FUTUR 第 2 頁 內 容 目 錄 頁 數 引 言....3 泵 浦 基 本 介 紹 使 用 說 明 及 潛 在 的 危 險....3 存 放 方 式...3 技 術 資 料.....4 性 能 曲 線 圖.....4 規 範 說 明.....6 管 件 安 裝...7 出 入 口 端 安 裝.

操 作 與 安 裝 手 冊 FUTUR 系 列 安 裝 泵 浦 前 請 詳 讀 此 手 冊 原 版 手 冊

FUTUR 第 2 頁 內 容 目 錄 頁 數 引 言....3 泵 浦 基 本 介 紹 使 用 說 明 及 潛 在 的 危 險....3 存 放 方 式...3 技 術 資 料.....4 性 能 曲 線 圖.....4 規 範 說 明.....6 管 件 安 裝...7 出 入 口 端 安 裝...7 進 氣 端 安 裝......7 啟 動 及 操 作 說 明...8 安 全 建 議...8 溫 度 警 示...9 拆 裝 說 明...10 安 裝 說 明...10 故 障 排 除...12 零 件 清 單...14 爆 炸 圖...15 特 殊 裝 置 氣 動 衝 程 計 數 器... 16 膜 片 偵 測 器...16 Flaretek 接 頭...16 特 殊 零 件 清 單....17 D 脈 衝 吸 收 器....17 安 全 警 示....17 安 裝 及 操 作 說 明......17 拆 裝 與 組 裝 說 明......18 技 術 資 料......18 零 件 清 單......19 爆 炸 圖......19 尺 寸 圖......20

FUTUR 第 3 頁 引 言 ALMATEC 氣 動 雙 隔 膜 泵 浦 採 用 最 先 進 技 術 打 造, 產 品 可 靠 性 高 任 何 使 用 不 當 的 行 為 可 能 對 自 身 財 產 及 個 人 造 成 危 險 泵 浦 應 正 確 的 並 在 安 全 範 圍 內 使 用 在 安 裝 啟 動 及 維 修 ALMATEC 氣 動 雙 隔 膜 泵 浦 前 都 必 須 詳 讀 操 作 手 冊, 並 遵 照 安 全 指 示 執 行 泵 浦 基 本 介 紹 使 用 說 明 及 潛 在 的 危 險 ALMATEC FUTUR 屬 排 量 式 泵 並 配 有 雙 膜 片 基 本 構 造 包 含 了 兩 片 外 殼 及 中 間 的 中 心 部 氣 室 位 於 外 殼 內, 當 空 氣 進 入 後, 液 體 會 流 過 中 心 部 內 的 液 體 室 這 樣 的 設 計 可 以 確 保 液 體 只 會 接 觸 到 中 心 部 兩 側 外 殼 與 中 心 部 中 間 各 有 一 片 膜 片 膜 片 藉 由 空 氣 驅 動 使 膜 片 前 後 作 動, 進 而 將 液 體 吸 入 或 排 出 ALMATEC 氣 動 雙 隔 膜 泵 浦 是 以 液 體 輸 送 為 主 要 目 的, 使 用 時 須 遵 造 手 冊 裡 標 示 的 參 數 及 正 確 的 安 裝 拆 卸 及 維 修 程 序 即 便 您 已 遵 照 所 有 的 安 全 指 示 執 行, 可 能 還 是 會 有 潛 在 的 問 題 會 發 生, 如 因 洩 漏 或 機 器 故 障 造 成 液 體 從 接 縫 或 出 入 口 流 出 存 放 方 式 ALMATEC 泵 浦 運 送 時 包 裝 完 整 如 到 貨 時 沒 有 立 即 的 安 裝, 必 須 將 泵 浦 放 置 安 全 適 當 的 地 方 以 避 免 日 後 安 裝 異 常 泵 浦 應 避 免 放 置 於 潮 濕 低 溫 灰 塵 有 紫 外 線 及 可 能 有 機 械 外 力 影 響 的 區 域 建 議 的 的 存 放 方 式 如 下 : - 良 好 通 風 處 及 無 塵 室 - 室 溫 15 度 ~25 度, 濕 度 在 65% 以 下 - 避 免 陽 光 直 接 照 射

FUTUR 第 4 頁 技 術 資 料 性 能 曲 線 圖 以 下 資 料 是 以 水, 溫 度 20 度 c 做 測 試, 無 使 用 脈 衝 吸 收 器 性 能 資 料 由 ALMATEC 提 供 並 符 合 DIN EN ISO 9906 規 範

