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1 專題報導 Featured Articles 電晶體誕生的 故事 70 年前在貝爾實驗室誕生了一個小發明 謝東穎 誰也想不到一顆小小的元件居然成為 20 世紀人類科技文明最重要的一項發明 它就是電晶體 電晶體 過去半個世紀以來 寶島台灣從一個以傳 統加工出口產業為導向的蕞爾小島 轉變成為 一個以高科技產品製造聞名的科技矽島 經歷 過的發展歷史與背景 以及中間所牽涉到的真 人真事與英雄事蹟 每一個小故事都與台灣的 發展有舉足輕重的影響 但也很難在短短的幾 頁文字中訴說清楚 不論是近來最熱門的結合 虛擬實境及擴充實境技術的寶可夢遊戲 最 新 的 iphone 手 機 下 個 世 代 的 AMOLED 或 Micro LED 面板 乃至於 AI 人工智慧跟大數 據等產業 都與一個已經在人類的科技史上留 名的小東西有關 那就是 電晶體 本文希望藉由這個機會跟 月 刊的讀者們分享關於電晶體誕生的小故事 半 導體產業怎麼在台灣發展起來的 以及今後可 能的演進和對未來台灣可能產生的影響 就如 同其他的科學或工程技術 電晶體最初的發明 並非與現今的應用有直接關聯 因此現在帶各 位回到過去 回味一下電晶體的發明過程 06 寶可夢的遊戲介面以及其造成萬人空巷的盛況

2 入水口 入水口 入水口 出水口 出水口 出水口 1. 水道呈水平狀態 因此水不會流動 2. 這時水道呈傾斜狀態 水往出水口流動 但是被水閘門擋住 出水口還是沒有水 3. 最後透過外力 電壓 把閘門往上拉 水就可以順利地通過閘門從出水口流出 以水道及水閘門模擬 MOSFET 電晶體的操作原理 什麼是電晶體 電晶體的發明徹底顛覆了傳統對於科技的 想像 到底什麼是電晶體呢 這得從其英文命名 Transistor 來談才容易了解 Transistor 其實是二 個英文字根的組成 tran 和 resistor 電阻 大 家從中學的課本就可以初步認識到電阻 簡單來 說 電阻是對電子傳導具有某種程度影響的電子 元件 這裡所謂的影響可由電阻的大小來描述 若電阻值大時 意味著通過的電子數目較少 或 者可以想成電子移動的速度較慢 同理 若電 阻變小 代表電子較容易傳導 常見的電晶體 圖片來源 Tudor Barker 攝 Transistor tran 跨越 resistor 電阻 電阻 Transistor 可以理解成是一個可以被 跨過 穿越 的電阻 穿隧式電子顯微鏡下的電晶體相貌 07

3 專題報導 Featured Articles 左 圖 是 蕭 克 利 右 圖 是 布 萊 頓 中 間 是 巴 丁 圖 片 來 源 wiki transistor Tran-sistor 可 想 成 是 一 個 可 以 被 跨 蕭克利驗證理論時 他用 1 千伏特的電 過 穿越 的電阻 何謂 跨過 穿越 呢 壓為金屬板充電 然後讓它距離半導體表面 1 就是在電晶體中 透過一個額外的控制接 毫米 卻發現行不通 他在實驗日誌中記錄下 點 控制電晶體中的電阻 trans 一般可視 沒有可觀測到的電流變化 他內心覺得這 為間接的意思 實務上可以藉由電壓來 樣的結果 有點不尋常 蕭克利認為只有釐 控制接點 以改變流經這電阻的電流 早 清失敗的原因 才能找到成功的途徑 因此蕭 期的電話網路採用真空管來放大語音訊號 克利請巴丁想方設法找出原因 他倆耗費無數 如此才能在電話網路中長途傳輸 但是真 小時討論所謂的 表面態 物質表面原子層 空管有許多缺點 例如 語音訊號傳輸過 的電子特性和量子力學描述 程中消耗大量電力 產生大量的熱 且真 空管非常嬌弱 容易燒壞 因此貝爾實驗 室於 1945 年開始研究替代方案 以半導體 元件來取代真空管放大器 5 個月後的某一天 巴丁忽然靈光乍現 領悟出實驗失敗的可能原因 他把這個想法 寫在黑板上與 3 人團隊的另一位科學家布萊 頓分享 巴丁認為 半導體帶電後 電子會困在表 電晶體的誕生 電晶體誕生的故事中最重要的 3 位科 障 即使相隔 1 毫米之外有強烈電場 都無法 1989 布 萊 頓 Walter Brattain, 移動 蕭克利指出 事實上 表面態保護 學 家 是 蕭 克 利 William Shockley, 及 巴 丁 John Bardeen, 層 無法自由移動 形成了一個不易跨越的屏 穿透壁壘 新增的電子陷在表面態中 無法 半導體內部不受帶正電荷的控制板影響 在 1991 蕭克利雖然年紀最輕 卻在研究 這樣的假設之下 研究小組有個新任務 設法 團隊裡扮演領導者的角色 常常發想出許 打破半導體表面形成的屏障 我們把焦點放 多有趣且富有挑戰性的點子 巴丁則擅長 在與巴丁的表面態相關的新實驗 蕭克利解 理論計算 布萊頓非常喜歡動手做實驗 釋 他們必須突破壁壘 才能讓半導體發揮調 3 人團隊形成很好的互補 節 開關和放大電流的功能

