中 心 No.27, 37th Road, Taichung Industrial Park, Taichung, Taiwan, R.O.C. 機 械 設 計 危 害 能 量 隔 離 危 害 警 告 標 示 財 團 法 人 精 密 機 械 研 究 發 展 中 心 機 械 安 全 部 王 清 松 (04)2359-9009 分 機 864 e9905@mail.pmc.org.tw
機 械 設 計 - 風 險 評 估 與 危 害 鑑 別 風 險 評 估 相 關 標 準 EN 1050:1996 ( 歐 盟 機 台 安 全 - 風 險 評 估 原 則 ) EN ISO 14121-1:2007 ( 取 代 EN 1050:1996) ISO 12100-1:2010 ( 取 代 ISO 12100-1:2003, ISO 12100-2:2003 and ISO 14121-1:2007) SEMI S10-0307 E 風 險 評 估 SEMI S14-0309 火 災 風 險 評 估 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) 中 心
危 險 ---???? 風 險 ---????
危 險 - 事 件 概 念 風 險 - 事 件 嚴 重 性 + 機 率 概 念 Risk combination of the probability of occurrence of harm and the severity of that harm. (ISO 12100:2010-3.12) 風 險 - 發 生 危 害 的 機 率 與 危 害 嚴 重 性 的 組 合
風 險 --- 情 境 判 斷 (Life Cycle) 設 計 及 製 造 搬 運 操 作 維 修 保 養 報 廢 及 回 收 中 心
信 號 機 的 色 燈, 一 般 依 紅 黃 綠 的 順 序 看 起 來 有 愈 來 愈 近 的 感 覺 行 為 認 知 與 失 誤
危 險 鑑 別 - 危 害 類 型 輻 射 - 紫 外 光 (UV Lamp:O3) Laser 驗 證 方 式 檔 審 查 實 機 確 認 測 試 標 示 : 雷 射 等 級 的 分 類 危 害 警 告 標 示 操 作 手 冊 : 需 說 明 雷 射 危 害 及 安 全 使 用 方 法 安 全 防 護 裝 置 確 認 : 護 罩 光 學 觀 測 安 全 系 統 防 護 罩 連 結 鎖 (interlock) 裝 置 : 當 此 裝 置 移 除 時, 需 立 即 關 閉 雷 射 電 源 中 心
危 險 鑑 別 - 危 害 類 型 噪 音 危 害 噪 音 引 起 的 危 險 將 導 致 聽 力 損 失 及 其 他 生 理 上 的 失 調 ( 例 如 失 去 平 衡 感 失 去 知 覺 ), 甚 至 操 作 機 械 時 會 幹 擾 語 言 溝 通 或 是 聲 音 訊 號 中 心
忽 視 人 因 工 程 原 則 而 衍 生 危 險 鑑 別 - 危 害 類 型 照 明 ( 觸 碰 式 ) 視 覺 顯 示 器 燈 光 聲 響 控 制 面 盤
Risk - combination of the probability of occurrence of harm and the severity of that harm. (ISO 12100:2010-3.12) 風 險 - 發 生 危 害 的 機 率 與 危 害 的 嚴 重 性 的 組 合 Probability Risk Function Severity of Harm Exposure Occurrence Avoid 風 險 危 害 的 嚴 重 性 危 害 的 可 能 性 暴 露 的 人 員 危 險 的 事 件 發 生 避 免 或 限 制 危 害 的 可 能 性
嚴 重 性 等 級 (Severity Grouping):SEMI S10 中 心
可 能 性 等 (Likelihood):SEMI S10 中 心
風 險 矩 陣 (Risk Ranking Matrix): SEMI S10
人 因 工 程 SEMI S8- 半 導 體 製 造 設 備 人 因 工 程 之 安 全 基 準 中 心
提 供 警 告 裝 置 燈 號 指 示 燈 中 心
