Outline 1. ITO 及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO 的導電原理 3. TCO 的光學性質 4. TCO 薄膜之品質控制 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發展
|
|
|
- 央 任
- 7 years ago
- Views:
Transcription
1 ITO 導電玻璃及相關透 明導電膜之原理及應用 勝華科技股份有限公司黃敬佩 TEL:(04) ext
2 Outline 1. ITO 及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO 的導電原理 3. TCO 的光學性質 4. TCO 薄膜之品質控制 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發展
3 Section 1 1. ITO 及各種透明導電氧化物材料的介 紹 2. TCOÁ õ 3. TCOÁy ³ 4. TCO Î 5. TCO q ues û
4 什麼是透明導電薄膜? 在可見光波長範圍內具有可接受之透光度 以 flat panel display 而言 透光度愈高愈好 以 solar cell 而言 太陽光全波長範圍之透光度及熱穩定性 具有導電特性 電阻比 (resistivity) 愈小愈好, 通常 ρ <10-4 Ω cm 一般而言, 導電性提高, 透光度便下降, 反之亦然 可見光範圍具有 80 % 以上的透光率, 其比電阻低於 Ω cm, 即是良好透明導電膜
5 純金屬薄膜 透明導電薄膜 Au Ag Pt Cu Al Cr Pd Rh }< 10nmÍÔÁ Ú ÔÁn y yô u yáž Ô ÔŠ ³ü 18Å thickness
6 透明導電薄膜 金屬化合物薄膜 (TCO) 泛指具有透明導電性之氧化物 氮化物 氟化物 a. 氧 ( 氮 ) 化物 :In2O3 SnO2 ZnO CdO TiN b. 摻雜氧化物 :In2O3:Sn (ITO) ZnO:In (IZO) ZnO:Ga (GZO) ZnO:Al (AZO) SnO2:F TiO2:Ta c. 混合氧化物 :In2O3-ZnO CdIn2O4 Cd2SnO4 Zn2SnO4
7 透明導電薄膜主角 -- ITO g j dà ëgz Indium Tin Oxide ITO d j dà (Tin-doped Indium Oxide) k 1934 ç j o l jâ ITO hs u }TCO 75% u}qï v jì u qï v m x ½ f ƒ ey Še eû (heat reflecting mirror) y e y
8 History of TCO 1907 «ÎžCdO ⠞ photovoltaic cells Spray Pyrolysis ä Evaporation ITO. CVD ªÄ SnOx á Sputtering ªÄ InOx 1980 magnetron sputtering γ Ä Š ä¹ Ð³ ò ÝITO Ð«Ý TCO  Ξ DC ITO ÎÄ ÑÁ á ªTCOÂ è ž ë â Ý ž ITO  ITOª ë.
9 Why choose ITO? 在 TCO 材料中有最佳的導電性 ( 電阻比低 ) 在可見光波段有良好的透光度良好的耐候性, 受環境影響小大面積鍍膜製程容易 ( 成熟 ) 蝕刻製程容易 ( 成熟 ) 成本低?
10 ITO 之組成及特性 ITO 組成在 In2O3/SnO2 = 90/10 時 最低的電阻比及最高的光穿透率 (mohm cm) nm (%) ý SnO2 ý (%)
11 ITO 之組成及特性 ITO 組成在 In2O3/SnO2 = 90/10 時 最快的蝕刻速率 Etching Rate (µ/min) Etching Rate (µ/min) SnO2 ý (%) ITOª ä ý 200ºC SnO2 ý (%) ITOª ä ý RT
12 Why Consider other TCO then ITO? Mar 02' Jan 03' March 03' May 03' July 03' Sept. 03' Nov 03' Jan 04' March 04' May 04' July 04' Sept. 04' Nov 04' Jan 05' March 05' May 05' July 05' Sept. 05' Nov 05' Jan 06' Î UMICORE Î
13 銦 (In) 礦的主要應用 70% Ð 5% nž é 8% 5% n ñ 12% Î Š
14 各種 TCO 材料 -- ZnO 系透明導電膜 主要成員 :ZnO (3~ cm) ZnO:In (IZO) (2~ cm, ûš ½) ZnO:Ga(GZO) ( cm, MOCVD ½) ZnO:Al (AZO) ( cm, ûš ½) ZnO:Ti 特點 :1. ZnO 2. i ITO É (> 200% cost saving) 3. dazo n}100% Ar û 3. èd³i ITO ü k m Cr Co ZnOž èd³
15 添加 Cr 於 AZO 之效應 AZO:Cr Ý ³ ³ Ð
16 ITO Patterning (Photo-etching) By acid solution By base solution
17 各種 TCO 材料 -- ZnO 系透明導電膜 主要應用 : 太陽電池 顯示器透明電極 觸控面板 表面聲波用之壓電基板 防電磁波干擾屏蔽 熱輻射屏蔽 (Low-E) 抗靜電膜 除霧發熱膜. 等
18 IZO 組成對電阻比之影響 Resistivity ρ (Ω.cm) ä ý RT ä ý 350 ºC ZnO/(In2O3+ZnO) ratio
19 Section 2 1. ITOe dà Á 2. TCO 的導電原理 3. TCOÁy ³ 4. TCO Î 5. TCO q ues û
20 TCO 薄膜的導電原理 (n-type TCO) E c E g Dorner level (E d ) E v Absent O atom O Sn-interstitial Sn-substitutional Sn In Sn + In + e- O o j V o +1/2 O 2(g) In V o j V o + 2e - Њ Sn In V o doner
21 ITO 導電機制 (n-type TCO) In 2 O 3 為氧化物半導體, 加入 SnO 2 作為雜質參雜, 可以產生一個導電電子 In2O3 晶格中之氧缺陷 (Oxygen vacancy) 一個氧空缺, 可以產生兩個導電電子 Band gap (Eg) > 3.5eV Crystallized at T > 150 ºC
22 (a) Amorphous ITO (b) Crystallized-ITO
23 TCO 薄膜的導電原理 材料之導電率 σ σ = neµ Њ n = ˆ ý ( TCO ˆ ) e ˆë µ ˆëmobility ˆŸ é ë ˆ ë žª TCO ³ ~ÁITO Ôç10 18 ~10 19 cm -3 Ç Ôç ~10 ~23 cm -3
24 TCO 薄膜的導電原理 載子的 mobility (µ) µ = eτ/ε o m * τ:relaxation time ( u û ûá ) m Á * ε o  要提昇載子的 mobility τ : 與 TCO 薄膜的結構有關 TCO 薄膜的 defect 愈少, τ (extrinsic effect) m * : 取決於 TCO 材料 (intrinsic effect)
25 TCO 薄膜的導電原理 ò ( ò, ρ) á (conductivity, σ) ρ = 1/ σ ohm-cm Š ë ë Ý«á ë Ý ò (surface resistance, γ) or (sheet resistance, Rs) Ø ð ò ò Rs = ρ (L/D W) ohms Ø γ = ρ/d ( ± ohms/ ) ö Rs = γ (L/W) L = W Š Rs = γ W L D
26 ITO 面阻值 (γ) 之量測方式 四點探針 :
27 ITO 薄膜厚度 (D) 之量測方式 α-step 膜厚量測儀示意圖 : ITO ä
28 TCO 薄膜的導電 比較 ITO 及銀薄膜的面電阻及穿透度 ρ γ = ρ/d D = ρ/γ ITO ohm-cm 10 ohm/ cm (2000 Å) Ag ohm-cm 10 ohm/ cm (18 Å)
29 魚與熊掌不可兼得 γ = ρ/d ITO 薄膜的導電性要好 ( 面電阻低 ), 膜厚要增大, 因此薄膜的穿透度會降低
30 Section 3 1. ITOe dà Á 2. TCOÁ õ 3. TCO 的光學性質 4. TCO Î 5. TCO q ues û
31 TCO 的光學性質 TCO} ½ÇÁ y u }Ç½Ç y u (energy gap)š Á ( p plasma frequence) š ûy Á u š Á½Ç λ gap λ p
32 TCO 的光學性質 ³ In2O3 SnO2 ZnO â ë ò Sn Al Sb é ˆ ý ˆ ý âý ω = (ne 2 /ε o m*) 1/2 Њ n ˆ ý e ˆë ε o ìšëœ ô m* «載子濃度 n 增加, ω 變大, 光吸收範圍向可見光擴展 EELS for ITO
33 摻雜物 ( 載子 ) 密度對透光度的影響 AZO (antimony doped tindioxide) Sb SnO2Š Sb Transmittance ò }-cm Sb2O5ä ª ë Wavelength
