平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 目 錄 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 MANZ 集 團 企 業 介 紹 4 MANZ 在 亞 洲 6 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 8 真 空 濺 鍍 12 自 動 化 14 濕 製 程 16 濕 製 程

平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 適 用 於 TFT-LCd 及 AmOLEd 生 產 製 程

平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 目 錄 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 MANZ 集 團 企 業 介 紹 4 MANZ 在 亞 洲 6 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 8 真 空 濺 鍍 12 自 動 化 14 濕 製 程 16 濕 製 程 - 清 洗 解 決 方 案 18 濕 製 程 - 顯 影 解 決 方 案 20 濕 製 程 - 蝕 刻 解 決 方 案 22 濕 製 程 - 剝 膜 解 決 方 案 24 MANZ 亞 洲 區 客 戶 支 援 26

3 熱 情 成 就 高 效 能 Manz 亞 智 科 技 專 精 於 薄 膜 電 晶 體 液 晶 顯 示 器 ( TFT-LCD ) 及 觸 控 面 板 ( Touch Panel ) 生 產 設 備 之 研 發 與 製 造, 擁 有 超 過 二 十 五 年 的 豐 富 經 驗, 以 創 新 的 研 發 設 計 專 業 的 生 產 與 製 程 技 術 嚴 謹 的 品 質 管 理, 以 及 精 確 的 設 備 安 裝, 提 供 客 戶 優 良 的 解 決 方 案 Manz 亞 智 科 技 的 液 晶 顯 示 器 及 觸 控 面 板 生 產 設 備 解 決 方 案, 產 品 涵 蓋 真 空 濺 鍍 自 動 化 系 統 狹 縫 式 塗 佈 及 全 段 濕 製 程 生 產 設 備 等, 廣 泛 的 產 品 組 合 能 為 客 戶 帶 來 許 多 優 勢 和 利 益 : 優 異 的 製 程 及 設 計 能 力 : 生 產 設 備 可 依 據 客 戶 製 程 需 求 客 製 化, 零 組 件 高 自 製 率 及 自 主 設 計 能 力 嚴 謹 的 品 質 管 理 及 最 佳 品 質 保 證 : 優 異 的 稼 動 率 穩 定 的 傳 輸 能 力 及 最 低 破 片 率 總 體 設 備 成 本 低 及 材 料 利 用 率 高 完 善 的 售 後 服 務 : 亞 洲 區 密 度 最 廣 的 客 戶 支 持 服 務 網 Manz 亞 智 科 技 高 水 平 研 發 與 完 整 設 計 方 案 能 充 份 提 高 生 產 品 質 與 降 低 購 置 成 本 持 續 不 斷 地 優 化 其 產 品 組 合, 不 僅 在 客 戶 端 建 立 可 信 任 的 生 產 製 程, 同 時 也 穩 步 提 高 設 備 製 造 的 產 品 性 能 參 數 目 前 Manz 亞 智 科 技 已 可 為 炙 手 可 熱 的 AMOLED 顯 示 器 技 術 提 供 完 整 製 程 設 備, 提 供 客 戶 更 多 樣 化 的 製 程 需 求 Manz 亞 智 科 技 在 台 灣 及 中 國 大 陸 皆 設 有 研 發 生 產 及 服 務 據 點, 不 僅 可 為 客 戶 提 供 具 競 爭 優 勢 的 產 品, 更 可 提 供 快 速 且 高 效 的 服 務

4 manz 集 團 企 業 介 紹 我 們 的 核 心 技 術 包 括 : 自 動 化 雷 射 製 程 真 空 鍍 膜 絲 網 印 刷 測 試 與 檢 測 及 化 學 濕 製 程 Manz 集 團 總 公 司 位 於 德 國 羅 伊 特 林 根 城, 是 一 家 全 球 領 先 的 高 科 技 設 備 製 造 商 1987 年 成 立 的 Manz 公 司, 現 已 從 自 動 化 專 家, 成 功 發 展 成 為 生 產 設 備 解 決 方 案 的 供 貨 商 涵 蓋 的 技 術 領 域 包 含 自 動 化 雷 射 製 程 真 空 鍍 膜 絲 網 印 刷 測 試 與 檢 測 及 化 學 濕 製 程, 這 些 核 心 技 術 將 應 用 於 Manz 在 顯 示 器 太 陽 能 及 電 池 三 大 策 略 領 域 的 技 術 擴 展, 並 將 在 未 來 持 續 向 前 發 展 熱 情 成 就 高 效 能 Manz 集 團 在 德 國 斯 洛 伐 克 中 國 大 陸 及 台 灣 皆 設 有 生 產 據 點 ; 業 務 銷 售 及 服 務 網 絡 遍 佈 全 球, 包 括 美 國 南 韓 及 印 度 在 公 司 宗 旨 熱 情 成 就 高 效 能 的 推 動 下,Manz 工 程 師 承 諾 未 來 會 為 各 種 重 點 產 業 的 客 戶 提 供 更 高 效 能 的 生 產 系 統 解 決 方 案 作 為 世 界 領 先 的 設 備 製 造 商,Manz 為 其 全 球 眾 多 客 戶 降 低 終 端 產 品 的 生 產 成 本 作 出 了 巨 大 貢 獻 MANZ 集 團 重 要 里 程 碑 Manz 第 一 批 矽 晶 太 陽 能 電 池 自 動 化 系 統 測 試 階 段 完 成 開 發 1990 Manz 全 自 動 化 矽 晶 太 陽 能 電 池 自 動 化 產 線 交 機 Manz 第 一 台 矽 晶 太 陽 能 電 池 全 自 動 化 品 質 檢 測 和 分 類 系 統 完 成 開 發 2000 M a n z 於 德 國 法 蘭 克 福 證 券 交 易 所 的 新 興 企 業 市 場 (Entry Standard) 公 開 上 市 2006 Manz 跨 足 鋰 電 池 設 備 市 場 2009 Manz 收 購 德 國 Würth Solar 公 司 的 CIGS 太 陽 能 創 新 生 產 線 成 立 Manz CIGS 技 術 中 心 ( Manz CIGS Technology GmbH ) 2012 1987 Dieter Manz 成 立 Manz 1994 Manz 第 一 批 液 晶 顯 示 器 產 業 之 自 動 解 決 方 案 出 貨 至 亞 洲 2005 Manz 推 出 太 陽 能 電 池 模 組 機 械 劃 線 設 備, 投 入 薄 膜 太 陽 能 市 場 2008 台 灣 亞 智 科 技 加 入 Manz 集 團,Manz 成 為 化 學 濕 製 程 設 備 的 領 先 供 應 商 2010 Manz 成 立 真 空 鍍 膜 技 術 中 心 (Manz Coating GmbH) Manz 與 Würth Solar 策 略 聯 盟, 取 得 其 CIGS 生 產 的 獨 家 關 鍵 技 術 授 權 2013 成 為 全 球 觸 控 面 板 生 產 的 領 導 設 備 供 應 商 為 智 能 手 機 及 平 板 電 腦 提 供 觸 控 面 板 生 產 整 廠 解 決 方 案