FUTUR 第 5 頁

FUTUR 第 6 頁 規 範 說 明 The ALMATEC Maschinenbau GmbH 是 一 間 現 代 及 品 質 導 向 的 企 業, 並 符 合 DIN EN ISO 9001:2008 與 14001:2005 規 範 在 出 貨 前,FUTUR 泵 浦 都 必 須 經 過 嚴 格 的 品 管 泵 浦 的 性 能 資 料 都 由 ALMATEC 控 管 紀 錄, 並 且 隨 時 可 查 閱 下 章 節 裡 提 到 的 每 個 零 件 後 方 都 備 註 有 編 號, 您 可 至 14 頁 中 的 零 件 清 單 及 15 頁 的 爆 炸 圖 中 查 詢 FUTUR 系 列 的 製 程 符 合 半 導 體 產 業 的 使 用 要 求, 性 能 上 也 與 其 他 氣 動 隔 膜 泵 浦 有 顯 然 的 不 同 所 有 的 泵 浦 皆 在 CLASS 100 無 塵 室 中 組 裝 完 成 每 個 零 件 都 以 兩 倍 方 式 做 清 理, 並 使 用 去 離 子 水 做 測 試 之 後 再 將 零 件 用 塑 膠 膜 雙 重 包 裝, 以 確 保 零 件 送 入 無 塵 室 的 過 程 中 毫 無 損 傷 即 便 您 曾 經 操 作 過 氣 動 雙 隔 膜 泵 浦, 為 了 確 保 泵 浦 的 正 確 使 用, 在 泵 浦 啟 動 之 前 仍 需 詳 讀 此 手 冊 使 用 中 不 需 要 特 殊 工 具 或 裝 置 每 台 泵 浦 都 配 有 一 個 多 功 能 的 組 裝 工 具 (36) 泵 浦 需 維 修 時, 如 果 您 工 廠 內 沒 有 維 修 的 工 具 或 是 您 希 望 避 免 維 修 中 可 能 帶 來 的 汙 染, 你 也 可 以 將 您 的 泵 浦 運 送 至 位 於 Kamp-Lintfort, Germany 的 工 廠 我 們 將 會 立 即 的 為 您 處 理, 在 每 一 道 維 修 程 序 我 們 都 會 嚴 格 把 關 根 據 歐 盟 國 家 規 定, 泵 浦 須 符 合 共 同 標 準 歐 盟 標 準 及 國 家 標 準 操 作 者 需 要 確 認 ALMATEC 製 造 的 泵 浦 和 運 送 的 方 式 是 否 符 合 客 戶 的 需 求 FUTUR T 和 FUTUR H 的 接 液 零 件 含 有 PTFE 材 質,FUTUR E 接 液 零 件 材 質 為 UPPE( 高 純 度 聚 乙 烯 ) 在 使 用 泵 浦 前, 請 確 認 泵 浦 材 質 可 耐 您 所 打 的 液 體 最 大 操 作 壓 力 限 制 為 6bar,FUTUR E 允 許 的 液 體 最 高 溫 度 為 70 度 C,FUTUR H 和 FUTUR T 的 溫 度 限 制 不 同 以 下 為 進 氣 壓 力 與 最 大 允 許 溫 度 的 對 應 表

FUTUR 第 7 頁 管 件 安 裝 紫 外 線 會 傷 害 PE 材 質 的 零 件 泵 浦 必 須 在 無 高 壓 的 情 況 下 連 結 管 路, 這 樣 會 使 管 件 無 法 適 當 的 固 定 住 而 造 成 洩 漏 或 損 壞 為 避 免 泵 浦 移 動 或 震 動, 安 裝 時 我 們 建 議 先 使 用 輔 助 工 具 將 泵 浦 垂 直 放 置 FUTUR 不 須 使 用 支 撐 工 具, 且 可 使 用 螺 絲 軸 襯 (27) 進 行 安 裝 操 作 者 須 有 穩 定 且 熟 練 的 技 術 閥 門 須 安 裝 在 適 當 的 位 置, 在 進 行 安 裝 和 保 養 時, 需 關 掉 閥 門 出 入 口 端 安 裝 連 接 管 口 徑 須 符 合 以 下 規 範 較 小 的 管 子 可 能 造 成 入 口 管 氣 穴 和 出 入 口 管 夾 性 能 降 低 如 果 管 子 過 大, 可 能 會 造 成 吸 入 端 流 量 降 低 入 口 管 需 連 接 中 心 部 (1) 最 下 方 的 接 口, 而 出 口 管 連 接 最 上 方 的 接 口 入 口 管 向 上 傾 斜 可 以 預 防 管 內 產 生 氣 泡 而 影 響 性 能 泵 浦 可 以 另 外 安 裝 連 接 PFA 管 子 ( 特 殊 裝 置 碼 G), 的 Flaretek 接 頭 進 氣 端 安 裝 進 氣 管 的 連 接 口 在 外 殼 (16) 的 左 手 邊, 跟 消 音 器 (20) 相 反 位 置 必 須 確 保 進 氣 管 的 安 裝 可 以 提 供 泵 浦 足 夠 的 空 氣 管 子 大 小 需 跟 泵 浦 連 結 口 徑 相 同 (R 1/4) PERSWING P 是 高 精 密 的 氣 控 裝 置 最 佳 的 使 用 是 以 無 油 乾 燥 且 乾 淨 的 壓 縮 空 氣 以 下 是 根 據 ISO-DIS 8573-1 所 制 定 的 空 氣 品 質 等 級 : 在 較 潮 濕 的 環 境, 即 便 空 氣 是 乾 的, 外 部 也 有 可 能 會 結 冰 當 有 結 冰 發 生 時, 延 長 廢 氣 排 出 時 間 可 能 會 有 幫 助 (500mm 的 管 子 或 軟 管 ) 在 安 裝 泵 浦 時, 避 免 讓 消 音 器 後 方 接 觸 到 冷 空 氣 如 果 使 用 的 是 已 結 凍 的 廢 氣, 使 用 前 先 將 空 氣 預 熱, 提 高 空 氣 露 點, 但 須 注 意 空 氣 溫 度 不 要 超 過 50 度 C 以 避 免 膨 脹 和 空 氣 端 黏 住