34 ITO 的光學性質電阻比 = 面阻值 x 膜厚 (ρ = γ x D) 低面阻值 ITO 玻璃鍍膜, 電阻比越低越好 考慮高穿透率, 膜厚的設計必須避免建設性的干涉, 所以 nd=(2m+1) λ/4,m=1,2,3,4.
35 Section 4 1. ITOe dà Á 2. TCOÁ õ 3. TCOÁy ³ 4. TCO 薄膜之品質控制 5. TCO q ues û
36 TCO 薄膜之品質控制 TCO 薄膜之品質需求 1. 高穿透度 吸收小 2. 低電阻比(以較低之薄膜厚度得到較佳之導電性) 3. 膜厚均勻性 4. 良好的附著力 5. 蝕刻製程容易 6. 耐候性佳, 受環境影響小 7. 無 Pin hole 8. 無 Hill lock
37 濺鍍製程對 Thin films 結構影響 各區域斷面模式圖 Zone-1 Zone-T Zone-3 Zone-2 From : Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, p.666, 1974
38 基板溫度對 ITO 結構影響 Intensity (Arb. Units) 50 ºC 125 ºC 180 ºC 2 θ (deg.) J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 10, No. 4 P1682
39 基板溫度對 IZO 結構影響 Intensity (Arb. Units) 2 θ (deg.) IDIXO œ IZO Â
40 鍍膜壓力對 ITO 結構影響 Intensity (Arb. Units) 0.08 Pa 0.18 Pa 0.31 Pa 0.50 Pa 0.76 Pa 2 θ (deg.) Thin Solid Films 303 (1997) p151
41 基板成膜溫度對 ITO 薄膜的影響 一般 STN-LCD 用玻璃之 ITO 成膜溫度 :300 ~ 400 C Color filter 玻璃之 ITO 成膜溫度 :< 220 C From J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.8, p 溫度 結晶性 τ µ 比抵抗
42 放電電壓對 ITO 薄膜的影響 電壓低 粒子撞擊基板能量低 結晶性佳 電阻比 In 2 O 3 2InO + O (trivalent) (bivalent) Color filter 玻璃所需低電阻比的 ITO 薄膜, 通常使用 RF+DC sputtering 製程來降低放電電壓 From J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.8, p. 1399
43 導入氧氣量的影響 From J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.8, p. 1399
44 導入氧氣量的影響 Resistivity (X 10-4 Ωcm) ý ò Transmittance (%) O2¼ f~ Ç ï d z Ž ò æ ü O2 flow rate (SCCM) 85.8 O2 ¼ f~ f u u } f æ Úó¼ Õ z m
45 From J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.8, p 添加水氣之影響
46 From J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.8, p Target 使用時間之影響
47 Nodules formed on ITO Target SEM micrograph of nodules formed on ITO targets at high power density From : B.G. Lewis, Brown Univ., SVC Conference 1994
48 Mechanism of Nodules Formation Particulate Contamination Redeposited ITO SID 96 DIGEST p31
49 Nodules formed on ITO Target In O X 1 x 1.5, 導電度低不易濺鍍 靶材密度低, 表面具有空洞, 靶材表面電場分布不均, 極易表面產生較強之電場, Ar 撞擊靶材局部能量太高, 將氧原子撞擊游離, 形成高電阻之區域, 漸漸堆積成形凸起 Particulate 污染物 密度 > 99%
50 Target 燒結密度的影響 (V) á ª ý (nm/min) 靶材密度越高,nodule 產生機會會降低 Â ý (%)
51 減少 nodule 發生 改善靶材製造方式 HP (Hot Press) 法 CP (Cold( Press) 法 ÏÂm ÏÂm m JUP! s) * m JUP! s) * Ð Iron Ð HP CP MMF
52 減少 nodule 發生 改善靶材製造方式 MMF (Mitsui Membrane Filter) 法 ÏÂm ITO s + DIW (SlurryÀ) AL alloy Ð ÂŽg i Mitsui Mining Smelting Co., Ltd.
53 減少 nodule 發生 改善靶材製造方式 ITO Target 製程種類與密度特性 製程法 MMF CP HP 密度 (g/cm³) 相對密度 (%) Mitsui Mining Smelting Co., Ltd.
54 減少 nodule 發生 改善靶材製造方式 MMF 與 CP 之比較 x MMF & d=98 CP i uä{ cathodes e x Mitsui Mining Smelting Co., Ltd.
55 磁場強度與放電電壓之關係
56 ITO 玻璃之蝕刻 Wet Etching Plasma Etching ITO ITO Glass Isotropic Etching HCl/HNO3 HBr FeCl3/HCl Glass Anisotropic Etching Reactive-Ion Etching (RIE) (COOH)2
57 ITO 結晶性與蝕刻速率 ITO ITO & IZO Etchant : HCl/FeCl3 (nm/sec) Ð (nm/sec) Ð ää ý (ºC) ää ý (ºC)
58 Sputter 製程對 AZO 薄膜之影響 º Ô Èi e yôá d Èie yôá
59 ZnO & AZO 比較及 Sputter 製程之影響 RF power 降低放電電壓, 薄膜沉積缺陷減少, 載子 mobility(µ), 載子濃度 (n), 電阻比 (ρ)
60 Section 5 1. ITOe dà Á 2. TCOÁ õ 3. TCOÁy ³ 4. TCO Î 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發展
61 TCO 薄膜之市場應用 ITO 之應用 (Ω/d) ï È (Ω/d) u Î < 1000 u v ïº ½á 40 ~ 300 g û uî ïº f ƒ À u v EL 15 ~ 40 Ðó Ðó <10 v v (LCD) u
62 Display Application PM LCD Transparent electrode Transparent electrode
63 Display Application AM LCD â Source Drain ITO Gate
64 Display Application AM LCD
65 Display Application OLED
66 Active Matrix OLED
67 Display Application PDP á Œ ✠MgOó õ ä Bus á Œ Œ þ ä ò Address ž É
68 Touch Panel Plastic Touch Panel for PDA/handheld devices Five-wire Touch Panel for POS, Kiosk, Industrial control system
69 Solar cell ( 太陽能電池 )
70 防電磁波干擾屏蔽 (EMI shielding) 5 Ω/ give a shielding performance of -30 db (at 1 GHz)
71 Electrochromic Window ( 電致變色玻璃 ) ZnO/Ag/ZnO, SnO2/Ag/SnO2, SnO2:F < 1 Ω/ required
72 Electrochromic Window ûy ( 電致變色玻璃 ) æ y é é + f y º
73 常用 TCO 之應用  SnO 2 :F Ag TiN SnO 2 :F SnO 2 :F ITO IZO ITO Ag Ag-Cu alloy SnO 2 SnO 2 SnO 2 Ag ITO þ é³á (low-e) þ é³á (low-e) šð EC windows ž ž ( ÅÊ) ü ( ) Ý Ã æñ 2 µm ( š ) æñ 1 µm ( š ) ØÝ ³ªœ Ž ØÝ ³ªœ á ÐÝ ³ª ý ³ ò ³ªœ Ý ³ ò ØÝ Ž Ý ³ª œ Ž Ý ³ªœ Ý ³ ò
74 ITO 及 TCO 薄膜未來需求之課題 高透光率 ITO 玻璃 極低面電阻 & 高穿透率之研究 超平坦透明導電膜 在塑膠基板成膜 ( 室溫成膜 ) 靶材回收
75 高透光率 ITO 玻璃 ITO + AR Coating ITO layer Low index layer High index layer Glass High index : TiO2 (2.3) Nb2O5(2.2) Ta2O5(2.2) Low index : SiO2 (1.46) MgF2(1.38) SrF2(1.44)
76 高透光率 ITO 玻璃 Index matched ITO (IMITO) Thin Film Devices o eûáõ ITO á IMITO match to LC Glass Glass ITO layer IMITO match to Epoxy H/L index dielectric layer Contact material
77 低面電阻 & 高穿透率之研究 STN display 需求極低面電阻 (<3Ω/ )& 高穿透率 以 ITO 薄膜需 >5000Å, 穿透度將 < 70% 研究方向 : 1. ITO/Ag/ITO ITO/AP/ITO for display 2. ZnO/Ag/ZnO for low-e window 3. GZO/AP/GZO 4. Doping Ag in ITO target 5. High density ITO target 6. Low voltage (<200 V) sputtering 7. Pulsed power supply to avoid nodule growth and arcing
78 低面電阻 & 高穿透率之研究 -- ITO/Ag/ITO Stack 50 nm 50 nm From : FEP internal report, Sept. 2000
79 低面電阻 & 高穿透率之研究 -- ZnO/Ag/ZnO Stack ZnO 40 nm Ag ZnO 16 nm substrate 3-layer stack ZnO 40 nm Ag ZnO 100 nm Ag ZnO 40 nm substrate 5-layer stack 250 ºC, 30 min annealing From : J. Appl. Phys. Vol. 39, 2000, p.4884.