5 Manz AG 集 團 總 部 自 動 化 機 械 手 臂 MANZ 全 球 據 點 我 們 總 是 和 客 戶 並 肩 而 行 不 論 我 們 的 機 器 設 備 銷 往 何 處, 我 們 的 員 工 總 是 如 影 隨 形, 這 些 工 作 人 員 不 僅 了 解 當 地 市 場 會 說 當 地 語 言, 並 且 能 夠 把 專 業 知 識 傳 授 給 我 們 當 地 的 客 戶 全 球 化 的 銷 售 及 服 務 地 區 研 發 及 設 計 生 產 銷 售 及 服 務 軟 體 發 展 德 國 台 灣 Reutlingen, Tübingen, Karlstein, Leipzig, Schwäbisch Hall 桃 園, 台 中, 台 南 中 國 大 陸 上 海, 蘇 州, 無 錫, 營 口, 淮 安, 江 陰, 寧 波, 龍 華, 廈 門 斯 洛 伐 克 匈 牙 利 印 度 美 國 Nove Mesto nad Vahom Debrecen New Delhi, Kalkutta, Bangalore, Hyderabad North Kingstown

6 manz 在 亞 洲 我 們 可 以 回 顧 一 下 Manz 在 亞 洲 成 功 的 歷 史 Manz 從 1990 年 代 中 期 就 開 始 在 亞 洲 進 行 銷 售 活 動 當 時, 我 們 為 台 灣 的 平 面 顯 示 器 產 業 提 供 了 首 台 自 動 化 系 統 2008 年 亞 智 科 技 股 份 有 限 公 司 成 為 Manz 集 團 的 一 員, 亞 智 科 技 是 液 晶 面 板 產 業 中 化 學 濕 製 程 設 備 的 領 導 製 造 商, 在 台 灣 和 中 國 大 陸 均 有 生 產 據 點 超 過 25 年 以 上 的 豐 富 經 驗 有 了 亞 智 科 技 超 過 25 年 豐 富 的 生 產 經 驗, 如 今 Manz 在 亞 洲 專 精 於 液 晶 面 板 觸 控 面 板 印 刷 電 路 板 以 及 太 陽 能 產 業 濕 製 程 設 備 的 研 發 生 產 隨 著 我 們 的 先 進 解 決 方 案, 我 們 將 能 繼 續 在 這 一 個 領 域 保 持 市 場 領 導 供 應 商 的 地 位 我 們 充 分 注 意 到 中 國 大 陸 正 扮 演 著 越 來 越 重 要 的 角 色, 隨 著 20,000 平 方 公 尺 生 產 據 點 的 蘇 州 新 廠 啟 用, 使 我 們 繼 續 朝 成 功 之 路 邁 進 亞 智 科 技 發 展 里 程 碑 接 獲 第 一 張 PCB 印 刷 電 路 板 設 備 訂 單 1987 PCB 設 備 開 始 在 中 國 深 圳 生 產 2000 接 獲 第 一 張 液 晶 顯 示 器 設 備 訂 單 2003 亞 智 科 技 台 灣 二 廠 在 台 灣 中 壢 建 立 2005 1986 亞 智 科 技 ( Intech Machines Co., LTD.) 於 台 灣 中 壢 成 立 1999 贏 得 國 際 工 業 大 獎 開 始 發 展 FPD 液 晶 顯 示 器 設 備 2001 在 台 灣 證 券 交 易 所 上 櫃 市 場 公 開 上 櫃 2004 亞 智 光 電 ( 蘇 州 ) 有 限 公 司 於 中 國 蘇 州 投 資 設 立, PCB 設 備 開 始 在 中 國 蘇 州 生 產

