CP-PC-2265C 高精度位置检测传感器
New High-Performance Laser Sensors. 以打破常识的性能和功能实现预想的检测 采用平行激光束和 CMOS 线性图像传感器的组合可进行高精度工件位置检测 能看到想看到的变化 >> 03 准确检测出以往传感器捕捉不到的微小变化 01-02
K1G-S07 Measurement Width 7mm K1G-S15 Measurement Width 15mm K1G-C04 4ch Controller K1G-C04M MECHATROLINK-III Model K1G-C04E EtherCAT Model 不受限于安装场所 超薄传感器, 外观紧凑 削减无用功时间 >> 05 >> 07 配备相关功能, 削减设计 ~ 安装 ~ 维护过程中的无用功时间
See what you previously couldn't. 能看到想看到的变化 目前现有的传感器容易忽略微小和高速的变化 K1G 系列能够检测到这些遗漏的变化, 实现可视化 分辨率 :0.1 μm 检测周期 :250 μs 03-04 Model: K1G
在线玻璃边缘检查 以往作业人员需要离线进行边缘异常 ( 缺口等 ) 检查 K1G 系列可实现高速高精度在线检测 任何边缘处理状态都可以进行高速高精度检测 边缘检测 实现最高水平的分辨率 (0.1μm) 实现最高水平的检测周期 (250μs) 通过阿自倍尔独有的利用菲涅耳衍射现象的 FDN 运 双引擎高速处理 FDN 演算方法中使用的 算方法和超解像技术实现了检测分辨率 (0.1μm) 和 大量信息 重复精度 (1μm) 的检测水平 菲涅耳衍射是指光线在刀片和薄膜等薄片物体的边缘发生的衍射现象 此外, 受光部衍射光的强度分布取决于工件和受光部之间的距离 WD(Work Distance) FDN 演算方法是阿自倍尔独有的利用了菲涅耳衍射现象的亚像素处理方法 WD Work Distance 多任务运算实现了相比以往机种约 4 倍的处理速度 CMOS 线性图像传感器 透明体检测原理 为实现无限接近理想状态的平行光而新开发了专用镜头 受光元件采用了 CMOS 线性图像传感器, 使视觉上捕捉工件位置成为可能 WD(Work Distance) 设定 配备了可补正工件位置差异导致的误差的功能, 实现了更高精度的检测 检测原理图
Easily mounts anywhere. 不受限于安装场所 超薄 8mm Model:K1G-S07 实物大小 是否有遇到因传感器尺寸大小的限制而 无法安装 无法检测 的烦恼? 追求极限超薄设计, 适应任何安装场所 05-06 Model: K1G
以往尺寸大小 半导体制造装置上的晶圆定位 有助于装置小型化 通过采用小型传感器, 使定位设备小型化, 减小占用空间 晶圆定位装置 面板安装型多通道控制器 1 台控制器最多可连接 4 组传感器 超薄传感器 20mm 追求极度超薄 检测范围分为 7mm 和 15mm 两种机型, 可应对各种场合 8mm 50mm 34mm 15.3mm 62.5mm 丰富的内容显示 并且,2 种类型传感器可混合使用 传感器缆线 ( 带面板安装连接器 ) 传感器缆线的中继 考虑到施工和维护, 准备了面板安装型的连接器 面板安装型的中继连接器可提高工程施工 设备维护的效率 延长缆线最长 25m 相比以前产品大幅加长可延长距离 不必因电缆长度限制而担心安装场所问题 此外, 考虑到可动部位的使用, 同时也准备了耐弯曲的机器人行业用缆线 控制器侧缆线 ( 带连接器 ) 标准型耐弯曲型
