操 作 績 效 自 我 評 估 管 理 制 度 手 冊 酸 鹼 性 氣 體 洗 滌 塔 撰 稿 者 : 白 曛 綾 教 授 陳 建 志 補 助 單 位 : 科 學 工 業 園 區 管 理 局 執 行 單 位 : 國 立 交 通 大 學 環 境 工 程 研 究 所 中 華 民 國 九 十 二 年 十 二 月 第 二 版
目 錄 1.1 洗 滌 塔 基 本 原 理... 3 1.2 洗 滌 塔 之 常 見 問 題 說 明 及 改 善 對 策...11 2.3 洗 滌 塔 之 操 作 維 護 紀 錄 項 目... 15 1.4 洗 滌 塔 之 操 作 績 效 自 我 評 估... 20 附 件 一 洗 滌 塔 填 充 物 資 料 附 件 二 操 作 效 能 自 我 評 估 管 理 記 錄 表 I
圖 目 錄 圖 1 填 充 式 洗 滌 塔 之 構 造 [2]... 4 圖 2 在 溫 度 為 20, 壓 力 為 1 atm 下 HCl 之 去 除 效 率 對 τa 變 化 圖... 10 圖 3 在 溫 度 為 20, 壓 力 為 1 atm 下 HF 之 去 除 效 率 對 τa 變 化 圖 10 圖 4 循 環 水 槽 ph 值 管 制 圖... 23 表 目 錄 表 1 酸 鹼 性 氣 體 處 理 設 備 比 較 表 [3]... 5 表 2 HCl HF NH 3 之 K G a 值 [4]... 9 表 3 洗 滌 塔 常 見 問 題 說 明 及 改 善 對 策 整 理 表... 14 表 4 污 染 防 制 設 備 建 議 檢 測 及 紀 錄 項 目... 18 表 5 洗 滌 塔 操 作 維 護 紀 錄 項 目 填 寫 範 例... 19 表 6 洗 滌 循 環 水 槽 ph 值 紀 錄 表 填 寫 範 例... 錯 誤! 尚 未 定 義 書 籤 II
本 手 冊 收 錄 園 區 內 常 見 使 用 之 防 制 設 備 酸 鹼 性 氣 體 洗 滌 塔 之 操 作 效 能 自 我 評 估 管 理 制 度 ( 含 日 常 操 作 維 護 紀 錄 項 目 ), 藉 由 實 務 操 作 經 驗 使 自 我 評 估 管 理 制 度 更 趨 完 善, 並 使 工 廠 更 能 兼 具 操 作 績 效 且 達 到 自 我 管 理 之 目 的, 以 下 敘 述 其 內 容 1.1 洗 滌 塔 基 本 原 理 目 前 對 於 無 機 酸 鹼 性 氣 體 之 處 理 方 法 主 要 以 吸 收 法 為 主, 其 原 理 為 藉 由 氣 液 兩 相 接 觸 之 氣 體 吸 收 程 序, 將 氣 體 中 之 溶 質 吸 收 輸 送 至 液 體 內 部, 常 見 之 吸 收 洗 滌 裝 置 有 : 噴 淋 塔 (spary column) 板 式 吸 收 塔 (plate absorption tower) 及 填 充 塔 (packed tower) 等 [1], 所 用 之 裝 置, 必 須 能 使 氣 體 與 液 體 充 分 接 觸, 以 提 高 吸 收 效 率 其 中 又 以 填 充 塔 為 各 種 氣 體 吸 收 洗 滌 塔 中 最 被 廣 泛 使 用, 而 園 區 內 半 導 體 及 光 電 業 廠 家, 也 多 以 使 用 濕 式 洗 滌 塔 來 作 為 處 理 酸 性 及 鹼 性 氣 體 之 防 制 設 施 表 1.1 即 為 酸 鹼 性 氣 體 處 理 設 備 比 較 表 濕 式 洗 滌 塔 可 處 理 廢 氣 中 之 粒 狀 物, 同 時 亦 可 去 除 廢 氣 中 所 含 之 氣 態 污 染 物, 而 對 某 些 氣 態 污 染 物 而 言, 可 以 生 產 或 回 收 有 用 之 化 學 物 質, 且 可 緩 衝 污 染 物 之 突 增 負 荷, 繼 續 維 持 高 效 率 操 作 其 噴 出 洗 滌 液 之 反 應, 舉 例 說 明 如 下 : 酸 氣 ( HF為 例 :) 鹼 氣 ( NH 毒 性 氣 體 ( SiH 為 例 ) 為 例 :) ( Cl 為 例 :) 2 3 4 NH SiH SiO HF NaOH NaF H 2 3 H 4 Cl SO NH 2 H O SiO HSO 4 H ( 水 解 ) 2 NaOH Na SiO H O( 中 和 ) 2 2 2 H O HClO HCl ( 水 解 ) 2 4 2 HClO HCl 2 NaOH NaClO NaCl 2 H O( 中 和 ) 4 2 3 2 O 4 2 2 2 3
填 充 式 洗 滌 塔 之 構 造 如 圖 1 所 示, 塔 中 通 常 填 充 著 比 表 面 積 甚 大 之 填 料 物 (packing), 其 目 的 乃 欲 使 氣 體 與 液 體 間 具 有 充 分 接 觸 之 機 會 操 作 時, 氣 體 混 合 由 塔 底 進 入, 液 體 吸 收 劑 則 自 塔 頂 由 一 分 佈 圖 1 [2] 填 充 式 洗 滌 塔 之 構 造 4
表 1 [3] 酸 鹼 性 氣 體 處 理 設 備 比 較 表 設 備 名 稱 設 備 特 點 1. 設 備 內 外 表 面 有 最 大 之 抗 腐 蝕 性, 以 確 保 使 用 壽 命 減 少 維 修 成 本 交 叉 流 式 洗 滌 塔 2. 洗 滌 塔 底 部 的 循 環 水 槽, 提 供 有 2 至 5 分 鐘 之 循 環 水 量 (Cross Flow 3. 洗 滌 液 可 循 環 使 用, 亦 可 設 計 為 批 次 操 作 或 連 續 式 自 動 操 作, 洗 滌 液 分 Scrubber) 佈 設 計 中 採 用 低 壓 較 大 水 量 之 噴 嘴, 發 揮 最 之 均 勻 流 率, 達 到 最 高 之 洗 滌 效 率 1. 去 除 效 率 高, 以 同 時 處 理 氣 狀 與 粒 狀 污 染 物 2. 設 置 費 用 較 低 3. 可 冷 卻 高 溫 氣 體, 但 易 造 成 設 備 腐 蝕 問 題 濕 式 洗 滌 塔 4. 易 造 成 二 次 污 染 問 題, 並 增 加 排 煙 之 不 透 光 率 (Wet Scrubber) 5. 