7 Manz 集 團 最 大 的 生 產 據 點 在 中 國 大 陸, 能 就 近 服 務 亞 洲 區 客 戶 化 學 濕 製 程 清 洗 目 前, 中 國 大 陸 已 成 為 我 們 最 大 的 單 一 市 場, 而 且 這 一 趨 勢 必 將 持 續 至 未 來 這 是 我 們 在 蘇 州 投 資 的 最 重 要 原 因, 也 是 我 們 公 司 歷 史 上 的 重 大 里 程 碑 與 亞 洲 區 約 900 名 員 工 共 同 努 力, 我 們 現 在 能 夠 以 在 地 的 服 務 為 客 戶 提 供 德 國 高 科 技 工 程 技 術 同 時, 這 也 將 會 為 我 們 與 客 戶 的 合 作 開 闢 新 的 商 機 德 國 的 高 端 技 術, 在 地 的 成 本 生 產 及 服 務 接 獲 第 一 張 平 面 顯 示 器 G8.5 代 銅 蝕 刻 機 訂 單 2009 亞 智 系 統 科 技 ( 蘇 州 ) 有 限 公 司 於 蘇 州 高 新 區 投 資 設 立, 未 來 將 做 為 太 陽 能 觸 控 面 板 及 印 刷 電 路 板 生 產 製 程 設 備 的 生 產 基 地 2011 接 獲 AMOLED 顯 示 器 設 備 訂 單 2013 2008 加 入 Manz 集 團 贏 得 創 新 研 發 技 術 大 獎 接 獲 第 一 張 太 陽 能 設 備 訂 單 2010 亞 智 科 技 股 份 有 限 公 司 英 文 名 稱 正 式 更 名 為 Manz Taiwan Ltd. 2012 佔 地 20,000 平 方 公 尺 的 亞 智 系 統 科 技 ( 蘇 州 ) 有 限 公 司 新 廠 生 產 基 地 正 式 啟 用 跨 足 平 面 顯 示 器 生 產 乾 製 程 領 域, 成 功 推 出 狹 縫 式 塗 佈 設 備

8 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 平 面 顯 示 器 為 平 面 薄 型 的 顯 示 裝 置, 泛 指 非 映 像 管 式 的 顯 示 器, 依 產 品 技 術 發 展 主 要 可 分 為 薄 膜 電 晶 體 液 晶 顯 示 器 面 板 ( TFT-LCD ) 電 漿 顯 示 器 面 板 ( Plasma Display Panel ) 及 有 機 發 光 二 極 體 面 板 ( OLED ) 等 平 面 顯 示 器 產 業 的 發 展 已 近 20 年, 隨 著 產 品 技 術 不 斷 推 陳 出 新 及 電 子 產 品 的 普 及 化, 終 端 產 品 的 應 用 亦 十 分 多 元, 舉 凡 家 庭 娛 樂 的 液 晶 電 視 資 訊 產 品 的 筆 記 型 電 腦 平 板 電 腦 數 位 相 機 等, 工 業 或 醫 療 用 的 液 晶 顯 示 器 及 目 前 熱 門 的 智 慧 型 手 持 裝 置, 都 是 平 面 顯 示 器 的 主 要 應 用 市 場 Manz 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 主 要 為 TFT-LCD 面 板 生 產 製 程 提 供 高 效 率 的 整 體 服 務, 目 前 亦 投 入 低 溫 多 晶 矽 ( LTPS ) 面 板 及 主 動 式 有 機 發 光 二 極 體 ( AMOLED ) 顯 示 器 技 術 的 生 產 製 程 量 產 穩 定 化, 生 產 力 最 大 化 Manz 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 應 用 了 Manz 核 心 技 術 中 的 化 學 濕 製 程 自 動 化 及 真 空 鍍 膜 製 程 技 術, 是 我 們 為 客 戶 立 下 生 產 平 面 顯 示 器 成 功 的 基 礎 Manz 優 異 的 玻 璃 基 板 傳 輸 能 力, 製 程 設 備 可 對 應 0.3mm 厚 度 超 輕 薄 之 基 板, 著 眼 未 來 各 項 3C 產 品 追 求 更 輕 更 薄 之 趨 勢, 目 前 已 投 入 規 劃 設 計 0.2mm 厚 度 之 薄 板 製 程, 以 超 過 25 年 的 經 驗, 專 注 於 設 備 的 創 新 研 發 與 製 造,Manz 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 能 夠 提 供 專 業 製 程 技 術 的 諮 詢 以 滿 足 客 戶 在 製 程 技 術 及 生 產 的 不 同 需 求

9 大 尺 寸 基 板 穩 定 傳 輸 能 力 25 年 專 業 豐 富 的 生 產 經 驗 客 戶 優 勢 Manz 顯 示 器 生 產 設 備 解 決 方 案 能 夠 為 客 戶 提 供 許 多 優 勢 利 益 : 交 期 短, 量 產 穩 定 化 : 設 備 進 駐 廠 房 後 一 個 月 內, 確 保 客 戶 能 以 最 快 的 速 度 及 最 高 的 穩 定 度 進 行 量 產 生 產 流 程 最 優 化 : 駐 廠 精 英 工 程 師, 協 助 客 戶 根 據 製 程 需 求 流 程 調 校 設 備 生 產 力 最 大 化 :Manz 能 依 據 客 戶 的 廠 房 空 間, 在 設 備 配 置 及 組 合 上 優 化 整 體 作 業 流 程, 並 以 專 業 的 自 動 化 系 統 串 聯 整 廠 設 備, 將 生 產 力 提 升 至 最 大 化 可 為 不 同 世 代 產 品 需 求 提 供 製 程 技 術 :Manz 可 為 TFT-LCD 及 AMOLED 顯 示 器 生 產 製 程 提 供 各 種 尺 寸 面 板 要 求 ( G2 ~ G8.5 ) 的 製 程 技 術 解 決 方 案 高 效 率 服 務 : 專 業 的 客 服 工 程 師 提 供 24 小 時 on-call 服 務 生 產 成 本 最 小 化 : 以 節 能 環 保 作 為 設 備 設 計 訴 求, 其 優 勢 整 體 表 現 可 大 幅 減 少 客 戶 在 用 水 用 電 及 用 料 的 成 本