4 科學家的恩怨情仇 嚴格來說 第一個電晶體的誕生 蕭 克利並未參與其中 巴丁和布萊頓兩個人 在 1947 年 發 明 了 點 接 觸 電 晶 體 Pointcontact Transistor 申 請 專 利 時 巴 丁 和布萊頓也沒有把蕭克利的名字列為發明 人 令蕭克利相當生氣難過 這一個事件使原來氣氛和諧的 3 人研 究小組出現嫌隙 蕭克利與另外兩人逐漸 形同路人 巴丁和布萊頓的合作默契則越 來越好 布萊頓很佩服地稱讚巴丁是最有 智 慧 的 人 John Bardeen was the most intelligent human being that I've ever met. 這一句話深深地刺激到蕭克利 他開 第一個電晶體於 1947 年 12 月 23 日在貝爾實驗室 誕生 圖片來源 wiki transistor 因諾貝爾桂冠一笑泯恩仇 始祕密研發另外一種接合電晶體 junction 1956 年 因為一件大事 終於讓這 3 transistor 發 憤 圖 強 並 寫 成 一 本 位曾經一起打拚後來卻分道揚鑣的科學家 Electrons and Holes in Semiconductors 後來這本書成為半導體教科書中的聖經 接合電晶體比點接觸電晶體更容易製 造 也更有商業價值 蕭克利在 1951 年獲 得接合電晶體的專利 算是替自己出了一 一笑泯恩仇 那就是他們 3 人共同獲得諾 貝爾獎 巴丁只帶一位小孩參加當年的諾 貝爾獎頒獎典禮 另外兩位兒子沒有來 為此 惹得瑞典國王古斯塔夫六世 Gustaf VI Adolf, 有點不開心 口氣 然而他並未與巴丁及布萊頓和解 倚仗主管的權威 不准巴丁和布萊頓做接 合 電 晶 體 的 研 究 巴 丁 只 好 改 做 超 導 體 superconductor 研 究 並 於 1951 年 離 開貝爾實驗室 布萊頓不願和蕭克利共事 轉到了另一個團隊 從此巴丁和布萊頓再 也沒對半導體研究做出任何貢獻 蕭克利 則一直影響著半導體的主流研究 不過蕭 克利強勢且鮮明的個性讓他很快地也和高 層鬧翻 在兩年後黯然地離開貝爾實驗室 電晶體的誕生顯然對人類生活已有重 大的影響 數十年後各界仍然在紀念這個 偉大的發明 蕭克利 布萊頓 巴丁 3 人因為諾貝爾獎而一笑泯 恩仇 圖片來源 wiki transistor 09