80 低面電阻 & 高穿透率之研究 -- 新的摻雜材料 ITO Sn usn4+ kin3+ n ó ~¹k Á õ à IMO (~Mo6+) 1. fá n ä{ Á Ô 2. f τj µj σj 3. f Án yæ e ½Ç O Sn-interstitial Sn-substitutional
81 超平坦透明導電膜之研究 OLED application: Rough surface cause current leakage of OLED devices Metal (Cathode) EIL Organic Layer Spike Point Discharge ITO film Leakage Current
82 超平坦透明導電膜之研究 CMP 研磨加工 (Ra~30Å) (Ra<3Å) AFM images of ITO films for original (left) and with CMP process (right)
83 超平坦透明導電膜之研究 Benefit : Lower-temperature processing (<50 c) Smoother film surfaces (<1nm rms) Good conductivity (<2 x 10-4 Ω-cm ) Better adhesion (>1000 psi) Application : OLED Device Plastic based Display substrate Cesium injector target magnets M - Mo M - CS + Ar + CS + Negative Sputter Ion Beam Cesium injection Magnetron cathode
84 超平坦透明導電膜之研究 New ionized PVD, Negative Ion Source (NIS) technology for super-smooth ITO deposition Å (Ra ~ 7 Å)
85 Flexible display Large area display 塑膠基板成膜研究 ( 低溫成膜 ) 低溫成膜之製程控制 : DC+RF sputtering PLD method Ion-beam assisted Post-annealing Flexible OLED From Pacific Northwest National Lab., USA
86 Roll-to roll coater -- ITO film 塑膠基板
87 Multi-chamber for multilayer sputtering by roll coater
88 ITO 在塑膠基板成膜之困難性 Dimensional stability of plastic substrate Heat damage of plastic substrate by plasma irradiation Outgassing from plastic substrate Adhesion of coating layer with substrate Thermal stress and internal stress - CTE, elongation, - Bending property
89 薄膜應力造成塑膠基板彎曲 薄膜應力 : Tensile and compressive stress α f > α sub α f < α sub Tensile stress Compressive stress
90 低溫成膜之後處理 Annealing
91 The XRD pattern of (a) In 2 O 3 (b) ITO films annealed at different temperature.
92 ü Ä ITO (R rms = 0.29 nm) 140 ºC þ ITO (R rms = 0.48 nm) ª ITO ð ý Rrms 2nm
93 Conclusion Transparent Conductive material is a key point in the development of optical-electronic device in future. Approach higher light transmittance. Approach lower electric resistance. Approach more process feasibility. Approach low cost material.
<4D F736F F D203520A979C4F5BFA4B941A7F8B0FCA46BB56FAE69A4A7B357B9BA2E646F63>
é é {Ê ÇŸ º Ž ö ùð  ˆ ùë Š Á Øë É ë É Ž Éë ²  ˆ í ë ë Ž É ë Ü â Î ˆ â à œ ñ ß Â «Î   Ž Ð WTO é ë ²Ê Â ˆ «ë ó ˆ ÃÎÿ ² á  ˆë Ý Ý ˆ Î ÿ ã éç w u é Ú â  ˆëœ Ÿ ª «ë Ð ë  ˆ ½ ³Î  Á â  ˆ Ø Ÿõ «214 5,752
美育211期_瀏覽用
To Nurture a Sense of Beauty: Perceiving Beauty by Reading Books Wei LIN + * &, 211! "# $ % # & '( )&( +# (* " -"./ 0 @A C 1 2 8 + 9:;:?= B >?D# E 9> 1 3 3 4 4 5 5 6 6 7 W N M ih d j ^ 5 5 5 5 5 5 4
Microsoft Word - 06-第6章.doc
6! ²e Ú 1. š æ í ë í «Í š æ ëá «Í šðë Ÿá ëš Ž ë í Ð Š ë Ô ñ Šá ë ˆ í æ í ë á á Ñ ëš ÐŠ õ í š æ ëá þïíöšð 2. á «Þ³öþÐ«á ³ ² áë ž Á ˆ ë ã á Ð äð Á Ò ëá µžðí ë ë í Òë ᪠ᚠë Á ë ã í «³ áë Î ÈÐ á æ ë Îí ªÒ
Microsoft Word - 05-劉得佑.doc
ý o 54 2015 12 h ð 195-206 DOI: 10.6243/BHR.2015.054.195! oô j~ ì 1931-1945 v åž 1931-1945 à hì l À  ¹ ƒ làâ là 2013 ð 312ð 2006 Ÿá ² ÈÞÐ Œ ë á Î Œ ª Šš í åë Œ ë «ÞÉ Š ˆ Á Þ ë Ý Ï ë 1 í È ž Œ ë Ȫã Ð
Þ ìe v û Ô Ç ˆ u u Á Á ig u ì Á Õ Õ} u k ä{ ä Õ ó Á ò { Ù~ˆ éó ä½áä{ ä }à ò u Á Õz u n u Áu ò z Á ˆ u u Á g u { Á Õ h i. ð ~ h i. ~ ~ ~ d Á ³ { e
Èx j u u ˆ ì s mø ó ðy Ô Ç u Á u ò } Ì ~ d Á ³ { e z Ì u p Â~f u ä k u Á Õ }  ² d ºó ûý  hïá u Áu È ûlš¹u È Á j v ˆ u ;mø Áu ò ~ Á ³ u ä p ;mø d ó ;mø ó ûý  h ïá ó Áu È û} u È Á ì ² dº k à s Txbjo)2:95*Áu
Ÿ ¼ ë ëá ˆë ã Ž Ξ É â Š Ξ ëôœ¼µ ëÿ ð Þ â æ Ξ ð â æ Ξ Éâ 423,146 Ÿ 436,371 ž 11,213 ò 29,646 ž 5, ,356 Š 5,531 ö 4,182 æ 491,506 1,68
23 Ÿ ï ²¼ññ Š 103 7 29 11 Ù 8 Ø ˆ ± ˆˆ ž Ì ñ ñ ± ˆˆ ž å 11 Ù 8 Ø ˆ ñ þ Ú ± œ¼ 103 1 6 ³ªã Î Ú ðœ¼ Œ œ¼ ñ Ô ë É ë Ž ˆ Ê Ž ó ú É É ž Ú ç ë É Íµ Ì 2017 ˆ ª Ö ³ ð á É Š þ ë É É ë ¹«Ž ªãŠ ë š É ë Á Á Á Á Á«é
<313033BDC6B8D5BA5DB3E62E786C73>
vw 103 Ô e } µu 111 u åž j s 3 ( u ) 1.1110003 Šöy 2.1110006 3.1110007 111 u åž j 3 1.1110009 hõg 2.1110008 É 3.1110005 Ž 103.03.21 1.s u 2. ž u h } e  http://exam.nctu.edu.tw/103/103mastercheckin.htm
Microsoft Word - JA 旅運經營學-講義-01.doc
n dº Ájì l h k àj à Ð Ùkp 36dÁ d l ê Ì à k và ç n 6 dáiï Ù r ì } ì Ç l dà 211 kìe 212 217 n e}h ªp d ä dº~ dº dº l iï à Î p ìe s Ø û «i 21&k n ï y } Ùs ïìá d yzàìp e Õ }Ì ïá ï y Õz s Ø e û e 212 217 Î
Microsoft Word - 103Pan01.doc
p ž 103 Ô µuæ 214/14/35 1.s eæ ô 2. ž s u h } e  http://exam.nctu.edu.tw/103/103ustcheckin.htm Û h s à { o  3.w åž w åž w ž w É åž u http://exam.nctu.edu.tw/103/103ustcheckin.htm w u åž Â } o ï  ¼ Ûäž
Microsoft Word - ACA doc
š Internet ü óë Î á TCP 80 HTTP 443 HTTPS ëž þ Ð Þ«ë š Ø Guest Ý í «Òë Í ë œ 13-2 Windows Server 2003  mh Ç Windows Server 2003 Ý ž þ Ýë ΠΞí ë Windows Server 2003 ž Kerberos Ξí Ð Windows Server 2003
