Vol. 34, No. 3 Journal of Semiconductors March 2013 创新驱动, 实干兴邦 国家自然科学基金 2012 年半导体科学领域申请项目概况分析 何杰 潘庆 国家自然科学基金委员会信息科学部, 北京 100085 摘要 : 2012 年度半导体科学领域申请项目数维持了稳步增长的势头, 面上项目的资助强度最高突破了 100 万元, 信息科学部杰出青年基金的资助指标实行了与一级学科代码申请数挂钩的政策, 使得本领域杰出青年基金获得者超过了往年 2013 年开始在限项政策方面有较大变动, 希望广大申请者认真关注 本文简述了 2012 年半导体科学领域基金申请与资助概况, 分析近期动态及学科对策, 并附 2012 年半导体科学领域资助的项目清单, 供有关科技工作者参考 关键词 : 自然科学基金 ; 半导体科学 ; 项目申请 DOI: 10.1088/1674-4926/34/3/037001 国家自然科学基金委员会信息科学部半导体科学与信息器件学科组 2012 年度共受理面上基金项目申请 783 项 (2011 年 699 项 ), 青年基金项目 549 项 (2011 年 571 项 ), 地区基金项目 37 项 (2011 年 35 项 ), 三类项目合计 1369 项 (2011 年 1305 项 ), 总项目数较 2011 年增长 4.9% 大大低于往年, 也大大低于整个自然科学基金的平均增长率 另外, 还有青年 - 面上连续资助项目申请 13 项, 表 1 列出了这四类项目的申请和资助情况 表 1 半导体科学与信息器件学科组面上 青年延续面上 青年 地区基金项目申请与资助概况 项目类别申请项目资助项数 ( 万元 ) 资助率 (%) 资助强度 ( 万元 ) 面上项目 783 139 11555 17.75% 83.13 青年 - 面上连续 13 2 160 15.38% 青年基金 549 135 3666 24.59% 27.16 地区基金 37 8 386 21.62% 48.25 从表 1 可以看出青年基金项目和地区基金项目的平均资助强度与面上基金项目强度差距逐年扩大, 从 2007 年青年基金项目和地区基金项目划归人才系列后, 这两类项目更注重维持并逐步提高资助率, 而面上基金项目则更注重提高平均资助强度 由于鼓励创新的理念已深入人心, 申请人 评议人和专家评审组成员在评议和评审过程中都已非常注重鼓励创新, 今后学科组将尽量不安排小额资助 ; 地区基金项目的申请规模仍然太小, 可能跟半导体基础介入的门槛较高有关, 今后将加大宣传力度, 鼓励符合申请地区基金项目条件的科研人员申请该类项目 2012 年新增的青年基金结题项目可直接申请延续面上资助的项目, 申请数不多, 资助率更低, 竞争更激烈 表 2 列出了 2012 年面上 青年和杰出青年基金申请项目在各二级申请代码所代表的分支领域中的分布 从表中可以看出, 面上和青年基金项目申请中, 半导体晶体与薄膜材料 集成电路设计与测试 半导体光电子器件申请项目数比较集中, 近几年一直处于半导体学科前列 半导体物理和新型信息器件两个分支领域的申请项目数明显不足, 且青年基金申请者的人数远低于面上项目申请数, 欢迎大家踊跃申请, 促进各学科均衡发展 特别需要指出的是, 科学处近年来一直强调大家填写申请代码时一定要填到三级代码, 但仍有部分申请者不按要求做, 从 通信作者. Email: hejie@nsfc.gov.cn Received 23 January 2013 表中可看出有 2 份面上项目申请只填到一级代码, 还有少数人只填到二级代码, 杰出青年基金项目申请中有 4 份只填到一级代码 ( 杰出青年基金申请可填到二级代码 ), 希望大家注意, 以免影响到项目的评审 2012 年信息科学部对杰出青年基金项目资助指标的分配进行了调控, 名额与一级代码的申请量进行挂钩, 导致本领域获资助杰出青年基金项目比往年有所增加, 本领域受理杰出青年基金项目申请 34 项, 资助 4 项, 竞争激烈 从表 2 中可以看出, 领域分布很不均衡, 从光电子和微电子两大领域看, 微电子领域明显数量少, 特别是集成电路测试与设计领域没有 1 份申请, 希望引起大家重视 本学科组将优先资助面向物联网应用的传感器件与芯片 射频器件与电路 太赫兹器件 纳米器件与技术 量子信息与量子器件 光电子器件与光子集成 微波与光子集成 宽禁带半导体材料与器件 SoC 和 SiP 高效太阳能电池材料与器件等方面的 为解决制约我国各方面发展的器件瓶颈问题, 鼓励针对提高器件综合性能的, 包括器件物理 结构设计 工艺实现 测试表征 可靠性和重复性等方面的科学问题 很多技术无法取得突破, 更多的就是因为对其中蕴含的科学问题没有清楚 这类深层次的问题不易被人们认识, 也难以被人们解决, 但其应用意义较大, 文献中通常很少述及这些 2013 Chinese Institute of Electronics 037001-1
表 2 2012 年面上 青年和杰出青年基金项目申请数在各分支领域中的分布 学科代码代码名称面上青年面上 / 青年杰出青年 F04 半导体科学与信息器件 2 0 4 F0401 半导体晶体与薄膜材料 118 90 1.31 4 F0402 集成电路测试与设计 134 112 1.20 0 F0403 半导体光电子器件 211 135 1.56 7 F0404 半导体电子器件 99 60 1.65 3 F0405 半导体物理 68 45 1.51 8 F0406 集成电路制造与封装 62 43 1.44 3 F0407 半导体微纳机电器件与系统 59 48 1.23 4 F0408 新型信息器件 30 16 1.88 1 深层次问题及其解决方案, 因此要求人员对相关领域现状有长期的跟踪和积累, 有了较深刻的理解后, 才能有的放矢地开展工作 我们将会在今后相当长的一段时期内努力对这类器件工作予以倾斜支持, 鼓励大家深入挖掘各类高性能器件方面的科学问题, 大力开展器件物理 工艺 失效机理和可靠性方面的, 为实现高性能器件奠定科学基础, 改变我们以往在支持器件关键技术和基础工艺方面不尽如人意的状况, 改变我国在高端器件方面短缺的现状 希望广大科研人员在申请和评审基金项目时能够充分关注这一点 从这几年的申请及资助情况统计看, 热衷跟踪国际前沿热点 频繁变换方向的申请得到资助的比例较低 我们鼓励基于国际 ( 特别是我国 ) 科学技术发展的实际状况和基础, 提炼科学问题, 开展具有特色的工作 