FUTUR 第 8 頁 啟 動 及 操 作 說 明 所 有 管 件 都 安 裝 好 後 泵 浦 即 可 操 作 需 限 制 進 氣 壓 力 以 符 合 性 能 要 求 過 多 的 壓 力 會 導 致 增 加 耗 氣 量 及 泵 浦 的 磨 耗 但 是 進 氣 壓 不 得 低 於 1.5bar 以 提 供 穩 定 及 可 靠 的 流 量 泵 浦 藉 由 調 節 空 氣 閥 門 ( 針 閥 ) 來 驅 動 如 空 轉 時, 泵 浦 需 緩 慢 驅 動 一 般 來 說, 氣 動 雙 隔 膜 泵 浦 需 避 免 高 頻 率 及 長 時 間 的 空 轉 使 用 任 何 的 疏 忽 都 可 能 導 致 泵 浦 功 能 異 常 氣 源 供 應 後, 泵 浦 會 自 動 啟 動 因 FUTUR 泵 浦 具 有 自 吸 功 能, 所 以 不 需 要 預 先 注 入 液 體 至 入 口 管 及 泵 浦 內 泵 浦 滿 載 的 情 況 下 流 量 可 能 會 較 大, 入 口 端 裝 置 節 流 閥 可 能 會 導 致 泵 浦 損 壞 短 時 間 的 關 閉 出 口 端 以 作 壓 力 測 試 是 可 行 的 如 有 一 些 特 殊 的 操 作 方 式 ( 如 出 口 端 關 閉 ), 請 與 原 廠 聯 絡 每 日 的 衝 程 數 不 得 超 過 以 下 限 制 安 全 建 議 只 限 受 過 訓 練 的 人 員 操 作 安 裝 及 維 修 泵 浦 在 第 一 個 小 時 的 操 作 之 後, 必 須 再 次 確 認 螺 帽 組 (22) 是 否 旋 緊 在 長 時 間 停 機 氣 溫 變 化 運 送 和 泵 浦 拆 裝 的 情 況 下, 都 必 須 再 次 確 認 螺 帽 (22) 是 否 旋 緊 在 啟 動 泵 浦 前, 每 位 人 員 都 須 詳 讀 章 節 故 障 排 除 ( 第 12/13 頁 ), 以 便 即 時 的 辨 認 錯 誤 及 減 少 處 理 問 題 的 時 間 無 法 解 決 或 無 法 辨 識 的 問 題 請 直 接 連 絡 原 廠 在 為 泵 浦 及 其 他 選 配 裝 置 進 行 維 修 時, 請 確 保 過 程 中 泵 浦 都 是 關 閉 的 狀 態, 並 防 止 泵 浦 意 外 啟 動 在 氣 源 端 裝 置 緊 急 關 閉 扭 是 可 行 的, 也 可 標 示 禁 止 啟 動 泵 浦 的 危 險 標 誌 在 做 廠 區 壓 力 測 試 時, 先 將 泵 浦 連 接 管 拔 除, 壓 力 測 試 可 能 會 損 壞 泵 浦 泵 浦 不 能 以 正 吸 力 壓 力 操 作 根 據 操 作 的 情 況 不 同, 假 如 膜 片 破 裂, 液 體 有 可 能 在 輸 送 過 程 中 從 消 音 器 的 位 置 滲 出 ( 這 時 需 更 換 新 的 消 音 器 ) 為 安 全 起 見, 建 議 加 裝 膜 片 偵 測 器 如 果 膜 片 破 裂, 液 體 有 可 能 滲 入 空 氣 室 更 糟 的 情 況, 當 氣 源 停 止 供 應 時, 液 體 室 裡 的 壓 力 會 讓 液 體 跑 入 氣 源 管 中 為 了 保 護 其 他 裝 置 如 脈 衝 吸 收 器 和 空 氣 閥 門, 建 議 加 裝 止 回 閥 以 避 免 氣 源 管 遭 受 汙 染 消 音 器 需 定 期 檢 查, 如 果 消 音 器 阻 塞 會 導 致 泵 浦 不 可 預 期 的 損 壞, 也 可 能 對 人 身 安 全 造 成 威 脅 如 果 輸 送 的 是 高 溫 的 液 體, 泵 浦 不 能 停 滯 太 久, 避 免 造 成 液 體 從 閥 門 處 短 暫 的 洩 漏 以 及 氣 控 室 的 阻 塞 需 遵 行 相 關 的 安 全 警 示