Less wasted time. 削减无用功时间 用户测试模式 控制器配有可任意变换模拟输出以及数字输出的 用户测试模式 可确认装置启动前的接线状态 可充分削减 检测 之前的准备时间 Ch4 Ch3 Ch2 Ch1 内置多种运算功能 多通道控制器可进行通道间的数据运算 如此可减少上位机器的编程时间, 轻易实现厚度检测和宽度检测 运算结果输出示例 AO1: Ch2 - Ch1, AO2: Ch3 - Ch1, AO3: Ch4 - Ch1 AO4: (Ch2 + Ch3 + Ch4) 3 - Ch1 传感器的选型 设计 丰富的检测模式 1 组传感器最多可同时检测两个位置 如此, 边缘位置检测 遮光宽度检测 入光宽度检测等各种应用仅需 1 组即可对应, 省去了选型的麻烦 遮光宽度检测入光宽度检测边缘位置检测 有引线线径测量孔径透明薄膜 无引线 开孔部位 无薄膜 有薄膜 07-08 Model: K1G
强化光轴调整功能 相比以往机种加强了 光轴调整功能 通过在传感器上配备光轴调整显示灯, 大幅降低调整时间 脏污自检功能 当检测面出现脏污以及有干扰光出现影响检测时, 传感器可提前通过开关量输出, 为预防及保养提供方便, 减少维护的无用功时间 传感器的安装 装置的启动 ~ 运转 使用专用设定工具记录检测数据 事件输出发生时的受光分布 事件发生异常状态 配备 事件记录功能, 颠覆现有常识 以 250μs 的检测周期收集数据 控制器可保存事件输出发生时的 无需连接上位机器即可确认检测状态, 可快速启动装置 事件发生前 受光分布和发生前后 32 点的检测数据 由此可以查明现场故障 发生时的原因, 减少对策时间 事件发生后 事件发生前后的检测数据
Applications 应用实例 晶圆对准 可高精度稳定检测透明度高的玻璃晶圆和砷化镓晶圆 薄膜纠偏检测 利用控制器的运算功能, 采用 2 组传感器可同时实现纠偏检测和薄膜宽度检测 薄膜厚度检测 辊轴缝隙检测 电子部件异物混入 0.1μm 分辨率的实现使高精度检测成为可能 小型传感器可在有限空间内完成在线检测 控制器最多可接 4 组传感器, 在多个位置实现同步检测, 从而实现了检测的准确性 采用平行激光束和图像传感器的组合, 可高精度检测辊轴间缝隙 冲压材料的内径检测 玻璃基板的 XYθ 检测 玻璃基板的异常判断 0.1μm 分辨率的实现使高精度检测成为可能 配备 脏污自检功能, 为预防及保养提供方便 250μs 的响应速度, 不遗漏输送状态中的任何玻璃基板异常 配备事件记录功能, 故障时可迅速解析状况 采用 3 组传感器与控制器连接, 无需编程即可实现玻璃基板偏移量的计算运算 (X,Y,θ) 09-10 Model: K1G
Various interface. 接口种类丰富 控制用 PC 运动控制器 Modbus RTU K1G-C04 PLC K1G-C04M 人机界面 模拟输出 K1G-C04E 无需担心与上位机的连接 可根据用户系统环境选择最适合的接口 对应接口 MECHATROLINK-Ⅲ / EtherCAT / Modbus RTU / 模拟输出 ( 电压 电流 ) / DI/O(NPN/PNP)
Stepping up to a new level of measurement. 迈向检测新时代 平板终端 PLC 运动控制器 MP3300 ( 安川电机有限公司制造 ) Wi-Fi Ethernet 步进电机 人机界面 GP4000 (Pro-face) 高精度位置检测传感器 K1G-C04M AC 伺服驱动 远程 I/O -7 ( 安川电机有限公司制造 ) (M-System 有限公司 ) 运动控制器 多通道控制器与开放式现场网络兼容 由此可实现检测数据的通讯化, 为客户提供新价值 对应网络 MECHATROLINK-Ⅲ / EtherCAT AC 伺服驱动 远程 I/O 11-12 Model: K1G 高精度位置检测传感器 K1G-C04E