對 粒 狀 物 粒 徑 介 於.1μm 及 1.0μm 之 去 除 效 率 較 低 橫 臥 式 洗 滌 塔 (Dia-T type Scrubber) 1. 由 於 採 橫 臥 式, 故 塔 身 較 低, 可 置 於 建 築 物 項 樓 或 室 內 高 度 受 限 之 區 域 2. 設 備 功 能 彈 性 大, 可 為 單 段 或 多 段 式 藥 液 吸 收 層 設 計 3. 去 除 效 率 佳, 操 作 維 護 容 易 Wet Cyclone Scrubber Venturi Scrubber Packed Bed Scrubber 1. 對 於 mist 及 dust 的 去 除 效 率 較 噴 霧 式 為 佳 2. 較 低 的 能 源 需 求 3. 使 用 高 壓 噴 嘴, 產 生 極 小 的 液 滴, 能 增 進 處 理 效 率 1. 對 微 粒 的 去 除 效 率 可 達 80 至 90% 2.pressure drop 易 於 調 整 3. 欲 達 更 高 的 去 除 率, 可 以 使 多 組 串 連 1. 流 量 範 圍 為 100 至 10 5 acfm 2. 高 去 除 效 率 與 填 充 塔 高 度 流 率 及 使 用 之 液 體 組 成 有 關 3. 能 同 時 提 供 各 種 不 同 的 洗 滌 4. 多 床 式 的 填 充 塔 能 同 時 去 除 多 種 的 氣 體 污 染 物 5
器 噴 淋 而 下, 然 後 在 其 流 經 填 料 的 途 中, 與 逆 流 而 上 之 氣 體 接 觸, 並 吸 收 氣 相 中 之 溶 質, 遂 成 一 溶 液 自 塔 底 流 出 一 般 而 言 填 料 在 使 用 時, 其 堆 置 的 方 式 常 可 成 兩 大 類 [2] :1. 任 意 堆 置 (dumped packing) 之 填 料 2. 整 齊 堆 置 (stacked packing) 之 填 料 而 園 區 廠 家 多 半 使 用 價 廉 質 輕 之 塑 膠 材 質 填 料, 並 以 任 意 堆 置 方 式 填 充 一 般 在 設 計 洗 滌 塔 時 亦 須 考 慮 幾 個 部 份 [1] : (1) 尺 寸 : 為 使 氣 體 速 度 均 勻 一 致, 並 在 可 能 發 生 迴 流 之 處 設 置 分 調 節 板 (2) 噴 嘴 的 選 擇 : 一 般 洗 滌 液 為 循 環 使 用, 故 高 壓 噴 嘴 式 的 洗 滌 塔 對 於 所 使 用 的 液 體 要 求 最 嚴 格 (3) 液 體 處 理 設 備 : 為 防 止 洗 滌 液 造 成 環 境 污 染 問 題, 因 此 經 常 循 環 使 用 洗 滌 液 以 減 少 廢 水 量, 但 也 因 此 增 加 了 污 染 物 的 濃 度, 另 外 選 擇 不 同 的 洗 滌 液 可 同 時 處 理 不 同 的 氣 體 由 於 洗 滌 廢 液 具 有 腐 蝕 性, 故 亦 需 使 用 防 蝕 性 材 質 (4) 潤 濕 因 子 : 填 充 式 洗 滌 塔 為 一 利 用 洗 滌 液 體 與 氣 狀 污 染 物 之 氣 液 接 觸, 進 而 吸 收 處 理 污 染 物 之 設 備 因 此, 為 了 使 液 體 能 夠 均 勻 分 佈 在 填 充 物 上, 已 增 加 氣 體 與 液 體 完 全 接 觸 之 面 積 所 以, 洗 滌 液 體 的 澆 注 量 需 符 合 最 小 潤 濕 因 子 (Minimum-Wetting Factor: MWF) 值 的 要 求, 其 計 算 公 式 和 規 範 中 所 規 定 的 值 如 下 : MWF = VL/ a > 0.1 m 2 /hr MWF = VL/ a = 0.1 m 2 /hr 1 / 3600 hr/sec = 2.78 10-5 m 2 /sec 其 中 VL= 液 體 空 塔 流 速 ;a= 填 充 物 比 表 面 積 6
即 當 填 充 物 之 a=95 m 2 /m 3, 其 所 需 之 最 小 VL=2.64 10-3 m/s, 因 此 如 果 已 知 洗 滌 塔 之 截 面 積, 則 最 小 液 體 流 量 即 可 據 此 評 估 得 (5) 填 充 物 之 比 表 面 積 : 填 充 物 有 非 常 多 種, 其 可 選 擇 之 直 徑 尺 寸 從 30 mm 到 95 mm 都 有 在 選 擇 尺 寸 時, 應 以 塔 徑 之 1/10 至 1/8 為 原 則, 過 大 或 過 小 會 影 響 效 率 [2] 而 材 質 之 選 擇 以 惰 性 耐 酸 鹼 及 便 宜 為 主 填 充 物 之 主 要 功 能 為 : 使 液 體 能 均 勻 分 佈 而 增 加 質 傳 效 率 及 氣 液 體 在 槽 中 的 均 勻 接 觸 目 前, 園 區 內 半 導 體 廠 商 所 使 用 洗 滌 塔 之 填 充 物 以 Tellerettes Tripack VSP 及 Hacketten 為 主 尺 寸 為 50 至 83 mm, 在 此 尺 寸 下 各 廠 牌 之 比 面 積 大 多 在 92 至 128 m²/m³ 之 間 因 此 皆 符 合 規 定 填 充 物 的 比 面 積 大 於 90 m²/m³ 因 為 增 加 比 表 面 積 將 增 加 質 傳 效 率, 根 據 填 充 物 廠 商 所 提 供 之 資 料 來 看, 質 傳 效 率 隨 著 液 體 流 量 而 增 大, 但 各 廠 牌 之 商 品 在 相 同 尺 寸 下 卻 相 差 不 大, 填 充 物 之 基 本 資 料 如 附 件 一 (6) 液 氣 比 : 洗 滌 塔 是 利 用 液 體 將 空 氣 中 污 染 物 吸 收 處 理, 所 以 液 氣 比 為 一 相 當 重 要 之 操 作 參 數, 其 對 洗 滌 塔 的 效 率 有 很 大 的 影 響 而 由 最 小 潤 濕 因 子 (Minimum-Wetting Factor:MWF) 值 的 要 求, 以 填 充 物 之 a = 90 m 2 /m 