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2

3

4 A A A A A A A A

5

6 I -

7 II -

8 III -

9 Photronics Photronics Photronics , TFT-LCD IC LCD TFT-LCD Photomask TFT-LCD LCD TFT-LCD 1

10 / TFT-LCD m m 2 TFT-LCD 1000 HPM BCDTYDT1GH T

11 ~ TFT-LCD pellicle TFT-LCD 0.1m TFT UV TFT-LCD 1 2 3

12

13 km 6km

14 10.5 0m 300m 600m 80m

15 [2014] [2001]

16 ( )[2004]58 20GB [2001] [2011]19 23 [2013] [2016] [2015] <> [2014] [2017] <(2011)> [27]

17 [2013] [2004] [2007] [2013] [2013] [2013] [2012]

18 [2011] [2006] [2010]193 29[2014]23 30 [2014] HJ HJ HJ/T HJ HJ HJ/T HJ HJ VOCs

19

20

21 ph CODcr BOD 5 NH 3 -N SS NH 3 VOCs Leq(A) / / / / / / / / / /

22 SO 2 NO 2 PM 2.5 PM 10 ph CODcrBOD 5 DO SS ph NH 3 VOCs phcod Cr BOD 5 SS Leq(A) Leq(A) ph / / m 3 /d 2 VOCs HJ Pi 14

23 10.5 P i C = C i 0i 100% P i i % C i i mg/m 3 Co i i mg/m Pmax=4.93% HJ # Ci(mg/m 3 ) Pi(%) NH # VOCs Pmax 80% D 10% 5 km Pmax10% D 10% 3 HJ dB(A) dB(A) 1 2 3dB(A) 5dB(A) 3 4 3dB(A) 4 HJ/T

24 (HJ/T ) GB HJ ( ) ( ) ( )

25 m 1500m 2 2.5km 3 200m 4 3km 5 6km km 500m 1500m 6km 2 200m 3.0km GB

26 ph mg/l 1 ph 6~9 2 DO 3 3 COD 30 4 BOD NH 3 -N GB SO 2 PM 2.5 PM 10 NO 2 GB TJ SO 2 10μm 2.5μm NO GB

27 TJ / GB a dba a HJ GB/T GB/T ph * (mg/l) 3.0 (mg/l) 250 (mg/l) 0.2 (mg/l) 20 (mg/l) 0.02 (mg/l) (mg/l) 0.05 (mg/l) 0.05 CaCO 3 (mg/l) 450 GB/T (mg/l) 1.0 (mg/l) 250 (mg/l) (mg/l) 0.05 (mg/l) 0.01 (mg/l)

28 10.5 (mg/l) 0.1 (mg/l) /L GB ph GB mg/m 3 VOCs GB GB VOCs DB12/

29 10.5 mg/m m kg/h mg/m VOCs GB GB DB12/ GB mg/l ph GB COD Cr BOD SS NH 3 -N GB :db(a) GB

30 LeqdBA GB GB (2013 ) (2013 )

31 TFT-LCD TFT TFT-LCD ITO M 23

32

33 m m

34 m / / (GB ) (GB )

35

36 合肥丰创光 光罩有限公司 10.5 代厂新建项 项目环境影响报 报告书 图 评价范围及环境敏感点 点示意图 2 28

37 / 800*920*10mm m m m m m m m = = % % 8 % % 9 10 m m m m % %

38 m 2, / / / / (HPM) (BC) (DT) / / (YD) / / (T1) / / (GH) (T2) / / FAB m *920*10mm 1000 / 2~3 FAB( )CUB()WH() OB FAB FAB() 17.6m,, m 30

39 10.5 CUB WH OB (HPM) (BC) m (GH) m, ~7m WWT 7m 6.0m 1. 20m 3 /h kW 800RT 1 497kW 800RT 1 327kW 500RT m 3 /h 32/ m 3 /h 200 m 3 /h 4. 27m 3 /h 20/ kW KW 0.86MPa 2 30KW 1.2MPa m, 7m FAB 4.8m 5.8m 5.8m 31