希望相关领域的广大科技工作者脚踏实地, 根据国际科学技术现状, 面向国家发展需求, 持续专注某一领域, 坚持深入探索, 提出更多 更好 更具创新性的项目申请 自 2013 年开始, 申请项目的限项规定有部分调 整 :(1) 国家重大科研仪器设备研制专项 ( 自由申请项目 ) 计入有关限项申请总数 (2) 上年 ( 注 : 本次指 2012 年 ) 已获得科学基金资助 ( 不包括一年期资助项目 ) 的项目负责人当年不得申请同类型项目 自 2014 年开始, 上两年 ( 注 : 本次指 2012 年和 2013 年 ) 连续申请面上项目未获得资助的申请人当年暂停面上项目申请 1 年 依托单位应对本单位在站博士后人员的项目申请分别提供书面承诺函, 该承诺函作为附件随纸质申请书一并报送 预计 2013 年各类基金项目平均资助强度等方面变化不大, 但面上项目的资助强度范围将会扩大, 根据内容的不同, 可能既有 70 万元的面上项目, 也有 170 万元的面上项目 重点项目一定要按照指南要求填写申请代码, 否则可能不予受理 请广大申请人和评议人在申请和评议过程中注意阅读 项目指南 或咨询单位科研管理部门 特别提请项目申请人和参加人填写真实的个人信息, 所有参加人员亲笔签名, 申请代码填写至第三级 表 3 4 5 6 7 分别列出了 2012 年半导体科学与信息器件学科组获资助的面上 青年 地区 重点和杰出青年基金项目, 供感兴趣的科技工作者参考 表 3 半导体科学与信息器件学科组 2012 年批准资助面上项目一览表 ( 合计 : 项目数 ( 项 )141, 总资助经费 :11715.00, 金额单位 : 万元 ) 1 61274001 F040704 新型级联阵列结构的 AlN MEMS 谐振器及关键机理 2 61274002 F040301 基于胶体量子点的高效率白光混合 LED 的 3 61274003 F040301 一维 III 族氮化物半导体微腔结构中 激子极化激元和受激辐射 4 61274004 F040102 二维单晶纳米结构及其非易失性铁 电随机存储器机理 5 61274005 F040102 电场下多元硫族化合物相变存储材 料的结构演化与性能 6 61274006 F0401 梯度掺杂纳米晶碳化硅 / 晶体碳化硅 双缓变结的反向软恢复特性 7 61274007 F040103 4H 碳化硅 PNPN 自支撑复合膜的 HTCVD 生长 8 61274008 F040103 纳米图形化结构高效氮化镓发光器 件的机理及光电特性 9 61274009 F040103 La 2 x Sr x CuO 4 双层薄膜制备及载流 子调控超导电性 10 61274010 F040103 等价离子取代 ZnO 多元合金的电子 能带调控及其 N 掺杂行为 037001-2 宁瑾 副员 中国科学院半导体 70 程刚 副教授 吉林大学 刘斌副教授南京大学 徐刚副教授浙江大学 70 孙志梅教授厦门大学 108 韦文生教授温州大学 82 刘兴昉 中国科学院半导体 陈宇 副员 中国科学院半导体 86 沈静琴 副教授 浙江理工大学 82 何云斌教授湖北大学 90 82
11 61274011 F040104 单晶金属薄膜上大面积高质量石墨烯的制备和硅插层 12 61274012 F040104 异质结构的 SiC 基一维半导体纳米 材料的可控合成与光电性能 13 61274013 F040104 基于 InAs/GaSb 超晶格的新型中波 红外雪崩光电二极管 14 61274014 F040104 量子点镶嵌 V 2 O 5 多孔纳米结构可 控制备及其 Li 电池 光催化性能研 15 61274015 F040104 氧化物基纳米异质结构阵列 / 薄膜的 制备及其低压压敏电阻器件 16 61274016 F040104 硅基铁磁半导体材料制备 微结构 和磁学性质 17 61274017 F040104 胶体合成半导体异质结构纳米晶及 单个纳米晶的光电性能 18 61274018 F040108 高性能聚合物电存储材料设计原理 制备与器件应用 19 61274019 F040108 有机场效应晶体管的工作稳定性 : 偏 压应力效应的机理 20 61274020 F040202 基于线性调谐宽带 CDTA 的电流模 式连续时间可重构模拟阵列 21 61274021 F040202 基于仿生视觉机理的彩色异步时域 CMOS 视觉传感器设计 22 61274022 F040202 单电感多输出直流电源变换器建模 及控制方法 23 61274023 F040202 基于像素电荷补偿的超宽动态范围 CMOS 图像传感器 24 61274024 F040202 近红外单光子雪崩信号读取芯片集 成设计 25 61274025 F040202 数字声呐接收机调理电路单芯片设 计与噪声优化方法 26 61274026 F040203 超低功耗连续小波变换芯片关键技 术 27 61274027 F040203 基于动态余量的 EMU 能量模型与策 略 612740 F040203 面向下一代移动终端的高性能低功 耗主存系统结构 29 61274029 F040203 超低电压微型无线传感器供电集成 电路 30 61274030 F040203 面向静态功耗优化的 SRAM 型 FPGA 布线算法 31 61274031 F040204 纳米工艺下 SoC 电源 / 地网络分析及 验证方法 32 61274032 F040204 在高维参数空间中集成电路性能分 布分析方法 33 61274033 F040204 基于 GPU 集群层次式并行计算的 3D 芯片电热综合分析与综合优化 34 61274034 F040205 纳米尺度 CMOS 工艺下的非接触测 试关键技术的 35 61274035 F040205 纳米工艺下面向参数成品率增强的 电路设计方法 郭海明 副员 中国科学院物理 杜银霄 副教授 郑州航空工业管理 学院 徐应强 副员 中国科学院半导体 86 朱自强 教授 华东师范大学 86 彭志坚 教授 中国地质大学 ( 北 86 京 ) 蒋最敏 教授 复旦大学 83 李培刚副教授浙江理工大学 88 赵强教授南京邮电大学 90 王穗东教授苏州大学 84 王春华教授湖南大学 徐江涛副教授天津大学 82 陆生礼教授东南大学 常玉春教授吉林大学 91 孙志斌 副员 中国科学院空间科 学与应用中心 刘岩 中国科学院声学 吴笑峰副教授湖南科技大学 85 罗萍教授电子科技大学 86 孙宏滨博士后西安交通大学 邝小飞副教授杭州电子科技大学 72 胡瑜 员 中国科学院计算技 86 术 蔡懿慈 教授 清华大学 82 严昌浩 助理 复旦大学 65 员 骆祖莹 副教授 北京师范大学 虞小鹏副教授浙江大学 韩雁教授浙江大学 89 037001-3