Microsoft Word - 103Pan doc
p ž 103 Ô µuæ 214/15/13 Á 1.s eæ ô 2. ž s u h } e  http://exam.nctu.edu.tw/103/103ustcheckin.htm Û h s à { o  3.w åž w åž w ž w É åž u http://exam.nctu.edu.tw/103/103ustcheckin.htm w u åž Â } o ï  ¼
Microsoft Word - CE 國文-講義-01~02.doc
i Ñ Ñ s ˆá«ýÉ ë Š µ Š ÔÔ ã á Š Ï ššë Š À ss æ š æø Š š ³ ˆ ˆ ˆ ˆ ˆ ˆ ˆ œ ³í Œ ë ë î Ð Ã ŠØ Þ Š œ ³í ë Ù± Ÿ É Ÿ ë Ÿ Ÿ œ Þ ë Š¾ë ëîô Ÿ ½ ±í ž ñš A «é C Í C B D gg 1 s ûà ý {rž! s ë ë½ Ô ññ ž ò ö ìßæ ã ŠÉ
Microsoft Word - 会行党_2014_12号-OK.doc
i k á ÀŒ» ~st v lwkno e~ z oœ ür Ž ç r± ¼~ Ÿd é~ ~ Ï» «Èn Ý»Ð Ú ÍŠcœ Ð Å Û x» d c t c l ~ Ï»Ò ~ Ð ~ «{ d g»â Š jòâ ¾ Š g»â ý «ücè «º d g»â À~ {~ p º Ð î»ò t l {x»ò æd Ò Ö t l Ï»Ò 1 µé k ~«è¹ f¹~ xq i ~
<4D F736F F D20BBE1D0D0CDC D36BAC52DB9D8D3DAB1EDD5C C4EAB6C8C8ABB9FAD7A2B2E1BBE1BCC6CAA6D0D0D2B5A1B0CEE5CBC4BAECC6ECCDC5CEAFA3A8CDC5D6A7B2BFA3A9A1B1A1A2A1B0C7E0C4EACEE5CBC4BDB1D5C2A1B1A1A2A1B0D3C5D0E3B9B
i k á ÀŒ» st v g Œq w iz Ÿ y ž i ŒŸ ~ v ª v ti o p c c g»â» «g»â ~ õ ŸŠ c{î o n À { Î lý ~ À Ú r È Ðƒ d Ðc í ƒ «g»â òw Š «g»â q ³ rc q É rcq rcq r x» st Û c 1 À ½ d Ð í À { ¾ È í í ž cè í Î qn È r½ Û Ò
Microsoft Word - 08-第8章.doc
8! ² Ú 1. í ë þ ˆ ò ˆ ³ â à µ (1) Ð «Í ë í ë Î Ð áëñý ¼ëæ Ø á ë ë ý Î Ú áš í µ í ª ë Ú ã Ð áþ ÎÁ ëá œàª Á ëá ³ Îí ð Î Š «ë Î Øí Ý Î µ Á í œ ò ÐÞ Îë ö Š À þã (2) í Ыë ò šë ë éç ë «Í žîµ Ý ² š ë Ž Î ªñ
Microsoft Word - 合併--3歷史、地理、公民.doc
qv s 211 Ô Ý Â æ d Ã Ã Ô Š ý Âþ ø Î À ë Ê ( Ÿ) ñú ( )Ê ( ) öˆ ( ) ú (œ) Ì éâ Ž Í ë þ ½ (A)Ÿ œ (B) œ Ÿ (C)œ Ÿ (D)œ Ÿ ÄØÎ Š ú Ÿ ( )Ÿ š ú Š Á É (A)Ÿp ó (B) pê Ô ª Š (C) pá þ öí áë ˆ (D) p š žë ( ) ( ) ý (
Microsoft Word - 07-第7章.doc
7! 7-1 AIDS Ϊ Š Š Œ ý  ²Š ÿ ï 2 Œ  Š è Ÿ Ãs j Þ ÞÒë š Ûþ á Þ ëªœ Š 7-2 œ ÞŒ ë ² ö Ý Ý «Í ÿ «Í Ãs j ŠÐë í 7.2 7-3 ë â ó œ Š á PI IRR æ NPV æ Íë œä æö ²ë ù ö NPV æ Œ ÍëÄ æö Ãs j NPV æë Ì Ð æ Ú 1. â œ
國立中山大學學位論文典藏.PDF
國 立 中 山 大 學 物 理 學 系 研 究 所 碩 士 論 文 Zn1-x-yLixSnyO 薄 膜 成 長 與 物 性 之 研 究 Study of Zn1-x-yLixSnyO thin films by growth and physics properties 研 究 生 : 楊 恭 尚 撰 指 導 教 授 : 周 雄 博 士 中 華 民 國 九 十 九 年 七 月 致 謝 本 來 對
<4D F736F F D A440AFEB2D313820AC49BACDBDCBA142BDB2A4E5ACC2A142BAB5BFB7B861A142BC42ACE7A9B52E646F63>
o! w! é! Ù gá å± ºŽ ë ë ³ á 1949 ë Œ Š ª ë â ËŒ 60 ë ë Á µð Î ë ëé ð Î ë ë Ü ã ãã Š Ø ž Ý ó ÿ í Ñ Î É ð Î ÒÐ ÿ ü â ø ç žé ë Ò bio-psycho-social approach ë ª ë ü ë þš ½ â Ê ž ý â ³ Î ë ³ Ï þ Ø œ ÎþÔÝëµ
Microsoft Word - 0-序.DOC
9 8 ž ñœ Œe Œ Å Œ ß ßÐ þ È ë Š À «Š ex: ó þ ð šë Ò þ«œô Í «2 Ô ëñý Ô õ «Ÿ h Ð Ðë j maybe Š Ø Ex: ( ý) ý ˆ Ä Ž ksp EA ç Ž mp blah blah * «³þ Š þ¹ ³ ª «± ± ž ð ª j Í ½ A B ŸŠ à ¹ 3 * ª Š OK Nice 1 2 š ¾Ö
untitled
林 Dr. Chia-Feng Lin Department of Materials Engineering National Chung Hsing University Phone: 04-22840500#706 E-mail: cflin@dragon.nchu.edu.tw - 1 a-si TFTs Color filter TFT substrate Polarizer Backlight
<4D F736F F D D332DA57CA7DEA447B14D2DBDC3A5CDBB50C540B27AC3FEB14DA447B8D5C344>
1. Ì µm Â È l u p 30 dîv (A) Ý (B) ª (C) Ò (D) Ž ß 2. p o s ̪ h Ûv± (A) l dþ z yd (B) l Þ¼ þ (C) ª ô l ß Þ (D) o o à Š3. p ù Û hv± (A) ð k (B) ƒ ƒu (C) w ts (D) y ë Ýx 4. n (body image) Ë h Ûv± (A) k
Microsoft Word - 3 國文.doc
qv 102 Ô Ý gæ 2.31 à 4 32.41 à 3!!!!ý!!! ( ) 1. Šë ²íå (A) ò (B) (C) Æ ç (D) Š ( ) 2. Šëå ª þ ² ¾ (A) Êk (B) j k j (C) Ž k ˆ (D) k ( ) 3. á ë ²í (A) žá ë É Ÿ æî é (B) Þ É ò é Ÿ ÞÉÞ (C) â áð ë Š ë Ð (D)
< E9197BF81408C9F93A289DB91E882512E706466>
Pu CaF 2 CaF 2 CaF 2 (nm) (10-26 /m 3 ) 0.5597 0.5471 0.5396 2.28 2.44 2.55 >> > Pu Pu (K) (10-6 K -1 ) (W/m/K) (GPa) 3643 3123 2623 9.67 10 11.4 14 (300 K) 6.2 (773 K) 2.4 (1773 K) 9.8 (300 K) 4.8 (773
Microsoft Word - 136專-5 秦燕.doc
í!! uˆ u ºŽ ë ³ ñµ Ÿá ªë ž ë Î áª É ˆ ë ³ÈÞ š «ë ³ ³ Ÿõˆ ë È «26 Þ Ã žˆ ÈÞ «2500 ë ³ Í ë æë ñ 1997 Œ «4,070 Ò ë u ë ë ž ñë ë ž šñ Š žë ë à Á«É 180 ë ³ Ý ë ³ Ò Á ë ³æØ Ã ±ë œ Š Ò š Ø«ë ³ Ñë ³Ñë ª ë ³ ë
Microsoft Word - 135專-6 馮文盈.doc
í s Ã Õ ýft ý gã ºŽ ë Î ëš ë ŸõŸ Ú É¼ žë ³ Îѵ ³«š Ð ö žš ë ªÎѵ ž Î Š Ÿõ Š Î ë ë Š ë Œ ë œ ëï ò ò ž ÝÝ žë ã Ï þ Ï Ýó ³ Ý á é ž ò Ý Þ Ä Œ Œë ž æ ëá Á ¼ Î É Á ëñµ ª ë ž ª Ú ž» ë Í š ë Í ŠÊë¹ ý á ž ë ë æµ
Interactive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add On) On-Cell In-Cell Hybrid
Date : 20130531 Time : 13:30~15:00 Speaker : (Chen-Pang Kung) Cellular : +886-920-148235 Email : eric_kung.tw@yahoo.com.tw 1 Interactive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add
Microsoft Word - FR 消防與災害防救法規-講義-01.doc
º µ º Õ ¾ 2 2021 œú ½ 2! ½! Ì! 2028 œú ½ 3! ½! iœ 2! 2035! 2042! 308 œú ½ 4! ½! iœ 3! 3025 œú ½ 5! ½! iœ 4! 3032 œú ½ 6! ½! iœ Û p! s u! ½ Ì! 3039! 408 œú ½ 7! œú ½! Ì! œú! 4025 œú ½ 8! œú ½! œú ì p! œú!