平 面 顯 示 器 生 產 製 程 ARRAY PROCESS (a-si or LTPS) Bare Glass Initial Pre Sputter Pre Coater Pre Bake OFF LInE CF PROCESS Bare Glass Pre Coater Pre Bake Exposure Developer OFF LInE Mask Cell PROCESS tft Glass cf Glass Pre PI Pre PI Coater Coater Pre Bake Pre Bake Rubbing Rubbing After Rubbing After Rubbing AU PASTE Seal Dispenser odf OFF LInE PI Rework OLED PROCESS TFT Glass (LTPS) Coater Cutting Stripper Pre Depo CleaneR EVAPORI- ZATION Cover Glass UV Treatment Screen Printing Pre Bake Epoxy Dispenser Handling 可 提 供 製 程 間 搬 運 所 使 用 之 ROBOT ( 四 六 軸 ) 及 對 應 之 解 決 方 案

MANZ 生 產 第 三 方 供 應 Exposure Developer Post Bake Etcher STRIPPER TFT Glass Mask Post Bake Pre ITO Sputter Post CF Glass RGB Rework ITO Rework UV Curing Oven Cell Cutting Grinding SRCN PACN Polarizer Attachment LCD CELL Lamination UV Curing Laser sealing Cutting Grinding Final OLED CELL

12 真 空 濺 鍍 製 程 的 靈 魂 德 國 百 年 真 空 工 業 基 礎 真 空 濺 鍍 是 一 種 在 基 材 上 沉 積 薄 膜 的 真 空 技 術, 在 顯 示 器 面 板 生 產 中 的 主 製 程 其 主 要 功 能 是 在 彩 色 濾 光 片 ( C / F ) 沉 積 一 層 ITO 透 明 導 電 膜, 或 是 針 對 高 階 終 端 產 品 IPS 廣 視 角 顯 示 器 的 需 求, 在 彩 色 濾 光 片 ( C / F ) 背 面 進 行 ITO 透 明 導 電 膜 沉 積 鍍 膜 的 均 勻 性 附 著 力 與 導 電 性 關 係 著 終 端 顯 示 器 產 品 的 效 能 膜 厚 均 勻 性 ±5% 連 續 式 生 產, 平 均 稼 動 率 > 85% Manz 的 真 空 技 術 來 自 德 國 百 年 真 空 工 業 基 礎, 專 業 團 隊 皆 擁 有 超 過 20 年 的 經 驗 Manz 的 真 空 濺 鍍 系 統 採 用 垂 直 式 真 空 濺 鍍, 可 確 保 基 板 在 濺 鍍 過 程 中 減 少 缺 陷 產 生, 保 證 膜 厚 均 勻 性 ±5% 以 內, 連 續 式 ( In Line ) 生 產 使 產 能 提 高, 均 勻 性 更 佳, 平 均 稼 動 率 >85% 有 別 於 一 般 濺 鍍 系 統 使 用 的 平 面 靶 材, 該 系 統 是 採 用 圓 形 靶 材, 不 僅 能 減 少 靶 材 更 換 次 數, 靶 材 使 用 壽 命 延 長 一 倍, 同 時 也 降 低 了 總 擁 有 成 本 及 生 產 良 率 除 了 彩 色 濾 光 片 的 ITO 鍍 膜 外, 未 來 亦 可 更 換 靶 材 應 用 於 Array 製 程 的 薄 膜 濺 鍍, 包 括 金 屬 二 氧 化 矽 等 材 料

13 Manz 真 空 濺 鍍 系 統 腔 體 採 用 圓 形 靶 材 manz 平 面 顯 示 器 真 空 濺 鍍 系 統 連 續 式 濺 鍍 系 統 垂 直 式 基 板 傳 輸, 無 微 粒 掉 落 沉 積 濺 鍍 薄 膜 材 料 :ITO, Mo, Al, Ag, SiOx 採 用 圓 形 靶 材, 有 效 減 少 靶 材 更 換 次 數, 延 長 靶 材 使 用 壽 命 客 戶 價 值 連 續 式 生 產, 平 均 稼 動 率 >85% 膜 厚 均 勻 性 ±5% Manz 獨 特 On Tool Carrier Return Track System 設 計, 機 台 佔 地 面 積 小 Manz+7 傾 斜 式 濺 鍍 概 念 設 計, 有 效 減 少 基 板 邊 緣 未 鍍 區 高 產 量 ( 大 世 代 面 板 可 根 據 客 戶 需 求 打 造 ): - G 3 12 萬 片 / 月 - G 4.5 8 萬 片 / 月 Manz 獨 特 On Tool Carrier Return Track System 設 計 Manz +7 垂 直 戴 具 概 念 設 計, 有 效 減 少 基 板 邊 緣 未 鍍 區

