页 1/9 1 化学品及企业标识 产品识别者 商品编号 : M230001, M230002, M230003, M230004, M230504, M230005, M230505, M230006, M230007, M230008, M230009, M230010, M230011, M230012, M230013, M230015 相应纯物质或者混合物的相关下位用途及禁止用途无相关详细资料 应用领域 SU16 Manufacture of computer, electronic and optical products, electrical equipment 原材料的应用 / 准备工作进行 Photoresist 安全数据单内供应商详细信息 企业名称 : MicroChem Corp. 90 Oak Street P.O. Box 426 Newton, MA 02464-0002 USA 可获取更多资料的部门 : Product Safety Email: productsafety@microchem.com 紧急联系电话号码 : MicroChem Corp : 617-965-5511 Chemtrec USA Emergency : 800-424-9300 Chemtrec International Emergency : 703-527-3887 2 危险性概述 GHS 危险性类别 GHS02 火焰 H226 易燃液体和蒸气 GHS06 骷髅和交叉骨 H331 吸入会中毒 GHS07 H315 引起皮肤刺激 H319 引起严重的眼睛刺激 H335 可刺激呼吸道 H303 吞咽可能有害 标签因素 GHS 卷标元素本产品根据化学物质分类及标记全球协调制度 (GHS) 进行了分类及标记 ( 在 2 页继续 )
页 2/9 图示 ( 在 1 页继续 ) GHS02 GHS06 名称危险 标签上辨别危险的成份 : 茴香醚 危险字句 H226 易燃液体和蒸气 H303 吞咽可能有害 H331 吸入会中毒 H315 引起皮肤刺激 H319 引起严重的眼睛刺激 H335 可刺激呼吸道 警戒字句 P210 远离热源 / 火花 / 明火 / 热表面 - 禁止吸烟 P261 避免吸入粉尘 / 烟 / 气体 / 烟雾 / 蒸气 / 喷雾 P280 戴防护手套 / 穿防护服 / 戴防护眼罩 / 戴防护面具 P312 如感觉不适, 呼叫解毒中心或医生 P337+P313 如仍觉眼刺激 : 求医 / 就诊 P370+P378 火灾时 : 使用防酒精泡沫灭火 P370+P378 火灾时 : 使用灭火粉末灭火 P370+P378 火灾时 : 使用二氧化碳灭火 P403+P233 存放在通风良好的地方 保持容器密闭 P501 按照本地 / 地区 / 国家 / 国际规例处理内含物 / 容器 其他有害性 PBT( 残留性 生物浓缩性 毒性物质 ) 及 vpvb( 高残留性 高生物浓缩性物质 ) 评价结果 PBT( 残留性 生物浓缩性 毒性物质 ) 不适用的 vpvb( 高残留性 高生物浓缩性物质 ): 不适用的 3 成分 / 组成信息 纯品 描述 : 由以下含有无害添加济的成分组成的混合物 危险的成分 : 100-66-3 茴香醚 H226; H315; H319; H335; H303; H333; H401 80-100% 附加組件 9011-14-7 聚甲基丙烯酸甲酯 1-20% 4 急救措施 应急措施要领 吸入 : 万一病人不清醒时, 请让病人侧趟以便移动. 皮肤接触 : 马上用水和肥皂进行彻底的冲洗. 眼睛接触 : 张开眼睛在流水下冲洗数分钟. 如果症状仍然持续, 请谘询医生. 食入 : 如果症状仍然持续, 请谘询医生. ( 在 3 页继续 )
页 3/9 给医生的资料 : 最重要的急慢性症状及其影响无相关详细资料 需要及时的医疗处理及特别处理的症状无相关详细资料 ( 在 2 页继续 ) 5 消防措施 消化药 灭火的方法和灭火剂 : 抗酒精泡沫灭火剂灭火粉末二氧化碳 为了安全, 不适当的灭火剂会 : 使用全喷嘴的水水 特別危险性 Containers may explode due to pressure increase when container is exposed to extreme heat. Vapors may travel a considerable distance to a source of ignition and flash back along vapor trail. 特殊灭火方法 消防人員特殊的防护装备 : 带上齐全的呼吸保护装置. 6 泄漏应急处理 保护措施远离燃烧的源头. 确保有足够的通风装置带上保护仪器. 让未受到保护的人们远离. 环境保护措施 : 切勿让其进入下水道 / 水面或地下水. 密封及净化方法和材料 : 吸收液体粘合原料 ( 沙粒 硅藻土 酸性粘合剂 通用粘合剂 锯屑 ). 确保有足够的通风装置. 切勿用水或水溶清洁剂来冲清. 参照其他部分有关安全处理的资料请参阅第 7 节. 有关个人保护装备的的资料请参阅第 8 节. 有关弃置的资料请参阅第 13 节. 7 操作处置与储存 操作处置 储存 Use only under yellow light 保持贮藏器密封. 只能在有良通风装置的地方使用. 确保工作间有良好的通风 / 排气装置. 防止气溶胶的形成. 有关火灾及防止爆炸的资料 : 使用防爆炸的设备 / 装置和防火花的工具. 远离火源 - 切勿吸烟. 防静电. ( 在 4 页继续 )