36 61274036 F040206 基于老化特征的集成电路失效预测与防护 37 61274037 F040207 由表面声波驱动的生物样品制备和 分析微系统 38 61274038 F040301 表面等离激元增强 AlGaN 基深紫外 LED 39 61274039 F040301 硅衬底 GaN 基 LED 异质外延生长及器件制备中应力 40 61274040 F040301 半极性准同质外延绿光 LED 及量子 效率提升技术 41 61274041 F040301 半极性面 GaN 基偏振光 LED 外延技 术及性能 42 61274042 F040302 基于激光混沌技术的高速序列随机 数发生器与通信的应用 43 61274043 F040303 面向 SOC 新型紫外探测器特性 及集成读出电路技术 44 61274044 F040303 基于纳米尺度高折射率差亚波长光 栅的硅基宽光谱增强型集成光探测 器 45 61274045 F040304 新型单片集成平衡探测器相关基础 46 61274046 F040304 多波长半导体锁模激光器集成芯片 47 61274047 F040304 超紧凑绝缘层上硅单片集成多波长 发射芯片 梁华国教授合肥工业大学 83 骆季奎教授浙江大学 黎大兵 员 中国科学院长春光学精密机械与物理 86 张佰君 教授 中山大学 92 魏同波 副员 中国科学院半导体 82 汪连山 员 中国科学院半导体 潘炜 教授 西南交通大学 金湘亮教授湘潭大学 82 段晓峰讲师北京邮电大学 赵玲娟 教授 中国科学院半导体 吉晨 员 中国科学院半导体 安俊明 副员 中国科学院半导体 48 61274048 F040305 高分辨率 CZT 像素阵列探测器 张流强 副员 重庆大学 49 61274049 F040305 基于 OLED 显示单元的复合红外光 关敏 副员 中国科学院半导体 84 传感器件的 50 61274050 F040306 太阳电池组件寿命预测理论的 杨宏 副教授 西安交通大学 及新的失效机理分析 51 61274051 F040306 高效太阳电池表面织构与钝化 黄惠良 教授 上海交通大学 52 61274052 F040306 垂直结构 InGaN 薄膜太阳能电池研 张保平 教授 厦门大学 81 53 61274053 F040306 Cu 2 ZnSnS 4 薄膜太阳电池异质结调 张毅 副教授 南开大学 91 控及电池性能 54 61274054 F040306 聚合物反向电池的相分离机制和光 韦玮 教授 南京邮电大学 85 伏性能 55 61274055 F040306 基于 n 型 PbS 量子点薄膜的太阳能 唐江 教授 华中科技大学 81 电池 56 61274056 F040306 包覆型银纳米结构对有机太阳能电 郝玉英 教授 太原理工大学 81 池性能的优化 57 61274057 F040306 高浓度杂质补偿对光伏用硅晶体及 杨德仁 教授 浙江大学 太阳电池性能影响 58 61274058 F040306 ZnTe:O 基中间带光伏材料外延及异质结构设计 叶建东 教授 南京大学 85 59 61274059 F040306 全时测量太阳能电池的电学特性和能量转换性能的 60 61274060 F040306 新型无结场纳米偶极子太阳能电池 的制备与原理 61 61274061 F040306 非晶硅 / 晶体硅异质结太阳电池载流 子输运机制与界面钝化特性 李勇滔 副员 中国科学院微电子 刘向鑫 员 中国科学院电工研 所 赵雷 副员 中国科学院电工研 所 89 90 85 82 037001-4
62 61274062 F040306 大面积柔性聚合物太阳能电池的刮膜技术及面板结构设计 63 61274063 F040306 利用高度有序的有机纳米结构阵列 提高聚合物光伏器件效率及其机理 64 61274064 F040306 AAO 纳米结构光栅对薄膜硅太阳能 电池光吸收及转换效率的提高 65 61274065 F040307 基于石墨烯电极的高性能柔性有机 发光二极管及力学性能 66 61274066 F040307 基于纳米陷光结构的柔性高效薄膜 太阳电池 67 61274067 F040308 SIS 结构光电器件的光子辅助量子隧 穿效应的 68 61274068 F040308 基于氧化物纳米线阵列的异质结紫 外探测器的 69 61274069 F040308 自栅控量子点场效应单光子探测器 及光电流增益相关机理 70 61274070 F040308 基于微结构选频的新型单模混合硅 激光器 71 61274071 F040308 高性能 InP 基长波长晶体管激光器 的 72 61274072 F040308 波长和重复频率可调谐外腔锁模量 子点激光器 73 61274073 F040401 Nb 2 O 5 纳米线网络的室温氢敏及其 修饰增强机理 74 61274074 F040401 基于表面态调控的 W 18 O 49 纳米线 基室温气体传感器及其自组装 75 61274075 F040401 用于饮用水监测的 AlInN/GaN 异质 结构传感器基础 76 61274076 F040401 基于形变在线调控技术微热板 气体传感器在应力作用下的稳定性 和可靠性 77 61274077 F040402 硅基 GaN HEMTs 超级结器件及其模 型 78 61274078 F040402 多尺度声表面波式指条面积加权的 小波变换处理器及小波反变换处理 器的 侯林涛副教授暨南大学 78 邓振波教授北京交通大学 85 张海明教授天津工业大学 81 陈淑芬副员南京邮电大学 90 王晓东 员 中国科学院半导体 85 马忠权 教授 上海大学 阮圣平教授吉林大学 88 杨晓红 副员 中国科学院半导体 97 张冶金 副员 中国科学院半导体 97 梁松 副员 中国科学院半导体 86 金鹏 员 中国科学院半导体 90 胡永明 副教授 湖北大学 81 秦玉香副教授天津大学 82 陈敦军教授南京大学 余隽副教授大连理工大学 82 李海鸥教授桂林电子科技大学 86 卢文科教授东华大学 81 79 61274079 F040403 新型高效 4H-SiC MOSFET 的 汤晓燕 