14 自 動 化 製 程 的 加 速 器 在 生 產 製 程 中, 我 們 不 僅 重 視 效 率 和 品 質, 也 重 視 降 低 平 均 生 產 成 本 所 帶 來 的 規 模 經 濟 長 期 豐 富 的 經 驗 與 成 功 記 錄 Manz 為 液 晶 顯 示 器 及 觸 控 面 板 製 造 產 業 提 供 自 動 化 解 決 方 案, 已 投 入 市 場 超 過 25 年, 擁 有 長 期 豐 富 的 經 驗 與 銷 售 實 績 液 晶 顯 示 器 及 觸 控 面 板 的 生 產 製 程 中, 對 於 無 塵 室 環 境 的 等 級 要 求 相 對 提 高 - 因 為 玻 璃 若 在 傳 輸 過 程 中 破 碎 或 刮 傷 汙 染, 會 造 成 生 產 近 乎 停 滯 ; 為 此, 其 製 造 設 備 必 須 滿 足 一 些 特 殊 需 求, 例 如 極 低 的 破 片 率 Manz 提 供 的 解 決 方 案 獨 到 之 處 就 在 於 設 備 相 對 低 的 破 片 率 和 高 效 率 而 且 穩 定 的 產 能 破 片 率 0.3% Manz 為 觸 控 面 板 的 製 造 商 提 供 具 備 高 度 穩 定 性 的 自 動 化 解 決 方 案, 產 品 涵 蓋 取 放 片 系 統 轉 向 機 暫 存 系 統, 此 外 Manz 還 有 玻 璃 基 板 雷 射 切 割 設 備 以 及 全 自 動 檢 測 儀 器 等 自 動 化 解 決 方 案 透 過 中 央 電 腦 系 統 化 管 理,Manz 自 動 化 解 決 方 案 不 僅 能 夠 精 準 且 快 速 地 運 作, 提 供 高 達 95% 以 上 的 稼 動 率 ; 低 破 片 率 及 高 效 率 的 生 產 效 能 更 可 有 效 降 低 客 戶 的 生 產 成 本 manz 自 動 化 解 決 方 案 基 板 放 置 精 度 0.3 mm 自 動 化 取 放 片 系 統, 適 用 於 TP CF 及 TFT 基 板 傳 輸 自 動 化 光 學 檢 測 系 統, 適 用 於 CF 製 程 搭 配 連 續 式 濺 鍍 系 統 的 自 動 化 機 械 手 臂, 適 用 於 CF 及 TP 生 產 製 程 自 動 化 傳 輸 及 升 降 系 統, 可 連 接 暫 存 系 統 及 自 動 化 機 械 手 臂 可 處 理 基 板 尺 寸 : G3 ( 550 x 650 ) ~ 3200 x 1950 mm 可 處 理 基 板 厚 度 : 0.3 mm~ 2.2 mm 可 處 理 基 板 溫 度 : 最 高 可 達 160 C 基 板 放 置 精 度 : 可 精 確 至 0.3 mm 以 內 ( 金 屬 片 遮 罩 式 鍍 膜 ) 生 產 速 度 ( Tack time / 視 客 方 產 出 率 需 求 及 載 具 設 計 而 定 ) - G3~4.5 最 快 處 理 時 間 15 秒 / 每 片 - G5~6 最 快 處 理 時 間 22 秒 / 每 片 - G7~8.5 最 快 處 理 時 間 25 秒 / 每 片

15 自 動 化 暫 存 系 統 自 動 化 取 放 片 系 統 ACHS Atmospheric Carrier Handling System 可 獨 立 控 制 操 作 預 防 連 續 式 濺 鍍 設 備 內 載 具 CSF 停 止 造 成 基 板 報 廢 濺 鍍 及 加 入 或 更 換 新 戴 具 條 件 下 具 分 流 功 能 載 具 更 換 台 車 ( 選 配 ): 允 許 載 具 在 生 產 運 作 模 式 下 更 換 2 種 型 式 可 供 選 擇 - 搭 配 連 續 式 鍍 膜 機 前 端 載 入 及 前 端 載 出 之 自 動 化 系 統 - 搭 配 二 合 一 連 續 鍍 膜 機 前 端 載 入 及 後 端 載 出 並 由 大 氣 回 傳 至 前 端 之 自 動 化 系 統 RHS Robot Handling System 獨 立 控 制 操 作 上 下 游 串 接 使 用 1 個 操 作 介 面 - 連 接 上 下 游 基 板 輸 送 兼 鍍 膜 載 具 之 取 放 片 功 能 CHS Cassette Handling System 整 合 功 能 : 基 板 卡 匣 載 片 及 收 片 系 統 / 基 板 翻 轉 機 構 上 下 游 串 接 使 用 2 個 操 作 介 面 - 暫 存 系 統 - 對 應 MGV / AGV 基 板 卡 匣 之 載 入 及 載 出 客 戶 價 值 佔 地 面 積 最 小, 生 產 週 期 最 短 德 國 工 藝 與 技 術 轉 移, 在 地 生 產 服 務, 確 保 品 質 及 減 少 購 置 成 本 交 期 最 短 : 下 單 後 4 個 月 內 完 成 裝 機 運 作 客 製 化 彈 性 高, 可 依 據 客 戶 需 求 打 造 完 美 解 決 方 案 交 期 最 短 : 下 單 後 4 個 月 內 完 成 裝 機 運 作

16 濕 製 程 雕 琢 線 路 圖 形 的 關 鍵 超 過 25 年 的 濕 製 程 設 備 生 產 技 術 及 經 驗 薄 膜 電 晶 體 液 晶 顯 示 器 的 主 要 製 程 可 分 為 製 作 薄 膜 電 晶 體 的 陣 列 ( Array ) 製 程 製 作 顏 色 像 素 的 彩 色 濾 光 片 ( C/F ) 製 程 及 前 述 兩 者 貼 合 的 面 板 組 立 ( Cell ) 製 程 Manz 可 為 這 些 主 製 程 提 供 關 鍵 性 濕 製 程 設 備, 包 括 陣 列 ( Array ) 製 程 中 的 面 板 清 洗 黃 光 蝕 刻 及 剝 膜, 協 助 完 成 金 屬 線 路 圖 形 ; 在 彩 色 濾 光 片 ( C / F ) 製 程 中 的 面 板 清 洗 及 顯 影, 以 完 成 畫 素 的 製 作 ; 以 及 在 面 板 組 立 ( Cell ) 製 程 裡 的 成 膜 前 及 成 膜 後 之 面 板 清 洗 憑 藉 著 超 過 25 年 的 生 產 經 驗 及 在 顯 示 器 製 造 領 域 超 過 1300 台 系 統 的 交 付 與 安 裝,Manz 目 前 不 僅 是 平 面 顯 示 器 產 業 也 是 觸 控 面 板 產 業 中 最 大 的 濕 製 程 設 備 供 應 商 之 一 可 依 據 客 戶 製 程 條 件 客 製 化 濕 製 程 設 備 的 精 密 度 及 可 靠 性 決 定 了 產 品 最 終 的 良 率,Manz 的 濕 製 程 系 統 不 僅 具 備 最 高 性 能 及 可 靠 性, 還 可 依 據 客 戶 設 定 的 化 學 原 料 製 程 條 件 基 板 尺 寸 及 厚 度 作 彈 性 化 調 整 ; 零 組 件 模 組 化 的 概 念 更 可 有 效 降 低 生 產 成 本, 並 提 供 客 戶 最 佳 品 質 保 證 與 售 後 服 務