FUTUR 第 9 頁 泵 浦 周 圍 如 有 液 體 存 在, 須 檢 視 是 否 存 有 潛 在 的 危 險, 並 適 時 的 做 出 安 全 措 施 因 避 免 泵 浦 內 的 液 體 因 不 同 物 質 混 合 而 引 起 的 化 學 反 應, 同 時 要 避 免 液 體 結 凍 的 情 況 發 生 在 拆 卸 泵 浦 前, 請 先 將 泵 浦 液 體 排 出 並 清 洗 乾 淨 將 進 出 口 端 封 閉 並 保 持 乾 燥 所 有 電 源 須 關 閉, 如 需 將 泵 浦 從 廠 區 運 出, 需 附 上 所 使 用 液 體 的 特 性 表 清 洗 流 程 : 用 中 性 液 體 清 洗 翻 轉 泵 浦 至 上 方, 再 轉 至 另 一 側, 最 後 轉 回 原 位 重 複 以 上 動 作 清 洗 數 次 請 檢 視 其 他 安 全 裝 置 如 果 泵 浦 用 來 輸 送 侵 蝕 性 危 險 性 或 有 毒 性 的 液 體 ( 根 據 液 體 特 性 表 標 示 使 用 適 當 的 裝 置 ) 如 果 膜 片 破 裂, 即 便 多 次 的 清 洗, 液 體 有 可 能 殘 留 在 膜 片 後 方, 氣 控 室 和 消 音 器 因 此, 根 據 液 體 特 性 使 用 適 當 的 裝 置 是 必 須 的 在 重 新 啟 動 泵 浦 前, 需 再 次 檢 視 所 有 螺 絲 是 否 旋 緊 在 搬 運 組 裝 泵 浦 時 須 小 心, 避 免 身 體 碰 撞 而 受 傷 需 使 用 輔 助 工 具 和 安 裝 裝 備 搬 運 或 更 換 泵 浦 時 請 使 用 固 定 式 起 重 機 特 別 是 輸 送 強 酸 鹼 液 體 前, 泵 浦 內 如 有 磨 損 的 零 件, 如 膜 片, 須 預 先 更 換 如 使 用 的 是 非 ALMATEC 原 廠 零 件 或 私 自 更 改 泵 浦 結 構, 可 能 造 成 泵 浦 損 壞 並 對 人 身 造 成 危 險, 此 類 損 壞 ALMATEC 不 予 保 固 使 用 氮 氣 作 為 氣 源 供 應 是 可 行 的, 在 密 閉 空 間 裡 請 保 持 空 氣 流 通 須 由 訓 練 良 好 的 人 員 操 作 電 子 裝 置 ( 如 電 控 裝 置 等 ) 並 請 遵 照 原 廠 指 示 操 作 請 確 認 工 作 環 境 中 無 易 爆 氣 體 存 在, 現 場 需 有 適 當 的 安 全 裝 置 泵 浦 退 回 流 程 : 根 據 14001 規 範, 任 何 被 退 回 至 ALMATEC 的 泵 浦, 都 需 填 寫 消 毒 表 並 隨 附 泵 浦 寄 回 檢 測 和 維 修, 否 則 一 律 不 受 理 消 毒 表 位 於 手 冊 附 件 請 留 意 進 一 步 的 安 全 規 則 說 明 溫 度 警 示 溫 度 及 壓 力 限 制 於 手 冊 第 4 頁 有 標 註, 數 據 因 泵 浦 材 質 而 異 依 照 所 輸 送 的 液 體 不 同, 最 大 安 全 操 作 溫 度 可 能 會 降 低 一 般 來 說, 操 作 溫 度 低 於 0 度 C 會 使 泵 浦 材 質 變 脆 弱 而 加 速 損 壞 的 時 間 關 於 泵 浦 本 體 材 質,PE 和 PP 材 質 在 低 溫 時 仍 可 保 有 其 特 性, 而 PTFE 在 大 範 圍 的 溫 度 變 化 下 也 能 保 持 穩 定 的 特 性 ALMATEC 的 泵 浦 即 便 在 低 溫 下 也 能 安 裝 然 而 液 體 溫 度 低 於 0 度 C 可 能 會 加 速 損 壞 內 部 接 液 零 件 此 外, 泵 浦 應 避 免 輸 送 結 凍 黏 度 過 高 或 有 結 晶 的 液 體 請 注 意 液 體 黏 度 和 重 力 會 隨 著 溫 度 而 改 變 ( 大 部 分 低 溫 時 液 體 黏 度 和 重 力 會 提 高 ) 根 據 應 用 條 件 不 同, 此 種 狀 況 不 一 定 只 導 致 流 量 降 低, 泵 浦 也 有 可 能 無 法 吸 入 任 何 液 體

