安全資料表 Rev.8 第 1 頁, 共 7 頁 一 化學品與廠商資料化學品名稱 : 光阻剝離劑 (BM-73) 其他名稱 :-- 建議用途及限制使用 : 用於 TFT-LCD 製程, 去除在線路蝕刻完成後多餘之光阻劑製造商或供應商名稱 : 三福化工股份有限公司製造商或供應商地址 : 台南市善化區小新里 340 號電話 :886-6-5837608 緊急聯絡電話 / 傳真電話 :886-6-5837608 傳真 :886-6-5839498 二 危害辨識資料化學品危害分類 : 1. 金屬腐蝕物第 1 級 2. 急毒性物質第 5 級 ( 皮膚 ) 3. 嚴重損傷 / 刺激眼睛物質第 2A 級 4. 特定標的器官系統毒性物質 ~ 單一暴露第 3 級標示內容 : 象徵符號 : 腐蝕 驚嘆號 警示語 : 警告危害警告訊息 : 1. 可能腐蝕金屬 2. 皮膚接觸可能有害 3. 造成嚴重眼睛刺激 4. 可能造成呼吸道刺激危害防範措施 : 1. 蓋緊容器 2. 勿吸入氣體 / 蒸氣 / 煙霧 3. 配戴護目鏡 化學防護面罩 防護衣 4. 若與身體接觸, 立刻以大量的水洗滌後洽詢醫療其他危害 :/ 三 成分辨識資料混合物 : 化學性質 : 危害成分之中英文名稱 濃度或濃度範圍 ( 成分百分比 ) 化學文摘社登記號碼 (CAS No.) 乙醇胺 (Ethanolamine) 二乙二醇單丁醚 (Diethylene glycol monobutyl ether) 30 ~ 40% 141-43-5 60 ~ 70% 112-34-5
安全資料表 Rev.8 第 2 頁, 共 7 頁 四 急救措施不同暴露途徑之急救方法 : 吸入 : 1. 若發生危害效應時, 應將患者移到新鮮空氣處 2. 若無呼吸, 立即進行人工呼吸 3. 立即送醫 皮膚接觸 : 1. 將受污染的衣物和鞋子移除, 用水和肥皂清洗患處 15 分鐘以上 2. 若需要, 立即就醫 3. 受污染的衣物和鞋子於再次使用前, 須徹底清洗和乾燥 眼睛接觸 : 1. 立即以大量清水沖洗眼睛 15 分鐘以上 2. 立即就醫 食入 : 1. 立即與當地毒物中心或醫師聯絡 2. 若患者已經失去意識, 勿催吐或是給予任何流質 3. 若發生嘔吐, 使患者的頭低於臀部以免吸入嘔吐物 4. 若患者已失去意識, 將頭部轉至側邊 5. 立即就醫 最重要症狀及危害效應 : 呼吸道刺激 皮膚刺激 眼睛刺激 對急救人員之防護 : 應穿著 C 級防護裝備在安全區實施急救 對醫師之提示 : 若患者吞食時, 考慮洗胃 五 滅火措施適用滅火劑 : 水霧 化學泡沫 二氧化碳 化學乾粉 滅火時可能遭遇之特殊危害 : 1. 蒸氣會蓄積在低窪處 2. 火場中的密閉容器加熱可能破裂 特殊滅火程序 : 1. 徹退並自安全距離或受保護的地點滅火 2. 位於上風處以避免危險的蒸氣和有毒的分解物 3. 滅火前先阻止溢漏, 如果不能阻止溢漏且周圍無任何危險, 讓火燒完, 若沒有阻止溢漏而先行滅火, 蒸氣會與空氣形成爆炸性混合物而再引燃 4. 隔離未著火物質且保護人員 5. 安全情況下將容器搬離火場 6. 以水霧冷卻暴露火場的貯槽或容器 7. 如果溢漏未引燃, 噴水霧以分散蒸氣並保護試圖止漏的人員 8. 儘可能徹離火場並允許火燒完 9. 遠離貯槽 10. 貯槽安全閥已響起或因著火而變色時立即徹離 11. 未著特殊防護設備的人員不可進入 消防人員之特殊防護設備 : 消防人員必須穿戴全身式化學防護衣及自攜式空氣呼吸器 ( 必要時外加抗閃火鋁質被覆外套 )
