叶 片 齿 轮 箱 发 电 机 为 单 机 额 定 功 率 MW 的 整 机 配 套 叶 片 年 销 售 量 300 片 ; 发 电 机 年 销 售 量 00 ; 齿 轮 箱 00 ( 为.5MW 及 以 上 整 机 配 套 不 作 销 售 量 要 求 ) 控 制 系 统 变 流 器 为 单 机 额

附 件 : 编 号 名 称 技 术 规 格 要 求 销 售 业 绩 要 求 一 大 型 清 洁 高 效 发 电 装 备 核 电 机 组 ( 三 代 核 电 机 组 ) 百 万 千 瓦 级 核 岛 设 备 : 反 应 堆 压 力 容 器 蒸 汽 发 生 器 稳 压 器 反 应 堆 堆 内 构 件 控 制 棒 驱 动 机 构 环 行 吊 车 主 管 道 安 全 注 入 箱 主 设 备 支 撑 数 字 化 仪 控 系 统 安 全 壳 非 能 动 余 三 代 核 电 机 组 核 岛 设 备 排 换 热 器 结 构 模 块 核 燃 料 元 件 乏 燃 料 处 理 设 备 常 规 岛 设 备 : 汽 轮 机 汽 轮 发 电 机 除 氧 器 三 代 核 电 机 组 常 规 岛 设 汽 水 分 离 器 再 热 器 加 热 器 备 3 核 级 泵 : 核 主 泵 ( 反 应 堆 冷 却 剂 主 泵 ) 安 注 泵 安 全 壳 余 热 排 出 泵 喷 淋 泵 三 代 核 电 机 组 核 级 泵 4 核 级 阀 : 稳 压 器 安 全 阀 稳 压 器 比 例 喷 雾 调 节 阀 主 蒸 汽 隔 离 阀 爆 破 阀 三 代 核 电 机 组 核 级 阀 核 电 机 组 ( 二 代 改 进 型 核 电 机 组 ) 百 万 千 瓦 级 核 岛 设 备 : 反 应 堆 压 力 容 器 蒸 汽 发 生 器 二 代 改 进 型 核 电 机 组 核 稳 压 器 堆 内 构 件 控 制 棒 驱 动 机 构 环 行 岛 设 备 吊 车 主 管 道 国 家 支 持 发 展 的 重 大 技 术 装 备 和 产 品 目 录 (05 年 修 订 ) 常 规 岛 设 备 : 汽 轮 机 ( 半 转 速 组 ) 汽 轮 发 电 机 除 氧 器 汽 水 分 离 器 再 热 器 (MSR) 和 汽 水 分 离 再 热 器 系 统 (GSS) 高 低 压 给 水 加 热 器 二 代 改 进 型 核 电 机 组 常 规 岛 设 备 08 3 核 级 泵 : 核 主 泵 二 代 改 进 型 核 电 机 组 核 级 泵 ( 三 ) 超 超 临 界 参 数 火 电 机 组 燃 煤 锅 炉 汽 轮 机 发 电 机 输 出 功 率 :600WM 级 000WM 级 ( 四 ) 大 型 循 环 流 化 床 锅 炉 输 出 功 率 300WM 级 08 ( 五 ) 大 型 空 冷 电 站 成 套 设 备 空 冷 汽 轮 机 输 出 功 率 300MW ( 六 ) 燃 气 - 蒸 汽 联 合 循 环 机 组 燃 气 轮 机 发 电 机 汽 轮 机 E 级 F 级 ( 七 ) 大 型 水 力 发 电 成 套 设 备 混 流 式 水 电 机 组 额 定 容 量 600MW 07 抽 水 蓄 能 机 组 额 定 容 量 50MW 07 ( 八 ) 大 功 率 风 力 发 电 机 ( 组 ) 及 其 配 套 部 件 MW 以 上 50 风 力 发 电 机 ( 组 ) 整 机 单 机 额 定 功 率 MW (.5MW 及 以 上 整 机 不 作 销 售 量 要 求 ) 08