FUTUR 第 10 頁 拆 裝 說 明 在 拆 卸 泵 浦 前, 請 詳 讀 拆 卸 步 驟 並 遵 照 第 6 頁 到 第 10 頁 的 安 全 指 示 先 用 螺 絲 起 子 把 泵 浦 兩 側 的 螺 絲 (29,30) 鬆 開, 將 底 座 (25) 拿 出, 接 著 將 O-rings(26) 取 出 將 消 音 器 (20) 旋 出 (FUTUR10 有 額 外 的 轉 接 環 (21)) 再 將 黑 色 塞 頭 (18) 從 左 側 外 殼 處 (16) 旋 出 用 合 適 的 圓 棒 裝 入 左 側 外 殼 (16) 的 外 旋 蓋 內 (22), 再 利 用 圓 棒 將 外 旋 蓋 (22) 鬆 開, 把 左 側 外 蓋 (16) 從 外 旋 蓋 (22) 中 取 出 把 左 側 外 蓋 (16) 中 的 環 型 片 (24) 取 出, 再 把 外 旋 蓋 (22) 中 的 O 型 環 (23) 取 出 用 安 裝 工 具 (36) 鬆 開 左 側 外 殼 (16) 中 的 氣 閥 蓋 (19), 把 左 側 外 殼 (16) 平 放 在 一 旁, 如 需 要 的 話, 可 以 將 PERSWING P 梭 動 閥 (35) 全 部 推 出 ( 活 塞 不 須 取 出 ) 將 活 塞 環 (15) 從 左 側 膜 片 螺 絲 (12) 中 取 出 把 梭 動 閥 中 的 活 塞 從 左 側 膜 片 螺 絲 (12) 中 拉 出 用 合 適 的 圓 棒 裝 入 右 側 外 殼 (14) 的 外 旋 蓋 內 (22), 再 利 用 圓 棒 將 外 旋 蓋 (22) 鬆 開, 把 右 側 外 蓋 (14) 從 外 旋 蓋 (22) 中 取 出, 把 右 側 外 蓋 (14) 中 的 環 型 片 (24) 取 出, 再 把 外 旋 蓋 (22) 中 的 O 型 環 (23) 取 出 把 中 心 部 (1) 直 立 放 置, 管 件 接 口 朝 前, 把 膜 片 O 型 環 (9) 從 兩 側 取 出 把 左 側 膜 片 螺 絲 (12) 旋 出, 再 將 右 側 膜 片 螺 絲 (13) 從 膜 片 (7) 中 取 出 從 中 心 軸 (11) 中 旋 出 其 中 一 個 膜 片 (7), 鬆 開 並 將 中 心 軸 (11) 與 第 二 個 的 膜 片 (7) 一 起 取 出 移 除 內 部 膜 片 O 型 環 (8), 如 有 需 要 請 更 換 新 的 ( 以 防 止 O 型 環 扭 曲 變 形 ) 移 除 膜 片 墊 圈 (10), 每 次 拆 裝 請 更 換 新 的 再 次 將 中 心 部 (1) 直 立 放 置, 拔 除 出 口 閥 使 用 安 裝 工 具 (36) 鬆 開 中 心 部 上 的 兩 個 出 口 閥 桿 (6) 把 逆 止 閥 (4) 取 出 其 中 一 個 入 口 閥 桿 (5) 裝 在 中 心 部 (1) 的 前 方 ( 在 接 口 的 中 間 ) 另 一 個 在 後 方, 用 安 裝 工 具 (36) 把 兩 個 閥 桿 旋 開, 從 旁 將 逆 止 閥 (4) 從 中 心 部 (1) 取 出 組 裝 說 明 單 一 零 件 組 裝 方 式 與 上 方 的 拆 裝 順 序 顛 倒 這 章 節 為 補 充 說 明 所 有 密 封 圈 只 要 有 拆 過, 都 需 更 換 新 的 活 塞 環 (15) 和 膜 片 墊 圈 (10) 拆 裝 過 不 能 再 重 複 使 用, 新 環 大 小 需 完 全 符 合 活 塞 環 (15) 已 切 割 好, 很 容 易 就 可 以 放 進 槽 內 將 整 個 PERSWING P 梭 動 閥 (35) 從 氣 閥 蓋 推 入 左 側 外 殼 (16), 活 塞 不 須 裝 入 ( 注 意 : 勿 損 壞 到 O 型 環, 組 裝 前 先 潤 滑 O 型 環!)

阻 塞 閥 (5,6) 必 須 旋 緊 至 與 中 心 部 完 全 密 合 FUTUR 第 11 頁 將 中 心 部 (1) 往 左 側 放 置, 小 心 地 裝 入 膜 片 墊 圈 (10) 把 右 手 邊 的 膜 片 螺 絲 (13) 旋 進 膜 片 (7) 中, 再 將 膜 片 (7) 旋 進 中 心 軸 (11) 並 推 入 中 心 部 (1) 將 外 部 膜 片 O 型 環 (9) 裝 進 膜 片 凹 槽 右 側 外 殼 (14) 放 置 的 方 向 需 使 進 氣 端 口 與 中 心 部 底 部 (1) 平 行, 把 環 型 片 (24) 裝 上, 放 上 O 型 環 (23), 再 旋 進 中 心 部 (1) 的 外 旋 蓋 內 (22) 當 要 旋 進 外 旋 蓋 (22) 時, 先 差 一 根 圓 棒 至 右 側 外 殼 的 孔 內 以 防 止 旋 轉 小 心 翼 翼 的 將 膜 片 墊 圈 裝 入 中 心 部 (1) 左 側 要 安 裝 第 二 片 膜 片 (7), 需 使 用 壓 縮 空 氣 輔 助 須 持 續 提 供 氣 源 至 膜 片 與 中 心 部 (1) 完 全 密 合 將 左 側 膜 片 螺 絲 (12) 旋 進 膜 片 (7) 中 再 將 空 氣 閥 組 (35) 活 塞 插 入 左 側 膜 片 螺 絲 (12) 左 側 外 殼 (16) 安 裝 方 式 跟 右 側 外 殼 (14) 安 裝 方 式 相 同 再 裝 入 氣 閥 蓋 (19) 之 前, 要 記 的 在 梭 動 閥 上 裝 上 5 個 O 型 環 最 後 裝 上 消 音 器 (20) 和 塞 頭 (18) 因 為 膜 片 墊 圈 (10) 需 要 時 間 密 合, 泵 浦 安 裝 完 成 後, 至 少 要 靜 止 兩 小 時 再 啟 動 靜 止 兩 小 時 後, 需 根 據 上 表 數 據 所 示 ( 外 旋 蓋 外 緣 與 中 心 部 的 距 離 ) 再 重 新 調 整 兩 邊 的 外 旋 蓋 (22) 此 時 須 注 意 外 殼 (14,16) 的 插 梢 以 及 外 旋 蓋 是 否 與 中 心 部 (1) 呈 水 平 位 置