40 10.5 m 2 / 351m 3 /d 8.7m 3 /d 990m 3 / 160.6m 3 /d 3.15m 3 /d 420L/s / 7500kVA / / / 46000m 3 /h 15000m 3 /h 160.6m 3 /d m 3 /d 3.37m 3 /d 18m 3 /d 29.1m 3 /d 3.15m 3 /d / 70.95t/a / t/a / 12.8 t/a / 600m 3 / *920*10mm 1000 / /

41 KS m

42

43

44

45

46 m 3 /d351m 3 /d8.7m 3 /d 1 20t/h RT 1 800RT 1 500RT m 3 /h 1 800m 3 /h 1 580m 3 /h 2 480m 3 /h 2 360m 3 /h 2 300m 3 /h 2 5 OACs ~26000m 3 /h 4 FFU 7 FFU 0.35m/s m 3 /h m 3 /h 2 10m 3 1 5m m 3 /h 2 900m 3 /h 2 192m 3 /h 2 900m 3 /h m 3 /h m 3 /h m 3 /h m 3 /h m 3 /h kW 2 38

47 Q=400m 3 /d 1 19 Q=16.8m 3 /d 1 20 Q=0.36m 3 /d ,,, 1 kwh/d kV 2 m 3 /d Nm 3 /h 45 4 Nm 3 /h USRT Nm 3 /h Nm 3 /h Nm 3 /h Nm 3 /h m 3 /d DN200 DN500 DN500 39

48

49

50

51 KWh 2 10KV CUB DN MPa 150~ / DN200 DN200 DN m³ 3 20L/s 40L/s 45 L/s () 43

52

53

54 % 20%

55

56 G1 G2 phcodcrbod 5 SS W1 phcodcrbod 5 SS phss phss phss W2 phcodcrbod 5 SS S1 / 48

57 10.5 S2 Pellicle 49

58 m 3 /d 351 m 3 /d 3.5m 3 /d 5.2 m 3 /d m 3 /d 160.6m 3 /d 3.15m 3 /d 1 1 CUB, CUB1F CUB2F 20m 3 /h () CUB 1F CUB 1F RO 5um RO RO RO RO RO CIP MAU/PCW/ RO 50

59 10.5 Makeup RO UV(CEDI) CEDI 15 CUB 2F Makeup TOC-UV 8.0MΩ-cm 18.0MΩ-cm RORO MDGUV(CEDI) TOC-UVPolisher-1Polosher-2(UF)POU CUB 1F CUB 2F 2 940m 3 /h22560 m 3 /d 32/38 204m 3 /d 29.1 m 3 /d 3RO RO 24m 3 /d 18m 3 /d m 3 /d 2% 3m 3 /d 1.7m 3 /d 1.3 m 3 /d m 3 /d m 3 /d

60 m 3 /d m 3 /d / m 3 /h /m3/d MAU = / %=98.4%

61

62 kg/a 2 3 Cr m m Cr 200~ m MoSiO x 4 2-IPA IPA 54

63 kg/a 4.4-1~ kg/a kg/a kg/a kg/a 55

64 H=25m VOCs<0.5mg/m G1 NH 3 / m 3 /h m 3 /h25m1.2m

65 G2 2- / 70% m 3 /h m 3 /h 25m 0.75m GB GB VOCs DB12/

66 10.5 G1 G G1 G2 m 3 /h m m mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h t/a mg/m 3 kg/h % % VOCs %

67 kW 1 1 GB Pmax kw CO g/kwh HC g/kwh NOx g/kwh HC+NOx g/kwh PM g/kwh P max P max % 18m m

68 NH 3 H 2 S

69 H 2 SO 4 NH 3 VOCs m 3 /h kg/h kg/h kg/h 1# # kg/h t/a 8760 / m m 61

70 m 3 /d 160.6m 3 /d m 3 /d W1 phcodcrbod 5 SS m 3 /d W2 phcodcrbod 5 SS 3.37m 3 /d ph H 2 SO 4 62