Microsoft Word - 134專-23 卓春英.doc
í s} Ö s Ãq  Ùë ºŽ 2010 ˆ Î Ì ÐŠë ãµ Îë ³ à Îþãµ µ Ú ãµâ Ñ É ë ˆ Ä Œ ˆ Î ãµ ž ãµ Ñ ë Ð «ú Î Îþ ² «ëëã È Ì ÎÁ ¼ ëãµâ œ ç â Ì Ã ã ë ëë ãµ Úãú ëë ãµ š ö ë Þ Îþãµ ---- ˆ ãµ Ï ãµ ãµ Ê ãµ ãµ ë ã µ Î Ú ± óªˆ
<4D F736F F D20A4E9A5BBA57EA5E6A448ADFBA6D2B9EEB3F8A7695FA457BAF4AAA92DB2D3A9FAC5E95F2D6F6B2E646F63>
ò œš Ñý ð 7 8 Ÿ õû œãí 7 9 œš Þ þ š Þ±Ù Þñ Â Í 7 : æ œ Í ÈŠ þ œ Í ÈŠ È œ œ ñ Ç Í œš þ š ˆ ØÝ Í Í Ø Ÿ š Í Ø œ œ Í þ Í Â¼ ñ ² Œü 7 21 š 7 22 ð 57 ò ª 33 )3121 *ý š ñ ë 2/ ª 33 )3121 *5 2 31 3: ) Ô 67 )2:92
Microsoft Word - 01韓碧琴
É i 1 26 w w 77 5 iná ¹ v! k Ý ¼! ê v j! ƒ! v p! ƒ m }ü Ð Ãv! s g } if! ÿ ç ò ¼! Õ ˆß à ô n ˆßµ~! j æ! k Ž và ñ! g Ò ie µ! º w 78 1 iná ¹! k õ k ¼! ê v «æ! š¼ý v j æ m Ãvà! s ¹! g! ÿ µ y! k ÿ! Õ! k { g
08-01.indd
1 02 04 08 14 20 27 31 35 40 43 51 57 60 07 26 30 39 50 56 65 65 67 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 ω ρ ε 23 λ ω < 1 ω < 1 ω > 0 24 25 26 27 28 29 30 31 ρ 1 ρ σ b a x x i +3 x i
Microsoft Word doc
wþ ˆ Ì åž s sì j žjy é s h h 2002/10/30 wþ ˆ Ì åž 1 ï Ì } n åžh½ í p ì ˆ d ä d Ì d dæe Ô 2002/10/30 wþ ˆ Ì åž 2 ò -1 } n 1. Ô Õ } ì m k Ù m Õ Ô Ô { ï 2. ì û }h Ô Õ ì ì ù d ì Ì k ä 2002/10/30 wþ ˆ Ì åž
Microsoft Word 李瑞金.doc
! µ! Ø v½ û! ŒÚ x¾ ý! Ç ºŽ ÿ Þ Žð ë ù á ë ½ á š Š ë šë ãã Éá ë Ð Ø ˆ Š Ð Š ˆÐˆ Î «Þ º«Þž «Þ ñ Ø í «Þá á Ô ó á á ª áá l Ñ á «â Ô ž áá áá áá áãó l á Š á á «á á ý á á ý á áã½ á á±½ á á á á Ô á áã á á ý ý
Microsoft Word 四技二專-家政群專一試題
第一部分 : 家政概論 1. ð éç ¾ jð Ì o Õ éç éç ÓŒ w Ò kv 1994 n n jî (A) éë ô Ô (AAFCS) (B) éë (AAHE) (C) éç Ô Ô (AAHTS) (D) é éë (AAHDF) 2. â hé â ið p w Æå (A) Ú (B) (C) (D) ú 3. p é w h Ûv± (A) ¼ w ÎÒ (B) w ~Þ
Microsoft Word - ok-会协函 号.doc
k á} v x Œz Ÿ m~ ~ gv oœ c c g»â»» st»â { ü»â «ÃÈ î Ãâ»Â c «Â c c þ» w o»â Ð { g{ x» st w o»â Ð { g{ Éí Ð x» st d ð Ȼà Éí Š { Ȼ d À g»â»»â Èc n ÅÐ d Å d î e Ô 1 î FDL]T#FLFSDRUJFQ œè w o»â Ð { g { x
Microsoft Word - IV 民用航空法-講義-01~12.doc
Œ ÛÕ tç ï Ñe¼ ¹ Ñe¼ uv ľ ï µ µ q m¾ö Ì ¹ ¾Ö ~ e tú ñ uv Ä¾ð ¹ ð Î Ä Ä ø Ä òˆ y ò { uv Ä Þ r Ä µr uv Ä ò Ú Ý¾ ž z ž Ñ Ù Î Ù ÉÎ q v ¹ v } gg 1 s ûà ý {rž ! tç ï Ñe¼ ¹ µe dü e ø u ø þ ò ò Ä Ê uv ľ ðîú f
Microsoft Word - EH 入出國與移民法規-講義-01.doc
} Œtçw j ¹ uˆú e Œ q çw} ˆÚ¾æ n f n f u¾ n f u¾ î u¾ ˆÚ ¾ æ e¼ n f u n f u n n ¾ n ¾ à ¾ æ e¼ m v m t u ¾m v h uf v u ¾m ±å u ¾Öæ t e¼ v ˆÚ ¾ n f u n f u ˆÚ ¾ Î ˆÚ e ˆÚ n f u n f u m ˆÚÒè ˆÚ n ¾ n ¾ î
Microsoft Word A_cht.doc
用戶手冊 中文 APC Smart-UPS 1000VA/1500VA 230VAC/120VAC/100VAC 750XL/1000XL 230VAC/120VAC 塔式 不斷電系統 990-1062A, 11/01 簡介 APC (American Power Conversion) Ô ë š Î ëš È Ô APC ë ø Ô Ú ë Ô Îó Š ëû APC Š È (UPS) ñžîì
Windows Server mh 5 CHAPTER indows Server 2003 Î Íó ³ë³ È W ž ªë Í Ò Ñá ACLs «ë Windows éœ Windows NT Server 4.0 Ô Windows 2000 Server ó «Í ë Ì Intern
Windows Server mh 5 CHAPTER indows Server 2003 Î Íó ³ë³ È W ž ªë Í Ò Ñá ACLs «ë Windows éœ Windows NT Server 4.0 Ô Windows 2000 Server ó «Í ë Ì Internet Connection Firewall ë Windows Server ë Ý õ Windows
ð œí ð ñ M1100 æ M1200 ø M1300 M1400 M1500 M1600 M1700 Ž M1800 M1900 M2000 ñ M2100 M2200 Ð M2300 ˆ M2500 þ M2600 M2700 M2900 M9900 К
œ œã ðœèòœëðš Š«ñ íœ ÐŠ í«œðš ý «œá ³ œë ð Î ë ª Þž š««œñ Ÿõ œ Œ ã ù Ð ÍðÞ ë Ð ë Î ë ˆ ³ œšë ë Î ˆ³œŠë ³Ð ³«³ ë ñë «Œ ˆë ÍÞ«œÎˆ È«œÈ ë œ³þ «œë ð Èœð 88 89 90 91 ³ 14 29 42 77 162 19.04 28 21 20 37 106
Microsoft Word - 产业协会4.doc
wz gzi o w er } Ê «Œ jòâ õ Æmq «r ««î w»» È Çx >@ cw À Ä ƒ! x >@ cw Ã Ä ƒ ì x >@ cw Ä ƒ ì x >@ w Ä x >@ Î «i  d i À Ä û e «Â À Ä í Î «j Ò «i À  ƒ Èí À  i À Ä n É À æ Ò«Þ c ìc c Ä À Šd Û i À Ä Èí «È
Microsoft Word - LE 圖書資訊學一_圖書館學_-講義-01.doc
r e øè µå fš (104 õá) ž ž ð Ê ± Ú ë Ð âë ù Ð â ë æ ë š âë â ë ë âë ž ˆ ë â â ë âë ù Ð âë ù âë âë â ë ë ô gg 1 s ûà ý {rž âë Ð æ âë âë æ ââ â Í â ³ š âë â ë ù Ý ë ž â í â â뵞 ë áª É ë ë ë ë â â ŽÈ ë â
Microsoft Word - 会行党_2014_7号-OK.doc
i k á ÀŒ» ~st v ~x z Ÿ iv roœ ür Ž ç r± ¼~ Ÿd é~ ~ ¾g ~ ˆî ¾s Î õ lý ~ ù g ˆ êdã»â ~ È ~È d ò lý ~ {c Ï»Ò Ð Ÿ»Â ~ È Þ w «g»â ~ È k x «g»â ~ Ú Û Î ï»â d É 1 ƒr c Ç Í Ð cð c n Æ n û cu cf c ß ƒd «Î ï лÂ
œ Ù±ì Á Œ 103 ü îì Á ü î ˆü î ì î ë óá Á š Ÿõ š Ž ë ³ Î Á ë ì Î áéç ì é ý È óé É ³ Ÿ á ± ³ þ ³ Ñ áì Í é é Í Ì þ Ø É É é š É ÐóÉ Ÿë Ÿ Ÿ «Í ášš ÈÔ ë ß 5
11. õuà ~ Êì ŸÒ ä ɼã¼ñú é ñ ñ Š 103 5 6 11 Ù 7 Ø ˆ À Ê ÊŸì œ žë Í Ÿ ð Ê é šóé Ì š é«æ ë é é ž ̳ é ó É óéü Ÿá ë çšâ ËŒ Å«ë Ý œ Þ áë òæêç é ÞÅ ò žë œ Å «ëó ž éëó óé ðãªã Î Í ë é Í á ë «Í žë é Ÿá ë Ž ë
Microsoft Word - 会协_2015_1号.doc
k á}» st v Œz Ÿ x v oœ c c g»â» w»â Ä x «g»â» Æm Ã Û»Â Æ m Ä d Ö Ä oø c c g»â» Æm e Ä cà d Ð Àß «Í Èc½ ½ 1 Ä ([FHO ò ([FHO À {Û Ä d d ¼ c Ä œ þ q ì r d Ç } Ä Éxq ì r d ò ~ ~œò d ò ¾ d í àóú å c d ~ ò½