3 為 例, 其 所 需 之 最 小 液 體 流 速 VL=2.5 10-3 m/s 而 當 氣 體 流 速 (V G ) 大 於 2.5 m/s 時, 易 導 致 溢 流 (flooding) 現 象 之 發 生 而 最 佳 氣 體 流 速 為 溢 流 點 (flooding point) 流 速 之 60 % 至 80 % 即 V G = 1.75 m/s, 則 所 需 液 氣 比 (L M /G M ) 為 : L M /G M = (V L A ρ L)/(V G A ρ G ) (1) = (2.5 10-3 A 1000)/(1.75 A 1.17)=1.22 其 中 ρ L 和 ρ G 為 液 體 和 氣 體 之 比 重 (Kg/m 3 ) A 為 塔 之 截 面 積 (7) 操 作 參 數 之 評 估 與 設 計 : 根 據 Pery s Chemical Engineers 7
Handbook [4] : 其 總 傳 輸 單 位 數 (Number of overall mass transfer unit; N OG ), 可 由 氣 液 平 衡 關 係 求 出 一 般 處 理 如 HCl HF HNO 3 H 3 PO 4 H 2 SO 4 和 NH 3 等 Henry s constant 極 小 之 氣 體, 在 利 用 酸 式 洗 滌 塔 處 理 時, 其 酸 氣 濃 度 不 高, 又 因 為 具 化 學 反 應 之 吸 收 洗 滌 因 此,N OG 計 算 公 式 可 簡 化 如 下 : N OG = ln (y in / y out ) (2) y out / y in = exp ( -N OG ) (3) 令 效 率 為 η y 1 y out in 100% 1 OG e N 100% (4) 其 中 N OG = Z T / H OG ;H OG = G M / (K G a ), 則 1 ZT KGa GM e 100% (5) 實 際 上, 由 於 工 廠 之 處 理 風 量 無 法 改 變, 故 操 作 參 數 將 從 填 充 物 高 度 Z T 及 填 充 物 比 表 面 積 a 來 著 手 指 標 污 染 物 種 為 HCl 與 HF 時, 由 於 許 多 工 廠 在 實 際 應 用 上 之 處 理 風 量 Q 填 充 高 度 ZT 及 填 充 物 比 表 面 積 a, 皆 有 所 差 異 因 此, 我 們 引 進 一 個 變 數 τa; τa= τ a [s-m 2 /m 3 ] (6) τ= 滯 留 時 間 [sec] 8
a = 填 充 物 比 表 面 積 [m 2 /m 3 ] 則 在 T = 20,P = 1 atm 下 0.0234 ak 1 e 100 % G (7) 所 以, 對 於 酸 性 氣 體 洗 滌 塔 而 言, 只 要 知 道 欲 處 理 之 物 種, 總 氣 膜 傳 輸 係 數 K G 可 由 可 由 Perry s Chemical Engineers Handbook [8] 得 知, 在 操 作 條 件 為 :38 mm ceramic Intalox saddles P=1atm T=16-24 時,HCl HF 與 NH 3 之 K G a 值 如 表 2 所 示, 在 代 入 處 理 效 率 後 即 可 得 τa 值 (8) 填 充 高 度 之 設 計 : 其 中 K G =K G a/a 可 由 表 2 求 得 而 決 定 比 表 面 積 後 可 得 填 充 塔 滯 留 時 間 τ, 再 由 Z T = τ V G (8) 其 中 Z T 即 為 為 填 充 物 之 填 充 高 度 Gas phase reactant 表 2 [4] HCl HF NH 3 之 K G a 值 Liquid-phase reactant K G a (kmol/h-m ) K G a (mol/s-m 3 ) HCl H 2 O 353 98.05 HF H 2 O 152 42.22 NH 3 H 2 O 337 93.61 因 此 只 要 改 變 τa 值, 即 可 代 入 效 率 預 測 公 式 (7), 圖 2 及 圖 3 即 為 預 測 之 結 果 9
去 除 效 率 (%) 100 90 80 70 60 50 30 60 90 120 150 180 210 τa(s-m 2 /m 3 ) 圖 2 在 溫 度 為 20, 壓 力 為 1 atm 下 HCl 之 去 除 效 率 對 τa 變 化 圖 去 除 效 率 (%) 100 90 80 70 60 50 40 30 50 100 150 200 250 τa(s-m 2 /m 3 ) 圖 3 在 溫 度 為 20, 壓 力 為 1 atm 下 HF 之 去 除 效 率 對 τa 變 化 圖 10
1.2 洗 滌 塔 之 常 見 問 題 說 明 及 改 善 對 策 濕 式 洗 滌 填 充 塔 由 於 其 設 備 為 連 續 式 操 作, 且 濕 式 洗 滌 塔 通 常 將 洗 滌 液 循 環 使 用, 因 此 長 時 間 操 作 之 下, 難 免 會 有 各 種 問 題 發 生 若 洗 滌 液 中 粒 狀 物 含 量 太 高, 將 易 造 成 填 料 管 線 噴 嘴 流 量 計 中 之 粒 狀 物 堆 積, 造 成 噴 嘴 堵 塞 管 徑 變 小 或 是 浮 子 流 量 計 卡 死 又 因 其 為 濕 式 洗 滌, 故 容 易 造 成 洗 滌 後 之 氣 體 相 對 濕 度 偏 高 的 問 題 等 表 3 為 洗 滌 塔 常 見 問 題 說 明 及 改 善 對 策 整 理 表, 經 由 此 表 將 可 以 很 快 透 過 徵 兆 的 發 現, 明 白 問 題 之 產 生 原 因, 進 而 針 對 問 題 進 行 改 善 表 中 之 各 項 操 作 問 題, 將 詳 細 之 說 明 如 下 : (1) 噴 淋 嘴 阻 塞 洗 滌 塔 中 之 粒 狀 物 顆 粒 易 堆 積 於 流 速 較 低 的 地 方 如 : 管 線 浮 子 流 量 計 上 端 噴 嘴 口 或 填 料 上 其 中 管 線 流 量 計 噴 嘴 的 堵 塞 通 常 可 由 噴 嘴 噴 出 液 滴 變 化 得 知 ( 噴 淋 角 度 變 小 或 偏 斜, 流 量 變 小 等 ), 除 此 之 外 流 量 計 流 量 不 正 常, 壓 降 升 高 也 是 一 種 徵 兆 因 此, 設 計 時 應 選 用 適 當 的 噴 嘴 ( 可 通 過 的 液 體 量 及 顆 粒 的 大 小 ) 及 管 線 口 徑, 並 且 經 常 清 洗, 定 時 更 換 洗 滌 液 而 在 設 計 上, 應 增 設 閥 及 流 量 計 的 旁 通 (bypass) 管 線 並 在 循 環 水 槽 中 增 設 柵 欄 以 阻 隔 粒 狀 物 被 泵 吸 入 (2) 填 充 物 結 垢 酸 鹼 洗 滌 塔 中 粒 狀 物 顆 粒 的 堆 積, 主 要 原 因 為 來 自 廢 氣 中 所 攜 入 的 粒 狀 污 染 物 的 沉 澱, 以 及 因 化 學 反 應 所 產 生 的 結 晶 沉 澱, 如 NaOH 水 溶 液 與 廢 氣 中 之 酸 性 氣 體 所 形 成 之 鹽 類 結 晶 11
其 解 決 方 法 可 藉 由 增 加 液 氣 比, 控 制 ph 值 增 加 循 環 水 槽 中 洗 滌 液 停 留 時 間 增 設 再 分 佈 器 選 擇 效 果 較 佳 澆 注 器 及 添 加 化 學 藥 劑 等 方 式, 並 且 每 年 固 定 清 洗 或 更 換 填 充 物, 來 改 善 操 作 結 垢 狀 況 (3) 洗 滌 塔 之 生 物 黏 膜 附 著 填 料 管 線 噴 嘴 流 量 計 生 物 黏 膜 附 著 的 情 形, 通 常 在 VOC S 氧 化 處 理 程 序 中 之 洗 滌 塔, 較 常 出 現 但 一 般 酸 鹼 洗 滌 塔 的 操 作 中 並 不 構 成 問 題, 但 若 是 廢 氣 中 含 有 揮 發 性 有 機 物 ( 提 供 微 生 物 生 長 所 需 - 之 碳 源 ), 且 使 用 的 洗 滌 液 中 含 有 氮 鹽 (NO 3 或 NH + 4, 如 使 用 地 下 水, 或 廢 氣 中 含 有 硝 酸 或 氨 氣 ), 則 生 物 黏 膜 生 長 的 情 形 會 較 嚴 重 一 般 在 設 計 之 初, 即 避 免 VOC S 與 含 氨 氣 或 硝 酸 氣 體 的 廢 氣 進 入 同 一 洗 滌 塔, 並 應 避 免 使 用 地 下 水 廢 水 生 物 處 理 後 之 放 流 水 以 及 RO 逆 滲 透 的 濃 縮 廢 水 而 生 物 黏 膜 生 長 後, 則 需 於 洗 滌 塔 定 期 維 護 時, 利 用 殺 菌 劑 將 生 物 膜 剝 除 浮 子 式 流 量 計, 因 陽 光 照 射, 容 易 有 青 苔 生 長 的 問 題 平 時 可 將 流 量 計 遮 蔽, 只 在 監 測 流 量 時 將 遮 蔽 物 卸 下, 監 測 後 再 重 新 遮 蔽 的 方 式 以 避 免 青 苔 的 生 長, 並 定 期 拆 卸 清 洗 (4) 白 煙 問 題 濕 式 洗 滌 塔, 容 易 造 成 洗 滌 後 之 氣 體, 相 對 濕 度 偏 高 的 問 題, 一 般 洗 滌 塔 出 口 之 溫 度 約 為 20 至 30, 相 對 濕 度 約 為 85 % 至 90 %, 因 此, 使 排 放 之 煙 囪 容 易 產 生 白 煙 的 問 題 所 以 在 設 計 洗 滌 塔 時, 應 注 意 洗 滌 液 之 澆 注 口 不 宜 過 小, 否 則 易 產 生 液 滴, 而 使 濕 度 增 高 在 塔 頂 增 設 除 霧 器 (mist eliminator), 可 濾 除 一 些 水 蒸 氣 (5) 洗 滌 塔 處 理 效 率 降 低 12
當 洗 滌 塔 煙 道 監 測 濃 度 過 高 或 有 明 顯 之 異 味 時, 表 示 其 吸 收 效 率 降 低, 造 成 這 個 因 素 通 常 是 由 於 循 環 水 之 ph 值 過 低 循 環 水 量 不 足 液 體 分 散 不 均 或 槽 化 產 生 所 引 起 上 述 原 因 造 成 吸 收 效 率 降 低 接 觸 時 間 不 足 及 短 流 發 生, 因 而 使 處 理 效 率 降 低 所 以, 應 檢 查 ph 探 測 針 是 否 正 常 加 藥 系 統 之 泵 閥 或 管 線 是 否 堵 塞 循 環 水 之 泵 控 制 閥 或 管 線 是 否 正 常 清 理 液 滴 分 散 器 或 增 設 再 分 佈 器 並 檢 查 清 理 填 充 物 是 否 結 垢 腐 蝕 或 壓 堆 變 形 13
表 3 洗 滌 塔 常 見 問 題 說 明 及 改 善 對 策 整 理 表 操 作 問 題 徵 兆 問 題 原 因 說 明 改 善 對 策 噴 淋 嘴 阻 塞 噴 嘴 噴 淋 角 1. 來 自 廢 氣 中 所 攜 入 的 1. 循 環 水 槽 中 增 設 柵 欄 以 阻 隔 粒 狀 物 被 泵 吸 度 變 小 或 偏 斜 粒 狀 物 污 染 物 的 沉 澱 2. 因 化 學 反 應 所 產 生 的 2. 定 時 更 換 洗 滌 液, 並 增 設 閥 及 流 量 計 的 旁 結 晶 14 入, 設 計 時 應 選 用 適 當 的 噴 嘴 及 管 線 口 徑, 並 且 經 常 清 洗 通 (bypass) 管 線 填 充 物 結 垢 流 量 計 流 量 因 化 學 反 應 所 產 生 的 結 增 加 液 氣 比, 控 制 ph 值 增 加 循 環 水 槽 中 不 正 常 或 壓 晶 降 升 高 洗 滌 液 停 留 時 間 增 設 再 分 佈 器 選 擇 效 果 較 佳 澆 注 器 及 添 加 化 學 藥 劑, 並 且 每 年 固 定 清 洗 或 更 換 填 充 物, 來 改 善 操 作 結 垢 狀 況 洗 滌 塔 之 生 浮 子 式 流 量 廢 氣 中 含 有 揮 發 性 有 機 避 免 VOC S 與 含 氨 氣 或 硝 酸 氣 體 的 廢 氣 進 入 物 黏 膜 附 著 計 有 青 苔 生 物 ( 提 供 微 生 物 生 長 所 同 一 洗 滌 塔, 並 應 避 免 使 用 地 下 水 廢 水 生 長 需 之 碳 源 ), 且 使 用 的 洗 滌 液 中 含 有 氮 鹽 (NO 3 - 或 NH + 4 ) 如 使 用 地 下 維 護 時, 利 用 殺 菌 劑 將 生 物 膜 剝 除 水, 或 廢 氣 中 含 有 硝 酸 或 氨 氣 物 處 理 後 之 放 流 水 以 及 RO 逆 滲 透 的 濃 縮 廢 水 而 生 物 黏 膜 生 長 後, 則 需 於 洗 滌 塔 定 期 白 煙 問 題 嚴 煙 囪 出 口 有 1. 