71 m 3 /h W3 ph 18m 3 /d W4 29.1m 3 /d

72 W1 phcodcrbod 5 2- SS ph phcodcrnh 3 -N SS W2 phss W3 SS W4 SS CODcrBOD 5 SSNH 4 -N 3.15m 3 /d ph H 2 SO 4 ph

73 m 3 /d m 3 /h W1 m 3 /d) (mg/l) (kg/d) (mg/l) (kg/d) () ph 10~13 10~13 / CODcr BOD

74 10.5 W1 W1 W1 W1 W2 W3 W SS ph 1~3 1~3 0 CODcr BOD SS ph 1~3 6~9 CODcr BOD SS ph 1~3 6~9 CODcr BOD SS ph 2~5 6~9 CODcr BOD SS ph 11~13 11~13 CODcr BOD SS ph 7~9 7~9 CODcr BOD SS ph 7~9 7~9 CODcr

75 10.5 W BOD SS ph 7~9 7~9 CODcr BOD SS ph 11~13 11~13 W CODcr % BOD % % SS % ph 2~5 6~ CODcr % BOD % % SS % ph 2~5 6~9 CODcr % 3.15 BOD % % SS % ph 6~9 CODcr BOD SS

76 mg/l mg/l t/a ph 6~9 69 CODcr BOD SS GB / OB

77 / t/a t/a

78 t/a #2 2 5 # kg/ d 12.78t/a S t/a PVC S HW HW HW

79 HW HW HW HW HW t/a Nm 3 /a t/a t/a VOCSs t/a t/a CODcr t/a BOD 5 t/a t/a SS t/a t/a t/a t/a UPS 71

80 N UPS 2 1min

81 10.5 G1 G2 m 3 /h m m mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h mg/m 3 kg/h VOCs m 3 100m m m m m

82 m m 3 /d6 7.6L/s4 15L/s m GB h m G1 G2 VOC S GB

83 10.5 GB VOCs DB12/ m 3 /d 160.6m 3 /d 3.15 m 3 /d 160.6m 3 /d m 3 /d 3.37m 3 /d 18m 3 /d 29.1 m 3 /d 3.15m 3 /d GB t/a 70.95t/a 31.28t/a 12.78t/a GB GB

84 mm 1471mm m/s mm mm 76% 76

85 mm 450mm

86 km km m ~5m

87 10.5 1F 1 2F 2 NNW 3F 3 NW 4F 4 NNE 5F 5 NNE F 4 6F 6 NW 7F 7 EW 2 1J m 2 K 1 z m K 1 z 1 513m 79

88 10.5 K 1 z m K 1 z m K 1 z m K 2 z 50m 503.3m 3E dn m E 1 dn m E 2 dn m E 3 dn m E 4 dn 76.6m 4 Q cm 2-20m Q m 80

89 m m 2030% 23 20m 3 /d m 10m 3 /d 2 1 aq m m 3-7m m 3 /d 500m 3 /d HCO 3 -CaHCO 3 -Ca Na HCO 3 -Na Ca 1000mg/L 81

90 bq m 5-7m 5m 2-10m 3 /d 30-50m 3 /d HCO 3 -CaHCO 3 -Ca Na 1000mg/L Edn 1 K 2 z 82

91 m 2 aq 4 1/1000-2/ m bq 3 5-7m 83

92 N 84

93 # 1.3km 2# / / / 3# 2km SO 2 NO min min μm 2.5μm SO 2 NO 2 - HJ μg/m 3 4μg/m 3 5μg/m 3 3μg/m 3

94 10.5 PM 2.5 PM 10 4 HJ PM 10 PM 2.5 HJ PM 10 PM 2.5 HJ HJ HJ/T HJ μg/m 3 10μg/m mg/m mg/m mg/m KPa m/s ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~1.2 86