17 穩 定 的 傳 輸 能 力 優 異 的 風 刀 吹 乾 設 計 manz 平 面 顯 示 器 濕 製 程 解 決 方 案 Manz 平 面 顯 示 器 濕 製 程 解 決 方 案 包 括 清 洗 顯 影 蝕 刻 剝 膜 及 重 工 等 製 程 清 洗 製 程 設 備 : 面 板 投 入 前 清 洗 ( Initial ) 成 膜 前 清 洗 ( Pre ) 成 膜 後 清 洗 ( Post ) 光 阻 塗 佈 前 清 洗 ( Pre-photo ) 配 向 後 清 洗 ( After Rubbing ) 切 割 後 清 洗 ( SRCN ) 偏 貼 前 清 洗 ( PACN ) 光 罩 清 洗 ( Mask ) 顯 影 製 程 設 備 : 彩 色 濾 光 片 ( C / F) 黃 光 製 程 顯 影 蝕 刻 製 程 設 備 : 金 屬 層 蝕 刻 透 明 導 電 層 ITO 蝕 刻 二 氧 化 矽 SiO2 蝕 刻 剝 膜 製 程 設 備 : 金 屬 層 剝 膜 透 明 導 電 層 ITO 剝 膜 二 氧 化 矽 SiO2 剝 膜 重 工 設 備 ( Rework ): 配 向 膜 ( PI ) 透 明 導 電 膜 ITO 及 RGB 重 工 最 完 備 的 濕 製 程 解 決 方 案 客 戶 價 值 特 殊 槽 體 設 計 : 設 備 內 部 無 交 叉 污 染 或 腐 蝕 及 較 低 的 玻 璃 破 損 率, 可 有 效 減 少 設 備 停 機 時 間, 增 加 產 出 能 力 設 備 尺 寸 設 計 : 佔 地 面 積 小, 減 少 客 戶 廠 房 用 地 面 積, 降 低 總 擁 有 成 本 零 組 件 模 組 化 設 計 : 高 自 製 率 及 自 主 設 計 能 力, 減 少 客 戶 零 組 件 庫 存 壓 力 及 增 加 維 修 便 利 性, 縮 短 維 修 時 間, 減 少 總 擁 有 成 本 先 進 製 程 設 計 : 節 省 純 水 及 藥 液 消 耗 量, 減 低 運 轉 成 本 及 響 應 綠 色 產 品 政 策 超 過 25 年 以 上 的 豐 富 生 產 經 驗, 提 供 客 戶 最 佳 品 質 保 證 及 售 後 服 務 降 低 客 戶 總 擁 有 成 本

18 濕 製 程 清 洗 解 決 方 案 卓 越 的 洗 淨 效 果 : 去 除 率 >99% 生 產 製 程 中,Manz 平 面 顯 示 器 清 洗 解 決 方 案 能 有 效 將 玻 璃 基 板 上 的 髒 污 及 微 粒 去 除, 以 達 到 生 產 製 程 所 需 之 潔 淨 度 要 求, 超 過 98% 的 去 除 率 能 確 保 面 板 最 終 產 出 品 質 工 作 原 理 純 水 洗 淨 : 利 用 純 水 與 刷 輪 洗 淨 的 方 式, 將 玻 璃 基 板 上 的 髒 污 及 微 粒 去 除, 以 達 到 生 產 製 程 所 需 之 潔 淨 度 要 求 洗 劑 洗 淨 : 利 用 中 性 洗 劑 與 純 水 調 和 後, 透 過 刷 輪 或 盤 刷 洗 淨 的 方 式, 將 玻 璃 基 板 上 之 有 機 污 染 物 質 去 除, 達 到 生 產 製 程 所 需 之 潔 淨 度 要 求

19 中 性 洗 劑 清 洗 水 洗 槽 體 設 計 manz 平 面 顯 示 器 清 洗 解 決 方 案 面 板 投 入 前 清 洗 ( Initial ) 成 膜 前 清 洗 ( Pre ) 成 膜 後 清 洗 ( Post ) 光 阻 塗 佈 前 清 洗 ( Pre-photo cleaner ) 配 向 後 清 洗 ( After Rubbing ) 切 割 後 清 洗 ( SRCn ) 偏 貼 前 清 洗 ( PACn ) 光 罩 清 洗 ( mask ) 可 對 應 達 G8.5 以 上 尺 寸 玻 璃 基 板 卓 越 的 洗 淨 效 果 : 有 效 去 除 Particle 粉 塵 有 機 雜 質 Particle 1 µm 以 上, 去 除 率 95% 以 上 ( 依 不 同 洗 淨 配 置 而 定 ) 有 效 去 除 有 機 污 染 物, 降 低 接 觸 角, 增 加 成 膜 能 力 素 玻 璃 接 觸 角 < 5, 需 搭 配 AP Plasma / EUV ( 選 配 ) 因 應 AMOLED 製 程 的 高 潔 淨 度 需 求, 提 供 更 高 規 格 的 洗 淨 功 能, 洗 淨 能 力 可 達 Particle 1 µm 以 上, 去 除 率 98% 以 上 3 µm 以 上 不 可 有 搭 配 AP Plasma / EUV, 素 玻 璃 接 觸 角 <5 客 戶 價 值 無 Mura 無 輪 痕 無 水 痕, 確 保 玻 璃 基 板 進 入 下 段 製 程 的 潔 淨 度 符 合 製 程 要 求 設 備 尺 寸 精 簡 設 計 : 佔 地 面 積 小, 減 少 客 戶 廠 房 用 地 面 積, 降 低 總 擁 有 成 本 依 不 同 的 產 品 製 程 需 求 提 供 適 合 的 洗 淨 方 案 有 效 的 潔 淨 梯 度 管 理 ( Cascade Design ) 達 到 節 能 的 效 果 卓 越 的 風 刀 均 一 性 有 效 達 到 吹 乾 效 果, 提 升 製 程 良 率 專 業 技 術 團 隊 導 入, 加 速 客 戶 量 產 進 度, 提 高 客 戶 市 場 競 爭 力 針 對 高 階 LTPS 面 板 的 Pre ELA Pre GI 製 程, 提 供 連 續 式 生 產 模 式 ( In Line ) 的 機 能 水 ( Ozone water ) 洗 淨 功 能, 能 同 時 兼 顧 製 程 能 力 及 產 出 速 度 連 續 式 生 產 模 式 (In Line ) 的 機 能 水 洗 淨 功 能, 同 時 兼 顧 製 程 能 力 及 產 出 速 度