5 專題報導 Featured Articles 巴丁急忙保證 然 而 由 美 下 次 得 獎 所 有 小 國 移 轉 IC 技 孩 一 定 都 到 齊 果 術的經費超過 然 巴 丁 因 為 超 導 千 萬 美 金 並 體研究於 1972 年再 且是當時不被 度 贏 得 諾 貝 爾 獎 看 好 的 CMOS 這次 他信守承諾 技 術 財 政 部 帶 3 個小孩參加頒 舉雙手反對 認 獎 典 禮 巴 丁 離 開 為 金 額 太 大 貝爾實驗室後到伊 浪費公帑 幸好 利諾大學擔任教授 在孫運璿及李國 鼎兩位重量級人 他指導的第一位學 士 的 力 挺 下 生就是大名鼎鼎 發 蔣故總統經國 明 發 光 二 極 體 LED 先生始答應支 的 Holonyak 布 萊 持 這 個 計 畫 頓則從一而終地待 而 CMOS 技術又 在 貝 爾 實 驗 室 並 未因為得諾貝爾獎 後身價高漲而跳槽 巴丁的第一個學生就是發明發光二極體的科學 家 Holonyak 圖片來源 wiki Nick Holonyak 很幸運地成為後 來的主流技術 台灣才有今日舉 蕭克利一生爭議不 足輕重的半導體 斷 晚 年 在 史 丹 福 產業 工研院為 大 學 任 教 成 為 一 了紀念 台灣積 位春風化雨的教授 體電路之父 於院內成立 潘文淵文物紀念館 並 台灣半導體的推手 電晶體雖然誕生在美國 但是它的出 現卻在地球另一端的小島 台灣悄悄地掀 起一波巨大的革命 金會 浮閘記憶體誕生 50 年 講到台灣的半導體發展 不可不提到 學術界也有許多對半導體領域有著 當時幾位高瞻遠矚的人 因為他們的決策 巨大貢獻的重要發明 例如交通大學榮 及堅持才為台灣帶來數十年的半導體榮 譽講座教授暨中央研究院院士施敏博士 景 其中潘文淵博士可以算是台灣半導體 在 1967 年發明了浮閘記憶體 floating 的推手 1974 年他受邀由美國返台 對台 灣的產業未來給出相當前瞻的意見 當時 他 建 議 發 展 積 體 電 路 Integrated Circuit, IC 技術 10 由胡定華等人發起成立 潘文淵文教基 gate 浮閘記憶體發明的重要性其實 不亞於 1945 年電晶體的發明 有趣的 是 浮閘記憶體誕生的故事和出生地與 電晶體有著許多相似的地方

6 身為國家奈米元件實驗室 NDL 研發 團隊的一員 肩負著國家賦予我們教育及研 發的任務 因此一方面會把電晶體的製作流 程 方法 設備及原理透過見習班的方式傳 授給有興趣的學生 另一方面 也要緊盯著 世界半導體的發展趨勢 時時刻刻關注新科 技及新技術 確保我國在半導體領域的優勢 這裡跟各位讀者分享幾個我們研發人 員開發新世代電晶體的小故事 在 NDL 原 本的半導體平台所製作的是超薄通道電晶 1970 年第三屆近代工程技術討論會 METS 中潘文淵 博士晉見經濟部部長孫運璿先生 圖片來源 財團 法人潘文淵文教基金會 體 ultra thin body transistor 類似於 SOI silicon on insulator 的 結 構 能 夠 有 效 地抑制漏電 但我們一直絞盡腦汁思考 如 何 在 不 犧 牲 閘 極 控 制 能 力 的 情 況 下 1967 年 同樣是在美國貝爾實驗室裡一個 提升元件的飽和電流 在一次全球重要的電機電子國際會議 忙碌的角落 兩位研究員為了開發出一種更輕 IEDM 中 嗅到了有一些公司及團隊開 薄短小的元件來取代當時使用最廣泛的磁圈記 始嘗試在矽晶圓上製作出新型的電晶體結 憶體 經過了許多的實驗與驗證 歷經無數次 構 鰭式電晶體 鰭式電晶體是加州柏克 的失敗 終於提出一種新的五層閘極結構儲存 萊大學的胡正明教授所發明的一種新型結 電子訊號 那就是第一個浮閘記憶體的誕生 構的電晶體 其特殊如魚鰭結構的通道使 那兩位科學家就是施敏博士及姜大元博士 得閘極能夠更完整地包覆 進而減少漏電 在過去 50 年間 浮閘記憶體已從一個浮 提升性能 閘概念延伸出許許多多各式各樣的記憶體元 件 例如 FAMOS SAMOS 快閃記憶體 多階記憶體及三維結構 自 1990 年起 浮閘 HfO2 記憶體開啟了 數位電子時代 促成了所有 現代電子產品的研發 記憶體已成為每個人生 活中不可或缺的重要元件 電晶體誕生在國家奈米元件實驗室 53.4 nm Si 7.2 nm TaN 看了這麼多半導體界先聖先賢的故事 各 位讀者是不是有所啟發呢 萬丈高樓平地起 其實很多偉大的創新及發明都是在微小的地方 堅持 在繁瑣的過程中鑽研而意外得到的靈感 及突破 20 nm SiO2 電子顯微鏡下高深寬比的鰭式電晶體 11