95 10.5 G1 S2 W1 N4 N3 S1 N2 G2 N1 W2 W3 G

96 SO 2 NO 2 PM 2.5 PM ~30 27~ ~ ~ ~31 18~ ~ ~ ~27 33~ ~ ~ ~30 18~23 30~44 27~39 57~86 111~ ~ ~ ~30 25~ ~ ~ ~27 20~ ~ ~ ~30 17~ ~ ~ ~27 20~ ~ ~ ~31 20~ ~ ~ ~26 21~ ~ ~ ~27 26~36 52~79 104~ ~30 17~ ~ ~ ~29 18~ ~ ~ ~23 28~ ~ ~

97 ~26 23~ ~ ~ ~31 18~ ~ ~ ~31 21~ ~ ~ ~29 26~ ~ ~ ~31 17~27 25~40 23~41 49~83 98~ ~ ~ ~26 25~ ~ ~ ~30 27~ ~ ~ ~23 39~ ~ ~0.037 mg/m 3 ug/m 3 89

98 I ij = L ij /C i I ij i j L ij i j mg/nm³ C i i mg/nm³

99 Si SO 2 NO 2 PM 2.5 PM ~ ~ ~ ~ ` ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ` ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~

100 ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~

101 SO 2 NO 2 GB TJ36-79PM 2.5 PM 10 GB phcodcr BOD 5 DO SS 3 HJ HJ HJ

102 ph GB/T ph 2002 HJ GB HJ/T BOD 5 HJ HJ GB HJ GB/T GB mg/L 3mg/L 0.5mg/L 0.025mg/L 0.01mg/L 0.01mg/L 0.05mg/L 0.05mg/L F - Cl - NO - 2 Br - NO - 3 PO 3-4 SO 2-3 SO mg/L HJ F - Cl - NO - 2 Br - NO - 3 PO 3-4 SO 2-3 SO mg/L HJ

103 10.5 ph 1# 500 2# 500 3# # 500 2# 500 3#

104 S = C / C S i C i mg/l C oi mg/l ph S i i oi ph = j sd j ( 7.0 ph ) /(7.0 ph ) ph 7.0 S ph = ( ph j 7.0) /( ph su 7.0) ph j 7.0 S ph ph ph j ph ph sd ph ph su ph 1 96

105 10.5 1# 500 2# 500 3# ph / / / / / / / / / / / / 97

106 COD GB GB db(a) Leq Leq Leq Leq N N N N A 2 GB a 98

107 db(a) a GB GB a # 300m 2# 3# 150m 2 ph HJ HJ HJ

108 10.5 GB

109 mg/L(pH ) ph /L 300m < < < < m < < m mg/L () < < <0.004 < < < < < <0.004 < < m < < <0.004 < < <

110 GB/T C P i = C P i i C i i mg/l C si i mg/l 2 ph i si P ph = 7.0 ph 7.0 ph sd ph 7.0 P ph = ph 7.0 ph 7.0 su ph 7.0 P ph ph ph ph ph sd ph ph su ph

111 m 150m ph ( )

112 10.5 GB/T ph cm 1# 60cm 100cm 20cm 60cm 2# 100cm 60cm 100cm

113 mg/kg ph # 2# 20cm cm cm cm cm cm Si 20cm # 60cm cm cm # 60cm cm (GB ) 105

114 (GB ) SO 2 NO 2 PM 2.5 PM 10 GB COD GB GB/T GB GB a (GB ) 106

115 GB db(a) dB(A)/50m /m db(a) GB dB(A) /m >162 > >117 > >110 > >145 > >117 > >27 > >27 >

116 m GB m 2~ SS 2500mg/L COD

117

118 m 3 /d phcodbod 5 NH 3 -NSS 3.15 phcodbod 5 NH 3 -NSS m³/d A2/O GB B 38.7km m³/d A2O V GB A 20 m³/d km m³/d A 2 O 30 m³/d

119 DN800DN1000 DN km

120 10.5 GB (CJ ) ph COD BOD 5 SS NH 3 -N (mg/l) (mg/l) (mg/l) (mg/l) GB ~ / (CJ ) / / / / 45 6~ ~ GB (CJ ) 3 30 m 3 /d m 3 /d 0.055% # 5 112