洗 滌 後 之 氣 體 濕 度 過 1. 檢 查 是 否 塔 頂 液 體 分 散 器 之 噴 嘴 力 道 過 重 明 顯 之 白 煙 高 2.SiO 2 微 粒 成 為 飽 和 水 蒸 氣 之 凝 結 核 3.NH 3 存 在 於 酸 性 廢 氣 中 強, 導 致 水 滴 以 噴 霧 狀 被 氣 流 帶 出, 形 成 過 飽 和 之 水 氣 裝 設 除 霧 器 或 提 高 除 霧 效 果 ; 如 為 篩 網 式, 篩 口 徑 大 小 直 接 影 響 除 霧 效 果 2. 可 於 local scrubber 處 改 裝 焚 化 裝 置 後, 直 接 串 聯 袋 式 集 塵 器, 可 有 效 去 除 SiO2, 且 此 在 園 區 內 已 有 實 例 3. 檢 視 管 線, 查 看 是 否 酸 鹼 氣 體 有 混 和 排 入 洗 滌 塔 內 4. 檢 視 NH3 是 否 有 效 去 除, 因 為 在 local scrubber 焚 化 NF 3 時 亦 可 能 產 生 NH3 洗 滌 塔 處 理 煙 道 監 測 濃 1. 循 環 水 之 ph 值 過 低 1. 檢 查 ph 探 測 針 是 否 正 常 檢 查 加 藥 系 統 效 率 降 低 度 過 高 或 有 明 顯 之 異 味 或 過 高 2. 循 環 水 量 不 足 3. 液 體 分 散 不 均 4. 槽 化 產 生 之 泵 閥 或 管 線 是 否 堵 塞 2. 檢 查 循 環 水 之 泵 控 制 閥 或 管 線 是 否 正 常 3. 檢 查 並 清 理 液 滴 分 散 器 或 增 設 再 分 佈 器 4. 檢 查 並 清 理 填 充 物 是 否 結 垢 腐 蝕 或 壓 堆 變 形
2.3 洗 滌 塔 之 操 作 維 護 紀 錄 項 目 洗 滌 塔 為 園 區 大 多 數 廠 商 用 來 處 理 酸 性 氣 體 時 之 主 要 設 備, 然 而 其 效 果 之 維 持 有 賴 於 平 日 之 保 養 與 維 護, 因 此 若 能 確 實 做 好 檢 測 紀 錄, 則 能 提 早 發 現 各 種 問 題 並 加 以 改 善, 如 此 將 使 設 備 之 操 作 效 能 提 升 並 能 延 長 設 備 之 使 用 期 限, 達 到 環 保 與 經 濟 之 雙 重 目 標 平 日 保 養 方 面 應 每 日 紀 錄 事 項 如 表 4 所 示, 其 中 包 含 有 : 洗 滌 塔 之 處 理 風 量 處 理 前 後 壓 差 洗 滌 循 環 水 量 洗 滌 水 ph 值, 以 及 估 算 潤 濕 因 子 ( 洗 滌 循 環 水 量 填 充 物 比 表 面 積 與 氣 流 垂 直 之 填 充 段 截 面 積 ), 此 外 處 理 前 後 濃 度 應 定 期 檢 測 並 紀 錄, 且 定 期 更 新 / 清 洗 塔 中 填 充 物 每 日 紀 錄 洗 滌 塔 之 主 要 操 作 參 數 如 表 5 所 示, 其 中 包 含 洗 滌 塔 設 備 操 作 參 數 其 中 固 定 參 數 為 (1) 填 充 段 水 平 截 面 積 (2) 填 充 段 高 度 (3) 填 充 物 比 表 面 積 操 作 參 數 則 為 (4) 循 環 水 槽 之 ph 值 (5) 處 理 風 量 (6) 洗 滌 循 環 水 量 (7) 潤 濕 因 子 (8) 空 塔 滯 留 時 間 保 養 維 護 記 錄 包 含 :(9) 循 環 水 管 線 壓 力 差 (10) 導 電 度 (11) 填 充 物 清 洗 / 更 換 紀 錄 (12)pH 計 清 洗 / 更 換 紀 錄 (13) 洗 滌 液 更 換 紀 錄 其 說 明 如 下 : (1) 填 充 段 水 平 截 面 積 為 : 濕 洗 滌 設 備 內 部 裝 載 填 充 物 部 份 之 水 平 橫 截 面 積, 單 位 為 m 2 (2) 填 充 段 高 度 為 : 設 備 內 部 裝 載 填 充 物 部 份 之 高 度, 單 位 為 m (3) 填 充 物 比 表 面 積 為 : 濕 式 洗 滌 設 備 內 部 裝 載 填 充 物 之 表 面 積 與 體 積 之 比, 其 目 的 為 增 加 廢 氣 與 洗 滌 液 之 氣 液 接 觸 時 間 法 規 中 規 15
定 填 充 物 比 表 面 積 需 大 於 90 m 2 /m 3 (4) 循 環 水 槽 之 ph 值 : 為 了 使 酸 性 氣 體 在 洗 滌 液 中 產 生 中 和 反 應, 以 加 大 削 減 效 率, 法 規 中 規 定 洗 滌 液 之 ph 值 需 大 於 7 以 上 (5) 處 理 風 量 : 濕 式 洗 滌 設 備 內 部 流 過 填 充 物 之 廢 氣 體 積 流 量, 單 位 為 m 3 /hr (6) 洗 滌 循 環 水 量 : 濕 式 洗 滌 設 備 內 部 流 過 填 充 物 之 洗 滌 水 體 積 流 量, 單 位 為 m 3 /hr (7) 潤 濕 因 子 : 洗 滌 循 環 水 量 /( 填 充 物 比 表 面 積 洗 滌 塔 填 充 段 水 平 截 面 積 ), 單 位 為 m 2 /hr 為 了 使 液 體 能 夠 均 勻 分 佈 在 填 充 物 上, 以 增 加 氣 體 與 液 體 完 全 接 觸 之 面 積, 所 以 洗 滌 液 體 的 澆 注 量 需 符 合 最 小 潤 濕 因 子 的 要 求 ( 大 於 0.1 