FUTUR 第 12 頁 故 障 排 除 故 障 原 因 可 能 造 成 故 障 的 原 因 解 決 方 法 / 備 註 泵 浦 不 作 動 泵 浦 不 穩 定 的 作 動 液 體 內 有 空 氣 出 口 壓 力 不 足 輸 出 液 體 減 少 氣 源 管 阻 塞 或 被 關 閉 消 音 器 阻 塞 中 心 室 阻 塞 氣 控 裝 置 損 壞 出 口 管 阻 塞 或 被 關 閉 活 塞 環 損 壞 氣 控 裝 置 損 壞 膜 片 破 裂 氣 控 裝 置 有 髒 汙 逆 止 閥 阻 塞 結 冰 入 口 管 洩 漏 桶 槽 內 無 液 體 膜 片 破 裂 氣 蝕 壓 力 不 足 / 氣 源 供 應 不 足 進 氣 管 洩 漏 氣 控 裝 置 洩 漏 逆 止 閥 損 壞 過 多 耗 氣 的 零 組 件 氣 控 裝 置 有 髒 汙 結 冰 氣 源 壓 力 下 降 入 口 管 / 入 口 過 濾 器 有 髒 汙 出 口 管 / 出 口 過 濾 器 有 髒 汙 消 音 器 阻 塞 逆 止 閥 損 壞 黏 度 改 變 過 多 耗 氣 的 零 組 件 打 開 氣 源 開 關 清 潔 / 更 換 消 音 器 移 除 阻 塞 物 更 換 氣 閥 系 統 清 潔 / 打 開 管 件 更 換 活 塞 環 更 換 氣 控 裝 置 更 換 膜 片, 清 潔 泵 浦 清 潔 / 更 換 氣 控 裝 置 清 潔 移 除 固 體 改 善 氣 源 運 作 密 封 入 口 管 桶 槽 內 注 入 液 體 更 換 膜 片 提 升 自 吸, 可 能 的 話 安 裝 加 壓 氣 室 增 加 氣 源 供 應 檢 查 / 維 修 氣 源 管 更 換 氣 控 裝 置 檢 查 / 更 換 逆 止 閥 增 加 壓 力 / 氣 源 清 潔 / 更 換 氣 控 裝 置 改 善 氣 源 運 作 : 乾 燥 裝 置 / 過 濾 器 確 保 提 供 足 夠 的 氣 源 清 潔 清 潔 更 換 消 音 器 更 換 閥 門 調 回 最 初 黏 度 / 調 整 泵 浦 增 加 壓 力 / 氣 源

FUTUR 第 13 頁 故 障 原 因 可 能 造 成 故 障 的 原 因 解 決 方 法 / 備 註 泵 浦 自 動 停 機 氣 控 裝 置 結 冰 氣 源 壓 力 過 低 氣 源 壓 力 下 降 出 口 管 阻 塞 空 氣 過 濾 器 阻 塞 閥 門 被 關 閉 氣 控 裝 置 損 壞 氣 控 裝 置 損 壞 / 洩 漏 膜 片 破 裂 逆 止 閥 阻 塞 / 損 壞 改 善 氣 源 運 作 : 乾 燥 裝 置 / 加 熱 器 增 加 氣 源 壓 力 確 保 提 供 足 夠 的 氣 源 清 潔 出 口 管 件 清 潔 空 氣 過 濾 器 打 開 閥 門 更 換 氣 控 裝 置 更 換 氣 控 裝 置 更 換 膜 片, 清 潔 泵 浦 清 潔 更 換 逆 止 閥 泵 浦 吸 入 流 量 不 足 泵 浦 操 作 過 快 泵 浦 運 作 超 出 負 荷 氣 蝕 超 出 泵 浦 流 量 範 圍 限 制 出 入 口 管 內 空 氣 震 盪 在 有 出 口 壓 的 況 下 空 吸 入 口 管 的 閥 門 過 濾 器 被 關 閉 出 口 管 的 閥 門 過 濾 器 被 關 閉 桶 槽 內 無 液 體 桶 槽 內 真 空 逆 止 閥 損 壞 入 口 管 洩 漏 入 口 管 阻 塞 出 口 端 空 氣 壓 震 盪 逆 止 閥 阻 塞 緩 慢 啟 動 泵 浦 調 整 安 裝 檢 查 冷 卻 泵 浦 調 整 安 裝 更 換 較 大 的 泵 浦 管 子 排 氣 泵 浦 打 濕, 關 閉 壓 力 啟 動 打 開 閥 門 / 清 潔 過 濾 器 打 開 閥 門 / 清 潔 過 濾 器 桶 槽 內 注 入 液 體 桶 槽 空 氣 排 出 更 換 逆 止 閥 密 封 入 口 管 排 除 入 口 管 阻 塞 物 出 口 管 排 氣 清 潔 / 更 換 逆 止 閥 泵 浦 維 修 後 吸 入 流 量 不 足 連 接 管 未 完 全 鎖 緊 連 接 管 鎖 緊 / 密 封 逆 止 閥 安 裝 錯 誤 正 確 安 裝 逆 止 閥 廠 區 / 系 統 設 備 壓 力 導 致 確 保 壓 力 只 能 由 泵 浦 自 身 產 生, 檢 查 廠 區 狀 況 及 閥 門, 更 膜 片 疲 乏 有 不 允 許 的 真 空 存 在 換 膜 片 結 冰 檢 查 入 口 管, 打 開 閥 門 改 善 空 氣 運 作 液 體 從 外 蓋 零 件 洩 漏 膜 片 疲 乏 更 換 膜 片 消 音 器 呈 現 灰 白 色 氣 源 太 潮 濕 結 冰 改 善 空 氣 品 質 消 音 器 呈 現 黑 色 較 髒 油 的 空 氣 改 善 空 氣 品 質, 在 入 口 端 安 裝 偵 測 過 濾 器

