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- 门棚 詹
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3 Study on the Water Management and Recovery for Semiconductor Industry - NDL as an Example StudebtYue-Hung Lee AdvisiorFu-Hsiang Ko Department of Industrial Safety and Risk Management and Institute of Engineering National Chiao Tung University Abstract The objective of this paper is to study the importance of water-recovery/waste and water resources analysis and management for semiconductor industry. We need an organization which could provide integrated nano-related facility environment, advanced manufacturing and system integration to enhance the usage of national resource. NDL National Nano Device Laboratoriesprovides below services to academic communities such as Laboratory environment with nanometer scale of semiconductor process and device - including nano-electronic, nano-photonic, nano-biological device and material, research in the system-on-chip, technical consultants and other cooperation. Thus, NDL could raise our research and design capabilities of our own country and be more competitive in nano-technology globally. In order to provide better research environment, such as air conditioner, water purification, ordinary gas and cooling water supply. NDL manages the boosted inquiries and emphasize better quality. Such as installing the toxic gas detector system to ensure the safety of employees; enhance the environmental protection when dealing with waste water and gas to prevent pollution. To achieve above goals, a professional team with better research and design capability to handle cost and service is needed, and also to meet the same standard of clean room is important too. Semiconductor processes become more complicated as it scales down to nanometer. Pure water spec for its usage has to be with higher standard and larger amount. The water resource becomes more and more important due to the insufficient resources in Taiwan. In this thesis, ii
4 water-recovery/waste and water resources analysis and management of the semiconductor industry would be studied and researched. We will do more analysis to find out how to save the water and reduce the operation cost in different purposes, amount and flow charts.. etc.. Also, we would like to share the knowledge with academies and enterprises to solve the shortage of water supply for the next generations. If we succeed in it, then Taiwan will play an important role and lead the world to nano-technology. iii
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