叶 片 齿 轮 箱 发 电 机 为 单 机 额 定 功 率 MW 的 整 机 配 套 叶 片 年 销 售 量 300 片 ; 发 电 机 年 销 售 量 00 ; 齿 轮 箱 00 ( 为.5MW 及 以 上 整 机 配 套 不 作 销 售 量 要 求 ) 控 制 系 统 变 流 器 为 单 机 额 定 功 率.5MW 的 整 机 配 套 ( 九 ) 垃 圾 焚 烧 发 电 设 备 * * ( 十 ) 太 阳 能 发 电 设 备 * * 二 超 特 高 压 输 变 电 设 备 直 流 输 变 电 设 备 直 流 换 流 变 压 器 ±600kV 及 以 上 08 换 流 阀 ±800kV 及 以 上 08 交 流 输 变 电 设 备 电 力 变 压 器 六 氟 化 硫 断 路 器 气 体 绝 缘 金 属 封 闭 开 关 设 备 (GIS) 串 联 补 偿 装 置 750kV 及 以 上 三 大 型 石 油 及 石 化 装 备 乙 烯 成 套 设 备 乙 烯 裂 解 气 压 缩 机 组 及 其 配 套 用 工 业 汽 轮 机 乙 烯 制 冷 压 缩 机 组 及 其 配 套 用 工 业 汽 轮 机 丙 烯 制 冷 压 缩 机 组 及 其 配 套 用 工 业 汽 轮 机 年 产 量 80 万 吨 06 乙 烯 冷 箱 加 氢 反 应 器 加 氢 装 置 空 冷 器 丙 烷 脱 氢 装 置 压 缩 机 组 及 其 配 套 用 工 业 汽 轮 机 : 产 品 气 压 缩 机 乙 烯 压 缩 机 丙 烯 压 缩 机 再 生 气 压 缩 机 干 燥 再 生 气 循 环 压 缩 机 年 产 量 50 万 吨 ( 三 ) 混 炼 挤 压 造 粒 机 组 年 产 量 0 万 吨 ( 四 ) 对 苯 二 甲 酸 (PTA) 成 套 设 备 PTA 氧 化 反 应 器 加 氢 精 制 装 置 加 氢 反 应 器 蒸 汽 回 转 干 燥 机 PTA 工 艺 空 气 压 缩 机 组 年 产 量 80 万 吨 08 ( 五 ) 千 万 吨 级 炼 油 设 备 炼 油 用 加 氢 反 应 器 精 制 反 应 器 设 备 单 重 000 吨 循 环 氢 离 心 压 缩 机 轴 功 率 000KW 3 催 化 裂 化 空 气 压 缩 机 机 组 流 量 3000Nm 3 /m 07 4 催 化 裂 化 能 量 回 收 装 置 空 气 压 缩 机 机 组 配 套 000 万 吨 原 油 / 年 ( 六 ) 风 力 发 电 机 ( 组 ) 配 套 部 件 : 叶 片 齿 轮 箱 发 电 机 控 制 系 统 变 流 器 天 然 气 管 道 运 输 和 液 化 储 运 装 备 : 燃 压 机 组 大 型 管 线 球 阀 和 控 制 系 统 液 化 天 然 气 接 收 站 等 设 备 长 输 管 道 燃 驱 压 缩 机 组 30MW 级 及 以 上 长 输 管 道 电 驱 压 缩 机 组 0MW 级 及 以 上 06 3 天 然 气 液 化 装 置 用 压 缩 机 年 产 量 60 万 吨 ( 七 ) 油 气 钻 采 装 备 大 型 压 裂 装 备 ( 包 括 压 裂 车 / 撬 混 砂 车 / 撬 单 机 额 定 输 出 功 率 管 汇 车 / 撬 仪 表 车 等 ) 500 马 力 连 续 油 管 作 业 装 备 ( 机 组 / 车 / 钻 机 ) 提 升 能 力 8 吨 07 3 不 压 井 作 业 装 备 提 升 能 力 70 吨 4 天 然 气 发 动 机 驱 动 压 缩 机 组 排 气 量 30Nm 3 /min 08