副教授 西安电子科技大学 612740 F040403 具有衬底反型电荷区的硅基横向超 成建兵 讲师 南京邮电大学 82 结 DMOST 81 61274081 F040404 深能级陷阱对 CdZnTe 晶体电学性能 查钢强 副教授 西北工业大学 85 及辐射探测器性能的影响 82 61274082 F0404 用于 AMOLED 的非晶氧化物薄膜晶 张志林 教授 上海大学 100 体管稳定性的 83 61274083 F040406 全溶液法制备低电压有机薄膜晶体 郭小军 员 上海交通大学 管集成电路的 84 61274084 F040406 基于 IGZO-TFT 的集成电路 张盛东 员 北京大学 83 85 61274085 F040406 氧化物半导体薄膜晶体管的模型及 姚若河 教授 华南理工大学 参数提取方法 86 61274086 F040407 基于柔性衬底的 CMOS 器件 刘洋 教授 电子科技大学 85 87 61274087 F040407 隧穿场效应晶体管的结构 特性与模型 黄大鸣 教授 复旦大学 037001-5
88 61274088 F040407 面向 SOP 的非易失性薄膜晶体管存储器及其可靠性 89 61274089 F040407 自旋转移矩磁存储器的静动态特性 微磁仿真与分析 90 61274090 F040407 GaN 异质结器件场控能带 (FCE) 模 型与新结构 91 61274091 F040407 三维集成高密度阻变存储器基础研 92 61274092 F040407 氮化物半导体 THz 电子器件关键技 术 93 61274093 F040501 中间带掺杂中的 Mott 转变及载流子 驰豫动力学的实验 94 61274094 F040502 中红外量子级联激光器腔面温度分 布和失效机理 95 61274095 F040502 SnO 双极性薄膜晶体管和反相器的 载流子注入机理 96 61274096 F040502 硅基芯 壳结构纳米线 MOS 器件基础 97 61274097 F0405 多功能氧化物在硅衬底上集成的研 98 61274098 F040503 纤锌矿三元混晶多层异质材料中 电 声子相互作用及其相关问题 99 61274099 F040506 石墨烯和石墨炔的电子态 自旋调 控和器件设计 100 61274100 F040507 表面等离激元与半导体微腔的耦合 及其对激子极化激元单光子与双光 子自发辐射的调控 101 61274101 F0405 量子点自旋电子学器件中热流的生 成机制及应用 102 61274102 F040508 单晶铁磁纳米线系统中自旋角动量 转移的基础 103 61274103 F040508 铁磁共振 MExFM 原子分辨率磁交 换力检测成像 104 61274104 F040601 基于多种添加剂协同与竞争吸附作 用的 TSV 镀铜工艺仿真及实验验证 105 61274105 F040601 基于离子切割技术制备的绝缘体上 锗 (GeOI) 材料缺陷的去除方法 106 61274106 F040603 SiGe HBT 单粒子效应电荷收集机制 及其关键影响因素 107 61274107 F040603 铁电栅场效应晶体管存储器的单粒 子效应 108 61274108 F040605 适用于双工件台光刻机的高精度离 焦量解耦算法 109 61274109 F040605 具有双重电机的高加速高精度光刻 微动台的驱动技术 110 61274110 F040606 硅通孔三维集成的高频电磁分析与 优化设计 111 61274111 F040606 基于 TSV 的三维集成方法中原子层 沉积扩散阻挡层的制备与机理 112 61274112 F040607 小尺寸 HfTiO/TaON/GeON 堆栈高 k 栅介质 GeOI 基 MOSFET 丁士进教授复旦大学 84 刘喆颉教授太原理工大学 陈万军副教授电子科技大学 88 龙世兵 副员 中国科学院微电子 91 杨林安 教授 西安电子科技大学 75 杨春雷 员 中国科学院深圳先进技术院 王利军 员 中国科学院半导体 85 曹鸿涛 员 中国科学院宁波材 料技术与工程 所 何进 教授 北京大学 82 车静光教授复旦大学 班士良教授内蒙古大学 70 吴锋民教授浙江师范大学 91 茅惠兵教授华东师范大学 85 迟锋教授渤海大学 徐永兵教授南京大学 85 李艳君教授中北大学 高立明副教授上海交通大学 70 张轩雄员上海理工大学 92 郭红霞 员 中国科学院新疆理 84 化技术 唐明华 教授 湘潭大学 90 严伟 副员 中国科学院光电技 79 术 杨晓峰 教授 复旦大学 90 魏兴昌员浙江大学 78 蔡坚副员清华大学 91 徐静平教授华中科技大学 037001-6
113 61274113 F040607 碳纳米管电极交叉阵列阻变存储单元构建及开关特性 114 61274114 F040702 用于第三代基因测序系统的石墨烯 纳通道跨尺度集成制造原理及方法 115 61274115 F040703 基于碳纳米管 石墨烯复合结构的低 功耗热喷印系统基础 116 61274116 F040703 基于电解液 氧化物 半导体 (EOS) 结构单向导电特性的微 / 纳流控器件 基础 117 61274117 F040703 硅 MEMS 陀螺驱动 / 检测模态频率调 谐自适应控制方法和实验 118 61274118 F040703 纳电极阵液体冷媒放电中的热传过 程及其冷却效应 119 61274119 F040703 基于两种非线性理论的新型 MEMS 振动能量收集芯片 120 61274120 F040705 共振腔增强等离子体红外光源及其 在碳 -13 呼吸检测法中的应用 121 61274121 F040705 基于光微机电系统集成制备波长可 调氮化物激光器的基础 122 61274122 F040705 基于 MOEMS 的柔性微型 LED 集成 阵列器件理论及技术 123 61274123 F0401 不同衬底对石墨烯 FET 工作特性影响及其 ESD 失效机理 124 61274124 F0401 Q 频移 II VI 族 CdSe/ZnS 纳米晶体 量子点准白光激射的若干关键问题 125 61274125 F0401 基于半导体单量子点谐振腔耦合结 构的超低功耗纳米发光管 126 61274126 F0402 基于联 1,3,4 噁二唑衍生物构建具有 手性和铁电性反转功能分子开关的 127 61274127 