<4D6963726F736F667420506F776572506F696E74202D20A5FAB971A562BEC9C5E9BB73B57BB35DB3C6A4B6B2D0>
光 電 半 導 體 製 程 設 備 介 紹 電 子 光 子 能 階 升 授 課 老 師 : 林 彥 勝 博 士 夸 克 原 子 核 E-mail: yslin@mail.cna.edu.tw 能 階 降 Content 潔 淨 室 (Cleaning Room) 薄 膜 沈 積 (Thin Film Deposition) 化 學 汽 相 沉 積 法 MOCVD ( Metal Organic Chemical
<4D F736F F D203131B3FCA451A440A142B941A740A7EFA87DAAABBC78A6AC20B8C9C076B64FAC64A6F420B0F2B7C72E646F63>
È! Á ÝŠ! Ês 90 2 h 20 høpý} 9060327 ì Ês 90 3 h 7 høpý} 9068475 ós Ês 92 11 h 5 høp} 0920074892 ós Ës 100 8 h 31 høp} 1000169689 ós 7 e 3 ÈÆ œíˆ «Î œî Ø Ø œþ³áéé ã ï ã Ð ³é ³ÁÉé«æ Àã ÊÍžñÝãÝØŠ ÌØÐ ± Ê
Microsoft Word - 5.與「因數」對話.doc
k 89 k! ³ ³ ë!!v! œ ±áï Ð â á ë ± žë ÎÌŠ ñëë ± ë ³ ³ Î ò žëª œ Î â ë ý Ü ó œ ž «35 Çž 15 ˆž 20 Î ž þ «åô «ù ùë žˆ Þ ³ ª ¹ ª ö«á ë ë æ ë Ü ë Ü ž æ ª ë Ü ë ö æë Ü ½ ž Þ ë ÜÎ Š Š ï š ˆ ë ëüˆ à ë Ð Œ Û Œ œ
10-03.indd
1 03 06 12 14 16 18 é 19 21 23 25 28 30 35 40 45 05 22 27 48 49 50 51 2 3 4 é é í 5 é 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 é 20 21 22 23 ü ü ü ü ü ü ü ü ü 24 ü 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38
Microsoft Word 四技二專-國文試題
一 選擇題 ( 一 ) 綜合測驗 20 題 1. hj! mþ v± hòi (A) ø ð (B) Þ Ô (C) Â Þ l d (D) Ï qj û ª ªt 2. h v± p ym (A) Þg ð m»k Õ â Î (B) á Ç ô o ª (C) ï } p ƒ s j (D) w Þ š é 3. hj! m w j v± }p  (A) Å s l ( s Õ ) (B) À
Microsoft Word - 1 自然.doc
qv Ô Ý æ ý Ÿ 3 d z 61 d 211 d 2/~n à Á dï ¼û Ù}ˆ Á )B*u )C* j )D*u j )E*o 3/Ç } ð k z À n é )B* )C* )D* )E* 4/ Þ Á àˆ )B*g )C* )D* )E*gð 5/n àú ðàm v ðî Á jì ˆ À )B* u )C* Ä )D* id À )E* 6/ ÁÈ Û ý ká m
Microsoft Word - 会协(2016)36号.doc
k á}» st f ¼~ é~ºpíö ¼~ Ÿd ä Ê { q³u c c g»â» g»â ü Ãâ Á u n«q r Å È» fòw g»â È Ç xd Ç É Ç ä»d î Á ð t WOZDQJ#FLFSDRUJFQ 1 Ò ù œè g»â È Ç w g»â È Ç x f «g»â» 2016 8 12 ¹ ²È gù¹ k g»â»d «g»â» 2 œè ¼~ Ÿd
Microsoft Word - 04國家圖書館-吳英美.doc
é ð ü Žìé ï â 101 Íæ æø ý ì Á ±Ð ± ù 1 Ûñ á ± Ñ ž Ð Š Ò é 2011 Ò Ð ³ BV 2 ˆµ ð ± â ñ 2012 ± é â ë ª â Ì ± â E-Reading: Turning Library Green É ñ È ð 100 ã Š ë Š 3 µíë â Bavarian State Library ³Ñ â RDA
û y ìx û y û ½ mø e z Ù y Ì e z û ½ 2 e 3 û ìxdí û ½ 2 2 ÌÝ }Ù p ½Éú s u à û í ú y Ù d ìx~ 1. à à à ½k { ó w{ Ë ½yu u ç Ës u à Ë Ë à ž½ Ðç Ë Ã ã ½ Ø g
Ì œ y qø±½ Ç Ùyu jy feíyu û Õ Ùu ûí y ûˆkì k û} vásà s Í às s ú úõ í y Ô x x mø x xe Š 𜠺 x Ù x v û à v û à Á ¹äÉ Ã ž ~ˆ v û v û Õ Ç ÙÕ Ù â Á àn à ú e ï Á ž û vìxe û ì õì ~ û y Ð û y k û ½ y Ð zndà ª
Microsoft Word - 08佳作教案.doc
Ã; vpíû jy Ÿ ý P h h j u u ˆ.. ± ò j v jâ yu u Á Õ u ä e u s kµû u jâá ò Ö Á uä Á ò l ó gs í Þ u ke jâá u f u lá u Ô ì Á ló Ágs ó Áu Ô ž d ló Á u ì ² dº k HfpshfLfmmz)2:66*Á u Ô Áu Ô ž à ì ² jì g ²à ó
ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti
98-04-11 87 3 21 25 Plasma 10 Torr ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti 16.5% ( : / :(02)2341-7251 2422) 8 ( ) " xxxx " " chamber chamber slit valve ------------------------------------------------------
<4D F736F F D20D0C2BAFED6D0B1A6B9C9B7DDD3D0CFDEB9ABCBBEB9ABBFAAB7A2D0D C4EAB9ABCBBED5AEC8AFB7A2D0D0B9ABB8E6>
A ŒŒy{ o Œy v 600208 o Œ àŒ s à o zã  Ÿ 2015  ŸÂ Æ Š q À / l}/ l} o l o Îñ 618 q À o l o Îñ 618 ó ñz ok ó Ï 7 8 ~ˆ 2015 7 20 Ÿ}ÿ y  š  Šrs Ëw  rš ² ó Š ³ y 1 o Œ àl{ Ÿ}  o y  ŸÆ l ³ 35 ~¾
à á à è à è à ú à á á á à á è à à ù ú ù í á è è í á è è è è è ù ò í è è ì à à è á è úí à à ì á í é è á à ì à é à è è í ú º ú
引言
常 壓 電 漿 原 理 技 術 與 應 用 1. 徐 逸 明 經 理 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 游 閔 盛 研 發 工 程 師 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 3. 郭 有 斌 高 級 工 程 師 台 灣 凸 版 國 際 彩 光 股 份 有 限 公 司 4. 黃 傑 博 士 班 研 究 生 國 立 成 功 大 學 化 學 工 程 系 5. 洪 昭 南 教
<4D F736F F D DB5FBB3AFC4A3B7D7A16DB2CEA658BB50A4C0A4C6A147AA65A55FA661B0CFAABAA640B2A3ADB2A952A D A16E2E646F63>
q 20 179 2014 12 i } ef ¾n~ Ã{ ñ 1921-1949!! } } ef ¾n~ Ã{ ñ 1921-1949 Ä ná~ n náã ræ Èmqæ µ ná 2012 8 i ñ 510 ñ xú q z ræ Èmq æ µ æ ø æ Éá { ñ q lî ƒ { ~i ì u Ã{ ñ 1922-1932 i t Û Äv i v¾nå ¾ Ý u q ræ
à ý æ ~ ýþ j ý k ì kæ ýg h u u ² È º Æ ø»  g º 31 Ì u È u ê t È 26 Ý ç Í Ÿ º È ul s êº 25 x É )2*41 k )3*41.71 )4*71 k Frequency Percent
Œ Œ i éœ Â } :6 h z 5: ½ Û u ìá ý uá Àse åž óh à Ôv e ýáæ :7 hà Ÿ ý«ä Û u Ÿ  å u q åž váùà q ý ½ Ÿ~Á Ù m d u Ëà åž vá ± Ì åž Ÿ } u k p óh ûm d Àe ýà ÌÃà e ½ ~ ÙŒ «Ý d h ÕÃÌ Û ýá å À½ «h e keùœ m Ø v À
Microsoft Word _cht.doc
用戶手冊 中文 APC Smart-UPS 1400VA XL 230VAC/120VAC/100VAC 3U Rack and Stack ( 機架疊放二式 ) 不斷電系統 990-1079, Revision 01 10/01 Ÿ 1: ¹ª... 1 ¹... 1 Ä ¹... 1 Ä ¹ (DEENERGIZING)... 2 Ä ¹... 2 2:... 3 À~... 3 ˆ UPS...