页 4/9 ( 在 3 页继续 ) 混合危险性等安全储存条件 储存 : 储存库和容器须要达到的要求 : Store in inert atmosphere or keep well sealed to prevent the formation of peroxides and other oxidation products. 有关使用一个普通的储存设施来储存的资料 : 不需要. 有关储存条件的更多资料 : 避免受光线照射. 储存在凉爽的地方. 热力将增加压力并可能导致贮藏器爆破. 将容器密封. 具体的最终用户 Preparation of radiation sensitive layers in fabrication of microelectronic devices 8 接触控制和个体防护 工程控制方法 : 没有进一步数据 ; 见第 7 项. 控制变数 在工作场需要监控的限值成分该产品不含任何必须在工作间受到监视的重要价值的材料. 额外的资料 : 制作期间有效的清单将作为基础来使用. 遗漏控制 个人防护设备 : 一般保护和卫生措施 : 远离食品 饮料和饲料. 立即除去所有的不洁的和被污染的衣服. 在休息之前和工作完毕后请清洗双手. 避免和眼睛及皮肤接触. 呼吸系统防护 : 如果曾短暂接触或在低污染的情况下, 请使用呼吸过滤装置. 如果曾深入或较长时间接触, 请使用独立的呼吸保护装置. 手防护 : 保护手套 手套的物料必须是不渗透性的, 且能抵抗该产品 / 物质 / 添加剂. 基于缺乏测试, 对于产品 / 制剂 / 化学混合物, 并不会提供手套材料的建议选择手套材料时, 请注意材料的渗透时间, 渗滤率和降解参数 手套材料碳氟橡胶 ( 氟橡胶 ) 选择合适的手套不单取决于材料, 亦取决于质量特征, 以及来自哪一间生产厂家, 因为该产品是由很多材料配制而成, 手套材料的抵抗力并不可预计, 所以, 必须在使用之前进行检查 渗入手套材料的时间请向劳保手套生产厂家获取准确的破裂时间并观察实际的破裂时间 如需长期接触, 适用由以下材料制造的手套 : 碳氟橡胶 ( 氟橡胶 ) 防止接触飞溅物, 适用由以下材料制造的手套 : 丁腈橡胶 ( 在 5 页继续 )
页 5/9 眼睛防护 : ( 在 4 页继续 ) 密封的护目镜 身体保护 : 密封的保护性手套 9 理化特性 有关基本物理及化学特性的信息 一般说明 外观 : 形状 : 液体颜色 : 根据产品规格 气味 : 坚固的 嗅觉阈限未决定. ph 値 : 未决定. 条件的更改 熔点 : 未确定的 沸点 / 初沸点和沸程 : 184 C 闪点 : 43 C 可燃性 ( 固体 气体 ): 不适用的 点火温度 : 475 C 分解溫度 : 未决定. 自燃溫度 : 该产品是不自燃的 爆炸的危险性 : 该产品并非爆炸性的然而有可能形成可爆炸性的空气 / 蒸汽混合物 爆炸极限 : 较低 : 未决定. 较高 : 未决定. 蒸气压在 20 C: 0.4 hpa 密度 : See Table 1 Other Information below 相対密度 未决定. 蒸气密度 未决定. 蒸发速率 Not determined. 溶解性水 : n- 辛醇 / 水分配系数 : 未决定. 黏性 : 动态 : 未决定. 不能拌和的或难以拌和 ( 在 6 页继续 )
页 6/9 ( 在 5 页继续 ) 运动学的 : 未决定. 其他信息 名字 数字 Sp.Grav. Vol.(%by wt.) VOC (g/l) 950A1 M230001 0.994 99 985 950A2 M230002 0.996 98 975 950A3 M230003 0.998 97 970 950A4 M230004 1.000 96 960 950A4.5 M230504 1.001 95.5 958 950A5 M230005 1.004 95 955 950A5.5 M230505 1.004 94.5 950 950A6 M230006 1.005 94 945 950A7 M230007 1.007 93 935 950A8 M230008 1.009 92 930 950A9 M230009 1.010 91 920 950A10 M230010 1.012 90 910 950A11 M230011 1.014 89 900 950A12 M230012 1.016 88 895 950A13 M230013 1.018 87 885 950A15 M230015 1.022 85 870 10 稳定性和反应性 反应性 稳定性 Stable 热分解 / 要避免的情况 : 如果遵照规格使用则不会分解. 有害反应可能性未有已知的危险反应. 应避免的条件无相关详细资料 不相容的物质 : Strong Oxidizing Agents, Strong Acids, Strong Bases 危险的分解产物 : 一氧化碳和二氧化碳酚 methyl methacrylate 11 毒理学信息 对毒性学影响的信息 急性毒性 : 与分类相关的 LD/ LC50 值 : 100-66-3 茴香醚口腔 LD50 3700 mg/kg (rat) 皮肤 LD50 >5000 mg/kg (rabbit) 吸入 LC50/2 hr 3.02 mg/l (mouse) 8.949 mg/l (rat) 主要的刺激性影响 : 皮肤 : 刺激皮肤和粘膜. 在眼睛上面 : 刺激的影响. 致敏作用 : 没有已知的敏化影响. 用人类作的试验 : No further relevant information available. ( 在 7 页继续 )