121 m 3 ( ) GB h 6h m 3 ( ) ( ) E N 27m 1 (3~5 ) (6~8 ) (9~11 ) (12~2 ) 113

122 m/s

123 m/s ( 6.2-4) 115

124 % N NNE NE ENE E ESE SE SSE S SSW SW WSW W WNW NW NNW C N NNE NE ENE E ESE SE SSE S SSW SW WSW W WNW NW NNW C

125 E ( 11.6%)ESE ( 8.8%)SE ( 8.2%) NH 3 VOCs 2 2.5km

126 h/a H 2 SO 4 NH 3 VOCs m 3 /h kg/h kg/h kg/h 1# / # / / m m 118

127 D/m # 1# 2# NH 3 H 2 SO 4 VOC S % % %

128 m

129 # mg/m 3 1.2% mg/m % 2# VOC S mg/m % GB mg/m % mg/m %VOC S mg/m % (GB ) a. b. c

130 10.5 NH 3 H 2 S

131 db(a) / ~ ~90 OB ~ ~ ~ ~ ~ ~

132 10.5 L A rl A r 0 20lgr/ r 0 L A r r A dba L A r 0 r 0 A dba r 0 m rm r<a/π a/π<r<b/π 3dB A div 10lgr/r 0 r>b/π 6dBA div 20lgr/r 0 A div r db a b r0m rm 2 L 0 L dba n ---- Li --- dba n i= 1 Li 10 = 10lg( 10 )

133 m 1# # # # db(a) 1# # # # GB dB(A) GB GB

134 cm/s 126

135

136 cm/s m 3 ()

137 t/a S PVC

138 t/a GB GB

139 cm/s 2mm #2 #2 131

140 #2 HW HW HW HW HW HW HW HW t/a m 2 t t

141 HW06HW08HW13HW21HW29HW GB GB HJ/T A

142

143 / H 2 SO 4 CAS CAS: / NH 4 OH CAS / CAS CAS UN1835 / CR-7S( ) HKM NPD-0183 K() C (25/4) NOx CO - LD50:2140 /;- LC50:320 // 2 - LC50:2000 //4 - LD50:2000 / - LD50: 350 /; - TCL0: 408 PPM 26 CAS: GRX-237( ) %(200) 47 LD508532mg/kg; LD50>5.0g/kg 135

144 10.5 / 2- CAS CAS IPA Ar CAS O 2 CAS CO 2 CAS N 2 CAS CAS (=1)0.82(=1) kPa(-179) (=1)1.40(-186) (=1) g/cm ~390 - LD50: 1670 / - LD50: 730 / - LD50: 5045 /; - LD50: 3600 / 500ppm TCL0: PPM/14 - LCL0: 9000 PPM/5 136

145 10.5 /

146 10.5 HJ/T A LD 50 mg/kg LD 50 mg/kg LC 50 4 mg/l 1 <5 <1 < <LD 50 <25 10<LD 50 <50 0.1<LC 50 < <LD 50 <200 50<LD 50 < <LC 50 < (IPA)

147

148 HJ/T A 1 A 1 12 A 1 140

149 10.5 A1 (IPA) (GB ) 1 2 q 1 /Q 1 +q 2 /Q q n /Q n 1 q n 2%Q n 141

150 t/a q/q 0.85g/ml 142

151 mm /a /a 143

152 HJ/T A.2 1 1Q L 2( P P ) ρ 0 QL = CdAρ + 2gh Q L kg/s C d Re > Re=DU/μReD mumsμpa s C d 0.64 A m 2 ρ kg/m 3 P Pa P 0 Pa g 9.8m/s 2 h m UQL/Cd A ρ t=[u0/cd g]at/a U0 m/s AT m 2 144

153 10.5 FV= CpTLG-TC/ H FV Cp J/kg K TLG K TC K H J/kg FV1FV FV0.2 2 Q 1 kg/s W T kg t 1 s F F = C C p J/(kg K) T L K T b K H J/kg Q 2 λs Q2 Q 2 kg/s H p TL Tb H = 0 ( T T ) παt 145 b