5 固 井 设 备 最 大 输 出 压 力 70MPa 6 水 下 采 油 树 最 大 工 作 压 力 70MPa 四 大 型 煤 化 工 设 备 大 型 空 分 设 备 及 其 压 缩 机 空 压 机 增 压 机 大 型 空 分 设 备 氧 产 量 60000Nm 3 /h 08 双 缸 氧 气 压 缩 机 流 量 30000Nm 3 /h; 压 力 :8--30bar; 功 率 :3000--000kW 3 大 型 空 分 装 置 用 空 压 机 或 增 压 机 为 氧 产 量 60000Nm 3 /h 的 空 分 装 置 配 套 用 08 大 型 合 成 氨 设 备 合 成 气 压 缩 机 年 产 量 50 万 吨 以 上 合 成 氨 项 目 配 套 用 06 二 氧 化 碳 压 缩 机 年 产 量 50 万 吨 以 上 尿 素 项 目 配 套 用 06 为 30 万 吨 及 以 上 合 成 氨 甲 醇 配 套 用, 水 煤 浆 ( 三 ) 煤 化 工 气 化 炉 ( 湿 法 ) 气 化 炉 工 作 压 力 6.5Mpa, 粉 煤 浆 ( 干 08 法 ) 气 化 炉 工 作 压 力.8Mpa ( 四 ) 甲 醇 制 烯 烃 甲 醇 制 烯 烃 (MTO) 装 置 用 压 缩 机 组 年 产 量 60 万 吨 五 大 型 冶 金 成 套 设 备 大 型 薄 板 冷 连 轧 成 套 设 备 带 压 辊 的 转 向 控 制 辊 轧 机 乳 化 液 喷 射 装 置 轧 辊 宽 度 400mm, 产 带 钢 吹 扫 装 置 及 防 缠 导 板 轮 盘 卷 曲 机 品 厚 度 0.8-.0mm 大 型 制 氧 机 大 型 高 炉 风 机 余 热 回 收 装 置 大 型 高 炉 风 机 配 套 高 炉 500m³ 六 大 型 煤 炭 设 备 大 型 正 铲 式 矿 用 挖 掘 机 标 准 斗 容 0m 3 ( 测 定 标 准 斗 容 的 物 料 密 度 为.8 吨 /m 3 ) 电 动 轮 非 公 路 矿 用 自 卸 车 额 定 装 载 质 量 0 吨 机 械 传 动 非 公 路 矿 用 自 卸 车 额 定 装 载 质 量 85 吨 3 机 械 传 动 非 公 路 矿 用 洒 水 车 额 定 装 载 质 量 85 吨 ( 三 ) 大 型 非 公 路 矿 用 自 卸 车 大 型 煤 炭 采 掘 设 备 电 牵 引 采 煤 机 装 机 功 率 900 千 瓦 刮 板 输 送 机 和 刮 板 转 载 机 刮 板 输 送 机 装 机 功 率 800 千 瓦, 刮 板 转 载 机 装 机 功 率 400 千 瓦 年 销 售 量 5 ( 额 定 装 载 质 量 在 0 吨 及 以 上 整 机 年 销 售 量 不 做 要 求 ) 年 销 售 量 50 年 销 售 量 不 做 要 求 年 销 售 量 0 ( 套 ) 年 销 售 量 0 ( 套 ) 08 08 08 3

3 煤 矿 用 履 带 式 全 液 压 坑 道 钻 机 钻 机 扭 矩 4000Nm 0 / 年 4 矿 山 特 种 钻 机 车 ( 用 于 煤 层 气 开 采 对 接 井 及 最 大 提 升 力 600kN, 输 矿 山 应 急 救 援 ) 出 转 矩 500 30000Nm 七 大 型 船 舶 海 洋 工 程 设 备 大 型 海 洋 石 油 工 程 装 备 半 潜 式 钻 井 平 作 业 水 深 500 米 大 型 高 技 术 高 附 加 值 船 舶 大 型 绞 吸 挖 泥 船 生 产 率 在 3500 立 方 米 / 小 时 及 以 上 大 