m 2 /hr) (8) 空 塔 滯 留 時 間 : 濕 式 洗 滌 設 備 中 氣 體 流 過 填 充 段 之 時 間, 單 位 為 sec (9) 循 環 水 管 線 壓 力 差 : 裝 設 水 壓 計 於 洗 滌 塔 循 環 水 槽 之 管 線 中, 測 量 管 線 之 壓 力 降, 若 壓 力 降 過 大 則 顯 示 水 槽 中 之 填 充 物 結 垢 問 體 嚴 重, 單 位 一 般 為 in-h 2 O (10) 導 電 度 : 記 錄 循 環 水 槽 之 導 電 度 當 導 電 度 過 大 時, 表 示 循 環 水 中 陰 陽 離 子 過 多, 應 適 度 補 充 一 些 新 鮮 水 並 放 流 部 分 循 環 水, 除 了 可 以 避 免 影 響 去 除 效 率 外, 亦 可 減 低 塔 中 結 晶 現 象 (11) 填 充 物 清 洗 / 更 換 紀 錄 : 紀 錄 填 充 物 清 洗 / 更 換 紀 錄 之 時 間 (12)pH 計 清 洗 / 更 換 紀 錄 : 紀 錄 ph 計 清 洗 / 更 換 紀 錄 16
(13) 洗 滌 液 更 換 紀 錄 : 紀 錄 洗 滌 液 更 換 之 時 間 17
表 4 污 染 防 制 設 備 建 議 檢 測 及 紀 錄 項 目 紀 錄 項 目 備 註 酸 性 氣 體 洗 滌 塔 1. 處 理 風 量 ( 每 日 紀 錄 ) 2. 處 理 前 後 壓 差 ( 每 日 紀 錄 ) 3. 洗 滌 循 環 水 量 ( 每 日 紀 錄 ) 4. 洗 滌 水 ph 值 ( 每 日 紀 錄 ) 5. 潤 濕 因 子 估 算 ( 洗 滌 循 環 水 量 填 充 物 比 表 面 積 與 氣 流 垂 直 之 填 充 段 截 面 積 ) ( 每 日 紀 錄 ) 6. 處 理 前 後 濃 度 ( 定 期 紀 錄 ) 7. 洗 滌 塔 填 充 物 更 新 / 清 洗 ( 定 期 紀 錄 ) 18
表 5 洗 滌 塔 操 作 效 能 自 我 評 估 表 填 寫 範 例 洗 滌 塔 編 號 A006 記 錄 日 期 92 年 08 月 自 我 管 理 指 標 ( 一 ) ph 紀 錄 ( 五 ) 運 轉 成 本 ( 六 ) 備 註 運 轉 成 本 45 萬 元 日 期 (14)pH 值 不 良 率 7.14% 92/08/12 7.475 標 準 差 0.7591 92/0813 8.475 設 備 資 料 ( 二 ) 92/08/14 6.6 形 式 直 立 式 橫 臥 式 92/08/15 7.65 處 理 物 種 HCl, HF, HNO 3 92/08/16 8.02 填 充 物 種 類 Tellerette 92/08/17 8.39 處 理 前 濃 度 1975 ppm 92/08/18 8.76 處 理 前 濃 度 180 ppm 92/08/19 9.13 (19) 運 轉 電 費 : 10.8 萬 元 / 年 (20) 運 轉 水 費 : 20.7 萬 元 / 年 (21) 加 藥 費 用 : 3.5 萬 元 / 年 (22) 固 定 保 養 費 用 : 10 萬 元 / 年 (23) 總 費 用 : 45 萬 元 / 年 運 轉 成 本 =(23) 不 良 率 =(18) 標 準 差 =(17) (7) 潤 濕 因 子 (>0.1) =(6) / (1) (3) 設 備 操 作 參 數 ( 三 ) 92/08/20 8.07 固 (1) 填 充 段 水 平 截 面 積 1.75 m 2 92/08/21 8.44 定 參 (2) 填 充 段 高 度 1.2 m 92/08/22 8.81 數 (3) 填 充 物 比 表 面 積 95 m 2 /m 3 92/08/23 9.18 (4) 循 環 水 槽 之 ph 值 7.76 92/08/24 7.02 操 (5) 處 理 風 量 15000 m 3 / hr 92/08/25 8.07 作 參 (6) 洗 滌 循 環 水 量 30 m 3 / hr 數 (7) 潤 濕 因 子 0.18 m 2 /hr (8) 空 塔 滯 留 時 間 0.504 sec 保 養 維 護 記 錄 ( 四 ) 循 環 水 管 線 壓 力 差 2.4 in-h 2 O 導 電 度 8.75 s/cm (15) 總 合 114.09 填 充 物 清 洗 / 更 換 92/08/12 (16) 總 平 均 8.149 計 清 洗 / 更 換 92/08/12 (17) 標 準 差 0.7591 洗 滌 液 更 換 92/08/12 (18) 不 良 率 7.14% (8) 空 塔 滯 留 時 間 (>0.5) = 3600 (1) (2) / (5) (15) 總 合 = n (14) X i (16) 總 平 均 :μ = (15)/n (17) 標 準 差 : n 1 X 2 i 1 σ = n (18) 不 良 率 : = ph 值 低 於 7 比 率 (23) 總 費 用 : =(19) + (20) + (21) + (22) 19
1.4 洗 滌 塔 之 操 作 績 效 自 我 評 估 目 前 大 多 數 廠 商, 對 於 法 規 管 制 無 機 酸 之 控 制, 多 以 酸 性 氣 體 洗 滌 塔 為 主 然 而, 由 於 目 前 我 國 公 告 之 排 放 管 道 無 機 酸 鹼 標 準 檢 測 方 法 (NIEA A412.70A NIEA A409.70A NIEA A441.11B NIEA A410.70A 及 NIEA A408.70A 等 [5] ) 無 法 適 當 檢 測 每 家 廠 商 無 機 酸 之 排 放 量 和 濃 度, 因 此 經 常 出 現 ND(Non-detectable) 值, 目 前 工 廠 大 多 以 符 合 洗 滌 塔 之 操 作 設 施 條 件 規 範 來 控 制 列 管 之 無 機 酸 排 放 量 但 是 可 以 考 慮 採 用 經 國 外 環 保 機 構 或 是 學 術 驗 證 過 之 採 樣 分 析 方 法, 如 