20 濕 製 程 顯 影 解 決 方 案 最 佳 顯 影 均 勻 性 及 穩 定 度 生 產 製 程 中,Manz 平 面 顯 示 器 顯 影 解 決 方 案 能 提 供 最 佳 顯 影 均 勻 性 及 穩 定 度, 透 過 顯 影 液 有 效 地 將 曝 光 之 玻 璃 基 板 上 的 局 部 光 阻 去 除, 達 到 定 義 圖 形 的 目 的 工 作 原 理 玻 璃 基 板 進 入 顯 影 槽 後, 在 槽 體 內 利 用 噴 嘴 噴 灑 或 藥 刀 塗 佈 的 方 式 將 基 板 上 的 曝 光 過 的 光 阻 去 除, 然 後 再 利 用 水 刀 以 及 二 流 體 噴 嘴 中 壓 噴 嘴 等 機 構, 採 用 大 量 純 水 將 基 板 上 之 顯 影 液 及 溶 解 之 光 阻 完 全 洗 淨

21 顯 影 槽 噴 灑 機 構 特 殊 藥 刀 設 計 manz 平 面 顯 示 器 顯 影 解 決 方 案 彩 色 濾 光 片 ( C / F ) 黃 光 製 程 顯 影 可 對 應 達 G8.5 以 上 尺 寸 玻 璃 基 板 卓 越 的 顯 影 均 勻 性 :3σ 0.5 µm 稼 動 率 高 於 95% 多 種 藥 液 管 理 模 式, 可 配 合 客 戶 需 求 彈 性 調 整 卓 越 的 顯 影 均 勻 性 :3σ 0.5μm 客 戶 價 值 顯 影 後 基 板 無 Mura 無 泡 沫 無 水 痕 無 輪 痕 特 殊 的 功 能 設 計, 減 少 氣 泡 形 成, 提 升 顯 影 能 力 優 化 的 噴 嘴 噴 灑 設 計, 包 括 搖 擺 式 及 水 平 往 返 式, 提 升 顯 影 均 勻 性 良 好 的 隔 絕 效 果 與 抽 氣 流 場 管 控, 有 效 防 止 藥 氣 藥 液 外 漏, 提 高 製 程 安 全 性 專 業 技 術 團 隊 導 入, 加 速 客 戶 量 產 進 度, 提 高 客 戶 市 場 競 爭 力 優 化 的 噴 嘴 噴 灑 設 計, 提 升 顯 影 均 勻 性

22 濕 製 程 蝕 刻 解 決 方 案 最 佳 蝕 刻 均 勻 性 及 穩 定 度 生 產 製 程 中,Manz 平 面 顯 示 器 蝕 刻 解 決 方 案 能 提 供 最 佳 蝕 刻 均 勻 性 及 穩 定 度, 透 過 酸 液 將 玻 璃 基 板 上 之 部 分 金 屬 薄 膜 去 除, 達 到 製 作 金 屬 線 路 或 圖 形 之 目 的 工 作 原 理 玻 璃 基 板 進 入 蝕 刻 槽 後, 在 槽 體 內 利 用 噴 嘴 噴 灑 或 搖 擺 噴 灑 的 方 式 將 基 板 上 的 部 分 金 屬 薄 膜 去 除, 然 後 再 利 用 水 刀 以 及 中 壓 噴 嘴 等 機 構, 採 用 大 量 純 水 將 基 板 上 之 酸 液 與 微 粒 完 全 洗 淨

23 化 學 防 護 設 計 蝕 刻 槽 搖 擺 噴 灑 manz 平 面 顯 示 器 蝕 刻 解 決 方 案 金 屬 層 蝕 刻 透 明 導 電 層 ITO 蝕 刻 二 氧 化 矽 SiO2 蝕 刻 可 對 應 達 G8.5 以 上 尺 寸 玻 璃 基 板 卓 越 的 蝕 刻 均 勻 性 < 10% 稼 動 率 高 於 95% 無 化 學 殘 留 物 多 種 藥 液 管 理 模 式, 可 配 合 客 戶 需 求 彈 性 調 整 卓 越 的 蝕 刻 均 勻 性 < 10% 客 戶 價 值 蝕 刻 後 基 板 無 Mura 無 刮 痕 無 水 痕 無 輪 痕 單 一 機 台 可 應 用 切 換 鋁 銅 ITO SiO2 蝕 刻 製 程, 減 少 客 戶 購 機 成 本 提 供 Spray 與 Dip 兩 種 功 能, 增 加 客 戶 製 程 選 擇 性 完 整 化 學 防 護 設 計 : 良 好 的 隔 絕 效 果 與 抽 氣 流 場 管 控, 有 效 防 止 藥 氣 藥 液 外 漏, 提 高 製 程 安 全 性 依 不 同 製 程 需 求 可 設 計 水 平 或 傾 斜 輸 送 方 式 專 業 技 術 團 隊 導 入, 加 速 客 戶 量 產 進 度, 提 高 客 戶 市 場 競 爭 力 完 整 化 學 防 護 設 計, 提 高 製 程 安 全 性