型 耙 吸 挖 泥 船 泥 舱 容 量 在 0000 立 方 米 以 上 3 深 海 铺 管 船 ( 平 ) 水 深 000 米, 张 紧 器 单 张 紧 能 力 75 吨, 收 放 绞 车 单 能 力 75 吨 4 独 立 C 型 液 化 天 然 气 运 输 船 整 船 舱 容 000 立 方 米 ( 三 ) 八 大 功 率 柴 油 机 及 其 他 船 用 关 键 配 套 设 备 高 速 铁 路 城 市 轨 道 交 通 设 备 城 市 轨 道 交 通 车 辆 及 机 电 设 备 城 市 轨 道 交 通 车 辆 : 车 辆 制 动 系 统 主 牵 引 传 动 系 统 辅 助 逆 变 器 转 向 架 设 备 车 门 信 号 系 统 : 列 车 自 动 防 护 系 统 (ATP) 3 自 动 售 检 票 系 统 : 自 动 售 检 票 系 统 (AFC) 高 速 动 车 组 转 向 架 传 动 及 减 振 装 置 变 流 系 统 牵 引 系 统 网 络 控 制 系 统 高 压 系 统 ( 额 度 工 作 电 压 :5KV) 辅 助 电 气 系 统 制 动 及 风 源 时 速 00 公 里 及 以 上 系 统 车 体 及 设 备 空 调 系 统 ( 三 ) 大 功 率 交 流 传 动 电 力 / 内 燃 机 车 大 功 率 交 直 交 传 动 电 力 机 车 : 电 传 动 系 统 牵 引 系 统 辅 助 电 气 系 统 高 压 电 器 走 行 单 轴 功 率 00KW 系 统 制 动 系 统 大 功 率 内 燃 机 车 : 机 车 柴 油 机 转 向 架 电 车 柴 油 机 装 车 功 率 气 系 统 辅 助 系 统 4400 马 力 ( 四 ) 铁 路 重 载 货 车 * * ( 五 ) 大 型 铁 路 养 护 机 械 捣 固 车 ( 含 捣 稳 车 ) 最 高 自 行 速 度 : 00km/h; 最 高 连 挂 运 行 速 度 :0km/h; 作 业 效 率 :.7-. km/h 稳 定 车 最 高 自 行 速 度 : 80km/h; 最 高 连 挂 运 行 速 度 :0km/h; 最 高 作 业 效 率 :.5km/h 3 钢 轨 / 道 岔 打 磨 车 最 高 打 磨 作 业 效 率 : 5km/h; 最 大 自 走 行 速 度 :00km/h; 最 大 联 挂 速 度 :0km/h 4

4 大 修 列 车 5 路 基 处 理 车 6 清 筛 机 7 物 料 运 输 车 8 接 触 网 多 功 能 综 合 作 业 车 9 钢 轨 探 伤 车 最 高 作 业 速 度 :.km/h; 最 高 换 枕 效 率 :0 根 / 分 ; 最 大 连 挂 速 度 :00 km/h 最 高 作 业 速 度 : 80m/h; 最 大 自 走 行 速 度 :0km/h; 最 大 连 挂 速 度 :00km/h 最 高 自 运 行 速 度 80km/h; 最 高 连 挂 运 行 速 度 00km/h; 最 高 作 业 效 率 650m 3 /h 最 高 连 挂 运 行 速 度 : 0km/h( 空 载 ), 00km/h( 重 载 ); 最 高 额 定 载 重 :95 吨 最 高 运 行 速 度 60km/h; 接 触 线 高 度 测 量 范 围 :5000~ 6800mm, 误 差 :mm; 双 支 接 触 线 横 向 距 离 测 量 范 围 :0~000mm, 误 差 :5mm 最 高 持 续 探 伤 速 度 : 80km/h; 多 换 能 器 轮 式 探 头, 换 