引言 更先进的测量挑战需要新的解决方案 半导体制造工艺和全新的工艺技术给生产参数测试系统带来了高难度的挑战 20/28 纳米及以下级别的器件参数变化更加难以控制, 相比过去, 对其测试时需要捕获更多的参数测试数据 技术助推器 例如高 k 栅介质材料 应变硅或 FinFET 的使用, 使我们必须执行比

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1 是德科技 4080 系列参数测试仪 您是否已做好迁移到新平台的准备, 以应对最艰巨的测试挑战?

2 引言 更先进的测量挑战需要新的解决方案 半导体制造工艺和全新的工艺技术给生产参数测试系统带来了高难度的挑战 20/28 纳米及以下级别的器件参数变化更加难以控制, 相比过去, 对其测试时需要捕获更多的参数测试数据 技术助推器 例如高 k 栅介质材料 应变硅或 FinFET 的使用, 使我们必须执行比前几代硅技术更多 更困难的测试 最先进的闪存单元对脉冲生成的要求, 已经超出了此前参数测试仪的能力范围 随着对半导体器件工作速度的需求越来越高, 选通时延和互连时延测量显得尤为重要 这些因素的出现, 使得我们需要创新测试方法以适应生产参数晶圆测试的需求

3 03 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 Keysight 4080 系列克服了困难的工艺测试挑战 是德科技提供的解决方案实现了生产参数测试的革命性进步 Keysight 4080 系列专为满足电流和尖端半导体技术的测量挑战而设计 Keysight 4082A 参数测试系统是一个高吞吐量的生产参数测试系统, 它拥有先进的测试功能 高频开关矩阵选件 高速电容测量选件, 并全面支持 SEMI 工厂自动化标准 Keysight 4082F 闪存单元参数测试系统具有强大的脉冲功能, 且该功能经过优化用于表征最先进的闪存单元技术, 所以能够支持新型高压半导体脉冲发生器 (HV-SPGU) 模块 4082A 和 4082F 的革命性测试功能为电流和先进的生产参数测试提供了优势 除了优秀的硬件之外, 一个高效而完整的参数测试解决方案还需要出色的软件 为了满足这些要求,4080 系列拥有一个多功能系统软件环境, 它能够兼容 Keysight SPECS 或 Keysight SPECS-FA 测试外壳程序 针对需要使用 PNA 网络分析仪进行射频器件测试的用户,Keysight 4083A 提供了可选的 8 x 10 射频矩阵功能, 它可以提高射频测试吞吐量, 并延长探头卡进行射频 S 参数测量的使用寿命 Keysight 4080 系列参数测试仪 4083A 直流 / 射频参数测试系统 4082F 闪存单元参数测试系统 射频矩阵 * 射频直接路径 * 4082A 参数测试系统 SPGU 主机和 HV-SPGU 模块 ( 可选 ) SPGU 主机和 HV-SPGU 模块 ( 可选 ) 脉冲开关和高频开关矩阵 * 高速电容测量单元 (HSCMU)* 电源 / 监测单元 (SMU) 标准低电流直流开关矩阵 超低电流直流开关矩阵 ( 可选 )* 脉冲开关和高频开关矩阵 高速电容测量单元 (HSCMU)* 电源 / 监测单元 (SMU) 标准低电流直流开关矩阵 超低电流直流开关矩阵 ( 可选 )* 脉冲开关和高频开关矩阵 * 高速电容测量单元 (HSCMU) * 电源 / 监测单元 (SMU) 标准低电流直流开关矩阵 超低电流直流开关矩阵 ( 可选 ) * * 可用选件 除了满足先进工艺的测试挑战之外, 灵活的 4080 系列还能提高现有工艺技术的测量吞吐量

4 04 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 创新设计可提高速度 降低成本 体系结构的改进可提高测量吞吐量 4080 系列采用了最先进的体系结构 ( 包括超快 CPU), 从 Keysight 4070 系列测试仪的测试方案转移过来, 可以将速度和产能提升 10% 至 20% 这样, 无需对测量方法或将要执行的测试代码进行根本改变, 便能立即提升测量吞吐量 使用 4080 系列, 您不仅可以扩大现有晶圆工厂的测试容量, 降低测试成本, 而且无需改变 SPECS 或 SPECS-FA 原有的测试方案 系统机柜 脉冲发生器 (HV SPGU) 频谱分析仪 数字电压表 高速光接口 优异的直流性能, 配备专有的冷保护继电器和高分辨率 SMU 超快 CPU 测试头 数字体系结构改进和超快 CPU 加速测试执行 电容表 SPECS 或 SPECS-FA 高达 8 个 SMU HSCMU 直流矩阵 HF 矩阵和脉冲开关 8 x 10 射频矩阵 GBIP Linux 控制器 探头卡 测量资源集成在测试头中, 用于实现快速而精确的测量 探头 工厂已做好自动化准备 基于 Linux 易于使用的测量环境