安全資料表 Rev.8 第 3 頁, 共 7 頁 六 洩漏處理方法個人應注意事項 : 1. 隔離危害區域, 並禁止非相關人員進入 2. 人員需待在上風處, 並遠離低窪地區 環境注意事項 : 1. 避免熱 火焰 火星和其他引火源 2. 移除引火源 清理方法 : 1. 在安全許可下, 設法止漏 2. 利用水霧來降低蒸氣 3. 少量洩漏 : 用砂或其他不燃物質吸附, 並將該吸附之物質放置於適當之容器內作廢棄處置 4. 大量洩漏 : 築堤圍堵後廢棄處置 七 安全處置與儲存方法處置 : 處置要求 : 1. 在通風良好處處置 2. 避免物質蓄積在窪地及污水坑 3. 不要進入局限空間 4. 避免吸煙 暴露於裸光或引火源 5. 避免接觸不相容物質 6. 操作時禁止飲食或吸煙 7. 容器不使用時需緊閉 8. 避免容器物理性損壞 注意事項 : 1. 該物質會累積過氧化物, 若揮發或蒸餾或濃縮處理可能會產生危害 例如在容器開口周圍可能累積形成高濃度 2. 採購此類會過氧化的物質, 需確保在其過氧化前可以用完 3. 需避免所有個人接觸, 包括吸入 4. 若有過度暴露風險時, 應穿戴個人防護衣 5. 處置後務必用水及肥皂洗手 6. 工作服應分開清洗 7. 維持良好的職業工作習慣 儲存 : 適當容器 : 1. 檢查容器是否有清楚的標示且無洩漏 儲存不相容物 : 1. 在強鹼或其強鹼鹽存在下, 若溫度提高可能有潛在失控反應 2. 避免與氧化劑反應 儲存要求 : 1. 貯存於原容器中 2. 保持容器緊閉 3. 禁止吸煙 暴露於裸光 熱源或引火源
安全資料表 Rev.8 第 4 頁, 共 7 頁 4. 貯存於陰涼 乾燥及通風良好的地方 5. 遠離不相容物質及糧食容器 6. 避免容器物理性損壞並定期測漏 八 暴露預防措施工程控制 : 1. 小量處理時, 使用局部排氣裝置 2. 大量處理時, 應將製程密閉或隔離工作者 3. 供給充分新鮮空氣以補充排氣系統抽出的空氣 控制參數八小時日時量平均容短時間時量平均容許最高容許濃度 Ceiling 許濃度 TWA 濃度 STEL 生物指標 BEIs -- -- -- -- 個人防護設備 : 呼吸防護 : 1. 若是有經常性的使用或會暴露在高濃度下, 需要呼吸防護 2. 呼吸防護依最小至最大的暴露濃度而有所不同 3. 在使用前, 須確認警告注意事項 4. 使用任何含有機蒸氣濾罐之化學濾罐式呼吸防護具 或是任何全面型含有機蒸氣 濾罐之化學濾罐式呼吸防護具 或是任何全面型含有機濾毒罐之空氣清淨式呼吸 防護具 5. 未知濃度 : 正壓自攜式呼吸防護具 正壓全面型供氣式呼吸防護具輔以正壓自攜 式呼吸防護具 手部防護 : 防滲手套, 材質以丁基橡膠 氯丁橡膠 腈類像膠 Saranex Viton 4H 為 佳 眼睛防護 : 化學安全護目鏡 皮膚及身體防護 : 化學防護衣 衛生措施 : 1. 工作後儘速脫掉污染之衣物, 洗淨後才可再穿戴或丟棄, 且須告知洗衣人員污染物之危 害性 2. 工作場所嚴禁抽煙或飲食 3. 處理此物後, 須徹底洗手 4. 維持作業場所清潔 九 物理及化學性質 外觀 ( 物質狀態 顏色等 ): 透明無色液體氣味 : 胺味 嗅覺閥質 :-- 溶點 :-- ph 值 :<13 沸點 / 沸點範圍 :171 ~180 易燃性 ( 固體 液體 ):-- 閃火點 :97 分解溫度 :N/A 測試方法 ( 開杯或閉杯 ):ASTM D 3828 自燃溫度 :204 爆炸界限 :-- 蒸氣壓 :-- 蒸氣密度 :-- 密度 :0.97(at 25 ) 溶解度 : 可溶於水 辛醇 / 水分配係數 (log Kow): -- 揮發速率 :--
安全資料表 Rev.8 第 5 頁, 共 7 頁 十 安定性及反應性安定性 : 正常狀況下安定 特殊狀況下可能之危害反應 : 1. 酸 ( 強 ) 鹼 ( 強 ): 不相容 2. 氧化劑 ( 強 ): 火災及爆炸危害 應避免之狀況 : 避免熱 火焰 火星和其他引火源 應避免之物質 : 酸 鹼 氧化性物質 危害分解物 : 熱分解會產生碳氧化物 十一 毒性資料暴露途徑 : 吸入 皮膚接觸 食入 眼睛 症狀 : 刺激 喉嚨痛 咳嗽 打噴嚏 頭痛 噁心 頭昏眼花 嗜睡 喪失意識 肺水腫 皮膚紅或粗糙及脫脂 眼睛紅及痛 嘔吐 腹瀉 痙攣 發紺 呼吸及心跳過速 低血壓 肌肉疼痛 骨髓抑制 喪失意識 昏迷 肝與腎傷害 急毒性 : 吸入 : 1. 由於該物質蒸氣壓低, 通常不具有吸入危害性 但吸入仍可能刺激胸部及肺部, 引起咳嗽 打噴嚏 頭痛 喉嚨痛, 甚至噁心 2. 