能 器 可 更 换 ; 配 备 偏 转 70 度 换 能 器 ; 年 销 售 量 5 可 检 测 轨 型 :43~75 kg/m; 计 算 机 实 时 信 号 处 理 和 伤 损 识 别 0 钢 轨 铣 磨 车 ( 六 ) 九 高 速 铁 路 信 号 系 统 车 载 设 备 大 型 环 保 及 资 源 综 合 利 用 设 备 大 气 污 染 治 理 设 备 大 型 烟 煤 电 站 除 尘 除 灰 设 备 : 袋 式 除 尘 器 电 除 尘 器 烟 气 调 质 作 业 速 度 : 0.5~.8 km/h; 横 向 轮 廓 铣 削 精 度 :±0. mm; 纵 向 平 顺 性 铣 削 精 度 :0 mm 波 长 00 mm 时,± 0.0 mm; 作 业 后 钢 轨 顶 面 光 洁 度 : 3 μ m 适 用 于 00Km 及 以 上 动 车 组 袋 式 除 尘 器 ( 火 电 厂 300MW 及 以 上 机 组 配 套 用 ) 电 除 尘 器 ( 火 电 厂 600MW 及 以 上 机 组 配 套 用 ) 烟 气 调 质 5

湿 式 电 除 尘 器 600MW 及 以 上 燃 煤 电 站 机 组 配 套 用 ; 粉 尘 排 放 浓 度 0mg/m3 ( 三 ) 工 业 废 水 城 市 污 水 污 泥 处 理 设 备 固 体 废 弃 物 处 理 设 备 危 险 废 物 回 转 窑 焚 烧 系 统 ( 含 医 疗 废 物 ) 处 理 量 0 吨 / 天 ( 四 ) 资 源 综 合 利 用 设 备 大 型 高 炉 煤 气 余 压 透 平 能 量 回 收 利 用 装 置 额 定 功 率 4000KW 低 热 值 富 余 高 炉 煤 气 联 合 循 环 发 电 机 组 额 定 功 率.5 万 千 瓦 3 报 废 汽 车 拆 解 生 产 线 4 煤 矿 瓦 斯 发 电 成 套 设 备 : 瓦 斯 沼 气 发 电 机 发 电 机 组 或 发 动 机 额 定 组 ; 双 燃 料 发 动 机 ; 瓦 斯 防 爆 自 动 抽 排 设 功 率 500KW 备 ; 5 尾 气 透 平 能 量 回 收 机 组 回 收 功 率 500KW 6 生 活 垃 圾 精 分 选 成 套 系 统 装 备 分 选 精 度 98%, 分 选 率 90% 7 天 然 气 差 压 透 平 能 量 回 收 利 用 装 置 回 收 功 率 00KW 十 大 型 施 工 机 械 和 基 础 设 施 专 用 设 备 大 型 新 型 施 工 机 械 大 型 全 断 面 隧 道 掘 进 机 刀 盘 直 径 5 米 履 带 式 起 重 机 最 大 起 重 量 00 吨 年 销 售 量 0 3 全 路 面 起 重 机 最 大 起 重 量 00 吨 4 混 凝 土 泵 车 臂 架 长 度 47 米 年 销 售 量 07 5 液 压 挖 掘 机 ( 含 双 臂 轮 履 复 合 救 援 液 压 挖 掘 机 ) 整 机 重 量 30 吨 ( 双 臂 轮 履 复 合 救 援 液 压 挖 掘 机 0 吨 ) 00 年 销 售 量 80 ( 双 臂 轮 履 救 援 液 压 挖 掘 机 销 售 量 不 作 要 求 ) 6 旋 挖 钻 机 钻 孔 直 径 米 年 销 售 量 0 7 摊 铺 机 工 作 宽 度 9 米 年 销 售 量 0 8 铣 刨 机 铣 刨 宽 度. 米 9 装 载 机 额 定 载 重 6 吨 0 履 带 式 全 地 形 工 程 车 满 载 质 量 3000kg, 最 高 公 路 行 驶 速 度 60km/h 年 销 售 量 5 举 高 消 防 车 工 作 高 度 40 米 集 装 箱 正 面 吊 最 大 起 重 量 45 吨 3 多 功 能 除 雪 车 车 辆 整 备 质 量 为 5 年 整 机 销 售 总 吨, 除 雪 宽 度.9 米 量 为 00 4 多 功 能 破 拆 机 器 人 功 率 00 马 力 5 汽 车 起 重 机 最 大 起 重 量 00 吨 机 场 专 用 设 备 6