节省空间, 减少配线 POINT 1 POINT 3 通道间的同步 以最快 100Mbps 的通讯速率和可靠的通讯协议, 实现检测数据的通讯化 输入输出的配线为 2 根, 大幅减少了配线数量和占用空间 MECHATROLINK-Ⅲ/EtherCAT 是保证数据同步的通讯方式, 因此可轻易采集网络上的所有机器的同步数据 同时也有助于工艺切换时的动作确认以及状况发生时的原因查明 图片为示意图 以往的配线 简化配线 POINT 3 POINT 1 POINT 2 POINT 2 人机界面, 设定调整更方便 使用 Pro-face 的可编程人机界面 GP4000 系列可直接设定和查看 K1G 系列的所有参数 此外, 如果使用 Pro-face Remote HMI, 在 Wi-Fi 环境下也可通过手持的平板终端进行查看和设定 对应机型 :K1G-C04/K1G-C04G/K1G-C04M/K1G-C04MG
Specifi cations 传感器产品规格 传感器外观尺寸图 ( 单位 :mm) 型号 K1G-S07 K1G-S15 外观 K1G-S07 () 4 4 2 20 1 3 1 20 2 10.3 3.4 28.3 50 8.8 10 10.3 28.3 3.4 50 8.8 () 控制器 K1G-C04 检测方式 对照型 ( 投光器 受光器配套 ) 检测距离 10 ~ 500mm 10 ~ 1000mm 检测宽度 7mm 15mm 光源 红色半导体激光 ( 最大波长 650nm)JIS Class1 标准检测物体 不透明刀片 边缘部位 17.4 0.1 0.1 13.8 4.6 ±0.05 8 3x3.2 8 6.5 ±0.05 13.2 19.9 200min 7.3 1 10 3 2 3x3.2 13.2 19.9 200min 7.3 重复精度 ±1μm 以下 1 移动精度 移动 0.5mm 时 ±20μm 以下 2 温度特性 0.1%F.S./ 显示灯 动作显示灯黄色 LED K1G-S15 0.52mm 6 1 34 7.65 7.65 2 34 使用温度范围 0 ~ 50 保存温度范围 20 ~ 70 ( 无结冰 ) 2 使用环境湿度 30 ~ 85%RH( 无结露 ) 抗振动 9.8m/s 2 (10 ~ 55Hz),X Y Z 各方向 2 小时 防护等级 IP40(IEC 规格 ) 连接方式 连接器导线 220mm 1 : 该精度规格在以下条件且环境温度 23±2 时测得 2 : 该精度规格在以下条件且环境温度 23±2 时测得 3.4 23.15 62.5 8.8 19.95 23 1 3x4 19.95 3x4 23.15 3.4 62.5 8.8 型号 SD WD 检测体位置平均次数 K1G-S07 20mm 10mm 检测宽度中心位置 64 次 K1G-S15 100mm 50mm 从检测宽度中心位置移动 1mm 时 型号 SD WD 检测体位置 K1G-S07 20mm 10mm 检测宽度中心位置 K1G-S15 100mm 50mm 从检测宽度中心位置移动 1mm 时 3x3.2 200min 200min 3x3.2 SD : 投光器与受光器之间的距离 WD : 检测对象与受光器之间的距离 中继电缆规格 产品外观型号 ( ) 内为线长 类型产品概要 K1G-L 3 K1G-L01(1m) K1G-L03(3m) K1G-L05(5m) K1G-L10(10m) K1G-L25(25m) 标准型 中继电缆 ( 标准型 ) 2 根 中继电缆外观尺寸图 ( 单位 :mm) K1G-L 5.7 19.9 6.3 6.3 27.2 15.3 15.3 K1G-R 1 23 6 2 19.9 27.2 20 20 20 20 K1G-R 3 K1G-R01(1m) 耐弯曲型 K1G-R03(3m) 中继电缆 ( 耐弯曲型 ) 1 根 8 50 L min 50 8 8 50 6.4 L min 50 8 3: 为电缆长度 屏蔽电缆末尾为 S ( 例 ) K1G-L01S 13-14 Model: K1G
