 产 生 的 危 险 废 物 对 环 境 的 危 害, 应 采 取 以 下 措 施 : (1) 在 收 集 过 程 中 要 根 据 各 种 危 险 废 物 的 性 质 进 行 分 类 收 集 和 临 时 贮 存, 便 于 综 合 利 用 或 者 处 置, 不 能 将 不 相 容 的 废 物 混 合 收 集 贮 存, 危 险 废 物 与 其 他 固 体 废 物 严 格 隔 离 (2) 运 输 过 程 中 注 意 不 同 的 危 险 废 物 要 单 独 运 输, 并 由 有 资 质 的 公 司 进 行 运 输, 以 免 在 运 输 途 中 发 生 危 险 废 物 的 泄 漏, 从 而 产 生 二 次 污 染 各 类 危 险 废 物 均 应 委 托 有 资 质 单 位 处 理 处 置, 并 签 订 危 废 处 理 协 议 对 于 危 废 在 厂 内 的 暂 存 设 施, 建 设 单 位 拟 在 实 验 室 内 设 置 专 用 地 点, 并 安 放 专 用 桶, 桶 四 周 有 相 应 标 线, 并 做 好 防 腐 防 渗 措 施, 贮 存 面 积 约 2m 2 本 项 目 各 类 固 废 按 规 范 分 类 收 集 分 别 暂 存, 并 有 妥 善 的 处 理 或 处 置 后, 不 会 对 周 围 环 境 产 生 二 次 污 染 40

41 5 环 境 风 险 评 述 : 本 项 目 使 用 到 的 化 学 品 浓 硫 酸 浓 硝 酸 盐 酸 氢 氟 酸 磷 酸 氢 氧 化 钠 氢 氧 化 钾 丙 酮 异 丙 醇 等, 种 类 较 多, 存 在 一 定 环 境 风 险, 但 是 本 项 目 使 用 量 较 小, 不 存 在 重 大 危 险 源 考 虑 到 本 项 目 使 用 的 化 学 品 存 在 易 燃 有 毒 物 质, 建 设 单 位 需 要 采 取 多 种 风 险 防 治 措 施, 以 减 小 厂 内 环 境 风 险 事 故 发 生 现 有 厂 区 针 对 化 学 品 环 境 风 险 采 取 了 相 关 措 施, 实 验 室 配 有 灭 火 器 洗 眼 器 吸 毡 棉 等 风 险 应 急 物 资, 化 学 品 存 储 间 按 照 要 求 进 行 防 腐 防 渗 漏 处 理, 化 学 品 容 器 下 面 配 有 托 盘 等 措 施, 防 治 化 学 品 泄 漏, 定 期 对 实 验 室 人 员 进 行 风 险 事 故 知 识 的 培 训, 进 一 步 降 低 环 境 风 险 事 故 发 生 针 对 本 扩 建 项 目, 建 设 单 位 对 厂 内 化 学 品 的 储 存 必 须 按 照 建 筑 设 计 防 火 规 范 常 用 化 学 危 险 品 储 存 通 则 等 国 家 安 全 标 准 的 要 求, 根 据 危 险 化 学 品 的 不 同 性 质 灭 火 方 法 等 进 行 严 格 的 分 类 分 区 或 分 隔 存 放, 保 持 储 存 地 点 内 的 干 燥 通 风 同 时 应 加 强 管 理, 加 强 防 火, 提 高 安 全 生 产 的 可 靠 性, 达 到 消 防 安 全 等 有 关 部 门 的 要 求 项 目 化 学 品 储 存 应 设 有 防 漏 托 盘 ( 要 求 容 量 大 于 最 大 一 瓶 化 学 品 容 积 ), 使 发 生 泄 漏 的 化 学 品 不 致 漫 流 扩 散, 并 能 及 时 收 集, 尽 可 能 降 低 风 险 事 故 造 成 的 影 响 和 损 失 危 废 储 存 场 所 布 置 应 按 照 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准 (GB ) 中 相 关 要 求 设 置 在 区 域 四 周 设 置 标 志 线, 并 统 一 放 入 桶 内 暂 存 防 止 泄 露, 地 面 作 防 腐 防 渗 处 理 不 相 容 的 危 险 废 物 必 须 分 开 存 放 加 强 安 全 消 防 和 环 保 管 理, 建 立 健 全 环 保 安 全 消 防 各 项 制 度, 设 置 环 保 安 全 消 防 专 门 科 室 和 管 理 人 员, 保 证 安 全 防 护 设 施 正 常 运 行 或 处 于 良 好 的 待 命 状 态 本 项 目 用 到 的 化 学 品 种 类 较 多, 建 设 单 位 需 要 定 期 检 查 活 性 炭 吸 附 装 置 的 情 况, 定 期 更 换 吸 附 饱 和 的 活 性 炭 吸 附 装 置, 确 保 废 气 达 标 排 放, 杜 绝 废 气 事 故 排 放 对 周 围 环 境 不 良 影 响 项 目 各 化 学 品 使 用 量 较 小, 经 过 采 取 相 应 的 风 险 防 范 措 施 后, 本 项 目 环 境 风 险 水 平 可 接 受 41