5 05 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 代码可复用性使工厂能够快速展开试生产 兼容现有平台, 降低过渡成本 在 4070 系列测试平台上创建的 Keysight SPECS 和 SPECS-FA 测试方案和算法, 无需任何修改即可在基于 Linux 的 4080 系列上运行 这样可以最大限度降低过渡成本, 允许重复使用现有代码, 并通过使用较低成本的 Linux 工作站降低拥有成本 它还使现有的晶圆工厂能够快速投入试生产, 充分利用 4080 系列的优异性能来提高吞吐量 这种兼容性使其可轻松地从 4070 系列过渡到 4080 系列, 维持混合的测试仪环境, 最终保护您的测量投资 Keysight SPECS-FA 提供无缝 SECS/GEM 集成 Keysight SPECS-FA 是 Keysight SPECS 的工厂自动化版本, 它提供了 Keysight SPECS 的所有特性和功能, 并全面支持 SEMI 自动化标准 E5(SECS II) E30(GEM) E87 (CMS) E39(OSS) E40(PMS) E90(STS) 和 E94 (CJM) 此外,SPECS-FA 能够实时报告 4080 系列测试仪和晶圆探头的状态 这意味着主控制器始终了解测试单元的精确状态 事实上, 这些功能使 Keysight SPECS-FA 成为 300 mm 晶圆工厂的全球行业标准 SPECS-FA 兼容 SEMI 标准, 支持轻松监测 远程管理 生产环境下的每个测试单元

6 06 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 理想设计实现更快吞吐量, 克服极端测量挑战 先进技术提供无与伦比的低电平测量性能 所有 4080 系列测试仪均支持两种类型的直流开关矩阵卡 : 标准低电流版本和超低电流版本 ( 可选 ) 使用 MPSMU 和标准直流矩阵卡, 可实现 10 fa 和 2 μv 的测量分辨率 可选的超低电流直流矩阵卡以是德科技专有的冷保护继电器技术为基础设计, 支持低至 1 fa( 使用 HRSMU) 和 0.1 μv ( 使用支持的 DVM) 的测量分辨率 凭借 1 fa 的电流分辨率,4080 系列为您提供了评测真实纳米级器件的方法 0.1 μv 的电压分辨率使您能够轻松和精确地测量金属层 整体解决方案提供出色的参数测试性能 测试系统的整体测量环境不仅能够提供性能优异的超低电流测量功能, 还能够减少介质吸收 降低本底噪声和缩短稳定时间 该测试系统拥有超低电流测量功能 超低泄露探头卡和低噪声晶圆探头, 这些功能特性可以提高吞吐量 4080 系列的低电流点测功能与低电流直流矩阵卡相结合, 测试速度比标准的低电流直流矩阵卡快 3 到 30 倍 对于很多尖端的工艺技术尤其是 300 mm 晶圆技术而言, 在评测金属间泄露和存储单元泄露电流等重要参数时, 这种超低电流测量功能是必备之选 超低泄露探头卡 是德科技的冷保护继电器技术不仅提供了 1 fa 的电流测量分辨率, 还提高了晶圆评测的测量速度

7 07 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 核心平台提供强大的测量功能 Keysight 4080 系列涵盖了广泛的参数测试需求 4080 系列提供了基本参数测试所需的广泛测量功能 例如, 您可轻松执行直流和电容测量, 例如 Vth Ids Idoff 和 Cox 等 4080 系列支持三种类型的 SMU 进行直流测量 该系统支持多达八个电源监测单元 (SMU) 每个 SMU 均能自行校准, 并能进行单独配置提供电流或电压, 以及同时测量电流或电压 此外,4080 系列还支持拥有 1 khz 至 2 MHz 电容测量功能的可选高速电容测量单元 (HSCMU) 模块 外部仪器创造增强的测量功能 外部仪器可通过六个辅助输入端口或四十八条扩展路径输入集成到系统中 扩展路径使用户能将外部信号直接连接至被测器件引脚 多种其他仪器选件可提供更强的测量功能, 例如数字电压表 (DVM) 信号 / 频谱分析仪和外置 LCR 表 DVM 具有 0.1 μv 的测量分辨率, 这对于评测低压应用非常有帮助, 例如评测 Cu 金属电阻 ( 这是确定 RC 时延的关键步骤 ) 信号 / 频谱分析仪与可选的高频 (HF) 矩阵相结合, 能够支持自动化的环形振荡器测量 该选件使您能够实现数百 MHz 的精确频率测量 与使用频率计数器或振荡器相比, 这种方法能够更轻松 自动和清晰地确定频率 CV 测量 低电压测量 环形振荡器测量