以 仍 以 吸 收 瓶 採 樣, 但 是 可 以 斟 酌 減 少 吸 收 液 之 填 充 量, 以 提 高 分 析 時 之 偵 測 極 限 值 ; 或 是 改 為 使 用 擴 散 採 樣 管 (Diffusion denuder) [16] 或 多 孔 金 屬 片 (Porous metal) [17] 之 方 式 進 行 採 樣, 亦 可 提 高 其 偵 測 極 限 值, 以 便 瞭 解 工 廠 本 身 之 實 際 排 放 量, 來 因 應 未 來 總 量 管 制 之 趨 勢 在 半 導 體 製 造 業 空 氣 污 染 管 制 及 排 放 標 準 中, 排 放 標 準 規 定 的 酸 性 廢 氣 包 括 有 硝 酸 鹽 酸 磷 酸 及 氫 氟 酸 等, 需 符 合 排 放 削 減 率 大 於 95 %, 或 排 放 總 量 小 於 0.6 kg/ hr 之 標 準, 硫 酸 標 準 為 排 放 削 減 率 大 於 95 %, 或 排 放 總 量 小 於 0.1 kg/ hr 若 未 能 證 明 符 合 前 項 標 準, 而 以 濕 式 洗 滌 塔 操 作 時, 其 操 作 條 件 應 符 合 : 設 備 洗 滌 循 環 水 槽 ph 值 應 大 於 7 潤 濕 因 子 應 大 於 0.1 m 2 /hr 填 充 段 空 塔 滯 留 時 間 應 大 於 0.5 秒 填 充 物 比 表 面 積 應 大 於 90 m 2 /m 3 根 據 本 研 究 群 在 上 年 度 計 畫 研 究 中, 若 欲 達 95 % 之 去 除 效 率 則 其 操 作 條 件 規 範 須 符 合 : 設 備 洗 滌 循 環 水 槽 ph 值 應 大 於 7 潤 濕 因 子 應 大 於 0.1 m 2 /hr 填 充 段 空 塔 滯 留 時 間 與 填 充 物 比 表 面 積 之 乘 積 值 τa 應 大 於 180 sec-m 2 /m 3 然 而, 由 於 填 充 段 空 塔 滯 留 時 間, 取 決 於 處 理 風 量 及 填 充 段 水 平 20
截 面 積, 這 關 係 到 製 程 及 硬 體 設 備 的 改 變 而 填 充 物 之 比 表 面 積 除 了 歲 修 之 外 不 可 能 更 換, 因 此 以 上 兩 者 皆 不 適 於 廠 務 部 門 作 為 績 效 改 進 之 指 標 至 於 潤 濕 因 子 雖 可 由 改 變 循 環 水 之 流 量 來 改 變, 但 是 若 使 用 流 量 計 來 控 制 其 流 量, 則 可 達 到 相 當 精 確 並 符 合 法 規 之 流 量, 因 此 其 改 變 空 間 亦 不 大 但 就 控 制 洗 滌 循 環 水 槽 ph 值 方 面 而 言, 大 多 數 園 區 廠 家 皆 設 有 自 動 加 藥 泵 浦, 而 其 加 藥 之 ph 值 設 定 點 一 般 設 為 9 然 而 根 據 某 些 廠 家 之 內 部 監 測 報 告, 發 現 在 某 些 時 間 點 上 ph 值 會 低 於 7 或 高 於 10, 當 ph 值 低 於 7 時 會 造 成 去 除 效 率 不 足, 而 過 高 之 ph 值 其 並 無 法 顯 著 提 升 效 率, 反 而 增 加 藥 品 使 用 量 亦 不 符 合 經 濟 效 益 因 此 在 這 方 面 的 控 制 可 作 為 洗 滌 塔 操 作 績 效 之 一 項 重 要 之 指 標 因 此 我 們 建 議, 首 先 在 設 備 洗 滌 循 環 水 槽 應 至 少 在 水 槽 中 及 水 槽 之 出 口, 各 裝 設 一 個 至 兩 個 ph 值 監 測 計 使 其 更 具 代 表 性 藉 由 上 述 之 監 測 計 我 們 應 一 日 多 次 紀 錄 其 值 並 計 錄 之, 並 由 品 質 管 制 之 觀 念 設 置 ph 值 7 為 規 格 下 限, 低 於 規 格 下 限 之 時 間 點 即 為 不 合 格, 每 月 可 計 算 不 良 率 以 作 為 操 作 績 效 之 重 要 指 標, 並 針 對 不 合 格 之 時 間 點 找 尋 原 因 並 改 善 之 將 ph 紀 錄 表 與 日 常 維 護 記 錄 事 項 及 法 規 中 之 設 施 操 作 條 件 重 要 因 子 整 合 在 一 起, 以 使 表 格 能 更 加 簡 化 並 具 有 較 完 整 之 功 能 性, 並 加 入 加 藥 費 用 及 運 轉 費 用 之 評 估, 俾 使 本 制 度 能 更 加 完 善, 表 格 中 附 有 計 算 方 法, 使 廠 務 人 員 在 日 常 繁 重 公 務 之 下 亦 能 以 最 短 時 間 填 寫, 本 研 究 群 以 實 行 計 畫 之 經 驗, 並 將 較 為 重 要 之 指 標 : 運 轉 費 用 標 準 差 及 不 良 率 至 於 表 格 較 為 明 顯 之 處, 方 便 執 行 操 作 效 能 自 我 評 估 人 員, 能 迅 速 正 確 由 該 表 格 中 得 到 所 需 之 資 料, 並 能 針 對 該 指 標 來 進 行 操 作 效 能 自 我 評 估 工 作 運 轉 費 用 包 含 運 轉 電 費 : 運 轉 水 費 加 藥 費 用 21
及 固 定 保 養 費 用, 此 為 操 作 效 能 自 我 評 估 管 理 之 重 要 指 標 之 一 此 外 為 提 昇 ph 操 作 值 之 穩 定 性, 可 以 參 考 一 般 利 用 作 為 品 質 管 控 之 統 計 學 方 法 如 表 5 所 示, 定 期 求 出 ph 操 作 變 化 之 標 準 差 σ, 若 標 準 差 愈 小 則 表 示 操 作 條 件 控 制 能 力 愈 佳, 所 以 此 為 操 作 績 效 指 標 之 一, 只 要 透 過 縮 小 每 個 月 計 算 之 標 準 差, 即 可 達 到 操 作 績 效 提 升 之 目 的 但 須 注 意 的 是, 如 果 ph 計 受 到 結 晶 影 響 其 靈 敏 度, 也 可 能 會 因 此 導 致 ph 值 幾 乎 不 變 動, 因 此 在 執 行 ph 操 作 穩 定 性 測 試 之 前, 必 須 先 保 養 ph 計, 使 其 靈 敏 度 良 好 如 此 我 們 利 用 每 月 計 算 之 ph 值 與 標 準 差, 訂 定 平 均 值 +3σ 為 管 制 上 限 值, 而 管 制 下 限 為 ph=7, 如 圖 4 所 示 對 於 超 出 管 制 下 限 標 準 之 加 藥 時 間 點, 計 算 其 所 佔 之 比 率 為 不 良 率, 而 超 出 管 制 上 限 值 者 亦 應 一 併 追 查 其 發 生 原 因, 以 期 提 早 發 現 問 題 並 改 進 之 因 此 標 準 偏 差 值 亦 可 為 操 作 績 效 指 標 之 一 運 轉 費 用 包 含 運 轉 電 費 : 運 轉 水 費 加 藥 費 用 及 固 定 保 養 費 用 22