机 场 行 李 自 动 分 拣 系 统 单 套 分 拣 能 力 大 于 5000 件 / 小 时 ( 三 ) 大 型 斗 轮 堆 取 料 机 翻 车 机 装 卸 船 机 等 大 型 港 口 机 械 斗 轮 堆 取 料 机 生 产 率 6000 吨 / 小 时 年 销 售 量 0 桥 式 抓 斗 卸 船 机 装 船 机 生 产 率 000 吨 / 小 时 年 销 售 量 6 十 一 十 二 十 三 重 大 工 程 自 动 化 控 制 系 统 和 关 键 精 密 测 试 仪 器 ( 待 定 ) 大 型 精 密 高 速 数 控 设 备 数 控 系 统 功 能 部 件 与 基 础 制 造 装 备 新 型 纺 织 机 械 自 动 络 筒 机 卷 绕 速 度 800 米 / 分 钟 年 销 售 50 高 效 现 代 化 成 套 棉 纺 设 备 清 梳 联 合 机 ( 梳 棉 机 ) 最 高 产 量 0 千 克 / 小 时 精 梳 机 钳 次 400 ( 三 ) 机 电 一 体 化 剑 杆 织 机 * * 纺 熔 复 合 非 织 造 布 成 套 设 备 幅 宽.6 米 ( 四 ) 染 色 机 高 温 高 压 溢 流 染 色 机 浴 比 :4.5, 设 计 温 度 40, 设 计 压 力 3.0 bar 气 流 染 色 机 浴 比 :.5, 设 计 温 度 40, 设 计 压 力 3.0 bar 3 纱 线 染 色 机 浴 比 :4, 设 计 温 度 40, 设 计 压 力 5. bar 十 四 新 型 大 马 力 农 业 装 备 大 马 力 轮 式 拖 拉 机 发 动 机 额 定 功 率 00 年 销 售 量 千 瓦 00 08 自 走 式 青 贮 饲 料 收 获 机 功 率 97 千 瓦 08 ( 三 ) 大 型 小 麦 免 耕 播 种 机 播 种 行 数 5 行 年 销 售 量 50 08 ( 四 ) 采 棉 机 采 收 行 数 4 行, 自 走 式 08 ( 五 ) 甘 蔗 收 获 机 自 走 式, 发 动 机 额 定 功 率 68 千 瓦 08 ( 六 ) 自 走 式 喷 杆 喷 雾 机 药 箱 容 积 000 升 08 十 五 电 子 信 息 及 生 物 医 疗 装 备 集 成 电 路 关 键 设 备 新 型 平 板 显 示 器 件 生 产 设 备 电 子 元 器 件 生 产 设 备 表 面 贴 装 及 无 铅 工 艺 的 整 机 联 装 设 备 太 阳 能 电 池 生 产 设 备 () 等 离 子 加 强 型 化 学 气 相 沉 积 设 备 (PECVD) 膜 厚 均 匀 性 <5% 08 () 低 压 化 学 气 相 沉 积 设 备 (LPCVD) 膜 厚 均 匀 性 <5% 08 (3) 晶 硅 太 阳 能 电 池 生 产 用 全 自 动 印 刷 烘 干 硅 片 ( 多 晶 单 晶 ) 尺 烧 结 测 试 分 选 系 统 寸 :56mm 56mm 08 单 晶 炉 投 料 量 (4) 太 阳 能 级 单 晶 炉 多 晶 铸 锭 炉 50KG; 多 晶 铸 锭 炉 一 次 投 料 量 800KG 08 7