8 08 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 4082F 的高压 SPGU 提供了完整的闪存单元测试解决方案 NAND 和 NOR 闪存技术的快速 高效的生产测试 4082F 拥有与 4082A 同样卓越的参数测试功能 4082F 测试系统支持配有高压 SPGU(HV-SPGU) 模块的半导体脉冲发生器单元 (SPGU) 主机 这些模块已完全集成到系统硬件中 HV-SPGU 为现代先进的闪存测试提供同类仪器中最好的脉冲生成能力 如下所示, 这些强大功能几乎能够满足您任何闪存单元从研发到生产的测试需求 特性 电压输出范围 : 40 V 至 +40 V(80 Vpp) 优势 满足现代 NAND 闪存测试需求 0.4 mv 的电压分辨率支持利用准确而精密的脉冲电平生成波形, 以表征多层单元 (MLC) 结构和其他先进的闪存器件 每个模块有两个通道, 最多可支持五个模块 任意线性波形生成 ( ALWG) 使您可拥有高达十个独立的同步脉冲通道, 用于进行闪存单元测试 支持创建定制波形, 并允许表征下一代闪存器件, 例如那些使用陷阱电荷方案的器件 4082F 中的 HV-SPGU 能够以 +/- 40 V(80 V 峰峰值 ) 输出三级波形, 这使其能够表征先进的 NAND 单元闪存工艺 位 ( 高速模式 ) 或 16 位 ( 高分辨率模式 ) HV-SPGU 的任意线性波形生成功能使其能轻松生成复杂波形, 用于测试创新的非易失性存储单元

9 09 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 先进的异步和同步并行测试技术提供无与伦比的测量吞吐量并降低成本 同步测量多达八个器件 4080 系列测试仪支持超快同步并行测量选件 利用 4080 系列, 您能使用所有已安装的 SMU ( 高达八个 ) 来同时进行同步测量 在测量小阵列器件时 ( 例如一组电阻器或晶体管 ), 同步并行测量是一个极其高效的测量技术, 每个被测器件 (DUT) 仅需使用一个 SMU B S D D D D D D D D G A A A A A A A A 4080 系列支持对高达八个 SMU 进行同步并行测量 例如, 当执行 BVdss 扫描测量时, 八个晶体管可立即执行测量 并行测试功能降低测试成本 与传统的串行技术相比, 是德科技的异步和同步并行测试功能可将测试时间缩短 50% 或以上 * 最终可以极大提高吞吐量, 降低测试成本 * 降低的测试时间百分比取决于 TEG 设计和测试方案优化 4080 系列任务视图使您能够分析并行测试的进度 根据这一信息, 您便可以确定测试瓶颈, 提高吞吐量 虚拟多测试头技术极大提高测量吞吐量 4080 系列测试仪提供了功能强大的虚拟多测试头技术 这种突破性的技术支持异步测试, 使各个测量任务可以独立执行 与传统的并行测试方案不同, 这种技术几乎不会浪费任何测量时间 一旦一套资源完成测量, 它可立即开始下一个测量 这种效果就像在一个测试仪上拥有多个独立的测试头, 可以极大提升测量吞吐量 SMU SMU CMU 电容 nmos 模块 pmos 模块

10 10 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 DC/RF 参数测试解决方案提供综合的直流至射频测试能力 先进的射频测试功能可提高吞吐量和降低成本 Keysight 4083A 直流 / 射频测试系统是为应对射频半导体器件最困难的表征挑战而设计, 支持 4082A 和 4082F 的所有测量功能,4083A 支持 Keysight PNA 网络分析仪 * 进行高达 20 GHz 的高频 S 参数测量, 轻松满足现代射频器件的测试需求 为了给那些不熟悉射频测量的用户提供帮助,4083A 配备了射频和 RFCV 算法程序库 4083A 作为生产参数测试仪, 还率先将 8 x10 射频矩阵选件集成到支持 20 GHz 测量的测试头中 凭借一次接触测量多达五个射频测试结构的能力,4083A 射频矩阵不但可以提高测量吞吐量, 还可以降低接触磨损, 延长探头卡的使用寿命 * 4083A 不包括任何网络分析仪 关于可用型号, 请与是德科技公司联系 生产就绪功能 4083A 可集成到批量生产环境中 4083A 配有 10 个射频端口和高达 48 个直流引脚, 支持直接插接型探头卡 这使操作者可以轻松更换探头卡, 它还支持使用自动探头卡转换器 4083A 还提供了自动化软件来自动校准射频测量源 (SOLT SOL 和开路 / 短路去嵌入 ), 技术人员或操作员均能轻松使用该软件 射频测试结构 8 x 10 射频矩阵 4083A 的可选射频矩阵支持通过一次接触测量高达 5 个射频测试结构 这样可提升吞吐量并降低射频探头卡的磨损 PNA 网络分析仪 4083A 测试头直接插接方案支持 10 个射频端口和高达 48 个直流引脚 操作员或自动探头卡转换器可以轻松更换探头卡