圖 4 循 環 水 槽 ph 值 管 制 圖 23
參 考 文 獻 1. 葉 和 明, 單 元 操 作 ( 三 ), 三 民 書 局,pp.121~126, 民 國 86 年 (1997) 2. C. D. Cooper & F. C. Aley, Air Polution Control:A Design Approach, Waveland Press Inc., 2 nd ed., pp. 411~442, 1996. 3. 白 矄 綾 李 谷 蘭 楊 泰 辰 黃 文 賢 林 育 旨, 園 區 半 導 體 製 造 業 廢 氣 處 理 及 排 放 調 查 研 究, 民 國 89 年 (2000) 4. Robert H. Pery and Don W. Green Pery s Chemical Engineers Handbook,McGraw-Hill, 7 th ed., 1997. 5. 行 政 院 環 保 署 環 境 檢 驗 所 網 站,http://www.niea.gov.tw/index_Frame.htm 6. U.S. EPA, Chapter IO-4.2, Determination of Reactive Acidic and Basic Gases and Strong Acidity of Atmospheric Fine Particles in Ambient Air Using the Annular Denuder Technology, 1999. 7. Tsai, C. J., Huang, C. H., Wang, S. H., and Shin, T. S. Design and Testing of a Personal Porous-metal Denuder, Aerosol Sci. Technol. Vol 35, pp 1-6, 2001. 24
附 件 一 洗 滌 塔 填 充 物 資 料 25
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附 件 二 操 作 效 能 自 我 評 估 管 理 記 錄 表 31
洗 滌 塔 編 號 A006 記 錄 日 期 92 年 08 月 自 我 管 理 指 標 ( 一 ) ph 紀 錄 ( 五 ) 運 轉 成 本 ( 六 ) 備 註 運 轉 成 本 45 萬 元 日 期 (14)pH 值 不 良 率 7.14% 92/08/12 7.475 標 準 差 0.7591 92/0813 8.475 設 備 資 料 ( 二 ) 92/08/14 6.6 形 式 直 立 式 橫 臥 式 92/08/15 7.65 處 理 物 種 HCl, HF, HNO 3 92/08/16 8.02 填 充 物 種 類 Tellerette 92/08/17 8.39 處 理 前 濃 度 1975 ppm 92/08/18 8.76 處 理 前 濃 度 180 ppm 92/08/19 9.13 (19) 運 轉 電 費 : 10.8 萬 元 / 年 (20) 運 轉 水 費 : 20.7 萬 元 / 年 (21) 加 藥 費 用 : 3.5 萬 元 / 年 (22) 固 定 保 養 費 用 : 10 萬 元 / 年 (23) 總 費 用 : 45 萬 元 / 年 運 轉 成 本 =(23) 不 良 率 =(18) 標 準 差 =(17) (7) 潤 濕 因 子 (>0.1) =(6) / (1) (3) 設 備 操 作 參 數 ( 三 ) 92/08/20 8.07 固 (1) 填 充 段 水 平 截 面 積 1.75 m 2 92/08/21 8.44 定 參 (2) 填 充 段 高 度 1.2 m 92/08/22 8.81 數 (3) 填 充 物 比 表 面 積 95 m 2 /m 3 92/08/23 9.18 (4) 循 環 水 槽 之 ph 值 7.76 92/08/24 7.02 操 (5) 處 理 風 量 15000 m 3 / hr 92/08/25 8.07 作 參 (6) 洗 滌 循 環 水 量 30 m 3 / hr 數 (7) 潤 濕 因 子 0.18 m 2 /hr (8) 空 塔 滯 留 時 間 0.504 sec 保 養 維 護 記 錄 ( 四 ) 循 環 水 管 線 壓 力 差 2.4 in-h 2 O 導 電 度 8.75 s/cm (15) 總 合 114.09 填 充 物 清 洗 / 更 換 92/08/12 (16) 總 平 均 8.149 計 清 洗 / 更 換 92/08/12 (17) 標 準 差 0.7591 洗 滌 液 更 換 92/08/12 (18) 不 良 率 7.14% (8) 空 塔 滯 留 時 間 (>0.5) = 3600 (1) (2) / (5) (15) 總 合 = n (14) X i (16) 總 平 均 :μ = (15)/n (17) 標 準 差 : n 1 X 2 i 1 σ = n (18) 不 良 率 : = ph 值 低 於 7 比 率 (23) 總 費 用 : =(19) + (20) + (21) + (22) 32