!! Ç k z Ç ð z! Á ññýëä á ñ ÑýÁ Ä ŠÊ ˆ Š ó ˆ Š¹ Š ˆ Ì þ ñá Þ ó ñ«ã Ú ññýá 2012 ññýá 2013 Њ ñ ž 4% 2012 ã 3% Ø ë ë Ì ŠÐ é Ýë æ 2012 Š õ
í!! Ï r ˆÏ! ø! s ºŽ Ö 2012 10 ë ó ñã µî óë Ñ 1 5,200 Œë ó ñ 2011 Ú ö«7.3 Œë Ì 2 Á õš Ÿ 2031 õ 2027 ð 2012 1 ˆ ë Ì ææë 2012 10 Ð 2013 1 «ð 12 ò ñ ó ñ ëñ µ 1,400 Œ ó 63 Î ˆ Ÿ 2013 ó ñµ ë Á ë ˆ Ñý Ô ÒÑý Š
<4D F736F F D D322DA57CA7DEA447B14D2DBDC3A5CDBB50C540B27AC3FEB14DA447B8D5C344>
1. Ê ù k Ç hv± (A) ̾ (B) ùù (C) ó (D) pÿ 2. k Ì µm i p i hv±ç ÿ (A) ̾ Ì t 30 m é Ž (B) Ì mò ~ 30 (C) 2~3 t 1~3 p mè ts (D) 3~5 t 20 mpô f 3. qk Þv ~ Þ Â l ̾ uî kþ h Ûv± (A) 10~20% ² 20~30% d 50~60%
<4D F736F F D203120A447A451A440A540ACF6B941A7F8B0FCA46BA4A7A8A4A6E2BB50A55CAFE02E646F63>
32 Õ Žu 32 Õ Žu È e Œ ✠g e Œ â h º Ž ˆ ÉŠ Š 2006 ˆ «ÐŠˆÝ«š ³ ˆ 42.5l ð ÇÝ ˆ³ ˆ Î ˆÝö É ý ë ù Á ë Ž ð 1 2006 ˆ«³ ˆ 5.5l ˆÝ ˆ«³ ˆ 29.0l ³ˆÝ ˆ 3.7l ð Î ˆ³ ˆ ð 2 ˆÝ í 1997 2006 ˆ ˆ 27.4lÐ 29.0l ð 3 Ø ÂˆÝ
á ì é ò í í í à ò è á è ú á ú á ú é é á ò ì ò ì ú ì ù á à ì ì ì ò í ì à ò á ù ì à á á é ò ó ì í á ù à è ú ì à ú ò ú ó ó é à ó ú ì ì ì à ì ì è í í ú è ú í é è ù
ü Ä ä ä ï ï ü ä ä
ü Ä ä ä ï ï ü ä ä ü ü ü ä 50000476_0047_2 2 3 316 ó é â á ó ü ü ü ü ü ü ü ü ü ü ü ü é é ô é ò è é ü ü ü ü ü
ì à à ó é í í à ì í ó à í á ò ó ì í ì í í ù ó à í ì à ù à ú è à à à ú ó ò í ù è á á é è ò ì ì ì è é ù ì à ì á ù à á ò í à ì é á è á ì ò ó è ì ò ú ì ó é ú í ú è ù í í à ó ú ú
è á à ì ì ì ò à ó ù ú à ò è ù è è ò í á è ù è à ù à è á ú á í à à à é à à à é à èi ú á à à ó á ì à à á è à à á ó à á ù à à á ì ó à í à é ò ú ì à ò ì à ù ì é à í í á á è ò á á á á
untitled
料 益 離 料 離 路 2 歷 3 類 4 PVD 念 5 PVD 6 7 沈 理 8 料 粒 量 率 µ 度 度 狀 力 金 度 料 金 金 度 料 PVD 離 金 金 數 度 料 度 9 類 度 度 度 力 例 10 Why CrN coating? Weight loss (g/m 2 ) 304 S.S. TiN/304 CrN/304 DLC/304 C. S. TiN/C.S. CrN/C.S.
Microsoft Word - 会协_2014_60号-6fen.doc
k á}» st w iz zv r w iz oo «Ÿ ~m oœ c c g»â» ò g»â «g»â yð Ÿ g»â n» fò w «g»â Î{x d Î{ «g»â g»  ìî cîú d g»â ~É Î{ d œè «g»â Î{ 1 «g»â» gè Šd³ Ê ÁÈ } ³u k g»â»d «g»â» 2 œè w iz oo «Ÿ ~m ºpŠd³ œ ãä «g»â
<4D F736F F D BEC7A67EABD7B2CEA440A44ABEC7B4FAC5E728BCC6BEC74129>
7!! q! e¼!!6 (A) e u5  p ã sï²ks kì Ù 5 ìdºkâhu Ùäû ÿdá ❶te vûže üzü iz 6 7 Áì 9 m½ ½õke uç½ 7 Á gmýá ❷t ð v}d à 4 }ïá 5 ìæá Ø 5 l dlâ Á ò 6 v 8 äàázì 9 ñ½õ Áì ì³õáüì ºd 4 l Õ u lv Á ò 7 ❸ƒf ÿ ±Çï Á u
untitled
ØÇ 1 / 7 化学品安全技术说明书 1. ¹ÃÐ ºø : ÄØ Ñ : 39532 Àÿ ÐÆÐ 100004 400-007-0792 24» šˆ 22 Ò ˆŸ23 400-686-8899, 800-840-6026 MSDS : M00640 l ~ ~ : Úüл ÄØ TSCA CAS : Ñ qcas : Ñ 2. Ý GHS : Ã Ì : Ì2 H225 š Ì1A H314
Microsoft Word - 3 國文.doc
qv 102 Ô Ý gæ ý 221 4d 3d z:3d )*2/ Áu g k ˆÃ ) * â À Ç l Á ) *g ~ Á ) * u Ù} ó Á Ù} Õ é ) *o ûzá þ Õ o sùu Á Ð )*3/ z Á ð zä{ ) *È i ð ) *ú n ˆ ) *t Ö w n ) * À } Ð )*4/ zgp ˆÃu zs ) * ¹eg òì~ gk k )
{ r þ ¼!!!! Á  én è ~ Á v½ e u ~} Á } Ô Õ }ä } ~ ~ˆ ó û } Á Ç u Á m } Á ¾ Œ rø ke x d Á m } Á vä n uá 7 5 ke 9 3 vò Œl Ávä  ر¾ Á é Á  n 7 5 x uõ
qšq p q Ê! The Commentary on the CPC Central Committee Workshop on Xinjiang Mission! Mjv-!Ufoh.Difoh! ç z p ý 2010 5 h 17 h 19 hh 3 e }m n Ì p â ¼ Á Œ láø ª s Án àˆn Ǫt qù} zïô  ûª ï ï ªØ Á n Áïì³ jìùq
99710b45zw.PDF
1 2 1 4 C && Zn H H H H H Cl H O H N H H H CH C H C H 3 2 5 3 7 H H H H CH 3 C2H 5 H H H O H H O K K O NO 2 H O NO 2 NO O 2 C2H5 H O C2H5 C H O C2H3 2 5 H H H O H H O 1826 O
Microsoft Word - 会协_2011_54号-OK.doc
k á}» st f ¼~ é~ºpíö ~ oø É zø { q³u c c g»â» { g»â»â yð Þ ì «ÃȻ u ¾ È nú u ¾ È n«¾s ۻ À Ä w fòw»â À Ä Ç xd É Ç Ç É Ç ä»d î cjì î c t È ]KSM#FLFSDRUJFQ Ò ù «g»â»~ œè»â À Ä Ç w»â À Ä Ç x f «g»â» Û Õ
= = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) e - + Ar Ar + + 2 e - (1) = = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ i ) (q
用戶手冊 中文 Smart-UPS 5000VA 5U 機架安裝 XL 208VAC/230VAC 不斷電系統 990-1139, 3/02 簡介 APC ŠÈ (UPS) ñžîì ëôð ˆ Ò³ Ô æë UPS ë Ì žˆëš Î ë UPS žðë Ί ë Ð 1: 安裝 UPS õ 開箱 Ð þ UPS «ë š Ξó ó Ξݻ é Š«UPS š Ô ø ë Ðø UPS
à è ú ì à ú è á ú à à á ù ó ò é é à ì ó ò ì í ó á á ì í ì ì ì é à é ì í ù á ì ó í à ó é ì ì ì ì á í à ì ò á ò à è í ù à ì à ú í á é ó ù ì à è ì ì ó ì ú ì ì à á ì ì á í í ì à í ú è ì í é à ì ù è à è
Advisory & Intelligence Service Program Display PM-OLED PM-OLED Passive Matrix Organic Light-Emitting Diodes LCD PM-OLED PM-OLED Document Code: Publication Date:March 2004 Check out MIC on the Internet!
