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愉强缪
2 years ago
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INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器, 专为苛刻的生产环境而设计经验证的温度控制防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性 Edge 采用 INFICON 获得专利的独特传感器屏蔽, 可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的现场总线接口

1 INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器, 专为苛刻的生产环境而设计经验证的温度控制防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性 Edge 采用 INFICON 获得专利的独特传感器屏蔽, 可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的现场总线接口创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间 INFICON Edge 是同类产品中体积最小的真空测量仪器益处设计紧凑, 节省宝贵的工具空间易于集成,, 各种满刻度和法兰, 标配两个轻松一键调零或远程信号调零指令, 可调零点偏移诊断端口用于快速维修和维护两年保修服务, 先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命卓越的信号稳定性和可重复性, 即使是最苛刻的等离子应用, 都无需长期执行重新校准合规性与标准 :CE EN UL SEMI RoHS 1

2 订购信息 2

3 规格类型 1000 Torr, 1100 mbar Torr / mbar 精度 (1) % of reading 温度效应零点 percent FS/ C 温度效应满量程 % of reading / C 压力, 最大 kpa (absolute) 分辨率 percent FS 最低读数 percent FS 建议的最低读数 percent FS 建议的最低控制压力 percent FS 温度 Sensor C 运行 ( 环境 ) C 在法兰处烘烤 C 贮存 C 电源电压功耗 VDC or ±15 V (±5%) VDC or ±15 V (±5%) 加热时 W 运行温度 W 8 8 输出信号 ( 模拟 ) V (dc) 反应时间 (2) ms 保护等级 IP 40 IP 40 标准 CE 合规 EN /-6-3, EN & RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No EN /-6-3, EN & RoHS UL , CSA 22.2 No SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male 数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 继电器触点 V (dc)

4 规格类型 1000 Torr, 1100 mbar Torr / mbar 继电器触点 A (dc) 滞后 percent FS 1 1 诊断端口协议 RS232-C RS232-C 读数 pressure, status, ID pressure, status, ID 设置暴露于真空的材料内部容积 factory reset, DC offset Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) factory reset, DC offset Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) 内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 8 VCR cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量重量 1/2'' 管 g 重量 DN 16 ISO KF g 重量 DN 16 CF-R g 重量 8 VCR g 协议 protocol specialized for 通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" protocol specialized for ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" 节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID 数字功能设置 reset, DC offset reset, DC offset 4

5 规格类型 1000 Torr, 1100 mbar Torr / mbar 过程数据邮箱 (CoE) 连接器电缆 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 数据率 Kbps 电缆长度 m (ft.) 100 (330) 100 (330) (1) 25 C 环境温度时非线性滞后可重复, 运行 2 小时后不产生温度效应 (2) 增加 % FS (3) 仅适用于压力控制类型 (4) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁 5

6 尺寸由于我们的持续产品改进计划, 因此产品规格可能会有变更, 恕不另行通知 RateWatcher 是 INFICON 的商标所有其他商标均为其各自所有者的财产 ( ) 2014 INFICON

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rptProductDatasheet 益处拥有成本更低, 预热速度快 50%, 节能, 低功耗易于集成, 各种满刻度法兰和接口, 标配两个轻松一键调零或远程信号调零指令, 可调零点偏移诊断端口用于快速维修和维护两年保修服务, 先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命卓越的信号稳定性和可重复性, 即使是最苛刻的等离子应用, 都无需长期执行重新校准合规性与标准 :CE EN UL SEMI RoHS 1 订购信息 2 精度