154 10.5 T 0 K T b K S m 2 H J/kg λ A2-1W/m K α A2-1m 2 /s t s Q 3 Q 3 = a p M / ( 2 /( n ) ( /( n ) ( ) n ) R T u r n ) 2+ 0 Q 3 kg/s an A2-2 p Pa R J/mol K T 0 K u m/s r m W p kg Q 1 kg Q 2 kg/s Q 3 kg/s t 1 s t 2 s 146

155 t 3 s 20L/ L Cd A m kg/m 3 G m/s 2 H m Q kg/s L15.8kg12.98s M P T kg/mol Pa R m Q kg/s D D m min Cd A m kg/m 3 G m/s 2 H m Q kg/s * kg/s 10min212.4kg CO G CO =2330 B C Q 147

156 10.5 G CO CO kg Bt C%( 90%) Q% 3.5% (10tΦ2 5) 87kg/m 2 h 10m t/h 4h 4h 4h 9.4t 690kg 172.5kg/h CO kg/4h CO 172.5kg/h 690 3m KPa kg/s s L m mg/m mg/m 3 1.1mg/m 3 148

157 COCO 1CO CO 2CO230 : : 3COCO CO HJ/T

158 C Q- σx Xσyσz -- --w X --i mg - w YZ -w i t 150 w xy xy m w mg.s -1 yz y 10.5 mg m-3 σx=σy (x,y,0) 1 3 y m s

159 10.5 n f CO mg/m mg/ m m/s 0.5m/s1.5m/s2.8m/s F m/s1.5m/s2.8m/s 1min-30min (m) 0 E,0.5m/s,F,1min m/s mg/m³ E,0.5m/s,F E,0.5m/s,F E,0.5m/s,F, E,0.5m/s,F, E,0. 5m/s,F,,2min,5min 10min 15min 20min E,0.5m/s,F, 30min

160 (m) E,1.5m/s,F,1min m/s mg/m³ E,1.5m/s,F,2min E,1.5m/s,F,5min E,1.5m/s,F, 10min 152 E,1.5m/s,F, 15min E,1.5m/s,F, 20min E,1.5m/s,F, 30min

161 (m) E,2.8m/s,F,1min m/s mg/m³ E,2.8m/s,F,2min E,2.8m/s,F,5min E,2.8m/s,F, 10min 153 E,2.8m/s,F, 15min E,2.8m/s,F, 20min E,2.8m/s,F, 30min

162 [m/s] [min] [mg/m 3 ] [m] [m] [m] / / / / 0.5m/s F / / / / / / / / 154

163 / / / / / / 1.5m/s F / / / / / / / / / 2.8m/s F / / / / / / / / / / mg/m 3 1.5m/s F 5045mg/m 3 2CO 0.5m/s1.5m/s2.8m/sCO 1min-30min (m) E,0.5m/s,F,1min m/s E,0.5m/s,F,2min E,0.5m/s,F,5min E,0.5m/s,F, 10min E,0.5m/s,F, 15min mg/m³ E,0.5m/s,F, 20min E,0.5m/s,F, 30min

164 (m) E,1.5m/s,F,1min m/s mg/m³ E,1.5m/s,F,2min E,1.5m/s,F,5min E,1.5m/s,F, 10min 156 E,1.5m/s,F, 15min E,1.5m/s,F, 20min E,1.5m/s,F, 30min

165 (m) E,2.8m/s,F,1min m/s mg/m³ E,2.8m/s,F,2min E,2.8m/s,F,5min E,2.8m/s,F, 10min 157 E,2.8m/s,F, 15min E,2.8m/s,F, 20min E,2.8m/s,F, 30min

166 [m/s] [min] [mg/m 3 ] [m] [m] [m] / / / / 0.5m/s F / / / / / / / / / / 1.5m/s / / 158

167 10.5 F / / / / / / / / / / / / / / / / 2.8m/s F / / / / / / / / / / mg/m 3 2.8m/s F HJ/T R( = P C R-- P-- (/) C-- (/) 1 HJ/T Y Y = A + B ln t t 159 n [ C t ] e