42 八 建 设 项 目 拟 采 取 有 防 治 措 施 及 预 期 治 理 效 果 内 容 类 型 大 污 染 气 物 排 放 源 污 染 物 名 称 防 治 措 施 G1 G9 G11 G12 G13 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G10 HCl 氮 氧 化 物 硫 酸 雾 氟 化 物 等 非 甲 烷 总 烃 COD 通 风 厨 收 集 后, 通 过 屋 顶 排 气 口 排 放 通 风 厨 收 集 活 性 炭 吸 附 装 置 处 理 后, 通 过 屋 顶 排 气 口 排 放 预 期 治 理 效 果 达 标 排 放 达 标 排 放 水 污 染 物 生 产 公 辅 生 活 废 水 SS NH 3-N TN 实 验 室 废 水 生 活 污 水 经 纳 米 城 污 水 排 口 排 至 市 政 污 水 管 网 进 入 园 区 污 水 处 理 厂 处 理 达 到 污 水 处 理 厂 的 接 管 标 准 TP 电 离 和 电 磁 辐 射 经 核 实 确 认, 本 扩 建 项 目 设 备 中 不 涉 及 电 磁 辐 射 一 般 固 废 研 磨 废 液 委 托 处 理 废 酸 固 体 废 物 废 碱 废 有 机 溶 剂 废 包 装 容 器 委 托 有 资 质 单 位 处 置 零 排 放 废 活 性 炭 生 活 垃 圾 生 活 垃 圾 环 卫 部 门 处 理 噪 声 实 验 设 备 研 磨 抛 光 机 隔 声 达 标 排 放 公 辅 工 程 设 备 空 压 机 隔 声 达 标 排 放 其 他 生 态 保 护 措 施 预 期 效 果 无 项 目 不 新 增 用 地, 在 纳 米 城 现 有 厂 房 内 建 设, 绿 化 依 托 纳 米 城 已 有 绿 化, 有 效 改 善 美 化 了 周 围 环 境 42

43 九 结 论 与 建 议 结 论 1 项 目 概 况 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 成 立 于 2012 年, 注 册 地 在 苏 州 工 业 园 区, 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 9 栋 507 室 现 有 业 务 主 要 对 芯 片 等 进 行 高 端 分 析 服 务 为 了 满 足 市 场 需 求, 胜 科 纳 米 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 拟 投 资 1100 万 元, 引 进 一 些 高 先 进 设 备, 扩 建 分 析 中 心 项 目, 针 对 半 导 体 材 料 芯 片 进 行 分 析 服 务 本 扩 建 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区 金 鸡 湖 大 道 99 号 苏 州 纳 米 城 西 北 区 11 栋 104 室 由 于 现 有 项 目 批 复 的 是 在 建 设 地 临 时 建 设 3 年, 现 有 项 目 到 期 后 将 搬 迁 至 本 项 目 建 设 地, 因 此 本 次 扩 建 内 容 包 括 现 有 项 目 搬 迁 部 分 现 有 项 目 6 人 调 配 至 本 项 目, 剩 余 10 人 在 现 有 项 目 所 在 地 办 公, 全 公 司 总 人 数 不 增 加, 年 工 作 250 天, 每 天 生 产 8 小 时 2 项 目 建 设 与 地 方 规 划 相 容 : 扩 建 项 目 位 于 苏 州 工 业 园 区 纳 米 城, 该 地 块 属 于 生 产 研 发 用 地, 项 目 符 合 用 地 规 划 项 目 所 在 纳 米 城 重 点 面 向 微 纳 制 造 纳 米 新 材 料 能 源 与 清 洁 技 术 纳 米 生 物 技 术 等 优 势 领 域, 本 项 目 主 要 进 行 高 端 材 料 实 验 分 析 项 目, 与 园 区 和 纳 米 城 产 业 规 划 较 协 调 本 项 目 位 于 太 湖 流 域 三 级 保 护 区, 根 据 江 苏 省 太 湖 水 污 染 防 治 条 例 等 文 件 关 于 太 湖 流 域 水 污 染 防 治 中 对 含 氮 磷 污 染 物 控 制 的 相 关 规 定, 本 项 目 含 有 氮 磷 的 废 液 均 作 为 固 废 处 理, 经 过 沉 淀 的 研 磨 废 水 和 实 验 室 器 材 清 洗 水 中 不 含 氮 磷, 无 含 氮 磷 废 水 排 放, 符 合 当 地 相 关 政 策 规 划 项 目 所 在 地 不 属 于 江 苏 省 生 态 红 线 区 域 保 护 规 划 中 一 级 二 级 管 控 区 综 上, 本 项 目 选 址 符 合 地 方 用 地 与 产 业 规 划, 项 目 建 设 具 环 境 可 行 性 3 项 目 产 品 生 产 工 艺 与 产 业 政 策 相 容 : 本 项 目 产 品 为 材 料 分 析, 产 品 及 工 艺 设 备 不 属 于 产 业 结 构 调 整 指 导 目 录 (2011 年 本 )(2013 年 修 正 ) 中 鼓 励 限 制 和 淘 汰 类, 符 合 国 家 产 业 政 策 本 项 目 亦 不 属 于 江 苏 省 工 业 和 信 息 产 业 结 构 调 整 指 导 目 录 (2012 年 本 ) (2013 年 修 正 ) 苏 州 市 产 业 发 展 导 向 目 录 (2007 本 ) 中 淘 汰 或 禁 止 类 条 款, 符 合 地 方 产 业 政 策 43