综 述 高 英 新 包 永 忠 黄 志 明 翁 志 学 本 文 综 述 了 酚 醛 重 氮 萘 醌 正 性 抗 蚀 剂 的 溶 解 抑 制 机 理 主 要 包 括 分 子 间 氢 键 作 用 机 理 偶 联 反 应 机 理 两 步 即 静 态 动 态 溶 解 抑 制 机 理 表 面 沉 积 溶 解 抑 制 机 理 酚 醛 树 脂 的 分 子 溶 解 及 相 关 的 抑 制 机 理 酚 醛 树 脂 重 氮 萘 醌 正 性 抗 蚀 剂 溶 解 抑 制
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