F040101 2 英寸 AlN 自支撑衬底生长及应力 和缺陷控制 1 612741 F040103 基于氧化钛薄膜对多组份气体选择性灵敏探测和反应机理 129 61274129 F040103 基于量子点染料共敏化分等级多孔 TiO 2 薄膜的光电性能 130 61274130 F040107 半导体性单壁碳纳米管 / 共轭聚合物 复合薄膜及其光伏特性 131 61274131 F040201 混合粒度可重构视觉处理器关键技术 132 61274132 F040201 防御 DPA 攻击的功耗独立模型及 VLSI 设计关键技术 133 61274133 F040201 可重构多核处理器设计方法及其关 键技术 134 61274134 F040306 不同垒层厚度并掺杂的 GaNAs 基短 周期超晶格太阳能电池与 MBE 生长 张楷亮教授天津理工大学 82 孙立涛教授东南大学 91 周文利教授华中科技大学 吴文刚教授北京大学 82 盛蔚教授北京航空航天大学 78 侯中宇 上海交通大学 68 欧毅 副员 中国科学院微电子 84 伞海生 副教授 厦门大学 胡芳仁教授南京邮电大学 梁静秋 员 中国科学院长春光学精密机械与物理 91 徐杨 副教授 浙江大学 程成教授浙江工业大学 倪海桥 副员 中国科学院半导体 曲松楠 中国科学院长春光学精密机械与物理 张纪才 员 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生 86 冯庆 副教授 重庆师范大学 81 王苹副教授武汉理工大学 84 李红波 副员 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生 尹首一 副员 清华大学 92 汪鹏君教授宁波大学 89 郭东辉教授厦门大学 90 郑新和 员 中国科学院苏州纳 米技术与纳米仿生 85 87 86 037001-7
135 61274135 F040306 染料敏化太阳电池电极的多相自组装 量子修饰和界面态电子调控的理论 136 61274136 F040105 SOI 基高迁移率双沟道材料制备研 137 61274137 F040303 基于 nbn 型低暗电流 InAs/GaSb 超晶格双色红外探测器的 138 61274138 F040308 高性能窄禁带半导体碲镉汞太赫兹 探测 139 61274139 F0405 InAs 基半导体材料的热光伏效应及 其在低温辐射体热光伏发电中的应 用基础 140 61274140 F040501 高密度硅量子点的表面修饰与光增 益特性 141 61274141 F040507 基于 GaNAs 体系缺陷调控的新型自 旋过滤器的物理特性 谢智中讲师武汉理工大学 85 张苗 员 中国科学院上海微系统与信息技术 郭杰 讲师 云南师范大学 68 黄志明 员 中国科学院上海技术物理 胡淑红 副员 中国科学院上海技 术物理 黄锐副教授韩山师范学院 王兴军 员 中国科学院上海技 术物理 77 85 表 4 半导体科学与信息器件学科组 2012 年批准资助青年基金项目一览表 ( 合计 : 项目数 ( 项 )135, 总资助经费 :3666.00, 金额单位 : 万元 ) 1 61204001 F040401 多场耦合诱导的二氧化钒纳米线 Mott 相变及器件 2 61204002 F040101 基于同步辐射的黑硅红外增强吸收 机理 3 61204003 F040102 稀土和氧离子掺杂的 ZnS 量子点的 制备与性能 4 61204004 F040102 锗纳米晶的可控低温原位生长及其 机理 5 61204005 F040102 基于异质结晶体硅太阳电池的 a- SiO x :H 薄膜生长和钝化机理 6 61204006 F0401 半极性面 GaN 堆垛层错的形成机理和生长调控 7 61204007 F0401 碲化铋基热电薄膜的非平衡载流子 输运和相干声子振荡的 8 61204008 F0401 利用软 X 射线磁二色技术室温 稀磁半导体 GaMnN 铁磁性形成机理 9 61204009 F0401 卤氧铋基异质结薄膜太阳能电池材 料的设计 制备及器件组装 10 61204010 F040103 氧化亚铜的 n 型磁控溅射掺杂及同 质结 11 61204011 F040101 蓝宝石图形衬底上 MOCVD 定向控 制生长半极性 (11N22)GaN 12 61204012 F040103 新型窄带隙锑化物二维电子气材料 及输运特性 13 61204013 F040104 蓝宝石外延生长 GaN 厚膜的自分离 及断裂机理 14 61204014 F040104 半导体纳米线阵列的制备和转移及 光伏特性 胡彬副教授华中科技大学 24 王科范 副教授 中国科学院半导体 李小侠 副教授 江西财经大学 26 张博副教授电子科技大学 张丽平 副员 中国科学院上海微系统与信息技术 30 许晟瑞 讲师 西安电子科技大学 26 吴文智副教授黑龙江大学 31 邢海英副教授天津工业大学 32 贾会敏讲师许昌学院 叶凡讲师深圳大学 24 邢艳辉副教授北京工业大学 张杨 中国科学院半导体 李佳讲师河北工业大学 25 徐韬讲师上海大学 24 24 037001-8
15 61204015 F040104 一维氧化铟基复合核壳纳米纤维的制备及其室温气敏传感性质 16 61204016 F040104 基于 n-zno/i-zns 径向异质结构纳米 线阵列的可见盲紫外光探测器 17 61204017 F040104 氮化镓基微纳等离子体波场效应晶 体管 18 61204018 F040104 二氧化钒基核壳纳米结构可控制备 及其变温光电性能 19 61204019 F040108 纳米银线 - 石墨烯改性环氧树脂胶黏 剂的导电性能和导热性能的 20 61204020 F040108 基于噻吩 [3,4-c] 并吡咯烷二酮新型 受体的制备及其给体 - 受体共轭聚合 物光伏性能 21 61204021 F040108 新型 Re(I) 配合物磷光材料的设计 合成及其光电性能 22 61204022 F040201 具有 IP 保护特质的集成电路系统新 型设计方法 23 61204023 F040201 面向媒体处理的粗粒度可重构系统 中数据流管理机制和实现方法的研 24 61204024 F040201 基于自相似理论的 NoC 网络流量特 征关键技术 25 61204025 F040201 一种基于通信信道的无源超高频 RFID 标签芯片安全机制 