11 11 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 您准备好向这个平台进行迁移, 以应对最艰巨的参数测试挑战了吗? Keysight 4082A 具有空前测量吞吐量和精度的下一代参数测试仪 改进的测试仪体系结构可将测试时间缩短 10% 至 20% 同步和异步并行测试可将吞吐量提高 50% 或更多 * 1 fa 和 0.1 μv 测量分辨率 可选 HSCMU 环形振荡器测量解决方案选件 4070 系列 4080 系列 * 测试时间的缩短百分比取决于 TEG 设计和测试方案优化 Keysight 4082F 用于最先进闪存评测的生产就绪解决方案 测量功能与 4082A 相同 集成 HV-SPGU 共计多达 10 个通道 ± 40 V 输出功能 每通道输出两电平或三电平脉冲 ALWG 能力 快速而可靠的工作 Keysight 4083A 生产射频测量与直流一样简单 测量功能与 4082A 和 4082F 相同 通过 10 个射频端口进行 S 参数和 RFCV 测量 易于使用的射频校准程序 可选的 20 GHz 8 x 10 射频矩阵可提高吞吐量和延长探头卡的使用寿命 请与是德科技公司联系, 深入了解 4080 系列如何降低测试成本

12 12 是德科技 4080 系列参数测试仪 手册 演进 我们独有的硬件 软件和技术人员资源组合能够帮助您实现下一次突破 我们正在开启技术的未来 DEKRA Certified ISO9001 Quality Management System 从惠普到安捷伦再到是德科技 mykeysight 个性化视图为您提供最适合自己的信息! Keysight Infoline 是德科技的洞察力帮助您实现最卓越的信息管理 免费访问您的是德科技设备公司报告和电子图书馆 是德科技服务 我们拥有业界领先的技术人员 流程和工具, 可以提供深度的设计 测试和测量服务 最终的结果就是 : 我们帮助您应用新技术, 以及经工程师改进的流程, 从而降低成本 3 年保修是德科技卓越的产品可靠性和广泛的 3 年保修服务完美结合, 从另一途径帮助您实现业务目标 : 增强测量信心 降低拥有成本 增强操作方便性 是德科技保证方案 10 年的周密保护以及持续的巨大预算投入, 可确保您的仪器符合规范要求, 精确的测量让您可以继续高枕无忧 是德科技公司 DEKRA 认证 ISO 9001:2015 质量管理体系 如欲获得是德科技的产品 应用和服务信息, 请与是德科技联系 如欲获得完整的产品列表, 请访问 : 是德科技客户服务热线热线电话 : 热线传真 : 电子邮件 : china-cs@keysight.com 是德科技 ( 中国 ) 有限公司北京市朝阳区望京北路 3 号是德科技大厦电话 : 传真 : 邮编 : 是德科技 ( 成都 ) 有限公司成都市高新区南部园区天府四街 116 号电话 : 传真 : 邮编 : 是德科技香港有限公司香港北角电器道 169 号康宏汇 25 楼电话 : 传真 : 上海分公司上海市虹口区四川北路 1350 号利通广场 19 楼电话 : 传真 : 邮编 : 深圳分公司深圳市福田区福华一路 6 号免税商务大厦裙楼东 3 层 3B-8 单元电话 : 传真 : 邮编 : 广州分公司广州市天河区黄埔大道西 76 号富力盈隆广场 1307 室电话 : 传真 : 邮编 : 西安办事处西安市碑林区南关正街 88 号长安国际大厦 D 座 501 电话 : 传真 : 邮编 : 南京办事处南京市鼓楼区汉中路 2 号金陵饭店亚太商务楼 8 层电话 : 传真 : 邮编 : 苏州办事处苏州市工业园区苏华路一号世纪金融大厦 1611 室电话 : 传真 : 邮编 : 武汉办事处武汉市武昌区中南路 99 号武汉保利广场 18 楼 A 座电话 : 传真 : 邮编 : 上海 MSD 办事处上海市虹口区欧阳路 196 号 26 号楼一楼 J+H 单元电话 : 传真 : 邮编 : 本文中的产品指标和说明可不经通知而更改 Keysight Technologies, 2014, 2016 Published in USA, November 2, 2016 出版号 : CHCN

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