防 護 措 施 - 防 護 結 構 之 距 離 與 高 度 工 作 區 保 護, 參 考 EN ISO 13857:2008, 設 計 具 有 隔 離 作 用 之 安 全 防 護 結 構 ( 圍 籬 ) 於 危 險 區 域 四 周 安 全 防 護 結 構 之 距 離 與 高 度 選 用, 參 考 下 圖 與 表 a: 危 險 區 域 的 高 度 b: 保 護 裝 置 的 高 度 c: 至 危 險 區 域 的 水 準 距 離
防 護 措 施 - 防 護 結 構 之 距 離 與 高 度 危 險 區 域 的 高 度 a 防 護 結 構 的 高 度 b ( 單 位 mm) 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2500 2700 至 危 險 區 域 的 水 準 距 離 c 2700 - - - - - - - - - - 2600 900 800 700 600 600 500 400 300 100-2400 1100 1000 900 800 700 600 400 300 100-2200 1300 1200 1000 900 800 600 400 300 - - 2000 1400 1300 1100 900 800 600 400 - - - 1800 1500 1400 1100 900 800 600 - - - - 1600 1500 1400 1100 900 800 500 - - - - 1400 1500 1400 1100 900 800 - - - - - 1200 1500 1400 1100 900 700 - - - - - 1000 1500 1400 1000 800 - - - - - - 800 1500 1300 900 600 - - - - - - 600 1400 1300 800 - - - - - - - 400 1400 1200 400 - - - - - - - 200 1200 900 - - - - - - - - 0 1100 500-1600 (1) 低 於 1000mm 高 度 之 防 護 結 構 不 包 括 在 內, 因 其 不 足 以 限 制 人 體 之 移 動 (2) 在 表 中 各 值 之 間 不 應 有 內 插 值 存 在, 當 已 知 a b 或 c 值 是 介 於 表 中 之 二 個 數 值 之 間 時, 則 需 採 用 具 有 較 高 的 安 全 水 準 之 值 1500 中 心
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 移 動 機 構 之 安 全 設 計 - 模 式 選 擇 開 關 當 設 備 的 移 動 機 構 被 設 計 成 需 於 不 同 狀 態 下 操 作 時 ( 例 : 維 修 調 整 模 式 不 同 速 度 或 能 量 來 源 ), 應 提 供 模 式 選 擇 開 關 (Key switch) 或 Password 密 碼, 並 確 保 調 整 與 選 擇 這 些 模 式 時 能 安 全 的 被 執 行 Teach Auto
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 移 動 機 構 之 安 全 設 計 - 模 式 選 擇 開 關 自 動 模 式 Auto Setting 鑰 匙 - 可 鎖 式 手 動 模 式 設 定 調 整 校 模 維 修 保 養
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 移 動 機 構 之 安 全 設 計 - 模 式 選 擇 開 關 自 動 模 式 密 碼 手 動 模 式 設 定 調 整 校 模 維 修 保 養
壓 力 檢 知 式 機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 其 它 機 械 安 全 相 關 要 求 - 視 覺 死 角 存 在 檢 知 sensor Safety Mat 型 式 反 射 光 式 危 險 區 域 Safety Laser Scanner 型 式
危 害 能 量 隔 離 危 害 能 量 的 隔 離 原 則 : 鈑 金 或 固 定 式 護 罩 防 護 等 危 害 能 量 的 停 止 原 則 : 連 鎖 式 護 罩 ( 搭 配 interlock) 或 光 柵 等 安 全 sensor
危 險 能 量 的 隔 離 隔 離 原 則 設 置 遮 罩 的 防 護 將 危 險 能 量 隔 離 視 情 況 設 置 最 小 限 度 開 口 危 険 源 危 険 源 中 心