26 61204026 F040201 高速 MIMO-OFDM SOC 非理想效应 联合自校准和补偿机制 27 61204027 F040201 参数偏差影响下三维多核芯片的系 统性能优化 612040 F040202 宽锁定范围锁相环频率合成器稳定 特性 29 61204029 F040202 多通道时间交织逐次逼近 ADC 高层 次模型及关键技术 30 61204030 F040202 面向多核软定义无线电系统的多模 式数字射频接收技术 31 61204031 F040202 高速 Flash ADC 量化模型设计方法 32 61204032 F040202 基于心跳能量搜集的低功耗单片集 成植入式超声波心脏起搏器的 33 61204033 F040202 MEMS 振荡器电路非线性相位噪声 机理的实验 34 61204034 F040202 标准 CMOS 工艺下单片三轴向地磁 传感集成电路设计技术 35 61204035 F040202 低功耗高性能能量自激型电源管理 集成电路 36 61204036 F040202 基于 N 相滤波器的多模射频系统共 存与互扰的 37 61204037 F040202 光电容积脉搏波信号采集与处理集 成电路设计与实现中关键基础问题 的 38 61204038 F040203 门电路复合应力模式下 NBTI 的退化 机制及建模 徐琳讲师吉林大学 32 梁瑶讲师大连交通大学 26 姜丽娟 中国科学院半导体 尹海宏讲师南通大学 胡国俊 工程师 中国电子科技集团 32 公司第十六 王洪宇 讲师 上海大学 30 李晓副教授辽宁科技大学 25 刘强副教授天津大学 26 曹鹏讲师东南大学 24 倪伟副教授合肥工业大学 24 邵轲 朱勇旭 41 公安部第三 24 中国科学院微电子 靳松 讲师 华北电力大学 ( 保 24 定 ) 刘艳艳 实验师 南开大学 佟星元讲师西安邮电学院 31 潘赟副教授浙江大学 24 唐鹤副教授电子科技大学 赵博博士后清华大学 贺林副员北京大学 30 刘珂 中国科学院微电子 郭建平讲师中山大学 32 陈东坡讲师上海交通大学 26 李严 中国科学院深圳先进技术院 李小进副教授华东师范大学 26 24 037001-9
39 61204039 F040203 高密度高可靠性亚阈值静态存储器的理论 40 61204040 F040203 高性能 CPU 中动态逻辑电路的低功 耗方法学 41 61204041 F040204 基于碳纳米管的三维集成电路硅通 孔互连线的建模与仿真 42 61204042 F040204 对基于随机比特序列运算的电路的 自动综合算法的 43 61204043 F0402 纳米 CMOS 器件中的本征随机效应 的建模和模拟及其对数字电路的影 响 44 61204044 F040205 三维集成电路的 TSV 模型及热管理 技术 45 61204045 F040206 基于测试配置片上变换的 FPGA 并 行测试方法 46 61204046 F040206 实速测试中低成本的功耗安全测试 方法 47 61204047 F040206 面向功能 ECO 的不等价逻辑抽取方 法 48 61204048 F0403 溶液方法制备的有机小分子 OLED 器件老化机理和稳定性 49 61204049 F040301 光子晶体发光二极管的光操控设计 与实验 50 61204050 F040301 硅 多形碳化硅同轴纳米线激光器研 51 61204051 F040301 基于荧光 / 磷光杂化机制的叠层白光 有机电致发光器件结构与机理的研 52 61204052 F040301 氮化镓基垂直结构发光二极管隧穿 型电流匀化结构 53 61204053 F040301 表面等离激元共振技术提高 AlGaN 基紫外 LED 发光效率 54 61204054 F040301 高调制频率 GaN 基单芯片无荧光粉 白光 LED 的 55 61204055 F040302 高功率半导体激光器 1=f 噪声特性 及其检测新方法 56 61204056 F040302 高功率单频电泵浦垂直外腔面发射 半导体激光器 57 61204057 F040302 基于激发态激射的高速 1.3 微米 InAs/GaAs 量子点激光器 58 61204058 F040302 中红外 2 3 微米 InAsSb/InP 量子点 激光器 59 61204059 F040303 双栅 PIN 结构双极性有机光敏场效 应晶体管和高效有机光探测器研制 60 61204060 F040303 基于液滴外延技术制备无应力纳米 光电红外探测器的 61 61204061 F040304 硅基集成化可重构光学导向逻辑器 件的 62 61204062 F040305 定向石墨烯纳米锥可控制备及其在 场发射显示中应用 柏娜讲师安徽大学 汪金辉讲师北京工业大学 24 梁锋讲师电子科技大学 钱炜慷讲师上海交通大学 24 叶韵博士后北京大学 30 丁瑞雪副教授西安电子科技大学 24 王飞 中国科学院电子学 陈田副教授合肥工业大学 24 王达 中国科学院计算技术 张新稳讲师南京邮电大学 30 招瑜讲师广东工业大学 王军转副教授南京大学 肖静副教授泰山学院 26 郭恩卿 孙莉莉 中国科学院半导体中国科学院半导体 路慧敏博士后北京大学 30 郜峰利讲师吉林大学 32 张星 季海铭 中国科学院长春光学精密机械与物理中国科学院半导体 李世国 讲师 深圳信息职业技术 学院 王艳平 中国科学院长春应用化学 巫江副教授电子科技大学 张磊 中国科学院半导体 胡海龙副员福州大学 24 34 30 037001-10