Microsoft Word - XN30Chap3.doc
3 j iptables Netfilter j iptables Ü iptables ¾ Linux j iptables ô ô ƒ j Ã Ñ Î ~ t d ~ Linux v Netfilter j ˆ Ãlî iptables v¹rûn á à v ~ Õ Ä~ ví s { f ¾ lœ v à 3-1 Netfilter j Ÿ 2.4.x é Linux Kernel þëì
Microsoft Word - 145專題-2 簡慧娟、陳玉芬.doc
ç ³ u  eûý û ˆ µ v Œ à füþ ý ù tå ƒ yuç ë ãµ ëÿ á ë Þ ë Ð ž Ð Ú Êë ѵ Ð œëž Ì «Ø ž Ÿ ë ªö Ÿ ëþ Î ë 㵠ȵÁ ë ã µ Ê ãµ Ãë É Ÿ Úâ µ Œ Ð œëž ó Ð Ø ëÿë Ἢ ë ë ë œêëÿ ë Þ Îëã ëë ãµ Ã Œ Î ë ãµ ë ñ «žãµ ë ª
(Electron Spectroscopy) 3-2
III AES...3...7...11...12...14 1....14 2....18 (Depth Profile)...21...25 (Electron Spectroscopy) 3-2 Pierre Auger 1922 1923 30 P. Auger X (Auger ) AES 1. (Auger Effect) ' E L2,3 K L 1 (EK E ) L1 X ( XPS
untitled
ØÇ 1 / 7 化学品安全技术说明书 1. ¹ÃÐ ºø : LCK114 (COD) Ñ : LCK114 Àÿ ÐÆÐ 100004 400-007-0792 24» šˆ 22 Ò ˆŸ23 400-686-8899, 800-840-6026 MSDS : l ~ ~ : Í ˆn : ~ : ~ Ñ TSCA CAS : ~ qcas : Ñ 2. Ý GHS : Ã Ì : q Ì3
,-.! / &):; 3óª(+Y1" OP&MBCNO(+Y1 p{p!"# %& ' ( )* +, -. / 0 1 Q ü s G c I!ã Ó D R c I w S!& M B C G T b &MBCÜàTdcdbß! kepcd ÅÿÂ óª(+y1gë!
!" #"$ % &' #"$ 面向海上目标的海陆分离方法研究! "# $% "## &'()*)+,-./01 23456.7869:; ?7@ABCDE4F GHIJK89:LMNO 89:PQR.S9TQHU89:NQVWXY89:; PZ[K!\]^_Z[;`9abccKN( 9a 89: HU VWXY!!"# & $% "$#"$" (##(# )*+, -./01.,+! + 1'!"
<4D F736F F D D352DA57CA7DEA447B14D2DB0D3B77EBB50BADEB27AB873B14DA447B8D5C344>
第一部分 : 會計學 1. p Ú Û hv± (A) k Ú Î ã (B) (C) ¼ (D) µ e µ 2. p Û hv± (A) à µ d Ãà ( ) ( ) (B) pz (C) à z d gve (D) Ø d à µ jú œò 3. hv± Ç l µ n (A) o e o e (B) e µ m u (C) µ Ú i åû (D) µ å Û µ w Û o 4. p
í!! ˆù ùë í õ Þâ ë Œ Î ë ë Ž ÎÛ ý Žž ø ³ ë ž Ž Š ë ð ñí Í ¾ â Ð ð Î áë à Ðë Ùñí «ê ó ñíê Ž Ž ë Ð Ž ë ž œ Ž þ ñí ë Î Ê Ôë ë «¾ ŒÞÉÐñíëÁ ³ ³ á Ý ë ñí Ž
à f ä! nsx ü! ºç ºŽ Žë ª 2012 ð ˆ 254 10.91% Í 2006 «87.33%ë 65 Ùž Å «¹ ë ˆ ëê á ëé ÒÐë ž ëðä Ž Ž ëë ž ù 2010 Î í ë ý Ž ó«ëž Ä ž WHO 2002 Þ ðë Š Ž active aging ë Ð Šâ Ž ª Ž ë ã 2012 É Î Ú íë ç ë áš ë â
Microsoft Word - 08專門圖書館.doc
ð É» û È» í» ï ñ â âæ š Ø ô Ÿ Ú æ Ý Þ Ø ˆ â Ø Ý ù Î ñý â â ÍÐÝ Ú â â Ñ â â ˆ â Ø â Ð â ˆ È 53È 5 É î Õ Ñ É Á ñ â ¾Í â â «656 Þ ð 53 Ö Îá â È 845 Þ í â Ø â ù â 122 Þ 52 Þ Ðâ Šˆ ð 54 ð 5 ñ â â ªñë ë ù â
< E9197BF81408C9F93A289DB91E882512E706466>
JAEA 22715 1 ThO 2 (Th,Ce)O 2- (Th,MA)O 2- (Th,Gd)O 2-22715 2 22715 3 UO 2 3,390 UO 2 2,850 2,000 Th-O R. Benz, J. Nucl. Mater. 29 (1969) 43. 22715 4 (U,Th)O 2 (U,Th)O 2 (Th,Pu)O 2- (Th,Pu)O 2- (Th,MA)O
E/ESCAP/CST/1: Terms of reference and functioning of the Committee on Statistics (Chinese)
GENERAL /Corr.1 23 December 2008 CHINESE ORIGINAL: ENGLISH 2009 2 4-6..... DMR A2008-000453 TR 311208 TP 311208 DP 020109 DI 050109 CST_1CC1 < GENERAL 6 October 2008 CHINESE ORIGINAL: ENGLISH 2008121517
<D7A8C0FBB9ABB1A8C4A3B0E52E786C73>
o o mõ { o } } AJ1521754 kzâ âên ën{ ¾ o { àAJ1622045 lô Ï Ã Â kz o}ïùäz à ˆÙÛ soá à  oâ oˆâ Ôô Ã Ð Ô Ô Ô³Ôy lsl 67$7&20 á «ˆÙÛ soá à  oâ oˆâ z j j}æôó ˆ Ã o Æ á «ˆÙÛ soá à  oâ oˆâ ô Ï ÔÓ ô o kzïù
! ë ó ñ Š ª ë ó ñë Í Š 65 ˆ¹ ë ó ñ ë ñ ë «Þ ³œ ñ 65 ë Í«œ ñ Ý ëó ññý ë Î2009 œ ñó ë Š ë ó ññýëþ Š «ë legacy Š ÍÛÛ Ýò ÑýÁ Ý ë Î ë ó ë ÎóÁóÑœ Ñ ó Ñ Ñý
í!! ˆÏ ÜŸ Éà! iu ƒ nµ Â Þ Â é 2012 10 Š «æ Šš Ú Ö ë óã 900 ë ãó 16 þ50 ë ŠÐ ñë Ï í æö à ñü Ÿ Ú ó þ Á óî 69 æñž óµ ë Û Ð óñ ó ë ª ˆ ë Ý ŠÐ ó ñ è çç Ú ñ Ú µ Î ˆë ññýá ð Î ñë Á ÑýÁ ëÿ æë æë Èí œ Š ñ ˆ õ ë
Microsoft Word - 第12期第1部分.doc
第 41 卷 第 12 期 第 41 卷 第 12 期 2013 年 12 月 张 小 锋 等 : 黏 结 层 粗 糙 度 对 热 障 涂 层 高 温 氧 化 及 力 学 性 能 的 影 响 1679 硅 酸 盐 学 报 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY Vol. 41,No. 12 December,2013 DOI:10.7521/j.issn.0454-5648.2013.12.14
Dolphin 6110 Quick Start Guide
Dolphin TM 6110 行動電腦 快速入門指南 Dolphin 6110 行動電腦 o â o ç Ž Dolphin 6110 á Ï Ä¾ Ä 3.7v ü AC Ÿ KSAS0100500200D5 ò 100-240V AC 50/60 îô 0.4 ne ò 5 DC 2.0 ne õ ³ Ÿóƒƒ æ ç y ³ â äô Dolphin ľ Å Š ç 6 Dolphin
4 26 Silver Interconnect Technology Intel 22 Fin FET Abstract In view of commercial electronic product requirements, the integration circuit (IC
4 26 Silver Interconnect Technology Intel 22 Fin FET 10 10 Abstract In view of commercial electronic product requirements, the integration circuit (IC) manufacturing technology needs to keep moving to
untitled
附件 1 分类和标签汇总表 附件 1 分类和标签汇总表 þ œè Í Ð d þ Ð eýc d þ æ d A1.1 f g(é  } 2.1 ) íã Ì íãé ú ¹k Šü Í a z f g xu ( ²±) z f g H200 } 1.1 È f g ƒf íã H201 íã } 1.2 È f g e ² íã H202 f g } 1.3 È f g f ² íã H203
9 + ( 9 + 1) 2 9 6 ( 9 + 1) 6 54 60 3240 + 1 + 1 = + 1270 + 1 = 271 2 6 2 6 12 6 + 1 = 271 ó ù ó ì á ó ò è ù à 365 1 499 4 29 940 ó á 29 43 81 ì è 2 3 5 2 18 20 3 5 7 3 20 22 4 4 6 4 19 21 5 5 7