7 於是 我們的研究人員就在思考 如何 把這兩種電晶體結構的優點結合在一起 最 FIR-LA Selective Heating FIR-LA (free carrier adsorption) 終想到在超薄通道電晶體上把通道製作成高 Si 深寬比的鰭式結構 如此一來就可以同時達 到低漏電及高驅動電流的結果 我們把這樣 的研發成果發表在 2016 年的 IEDM 中 SiO2 M2 M2 M1 M1 另一個有趣的小故事是關於三維積體電 Si 路 3DIC 隨著摩爾定律的持續延伸 元件尺寸現在已經來到 10 nm 世代以下的境 界 近幾年大家已經開始討論物理極限的困 as-implanted FIR-LA Cool Zone (transmission, reflection and scattering) After FIR LA 選擇不同波長的雷射光 可在不傷害底層電晶體的 情況下 進行上層電晶體的活化 境 三維積體電路的概念就這樣誕生了 NDL 所開發的是積層型三維積體電路 monolithic 3DIC 在開發的過程中 遇 到了一個困難 那就是當我們堆疊到第二 M2 層以上的元件時 一經過高溫的活化 不 論是用爐管還是快速升溫退火設備 攝氏 800 度以上的高溫馬上就造成底層電晶體的 損傷 因為當電晶體製作到後段製程時 其金屬連導線 metallization 可耐的溫度 M2 M3 M1 M3 M1 Top device layer Bottom device layer Si substrate Si FinFETs 電子顯微鏡下的積層型三維積體電路 是低於攝氏 600 度的 這又讓我們研發團 隊在活化這一個步驟卡關了 在我們團隊中 有另外一批人是負責 大的差別 隨著科技的進步 各種固態物 薄膜電晶體通道的開發 他們採用的方式 理理論的完善 半導體製程也從數百微米 是用雷射光把非晶矽透過高能量使其相變 的尺寸微縮到現今的次十奈米大小 過去 化成多晶矽通道 某一天 他們在用雷射 數十年大家奉為圭臬的摩爾定律 如今已 光掃描晶片時 忽然靈光乍現 這樣的雷 漸漸逼近物理極限 這是發明電晶體的科 射光是否可以用於三維積體電路的活化製 學家們始料未及的 程 結果發現使用雷射光做三維積體電路 電晶體的未來會逐漸走向一個全然不 的活化 不僅可以減少電晶體活化的時間 同的方向 不同的材料 不同的結構或三 抑制摻雜物熱擴散的結果 更可以透過波 維堆疊技術都會繼續延長電晶體的壽命 長的選擇 控制雷射光穿透的深度 達到 不久的未來 我們將看到鍺 二維材料 在不傷害下層電晶體的情況下 能夠進行 三五族材料這些新希望持續地延續下個世 上層電晶體的完美活化 代電晶體璀璨的大道 下個世代的電晶體 今年是電晶體的 70 歲生日 現在大家 看到的電晶體形貌已經跟當初的樣子有很 12 謝東穎 國家實驗研究院國家奈米元件實驗室

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