危 險 能 量 的 停 止 停 止 原 則 設 置 安 全 裝 置 的 防 護 未 經 確 認 則 停 止 停 止 後 需 經 人 員 確 認 復 歸 危 険 源 危 険 源 中 心
危 險 能 量 的 隔 離 原 則 危 險 能 量 的 停 止 原 則 危 險 能 量 的 停 止 原 則 危 險 能 量 的 停 止 原 則 中 心
防 護 措 施 - 護 罩 種 類 選 用 每 年 一 次 - 固 定 式 每 月 一 次 - 固 定 式 每 週 一 次 - 固 定 式 每 天 一 次 - 移 動 式 / 固 定 式 每 天 超 過 一 次 - 移 動 式 每 小 時 超 過 一 次 - 移 動 式
安 全 裝 置 設 置 不 當 受 光 器 受 光 器 接 觸 安 全 距 離 (S) 投 光 器 最 大 動 作 區 域 投 光 器 安 全 防 護 裝 置 須 正 確 的 安 裝 才 能 發 揮 其 功 能 27
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 極 限 溫 度 - 人 體 可 接 觸 之 表 面 溫 度 - 無 法 執 行 或 設 計 相 關 保 護 時 - 包 覆 與 警 告 標 誌 中 心
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 極 限 溫 度 - 人 體 可 接 觸 之 表 面 溫 度 人 體 可 接 觸 之 表 面 溫 度, 高 溫 ( 限 制 如 下 表 ) 或 低 溫 [ 低 於 -10 C], 應 安 裝 護 罩 或 防 止 接 觸 之 設 計 接 近 部 位 最 大 表 面 溫 度 ( ) 金 屬 玻 璃 陶 瓷 塑 膠 橡 膠 手 把 旋 鈕 柄 等, 正 常 使 用 下 短 時 間 ( 5 秒 ) 握 住 或 接 觸 60 70 85 手 把 旋 鈕 柄 等, 正 常 使 用 下 連 續 握 住 系 統 外 部 表 面, 或 系 統 內 部 元 件 可 能 接 觸 的 地 方 51 56 60 65 80 95
機 械 安 全 防 護 設 計 之 要 求 - 極 限 溫 度 - 無 法 執 行 或 設 計 相 關 保 護 時 當 暴 露 於 極 限 溫 度, 且 溫 度 超 過 容 許 值, 無 法 執 行 或 設 計 相 關 之 保 護, 應 符 合 以 下 兩 個 條 件 : (1) 不 小 心 接 觸 到 表 面 而 不 會 造 嚴 重 傷 害 (2) 此 表 面 應 標 示 相 關 溫 度 傷 害 之 警 告 標 誌
危 害 警 告 標 示 危 害 點 位 置 及 相 對 應 之 安 全 標 示
安 全 標 示 型 式 SEMI S1 標 示 要 求
安 全 標 示 型 式 SEMI S1 標 示 要 求 單 一 圖 案 之 直 式 標 示
SEMI S1 標 示 要 求 安 全 標 示 的 內 容 至 少 應 包 含 三 個 部 分 : 警 語 區 圖 案 區 及 訊 息 區
SEMI S1 標 示 要 求 安 全 標 示 內 容 應 傳 達 以 下 訊 息 : (1) 警 語 區 傳 遞 : 危 害 的 嚴 重 性 (2) 圖 案 區 傳 達 : 危 害 的 種 類 或 此 類 危 害 可 能 衍 生 的 後 果 傳 達 避 免 危 害 的 方 法 (3) 訊 息 區 傳 達 : 危 險 來 源 受 害 程 度 及 可 能 受 害 之 機 率 迴 避 方 法
警 語 標 示 說 明 (1) 警 語 區 (1) 警 語 區 使 用 安 全 警 告 符 號 ( 圖 頂 正 三 角 形 中 加 驚 嘆 號 ) 及 DANGER WARNING CAUTION 三 種 警 語 DANGER : 會 發 生 立 即 性 的 危 險 情 況, 該 危 險 發 生 時 極 易 造 成 人 員 死 亡 或 重 傷 背 景 及 驚 嘆 號 為 紅 色 文 字 及 三 角 形 為 白 色
警 語 標 示 說 明 (2) 警 語 區 (2) 警 語 區 使 用 安 全 警 告 符 號 ( 圖 頂 正 三 角 形 中 加 驚 嘆 號 ) 及 DANGER WARNING CAUTION 三 種 警 語 WARNING: 會 發 生 潛 在 性 的 危 險 情 況, 該 危 險 發 生 時 可 能 造 成 死 亡 或 重 傷 背 景 及 驚 嘆 號 為 橘 色 文 字 及 三 角 形 為 黑 色