控制器产品规格 配件 型号 K1G-C04 K1G-C04G K1G-C04M K1G-C04MG K1G-C04E K1G-C04EG 产品外观型号产品概要 81441421-001 控制器前保护盖 形状 可连接传感器 K1G-S 可连接传感器数量 4 台 显示 最小显示单位 0.1μm KG-S07 连接时 0 ~ 7mm or ±3.5mm 显示范围 KG-S15 连接时 0 ~ 15mm or ±7.5mm SZ-A03 传感器电缆 ( 另售配件品 ) 检测周期 ( 输出更新周期 ) 250μs / 500μs / 1ms( 切换 ) 1 3 模拟输出 4 点 :4-20mA 电流输出或 1-5V 电压输出 ( 全点统一切换 ) 数字输出 8 点 : 晶体管输出 NPN 或 PNP ( 全点统一切换 ) 2 数字输入 4 点 : 无电压接点以及集电极开路 NPN 或 PNP ( 全点统一切换 ) 通讯功能 RS -485(Modbus RTU) MECHATROLINK-III EtherCAT SZ-E01 铁氧体磁芯 ( 传感器使用 ) 2 个装 电源电压 12Vdc±10% 使用温度范围 0 ~ 50 ( 密集安装时 0 ~ 35 ) 保存温度范围 20 ~ 70 ( 无结冰 ) 使用环境湿度 30 ~ 85%RH( 无结露 ) SZ-E02 铁氧体磁芯 ( 控制器使用 ) 1 个装 耐振动保护回路 2m/s 2 (10 ~ 60Hz),X Y Z 各方向 2 小时电源反接保护 1 : 根据选用的电缆长度不同, 其可选择的检测周期不同 请参考下表, 根据检测周期选择电缆线长 检测周期 型号 250μs 500μs 1ms K1G-L 5m 以下 20m 以下 25m 以下 K1G-R 3m 以下 5m 以下 10m 以下 2 : 非集电极开路输出 3 : 关于 CE KC 规格品 (K1G-C04 G) 的检测周期中没有 250μs 选项 请务必按照第 16 页记载内容进行配线安装 关于 CE KC 规格品, 请就近向本公司支店事务所咨询 K1G-C04E(G) 产品中另附 2 个铁氧体磁芯 (SZ-E02)
控制器外形尺寸图 ( 单位 :mm) K1G-C04 48 11 130 43.8 K1G-C04EEtherCAT 48 11 130 M3 43.8 96 91.4 110 96 91.4 110 K1G-C04 端子排列 M3 K1G-C04E 端子排列 端子编号 A C F 1 电源 12-24Vdc RS-485 DA AO1 + 2 电源 0V RS-485 DB AO1 3 FG RS-485 SG AO2 + 4 DO1 DI1 AO2 5 DO2 DI2 AO3 + 6 DO3 DI3 AO3 7 DO4 DI4 AO4 + 8 DO5 AO4 9 DO6 10 DO7 11 DO8 传感器电缆用连接器 12 电源 A1 电源 + A2 电源 A3 FG C1 EtherCAT EtherCAT FG K1G-C04MMECHATROLINK- M3 48 11 130 43.8 传感器电缆外观尺寸图 ( 单位 :mm) 400min 17.4 0.1 0.1 13.8 4.6±0.05 6.5±0.05 96 91.4 110 0.52mm 图中 R 和 E 表示连接的传感器 R : 通过中继电缆连接受光器 ( 标识套管侧 ) E : 通过中继电缆连接投光器 K1G-C04M 端子排列 电源 A1 电源 + A2 电源 A3 FG C7 MECHATROLINK-III FG 15-16 Model: K1G