(5) 扩 散 炉 (6) 单 晶 / 多 晶 制 绒 清 洗 机 半 导 体 发 光 二 极 管 (LED) 生 产 设 备 () 金 属 有 机 化 学 气 相 沉 积 设 备 (MOCVD) () 等 离 子 体 刻 蚀 机 (3) LED 溅 射 硅 片 ( 多 晶 单 晶 ) 尺 寸 :56mm 56mm 硅 片 ( 多 晶 单 晶 ) 尺 寸 :56mmX56mm; 产 能 : 3000 片 / 时 单 腔 产 出 率 50pcs( 英 寸 ) 波 长 均 匀 性 < 3 纳 米 托 盘 尺 寸 :300mm 及 以 上 ; 产 能 : 氮 化 钾 7 片 及 以 上, 蓝 宝 石 片 及 以 上 ; 刻 蚀 速 率 : 氮 化 钾 0nm/min, 蓝 宝 石 70nm/min 产 能 : 5000 片 / 月 ; 均 匀 性 : 5% (4) 涂 胶 显 影 机 芯 片 直 径 50~50mm 08 08 年 产 0 以 上 08 (5) 高 亮 度 LED 步 进 投 影 光 刻 机 分 辨 率 0.8 微 米, 大 光 谱 带 宽, 适 应 -6 英 寸 多 种 基 底 的 曝 光, 可 监 测 基 底 翘 曲 值 多 种 背 面 对 准 配 置 3 () 集 成 电 路 关 键 设 备 氧 化 炉 硅 片 直 径 300mm, 线 宽 65-90nm () 高 密 度 等 离 子 刻 蚀 机 () 硅 片 直 径 00mm, 线 宽 0.8-0.0μ m; () 硅 片 直 径 300mm, 线 宽 45-90nm (3) 薄 膜 沉 积 设 备 线 宽 0.3μ m 工 艺 的 化 学 气 相 沉 积 设 备 (CVD); 线 宽 65nm 物 理 沉 积 设 备 (PVD) (4) 匀 胶 显 影 机 硅 片 直 径 50-300mm (5) IC 用 喷 / 涂 胶 显 影 机 硅 片 直 径 00-300mm 持 有 合 同 订 单, 年 销 售 量 08 0 分 辨 率 微 米, 大 光 谱 带 宽, 硅 片 直 径 300mm (6) 集 成 电 路 先 进 封 装 光 刻 机 00mm 全 兼 容 并 自 动 切 换, 双 面 对 准 (3D- 08 TSV) 支 持 堆 叠 硅 片 曝 光 4 新 型 平 板 显 示 器 件 生 产 设 备 AM-OLED 显 示 屏 TFT 电 路 制 造 用 投 影 光 刻 机 用 于 4.5 代 及 以 上 工 艺 线 08 数 字 化 医 疗 影 像 设 备 生 物 工 程 和 医 疗 生 产 专 用 设 备 8

超 导 磁 共 振 成 像 系 统 x 射 线 计 算 机 断 层 摄 影 设 备 3 正 电 子 发 射 及 x 射 线 计 算 机 断 层 成 像 扫 描 系 统 磁 场 强 度.5T 冷 头 类 型 :4K 谱 仪 通 道 数 6 探 测 器 物 理 排 数 3 排 球 管 热 容 量 (MHU) 4M X 线 发 生 器 的 功 率 8kW 一 体 化 机 架 晶 体 条 横 截 面 4.5mm 5.0mm CT 排 数 不 低 于 6 排 CT 球 管 热 容 量 (MHU) 4M 十 六 民 用 飞 机 及 发 动 机 机 载 设 备 * * 十 七 重 大 技 术 装 备 的 基 础 件 * * 大 型 铸 锻 件 * * 基 础 部 件 * * ( 三 ) 加 工 附 具 * * 年 销 售 量 0 年 销 售 量 30 9