168 10.5 Y A t B t n C ppm t e min LC 50 LC 50 C Ci = 0.5N( X i ln, Y j ln ) ln NX iln Y jln C C i 2 C= n C i i= 1 C= R= P C= P /a 160

169 % 70% 70% 45960m 3 /h m 3 /h125m # H=25m

170 VOCs 85% 90% 70% 15756m 3 /h m 3 /h 1 25m # H=25m

171 [2015] VOCs VOCs 90% m 3 /d ph H 2 SO 4 163

172 m 3 /h ph ph 500mg/L93% ph ph PLC ph PLC 10% 3.37m 3 /d 2% m 3 /d 164

173 10.5 phcodcrbod5ss m 3 /d ph 16.7m 3 /h ph ph 69 ph ph PLC ph ph PLC m 3 /d

174 dB(A)

175 # # GB / / 167

176 mm 168

177 ( PVC ) V=V 1 + V2- V3 max + V4+ V5 V1+ V2- V3 max V1+ V2- V3 V1 V2 m 3 V3 m 3 169

178 10.5 V4 m 3 V5 m 3 V5 Q=q t φ S 60 ql/s hm 2 Pa tmin Shm 2 φ QL V121.6m 3 V1=21.6m 3 V27.6L/s 415L/s4 V2=325.44m 3 V30 m 3 V4 GB h160.6m 3 /d6 V4=40.15m 3 V510 30min278.88m m 2 0.9V5=18.64m 3 V=V1+ V2- V3 max + V4+ V5=405.83m 3 600m 3 170

179 m m m 3 171

180 () 4() () 5 172

181 a b c d 7 8() 9 10 GB

182 GB (1) 174

183 10.5 (2) (3) (4) (5) (6) (7) H 2 SO 4 H 2 O

184 (1) (2) (3) (1) (2) (3) (4) (6)

185

186

187

188

189 CO (2) 181

190

191 phcodbod 1 1 phcodbod ph 1 2 TVOC % 183

192

193 % % LCD GDP 10 3 GDP 185

194 WS A WS = A + B + C B C 1A A=0 2B B=0 3C C=0 WSWS= HJ HT 1810 JT HJ 1.81% HT HJ = 100% JT 186

195 10.5 2HZ HF = n CH + CH / J / i k 8% CH 145 / 50 / / 30 / J=281 / HF=346 GE HZ=HF/GE=346/48000= Hd Hd=Pd+Pid Pd Pid Hx HZ=HF/GE=346/48000=0.007 m i= 1 k= 1 J 187

196

197

198 COD t/a t/a t/a t/a VOCs t/a

199 a / 7090 / 70% NH m m VOCs GB GB DB12/ mg /m³ kg/h /

200 b / mg/l ph 6~9 CODcr 86.8 BOD GB #2 # SS 86.9 A m GB GB GB / 192

201 cm/s cm/s 600m 3 193

202

203 10.5 (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7)

204 VOCsNH

205 phcod BOD 5 SS A HJ/T HJ/T

206 G1 4 ph phcod 1 BOD 5 SS 1 / 1 ph 2 / /1 1 NH 3 1 / 1 VOCs 1 / 1 4 1/

207 GB GB GB (GB GB )[1996] WS-X X X X - X X FQ-X X X X - X X ZS-X X X X - X X GF-X X X X - X X 199

208 10.5 GF-X X X X - X X / 200

209 m m SO 2 NO 2 PM 2.5 PM 10 GB COD GB GB/T GB GB a (GB ) 201

210 / 1# 7090 VOCs/ 2# 70% GB GB VOCs DB12/ m 3 /d 160.6m 3 /d 3.15 m 3 /d 160.6m 3 /d m 3 /d 3.37m 3 /d 8.4m 3 /h ph H 2 SO 4 202

211 m 3 /d 29.1m 3 /d 3.15m 3 /d GB t/a 70.95t/a 31.28t/a 12.78/a GB GB

212 m 3 /d 57.1% 98.2% m 3 /d 160.6m 3 /d 3.15m 3 /d GB (CJ ) 3 4 GB GB

213 GB /a % 205

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