页 7/9 ( 在 6 页继续 ) 12 生态学信息 生态毒性 水生毒性 : 100-66-3 茴香醚 EC50/24 h 40 mg/l (daphnia magna) EC50/96 hr 162 mg/l (green algae) LC50/48 hr 120 mg/l (Cyprinus carpio (common carp)) 持久性和降解性中度 / 部分可生物分解 环境系统习性 : 潜在的生物累积性无相关详细资料 土壤内移动性无相关详细资料 额外的生态学资料 : 总括注解 : 水危害级别 2 ( 德国规例 ) ( 通过名单进行自我评估 ): 对水是危害的不要让该产品接触地下水 水道或污水系统. 即使是小量的产品渗入地下也会对饮用水造成危险. PBT( 残留性 生物浓缩性 毒性物质 ) 及 vpvb( 高残留性 高生物浓缩性物质 ) 评价结果 PBT( 残留性 生物浓缩性 毒性物质 ) 不适用的 vpvb( 高残留性 高生物浓缩性物质 ): 不适用的 其他副作用无相关详细资料 13 废弃处置 废弃处置方法 建议 : Disposal must be made in accordance with Federal, State, and Local regulations. 不能将该产品和家居垃圾一起丢弃. 不要让该产品接触污水系统. 受汚染的容器和包装 : 建议 : 必须根据官方的规章来丢弃. 14 运输信息 联合国危险货物编号 (UN 号 ) ADR, IMDG, IATA UN1866 UN 适当装船名 ADR 1866 RESIN SOLUTION, mixture IMDG, IATA RESIN SOLUTION, mixture 运输危险等级 ADR 级别 3 可燃液体 ( 在 8 页继续 )
页 8/9 标签 3 IMDG, IATA ( 在 7 页继续 ) Class 3 Flammable liquids. Label 3 包装组别 ADR, IMDG, IATA III 危害环境 : 海运污染物质 : 不是 用户特别预防措施 警告 : 可燃液体 危险编码 (Kemler): 30 EMS 号码 : F-E,S-D MARPOL73/78( 针对船舶引起的海洋污染预防协约 ) 附件书 2 及根据 IBC Code( 国际装船货物编码 ) 的大量运送不适用的 UN " 标准规定 ": UN1866, RESIN SOLUTION, mixture, 3, III 15 法规信息 对相应纯物质或者混合物的安全 保健及环境法规 / 法律 Chinese Chemical Inventory of Existing Chemical Substances 列出所有成分 GHS 卷标元素本产品根据化学物质分类及标记全球协调制度 (GHS) 进行了分类及标记 危险象形图表 GHS02 GHS06 名称危险 标签上辨别危险的成份 : 茴香醚 危险字句 H226 易燃液体和蒸气 H303 吞咽可能有害 H331 吸入会中毒 H315 引起皮肤刺激 H319 引起严重的眼睛刺激 H335 可刺激呼吸道 警戒字句 P210 远离热源 / 火花 / 明火 / 热表面 - 禁止吸烟 P261 避免吸入粉尘 / 烟 / 气体 / 烟雾 / 蒸气 / 喷雾 P280 戴防护手套 / 穿防护服 / 戴防护眼罩 / 戴防护面具 ( 在 9 页继续 )
页 9/9 P312 如感觉不适, 呼叫解毒中心或医生 P337+P313 如仍觉眼刺激 : 求医 / 就诊 P370+P378 火灾时 : 使用防酒精泡沫灭火 P370+P378 火灾时 : 使用灭火粉末灭火 P370+P378 火灾时 : 使用二氧化碳灭火 P403+P233 存放在通风良好的地方 保持容器密闭 P501 按照本地 / 地区 / 国家 / 国际规例处理内含物 / 容器 化学物质安全性评价 : 尚未进行化学物质安全性评价 ( 在 8 页继续 ) 16 其他信息 该资料是基于我们目前的知识. 然而, 这并不构成对任何特定产品特性的担保并且不建立一个法律上有效的合同关系. 发行 MSDS 的部门 : Product safety department 联络 : Mr. Weber 缩写 : RID: Règlement international concernant le transport des marchandises dangereuses par chemin de fer (Regulations Concerning the International Transport of Dangerous Goods by Rail) ICAO: International Civil Aviation Organization ADR: Accord européen sur le transport des marchandises dangereuses par Route (European Agreement concerning the International Carriage of Dangerous Goods by Road) IMDG: International Maritime Code for Dangerous Goods IATA: International Air Transport Association LC50: Lethal concentration, 50 percent LD50: Lethal dose, 50 percent