警 語 標 示 說 明 (3) 警 語 區 (3) 警 語 區 使 用 安 全 警 告 符 號 ( 圖 頂 正 三 角 形 中 加 驚 嘆 號 ) 及 DANGER WARNING CAUTION 三 種 警 語 CAUTION : 會 發 生 潛 在 性 的 危 險 情 況, 該 危 險 發 生 時 可 能 造 成 中 度 傷 害 或 輕 傷, 此 警 語 亦 可 用 來 警 示 不 安 全 之 行 為 動 作 背 景 及 驚 嘆 號 為 黃 色 文 字 及 三 角 形 為 黑 色
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 警 告 標 示 - IEC 61310-1 警 告 標 示 易 燃 物 或 高 溫 爆 炸 物 有 毒 物 質 腐 蝕 性 物 質 放 射 性 物 質 工 程 用 車 危 險 : 有 電 具 強 烈 磁 性
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 警 告 標 示 Hazard Identification Symbol
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 禁 止 標 示 - IEC 61310-1 不 准 抽 煙 不 准 點 火 行 人 禁 止 進 入 不 要 用 水 熄 火 不 能 喝 未 經 准 許 的 人 禁 止 進 入 工 程 用 車 禁 止 進 入 不 准 觸 碰
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 禁 止 標 示 Prohibition Symbol
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 安 全 要 求 標 示 - IEC 61310-1 要 戴 上 眼 睛 保 護 裝 置 要 戴 上 安 全 帽 要 戴 上 耳 朵 保 護 裝 置 要 戴 上 呼 吸 工 具 要 穿 上 安 全 長 靴 要 戴 上 安 全 手 套 要 穿 上 防 護 衣 要 戴 上 臉 部 的 保 護 裝 置
標 示 的 幾 何 形 狀 限 制 和 顏 色 安 全 要 求 標 示 Mandatory Action Symbol
中 心 機 械 安 全 部 王 清 松
設 備 安 全 規 格 書 建 置 暨 環 安 顧 問 : 華 星 光 電 8.5G 及 AMOLED(99 年 ~ 現 今 ) 群 創 奇 美 光 電 (94 年 ~ 現 今 ) 奇 能 光 電 ( 太 陽 能 廠 ) 友 達 光 電 ( 指 定 之 安 全 驗 證 單 位 ) 晶 元 電 子 (LED) 工 具 機 工 業 機 械 (CE GB) 中 國 鋼 鐵 設 備 安 全 規 格 書 建 置 暨 環 安 顧 問 高 科 技 設 備 安 全 (FPD 太 陽 能 LED) 超 過 400 家 機 械 設 備 商 輔 導 驗 證 產 業 設 備 安 全 技 術 教 育 訓 練 : 晶 元 電 子 (LED) 奇 菱 電 子 友 達 光 電 華 映 IC 產 業 (SEMI S2) 台 積 電 tsmc 核 可 第 三 公 證 單 位 聯 華 電 子 SEMI S2 計 畫 中 華 映 管 SEMI S2 計 畫 PMC 安 全 技 術 設 備 安 全 規 格 書 建 置 暨 環 安 顧 問 科 技 廠 指 定 之 安 全 驗 證 單 位 安 全 技 術 教 育 訓 練 Robot 與 AMHS 專 案 加 熱 器 專 案 化 學 氣 體 洩 露 綠 色 環 保 (ECO) 執 行 歐 盟 生 態 指 令 輔 導 測 試 驗 證
PMC 為 台 積 電 (tsmc) 指 定 之 SEMI S2 驗 證 單 位
Machinery Safety Department Electromagnetic Compatibility Department CE Marking Consulting and Examination S E M I Semiconductor Process Equipment Manufacturing System Consulting and Examination 中 心