24 濕 製 程 剝 膜 解 決 方 案 100 % 有 效 去 除 率 剝 膜 製 程 主 要 是 透 過 鹼 性 液 體 或 有 機 溶 劑, 將 玻 璃 基 板 上 之 光 阻 去 除, 達 到 製 程 所 需 Manz 平 面 顯 示 器 剝 膜 解 決 方 案 能 提 供 100% 有 效 去 除 率, 剝 膜 後 基 板 無 光 阻 殘 留 工 作 原 理 玻 璃 基 板 進 入 剝 離 槽 後, 在 槽 體 內 利 用 噴 嘴 噴 灑 方 式 將 鹼 性 液 體 或 有 機 溶 劑 均 均 噴 灑 在 基 板 上 以 去 除 基 板 上 的 光 阻, 然 後 再 利 用 水 刀 以 及 二 流 體 噴 嘴 中 壓 噴 嘴 等 機 構, 採 用 大 量 純 水 將 基 板 上 之 溶 劑 與 微 粒 完 全 洗 淨

25 不 鏽 鋼 金 屬 剝 膜 槽 設 計 洗 淨 槽 設 計 manz 平 面 顯 示 器 剝 膜 解 決 方 案 金 屬 層 蝕 刻 透 明 導 電 層 ITO 蝕 刻 二 氧 化 矽 SiO2 剝 膜 可 對 應 達 G8.5 以 上 尺 寸 玻 璃 基 板 去 除 率 :100% 稼 動 率 高 於 95% 無 刮 痕 無 水 痕 無 輪 痕 無 化 學 殘 留 物 多 種 藥 液 管 理 模 式, 可 配 合 客 戶 需 求 彈 性 調 整 剝 膜 液 定 量 補 充 設 計 : 藥 液 耗 用 量 低 多 道 高 效 能 的 藥 後 水 洗 製 程, 有 效 去 除 膜 渣 殘 留 客 戶 價 值 藥 液 潔 淨 度 管 理 設 計, 提 高 剝 膜 效 能 多 道 高 效 能 的 藥 後 水 洗 製 程, 有 效 去 除 膜 渣 殘 留, 減 輕 後 端 製 程 洗 淨 負 擔 針 對 溶 劑 類 藥 液 的 易 燃 特 性, 提 供 防 爆 設 計, 偵 測 防 護 與 消 火 設 備, 提 升 設 備 安 全 性 完 整 化 學 防 護 設 計 : 良 好 的 隔 絕 效 果 與 抽 氣 流 場 管 控, 有 效 防 止 藥 氣 藥 液 外 漏, 提 高 製 程 安 全 性 依 不 同 製 程 需 求 可 設 計 水 平 或 傾 斜 輸 送 方 式 專 業 技 術 團 隊 導 入, 加 速 客 戶 量 產 進 度, 提 高 客 戶 市 場 競 爭 力 完 整 化 學 防 護 設 計, 製 程 無 安 全 疑 慮

26 manz 亞 洲 區 客 戶 支 援 上 海 / 蘇 州 營 口 淮 安 首 爾 南 韓 中 國 大 陸 台 灣 中 壢 / 台 中 / 台 南 印 度 廈 門 新 德 里 邦 加 羅 爾 湖 北 深 圳 海 德 拉 巴 新 加 坡 加 爾 各 答

27 德 國 高 端 工 藝, 本 地 成 本 服 務 服 務 零 距 離 在 全 球 有 超 過 300 位 合 格 的 維 修 工 程 師 協 助 客 戶 端 機 台 的 安 裝 擴 充 和 維 護 ( 在 亞 洲 超 過 200 位 ) 我 們 在 台 灣 和 中 國 大 陸 皆 設 有 內 部 培 訓 中 心, 對 維 修 工 程 師 進 行 強 化 培 訓 各 據 點 包 括 當 地 倉 庫 都 有 備 件 管 理 在 台 灣 及 中 國 大 陸 的 客 戶 支 援 中 心, 提 供 針 對 故 障 排 除 問 題 解 決 產 品 發 佈 和 升 級 等 支 援 亞 洲 區 密 度 最 廣 的 客 戶 支 援 與 服 務 設 備 交 機 並 不 代 表 我 們 和 客 戶 密 切 關 係 的 終 點, 而 是 起 點 ; 不 論 我 們 的 機 器 設 備 在 哪, 您 都 可 以 依 靠 Manz 的 工 作 人 員, 這 些 員 工 都 是 為 了 確 保 我 們 的 機 器 設 備 在 客 戶 端 運 作 正 常, 能 夠 有 效 率 的 執 行 作 業 而 我 們 的 客 戶 服 務 範 疇 也 非 僅 止 於 安 排 機 器 操 作 與 提 供 客 戶 服 務 ; 訓 練 課 程 提 供 零 件 更 換 以 及 24 小 時 不 間 斷 的 客 戶 服 務, 更 是 我 們 維 繫 與 客 戶 間 長 久 合 作 關 係 的 不 二 法 門

Manz AG Steigaeckerstrasse 5 72768 Reutlingen Germany Phone +49 7121 9000 0 Fax +49 7121 9000 99 info@manz.com www.manz.com 亞 智 科 技 股 份 有 限 公 司 32063 台 灣 桃 園 縣 中 壢 市 自 強 三 路 三 號 Phone +886 3452 9811 Fax +886 3452 9810 info@manz.com.tw www.manz.com.tw 亚 智 系 统 科 技 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 215153 江 苏 省 苏 州 市 高 新 区 嘉 陵 江 路 405 号 Phone +86 512 65136050 Fax +86 512 65136061 contact@manz.com.cn www.manz.com.cn