63 61204063 F040305 新型微偏振器件阵列的设计 制备 赵晓锦 讲师 深圳大学 24 与单片集成 64 61204064 F040306 三维结构薄膜硅太阳能电池 宋丹丹 讲师 华北电力大学 30 65 61204065 F040306 氧化锌基三波段光感杂化型太阳能 方芳 讲师 长春理工大学 电池材料的制备及其光伏性能 66 61204066 F040306 单结与多结光伏器件频域和三维空间光学电学仿真 李孝峰 教授 苏州大学 31 67 61204067 F040306 离子注入方法在黑硅太阳能电池发射极制备工艺中的应用 68 61204068 F040306 硅 /PEDOT:PSS 核壳纳米线太阳能电 池中势垒高度对光伏性能的影响及 其物理机制 69 61204069 F040306 大面积可控亚微米硅锥阵列黑硅太 阳能电池基础 70 61204070 F040306 表面等离激元增强宽光谱 InGaN 太 阳能电池 71 61204071 F040306 GaSb 基晶格失配 GaInSb 薄膜的生长及其应用于热光伏电池的基础 72 61204072 F040306 新型铁基光伏材料性能与器件 探索 73 61204073 F040306 柔性氧化锌基透明导电薄膜的光 电 力学性能调控 74 61204074 F040306 三维调制大孔黑硅及其在太阳能转 换中的应用 75 61204075 F040306 基于染料敏化太阳电池电极设计的 理论与性能模拟 76 61204076 F040306 新型高效硅掺杂 InAs/GaAs 量子点 中间能带太阳能电池的 77 61204077 F040306 硅基薄膜太阳能电池的纳米仿生陷 光结构 78 61204078 F040306 新型石墨烯量子点的微结构设计及 光电性能 79 61204079 F040308 光热耦合电源器件建模及基础问题 刘尧平 中国科学院物理 吕文辉讲师湛江师范学院 王艳芳工程师上海交通大学 孙晓娟 中国科学院长春光学精密机械与物理 彭新村讲师东华理工大学 24 王耀明 吴永庆 中国科学院上海硅酸盐中国科学院上海硅酸盐 敖献煜教授华南师范大学 30 黄阳 杨晓光 中国科学院合肥物质科学院中国科学院半导体 周航讲师北京大学 高志永副教授河南师范大学 34 刘磊讲师河北大学 6 612040 F040308 锗硅 / 硅异质结电光调制器的 冯松 讲师 西安工程大学 81 61204081 F040309 氮化镓发光管 (GaN LED) 参数退化 郭春生 讲师 北京工业大学 26 模型的 82 61204082 F040309 面向超高速多通道光子集成传输模 韩威 助理 中国科学院半导体 24 块的三维叠层封装技术 员 83 61204083 F040403 功率 SOI-LIGBT 器件热载流子退化 孙伟锋 教授 东南大学 26 机理及寿命模型 84 61204084 F040403 利用高 k 材料的极低比导通电阻硅 李俊宏 讲师 电子科技大学 功率器件基础问题的 85 61204085 F040403 氮化镓基浮空复合场板功率器件 毛维 讲师 西安电子科技大学 30 86 61204086 F040403 无损动态拉曼光谱技术在 GaN 器件可靠性中的应用 87 61204087 F0404 金属氧化物薄膜晶体管稳定性机理 的 庞磊 中国科学院微电子 兰林锋讲师华南理工大学 24 30 32 26 26 27 26 24 037001-11
88 61204088 F040406 铁电薄膜微图形化及其电性能相关性 89 61204089 F040406 基于 ZnO 基 TFT 的 AMOLED 像素 电路 90 61204090 F040406 柔性基底碳纳米管薄膜器件阈值电 压非稳机理 91 61204091 F040407 全透明金属量子点浮栅型存储器研 92 61204092 F040407 无结围栅纳米线 MOSFET 的短沟道 效应 93 61204093 F040407 室温工作的半导体超晶格高速真随 机数发生器 94 61204094 F040407 SiGeC HBT 新结构及其关键技术 95 61204095 F040407 氧化石墨烯基二极管存储器及其存 储机理的 96 61204096 F040407 基于器件物理的射频石墨烯场效应 管集约模型 97 61204097 F040501 Fe, Sn 掺杂 In 2 O 3 薄膜室温铁磁性的 电场调控 98 61204098 F040502 极化诱导掺杂 AlGaN 薄膜 PN 结的 机理和关键技术 99 61204099 F040502 硅基 GaN 功率开关器件阻断特性的 100 61204100 F040502 基于表面势的多晶硅 TFT 电路仿真 模型的与验证 101 61204101 F040503 AlGaN 基量子阱的界面陡峭技术及 其增强量子限制效应 102 61204102 F040503 p-nio/n-mgzno 异质结器件的电致 阻变效应及相关机理 103 61204103 F040503 Ge-MOS 技术中镧系复合高 k 介质 与 GeO 2 /Ge 界面调控的 104 61204104 F040504 两种直接带隙型 Cu 基 p 型透明导电 材料的理论设计与性能优化 105 61204105 F040506 低维耦合量子体系中混合空穴基态 及自旋调控 106 61204106 F040507 CuO/Cu 2 O 纳米线与银混合结构在光 电转换中激子输运特性 戴丽萍讲师电子科技大学 吴为敬副教授华南理工大学 仇志军副教授复旦大学 24 裴艳丽副教授中山大学 30 李聪讲师西安电子科技大学 黄寓洋 博士后 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生 刘静 讲师 西安理工大学 26 仪明东副教授南京邮电大学 31 常胜讲师武汉大学 26 江凤仙讲师山西师范大学 26 李世彬副教授电子科技大学 王茂俊讲师北京大学 邓婉玲副教授暨南大学 22 蔡端俊副教授厦门大学 陈心满讲师华南师范大学 王盛凯 中国科学院微电子 黄丹讲师湖南文理学院 24 汤乃云副教授上海电力学院 24 王鹏工程师兰州大学 27 107 61204107 F040508 半导体低维结构电子自旋弛豫 郝亚非 讲师 浙江师范大学 24 108 61204108 F040509 不同流体诱导石墨烯等半导体产生 李鹏 讲师 南京航空航天大学 26 电压的原理及应用 109 61204109 F040601 10 纳米以下图形加工的关键工艺问 段辉高 教授 湖南大学 题 110 61204110 F040603 面向空间应用功率 VDMOS 器件单 高博 助理 中国科学院微电子 25 粒子辐射损伤机理 员 111 61204111 F040604 面向 14nm 的高空间分辨率工艺偏差在线检测关键技术 张培勇 副教授 浙江大学 24 112 61204112 F040604 双极型器件的低剂量率辐射损伤机理与加速试验 113 61204113 F040605 应用矢量成像模型的光源 - 掩模优化 技术基础 刘远 博士后 工业和信息化部电 26 子第五 马旭 副教授 北京理工大学 25 31 037001-12