高濃度可能造成中樞神經系統抑制, 引起頭痛 頭昏眼花 暈眩 嗜睡 喪失意識及肺水腫 3. 該物質也可能造成血管內溶血 骨髓抑制及慢性腎損傷 4. 該物質可能會造成呼吸道刺激, 而其身體對該刺激的反應可能進一步損傷肺部 皮膚接觸 : 1. 直接接觸可能造成輕微的刺激, 引起皮膚紅 粗糙及脫脂 2. 皮膚長期暴露於該物質可能造成短暫的不適 3. 與皮膚接觸可能有害健康, 若經由皮膚吸收可能造成全身性效應 4. 若經由開放性傷口 擦傷或磨損之皮膚進入血流, 可能造成全身性傷害 5. 使用該物質前應檢查皮膚, 確定所有外傷都已經有適當防護 眼睛接觸 : 1. 可能造成刺激, 引起眼睛紅 痛, 以及暫時性的角膜損傷 2. 可能造成嚴重發炎, 損傷角膜 3. 接觸眼睛也可能造成嚴重發炎, 甚至可能傷害角膜 4. 對逐漸產生的角膜傷害, 若未及時且適當地進行治療, 可能造成永久性的視力損傷 食入 : 1. 誤食該物質可能有害個體健康 2. 食入可能造成噁心 嘔吐 腹瀉及中樞神經系統抑制, 引起頭痛 暈眩 頭昏眼花 嗜睡及痙攣 3. 大量食入可能中毒, 導致腎損傷, 並影響血液, 可能造成發紺 呼吸及心跳過速 低血壓 肌肉疼痛 骨髓抑制 肺水腫 喪失意識 昏迷, 甚至死亡 LD 50 ( 測試動物 吸收途徑 ):-- LC 50 ( 測試動物 吸收途徑 ):--
安全資料表 Rev.8 第 6 頁, 共 7 頁 慢毒性或長期毒性 : 1. 長期與皮膚接觸可能造成慢性皮膚炎 2. 長期吸入蒸氣可能增加氣喘 支氣管炎及上呼吸道病毒感染的機會 十二 生態資料生態毒性 : LC 50 ( 魚類 ):-- EC 50 ( 水生無脊椎動物 ):-- 生物濃縮係數 :-- 持久性及降解性 : 半衰期 ( 空氣 ):-- 半衰期 ( 水表面 ):-- 半衰期 ( 地下水 ):-- 半衰期 ( 土壤 ):-- 生物蓄積性 :-- 土壤中之流動性 :-- 其他不良效應 :-- 十三 廢棄處置方法廢棄處置方法 : 1. 參考當地政府相關法規處理 2. 通常需評估各種可行性, 包括還原 再利用 回收 廢棄 ( 若所有方法失敗 ) 若該物質尚未使用或未被污染則可回收, 若已被污染, 可能可以利用過濾 蒸餾或其他方法再利用 3. 使用前應考慮其使用期限, 並需注意其性質可能已改變, 未必適合回收或再利用 4. 不要讓清洗用水或製程設備的用水進入排水管 5. 所有清洗的水可能需收集處理後才能廢棄 6. 若要廢棄排入下水道, 必須優先符合法規, 有疑問時需洽詢當地相關單位 7. 盡可能回收或洽詢製造商進行回收, 若無適當處理機構, 則諮詢當地廢棄物處理主管單位 8. 在合格場所掩埋或焚化殘留物 十四 運送資料聯合國編號 (Un No.): 2491 聯合國運輸名稱 :-- 運輸危害分類 : 第 8 類腐蝕性物質包裝分類 :-- 海洋污染 ( 是 / 否 ):-- 特殊運送方法及注意事項 :-- 十五 法規資料適用法規 : 1. 職業安全衛生設施規則 2. 危害性化學品標示及通識規則
安全資料表 Rev.8 第 7 頁, 共 7 頁 3. 特定化學物質危害預防標準 4. 勞工作業場所容許暴露標準 5. 危害性化學品評估及分級管理辦法 6. 道路交通安全規則 7. 事業廢棄物貯存清除處理方法及設施標準 8. 公共危險物品及可燃性高壓氣體設置暨安全管理辦法 十六 其他資料 參考文獻 GHS SDS 資料庫 製表單位 名稱 : 三福化工股份有限公司 電話 :886-6-5837608 地址 : 台南市善化區小新里 340 號 傳真 :886-6-5839498 製表人 職稱 : 課長 姓名 ( 簽章 ): 莊成豪 製表日期 2015/9/25 版次 :8 下次改版日 2018/9/24 備註 上述資料中符號 -- 代表目前查無相關資料, 而符號 / 代表此欄位該物質並 不適用 本資料表是參考國內外文獻及製造者 輸入者或供應者提供原文之資料編撰而成, 本公 司對上述資料表已力求正確, 但不表示已涵蓋所有資訊 各項資訊僅供參考, 使用者請 依應用需求自行判斷其可用性