CE KC 规格品 (K1G-C04 G) 的配线 连接方法 K1G-C04E(EtherCAT) 的配线 连接方法 铁氧体磁芯的安装方法 SZ-E01 铁氧体磁芯的安装方法 K1G-C04G K1G-C04MG 将 V + 和 V - 两侧的电源线 ( 客户准备 ) 在铁氧体磁芯 (SZ-E02 另售 ) 上绕 2 匝 K1G-C04EG 将 V + 和 V - 两侧的电源线 ( 客户准备 ) 在铁氧体磁芯 (SZ-E02 内附 ) 上绕 3 匝 将传感器电缆在铁氧体磁芯 (SZ-E02 内附 ) 上绕 1 匝 共通 在传感器 ( 投光器 受光器 ) 的电缆上安装铁氧体磁芯 (SZ-E01 另售 ), 匝数为 2 匝 V V GND 1224Vdc SZ-E02 1 A1 FG A2 A3 K1G-C04MEG 1 K1G-C04MG 为 C7 端子,K1G-C04EG 为 C1 端子 2 SZ-E02 在控制器电源线 ( 客户准备 ) 上安装同包装的铁氧体磁芯 (SZ-E02) 在传感器电缆上安装同包装的铁氧体磁芯 (SZ-E02) V V GND 1224Vdc SZ-E02 A1 A2 A3 C1 K1G-C04E SZ-E02 2 仅限 K1G-C04EG 带屏蔽中继电缆的安装方法 带屏蔽中继电缆的安装方法 将中继电缆与控制器和传感器两侧的端子连接, 使用带电磁屏蔽的配管将两侧端子包裹 将中继电缆的屏蔽线接地 请使用带屏蔽中继电缆 (K1G-L S K1G-R S) 请将中继电缆的屏蔽线接地 EtherCAT 通讯电缆的安装方法 ( 仅限 K1G-C04EG) EtherCAT 通讯电缆的安装方法 通讯电缆 ( 客户准备 ) 请使用抗干扰的双重屏蔽电缆 剥离电缆两端的绝缘层, 利用电缆夹具 ( 客户准备 ) 将屏蔽构件进行接地 K1G-C04EG 通讯电缆 ( 客户准备 ) 请使用双重屏蔽电缆 剥离电缆两端的绝缘层, 利用电缆夹具 ( 客户准备 ) 将屏蔽构件进行接地 K1G-C04E 屏蔽构件的接地方法 屏蔽构件的接地方法 详细请参考使用说明书 CP-UM-5810JE 高精度位置检测传感器 K1G 系列铁氧体磁芯和带屏蔽中继电缆 详细请参考 CP-UM-5916JE K1G 系列控制器 K1G-C04E 使用上的注意事项
Attachment 关于传感器安装事项 参考信息 本内容为设备 装置上安装时所需各种部件的参考信息 请根据实际用途 使用环境选择使用 另外, 如有微调整传感器安装位置 切换工艺等变更位置的需求, 请考虑使用简易调节组件 组合示例 传感器安装支架 制作时请参考右图 安装支架制作参考图型号 K1G-S07 用 1 K1G-S07 2 4 3 3 简易调节组件示例 米思米公司制造 1 2 5 编号商品名型号 ( 米思米公司 ) 1 2 圆形支柱一端外螺纹 一端内螺纹 SETG12-300-M8-N8 圆形支柱两端内螺纹型 SETF12-200-M8-N8 3 底座用支架 CLTS12 3 4 6 4 简易支柱固定夹同径直交型 SLKDR12 5 标准 X 轴交叉滚子型 XCRS 系列 6 X 轴进给丝杠型行程选择型 XSENC 系列 有关上述产品信息, 请直接咨询米思米公司 17-18 Model: K1G
Memo
Sensors K1G-S07 Measurement Width 7mm K1G-S15 Measurement Width 15mm Controllers K1G-C04 4ch Controller K1G-C04M MECHATROLINK-III Model K1G-C04E EtherCAT Model