氣 控 裝 置 阻 塞 清 潔 / 更 換 氣 控 裝 置 有 顆 粒 灰 塵 清 潔 泵 浦 更 換 必 要 的 零 件 改 善 氣 源 品 質 氣 源 供 應 正 常 但 泵 浦 不 作 動 化 學 反 應 (O 型 環 膨 脹 ) 檢 查 並 更 換 損 壞 的 零 件 出 口 端 閥 門 被 關 閉 打 開 閥 門 液 體 從 消 音 器 排 出 膜 片 破 裂 更 換 膜 片, 清 潔 泵 浦 FUTUR 第 14 頁 零 件 清 單

FUTUR 第 15 頁 爆 炸 圖

FUTUR 第 16 頁 特 殊 裝 置 氣 動 衝 程 計 數 器 ( 號 碼 C9/C10) 號 碼 C9/C10 是 偵 測 泵 浦 氣 動 衝 程 的 次 數 壓 力 開 關 是 偵 測 位 於 其 中 一 個 膜 片 後 方 氣 室 內 壓 力 的 改 變 氣 動 衝 程 計 數 器 有 以 下 兩 種 形 式 : C9 壓 力 開 關 1-10bar, 需 安 裝 托 架 5m 電 線 的 插 座 NPT 1/4 轉 接 器 DN 4/6, 2.5 m 軟 管 C10 同 C9, 多 一 個 計 數 器 組 裝 方 式 : 移 除 位 於 左 側 外 殼 (16) 氣 源 接 口 處 的 黑 色 塞 頭 (18)( 箭 頭 處 ), 然 後 旋 進 轉 接 器 連 接 轉 接 器, 用 軟 管 連 接 壓 力 開 關 插 座 連 接 壓 力 開 關 的 電 插 頭 然 後 電 線 個 別 連 接 現 有 裝 置 (C9), 再 連 接 到 附 的 計 數 器 (C10) 技 術 資 料 安 裝 方 式 及 進 一 步 資 訊 可 以 參 考 壓 力 開 關 與 計 數 器 製 造 商 提 供 的 技 術 文 件 資 料 氣 動 衝 程 計 數 器 最 少 需 要 1.5bar 的 壓 力 來 達 到 最 佳 的 性 能 膜 片 偵 測 器 ( 號 碼 D) 膜 片 感 知 器 安 裝 於 消 音 器 內, 不 論 液 體 是 否 有 傳 導 性, 都 能 偵 測 出 液 體 洩 漏 發 現 膜 片 破 裂 後 須 立 即 處 理 然 而, 即 便 膜 片 偵 測 器 可 以 偵 測 出 液 體 洩 漏, 但 不 能 防 止 液 體 從 消 音 器 露 出 即 便 使 用 的 氣 源 是 乾 燥 的, 但 如 果 周 遭 空 氣 過 於 潮 濕, 也 有 可 能 出 現 警 示 膜 片 偵 測 器 有 以 下 三 種 型 式 : D1 膜 片 感 知 器,Namur 雙 線,EEx ia IIC T6 安 全 認 證 D5 膜 片 感 知 器,3 線 式 D6 膜 片 感 知 器,3 線 含 插 頭 ( 只 適 用 泵 浦 尺 寸 10-50) 進 一 步 資 訊 請 參 考 原 廠 提 供 的 技 術 資 料 PFA 管 件 使 用 的 Flaretek 接 頭 ( 號 碼 G) FUTUR T 和 FUTUR H 的 出 入 口 可 以 安 裝 Flaretek 的 接 頭 來 連 接 PFA 管 件, 此 種 管 件 在 半 導 體 產 業 被 廣 泛 使 用 Flaretek 接 頭 已 由 原 廠 設 計 過, 特 定 給 FUTUR 機 型 使 用, 並 有 氣 密 設 計, 不 要 任 意 移 除 或 更 換! 泵 浦 需 使 用 原 廠 提 供 的 接 頭 才 能 提 供 泵 浦 功 能 性 密 封 性 及 清 潔 方 面 的 保 固

