JSM 7000 F 操作程序

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1 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page1 F E - S E M J E O L JSM-7000F 列 讀 SOP /9/6

2 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page2 1 理 1: :(Electron Gun); 了 镜 (condensing lenses)(scan coils) 镜 objective lens KV 镜 率 镜 理 coil 來 行 (secondary electrons)(backscattered electrons) X-ray(EDSWDS)Auger 2 2: SEM 列 量 離 缚 離 列 讀 SOP /9/6

3 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page3 略 量 離 數 若 backscattered electrons image- BEI 來 secondary electrons image- SEI 來 3 SEI BEI 4 SEI BEI 3 SEI BEI 4 SEI BEI BEI 理 離 E-T detector 金 250V P P-10P PPC 理 5 列 讀 SOP /9/6

4 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page4 5 理 洞 洞 流 6 6 奈 JEOL JSM-7000F (Thermal Field Emission Electron Gun) 流 ( EDS EWDSCLE-Beam writer) 流 度 1800K 度 行 離 流 度 亮度 離 數 料 度 料 力 料 料 SEM 度 聯 度 度 度 度 1. 度 - 若 2. 度 - 若 不 料 例 : 列 讀 SOP /9/6

5 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page5 若 切 (cross-section) 行 3. - 不 料 金 留 累 4. 料 - 若 料 5. 料 ( 連 6. 狀 ()() 切 12.5mm-25m 度不 理 離 離 離 金 力 行 離 離 兩 金 離 若 流 流 粒 列 讀 SOP /9/6

6 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page6. UJSM 7000 F exchange chamber exchange chamber ( tilt control ) Z ( WD control ) X exchange chamber Y XYZ 列 讀 SOP /9/6

7 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page7 exchange chamber VENTexchange chamber EVACexchange chamber EXCH POSN exchange ( 亮 ) HLDR holder ( 亮 ) GUN VALVE CLOSE chamber 離 ( 亮 離 狀 ) 列 讀 SOP /9/6

8 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page8 Alignment Scanning FREEZE/ACB/PHOTO 率 Scanning 1. QUICK VIEW SEM 2. FINE VIEW SEM ( 兩 度 度 ) 3. RDC IMAGE FREEZE/ACB/PHOTO 1. FREEZE 狀 2. ACB 亮度 3. PHOTO 率 1. LOW MAG 率 率 2. MAGNIFICATION 率 1. AUTO 2. FOCUS 列 讀 SOP /9/6

9 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page9 1. CONTRAST 2. BRIGHTNESS 亮度 輪 輪 利 輪 輪 狀 復 錄 輪 Holder 類 兩 列 讀 SOP /9/6

10 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page10. Stage 狀 狀 綠 不 流 流 流 列 列 讀 SOP /9/6

11 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page11 量 更 不 率 理 亮 數 離量 見 參數 金 金 量 參數 數 數 列 讀 SOP /9/6

12 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page12 離 流 滑 度 度 Stage 令 零 力 數 度 流 列 讀 SOP /9/6

13 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page13 拾 度不 0.5 cm Exchange chamber 行 Exchange chamber Exchange chamber 連 chamber chamber 行 不 度 ( 行 ) 亮 亮 零 參數 零 列 讀 SOP /9/6

14 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page14 拉 拉 亮 拉 拉 立 來 拉 拉 切 拉 拉 立 來 拉 度 度 P P 便 亮 狀 率 度 列 讀 SOP /9/6

15 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page15 率 狀 行 率 率 率 率 令 若 亮度 不 令 亮度 列 讀 SOP /9/6

16 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page16 數 參數 錄 來 復 拉 令 復 亮 狀 狀 拉 拉 行 不 列 讀 SOP /9/6