114 61204114 F040605 基于相位偏折原理的高精度整场检焦方法 115 61204115 F040606 面向高密度三维集成的玻璃等离子 体深刻蚀技术 116 61204116 F040607 基于 GaN 纳米线铁电场效应晶体管 及相关电性能 117 61204117 F040702 新型复合式三维原子力显微镜成像 理论与技术的基础 118 61204118 F040703 利用柔性衬底微针尖电极阵列实现 活体组织基因治疗基础 119 61204119 F040703 应用于物联网微电子器件的 MEMS 基压电微型能量采集技术 120 61204120 F040703 基于 MEMS 技术的敞开式离子源和 微型气泵集成系统 121 61204121 F040703 石油勘探 MEMS 加速度计接口 ASIC 关键技术 122 61204122 F040703 基于信号处理方法的微机械陀螺正 交误差及同相误差抑制技术 123 61204123 F040703 面向低功耗数字电路应用的多晶锗 硅纳机电开关 124 61204124 F040704 嵌入式电极侧向场激励薄膜体声波 谐振器 125 61204125 F040705 基于 MEMS 技术的多功能人造复眼 视觉系统及其关键技术 126 61204126 F040706 基于液核全内反射界面消逝波的流 式细胞检测芯片 127 61204127 F0401 基于硅微纳结构燃料电池型葡萄糖 传感器的 1 612041 F0401 基于酞菁修饰的一维纳米结构光响 应化学传感器 129 61204129 F0401 金属 / 半导体肖特基结构中催化诱导 热电子现象 130 61204130 F0401 基于传输极性优化的高频低功耗碳 纳米管场效应管设计 131 61204131 F0401 高效捕获高流速循环肿瘤细胞的三 维纳米器件的制备及机理 132 61204132 F0405 基于 Pt/TiO 2 x /TiO 2 /TiO 2Cx /Pt 结构 忆阻器的新型非易失性存储器电路 设计与实现 133 61204133 F040104 基于 InP 基异变缓冲层的 3 微米波长 新结构激光器 134 61204134 F0403 日盲紫外 GaN 基探测器集成技术基础 135 61204135 F040502 半导体太赫兹辐射源混沌动力学性 质 唐燕 中国科学院光电技术 靖向萌 副员 中国科学院微电子 26 陈义强 工程师 工业和信息化部电 27 子第五 吴森 讲师 天津大学 26 魏泽文 助理 国家纳米科学中心 24 员 杨斌 副员 上海交通大学 26 李华讲师桂林电子科技大学 尹亮讲师哈尔滨工业大学 25 莫冰副教授华侨大学 26 粟雅娟 副员 中国科学院微电子 32 金浩 讲师 浙江大学 24 邸思 中国科学院深圳先进技术院 黄华讲师东华大学 34 苗凤娟副教授齐齐哈尔大学 徐海涛 高级工程师 中国科学院理化技术 曾志刚讲师上海大学 24 周海亮 中国人民解放军国防科学技术大学 石莎莉 副员 中国科学院微电子 29 李志远 讲师 黑龙江大学 27 顾溢 王玲 中国科学院上海微系统与信息技术中国科学院上海技术物理 王长 副员 中国科学院上海微 系统与信息技术研 所 30 25 26 23 24 037001-13
表 5 半导体科学与信息器件学科组 2012 年批准资助地区基金项目一览表 ( 合计 : 项目数 ( 项 )8, 总资助经费 :386.00, 金额单位 : 万元 ) 1 61264001 F040202 可穿戴式无线体域网用 UWB 健康监护与遥测系统芯片 2 61264002 F040301 并五苯类似物的合成及其垂直结构 有机发光晶体管的 3 61264003 F040306 量子点和稀土离子共敏化二氧化钛 纳米管阵列太阳能电池的 4 61264004 F040308 基于环境友好半导体材料 ˇ-FeSi 2 Mg 2 Si 的光电子器件设计与 5 61264005 F040504 GaN 表面区杂质和缺陷形成 离化 及扩散行为的 6 61264006 F040506 III-V 族半导体异质结构二维电子气 的自旋输运特性 7 61264007 F040306 CdSe 量子点 /Cu 2 O 纳米柱阵列 PN 结的制备与光电转换性能 8 61264008 F040501 纳米金属氧化物中氧空位和表面结 构导致的发光特性 徐卫林讲师桂林电子科技大学 48 李建丰副教授兰州交通大学 46 周立亚教授广西大学 48 谢泉教授贵州大学 50 熊志华教授江西科技师范大学 48 周文政副教授广西大学 50 钟福新教授桂林理工大学 48 李廷会副教授广西师范大学 48 表 6 半导体科学与信息器件学科组 2012 年批准资助重点项目一览表 ( 合计 : 项目数 ( 项 )7, 总资助经费 :2160.00, 金额单位 : 万元 ) 1 61234001 F0402 高速集成电路系统级封装电磁 - 热 - 应力协同分析设计 2 61234002 F0402 纳米级超低功耗 CMOS 集成电路与 SoC 技术 3 61234003 F0402 基于光电子 / 微电子混合集成的视觉 芯片 4 61234004 F0403 相干大功率面发射半导体激光列阵 的相关机理及应用技术 5 61234005 F040306 基于半导体纳米结构的波长转换技术在硅基太阳电池上的应用 6 61234006 F0404 宽禁带半导体大功率电力电子器件 的可靠性 7 61234007 F0407 集成化高性能微纳机电射频谐振器 件 毛军发教授上海交通大学 310 曾晓洋教授复旦大学 310 吴南健 员 中国科学院半导体 310 秦莉 员 中国科学院长春光 310 学精密机械与物理 沈文忠 教授 上海交通大学 300 张波教授电子科技大学 310 杨晋玲 员 中国科学院半导体 310 表 7 半导体科学与信息器件学科组 2012 年批准资助杰出青年基金项目一览表 ( 合计 : 项目数 ( 项 )4, 总资助经费 :0.00, 金额单位 : 万元 ) 1 61225018 F0401 半导体纳米材料制备和量子点光电 于伟泳 教授 吉林大学 200 器件 2 61225019 F0403 InN 基氮化物半导体材料与器件 王新强 员 北京大学 200 3 61225020 F0401 高密度铁电二极管存储器及其先进 江安全 员 复旦大学 200 测量技术 4 61225021 F040508 铁磁半导体及碳基自旋电子学 王开友 员 中国科学院半导体 200 037001-14