FUTUR 第 17 頁 特 殊 裝 置 零 件 清 單 D 系 列 脈 衝 吸 收 器 的 使 用 泵 浦 使 用 中 會 產 生 液 體 流 動 不 穩 的 情 形, 而 FUTUR 的 氣 式 設 計 氣 源 管 件 以 及 入 口 端 的 密 封 性 都 可 以 大 大 的 減 少 脈 衝 如 果 出 口 端 不 允 許 脈 衝 情 況 發 生, 我 們 有 提 供 不 同 泵 浦 尺 寸 專 用 的 無 桿 脈 衝 吸 收 器 ( 型 號 D) 脈 衝 吸 收 器 可 以 在 任 何 時 間 安 裝, 也 可 以 在 泵 浦 安 裝 時 加 裝 脈 衝 吸 收 器, 並 不 需 要 更 改 任 何 的 管 路 另 外 須 注 意 的 是, 依 據 操 作 的 用 途 不 同, 脈 衝 吸 收 器 可 能 會 減 少 液 體 整 體 的 流 量 在 啟 動 脈 衝 吸 收 器 前, 必 須 確 定 脈 衝 吸 收 器 的 材 質 可 以 適 用 於 所 使 用 的 液 體 在 下 一 章 節, 所 有 的 脈 衝 吸 收 器 零 件 都 會 以 號 碼 標 示, 標 示 的 號 碼 也 與 19 頁 的 零 件 清 單 及 爆 炸 圖 號 碼 相 同 安 全 建 議 在 安 裝 操 作 組 裝 及 拆 裝 脈 衝 吸 收 器 時, 也 需 考 慮 到 泵 浦 的 安 裝 說 明 及 安 全 建 議 ( 可 參 考 手 冊 6-10 頁 ) 安 裝 及 操 作 為 了 安 全 起 見, 運 送 時 會 將 FUTUR 泵 浦 和 D 脈 衝 吸 收 器 分 開 包 裝 在 安 裝 前, 需 先 移 除 泵 浦 上 側 的 止 閥 桿 ( 請 見 第 19 頁 爆 炸 圖 ) 請 檢 察 脈 衝 O 型 環 (2) 是 否 與 凹 槽 緊 密 將 泵 浦 倒 立 放 置, 檢 查 逆 止 閥 是 否 在 正 確 的 位 置 ( 如 果 先 前 已 做 過, 此 步 驟 可 省 略 ) 小 心 的 將 脈 衝 吸 收 器 旋 入 泵 浦 內 直 到 接 觸 泵 浦 面 即 可, 鎖 得 太 緊 可 能 會 傷 到 牙 口

FUTUR 第 18 頁 氣 源 管 連 結 至 脈 衝 頭 (3) 的 上 方, 脈 衝 吸 收 器 需 要 單 獨 的 氣 源 管 並 以 泵 浦 氣 源 管 啟 動 在 泵 浦 與 脈 衝 氣 源 管 中 間 不 要 安 裝 任 何 停 止 閥 或 調 節 閥 泵 浦 與 脈 衝 吸 收 器 在 任 何 時 候 的 氣 源 壓 力 都 必 須 相 同 關 於 空 氣 品 質 要 求, 可 參 照 第 2 頁 的 技 術 資 料 脈 衝 吸 收 器 至 少 需 要 最 少 1bar 的 背 壓 已 達 到 最 佳 性 能 泵 浦 與 脈 衝 吸 收 器 不 能 以 正 吸 力 壓 操 作 與 泵 浦 連 結 時, 無 液 體 的 脈 衝 吸 收 器 需 緩 慢 驅 動 脈 衝 吸 收 器 會 依 據 操 作 條 件 不 同 而 自 我 調 節 拆 裝 與 組 裝 旋 開 脈 衝 吸 收 器, 再 從 FUTUR 泵 浦 上 移 除, 此 時 須 留 意 脈 衝 O 型 環 (2) 把 脈 衝 本 體 (1) 與 脈 衝 頭 (3) 分 開, 小 心 的 將 外 部 脈 衝 O 型 環 (11) 拿 出, 再 把 含 啟 動 軸 (13) 的 膜 片 (9) 拉 出 移 除 膜 片 墊 圈 (12), 檢 查 內 部 膜 片 O 型 環 (10), 如 需 要 請 更 換 ( 以 防 止 O 型 環 扭 曲 變 形 ) 拿 出 活 塞 環 (5) 及 活 塞 O 型 環 (6) 移 除 脈 衝 頭 O 型 環 (4) 脈 衝 的 組 裝 步 驟 與 上 述 的 拆 裝 步 驟 相 反 只 有 以 下 幾 點 須 注 意 所 有 已 損 壞 或 較 髒 的 密 封 圈 在 組 裝 前 都 須 重 新 更 換 墊 圈 與 活 塞 環 只 要 有 拆 裝 過 都 須 重 新 更 換 將 新 的 活 塞 環 彎 曲 成 像 腎 臟 的 形 狀 然 後 再 裝 進 凹 槽 裡 之 後, 再 使 用 圓 形 的 工 具 將 突 出 的 部 分 完 全 的 壓 進 凹 槽 內 活 塞 環 (5) 更 換 時, 也 需 更 換 O 型 環 (6) 再 把 膜 片 (9) 放 回 原 位 前, 外 部 膜 片 O 型 環 (11) 必 須 放 置 膜 片 (9) 的 凹 槽 內 因 為 膜 片 墊 圈 (12) 需 要 時 間 密 合, 脈 衝 吸 收 器 安 裝 完 成 後, 至 少 要 靜 止 兩 小 時 再 啟 動 靜 止 兩 小 時 後, 重 新 鎖 緊 本 體 零 件 並 將 脈 衝 吸 收 器 安 裝 置 泵 浦 上 技 術 資 料 * 尺 寸 與 重 量 是 以 整 組 泵 浦 與 脈 衝 吸 收 器 組 裝 完 成 後 計 算

FUTUR 第 19 頁 零 件 清 單 訂 購 時 請 註 明 脈 衝 吸 收 器 序 號! 爆 炸 圖

FUTUR 第 20 頁 尺 寸 圖